JP2004221335A - 多層配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】多層配線基板の各層のはり合わせの際に位置決め用の突起部と位置決め用の溝部とを設け正確に位置決めを行う。
【解決手段】多層配線基板アッセンブリ1が備える多層配線基板3において、この多層配線基板3をそれぞれ、はり合わせる際に一方の積層体7と他方の積層体9とのはりあわせる位置を決めるために一方の積層体に溝部を設け、他方の積層体に、この溝部に挿入されるべき突起部を設け前記突起部を前記溝部に挿入し位置決めを行いはり合わせる。
【選択図】 図1
【解決手段】多層配線基板アッセンブリ1が備える多層配線基板3において、この多層配線基板3をそれぞれ、はり合わせる際に一方の積層体7と他方の積層体9とのはりあわせる位置を決めるために一方の積層体に溝部を設け、他方の積層体に、この溝部に挿入されるべき突起部を設け前記突起部を前記溝部に挿入し位置決めを行いはり合わせる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多層配線基板及びその製造方法に関し、特に、歩留まりを向上させるために積層体を複数積層した多層配線基板の各積層体の位置決めを突起とこの突起が挿入される溝により行う多層配線基板及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、複数の多層配用基材を積層して形成する多層配線基板においては、配線層間の導通接続を実現するために、一配線層内に存在する数百ものバイアホールにメッキ処理や印刷法を利用してバイアホール内に導電性樹脂組成物(導電性ペースト)を充填することにより配線層間の導通接続を実現する。
【0003】
多層配線用基材を積層する際には、逐次積層法と一括積層法が行われており、逐次積層法では、導通接続処理と導電とのエッチング処理により回路形成を行った後、形成された各層の基板を一層ずつはり合わせる。一方、一括積層法は導電接続処理、導電層のエッチング処理による回路形成後、何層もの基板を一度にはり合わすことにより、多層配線基板を構成する。
【0004】
そして、位置決めの方法は、一般に、基板(積層体)にピンガイドと対応する穴部を形成して、そのピンガイドにより位置合わせを行い、熱や圧力をかけることによりはり合わされている。
【0005】
また、特許文献1参照
【0006】
【特許文献1】
特開平7−249868号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
こうしたはり合わせの方法は、ピンガイドや画像処理の位置合わせ精度のみにより、合わされるため、平面度、直線性と位置精度を確保しつつ、且つ、再現性及び設置正確度を向上させて製造することが難しい。特に一括積層法では、はり合わせる際に各層にかかる圧力が不均一になりやすいため、各層の位置精度は層が増加するに従って難しくなる。こうした位置精度に係る課題は、位置ずれが生じた場合、電気的な層間の接続をとることが不可能となるため、電気的不良の原因となり、歩留まりが悪化する。
【0008】
また、現在、基板の高密度化や小型化といった点が推し進まれているが、現在の方法によれば、高密度化や小型化といった需要に対応することが困難である。
【0009】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、多層配線基板に用いられる各層(積層体)を位置精度良くはり合わせて、高密度化や小型化に対応可能な多層配線基板及びその製造方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る多層配線基板及びその製造方法の特徴は、何層もの配線板(積層体)をはり合わせて構成される多層配線基板及びその製造方法であり、電気的絶縁層の両面に導電層を有し、その片面には突起部(例えば、凸部)、もう一方の導電層には溝部(例えば、凹部)を形成し、一方が他方にはめ込まれるようにはり合わせることにある。
【0011】
すなわち、本発明に係る多層配線基板及びその製造方法においては、導電層に形成した突起部が多層の溝部に埋め込まれるようにしてはり合わせることができ、且つ、一括積層法においても、より多くの層(積層体)を位置精度よくはり合わせることが可能となる。
【0012】
本発明は、前述のごとき問題に鑑みてなされたもので、請求項1に係る発明は、複数の積層体がはり合わされ配線が行われる多層配線基板において、はり合わされる積層体同士の一方の積層体は電気絶縁層、及び当該電気絶縁層の両面に導電層が積層され、前記導電層に一方の位置決め部を形成し、他方の積層体は電気絶縁層、及び当該電気絶縁層の両面に導電層が積層され、前記導電層に他方の位置決め部を形成し、前記一方の位置決め部と、前記他方の位置決め部とはめ込まれるようにしてはり合わされている多層配線基板である。これにより、多層配線基板の各積層体が精度良くはり合わされる。
