JP2004221428A - 光半導体素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】発光波長または受光波長が1.20μm〜1.35μmの長波長の光半導体素子において、低コストで特性が高い素子を得る。
【解決手段】GaAs基板と、前記GaAs基板上に形成されGa1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層であって、前記Ga1−xInxAsがPtCu型オーダリング構造を有するものとして構成された活性層と、を備えることを特徴とする光半導体素子を提供する。また、前記Ga1−xInxAsを、成長温度を550℃以上620℃以下とし、成長圧力を50Torr以上300Torr以下とし、ガリウム原料と、インジウム原料と、砒素原料と、を含む原料ガスを用い、前記原料ガスを、分解可能な温度よりも低い温度の第1の領域から、前記成長温度の第2の領域を経て、前記GaAs基板上に送り込み、前記原料ガスを、分解可能な温度領域に達してから前記GaAs基板上に到達するまでの時間が0.4秒以下になるようにして、製造することを特徴とする光半導体素子の製造方法を提供する。
【選択図】 図8
【解決手段】GaAs基板と、前記GaAs基板上に形成されGa1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層であって、前記Ga1−xInxAsがPtCu型オーダリング構造を有するものとして構成された活性層と、を備えることを特徴とする光半導体素子を提供する。また、前記Ga1−xInxAsを、成長温度を550℃以上620℃以下とし、成長圧力を50Torr以上300Torr以下とし、ガリウム原料と、インジウム原料と、砒素原料と、を含む原料ガスを用い、前記原料ガスを、分解可能な温度よりも低い温度の第1の領域から、前記成長温度の第2の領域を経て、前記GaAs基板上に送り込み、前記原料ガスを、分解可能な温度領域に達してから前記GaAs基板上に到達するまでの時間が0.4秒以下になるようにして、製造することを特徴とする光半導体素子の製造方法を提供する。
【選択図】 図8
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光半導体素子およびその製造方法に関し、特に、波長1.2μm〜1.35μmの光通信用の長波長の光半導体発光素子およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
発光波長1.2μm〜1.35μm帯の光半導体素子は、光通信用の発光素子あるいは受光素子として注目されている。この長波長の光半導体発光素子としては、従来、InPからなる基板(支持基板)上に、GaInAsP系材料からなる発光層を形成した構造が用いられていた。この構造では、GaInAsP発光層の発光波長が0.92〜1.65μmになるようにすれば、発光層と基板との格子定数が近くなる。このように基板との格子定数が近い材料は、成長装置、基板、および成長原料をそろえれば、その製造は容易である。また、この構造では、GaInAsP発光層を薄膜化し、量子井戸構造(歪量子井戸構造)の発光層を用いる方法が実用化されている。そして、この構造では、発光層と基板との格子定数が近いために、発光層の歪量(格子不整量)を臨界歪以下としながら所定の発光波長が得られ、発光層が良質に形成される。このため、この量子井戸構造等を用いて、実用可能な発光効率が得られている。この結果、現在でも、長波長の光半導体発光素子では、このInP基板を用いた半導体発光素子が主流となっている。
【0003】
しかし、InP基板を使用した半導体発光素子は、高価である。これは、InP基板が高価であるためである。また、この素子は、温度特性が悪い。例えば、InP基板を用いた半導体レーザでは、閾値の特性温度が〜70Kと低くなってしまう。
【0004】
そこで、安価で温度特性に優れた長波長の光半導体素子を得るために、安価で熱伝導率が高いGaAs基板を用いた長波長の光半導体素子の開発が進められている。
【0005】
すなわち、GaAs基板は、従来、発光波長0.98μmの半導体発光素子の基板として用いられていた。この発光波長0.98μmの素子は、GaAsからなる基板と、Ga1−xInxAsからなる発光層と、を備えている。GaAs基板は、支持基板であり、厚さは60μm以上である。また、Ga1−xInxAs発光層は、量子井戸の構造であり、厚さは数〜数十nmである。このGa1−xInxAsのIn組成xは、発光波長0.98μmの素子では、0.15未満である。このような低In組成のGaInAs発光層は、GaAs基板と格子定数が近く、GaAs基板上への成長が容易である。このため、発光波長0.98μmの半導体発光素子では、GaAs基板を用いて、優れた特性が得られている。そこで、この素子と同様の材料系により、発光波長1.2〜1.35μmの長波長の光半導体素子を得る方法の開発が進められている。
【0006】
もっとも、他の材料系で行われている通常の方法では、GaAs基板とGa1−xInxAs発光層とを用いて長波長光通信に適用できる素子を得ることはできない。これを図12、図13を用いて説明する。図12は、Ga1−xInxAsの、In組成xと、バンドギャップおよび波長(以下、波長とする)と、の関係を示す図である。図12中のM1は、Ga1−xInxAsの、In組成xと、波長と、の関係の計算値を示す。このM1では、量子化準位は無視している。また、図12中のM2は、膜厚をGaAs基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚にして形成したGa1−xInxAsの、量子化準位の上昇によるバンドギャップの上昇値を示す。また、また図12中のM3は、GaAs基板上に臨界膜厚以下で形成したGa1−xInxAs発光層の、In組成xと、波長の上限と、の関係を示す。このM3は、M1+M2と等しい。図12のM1に示すように、Ga1−xInxAsのバンドギャップEg(x)の計算値は、Eg(x)=(1.43−1.516x+0.466x2)である(例えば、非特許文献1参照)。また、波長λ[eV]とバンドギャップEg[eV]の関係は、λ=1.24/Egで表される。このため、Ga1−xInxAsは、量子化準位を無視した計算では、In組成が高いほど波長が長くなる。しかし、Ga1−xInxAsのIn組成を高くするほど、Ga1−xInxAsとGaAsの格子定数差が大きくなる。そして、格子定数差が大きくなりすぎると、結晶中に欠陥が導入されてしまう。この欠陥を防止して高品質な結晶を成長するためには、Ga1−xInxAs発光層を、GaAs基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下の膜厚で形成する必要がある。この臨界膜厚と、In組成と、の関係は図13のようになる。この図13から分かるように、Ga1−xInxAs発光層のIn組成xを高くすると、臨界膜厚が薄くなる。ところが、臨界膜厚が薄くなると、図12のM2に示すように、臨界膜厚のGa1−xInxAs発光層の量子化準位の上昇が顕著になる。このため、GaAs基板上に臨界膜厚以下の膜厚のGa1−xInxAs発光層を形成する場合、一定値以上にIn組成を大きくすると、図12のM3に示すように、かえって発光波長は短くなってしまう。以上の理由により、Ga1−xInxAs発光層をGaAs基板上に形成した場合、図12のM3に示すように、通常の方法では、波長を1.2μmよりも長くすることはできない。
【0007】
そこで、このようなGaInAs/GaAs系材料の限界を克服するための技術として、発光層の膜厚を基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚以上の膜厚で形成する方法、発光層としてGaInAsに他の原料を加えた材料を用いる方法、が提案されている。また、原理的には、発光層にオーダリング構造を用いる方法の可能性も考えられる。
【0008】
【非特許文献1】
末松安晴編著「半導体レーザと光集積回路」オーム社、1984年
4月25日、p396
【非特許文献2】
「アプライドフィジックスレターズ(Applied Physics Letters)」、(米国)、アメリカンインスティチュートオブ フィジックス(American Institute ofPhysics)、1993年、第62巻、第15号、p.1806−1808
【非特許文献3】
「アプライドフィジックスレターズ(Applied Physics Letters)」、(米国)、アメリカンインスティチュートオブ フィジックス(American Institute ofPhysics)、1990年、第56巻、第15号、p662−664
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来、発光波長1.2μm〜1.35μmの長波長の光半導体素子において、GaAs基板を用いて、低コストで特性が高い素子を得ることはできなかった。つまり、上述のいずれの方法でも、低コストで特性が高い素子は得られていなかった。以下、説明する。
【0010】
まず、第1の方法はGa1−xInxAs発光層の膜厚をGaAs基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚以上の膜厚で形成する方法である。この方法としては、Ga1−xInxAs発光層とGaAs基板との間に歪を緩和するバッファー層を設ける方法や、Ga1−xInxAs発光層の結晶成長を低温で行う方法がある。このうち前者のバッファー層を設ける方法は、バッファー層中に転移を導入することにより、GaAs基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚よりも厚い膜厚のGa1−xInxAs発光層を形成する方法である。しかし、この方法では、結晶中に多数の転移を導入するため、光学的品質の悪い結晶となり、光半導体素子として充分な特性を得ることはできない。また、後者の方法は、低温の非平衡条件で擬安定状態のGa1−xInxAs発光層を結晶成長することにより、GaAs基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚よりも厚い膜厚のGa1− xInxAs発光層を形成する方法である。この方法では、発光層の波長を長くして、発光波長が1.2μmを超える素子が得られている(図6参照)。しかし、その効果は限定的であり、発光波長が1.22μmよりも長い素子は得られていない。また、擬安定状態の結晶を用いているために、結晶中に欠陥が少しずつ導入されやすく、通常の結晶と比べると、発光効率が低下することが避けられない。
【0011】
次に、第2の方法は、GaInAs発光層に他の原料を加えた発光層を用いる方法である。この方法としては、発光層にGaInAsNやGaInAsNSbを用いる試みがなされている。このうち、GaInAsN発光層を用いる方法は、発光層に原子半径の小さいNを混ぜることで、発光層と、基板と、の格子定数差を減らそうとする方法である。この方法では、温度特性に優れた半導体レーザが形成できることが報告されている。しかし、この方法では、窒素濃度を高くしすぎると、発光効率が低くなる。逆に、窒素濃度を低くすれば、発光層と基板との格子定数差を小さくすることはできない。このため、この方法では、発光効率を十分に高くすることができなかった。そこで、発光層にGaInAsNSb(またはGaInAsSb)を用いる方法も提案されている。この方法では、長波長の発光が可能であり、半導体レーザとしての特性の初期値も優れている。しかし、この方法では、結晶中の元素の種類が多く、極めて複雑なプロセスを行わなければならない。しかも、結晶中の元素の種類が多いために、結晶的に不安定である。このため、歩留まりや生産性が悪くてコストを低下させることが困難であり、また、長期の信頼性の確保が難しい。
【0012】
次に、原理的に可能性のある方法として、通常の結晶構造(ランダム混晶)に代えて、オーダリング構造を用いる方法がある。このオーダリング構造を用いる方法は、他の材料系に関するものとしては、例えば、非特許文献2および3に記載されている。この方法は、通常の結晶構造(ランダム混晶)に代えて、オーダリング構造を用いることで、バンドギャップを縮小させ、長波長を得ようとする方法である。例えば、非特許文献2には、InP基板上に、オーダリング構造のGa0.47In0.53As発光層を設けることで、ランダム混晶よりもバンドギャップが67meV小さい発光層を得る方法が記載されている。このオーダリング構造は、例えば、非特許文献2の図2に示されているように、電子回折像を見ることで、確認することができる。しかし、このオーダリング構造を、GaAs基板とGaInAs発光層とを備える光半導体素子に適用する方法は、開発されていない。なぜなら、GaAs基板上に形成するGa1−xInxAs発光層では上記のようにIn組成xを低くしているが、この低In組成xのGa1−xInxAs発光層ではオーダリングによるバンドギャップ縮小効果は小さく、発光波長を大幅に長くするような効果は得られないと考えられていたからである。また、そもそもGaAs基板上にオーダリング構造のGa1−xInxAs発光層を形成する製造方法が分からなかったからである。
【0013】
このように、発光波長または受光波長が1.2μm〜1.35μmの長波長の光半導体素子においては、GaAs基板を用いても、低コストで特性が高い素子は得られていなかった。
【0014】
本発明は、かかる課題の認識に基づくもので、その目的は、発光波長または受光波長が1.2〜1.35μmの長波長の光半導体素子において、低コストで特性が高い素子を得ることである。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明の光半導体素子は、GaAs基板と、前記GaAs基板上に形成されGa1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層であって、前記Ga1−xInxAsがPtCu型オーダリング構造を有するものとして構成された活性層と、を備えることを特徴とする。
【0016】
