JP2011142147A - 端面発光型半導体発光素子、端面発光型半導体発光素子の製造方法、画像表示装置、情報記録再生装置 - Google Patents
端面発光型半導体発光素子、端面発光型半導体発光素子の製造方法、画像表示装置、情報記録再生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011142147A JP2011142147A JP2010000833A JP2010000833A JP2011142147A JP 2011142147 A JP2011142147 A JP 2011142147A JP 2010000833 A JP2010000833 A JP 2010000833A JP 2010000833 A JP2010000833 A JP 2010000833A JP 2011142147 A JP2011142147 A JP 2011142147A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- emitting
- edge
- light
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】
半導体結晶層の積層体と、光出射端面とを含み、前記積層体が、活性層103と、可飽和吸収層105と、光導波路とを含み、
可飽和吸収層105は、結晶構造中に(0001)面を含み、
可飽和吸収層105の(0001)面の法線ベクトル<0001>の可飽和吸収層105主面への投影ベクトルをA、前記光出射端面から出射される直前の光の導波方向のベクトルをBとし、AとBのなす角をθとしたとき、|A|>0、かつ、0≦|cosθ|<1であり、
可飽和吸収層105の不純物濃度は、可飽和吸収層105以外の前記半導体結晶層のうち最も不純物濃度が高い層の不純物濃度以下であることを特徴とする端面発光型半導体発光素子。
【選択図】 図1
Description
半導体結晶層の積層体と、光出射端面とを含み、前記積層体が、活性層と、可飽和吸収層と、光導波路とを含み、
前記可飽和吸収層は、結晶構造中に(0001)面を含み、
前記可飽和吸収層の(0001)面の法線ベクトルの前記可飽和吸収層主面への投影ベクトルをA、前記光出射端面から出射される直前の光の導波方向のベクトルをBとし、AとBのなす角をθとしたとき、|A|>0、かつ、0≦|cosθ|<1であり、
前記可飽和吸収層の不純物濃度は、前記可飽和吸収層以外の前記半導体結晶層のうち最も不純物濃度が高い層の不純物濃度以下であることを特徴とする。
本発明において、「片面側に」は、特に断らない限り、片面側に直接接触している状態でも良いし、他の構成要素等が存在していても良い。「両面に」も、同様とする。「上に」は、特に断らない限り、上面に直接接触している状態でも良いし、間に他の構成要素等が存在していても良い。同様に、「下に」は、特に断らない限り、下面に直接接触している状態でも良いし、間に他の構成要素等が存在していても良い。また、「上面に」は、特に断らない限り、上面に直接接触している状態を指す。同様に、「下面に」は、特に断らない限り、下面に直接接触している状態を指す。
図1の断面斜視図に、本実施形態の端面発光型半導体発光素子の構造を示す。同図は、この端面発光型半導体発光素子を、光出射端面に平行に見た断面図である。図示のとおり、この端面発光型半導体発光素子は、III族窒化物半導体結晶層101〜107の積層体から形成されている窒化物半導体レーザである。前記積層体は、活性層103と、可飽和吸収層105と、光導波路とを含む。より具体的には、前記積層体は、n型クラッド層101、n型光閉じ込め層102、活性層103、p型光閉じ込め層104、可飽和吸収層105、電流狭窄層106、およびp型クラッド層107が前記順番で積層されて形成されている。電流狭窄層106は、その一部が除去されて開口部(開口埋め込み部)が形成され、インナーストライプ(光導波路)を構成している。前記開口部(開口埋め込み部)は、p型クラッド層107により埋め込まれている。活性層103及び可飽和吸収層105は、例えば、InGaNから形成することができる。ここで、InGaNとは、In(インジウム)とGa(ガリウム)とN(窒素)を主成分とする半導体である。本発明では、InGaNにおけるIn(インジウム)とGa(ガリウム)とN(窒素)の3元素の含有率は、好ましくは、組成比で99%以上である。なお、図1では、簡略化のため、基板、電極等の構成要素は省略して示している。
図2の断面図に、本発明の端面発光型半導体発光素子の別の一実施形態を示す。同図は、この端面発光型半導体発光素子を、光出射端面に平行に見た断面図である。図示のとおり、この端面発光型半導体発光素子は、n型基板201上に、n型バッファ層202、n型クラッド層203、n型光閉じ込め層204、活性層205、p型キャップ層206、第1のp型光閉じ込め層207、可飽和吸収層208、第2のp型光閉じ込め層209、電流狭窄層210、p型クラッド層212およびp型コンタクト層213がこの順番で積層された半導体結晶層積層体を含む窒化物半導体レーザである。電流狭窄層210は、一部がウエットエッチング等により除去されてストライプ状の開口部(開口埋め込み部)211が設けられている。開口部(開口埋め込み部)211は、p型クラッド層212により埋め込まれ、光導波路が形成されている。p型コンタクト層213の上面にはp電極214が設けられ、n型基板201の下面にはn電極215が設けられている。
半導体結晶層の積層体と、光出射端面とを含み、前記積層体が、活性層と、可飽和吸収層と、光導波路とを含み、
前記可飽和吸収層は、結晶構造中に(0001)面を含み、
前記可飽和吸収層の(0001)面の法線ベクトルの前記可飽和吸収層主面への投影ベクトルをA、前記光出射端面から出射される直前の光の導波方向のベクトルをBとし、AとBのなす角をθとしたとき、|A|>0、かつ、0≦|cosθ|<1であり、
前記可飽和吸収層の不純物濃度は、前記可飽和吸収層以外の前記半導体結晶層のうち最も不純物濃度が高い層の不純物濃度以下であることを特徴とする端面発光型半導体発光素子。
前記活性層および前記可飽和吸収層が、In及びGaを含むIII族窒化物半導体結晶により形成されることを特徴とする付記1に記載の端面発光型半導体発光素子。
半導体レーザであることを特徴とする付記1または2に記載の端面発光型半導体発光素子。
2 電子
3 正孔
4 電子および正孔の移動(ドリフト)方向
101 n型クラッド層
102 n型光閉じ込め層
103 活性層
104 p型光閉じ込め層