【0013】
請求項2に係る発明は、前記一方の位置決め部と前記他方の位置決め部は、一方が突起部を形成し、他方が溝部を形成して前記突起部が前記溝部に挿入されて積層体同士がはり合わされている上記多層配線基板である。これにより、位置決め部を容易に形成できる。
【0014】
請求項3に係る発明は、前記突起部の形状は円柱形状であり、前記溝部の溝形状は前記円柱形状と同一的である上記多層配線基板である。これにより、はり合わせの際の挿入が容易になる。
【0015】
請求項4に係る発明は、複数の積層体がはり合わされ配線が行われる多層配線基板の製造方法において、はり合わされる積層体同士の一方の積層体は電気絶縁層、及び当該電気絶縁層の両面に導電層が積層され、前記導電層に一方の位置決め部を形成する工程と、他方の積層体は電気絶縁層、及び当該電気絶縁層の両面に導電層が積層され、前記導電層に他方の位置決め部を形成する工程と、前記一方の位置決め部と、前記他方の位置決め部とをはめ込むようにしてはり合わせる工程とを含む多層配線基板の製造方法である。これにより、回路パターンと同じ工程で位置決め部を形成することができるので製造工数が削減できる。
【0016】
請求項5に係る発明は、前記一方の位置決め部と前記他方の位置決め部は、一方が突起部を形成し、他方が溝部を形成して前記突起部が前記溝部に挿入されて積層体同士がはり合わされる工程を含む上記多層配線基板の製造方法である。
【0017】
請求項6に係る発明は、前記突起部の形状は円柱形状であり、前記溝部の溝形状は前記円柱形状と同一的である上記多層配線基板の製造方法である。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
【0019】
図1は本例に係る多層配線基板アッセンブリ1の斜視図を示す。前記多層配線基板アッセンブリ1は多層配線基板3上に半導体ベアチップ5が積載されている。そして、前記多層配線基板3は、複数の積層体(本例では、積層体7、9、11、13、15)がはり合わされている。
【0020】
さらに、前記多層配線基板3は各積層体に備えられた回路パターンの配線17、19等が導電性樹脂組成物21により立体的に接続され電気回路が形成される。これら立体的に電気回路が形成されることにより、高密度に配線が行われた多層配線基板が構成される。そして、各積層体(例えば積層体7、9)は位置決め部(一方の位置決め部、及び他方の位置決め部を含む)23により位置決めされはり合わされている。
【0021】
図2〜図6を参照して多層配線基板の各積層体の製造工程とこれらの積層体のはり合わせ工程を説明する。ここでは、3枚の積層体の製造を例に説明する。なお、図2、図3及び図4は各積層体の製造工程を説明する断面工程図であり、図5及び図6は製造された積層体のはり合わせを説明する断面工程図である。
【0022】
図2を参照する。図2(a)に示すように電気絶縁層(又は電気絶縁基板ともいう)31の両面に導電層である導体箔(例えば、銅箔等)33、及び導電層である導体箔35が熱可塑性の材料により接着された基板(積層体)を用意する。電気絶縁層31は、例えば液晶ポリマーのような材料でも可能である。
【0023】
図2(b)に示すように、前記導電層である導体箔33、及び導電層である導体箔35上にレジスト層37、レジスト層39、及びレジスト層41を形成して、回路パターン、一方の位置決め部、他方の位置決め部等のうち必要なものを露光、現像する。ここで、一方の位置決め部が突起部のとき、他方の位置決め部は溝部であり、一方の位置決め部が溝部のとき他方の位置決め部は突起部である。本例では一方の位置決め部を突起部、他方の位置決め部を溝部として説明する。
【0024】
前記レジスト層37及び前記レジスト層39は回路パターンを作成するためのレジスト層である。前記レジスト層41は導体箔(銅箔)上に所定の回路パターン以外の部分に溝部(本例では開口形状のものを想定している)を設けるためのレジスト層である。そして、前記溝部に対応した位置、大きさに突起部を形成する。この溝部や突起部の大きさは、基板の大きさや必要とされるはり合わせの位置精度により、変更が可能である。
【0025】
また、突起部と溝部の面は、はり合わせ構成によるもので、自由に設計が可能である。また、突起部に所定のパターン形成を行うことも可能である。
【0026】