また、本発明の光半導体素子は、GaAs基板と、前記GaAs基板の(001)面から0°以上15°以下傾斜した面上に形成されGa1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層であって、前記GaAs基板の前記(001)面の結晶軸方向を[001]方向として、前記Ga1−xInxAsが、[−111]方向、[1−11]方向、[111]方向、[−1−11]方向、のいずれかの方向に沿って、Ga1−x+η/2Inx−η/2As(0<η≦2x)からなる第1の層と、Ga1−x−η/2Inx+η/2Asからなる第2の層と、が交互に積層された構造を有するものとして構成された活性層と、を備えることを特徴とする。ここで[−111]方向等の記載方法は、図2に示すとおりである。
【0017】
また、本発明の光半導体素子の製造方法の特徴は、GaAs基板と、前記GaAs基板上に形成されGa1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層と、を備える光半導体素子の製造方法であって、成長温度を550℃以上620℃以下とし、成長圧力を50Torr以上300Torr以下とし、ガリウム原料と、インジウム原料と、砒素原料と、を含む原料ガスを用い、前記原料ガスを、分解可能な温度よりも低い温度の第1の領域から、前記成長温度の第2の領域を経て、前記GaAs基板上に送り込み、前記原料ガスを、分解可能な温度領域に達してから前記GaAs基板上に到達するまでの時間が0.4秒以下になるようにして、前記GaAs基板上に前記Ga1−xInxAsを形成することを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細な説明を行う前に、本発明の前提となる、本発明者の独自の実験の結果について説明する。
【0019】
前述のように、従来は、GaAs基板とGa1−xInxAs発光層とを用いた光半導体素子において、発光層を基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下の膜厚で形成し、かつ1.2μm以上の波長λを得ることは、できないと考えられていた(図12のM3)。しかしながら、本発明者は、GaAs基板上に形成されたGa1−xInxAs発光層において、通常の結晶構造(ランダム混晶)に代えてPtCu型オーダリング構造を用いることで、大きなバンドギャップ縮小効果(オーダリング効果)が得られることを独自に知得した。そして、PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAs発光層を用いることで、発光層を基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下の膜厚で形成し、かつ、1.2μm以上の長い発光波長λが得られることを知得した。この知得に基づき、PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAs発光層と、GaAs基板と、を用いて低コストで特性が高い長波長の光半導体素子を得られることが分かった。
【0020】
このPtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAs活性層は、成長圧力を50〜300Torrとし、かつ、従来に比べて流速を5〜10倍程度早くする成長条件で、得ることができる。このような成長条件は、V族原料の利用効率が悪いことから、従来は用いられていなかった。しかし、本発明者は、意図的にこの条件を用いることで、オーダリング構造のGa1−xInxAs活性層を得られることを独自に知得した。
【0021】
図1は、本発明者が上記の実験に用いたサンプルの基本構造を示す断面図である。n型のGaAs基板1の(001)面上には、GaAsからなるn型クラッド層2、Ga1−xInxAs井戸層(発光層)3とGaAs障壁層4とを交互に複数積層した活性層5、GaAsからなるp型クラッド層6、が順次形成されている。結晶成長層1〜6は、成長原料としてAsH3(アルシン)、TMG(トリメチルガリウム)、TEG(トリエチルガリウム)、TMI(トリメチルインジウム)、を用いて、MOCVD法で形成される。図1のサンプルの特徴の1つは、Ga1−xInxAs発光層3が、通常の結晶構造ではなく、PtCu型オーダリング構造になっている点である。このPtCu型オーダリング構造を、図2、図3を参照にして説明する。
【0022】
図2は、PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAsの結晶構造を説明するための図である。ここでは、理解を容易にするため、In組成xが0.5の場合を示している。また、図3は、通常の結晶構造(ランダム混晶)のGa1−xInxAsの結晶構造を示す図である。ここでも、同様に、In組成xが0.5の場合を示している。図2、図3に示すように、Ga1−xInxAsの結晶構造は、面心立方格子の1つであるせん亜鉛鉱構造である。この構造では、III族元素(Ga、In)のサイトと、V族元素(As)のサイトと、が決まっている。この構造において、ランダム混晶では、図3に示すように、III族元素の位置にランダムにGaとInが配置される。これに対し、PtCu型オーダリング構造では、図2に示すように、結晶表面が(001)面である場合に、[−111]方向に垂直な面に同一のIII族原子が集まるように、規則的に、GaとInが配置される。つまり、[−111]方向に沿って、GaAsからなる第1の層と、InAsからなる第2の層と、が交互に周期的に積層された構造となる。
【0023】
上記の図2は、In組成xが0.5のGa1−xInxAsを示している。In組成xが0.5以下の場合は、図2のオーダリング構造は、[−111]方向に沿って、Ga1−x+η/2Inx−η/2As(0<η≦2x)からなる第1の層と、Ga1−x−η/2Inx+η/2As(0<η≦2x)からなる第2の層と、が交互に周期的に積層された構造となる。ここで、ηは、オーダリングパラメータ(ordering parameter)であり、0から1までの値をとり、1のときにオーダリング効果が最大となる。なお、図2では、このオーダリングパラメータηが1となる理想的な場合について示している。
【0024】
また、図2と等価なPtCu型オーダリング構造として、図2から分かるように、[1−11]方向、[111]方向、または[−1−11]方向に沿って、Ga1−x+η/2Inx−η/2As(0<η≦2x)からなる第1の層と、Ga1−x−η/2Inx+η/2As(0<η≦2x)からなる第2の層と、が交互に積層された構造を用いることもできる。
【0025】
このように、PtCu型オーダリング構造は、[−111]方向、[1−11]方向、[111]方向、[−1−11]方向、のいずれかの方向に2つの層が交互に周期的に配置された構造である。このオーダリング構造(図2)では、後述のように、ランダム混晶(図3)に比べてバンドギャップが縮小する。なお、このような周期性を持った構造は、電子線回折等の回折像で確認することができる。
【0026】
上記のオーダリング構造をGaAs基板1上のGa1−xInxAs発光層3に用いるため、本発明者は、その製造方法について検討した。その結果、次のような条件で形成すると、オーダリング構造(図2)の発光層3が得られた。すなわち、原料ガスとして、TMG、TMI、AsH3を用い、流速は、従来に比べて1桁程度早くする。具体的には、上記の原料ガスが、分解可能な温度領域(350℃以上の温度の領域)に達してから、GaAs基板1上の領域(境界層)に達するまで、0.08秒〜0.7秒、好ましくは0.1秒以上0.4秒以下にする。ここで、GaAs基板1上での原料ガスの流速は、反応炉に入るときの原料ガスの流速の10%以下である。また、成長圧力は、意図的に、V族原料(AsH3)の分解効率が悪い値にする。具体的には、50Torr以上300Torr以下、好ましくは70Torr以上200Torr以下にする。V/III比は10〜300、好ましくは30〜300にする。これらの条件では、成長速度は、1μm/hr以上6μm/hr以下、好ましくは1μm/hr以上2μm/hr以下、になる。
【0027】
さらに、本発明者は、上記の成長条件で、発光層3の成長温度と、ランダム混晶と比べた発光層3のバンドギャップ縮小量と、の関係を調べた。その結果を図4に示す。図4は、Ga1−xInxAs発光層3のIn組成を0.25とした場合と、0.53にした場合と、を示している。この図4から、成長温度が550℃以上620℃以下の範囲で、バンドギャップ縮小量が大きくなることが分かる。
【0028】
以上の結果から、流速、成長圧力、を所定の範囲にし、成長温度を550℃以上620℃以下にすることで、オーダリング構造のGa1−xInxAs発光層31が得られることが分かる。なお、バンドギャップは、例えば吸収スペクトル測定ないしPL測定により測定する。
【0029】
次に、本発明者は、上記の成長条件で成長させたPtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAs発光層3について、In組成xと、バンドギャップ縮小量と、の関係を調べた。その結果を図5に示す。図5は、成長温度が上限620℃の場合と、下限550℃の場合と、を示している。図5から分かるように、In組成が約0.25の時に最も大きなバンドギャップ縮小量が得られる。また、In組成が0.15以上0.4以下であれば、バンドギャップ縮小量が70meV以上と大きくなる。このような大きなバンドギャップ縮小量により、発光層3の発光波長を大幅に長くすることができる。
【0030】
図6は、オーダリング構造(図2)の発光層3を用いた図1の素子の、Ga1−xInxAs発光層3のIn組成と、この発光層3の発光波長と、を示す図である。
【0031】
この図6は、GaAs基板1に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下の膜厚でGa1−xInxAs発光層3を形成した場合に得られる、発光波長を示している。また、図中には、比較例として、ランダム混晶(図3)の発光層を用いた通常の素子の発光波長(図12参照)、および、前述の低温成長のランダム混晶の発光波長、も示している。図中、L1が図1の素子の発光波長、L2が通常の素子の発光波長、L3が低温成長発光層を用いた素子の発光波長、を示す。図6のL1から、発光層3のIn組成を0から徐々に増加させると、徐々に発光波長が長くなり、In組成が約0.2以上で、発光波長が1.2μm以上となる。In組成を増加させ、In組成を約0.3とすると、発光波長が約1.3μmとなる。In組成をさらに大きくしようとすると、発光層3と、基板1と、の格子定数差が大きくなり、発光層3の臨界膜厚が薄くなる(図13)。これにより、厚膜の発光層3が形成できなくなり、発光層3の量子化準位の上昇が大きくなる(図12のM2)。このため、図6から分かるように、Ga1−xInxAs発光層3のIn組成xを約0.35よりも大きくしていくと、発光波長は短くなっていく。そして、In組成を0.53より大きくすると、膜厚を薄くしても発光層3を形成することができなくなる。このように、オーダリング構造の発光層を用いた図1の素子では、In組成を約0.2〜0.4とすることで、1.2〜1.3μmの長い発光波長が得られる。
【0032】
これに対し、図6から分かるように、ランダム混晶の発光層を用いた通常の素子L2では、発光波長1.2μm以上の素子は得られない。また、低温成長の発光層を用いた素子L3でも、発光波長が1.22μm以上の素子は得られない。
【0033】
もっとも、オーダリング構造の発光層3を用いた図1の素子において、上記の図6のような長い発光波長が得られることは、従来の技術常識に反する結果である。なぜなら、従来は、図5のような大きなバンドギャップ縮小値は得られないと考えられていたからである。すなわち、従来、他の材料系の基板とGaInAs発光層とを用いた光半導体素子において、オーダリング構造の発光層を用いた場合、そのバンドギャップ縮小量は、最大でも70meV未満にすぎなかった。また、従来の技術常識では、オーダリングによるバンドギャップ縮小量が最大になるのは、Ga1−xInxAsにおいて、GaとInの比が1:1の時、つまりIn組成xが0.5の時であると考えられていた。これは、GaとInの比が1:1の時に、図2におけるオーダリング構造の周期性の影響が最も強くなると考えられていたからである。これらの従来の技術は、例えば、非特許文献2および3に記載されている。この従来の技術から敷衍できる図1のGa1−xInxAs発光層3のバンドギャップ縮小量を、例えば非特許文献3の手法に基づき見積もると、図7のようになる。この図7からは、In組成が0.5、つまりGaとInの比が1:1の時にバンドギャップの縮小量は最大となる。そして、上記のように現在得られているバンドギャップの縮小量が最大で70meV未満であることからすれば、従来の技術常識では、オーダリングパラメータηは最大でも0.4〜0.5程度と考えられることが分かる。この図7でη=0.4〜0.5の場合を見ると、バンドギャップ縮小量は、In組成が0.5未満であれば、当然70meV未満になると予想される。しかしながら、本発明者の実験によれば、この従来の技術常識に反し、図5に示すように約140meVの大きなバンドギャップ縮小量が得られた。また、本発明者の実験によれば、発光層3のIn組成が約0.5のときよりも(図7)、In組成が約0.25のときの方が(図5)、バンドギャプ縮小量が大きくなった。つまり、発光層3のInとGaとの比が1:1の時よりも、この比が1:3のときの方が、バンドギャップ縮小量が大きくなった。この理由について、本発明者は、次のように考えている。すなわち、オーダリング構造は、図2から分かるように、一種の相分離構造であり、相分離が起こりやすい条件にすると結晶配列がそろいやすくなる。そして、InGaAsは1個のV族原子(As)に対し4個のIII族原子(In、Ga)が配位した結晶構造であり(図2)、格子定数が大きいIII族元素(In)と格子定数が小さいIII族元素(Ga)との比を1:3に近づけると、混晶化エネルギーが大きくなって、相分離が起こりやすくなる。さらに、InとGaとの比を1:3に近づけたInGaAs発光層3をGaAs基板1上に形成した場合には、GaAs基板1と、発光層3と、に格子定数差があるために、相分離が起こりやすくなる。また、GaAs基板の(001)面上にInGaAsを形成すると、面方位の関係からも、相分離が起こりやすくなる。このため、図1の素子では、GaAs基板1を用い、発光層3のInとGaとの比を1:3に近づけ、発光層3のIn組成を0.25に近づけることで、結晶配列がそろいやすくなる。この結果、図1の素子では、オーダリングパラメータηが従来の技術常識に比べてはるかに大きくなり、オーダリングパラメータηが1に近づいて、バンドギャップ縮小量が大きくなると考えている。このようにして、図1の素子では、従来得られなかった70meV以上のバンドギャップ縮小量が得られる。