105 可飽和吸収層
106 電流狭窄層
107 p型クラッド層
201 n型基板
202 n型バッファ層
203 n型クラッド層
204 n型光閉じ込め層
205 活性層
206 p型キャップ層
207 第1のp型光閉じ込め層
208 可飽和吸収層
209 p型光閉じ込め層
210 電流狭窄層
211 開口部(開口埋め込み部)
212 p型クラッド層
213 p型コンタクト層
214 p電極
215 n電極
301 n型基板
302 n型バッファ層
303 n型クラッド層
304 n型光閉じ込め層
305 活性層
306 p型キャップ層
307 p型光閉じ込め層
308 可飽和吸収層
309 p型クラッド層
310 p型コンタクト層
311 絶縁層
312 p電極
313 n電極
Claims (10)
- 半導体結晶層の積層体と、光出射端面とを含み、前記積層体が、活性層と、可飽和吸収層と、光導波路とを含み、
前記可飽和吸収層は、結晶構造中に(0001)面を含み、
前記可飽和吸収層の(0001)面の法線ベクトルの前記可飽和吸収層主面への投影ベクトルをA、前記光出射端面から出射される直前の光の導波方向のベクトルをBとし、AとBのなす角をθとしたとき、|A|>0、かつ、0≦|cosθ|<1であり、
前記可飽和吸収層の不純物濃度は、前記可飽和吸収層以外の前記半導体結晶層のうち最も不純物濃度が高い層の不純物濃度以下であることを特徴とする端面発光型半導体発光素子。 - 前記ベクトルAの方向が、前記光出射端面に平行である請求項1記載の端面発光型半導体発光素子。
- 前記可飽和吸収層が、アンインテンショナリードープな層であることを特徴とする請求項1または2記載の端面発光型半導体発光素子。
- 前記可飽和吸収層がアンドープな層であることを特徴とする請求項1または2記載の端面発光型半導体発光素子。
- 0≦|cosθ|<1/√2であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の端面発光型半導体発光素子。
- cosθ=0であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の端面発光型半導体発光素子。
- 前記半導体結晶層の積層体における各半導体結晶層が、III族窒化物半導体から形成されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の端面発光型半導体発光素子。
- 半導体基板を準備する基板準備工程と、前記半導体基板上に前記半導体結晶層の積層体をエピタキシャル成長させる積層体成長工程とを含み、
前記半導体基板は、結晶構造中に(0001)面を含み、かつ、前記(0001)面以外の面を主面とすることを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載の端面発光型半導体発光素子の製造方法。 - 光源を含み、前記光源が、請求項1から7のいずれか一項に記載の端面発光型半導体発光素子を含むことを特徴とする画像表示装置。
- 光源を含み、前記光源が、請求項1から7のいずれか一項に記載の端面発光型半導体発光素子を含むことを特徴とする情報記録再生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010000833A JP2011142147A (ja) | 2010-01-05 | 2010-01-05 | 端面発光型半導体発光素子、端面発光型半導体発光素子の製造方法、画像表示装置、情報記録再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010000833A JP2011142147A (ja) | 2010-01-05 | 2010-01-05 | 端面発光型半導体発光素子、端面発光型半導体発光素子の製造方法、画像表示装置、情報記録再生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011142147A true JP2011142147A (ja) | 2011-07-21 |
Family
ID=44457808
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010000833A Pending JP2011142147A (ja) | 2010-01-05 | 2010-01-05 | 端面発光型半導体発光素子、端面発光型半導体発光素子の製造方法、画像表示装置、情報記録再生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011142147A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010016269A (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Nec Corp | 半導体発光素子 |
JP2015506048A (ja) * | 2011-11-25 | 2015-02-26 | 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司 | 駆動回路、シフトレジスター、ゲート駆動器、アレイ基板及び表示装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003031898A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-31 | Sharp Corp | 窒化物半導体レーザ素子とその製造方法 |
WO2007099847A1 (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 照明光源及びレーザ投射装置 |
JP2007250971A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Nec Corp | 窒化物系発光素子 |
JP2008198952A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Rohm Co Ltd | Iii族窒化物半導体発光素子 |
JP2009123969A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Tohoku Univ | 紫外線窒化物半導体発光素子およびその製造方法 |