図2(c)を参照する。上述の各レジスト層をマスクとして、導電層である導体箔33、及び導電層である導体箔35をエッチングすることにより、所定の回路パターン形状43、45及び溝部47を形成する。エッチングは両面同時に行うことにより、所定の回路パターン形状と同時に、溝部47も形成できる。これにより、加工工数の削減を行うことができる。エッチングは、塩化鉄ベースの水溶液、または塩化銅ベースの水溶液を使用する。
【0027】
図2(d)を参照する。こうして形成された基板(積層体)に、レーザ光照射、またはドリルにより層間接続用のビア49を形成する。図2(e)を参照する。その後、ビア49内に導電性樹脂組成物51を印刷法またはディスペンス法により充填する。充填後、前記導電性樹脂組成物51を硬化させるため、熱処理または紫外線照射処理を行う。以上により、積層体52が完成する。
【0028】
図3は第2の積層体80を製造する断面工程図を示す。図3(a)に示すように電気絶縁層(電気絶縁基板)53の両面に導電層である導体箔(銅箔)55、57が熱可塑性の材料により接着された基板を用意する。
【0029】
図3(b)に示すように、導電層である導体箔55、及び導電層である導体箔57上にレジスト層59、レジスト層61、レジスト層63、レジスト層65、及びレジスト層67を形成して、回路パターン、突起部、溝部等を露光、現像する。
【0030】
前記レジスト層59、レジスト層61、及びレジスト層67は回路パターンを形成するためのレジスト層である。前記レジスト層63及びレジスト層65は導電層である導体箔(銅箔等)上に所定の回路パターン以外の部分に溝部、突起部を設けるためのレジスト層である。これらの回路パターン、一方の位置決め部、他方の位置決め部は第1の積層体52と第3の積層体102とはり合わされる。
【0031】
図3(c)を参照する。次に、上述の各レジスト層をマスクとして、導電層である導体箔をエッチングすることにより、所定の回路パターンを形成する。エッチングは両面同時に行うことにより、所定の回路パターンと同時に、突起部と溝部も形成できる。エッチングは、塩化鉄ベースの水溶液、または塩化銅ベースの水溶液を使用する。以上により、回路パターン69、回路パターン71、回路パターン77、及び突起部75、溝部73が電気絶縁層53上に形成される。
【0032】
図3(d)を参照する。こうして形成された基板(積層体)に、レーザ光照射、またはドリルにより層間接続用のビア78を形成する。図3(e)を参照する。その後、ビア78内に導電性樹脂組成物79を印刷法またはディスペンス法により充填する。充填後、導電性樹脂組成物79を硬化させるため熱処理または紫外線照射処理を行う。以上により、第2の積層体80が完成する。
【0033】
図4は3枚目の積層体を製造する断面工程図を示す。図4(a)に示すように電気絶縁層(電気絶縁基板)81の両面に導電層である導体箔(銅箔等)83、及び導電層である導体箔(銅箔等)85が熱可塑性の材料により接着された基板(積層体)を用意する。
【0034】
図4(b)に示すように、前記導電層である導体箔83、導電層である導体箔85上にレジスト層87、レジスト層89、及びレジスト層91を形成して、回路パターン、突起部、溝部等を露光、現像する。前記レジスト層91は回路パターンを作成するためのレジスト層である。前記レジスト層87及びレジスト層89は導電層である導体箔(銅箔等)上に所定の回路パターン以外の部分に溝部、突起部を設けるためのレジスト層である。これらの回路パターン、突起部は第2の積層体80とはり合わされる。
【0035】
図4(c)を参照する。次に、上述の各レジスト層をマスクとして、導電層である導体箔(銅箔等)をエッチングすることにより、所定の回路パターンを形成する。エッチングは両面同時に行うことにより、所定の回路パターンと同時に、突起部と溝部も形成できる。エッチングは、塩化鉄ベースの水溶液、または塩化銅ベースの水溶液を使用する。以上により、突起部93、溝部95、及び回路パターン97が形成される。
【0036】
図4(d)を参照する。こうして形成された積層体102に、レーザ光照射、またはドリルにより層間接続用のビア99を形成する。図4(e)を参照する。その後、ビア99内に導電性樹脂組成物101を印刷法またはディスペンス法により充填する。充填後、導電性樹脂組成物101を硬化させるため、熱処理または紫外線照射処理を行う。以上により、積層体102が完成する。
【0037】
図5、及び図6は積層体52、積層体80、及び積層体102をはり合わせる工程を示す断面工程図である。
【0038】
図5を参照する。図5(a)では上述した工程で製造された第1の積層体52、第2の積層体80、及び第3の積層体102を用意する。
【0039】