【0034】
以上説明した図1のサンプルでは、GaAs基板1のいわゆる(001)ジャスト(just)面上にGaInAs発光層3を形成した場合について説明したが、GaAs基板1の(001)面から0°以上15°以下傾斜した面上にGaInAs発光層3を形成した場合も、同様のオーダリング効果が得られた。このような傾斜角度15°以下のGaAs基板は、量産可能で、安価で入手できる。なお、GaAs基板1の(001)面から0°傾斜した面とは、GaAs基板1の(001)面を意味する。
【0035】
以上のように、本発明者は、PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAs発光層3を用い、そのIn組成を0.2〜0.4とすることで、GaAs基板を用いた長波長の光半導体素子を提供できることを知得した。以下の実施の形態では、上記の知得に基づいてなされた光半導体素子の具体的な構造を説明する。
【0036】
(第1の実施の形態)
図8は、本発明の第1の実施の形態の光半導体素子を示す斜視図である。また、図9は、図8の素子の層構造を説明するための断面図である。この素子は、Ga0.75In0.25As/GaAs活性層20を用いた面発光レーザである。この面発光レーザの特徴の1つは、活性層20の井戸層(発光層)21をオーダリング構造(図2参照)とした点である。これにより、Ga1−xInxAs井戸層21のIn組成xが0.25と低いにもかかわらず、発光波長λを1.26μmと長くすることができる(図6)。
【0037】
図8、図9の素子では、n型のGaAs基板12の(001)面上に、膜厚0.5μmのn型GaAsからなるバッファー層(n型ドーパント濃度1×1018cm−3)14、屈折率n1で厚さがλ/4n1のn型GaAs層と屈折率n2で厚さがλ/4n2のn型Al0.9Ga0.1As層とを交互に30ペア積層したDBR構造を有する下部DBRミラー層16、膜厚152nmのノンドープGaAsからなる下部クラッド層18、活性層20、膜厚152nmのノンドープGaAsからなる上側クラッド層22、屈折率n3で厚さがλ/4n3のp型GaAs層と屈折率n4で厚さがλ/4n4のp型Al0.9Ga0.1As層とを交互に24ペア積層したDBR構造を有する上部DBRミラー24、層厚10nmのp型GaAsからなるキャップ層26、が順次形成されている。ここで、下部DBRミラー層16は、具体的には、n型GaAs層の厚さが94nm、n型Al0.9Ga0.1As層の厚さが110nm、である。また、上部DBRミラー層24は、p型GaAs層の厚さが94nm、p型Al0.9Ga0.1As層の厚さが110nm、であり、最下層は、図9に示すように、厚さ45nmのp型Al0.9Ga0.1As下側バッファー層30、厚さ20nmのAlAs層28、厚さ45nmのp型Al0.9Ga0.1As上側バッファー層32、よりなっている。
【0038】
上記の上部DBRミラー24は、図8に示すように、AlAs層28の側部を露出させるように、フォトリソグラフィー及びエッチング加工により、円形溝42が形成され、中央部がメサポストに加工されている。メサポストの外側からAlAs層28のAlを選択的に酸化させることにより、直径例えば5μmの未酸化のAlAs層28からなる電流注入領域と、Al酸化層40からなる電流狭窄領域が形成されている。このメサポスト上面を除き、溝42の壁を含む積層構造上全面に、SiNx膜44が保護膜として形成されている。また、p型GaAsキャップ層26に接触するリング状電極がp側電極46として設けられ、更に、電極引き出し用にTi/Pt/Auパッド48がp側電極46に接続するように形成されている。他方側の電極であるn側電極50は、裏面研磨により厚さが100nmとされたn型GaAs基板12の裏面に形成される。なお、基板12の厚さは約100μm、積層体14〜26の厚さは数μm、であるが図8、図9では理解を容易にするために縮尺を変えて示している。
【0039】
図8、図9の面発光レーザでは、p型電極46と、n側電極50と、から活性層20に電流が注入される。そして、活性層20から光が放射され、この光が上下のDBR16、24よりなる共振器中で増幅されてレーザ発振し、図中上側からレーザ光が放射される。ここで、光を放射する活性層20は、図9に示すように、膜厚4.5nmのGa0.75In0.25Asからなる井戸数(発光層)21と、膜厚20nmのGaAsからなる障壁層19と、を交互に積層した構造である。井戸数は2である。
【0040】
図8、図9の面発光レーザの特徴の1つは、活性層20の発光層21が、前述のPtCu型のオーダリング構造(図2参照)になっている点である。この発光層21は、In組成が0.25であるが、そのバンドギャップは0.93eVで、ランダム混晶と比べて約140meV小さい(図5)。このため、この発光層21は、In組成が0.25と低いにもかかわらず、1.26μmの長波長の光を放射する(図6)。
【0041】
以上説明した図8、図9の面発光レーザでは、GaAs基板12を用いた発光波長1.26μmの長波長のレーザにおいて、発光層21にPtCu型オーダリング構造を用いたので、Ga1−xInxAs発光層21のIn組成xを0.25と低くすることができる。これによりGaAs基板12と、発光層21と、の格子定数を近くし、発光層21の結晶性を向上させることができる。この結果、発光波長1.26μmの長波長のレーザにおいて、発光効率および光出力を高くすることができる。
【0042】
また、図8、図9の面発光レーザでは、Ga0.75In0.25As発光層21の膜厚をGaAs基板12に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下としながら1.26μmの長波長を実現できる。このため、この観点からも、発光層21の結晶性を向上させ、発光効率および光出力を高くすることができる。
【0043】
また、図8、図9の面発光レーザでは、Ga0.75In0.25As発光層21のIn組成が低いために、発光層21の臨界膜厚が4.5nmと厚い(図13)。このため、発光層21の厚さを容易に4.5nmまで厚くすることができる。このように発光層21を厚くすることで、光閉じ込め効果を大きくし、レーザの実効的な増幅率を高くすることができる。これにより、閾電流密度を下げ、温度特性を向上させ、光出力の最大値を大きくすることができる。
【0044】
また、図8、図9の面発光レーザでは、発光層21を厚くできるので、活性層20全体が厚くなる。このため、光ガイド層18、22と活性層20全体による光閉じ込めの効果を十分に大きくしながら、活性層20の外側の光ガイド層たるGaAs層18、22を薄くすることができる。このように光ガイド層18、22を薄くすることにより、内部ロスを小さくすることができる。これにより、さらに、閾電流密度を下げ、温度特性を向上させ、光出力の最大値を大きくすることができる。
【0045】
また、図8、図9の面発光レーザでは、活性層20を井戸層21と障壁層20との多重量子井戸構造としたので、単一量子井戸構造に比べ、活性層20全体の厚さを厚くし、レーザの中での光閉じ込めの効果を大きくすることができる。また、井戸層あたりの電流注入量を下げることができる。これらにより、上術のような発光層21の厚さを厚くするのと同様の効果をさらに得ることができる。このように、発光層21の各層が厚いことと、多重量子井戸構造であることと、の相乗効果により、閾電流密度の低減、レーザの温度特性の向上、微分効率の増大、最大光出力の向上の効果を高めることができる。
【0046】
また、Ga1−xInxAs発光層21は、温度特性も良好である。このため、図8、図9の面発光レーザは、長期の信頼性を確保することができる。
【0047】
また、図8、図9の面発光レーザでは、長波長のレーザにおいて、GaAs基板12を用いることができる。このGaAs基板12は熱伝導率が高い。このため、図8、図9の面発光レーザでは、さらに温度特性を高くすることができる。
【0048】
以上の効果により、図8、図9の面発光レーザにおいては、発光波長1.26μmで、閾値0.7mA以下、光出力2.5mW以上、CW発振が可能な限界温度が100℃以上、と優れた特性が得られる。
【0049】
さらに、図8、図9の面発光レーザのGaAs基板12は、III−V族化合物半導体の基板(支持基板)として広く用いられており、安価で、容易に入手でき、その特性や取り扱い方法も良く知られている。このため、図8、図9の面発光レーザでは、歩留まりや生産性を高くすることができる。これにより、従来の長波長のレーザに比べて、コストを下げることができる。
【0050】
次に、図8、図9の面発光レーザの製造方法について簡単に説明する。この面発光レーザは、MOCVD法で成長する。発光層21の成長原料にはTMG、TMI、AsH3を用い、その他の層の成長原料にはTEG、TMA、AsH3を用い、n型ドーピングとp型ドーピングの原料にはそれぞれSiH4とCBr4を用いる。成長温度は620℃とし、成長速度はAlGaAsは1μm/h、その他の層は2μm/hrとする。AsH3の供給は一定とする。V/III比はAlGaAsでは60、その他の層では30、とする。各層間の成長中断は数秒以内とし、非発光センターの導入を防ぐ。
【0051】
この図8、図9の面発光レーザの製造方法の特徴の1つは、発光層21の形成において、成長圧力を200Torrとし、かつ、H2キャリアガスの流速を早くして原料ガスが分解可能な温度領域からGaAs基板12上まで0.4秒以下で達するようにした点である。これにより、PtCu型オーダリング構造の発光層21が得られる。
【0052】
以上説明した図8、図9の面発光レーザの製造方法では、発光層21を低In組成のGa0.75In0.25Asとしたので、620℃の成長温度でこの発光層21を良質に結晶成長することができる。そして、他の層も、同じ620℃で、良質に結晶成長することができる。このため、図6、図7の面発光レーザでは、積層構造の結晶成長を全て一定の温度で行うことができる。これにより、Asの離脱や、非発光センターの形成を防止することができる。この結果、極めて光学特性の優れた結晶を利用することが出来る。
【0053】
また、図8、図9の面発光レーザの製造方法では、成長圧力や流速に工夫が必要だが、成長原料や成長基板は従来と同じものを用いることができる。また、成長温度も従来と同様であり、GaInAsN(Sb)系材料や低温成長GaInAsと異なり、特別な温度対策を行う必要はない。このため、製造コストが大きく上昇することはない。
【0054】
(第2の実施の形態)
第2の実施の形態の光半導体素子は、図10に示すように、端面出射型半導体レーザである。発振波長は、1.31μmである。
【0055】
n型GaAs基板110の(001)面上には、膜厚0.5μmのn型GaAsバッファー層(n型ドーパント濃度1×1018cm−3)112、層厚1.5μmのn型Al0.35Ga0.65Asからなる下部クラッド層114、膜厚20nmのGaAsからなる光ガイド層116、量子井戸活性層118、層厚70nmのノンドープGaAsからなる光ガイド層120、層厚100nmのp型Ga0.52In0.48P層122、層厚5nmのp型GaAs層124、厚さ1.5μmのp型Al0.35Ga0.65As層126、p型GaAsからなるコンタクト層128、が順次形成されている。p型GaAs層124から上側の領域は、図10に示すように、メサ構造150になっている。このメサ構造150の部分は、SiO2からなるパッシベーション膜130で覆われている。
【0056】
図10のレーザでは、p側電極132と、n側電極134と、から活性層118に電流が注入され、活性層118から波長約1.3μmの光が放射される。活性層118から放射された光は、図中手前側の端面と奥側の端面とで形成される共振器によって増幅されてレーザ光となり、図中手前側の面から紙面と垂直方向に取り出される。
【0057】
図10のレーザの特徴の1つは、量子井戸活性層118の井戸層がPtCu型オーダリング構造(図2参照)である点である。この量子井戸活性層118の構造は、GaInAs井戸層の膜厚とIn組成以外は、第1の実施の形態(図9)と同様である。このGaInAs井戸層は、膜厚3.5nmで、Ga0.68In0.32Asからなる。井戸層のバンドギャップは0.87eVであり、ランダム混晶よりもバンドギャップが0.12eV小さい(図5)。これにより、井戸層のIn組成を0.32と低くしながら、約1.3μmの長い発光波長を得ることができる(図6)。そして、Ga0.68In0.32As活性層の膜厚をGaAs基板110に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下としながら、約1.3μmの長い発光波長を実現できる。この結果、図10のレーザでは、波長約1.3μmの端面出射型半導体レーザにおいて、閾値5mA以下、光出力20mW以上、CW発振が可能な限界温度が150℃以上、の優れた特性を得ることができる。また、活性層118の井戸層の温度特性が優れているので、レーザとしての信頼性を高くすることもできる。
【0058】
図10のレーザの製造方法を簡単に説明すれば、次のとおりである。図10のレーザの各層は、全てMOCVD法で成長され、第1の実施の形態とほぼ同様の成長条件で成長される。第1の実施の形態で用いなかったGaInP層122の成長には、TMGと、TMIと、PH3と、を原料として用いている。図10のレーザの各層の堆積後は、コンタクト層128上に、幅5μmのストライプ状のSiO2マスクを形成する。そして、硫酸、過酸化水素系のエッチャントを用いてp型GaAs層124から上の層を選択エッチングする。その後、SiO2でパッシベーション膜130を形成し、SiO2パッシベーション膜130のメサ上面に孔をあけ、電極金属を堆積してp側電極132を形成する。さらに、ウェハーの裏面を研磨して120μm程度の厚さにし、裏面にn側電極134を形成する。その後、へき開により長さ250μmのレーザ共振器を作製し、SiNxとSiを用いて、手前側の端面に反射率70%の、奥側の端面に反射率97%の、HRコーティングを行って、図10のレーザが完成する。
【0059】
この図10の半導体レーザの製造方法の特徴の1つは、活性層118の成長において、GaInAs井戸層のGa原料にはTMG(トリメチルガリウム)を、GaAs障壁層のGa原料にはTEG(トリエチルガリウム)を、用いている点である。井戸層のV族原料にTMGを用いることで、井戸層をオーダリング構造にしやすくすることができる。また、障壁層のGaの成長原料にTEGを用いることで、障壁層のn型不純物濃度を3×1015cm−3以下と低くすることができる。このように障壁層の不純物濃度を低くすることで、吸収損失を小さくし、閾電流密度を400A/cm−2と低くすることができる。
