JP2004221599A - 電磁放射拡散体および電磁放射拡散体を製作するための方法およびリソグラフィーシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1および第2表面を有している基板を備え、該第1の表面は個々の格子ユニットの3次元のプロフィールを備えたストラクチャを有しており、該第1表面に形成されている反射性コーティングを備え、該反射性コーティングは前記ストラクチャに適合している、そういう形式の電磁放射拡散体の反射性コーティングに形成されている吸収性格子を備え、該吸収性格子はスペースを含んでおり、ここで該吸収性格子は電磁放射の第1の部分を吸収し、一方該スペースを通過する電磁放射の第2の部分は前記反射性コーティングによって拡散反射される。
【選択図】図1
Description
105 ソース
110 照射光学素子
115 ソースモジュール
120 レチクル面
130 投影光学素子
140 センサモジュール
150 電磁放射拡散体
210 ロンキー格子
310 シャリングインターフェログラム
320 フリンジ視感度関数
400 ランダマイズド・ストラクチャ
410 基板
420 零基板面
430 反射性コーティング
440 吸収性コーティング
450 格子ユニットないしステップ
500 拡散体プレート
505 光学格子
Claims (27)
- 電磁放射拡散体であって、該電磁放射拡散体は
第1および第2表面を有している基板を備え、該第1の表面は個々の格子ユニットの3次元のプロフィールを備えたストラクチャを有しており、
該第1表面上に形成されている反射性コーティングを備え、該反射性コーティングは前記ストラクチャに適合しており、かつ
該反射性コーティング上に形成されている吸収性格子を備え、該吸収性格子はスペースを含んでおり、ここで該吸収性格子は電磁放射の第1の部分を吸収し、一方該スペースを通過する電磁放射の第2の部分は前記反射性コーティングによって拡散反射される
電磁放射拡散体。 - 前記個々の格子ユニットは前以て決められている範囲にわたってランダムに選択された高さを有している
請求項1記載の電磁放射拡散体。 - 前記前以て決められている範囲は近似的に50nmである
請求項2記載の電磁放射拡散体。 - 前記個々の格子ユニットはそれぞれ、近似的に100nm×100nmの面積を有している
請求項2記載の電磁放射拡散体。 - 前記吸収性格子は前記個々の格子ユニットに対して対角線に配向されている
請求項2記載の電磁放射拡散体。 - 前記吸収性格子は近似的に3.2μm幅でありかつ近似的に6.4μm毎に繰り返される
請求項5記載の電磁放射拡散体。 - 電磁放射拡散体であって、該電磁放射拡散体は
第1および第2表面を有している基板を備え、該第1の表面は個々の格子ユニットの3次元のプロフィールを備えたストラクチャを有しており、
該第1表面上に形成されている反射性コーティングを備え、該反射性コーティングは前記ストラクチャに適合しておりかつ極紫外線放射を拡散放射し、かつ
該反射性コーティング上に形成されている吸収性格子を備え、ここで該吸収性格子は電磁放射の第1の部分を吸収し、一方前記吸収性格子間のスペースを通過する電磁放射の第2の部分は前記反射性コーティングによって拡散反射される
電磁放射拡散体。 - 前記個々の格子ユニットは前以て決められている範囲にわたってランダムに選択された高さを有している
請求項7記載の電磁放射拡散体。 - 前記前以て決められている範囲は近似的に50nmである
請求項8記載の電磁放射拡散体。 - 前記個々の格子ユニットはそれぞれ、近似的に100nm×100nmの面積を有している
請求項8記載の電磁放射拡散体。 - 前記吸収性格子は前記個々の格子ユニットに対して対角線に配向されている
請求項7記載の電磁放射拡散体。 - 前記吸収性格子は近似的に3.2μm幅でありかつ近似的に6.4μm毎に繰り返される
請求項7記載の電磁放射拡散体。 - 基板上に電磁放射拡散体を製作するための方法であって、
(a) 基板の第1表面に個々の格子ユニットの3次元のプロフィールを製造し、
(b) 該3次元のプロフィールに適合している反射性コーティングを該3次元のプロフィール上に形成し、
(c) 該反射性コーティング上に吸収性格子を形成する
ことを有している方法。 - 前記個々の格子ユニットに対する高さをランダムに選択し、かつ
該ランダムに選択された高さに応じて前記個々の格子ユニットを製造する
ことを更に有している
請求項13記載の方法。 - 前記ランダムに選択するステップは、個々の格子ユニットの高さを、該高さが0から近似的に50nmの範囲にあるようにランダムに選択する
請求項14記載の方法。 - 近似的に100nm×100nmの面積を有している個々の格子ユニットを製造する
ことを有している
請求項14記載の方法。 - 前記吸収性格子を前記個々の格子ユニットに対して対角線に配向する
ことを有している
請求項13記載の方法。 - 吸収性格子を形成する前記ステップは、前記反射性コーティングに近似的に3.2μm幅の吸収性格子部分を形成しかつ該吸収性格子部分近似的に6.4μm毎に繰り返される
請求項13記載の方法。 - リソグラフィーシステムであって、
電磁放射源を備え、
第1の光学面に位置決めされている電磁放射拡散体を備え、該拡散体は個々の格子ユニットの3次元のプロフィールを備えている基板を有しており、該格子ユニットは前記基板に適合している反射性コーティングによって被覆されており、ここで該反射性コーティングは更に前記電磁放射の第1部分を吸収する吸収性格子によって被覆されており、一方該吸収性格子間のスペースを通過する電磁放射の第2の部分は前記反射性コーティングによって拡散反射され、かつ
第2の光学面に位置決めされている電磁放射センサを備え、ここで前記拡散体に入射する電磁放射は拡散反射されかつ該センサによって受信される
リソグラフィーシステム。 - 前記電磁放射源は極紫外線放射源である
請求項19記載のリソグラフィーシステム。 - 前記第1光学面はレチクル面である
請求項19記載のリソグラフィーシステム。 - 前記第2の光学面はウェハ面である
請求項19記載のリソグラフィーシステム。 - 前記個々の格子ユニットは前以て決められている範囲にランダムに選択された高さを有している
請求項19記載のリソグラフィーシステム。 - 前以て決められている範囲は50nmである
請求項23記載のリソグラフィーシステム。 - 前記個々の格子ユニットは近似的に100nm×100nmの面積を有している
請求項23記載のリソグラフィーシステム。 - 前記個々の格子ユニットは前記個々の格子ユニットに対して対角線に配向されている
請求項19記載のリソグラフィーシステム。 - 吸収性格子は近似的に3.2μm幅であり、近似的にそれぞれ6.4μm毎に繰り返される
請求項19記載のリソグラフィーシステム。
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