図5(b)を参照する。積層体52のはり合わせる面上に接着剤(例えば、熱可塑性接着剤)103を塗布して積層体80を矢印AR1方向に重ねはり合わせる。ここではり合わせる際、位置決め用の突起部75が位置決め用の溝部47に挿入されることにより位置決めされる。その後、適正に位置決めされた状態で接着が終了する。これにより、回路パターンの配線69と回路パターンの配線43とが導電性樹脂組成物79により立体的に接続される。また、回路パターンの配線45と回路パターンの配線71とが導電性樹脂組成物51により接続される。
【0040】
図5(c)を参照する。すなわち、上述の結果、積層体52と積層体80とが接着剤(例えば、熱可塑性接着剤)103によりはり合わされる。
【0041】
図6を参照する。図6(a)は積層体52と積層体80とがはり合わされた後、さらに積層体102をはり合わせる工程を示す。すなわち、積層体80上に接着剤(熱可塑性接着剤等)105を塗布する。続いて、積層体102を積層体80に矢印AR2方向にはり合わせる。この際、積層体80に備えられた位置決め用の溝部73に積層体102に備えられた位置決め用の突起部93が挿入され位置決めが行われる。そして、回路パターンの配線77と回路パターンの配線97とが導電性樹脂組成物101により接続される。
【0042】
図6(b)を参照する。積層体102と積層体80とが接着剤(熱可塑性接着剤等)105によりはり合わされている。また、積層体80と積層体52とが接着剤103によりはり合わされている。これにより、3層からなる多層配線基板を形成している。
【0043】
以上の様に製造した複数の積層体に熱圧着させる。その後、位置決め用の突起部と溝部が実際に重なり合っているかどうかの確認は多層配線基板の複数箇所の厚みを測定することにより行う。
【0044】
図7は積層体を位置決めする溝部と突起部との配置、形状等を示す。なお、ここでは積層体105と積層体107とをはり合わせる場合を想定している。すなわち、積層体105に備えられた位置決め用の溝部109は円柱上の内側を抜いた立体形状を形成している。前記積層体107に備えられた突起部113は円柱形状を形成している。そして、溝部109の溝111に前記突起部113が矢印AR4方向に挿入されることにより位置決めが行われる。同様に、前記溝部115の溝117に突起部119が矢印AR3方向に挿入される。同様に、溝部121の溝123に矢印AR5方向に突起部125が挿入される。これにより、適正な位置決めを行うことができる。また、本例の位置決めでは位置決めの突起部が大きいものと小さいものを用意しているため位置決めの際に用意に挿入されることができ、また、複数の位置決め部を備えることにより精度の高い位置決めを行うことができる。
【0045】
なお、本発明は、上述した実施の態様の例に限定されることなく、適宜の変更を加えることにより、その他の態様で実施できるものである。
【0046】
【発明の効果】
上述の如く本発明に係る多層配線板によれば、各基板上(積層体)に突起部と溝部(例えば、開口形状)を形成することにより、位置合わせ精度を向上させることが可能となり、電気的接続という点でも歩留まりの向上となる。
【0047】
また、位置決め部の形状を円柱形状にすることによりはり合わせの際に突起部の溝部への挿入が容易になるという効果がある。
【0048】
さらに、回路パターンを形成する工程において位置決め用の溝部、突起部も形成できるので製造工数が削減できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】多層配線基板アッセンブリの斜視図である。
【図2】積層体の製造工程を説明する断面工程図である。
【図3】積層体の製造工程を説明する断面工程図である。
【図4】積層体の製造工程を説明する断面工程図である。
【図5】積層体同士のはり合わせ工程を説明する断面工程図である。
【図6】積層体同士のはり合わせ工程を説明する断面工程図である。
【図7】位置決め用の突起部及び溝部の機能を説明する説明図である。
【符号の説明】
1 多層配線基板アッセンブリ
3 多層配線基板
5 半導体ベアチップ
7 積層体
9 積層体
11 積層体
13 積層体
15 積層体
17 パターン回路の配線
19 パターン回路の配線
21 導電体樹脂組成物
23 位置決め部
【発明の属する技術分野】
本発明は、多層配線基板及びその製造方法に関し、特に、歩留まりを向上させるために積層体を複数積層した多層配線基板の各積層体の位置決めを突起とこの突起が挿入される溝により行う多層配線基板及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、複数の多層配用基材を積層して形成する多層配線基板においては、配線層間の導通接続を実現するために、一配線層内に存在する数百ものバイアホールにメッキ処理や印刷法を利用してバイアホール内に導電性樹脂組成物(導電性ペースト)を充填することにより配線層間の導通接続を実現する。
【0003】