【0060】
これに対し、活性層118の障壁層のGaの成長原料にもTMGを用いると、障壁層は、p型となり、不純物濃度は1×1016cm−3よりも大きくなる。このように障壁層の不純物濃度が高くなると、内部損失が大きくなり、閾電流密度は600A/cm−2まで大きくなってしまう。
【0061】
(第3の実施の形態)
第3の実施の形態の面発光レーザが第1の実施の形態の面発光レーザ(図9)と異なる点の1つは、図11に示すように、障壁層19に、GaAsに代えて、GaAs0.94N0.01P0.05を用いた点である。これにより井戸層21の歪を補償し、井戸層21のGaAs基板12に対する熱平衡理論による臨界膜厚を実効的にさらに厚くして、1.34μmの発振波長のレーザを得ることができる。このように1.34μmまで波長を長くすれば、WDM(Wavelength Division multiplexing、波長分割多重方式)を含めたさまざまな用途に、GaInAs/GaAs系レーザを適用することができる。
【0062】
図11は、本発明の第3の実施の形態の面発光レーザの積層構造を示す断面図である。活性層20の構造、および上下のクラッド層18、22の厚さ以外は、第1の実施の形態(図9)と同様である。活性層20中の井戸層21は、厚さ4nm、バンドギャップ0.86eV、のGa0.66In0.34Asからなる。また、活性層20の障壁層19は、GaAs0.94N0.01P0.05からなり、井戸層21の外側、井戸層21の間、のいずれも厚さ13nmである。活性層20の最上層と最下層には、それぞれ、厚さ10nmGaAsバッファー層23が設けられている。この活性層20を挟む上下のクラッド層18、22の厚さは、それぞれ、140nmである。
【0063】
図11の面発光レーザでは、障壁層19をGaAs0.94N0.01P0.05としている。このように障壁層19に砒素(As)よりも格子定数が小さいリン(P)および窒素(N)を添加することで、障壁層19の格子定数を小さくすることができる。これにより、厚い障壁層19と接している薄い井戸層21に圧縮歪をかけ、井戸層21の実効的な格子定数を小さくし、GaAs基板12と井戸層21との実効的な格子定数差を小さくすることができる。この結果、Ga0.67In0.33As井戸層21のGaAs基板12に対する熱平衡理論による臨界膜厚を4nmまで厚くし、臨界膜厚で形成したGa0.67In0.33As井戸層21の量子化準位の上昇を抑えることができる。また、障壁層19に組成0.01の窒素(N)を添加したので、障壁層19のバンドギャップをGaAsよりも約0.07eV狭くし、発光層21における遷移エネルギーを約0.02eV小さくすることができる。このため、発光層21の量子化準位の上昇をさらに抑えることができる。これにより、図11の面発光レーザでは、発光波長を1.34μmまで長くすることができる。
【0064】
また、図11の面発光レーザでは、井戸層21の膜厚がGaAs基板12に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下なので、特性を高くすることができる。
【0065】
また、図11の面発光レーザでは、障壁層19にGaAsNPを用いたので、GaAsを用いた場合に比べて障壁層19の屈折率を大きくし、光閉じ込めの効果を大きくすることができる。そして、このように障壁層19の屈折率を大きくすると、第1の実施の形態において説明した発光層21を厚くするのと同様の効果が得られ、レーザの実効的な増幅率を高くすることができる。このため、閾電流密度を下げ、温度特性を向上させ、光出力の最大値を大きくすることができる。また第1の実施の様態1と同様にGaAsバッファー層23を薄くすることができ、この層を薄くすることにより内部ロスを小さくし、さらに、閾電流密度を下げ、レーザの温度特性を向上させ、光出力の最大値を大きくすることができる。また、多重量子井戸構造を用いたので、さらに同様の効果が得られる。
【0066】
以上の効果により、図11の面発光レーザでは、閾値1mA以下、光出力1.5mW以上、CW発振の限界温度100℃以上、の優れた特性を得ることができる。
【0067】
図11の面発光レーザの製造方法は、第1の実施の形態と基本的に同様である。ただし、活性層20の成長温度は600℃とする。これは、活性層20の井戸層21にIn組成の高いGaInAsを用いた場合には、成長温度をやや低くした方が、オーダリングによるバンドギャップ縮小の効果が大きくなるためである。また、この活性層20のGaAs0.94N0.01P0.05障壁層19の成長にあたっては、Ga原料としてTEGを、窒素(N)の原料としてDMHとNH3との混合ガスを、用いることが好ましい。Ga原料としてTEGを用いることで、光学的な吸収損失の原因となるCの濃度を下げることができる。また、窒素の原料としてDMHに加えてNH3を用いることで、結晶からの窒素の離脱を抑制し、DMHの利用効率をあげて、さらにC濃度を下げることができる。これにより、C濃度が低く特性が高いGaAs0.94N0.01P0.05障壁層19を制御性良く成長することができる。なお、窒素(N)の原料のDMHとNH3とは、成長温度600℃で、十分に分解する。このため、窒素(N)の原料としてDMHまたはNH3の一方のみを用いることもできる。また、活性層20以外の層の形成に当たっては、TMAの分解効率をあげるために、成長温度を640℃とすることができる。この場合は、活性層20とその上下のGaAsバッファー層23との間に2分間の成長中断を行い、その間に成長温度を変更することができる。
【0068】
以上説明した図11の面発光レーザでは、障壁層19をGaAs0.94N0.01P0.05としたが、これをGaAs1−s−tNsPt(0≦s≦0.03、0≦t≦15s)とすることもできる。このように障壁層19に、濃度3%以下の窒素を添加することで、GaAsからなる障壁層に比べ、障壁層19のバンドギャップを小さくことができる。また、窒素濃度が3%以下であれば、上記の製造方法において、500℃〜640℃の成長温度で、障壁層19に容易に窒素を添加することができる。もっとも、GaAsに窒素(N)のみを添加した障壁層を用いると、障壁層のバンドギャップが小さくなりすぎ、障壁層のバリアが低くなりすぎて、発光層21からの発光の温度依存性が悪くなる。そこで、障壁層19にリン(P)も添加することで、バンドギャップが小さくなりすぎるのを防ぐことができる。ただし、リン(P)を添加しすぎると障壁層19のバンドギャップを小さく効果が得られなくなるので、GaAs1−s−tNsPt障壁層19において、P組成tはN組成sの15倍以内とする。
【0069】
(第4の実施の形態)
第4の実施の形態の面発光レーザの特徴の1つは、第1の実施の形態の面発光レーザ(図8、図9)において、GaAs基板12として、傾斜基板(ミスカット基板、オフ基板)を用いた点である。このように傾斜基板を用いた以外は、第1の実施の形態と同様である。また、発光波長も、第1の実施の形態と同じ1.26μmである。以下では、図9を参照にして、説明する。
【0070】
本実施例では、(001)面から(1−11)方向に1°傾斜したGaAs基板12を用いている。GaAs基板12は傾斜基板であるが、GaAs基板12の表面と、活性層20の表面と、は平行である。このようにミスカットのある基板12を用いることにより、さらに特性が高い素子を提供することができる。
【0071】
すなわち、傾斜基板を用いない場合は、発光層21において、[−111]方向,[1−11]方向、[111]方向、[−1−11]方向、に沿って形成されたオーダリング構造が混在する。これに対し、傾斜基板を用いると、特定の方向に沿ったオーダリング構造のみが形成され易くなる。このため、発光層21において結晶がさらに規則的に配置され、光学特性が明確な方位依存性を有するようになる。そして、内部ゲイン、光の密度、とも明確な方向性をもつようになる。この方向性を利用することで、横モードの安定した動作が得られ、DCモードで光出力を大きくした場合でも、光出力の変動を小さくすることができる。また、高周波変調をかけた場合にも、横モード動作が安定し、光出力の変動が小さい発光面発光が得られる。また、閾値を0.5mAまで低くし、光出力を3mAまで大きくすることができる。
【0072】
以上説明した本実施形態のレーザでは、GaAs基板12の傾斜角度を1°としたが、これを0°以上15°以下、好ましくは1°以上3°以下とすることができる。傾斜角度を1°以上とすると、上記の内部ゲインおよび光の密度の上昇を効果的に行うことができる。また、傾斜角度を3°以下にすれば、メサ構造等の形成におけるエッチング速度や酸化速度はほぼ等方的であり、製造プロセスが行いやすい。また、傾斜角度を3°以下にすれば、電流の広がりが等方的であり、電流注入の均一性を高くすることができる。また、傾斜角度が0°以上15°以下のGaAs基板は、量産可能で、安価で入手できる。
【0073】
以上説明した各実施の形態では、光半導体素子として、半導体レーザについて説明した。しかし、これをLED等の他の半導体発光素子に用いることも可能である。また、半導体受光素子に用いることも可能である。半導体発光素子に用いた場合は井戸層は発光層となり、半導体受光素子または吸収型変調器に用いた場合は井戸層は受光層(吸収層)となる。なお、この場合、活性層を発光層または受光層と把握することもできる。
【0074】
また、以上説明した各実施の形態では、活性層を多重量子井戸構造にした場合について説明したが、これを単一量子井戸構造とすることもできる。また、活性層を、臨界膜厚を越えない範囲で、厚膜化することもできる。
【0075】
【発明の効果】
本発明によれば、発光波長または受光波長が1.20μm〜1.35μmの長波長の光半導体素子において、GaAs基板と、PtCu型オーダリング構造Ga1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層と、を用いたので、低コストで特性が高い素子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】PtCu型のオーダリング構造のGa1−xInxAs発光層3を有するサンプルの断面図。
【図2】PtCu型のオーダリング構造のGa1−xInxAs(x=0.5)の結晶構造を示す図。
【図3】通常の結晶構造(ランダム混晶)のGa1−xInxAs(x=0.5)の結晶構造を示す図。
【図4】本発明者の実験により得られた、PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAs(x=0.25、0.53)の、成長温度と、バンドギャップ縮小量と、の関係を示す図。
【図5】本発明者の実験により得られた、PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAsの、In組成xと、バンドギャップ縮小量と、の関係を示す図。
【図6】本発明者の実験により得られた、Ga1−xInxAsの、In組成xと、発光波長と、の関係を示す図。
【図7】従来技術により敷衍できる知識に基づく、オーダリング構造のGa1−xInxAsの、In組成xと、バンドギャップ縮小量と、の関係を示す図。
【図8】本発明の第1の実施の形態の面発光レーザの斜視図。
【図9】本発明の第1の実施の形態の面発光レーザの断面図。
【図10】本発明の第2の実施の形態の端面出射型レーザの断面図。
【図11】本発明の第3の実施の形態の面発光レーザの断面図。
【図12】通常の結晶構造のGaInAsの、In組成と、バンドギャップおよび波長と、の関係を示す図。
【図13】GaAs上に形成されたGaInAsの、In組成と、GaAsに対する熱平衡理論による臨界膜厚と、の関係を示す図。
【符号の説明】
1 GaAs基板
3 PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAsからなる井戸層(発光層)
4 GaAsからなる障壁層
5 活性層
12 GaAs基板
19 障壁層
20 活性層
21 PtCu型オーダリング構造の井戸層
118 活性層
【発明の属する技術分野】
本発明は、光半導体素子およびその製造方法に関し、特に、波長1.2μm〜1.35μmの光通信用の長波長の光半導体発光素子およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
発光波長1.2μm〜1.35μm帯の光半導体素子は、光通信用の発光素子あるいは受光素子として注目されている。この長波長の光半導体発光素子としては、従来、InPからなる基板(支持基板)上に、GaInAsP系材料からなる発光層を形成した構造が用いられていた。この構造では、GaInAsP発光層の発光波長が0.92〜1.65μmになるようにすれば、発光層と基板との格子定数が近くなる。このように基板との格子定数が近い材料は、成長装置、基板、および成長原料をそろえれば、その製造は容易である。また、この構造では、GaInAsP発光層を薄膜化し、量子井戸構造(歪量子井戸構造)の発光層を用いる方法が実用化されている。そして、この構造では、発光層と基板との格子定数が近いために、発光層の歪量(格子不整量)を臨界歪以下としながら所定の発光波長が得られ、発光層が良質に形成される。このため、この量子井戸構造等を用いて、実用可能な発光効率が得られている。この結果、現在でも、長波長の光半導体発光素子では、このInP基板を用いた半導体発光素子が主流となっている。
【0003】
しかし、InP基板を使用した半導体発光素子は、高価である。これは、InP基板が高価であるためである。また、この素子は、温度特性が悪い。例えば、InP基板を用いた半導体レーザでは、閾値の特性温度が〜70Kと低くなってしまう。
【0004】
そこで、安価で温度特性に優れた長波長の光半導体素子を得るために、安価で熱伝導率が高いGaAs基板を用いた長波長の光半導体素子の開発が進められている。
【0005】
すなわち、GaAs基板は、従来、発光波長0.98μmの半導体発光素子の基板として用いられていた。この発光波長0.98μmの素子は、GaAsからなる基板と、Ga1−xInxAsからなる発光層と、を備えている。GaAs基板は、支持基板であり、厚さは60μm以上である。また、Ga1−xInxAs発光層は、量子井戸の構造であり、厚さは数〜数十nmである。このGa1−xInxAsのIn組成xは、発光波長0.98μmの素子では、0.15未満である。このような低In組成のGaInAs発光層は、GaAs基板と格子定数が近く、GaAs基板上への成長が容易である。このため、発光波長0.98μmの半導体発光素子では、GaAs基板を用いて、優れた特性が得られている。そこで、この素子と同様の材料系により、発光波長1.2〜1.35μmの長波長の光半導体素子を得る方法の開発が進められている。