JP4375497B1 (ja) * | 2009-03-11 | 2009-12-02 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物半導体素子、エピタキシャル基板、及びiii族窒化物半導体素子を作製する方法 |
-
2010
- 2010-01-05 JP JP2010000833A patent/JP2011142147A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003031898A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-31 | Sharp Corp | 窒化物半導体レーザ素子とその製造方法 |
WO2007099847A1 (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 照明光源及びレーザ投射装置 |
JP2007250971A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Nec Corp | 窒化物系発光素子 |
JP2008198952A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Rohm Co Ltd | Iii族窒化物半導体発光素子 |
JP2009123969A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Tohoku Univ | 紫外線窒化物半導体発光素子およびその製造方法 |
JP4375497B1 (ja) * | 2009-03-11 | 2009-12-02 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物半導体素子、エピタキシャル基板、及びiii族窒化物半導体素子を作製する方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010016269A (ja) * | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Nec Corp | 半導体発光素子 |
JP2015506048A (ja) * | 2011-11-25 | 2015-02-26 | 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司 | 駆動回路、シフトレジスター、ゲート駆動器、アレイ基板及び表示装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3653169B2 (ja) | 窒化ガリウム系半導体レーザ素子 | |
US20090078944A1 (en) | Light emitting device and method of manufacturing the same | |
JP5627871B2 (ja) | 半導体素子およびその製造方法 | |
KR101361016B1 (ko) | 반도체 레이저, 반도체 장치의 제조 방법, 광 픽업, 및 광디스크 장치 | |
JP2008277539A (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP2011101039A (ja) | 窒化物半導体レーザ素子 | |
US20100074290A1 (en) | Semiconductor laser device | |
US12057678B2 (en) | Surface-emitting laser device and method for manufacturing surface-emitting laser device | |
JP2007266574A (ja) | 半導体レーザ素子及び半導体レーザ素子の製造方法 | |
US9368940B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method of semiconductor device | |
US20090168827A1 (en) | Nitride semiconductor laser chip and method of fabricating same | |
US11837850B2 (en) | Surface-emitting laser device and method for manufacturing surface-emitting laser device | |
JP2004134772A (ja) | 窒化物系半導体発光素子 | |
JP2010087083A (ja) | 半導体レーザの製造方法、半導体レーザ、光ピックアップおよび光ディスク装置 | |
JP2011142147A (ja) | 端面発光型半導体発光素子、端面発光型半導体発光素子の製造方法、画像表示装置、情報記録再生装置 | |
JPH11340573A (ja) | 窒化ガリウム系半導体レーザ素子 | |
JP3933637B2 (ja) | 窒化ガリウム系半導体レーザ素子 | |
JP4623799B2 (ja) | 半導体発光素子の製法および半導体レーザ | |
JP2008186903A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP5079613B2 (ja) | 窒化物系半導体レーザ素子およびその製造方法 | |
JP4760821B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2009212343A (ja) | 窒化物半導体素子および窒化物半導体素子の製造方法 | |
JP4425948B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ | |
JP2011124253A (ja) | 半導体レーザの製造方法、半導体レーザ、光ディスク装置、半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
JP4826019B2 (ja) | 半導体レーザ素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131120 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140117 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140925 |