多層配線用基材を積層する際には、逐次積層法と一括積層法が行われており、逐次積層法では、導通接続処理と導電とのエッチング処理により回路形成を行った後、形成された各層の基板を一層ずつはり合わせる。一方、一括積層法は導電接続処理、導電層のエッチング処理による回路形成後、何層もの基板を一度にはり合わすことにより、多層配線基板を構成する。
【0004】
そして、位置決めの方法は、一般に、基板(積層体)にピンガイドと対応する穴部を形成して、そのピンガイドにより位置合わせを行い、熱や圧力をかけることによりはり合わされている。
【0005】
また、特許文献1参照
【0006】
【特許文献1】
特開平7−249868号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
こうしたはり合わせの方法は、ピンガイドや画像処理の位置合わせ精度のみにより、合わされるため、平面度、直線性と位置精度を確保しつつ、且つ、再現性及び設置正確度を向上させて製造することが難しい。特に一括積層法では、はり合わせる際に各層にかかる圧力が不均一になりやすいため、各層の位置精度は層が増加するに従って難しくなる。こうした位置精度に係る課題は、位置ずれが生じた場合、電気的な層間の接続をとることが不可能となるため、電気的不良の原因となり、歩留まりが悪化する。
【0008】
また、現在、基板の高密度化や小型化といった点が推し進まれているが、現在の方法によれば、高密度化や小型化といった需要に対応することが困難である。
【0009】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、多層配線基板に用いられる各層(積層体)を位置精度良くはり合わせて、高密度化や小型化に対応可能な多層配線基板及びその製造方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る多層配線基板及びその製造方法の特徴は、何層もの配線板(積層体)をはり合わせて構成される多層配線基板及びその製造方法であり、電気的絶縁層の両面に導電層を有し、その片面には突起部(例えば、凸部)、もう一方の導電層には溝部(例えば、凹部)を形成し、一方が他方にはめ込まれるようにはり合わせることにある。
【0011】
すなわち、本発明に係る多層配線基板及びその製造方法においては、導電層に形成した突起部が多層の溝部に埋め込まれるようにしてはり合わせることができ、且つ、一括積層法においても、より多くの層(積層体)を位置精度よくはり合わせることが可能となる。
【0012】
本発明は、前述のごとき問題に鑑みてなされたもので、請求項1に係る発明は、複数の積層体がはり合わされ配線が行われる多層配線基板において、はり合わされる積層体同士の一方の積層体は電気絶縁層、及び当該電気絶縁層の両面に導電層が積層され、前記導電層に一方の位置決め部を形成し、他方の積層体は電気絶縁層、及び当該電気絶縁層の両面に導電層が積層され、前記導電層に他方の位置決め部を形成し、前記一方の位置決め部と、前記他方の位置決め部とはめ込まれるようにしてはり合わされている多層配線基板である。これにより、多層配線基板の各積層体が精度良くはり合わされる。
【0013】
請求項2に係る発明は、前記一方の位置決め部と前記他方の位置決め部は、一方が突起部を形成し、他方が溝部を形成して前記突起部が前記溝部に挿入されて積層体同士がはり合わされている上記多層配線基板である。これにより、位置決め部を容易に形成できる。
【0014】
請求項3に係る発明は、前記突起部の形状は円柱形状であり、前記溝部の溝形状は前記円柱形状と同一的である上記多層配線基板である。これにより、はり合わせの際の挿入が容易になる。
【0015】
請求項4に係る発明は、複数の積層体がはり合わされ配線が行われる多層配線基板の製造方法において、はり合わされる積層体同士の一方の積層体は電気絶縁層、及び当該電気絶縁層の両面に導電層が積層され、前記導電層に一方の位置決め部を形成する工程と、他方の積層体は電気絶縁層、及び当該電気絶縁層の両面に導電層が積層され、前記導電層に他方の位置決め部を形成する工程と、前記一方の位置決め部と、前記他方の位置決め部とをはめ込むようにしてはり合わせる工程とを含む多層配線基板の製造方法である。これにより、回路パターンと同じ工程で位置決め部を形成することができるので製造工数が削減できる。
【0016】
請求項5に係る発明は、前記一方の位置決め部と前記他方の位置決め部は、一方が突起部を形成し、他方が溝部を形成して前記突起部が前記溝部に挿入されて積層体同士がはり合わされる工程を含む上記多層配線基板の製造方法である。
【0017】
請求項6に係る発明は、前記突起部の形状は円柱形状であり、前記溝部の溝形状は前記円柱形状と同一的である上記多層配線基板の製造方法である。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