【0006】
もっとも、他の材料系で行われている通常の方法では、GaAs基板とGa1−xInxAs発光層とを用いて長波長光通信に適用できる素子を得ることはできない。これを図12、図13を用いて説明する。図12は、Ga1−xInxAsの、In組成xと、バンドギャップおよび波長(以下、波長とする)と、の関係を示す図である。図12中のM1は、Ga1−xInxAsの、In組成xと、波長と、の関係の計算値を示す。このM1では、量子化準位は無視している。また、図12中のM2は、膜厚をGaAs基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚にして形成したGa1−xInxAsの、量子化準位の上昇によるバンドギャップの上昇値を示す。また、また図12中のM3は、GaAs基板上に臨界膜厚以下で形成したGa1−xInxAs発光層の、In組成xと、波長の上限と、の関係を示す。このM3は、M1+M2と等しい。図12のM1に示すように、Ga1−xInxAsのバンドギャップEg(x)の計算値は、Eg(x)=(1.43−1.516x+0.466x2)である(例えば、非特許文献1参照)。また、波長λ[eV]とバンドギャップEg[eV]の関係は、λ=1.24/Egで表される。このため、Ga1−xInxAsは、量子化準位を無視した計算では、In組成が高いほど波長が長くなる。しかし、Ga1−xInxAsのIn組成を高くするほど、Ga1−xInxAsとGaAsの格子定数差が大きくなる。そして、格子定数差が大きくなりすぎると、結晶中に欠陥が導入されてしまう。この欠陥を防止して高品質な結晶を成長するためには、Ga1−xInxAs発光層を、GaAs基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下の膜厚で形成する必要がある。この臨界膜厚と、In組成と、の関係は図13のようになる。この図13から分かるように、Ga1−xInxAs発光層のIn組成xを高くすると、臨界膜厚が薄くなる。ところが、臨界膜厚が薄くなると、図12のM2に示すように、臨界膜厚のGa1−xInxAs発光層の量子化準位の上昇が顕著になる。このため、GaAs基板上に臨界膜厚以下の膜厚のGa1−xInxAs発光層を形成する場合、一定値以上にIn組成を大きくすると、図12のM3に示すように、かえって発光波長は短くなってしまう。以上の理由により、Ga1−xInxAs発光層をGaAs基板上に形成した場合、図12のM3に示すように、通常の方法では、波長を1.2μmよりも長くすることはできない。
【0007】
そこで、このようなGaInAs/GaAs系材料の限界を克服するための技術として、発光層の膜厚を基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚以上の膜厚で形成する方法、発光層としてGaInAsに他の原料を加えた材料を用いる方法、が提案されている。また、原理的には、発光層にオーダリング構造を用いる方法の可能性も考えられる。
【0008】
【非特許文献1】
末松安晴編著「半導体レーザと光集積回路」オーム社、1984年
4月25日、p396
【非特許文献2】
「アプライドフィジックスレターズ(Applied Physics Letters)」、(米国)、アメリカンインスティチュートオブ フィジックス(American Institute ofPhysics)、1993年、第62巻、第15号、p.1806−1808
【非特許文献3】
「アプライドフィジックスレターズ(Applied Physics Letters)」、(米国)、アメリカンインスティチュートオブ フィジックス(American Institute ofPhysics)、1990年、第56巻、第15号、p662−664
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来、発光波長1.2μm〜1.35μmの長波長の光半導体素子において、GaAs基板を用いて、低コストで特性が高い素子を得ることはできなかった。つまり、上述のいずれの方法でも、低コストで特性が高い素子は得られていなかった。以下、説明する。
【0010】
まず、第1の方法はGa1−xInxAs発光層の膜厚をGaAs基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚以上の膜厚で形成する方法である。この方法としては、Ga1−xInxAs発光層とGaAs基板との間に歪を緩和するバッファー層を設ける方法や、Ga1−xInxAs発光層の結晶成長を低温で行う方法がある。このうち前者のバッファー層を設ける方法は、バッファー層中に転移を導入することにより、GaAs基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚よりも厚い膜厚のGa1−xInxAs発光層を形成する方法である。しかし、この方法では、結晶中に多数の転移を導入するため、光学的品質の悪い結晶となり、光半導体素子として充分な特性を得ることはできない。また、後者の方法は、低温の非平衡条件で擬安定状態のGa1−xInxAs発光層を結晶成長することにより、GaAs基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚よりも厚い膜厚のGa1− xInxAs発光層を形成する方法である。この方法では、発光層の波長を長くして、発光波長が1.2μmを超える素子が得られている(図6参照)。しかし、その効果は限定的であり、発光波長が1.22μmよりも長い素子は得られていない。また、擬安定状態の結晶を用いているために、結晶中に欠陥が少しずつ導入されやすく、通常の結晶と比べると、発光効率が低下することが避けられない。
【0011】
次に、第2の方法は、GaInAs発光層に他の原料を加えた発光層を用いる方法である。この方法としては、発光層にGaInAsNやGaInAsNSbを用いる試みがなされている。このうち、GaInAsN発光層を用いる方法は、発光層に原子半径の小さいNを混ぜることで、発光層と、基板と、の格子定数差を減らそうとする方法である。この方法では、温度特性に優れた半導体レーザが形成できることが報告されている。しかし、この方法では、窒素濃度を高くしすぎると、発光効率が低くなる。逆に、窒素濃度を低くすれば、発光層と基板との格子定数差を小さくすることはできない。このため、この方法では、発光効率を十分に高くすることができなかった。そこで、発光層にGaInAsNSb(またはGaInAsSb)を用いる方法も提案されている。この方法では、長波長の発光が可能であり、半導体レーザとしての特性の初期値も優れている。しかし、この方法では、結晶中の元素の種類が多く、極めて複雑なプロセスを行わなければならない。しかも、結晶中の元素の種類が多いために、結晶的に不安定である。このため、歩留まりや生産性が悪くてコストを低下させることが困難であり、また、長期の信頼性の確保が難しい。
【0012】
次に、原理的に可能性のある方法として、通常の結晶構造(ランダム混晶)に代えて、オーダリング構造を用いる方法がある。このオーダリング構造を用いる方法は、他の材料系に関するものとしては、例えば、非特許文献2および3に記載されている。この方法は、通常の結晶構造(ランダム混晶)に代えて、オーダリング構造を用いることで、バンドギャップを縮小させ、長波長を得ようとする方法である。例えば、非特許文献2には、InP基板上に、オーダリング構造のGa0.47In0.53As発光層を設けることで、ランダム混晶よりもバンドギャップが67meV小さい発光層を得る方法が記載されている。このオーダリング構造は、例えば、非特許文献2の図2に示されているように、電子回折像を見ることで、確認することができる。しかし、このオーダリング構造を、GaAs基板とGaInAs発光層とを備える光半導体素子に適用する方法は、開発されていない。なぜなら、GaAs基板上に形成するGa1−xInxAs発光層では上記のようにIn組成xを低くしているが、この低In組成xのGa1−xInxAs発光層ではオーダリングによるバンドギャップ縮小効果は小さく、発光波長を大幅に長くするような効果は得られないと考えられていたからである。また、そもそもGaAs基板上にオーダリング構造のGa1−xInxAs発光層を形成する製造方法が分からなかったからである。
【0013】
このように、発光波長または受光波長が1.2μm〜1.35μmの長波長の光半導体素子においては、GaAs基板を用いても、低コストで特性が高い素子は得られていなかった。
【0014】
本発明は、かかる課題の認識に基づくもので、その目的は、発光波長または受光波長が1.2〜1.35μmの長波長の光半導体素子において、低コストで特性が高い素子を得ることである。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明の光半導体素子は、GaAs基板と、前記GaAs基板上に形成されGa1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層であって、前記Ga1−xInxAsがPtCu型オーダリング構造を有するものとして構成された活性層と、を備えることを特徴とする。
【0016】
また、本発明の光半導体素子は、GaAs基板と、前記GaAs基板の(001)面から0°以上15°以下傾斜した面上に形成されGa1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層であって、前記GaAs基板の前記(001)面の結晶軸方向を[001]方向として、前記Ga1−xInxAsが、[−111]方向、[1−11]方向、[111]方向、[−1−11]方向、のいずれかの方向に沿って、Ga1−x+η/2Inx−η/2As(0<η≦2x)からなる第1の層と、Ga1−x−η/2Inx+η/2Asからなる第2の層と、が交互に積層された構造を有するものとして構成された活性層と、を備えることを特徴とする。ここで[−111]方向等の記載方法は、図2に示すとおりである。
【0017】
また、本発明の光半導体素子の製造方法の特徴は、GaAs基板と、前記GaAs基板上に形成されGa1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層と、を備える光半導体素子の製造方法であって、成長温度を550℃以上620℃以下とし、成長圧力を50Torr以上300Torr以下とし、ガリウム原料と、インジウム原料と、砒素原料と、を含む原料ガスを用い、前記原料ガスを、分解可能な温度よりも低い温度の第1の領域から、前記成長温度の第2の領域を経て、前記GaAs基板上に送り込み、前記原料ガスを、分解可能な温度領域に達してから前記GaAs基板上に到達するまでの時間が0.4秒以下になるようにして、前記GaAs基板上に前記Ga1−xInxAsを形成することを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細な説明を行う前に、本発明の前提となる、本発明者の独自の実験の結果について説明する。
【0019】
前述のように、従来は、GaAs基板とGa1−xInxAs発光層とを用いた光半導体素子において、発光層を基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下の膜厚で形成し、かつ1.2μm以上の波長λを得ることは、できないと考えられていた(図12のM3)。しかしながら、本発明者は、GaAs基板上に形成されたGa1−xInxAs発光層において、通常の結晶構造(ランダム混晶)に代えてPtCu型オーダリング構造を用いることで、大きなバンドギャップ縮小効果(オーダリング効果)が得られることを独自に知得した。そして、PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAs発光層を用いることで、発光層を基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下の膜厚で形成し、かつ、1.2μm以上の長い発光波長λが得られることを知得した。この知得に基づき、PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAs発光層と、GaAs基板と、を用いて低コストで特性が高い長波長の光半導体素子を得られることが分かった。
【0020】
このPtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAs活性層は、成長圧力を50〜300Torrとし、かつ、従来に比べて流速を5〜10倍程度早くする成長条件で、得ることができる。このような成長条件は、V族原料の利用効率が悪いことから、従来は用いられていなかった。しかし、本発明者は、意図的にこの条件を用いることで、オーダリング構造のGa1−xInxAs活性層を得られることを独自に知得した。
【0021】
図1は、本発明者が上記の実験に用いたサンプルの基本構造を示す断面図である。n型のGaAs基板1の(001)面上には、GaAsからなるn型クラッド層2、Ga1−xInxAs井戸層(発光層)3とGaAs障壁層4とを交互に複数積層した活性層5、GaAsからなるp型クラッド層6、が順次形成されている。結晶成長層1〜6は、成長原料としてAsH3(アルシン)、TMG(トリメチルガリウム)、TEG(トリエチルガリウム)、TMI(トリメチルインジウム)、を用いて、MOCVD法で形成される。図1のサンプルの特徴の1つは、Ga1−xInxAs発光層3が、通常の結晶構造ではなく、PtCu型オーダリング構造になっている点である。このPtCu型オーダリング構造を、図2、図3を参照にして説明する。
【0022】