【0019】
図1は本例に係る多層配線基板アッセンブリ1の斜視図を示す。前記多層配線基板アッセンブリ1は多層配線基板3上に半導体ベアチップ5が積載されている。そして、前記多層配線基板3は、複数の積層体(本例では、積層体7、9、11、13、15)がはり合わされている。
【0020】
さらに、前記多層配線基板3は各積層体に備えられた回路パターンの配線17、19等が導電性樹脂組成物21により立体的に接続され電気回路が形成される。これら立体的に電気回路が形成されることにより、高密度に配線が行われた多層配線基板が構成される。そして、各積層体(例えば積層体7、9)は位置決め部(一方の位置決め部、及び他方の位置決め部を含む)23により位置決めされはり合わされている。
【0021】
図2〜図6を参照して多層配線基板の各積層体の製造工程とこれらの積層体のはり合わせ工程を説明する。ここでは、3枚の積層体の製造を例に説明する。なお、図2、図3及び図4は各積層体の製造工程を説明する断面工程図であり、図5及び図6は製造された積層体のはり合わせを説明する断面工程図である。
【0022】
図2を参照する。図2(a)に示すように電気絶縁層(又は電気絶縁基板ともいう)31の両面に導電層である導体箔(例えば、銅箔等)33、及び導電層である導体箔35が熱可塑性の材料により接着された基板(積層体)を用意する。電気絶縁層31は、例えば液晶ポリマーのような材料でも可能である。
【0023】
図2(b)に示すように、前記導電層である導体箔33、及び導電層である導体箔35上にレジスト層37、レジスト層39、及びレジスト層41を形成して、回路パターン、一方の位置決め部、他方の位置決め部等のうち必要なものを露光、現像する。ここで、一方の位置決め部が突起部のとき、他方の位置決め部は溝部であり、一方の位置決め部が溝部のとき他方の位置決め部は突起部である。本例では一方の位置決め部を突起部、他方の位置決め部を溝部として説明する。
【0024】
前記レジスト層37及び前記レジスト層39は回路パターンを作成するためのレジスト層である。前記レジスト層41は導体箔(銅箔)上に所定の回路パターン以外の部分に溝部(本例では開口形状のものを想定している)を設けるためのレジスト層である。そして、前記溝部に対応した位置、大きさに突起部を形成する。この溝部や突起部の大きさは、基板の大きさや必要とされるはり合わせの位置精度により、変更が可能である。
【0025】
また、突起部と溝部の面は、はり合わせ構成によるもので、自由に設計が可能である。また、突起部に所定のパターン形成を行うことも可能である。
【0026】
図2(c)を参照する。上述の各レジスト層をマスクとして、導電層である導体箔33、及び導電層である導体箔35をエッチングすることにより、所定の回路パターン形状43、45及び溝部47を形成する。エッチングは両面同時に行うことにより、所定の回路パターン形状と同時に、溝部47も形成できる。これにより、加工工数の削減を行うことができる。エッチングは、塩化鉄ベースの水溶液、または塩化銅ベースの水溶液を使用する。
【0027】
図2(d)を参照する。こうして形成された基板(積層体)に、レーザ光照射、またはドリルにより層間接続用のビア49を形成する。図2(e)を参照する。その後、ビア49内に導電性樹脂組成物51を印刷法またはディスペンス法により充填する。充填後、前記導電性樹脂組成物51を硬化させるため、熱処理または紫外線照射処理を行う。以上により、積層体52が完成する。
【0028】
図3は第2の積層体80を製造する断面工程図を示す。図3(a)に示すように電気絶縁層(電気絶縁基板)53の両面に導電層である導体箔(銅箔)55、57が熱可塑性の材料により接着された基板を用意する。
【0029】
図3(b)に示すように、導電層である導体箔55、及び導電層である導体箔57上にレジスト層59、レジスト層61、レジスト層63、レジスト層65、及びレジスト層67を形成して、回路パターン、突起部、溝部等を露光、現像する。
【0030】
前記レジスト層59、レジスト層61、及びレジスト層67は回路パターンを形成するためのレジスト層である。前記レジスト層63及びレジスト層65は導電層である導体箔(銅箔等)上に所定の回路パターン以外の部分に溝部、突起部を設けるためのレジスト層である。これらの回路パターン、一方の位置決め部、他方の位置決め部は第1の積層体52と第3の積層体102とはり合わされる。
【0031】
図3(c)を参照する。次に、上述の各レジスト層をマスクとして、導電層である導体箔をエッチングすることにより、所定の回路パターンを形成する。エッチングは両面同時に行うことにより、所定の回路パターンと同時に、突起部と溝部も形成できる。エッチングは、塩化鉄ベースの水溶液、または塩化銅ベースの水溶液を使用する。以上により、回路パターン69、回路パターン71、回路パターン77、及び突起部75、溝部73が電気絶縁層53上に形成される。
【0032】
図3(d)を参照する。こうして形成された基板(積層体)に、レーザ光照射、またはドリルにより層間接続用のビア78を形成する。図3(e)を参照する。その後、ビア78内に導電性樹脂組成物79を印刷法またはディスペンス法により充填する。充填後、導電性樹脂組成物79を硬化させるため熱処理または紫外線照射処理を行う。以上により、第2の積層体80が完成する。
【0033】
図4は3枚目の積層体を製造する断面工程図を示す。図4(a)に示すように電気絶縁層(電気絶縁基板)81の両面に導電層である導体箔(銅箔等)83、及び導電層である導体箔(銅箔等)85が熱可塑性の材料により接着された基板(積層体)を用意する。
【0034】
図4(b)に示すように、前記導電層である導体箔83、導電層である導体箔85上にレジスト層87、レジスト層89、及びレジスト層91を形成して、回路パターン、突起部、溝部等を露光、現像する。前記レジスト層91は回路パターンを作成するためのレジスト層である。前記レジスト層87及びレジスト層89は導電層である導体箔(銅箔等)上に所定の回路パターン以外の部分に溝部、突起部を設けるためのレジスト層である。これらの回路パターン、突起部は第2の積層体80とはり合わされる。
【0035】
図4(c)を参照する。次に、上述の各レジスト層をマスクとして、導電層である導体箔(銅箔等)をエッチングすることにより、所定の回路パターンを形成する。エッチングは両面同時に行うことにより、所定の回路パターンと同時に、突起部と溝部も形成できる。エッチングは、塩化鉄ベースの水溶液、または塩化銅ベースの水溶液を使用する。以上により、突起部93、溝部95、及び回路パターン97が形成される。
【0036】
図4(d)を参照する。こうして形成された積層体102に、レーザ光照射、またはドリルにより層間接続用のビア99を形成する。図4(e)を参照する。その後、ビア99内に導電性樹脂組成物101を印刷法またはディスペンス法により充填する。充填後、導電性樹脂組成物101を硬化させるため、熱処理または紫外線照射処理を行う。以上により、積層体102が完成する。
【0037】
図5、及び図6は積層体52、積層体80、及び積層体102をはり合わせる工程を示す断面工程図である。
【0038】
図5を参照する。図5(a)では上述した工程で製造された第1の積層体52、第2の積層体80、及び第3の積層体102を用意する。
【0039】
図5(b)を参照する。積層体52のはり合わせる面上に接着剤(例えば、熱可塑性接着剤)103を塗布して積層体80を矢印AR1方向に重ねはり合わせる。ここではり合わせる際、位置決め用の突起部75が位置決め用の溝部47に挿入されることにより位置決めされる。その後、適正に位置決めされた状態で接着が終了する。これにより、回路パターンの配線69と回路パターンの配線43とが導電性樹脂組成物79により立体的に接続される。また、回路パターンの配線45と回路パターンの配線71とが導電性樹脂組成物51により接続される。
【0040】
図5(c)を参照する。すなわち、上述の結果、積層体52と積層体80とが接着剤(例えば、熱可塑性接着剤)103によりはり合わされる。
【0041】
図6を参照する。図6(a)は積層体52と積層体80とがはり合わされた後、さらに積層体102をはり合わせる工程を示す。すなわち、積層体80上に接着剤(熱可塑性接着剤等)105を塗布する。続いて、積層体102を積層体80に矢印AR2方向にはり合わせる。この際、積層体80に備えられた位置決め用の溝部73に積層体102に備えられた位置決め用の突起部93が挿入され位置決めが行われる。そして、回路パターンの配線77と回路パターンの配線97とが導電性樹脂組成物101により接続される。
【0042】
図6(b)を参照する。積層体102と積層体80とが接着剤(熱可塑性接着剤等)105によりはり合わされている。また、積層体80と積層体52とが接着剤103によりはり合わされている。これにより、3層からなる多層配線基板を形成している。
【0043】
以上の様に製造した複数の積層体に熱圧着させる。その後、位置決め用の突起部と溝部が実際に重なり合っているかどうかの確認は多層配線基板の複数箇所の厚みを測定することにより行う。
【0044】