図2は、PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAsの結晶構造を説明するための図である。ここでは、理解を容易にするため、In組成xが0.5の場合を示している。また、図3は、通常の結晶構造(ランダム混晶)のGa1−xInxAsの結晶構造を示す図である。ここでも、同様に、In組成xが0.5の場合を示している。図2、図3に示すように、Ga1−xInxAsの結晶構造は、面心立方格子の1つであるせん亜鉛鉱構造である。この構造では、III族元素(Ga、In)のサイトと、V族元素(As)のサイトと、が決まっている。この構造において、ランダム混晶では、図3に示すように、III族元素の位置にランダムにGaとInが配置される。これに対し、PtCu型オーダリング構造では、図2に示すように、結晶表面が(001)面である場合に、[−111]方向に垂直な面に同一のIII族原子が集まるように、規則的に、GaとInが配置される。つまり、[−111]方向に沿って、GaAsからなる第1の層と、InAsからなる第2の層と、が交互に周期的に積層された構造となる。
【0023】
上記の図2は、In組成xが0.5のGa1−xInxAsを示している。In組成xが0.5以下の場合は、図2のオーダリング構造は、[−111]方向に沿って、Ga1−x+η/2Inx−η/2As(0<η≦2x)からなる第1の層と、Ga1−x−η/2Inx+η/2As(0<η≦2x)からなる第2の層と、が交互に周期的に積層された構造となる。ここで、ηは、オーダリングパラメータ(ordering parameter)であり、0から1までの値をとり、1のときにオーダリング効果が最大となる。なお、図2では、このオーダリングパラメータηが1となる理想的な場合について示している。
【0024】
また、図2と等価なPtCu型オーダリング構造として、図2から分かるように、[1−11]方向、[111]方向、または[−1−11]方向に沿って、Ga1−x+η/2Inx−η/2As(0<η≦2x)からなる第1の層と、Ga1−x−η/2Inx+η/2As(0<η≦2x)からなる第2の層と、が交互に積層された構造を用いることもできる。
【0025】
このように、PtCu型オーダリング構造は、[−111]方向、[1−11]方向、[111]方向、[−1−11]方向、のいずれかの方向に2つの層が交互に周期的に配置された構造である。このオーダリング構造(図2)では、後述のように、ランダム混晶(図3)に比べてバンドギャップが縮小する。なお、このような周期性を持った構造は、電子線回折等の回折像で確認することができる。
【0026】
上記のオーダリング構造をGaAs基板1上のGa1−xInxAs発光層3に用いるため、本発明者は、その製造方法について検討した。その結果、次のような条件で形成すると、オーダリング構造(図2)の発光層3が得られた。すなわち、原料ガスとして、TMG、TMI、AsH3を用い、流速は、従来に比べて1桁程度早くする。具体的には、上記の原料ガスが、分解可能な温度領域(350℃以上の温度の領域)に達してから、GaAs基板1上の領域(境界層)に達するまで、0.08秒〜0.7秒、好ましくは0.1秒以上0.4秒以下にする。ここで、GaAs基板1上での原料ガスの流速は、反応炉に入るときの原料ガスの流速の10%以下である。また、成長圧力は、意図的に、V族原料(AsH3)の分解効率が悪い値にする。具体的には、50Torr以上300Torr以下、好ましくは70Torr以上200Torr以下にする。V/III比は10〜300、好ましくは30〜300にする。これらの条件では、成長速度は、1μm/hr以上6μm/hr以下、好ましくは1μm/hr以上2μm/hr以下、になる。
【0027】
さらに、本発明者は、上記の成長条件で、発光層3の成長温度と、ランダム混晶と比べた発光層3のバンドギャップ縮小量と、の関係を調べた。その結果を図4に示す。図4は、Ga1−xInxAs発光層3のIn組成を0.25とした場合と、0.53にした場合と、を示している。この図4から、成長温度が550℃以上620℃以下の範囲で、バンドギャップ縮小量が大きくなることが分かる。
【0028】
以上の結果から、流速、成長圧力、を所定の範囲にし、成長温度を550℃以上620℃以下にすることで、オーダリング構造のGa1−xInxAs発光層31が得られることが分かる。なお、バンドギャップは、例えば吸収スペクトル測定ないしPL測定により測定する。
【0029】
次に、本発明者は、上記の成長条件で成長させたPtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAs発光層3について、In組成xと、バンドギャップ縮小量と、の関係を調べた。その結果を図5に示す。図5は、成長温度が上限620℃の場合と、下限550℃の場合と、を示している。図5から分かるように、In組成が約0.25の時に最も大きなバンドギャップ縮小量が得られる。また、In組成が0.15以上0.4以下であれば、バンドギャップ縮小量が70meV以上と大きくなる。このような大きなバンドギャップ縮小量により、発光層3の発光波長を大幅に長くすることができる。
【0030】
図6は、オーダリング構造(図2)の発光層3を用いた図1の素子の、Ga1−xInxAs発光層3のIn組成と、この発光層3の発光波長と、を示す図である。
【0031】
この図6は、GaAs基板1に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下の膜厚でGa1−xInxAs発光層3を形成した場合に得られる、発光波長を示している。また、図中には、比較例として、ランダム混晶(図3)の発光層を用いた通常の素子の発光波長(図12参照)、および、前述の低温成長のランダム混晶の発光波長、も示している。図中、L1が図1の素子の発光波長、L2が通常の素子の発光波長、L3が低温成長発光層を用いた素子の発光波長、を示す。図6のL1から、発光層3のIn組成を0から徐々に増加させると、徐々に発光波長が長くなり、In組成が約0.2以上で、発光波長が1.2μm以上となる。In組成を増加させ、In組成を約0.3とすると、発光波長が約1.3μmとなる。In組成をさらに大きくしようとすると、発光層3と、基板1と、の格子定数差が大きくなり、発光層3の臨界膜厚が薄くなる(図13)。これにより、厚膜の発光層3が形成できなくなり、発光層3の量子化準位の上昇が大きくなる(図12のM2)。このため、図6から分かるように、Ga1−xInxAs発光層3のIn組成xを約0.35よりも大きくしていくと、発光波長は短くなっていく。そして、In組成を0.53より大きくすると、膜厚を薄くしても発光層3を形成することができなくなる。このように、オーダリング構造の発光層を用いた図1の素子では、In組成を約0.2〜0.4とすることで、1.2〜1.3μmの長い発光波長が得られる。
【0032】
これに対し、図6から分かるように、ランダム混晶の発光層を用いた通常の素子L2では、発光波長1.2μm以上の素子は得られない。また、低温成長の発光層を用いた素子L3でも、発光波長が1.22μm以上の素子は得られない。
【0033】
もっとも、オーダリング構造の発光層3を用いた図1の素子において、上記の図6のような長い発光波長が得られることは、従来の技術常識に反する結果である。なぜなら、従来は、図5のような大きなバンドギャップ縮小値は得られないと考えられていたからである。すなわち、従来、他の材料系の基板とGaInAs発光層とを用いた光半導体素子において、オーダリング構造の発光層を用いた場合、そのバンドギャップ縮小量は、最大でも70meV未満にすぎなかった。また、従来の技術常識では、オーダリングによるバンドギャップ縮小量が最大になるのは、Ga1−xInxAsにおいて、GaとInの比が1:1の時、つまりIn組成xが0.5の時であると考えられていた。これは、GaとInの比が1:1の時に、図2におけるオーダリング構造の周期性の影響が最も強くなると考えられていたからである。これらの従来の技術は、例えば、非特許文献2および3に記載されている。この従来の技術から敷衍できる図1のGa1−xInxAs発光層3のバンドギャップ縮小量を、例えば非特許文献3の手法に基づき見積もると、図7のようになる。この図7からは、In組成が0.5、つまりGaとInの比が1:1の時にバンドギャップの縮小量は最大となる。そして、上記のように現在得られているバンドギャップの縮小量が最大で70meV未満であることからすれば、従来の技術常識では、オーダリングパラメータηは最大でも0.4〜0.5程度と考えられることが分かる。この図7でη=0.4〜0.5の場合を見ると、バンドギャップ縮小量は、In組成が0.5未満であれば、当然70meV未満になると予想される。しかしながら、本発明者の実験によれば、この従来の技術常識に反し、図5に示すように約140meVの大きなバンドギャップ縮小量が得られた。また、本発明者の実験によれば、発光層3のIn組成が約0.5のときよりも(図7)、In組成が約0.25のときの方が(図5)、バンドギャプ縮小量が大きくなった。つまり、発光層3のInとGaとの比が1:1の時よりも、この比が1:3のときの方が、バンドギャップ縮小量が大きくなった。この理由について、本発明者は、次のように考えている。すなわち、オーダリング構造は、図2から分かるように、一種の相分離構造であり、相分離が起こりやすい条件にすると結晶配列がそろいやすくなる。そして、InGaAsは1個のV族原子(As)に対し4個のIII族原子(In、Ga)が配位した結晶構造であり(図2)、格子定数が大きいIII族元素(In)と格子定数が小さいIII族元素(Ga)との比を1:3に近づけると、混晶化エネルギーが大きくなって、相分離が起こりやすくなる。さらに、InとGaとの比を1:3に近づけたInGaAs発光層3をGaAs基板1上に形成した場合には、GaAs基板1と、発光層3と、に格子定数差があるために、相分離が起こりやすくなる。また、GaAs基板の(001)面上にInGaAsを形成すると、面方位の関係からも、相分離が起こりやすくなる。このため、図1の素子では、GaAs基板1を用い、発光層3のInとGaとの比を1:3に近づけ、発光層3のIn組成を0.25に近づけることで、結晶配列がそろいやすくなる。この結果、図1の素子では、オーダリングパラメータηが従来の技術常識に比べてはるかに大きくなり、オーダリングパラメータηが1に近づいて、バンドギャップ縮小量が大きくなると考えている。このようにして、図1の素子では、従来得られなかった70meV以上のバンドギャップ縮小量が得られる。
【0034】
以上説明した図1のサンプルでは、GaAs基板1のいわゆる(001)ジャスト(just)面上にGaInAs発光層3を形成した場合について説明したが、GaAs基板1の(001)面から0°以上15°以下傾斜した面上にGaInAs発光層3を形成した場合も、同様のオーダリング効果が得られた。このような傾斜角度15°以下のGaAs基板は、量産可能で、安価で入手できる。なお、GaAs基板1の(001)面から0°傾斜した面とは、GaAs基板1の(001)面を意味する。
【0035】
以上のように、本発明者は、PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAs発光層3を用い、そのIn組成を0.2〜0.4とすることで、GaAs基板を用いた長波長の光半導体素子を提供できることを知得した。以下の実施の形態では、上記の知得に基づいてなされた光半導体素子の具体的な構造を説明する。
【0036】
(第1の実施の形態)
図8は、本発明の第1の実施の形態の光半導体素子を示す斜視図である。また、図9は、図8の素子の層構造を説明するための断面図である。この素子は、Ga0.75In0.25As/GaAs活性層20を用いた面発光レーザである。この面発光レーザの特徴の1つは、活性層20の井戸層(発光層)21をオーダリング構造(図2参照)とした点である。これにより、Ga1−xInxAs井戸層21のIn組成xが0.25と低いにもかかわらず、発光波長λを1.26μmと長くすることができる(図6)。
【0037】
図8、図9の素子では、n型のGaAs基板12の(001)面上に、膜厚0.5μmのn型GaAsからなるバッファー層(n型ドーパント濃度1×1018cm−3)14、屈折率n1で厚さがλ/4n1のn型GaAs層と屈折率n2で厚さがλ/4n2のn型Al0.9Ga0.1As層とを交互に30ペア積層したDBR構造を有する下部DBRミラー層16、膜厚152nmのノンドープGaAsからなる下部クラッド層18、活性層20、膜厚152nmのノンドープGaAsからなる上側クラッド層22、屈折率n3で厚さがλ/4n3のp型GaAs層と屈折率n4で厚さがλ/4n4のp型Al0.9Ga0.1As層とを交互に24ペア積層したDBR構造を有する上部DBRミラー24、層厚10nmのp型GaAsからなるキャップ層26、が順次形成されている。ここで、下部DBRミラー層16は、具体的には、n型GaAs層の厚さが94nm、n型Al0.9Ga0.1As層の厚さが110nm、である。また、上部DBRミラー層24は、p型GaAs層の厚さが94nm、p型Al0.9Ga0.1As層の厚さが110nm、であり、最下層は、図9に示すように、厚さ45nmのp型Al0.9Ga0.1As下側バッファー層30、厚さ20nmのAlAs層28、厚さ45nmのp型Al0.9Ga0.1As上側バッファー層32、よりなっている。
【0038】
上記の上部DBRミラー24は、図8に示すように、AlAs層28の側部を露出させるように、フォトリソグラフィー及びエッチング加工により、円形溝42が形成され、中央部がメサポストに加工されている。メサポストの外側からAlAs層28のAlを選択的に酸化させることにより、直径例えば5μmの未酸化のAlAs層28からなる電流注入領域と、Al酸化層40からなる電流狭窄領域が形成されている。このメサポスト上面を除き、溝42の壁を含む積層構造上全面に、SiNx膜44が保護膜として形成されている。また、p型GaAsキャップ層26に接触するリング状電極がp側電極46として設けられ、更に、電極引き出し用にTi/Pt/Auパッド48がp側電極46に接続するように形成されている。他方側の電極であるn側電極50は、裏面研磨により厚さが100nmとされたn型GaAs基板12の裏面に形成される。なお、基板12の厚さは約100μm、積層体14〜26の厚さは数μm、であるが図8、図9では理解を容易にするために縮尺を変えて示している。
【0039】
図8、図9の面発光レーザでは、p型電極46と、n側電極50と、から活性層20に電流が注入される。そして、活性層20から光が放射され、この光が上下のDBR16、24よりなる共振器中で増幅されてレーザ発振し、図中上側からレーザ光が放射される。ここで、光を放射する活性層20は、図9に示すように、膜厚4.5nmのGa0.75In0.25Asからなる井戸数(発光層)21と、膜厚20nmのGaAsからなる障壁層19と、を交互に積層した構造である。井戸数は2である。
【0040】
図8、図9の面発光レーザの特徴の1つは、活性層20の発光層21が、前述のPtCu型のオーダリング構造(図2参照)になっている点である。この発光層21は、In組成が0.25であるが、そのバンドギャップは0.93eVで、ランダム混晶と比べて約140meV小さい(図5)。このため、この発光層21は、In組成が0.25と低いにもかかわらず、1.26μmの長波長の光を放射する(図6)。
【0041】
以上説明した図8、図9の面発光レーザでは、GaAs基板12を用いた発光波長1.26μmの長波長のレーザにおいて、発光層21にPtCu型オーダリング構造を用いたので、Ga1−xInxAs発光層21のIn組成xを0.25と低くすることができる。これによりGaAs基板12と、発光層21と、の格子定数を近くし、発光層21の結晶性を向上させることができる。この結果、発光波長1.26μmの長波長のレーザにおいて、発光効率および光出力を高くすることができる。
【0042】
また、図8、図9の面発光レーザでは、Ga0.75In0.25As発光層21の膜厚をGaAs基板12に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下としながら1.26μmの長波長を実現できる。このため、この観点からも、発光層21の結晶性を向上させ、発光効率および光出力を高くすることができる。
【0043】
また、図8、図9の面発光レーザでは、Ga0.75In0.25As発光層21のIn組成が低いために、発光層21の臨界膜厚が4.5nmと厚い(図13)。このため、発光層21の厚さを容易に4.5nmまで厚くすることができる。このように発光層21を厚くすることで、光閉じ込め効果を大きくし、レーザの実効的な増幅率を高くすることができる。これにより、閾電流密度を下げ、温度特性を向上させ、光出力の最大値を大きくすることができる。
【0044】
また、図8、図9の面発光レーザでは、発光層21を厚くできるので、活性層20全体が厚くなる。このため、光ガイド層18、22と活性層20全体による光閉じ込めの効果を十分に大きくしながら、活性層20の外側の光ガイド層たるGaAs層18、22を薄くすることができる。このように光ガイド層18、22を薄くすることにより、内部ロスを小さくすることができる。これにより、さらに、閾電流密度を下げ、温度特性を向上させ、光出力の最大値を大きくすることができる。
【0045】
また、図8、図9の面発光レーザでは、活性層20を井戸層21と障壁層20との多重量子井戸構造としたので、単一量子井戸構造に比べ、活性層20全体の厚さを厚くし、レーザの中での光閉じ込めの効果を大きくすることができる。また、井戸層あたりの電流注入量を下げることができる。これらにより、上術のような発光層21の厚さを厚くするのと同様の効果をさらに得ることができる。このように、発光層21の各層が厚いことと、多重量子井戸構造であることと、の相乗効果により、閾電流密度の低減、レーザの温度特性の向上、微分効率の増大、最大光出力の向上の効果を高めることができる。
【0046】
また、Ga1−xInxAs発光層21は、温度特性も良好である。このため、図8、図9の面発光レーザは、長期の信頼性を確保することができる。
【0047】
また、図8、図9の面発光レーザでは、長波長のレーザにおいて、GaAs基板12を用いることができる。このGaAs基板12は熱伝導率が高い。このため、図8、図9の面発光レーザでは、さらに温度特性を高くすることができる。
【0048】
以上の効果により、図8、図9の面発光レーザにおいては、発光波長1.26μmで、閾値0.7mA以下、光出力2.5mW以上、CW発振が可能な限界温度が100℃以上、と優れた特性が得られる。
【0049】
さらに、図8、図9の面発光レーザのGaAs基板12は、III−V族化合物半導体の基板(支持基板)として広く用いられており、安価で、容易に入手でき、その特性や取り扱い方法も良く知られている。このため、図8、図9の面発光レーザでは、歩留まりや生産性を高くすることができる。これにより、従来の長波長のレーザに比べて、コストを下げることができる。
【0050】
次に、図8、図9の面発光レーザの製造方法について簡単に説明する。この面発光レーザは、MOCVD法で成長する。発光層21の成長原料にはTMG、TMI、AsH3を用い、その他の層の成長原料にはTEG、TMA、AsH3を用い、n型ドーピングとp型ドーピングの原料にはそれぞれSiH4とCBr4を用いる。成長温度は620℃とし、成長速度はAlGaAsは1μm/h、その他の層は2μm/hrとする。AsH3の供給は一定とする。V/III比はAlGaAsでは60、その他の層では30、とする。各層間の成長中断は数秒以内とし、非発光センターの導入を防ぐ。
【0051】
この図8、図9の面発光レーザの製造方法の特徴の1つは、発光層21の形成において、成長圧力を200Torrとし、かつ、H2キャリアガスの流速を早くして原料ガスが分解可能な温度領域からGaAs基板12上まで0.4秒以下で達するようにした点である。これにより、PtCu型オーダリング構造の発光層21が得られる。
【0052】
以上説明した図8、図9の面発光レーザの製造方法では、発光層21を低In組成のGa0.75In0.25Asとしたので、620℃の成長温度でこの発光層21を良質に結晶成長することができる。そして、他の層も、同じ620℃で、良質に結晶成長することができる。このため、図6、図7の面発光レーザでは、積層構造の結晶成長を全て一定の温度で行うことができる。これにより、Asの離脱や、非発光センターの形成を防止することができる。この結果、極めて光学特性の優れた結晶を利用することが出来る。
【0053】
また、図8、図9の面発光レーザの製造方法では、成長圧力や流速に工夫が必要だが、成長原料や成長基板は従来と同じものを用いることができる。また、成長温度も従来と同様であり、GaInAsN(Sb)系材料や低温成長GaInAsと異なり、特別な温度対策を行う必要はない。このため、製造コストが大きく上昇することはない。
【0054】
(第2の実施の形態)
第2の実施の形態の光半導体素子は、図10に示すように、端面出射型半導体レーザである。発振波長は、1.31μmである。
【0055】
n型GaAs基板110の(001)面上には、膜厚0.5μmのn型GaAsバッファー層(n型ドーパント濃度1×1018cm−3)112、層厚1.5μmのn型Al0.35Ga0.65Asからなる下部クラッド層114、膜厚20nmのGaAsからなる光ガイド層116、量子井戸活性層118、層厚70nmのノンドープGaAsからなる光ガイド層120、層厚100nmのp型Ga0.52In0.48P層122、層厚5nmのp型GaAs層124、厚さ1.5μmのp型Al0.35Ga0.65As層126、p型GaAsからなるコンタクト層128、が順次形成されている。p型GaAs層124から上側の領域は、図10に示すように、メサ構造150になっている。このメサ構造150の部分は、SiO2からなるパッシベーション膜130で覆われている。
【0056】
図10のレーザでは、p側電極132と、n側電極134と、から活性層118に電流が注入され、活性層118から波長約1.3μmの光が放射される。活性層118から放射された光は、図中手前側の端面と奥側の端面とで形成される共振器によって増幅されてレーザ光となり、図中手前側の面から紙面と垂直方向に取り出される。
【0057】
図10のレーザの特徴の1つは、量子井戸活性層118の井戸層がPtCu型オーダリング構造(図2参照)である点である。この量子井戸活性層118の構造は、GaInAs井戸層の膜厚とIn組成以外は、第1の実施の形態(図9)と同様である。このGaInAs井戸層は、膜厚3.5nmで、Ga0.68In0.32Asからなる。井戸層のバンドギャップは0.87eVであり、ランダム混晶よりもバンドギャップが0.12eV小さい(図5)。これにより、井戸層のIn組成を0.32と低くしながら、約1.3μmの長い発光波長を得ることができる(図6)。そして、Ga0.68In0.32As活性層の膜厚をGaAs基板110に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下としながら、約1.3μmの長い発光波長を実現できる。この結果、図10のレーザでは、波長約1.3μmの端面出射型半導体レーザにおいて、閾値5mA以下、光出力20mW以上、CW発振が可能な限界温度が150℃以上、の優れた特性を得ることができる。また、活性層118の井戸層の温度特性が優れているので、レーザとしての信頼性を高くすることもできる。
【0058】
図10のレーザの製造方法を簡単に説明すれば、次のとおりである。図10のレーザの各層は、全てMOCVD法で成長され、第1の実施の形態とほぼ同様の成長条件で成長される。第1の実施の形態で用いなかったGaInP層122の成長には、TMGと、TMIと、PH3と、を原料として用いている。図10のレーザの各層の堆積後は、コンタクト層128上に、幅5μmのストライプ状のSiO2マスクを形成する。そして、硫酸、過酸化水素系のエッチャントを用いてp型GaAs層124から上の層を選択エッチングする。その後、SiO2でパッシベーション膜130を形成し、SiO2パッシベーション膜130のメサ上面に孔をあけ、電極金属を堆積してp側電極132を形成する。さらに、ウェハーの裏面を研磨して120μm程度の厚さにし、裏面にn側電極134を形成する。その後、へき開により長さ250μmのレーザ共振器を作製し、SiNxとSiを用いて、手前側の端面に反射率70%の、奥側の端面に反射率97%の、HRコーティングを行って、図10のレーザが完成する。
【0059】
この図10の半導体レーザの製造方法の特徴の1つは、活性層118の成長において、GaInAs井戸層のGa原料にはTMG(トリメチルガリウム)を、GaAs障壁層のGa原料にはTEG(トリエチルガリウム)を、用いている点である。井戸層のV族原料にTMGを用いることで、井戸層をオーダリング構造にしやすくすることができる。また、障壁層のGaの成長原料にTEGを用いることで、障壁層のn型不純物濃度を3×1015cm−3以下と低くすることができる。このように障壁層の不純物濃度を低くすることで、吸収損失を小さくし、閾電流密度を400A/cm−2と低くすることができる。
【0060】
これに対し、活性層118の障壁層のGaの成長原料にもTMGを用いると、障壁層は、p型となり、不純物濃度は1×1016cm−3よりも大きくなる。このように障壁層の不純物濃度が高くなると、内部損失が大きくなり、閾電流密度は600A/cm−2まで大きくなってしまう。
【0061】
(第3の実施の形態)
第3の実施の形態の面発光レーザが第1の実施の形態の面発光レーザ(図9)と異なる点の1つは、図11に示すように、障壁層19に、GaAsに代えて、GaAs0.94N0.01P0.05を用いた点である。これにより井戸層21の歪を補償し、井戸層21のGaAs基板12に対する熱平衡理論による臨界膜厚を実効的にさらに厚くして、1.34μmの発振波長のレーザを得ることができる。このように1.34μmまで波長を長くすれば、WDM(Wavelength Division multiplexing、波長分割多重方式)を含めたさまざまな用途に、GaInAs/GaAs系レーザを適用することができる。
【0062】
図11は、本発明の第3の実施の形態の面発光レーザの積層構造を示す断面図である。活性層20の構造、および上下のクラッド層18、22の厚さ以外は、第1の実施の形態(図9)と同様である。活性層20中の井戸層21は、厚さ4nm、バンドギャップ0.86eV、のGa0.66In0.34Asからなる。また、活性層20の障壁層19は、GaAs0.94N0.01P0.05からなり、井戸層21の外側、井戸層21の間、のいずれも厚さ13nmである。活性層20の最上層と最下層には、それぞれ、厚さ10nmGaAsバッファー層23が設けられている。この活性層20を挟む上下のクラッド層18、22の厚さは、それぞれ、140nmである。
【0063】
図11の面発光レーザでは、障壁層19をGaAs0.94N0.01P0.05としている。このように障壁層19に砒素(As)よりも格子定数が小さいリン(P)および窒素(N)を添加することで、障壁層19の格子定数を小さくすることができる。これにより、厚い障壁層19と接している薄い井戸層21に圧縮歪をかけ、井戸層21の実効的な格子定数を小さくし、GaAs基板12と井戸層21との実効的な格子定数差を小さくすることができる。この結果、Ga0.67In0.33As井戸層21のGaAs基板12に対する熱平衡理論による臨界膜厚を4nmまで厚くし、臨界膜厚で形成したGa0.67In0.33As井戸層21の量子化準位の上昇を抑えることができる。また、障壁層19に組成0.01の窒素(N)を添加したので、障壁層19のバンドギャップをGaAsよりも約0.07eV狭くし、発光層21における遷移エネルギーを約0.02eV小さくすることができる。このため、発光層21の量子化準位の上昇をさらに抑えることができる。これにより、図11の面発光レーザでは、発光波長を1.34μmまで長くすることができる。
【0064】
また、図11の面発光レーザでは、井戸層21の膜厚がGaAs基板12に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下なので、特性を高くすることができる。
【0065】
また、図11の面発光レーザでは、障壁層19にGaAsNPを用いたので、GaAsを用いた場合に比べて障壁層19の屈折率を大きくし、光閉じ込めの効果を大きくすることができる。そして、このように障壁層19の屈折率を大きくすると、第1の実施の形態において説明した発光層21を厚くするのと同様の効果が得られ、レーザの実効的な増幅率を高くすることができる。このため、閾電流密度を下げ、温度特性を向上させ、光出力の最大値を大きくすることができる。また第1の実施の様態1と同様にGaAsバッファー層23を薄くすることができ、この層を薄くすることにより内部ロスを小さくし、さらに、閾電流密度を下げ、レーザの温度特性を向上させ、光出力の最大値を大きくすることができる。また、多重量子井戸構造を用いたので、さらに同様の効果が得られる。
【0066】
以上の効果により、図11の面発光レーザでは、閾値1mA以下、光出力1.5mW以上、CW発振の限界温度100℃以上、の優れた特性を得ることができる。
【0067】