図7は積層体を位置決めする溝部と突起部との配置、形状等を示す。なお、ここでは積層体105と積層体107とをはり合わせる場合を想定している。すなわち、積層体105に備えられた位置決め用の溝部109は円柱上の内側を抜いた立体形状を形成している。前記積層体107に備えられた突起部113は円柱形状を形成している。そして、溝部109の溝111に前記突起部113が矢印AR4方向に挿入されることにより位置決めが行われる。同様に、前記溝部115の溝117に突起部119が矢印AR3方向に挿入される。同様に、溝部121の溝123に矢印AR5方向に突起部125が挿入される。これにより、適正な位置決めを行うことができる。また、本例の位置決めでは位置決めの突起部が大きいものと小さいものを用意しているため位置決めの際に用意に挿入されることができ、また、複数の位置決め部を備えることにより精度の高い位置決めを行うことができる。
【0045】
なお、本発明は、上述した実施の態様の例に限定されることなく、適宜の変更を加えることにより、その他の態様で実施できるものである。
【0046】
【発明の効果】
上述の如く本発明に係る多層配線板によれば、各基板上(積層体)に突起部と溝部(例えば、開口形状)を形成することにより、位置合わせ精度を向上させることが可能となり、電気的接続という点でも歩留まりの向上となる。
【0047】
また、位置決め部の形状を円柱形状にすることによりはり合わせの際に突起部の溝部への挿入が容易になるという効果がある。
【0048】
さらに、回路パターンを形成する工程において位置決め用の溝部、突起部も形成できるので製造工数が削減できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】多層配線基板アッセンブリの斜視図である。
【図2】積層体の製造工程を説明する断面工程図である。
【図3】積層体の製造工程を説明する断面工程図である。
【図4】積層体の製造工程を説明する断面工程図である。
【図5】積層体同士のはり合わせ工程を説明する断面工程図である。
【図6】積層体同士のはり合わせ工程を説明する断面工程図である。
【図7】位置決め用の突起部及び溝部の機能を説明する説明図である。
【符号の説明】
1 多層配線基板アッセンブリ
3 多層配線基板
5 半導体ベアチップ
7 積層体
9 積層体
11 積層体
13 積層体
15 積層体
17 パターン回路の配線
19 パターン回路の配線
21 導電体樹脂組成物
23 位置決め部
Claims (6)
- 複数の積層体がはり合わされ配線が行われる多層配線基板において、
はり合わされる積層体同士の一方の積層体は電気絶縁層、及び当該電気絶縁層の両面に導電層が積層され、前記導電層に一方の位置決め部を形成し、
他方の積層体は電気絶縁層、及び当該電気絶縁層の両面に導電層が積層され、前記導電層に他方の位置決め部を形成し、
前記一方の位置決め部と、前記他方の位置決め部とはめ込まれるようにしてはり合わされていることを特徴とする多層配線基板。 - 前記一方の位置決め部と前記他方の位置決め部は、一方が突起部を形成し、他方が溝部を形成して前記突起部が前記溝部に挿入されて積層体同士がはり合わされていることを特徴とする請求項1記載の多層配線基板。
- 前記突起部の形状は円柱形状であり、前記溝部の溝形状は前記円柱形状と同一的であることを特徴とする請求項2記載の多層配線基板。
- 複数の積層体がはり合わされ配線が行われる多層配線基板の製造方法において、
はり合わされる積層体同士の一方の積層体は電気絶縁層、及び当該電気絶縁層の両面に導電層が積層され、前記導電層に一方の位置決め部を形成する工程と、
他方の積層体は電気絶縁層、及び当該電気絶縁層の両面に導電層が積層され、前記導電層に他方の位置決め部を形成する工程と、
前記一方の位置決め部と、前記他方の位置決め部とをはめ込むようにしてはり合わせる工程と、
を含むことを特徴とする多層配線基板の製造方法。 - 前記一方の位置決め部と前記他方の位置決め部は、一方が突起部を形成し、他方が溝部を形成して前記突起部が前記溝部に挿入されて積層体同士がはり合わされる工程を含むことを特徴とする請求項4記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記突起部の形状は円柱形状であり、前記溝部の溝形状は前記円柱形状と同一的であることを特徴とする請求項5記載の多層配線基板の製造方法。
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JP2008192999A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 多層配線基板の製造方法 |
-
2003
- 2003-01-15 JP JP2003007066A patent/JP2004221335A/ja active Pending
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