図11の面発光レーザの製造方法は、第1の実施の形態と基本的に同様である。ただし、活性層20の成長温度は600℃とする。これは、活性層20の井戸層21にIn組成の高いGaInAsを用いた場合には、成長温度をやや低くした方が、オーダリングによるバンドギャップ縮小の効果が大きくなるためである。また、この活性層20のGaAs0.94N0.01P0.05障壁層19の成長にあたっては、Ga原料としてTEGを、窒素(N)の原料としてDMHとNH3との混合ガスを、用いることが好ましい。Ga原料としてTEGを用いることで、光学的な吸収損失の原因となるCの濃度を下げることができる。また、窒素の原料としてDMHに加えてNH3を用いることで、結晶からの窒素の離脱を抑制し、DMHの利用効率をあげて、さらにC濃度を下げることができる。これにより、C濃度が低く特性が高いGaAs0.94N0.01P0.05障壁層19を制御性良く成長することができる。なお、窒素(N)の原料のDMHとNH3とは、成長温度600℃で、十分に分解する。このため、窒素(N)の原料としてDMHまたはNH3の一方のみを用いることもできる。また、活性層20以外の層の形成に当たっては、TMAの分解効率をあげるために、成長温度を640℃とすることができる。この場合は、活性層20とその上下のGaAsバッファー層23との間に2分間の成長中断を行い、その間に成長温度を変更することができる。
【0068】
以上説明した図11の面発光レーザでは、障壁層19をGaAs0.94N0.01P0.05としたが、これをGaAs1−s−tNsPt(0≦s≦0.03、0≦t≦15s)とすることもできる。このように障壁層19に、濃度3%以下の窒素を添加することで、GaAsからなる障壁層に比べ、障壁層19のバンドギャップを小さくことができる。また、窒素濃度が3%以下であれば、上記の製造方法において、500℃〜640℃の成長温度で、障壁層19に容易に窒素を添加することができる。もっとも、GaAsに窒素(N)のみを添加した障壁層を用いると、障壁層のバンドギャップが小さくなりすぎ、障壁層のバリアが低くなりすぎて、発光層21からの発光の温度依存性が悪くなる。そこで、障壁層19にリン(P)も添加することで、バンドギャップが小さくなりすぎるのを防ぐことができる。ただし、リン(P)を添加しすぎると障壁層19のバンドギャップを小さく効果が得られなくなるので、GaAs1−s−tNsPt障壁層19において、P組成tはN組成sの15倍以内とする。
【0069】
(第4の実施の形態)
第4の実施の形態の面発光レーザの特徴の1つは、第1の実施の形態の面発光レーザ(図8、図9)において、GaAs基板12として、傾斜基板(ミスカット基板、オフ基板)を用いた点である。このように傾斜基板を用いた以外は、第1の実施の形態と同様である。また、発光波長も、第1の実施の形態と同じ1.26μmである。以下では、図9を参照にして、説明する。
【0070】
本実施例では、(001)面から(1−11)方向に1°傾斜したGaAs基板12を用いている。GaAs基板12は傾斜基板であるが、GaAs基板12の表面と、活性層20の表面と、は平行である。このようにミスカットのある基板12を用いることにより、さらに特性が高い素子を提供することができる。
【0071】
すなわち、傾斜基板を用いない場合は、発光層21において、[−111]方向,[1−11]方向、[111]方向、[−1−11]方向、に沿って形成されたオーダリング構造が混在する。これに対し、傾斜基板を用いると、特定の方向に沿ったオーダリング構造のみが形成され易くなる。このため、発光層21において結晶がさらに規則的に配置され、光学特性が明確な方位依存性を有するようになる。そして、内部ゲイン、光の密度、とも明確な方向性をもつようになる。この方向性を利用することで、横モードの安定した動作が得られ、DCモードで光出力を大きくした場合でも、光出力の変動を小さくすることができる。また、高周波変調をかけた場合にも、横モード動作が安定し、光出力の変動が小さい発光面発光が得られる。また、閾値を0.5mAまで低くし、光出力を3mAまで大きくすることができる。
【0072】
以上説明した本実施形態のレーザでは、GaAs基板12の傾斜角度を1°としたが、これを0°以上15°以下、好ましくは1°以上3°以下とすることができる。傾斜角度を1°以上とすると、上記の内部ゲインおよび光の密度の上昇を効果的に行うことができる。また、傾斜角度を3°以下にすれば、メサ構造等の形成におけるエッチング速度や酸化速度はほぼ等方的であり、製造プロセスが行いやすい。また、傾斜角度を3°以下にすれば、電流の広がりが等方的であり、電流注入の均一性を高くすることができる。また、傾斜角度が0°以上15°以下のGaAs基板は、量産可能で、安価で入手できる。
【0073】
以上説明した各実施の形態では、光半導体素子として、半導体レーザについて説明した。しかし、これをLED等の他の半導体発光素子に用いることも可能である。また、半導体受光素子に用いることも可能である。半導体発光素子に用いた場合は井戸層は発光層となり、半導体受光素子または吸収型変調器に用いた場合は井戸層は受光層(吸収層)となる。なお、この場合、活性層を発光層または受光層と把握することもできる。
【0074】
また、以上説明した各実施の形態では、活性層を多重量子井戸構造にした場合について説明したが、これを単一量子井戸構造とすることもできる。また、活性層を、臨界膜厚を越えない範囲で、厚膜化することもできる。
【0075】
【発明の効果】
本発明によれば、発光波長または受光波長が1.20μm〜1.35μmの長波長の光半導体素子において、GaAs基板と、PtCu型オーダリング構造Ga1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層と、を用いたので、低コストで特性が高い素子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】PtCu型のオーダリング構造のGa1−xInxAs発光層3を有するサンプルの断面図。
【図2】PtCu型のオーダリング構造のGa1−xInxAs(x=0.5)の結晶構造を示す図。
【図3】通常の結晶構造(ランダム混晶)のGa1−xInxAs(x=0.5)の結晶構造を示す図。
【図4】本発明者の実験により得られた、PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAs(x=0.25、0.53)の、成長温度と、バンドギャップ縮小量と、の関係を示す図。
【図5】本発明者の実験により得られた、PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAsの、In組成xと、バンドギャップ縮小量と、の関係を示す図。
【図6】本発明者の実験により得られた、Ga1−xInxAsの、In組成xと、発光波長と、の関係を示す図。
【図7】従来技術により敷衍できる知識に基づく、オーダリング構造のGa1−xInxAsの、In組成xと、バンドギャップ縮小量と、の関係を示す図。
【図8】本発明の第1の実施の形態の面発光レーザの斜視図。
【図9】本発明の第1の実施の形態の面発光レーザの断面図。
【図10】本発明の第2の実施の形態の端面出射型レーザの断面図。
【図11】本発明の第3の実施の形態の面発光レーザの断面図。
【図12】通常の結晶構造のGaInAsの、In組成と、バンドギャップおよび波長と、の関係を示す図。
【図13】GaAs上に形成されたGaInAsの、In組成と、GaAsに対する熱平衡理論による臨界膜厚と、の関係を示す図。
【符号の説明】
1 GaAs基板
3 PtCu型オーダリング構造のGa1−xInxAsからなる井戸層(発光層)
4 GaAsからなる障壁層
5 活性層
12 GaAs基板
19 障壁層
20 活性層
21 PtCu型オーダリング構造の井戸層
118 活性層
Claims (10)
- GaAs基板と、
前記GaAs基板上に形成されGa1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層であって、前記Ga1−xInxAsがPtCu型オーダリング構造を有するものとして構成された活性層と、
を備えることを特徴とする光半導体素子。 - GaAs基板と、
前記GaAs基板の(001)面から0°以上15°以下傾斜した面上に形成されGa1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層であって、前記GaAs基板の前記(001)面の結晶軸方向を[001]方向として、前記Ga1−xInxAsが、[−111]方向、[1−11]方向、[111]方向、[−1−11]方向、のいずれかの方向に沿って、Ga1−x+η/2Inx−η/2As(0<η≦2x)からなる第1の層と、Ga1−x−η/2Inx+η/2Asからなる第2の層と、が交互に積層された構造を有するものとして構成された活性層と、
を備えることを特徴とする光半導体素子。 - 前記Ga1−xInxAsのバンドギャップがランダム混晶のGa1−xInxAsよりも70meV以上小さいものとして構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の光半導体素子。
- 前記活性層が、前記Ga1−xInxAsからなる量子井戸層と、障壁層と、を交互に複数回積層した多重量子井戸構造であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の光半導体素子。
- 前記量子井戸層の膜厚が、前記GaAs基板に対する熱平衡理論による臨界膜厚以下の膜厚であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の光半導体素子。
- 前記障壁層が、GaAsからなることを特徴とする請求項4または請求項5記載の光半導体素子。
- 前記障壁層が、GaAs1−s−tNsPt(0≦s≦0.03、0≦t≦15s)からなることを特徴とする請求項4または請求項5記載の光半導体素子。
- 前記活性層が、前記GaAs基板の(001)面から1°以上3°以下傾斜した面上に形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の光半導体素子。
- GaAs基板と、前記GaAs基板上に形成されGa1−xInxAs(0.2≦x≦0.4)を含む活性層と、を備える光半導体素子の製造方法であって、
成長温度を550℃以上620℃以下とし、
成長圧力を50Torr以上300Torr以下とし、
ガリウム原料と、インジウム原料と、砒素原料と、を含む原料ガスを用い、
前記原料ガスを、分解可能な温度よりも低い温度の第1の領域から、前記成長温度の第2の領域を経て、前記GaAs基板上に送り込み、前記原料ガスを、分解可能な温度領域に達してから前記GaAs基板上に到達するまでの時間が0.4秒以下になるようにして、
前記GaAs基板上に前記Ga1−xInxAsを形成することを特徴とする、光半導体素子の製造方法。 - 前記活性層が、前記Ga1−xInxAsからなる量子井戸層と、GaとAsを含む障壁層と、を交互に複数回積層した多重量子井戸構造であり、
前記量子井戸層の前記ガリウム原料がトリメチルガリウムであり、
前記障壁層のガリウム原料がトリエチルガリウムであることを特徴とする請求項9記載の光半導体素子の製造方法。
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Cited By (4)
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JP2006270028A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-10-05 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体発光素子 |
JP2008085161A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Fuji Xerox Co Ltd | 表面発光型半導体アレイ素子、モジュール、光源装置、情報処理装置、光送信装置、光空間伝送装置、および光空間伝送システム |
JP2012504199A (ja) * | 2008-09-29 | 2012-02-16 | シュルンベルジェ ホールディングス リミテッド | 高温ダウンホール装置 |
JP2015167249A (ja) * | 2005-01-26 | 2015-09-24 | フィリップス ウニベルジテート マールブルグ | I/v半導体 |
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2003
- 2003-01-16 JP JP2003008736A patent/JP2004221428A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015167249A (ja) * | 2005-01-26 | 2015-09-24 | フィリップス ウニベルジテート マールブルグ | I/v半導体 |
JP2016213488A (ja) * | 2005-01-26 | 2016-12-15 | フィリップス ウニベルジテート マールブルグ | I/v半導体の製造方法 |
JP2019075540A (ja) * | 2005-01-26 | 2019-05-16 | フィリップス ウニベルジテート マールブルグ | I/v半導体の製造方法 |
JP2006270028A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-10-05 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体発光素子 |
US7756177B2 (en) | 2005-02-25 | 2010-07-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor light-emitting device |
JP2008085161A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Fuji Xerox Co Ltd | 表面発光型半導体アレイ素子、モジュール、光源装置、情報処理装置、光送信装置、光空間伝送装置、および光空間伝送システム |
JP2012504199A (ja) * | 2008-09-29 | 2012-02-16 | シュルンベルジェ ホールディングス リミテッド | 高温ダウンホール装置 |
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