JP2004221142A - 光起電力装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この光起電力装置は、シリコン(111)面が露出された凹凸形状の表面を有し、その表面においてテラス部1aとステップ部1bとが規定可能なn型単結晶シリコン基板1と、n型単結晶シリコン基板1の表面上に形成された実質的に真性なi型のノンドープ非晶質シリコン層2とを備えている。
【選択図】図4
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、光起電力装置およびその製造方法に関し、特に、シリコン(111)面が露出された凹凸形状の表面を有する結晶系シリコン基板を含む光起電力装置およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、単結晶シリコン基板などの結晶系シリコン基板を用いる光起電力装置では、シリコン(100)基板の表面を異方性エッチングすることにより、(111)面に起因したピラミッド状凹凸形状を形成した光閉じ込め構造を用いることが知られている(たとえば、特許文献1参照)。このような光閉じ込め構造では、ピラミッド状凹凸形状により、シリコン基板の表面の反射率が低減されるので、短絡電流を増加することができる。
【0003】
また、近年、第1導電型の結晶系シリコン基板の表面上に、第2導電型の非単結晶シリコン膜を形成することによりpn接合が形成される光起電力装置において、第1導電型の結晶系シリコン基板と第2導電型の非単結晶シリコン膜との間に、実質的に真性な非単結晶シリコン膜を挿入することにより接合特性を改善したHIT(Heterojunction with intrinsic thin−layer)構造の光起電力装置が提案されている(たとえば、特許文献2参照)。このようなHIT構造の光起電力装置においても、上記したピラミッド状凹凸形状の表面を有する結晶系シリコン基板を用いて高効率化を図っている。
【0004】
図11は、従来のピラミッド状凹凸形状の表面を有する単結晶シリコン基板を含むHIT構造の光起電力装置の全体の概略構造を示した斜視図であり、図12は、図11に示したピラミッド状凹凸形状の表面を有する単結晶シリコン基板周辺の詳細構造を示した断面図である。図11および図12を参照して、この従来の光起電力装置では、n型単結晶シリコン基板101の上面上に、実質的に真性なi型のノンドープ非晶質シリコン層102、p型非晶質シリコン層103、ITOからなる透明導電膜104および金属からなる集電極105が順次形成されている。集電極105は、所定の間隔を隔てて互いに平行に延びるように形成された複数のフィンガー電極部105aと、フィンガー電極部105aに流れる電流を集合させるバスバー電極部105bとによって構成されている。また、n型単結晶シリコン基板101の裏面上には、裏面電極106が形成されている。
【0005】
ここで、図11に示した従来の光起電力装置では、図12に示すように、n型単結晶シリコン基板101の表面101aが、異方性エッチングされることにより、(111)面に起因したピラミッド状凹凸を有する形状に形成されている。このピラミッド状凹凸は、数μm〜数10μmの幅と、数μm〜数10μmの高さとを有する。従来では、このようなピラミッド状凹凸形状の表面101aを有するn型単結晶シリコン基板101の表面101a上に、実質的に真性なi型のノンドープ非晶質シリコン層102、p型非晶質シリコン層103、および、ITOからなる透明導電膜104が形成されている。
【0006】
なお、従来のHIT構造の光起電力装置におけるノンドープ非晶質シリコン層102は、n型単結晶シリコン基板101の表面近傍の結晶欠陥に起因する光誘起キャリアの再結合を抑制する機能を有する。
【0007】
【特許文献1】
特許第3271990号公報
【特許文献2】
特開2001−345463号公報
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ノンドープ非晶質シリコン層102は、発電層ではないため、光吸収損失の原因になるという不都合がある。
【0008】
その一方、従来、ノンドープ非晶質シリコン層102を低い基板温度で形成すると、ノンドープ非晶質シリコン層102の光学ギャップが増加するので、ノンドープ非晶質シリコン層102の低光吸収化を図ることが可能であることが知られている。このため、従来では、ノンドープ非晶質シリコン層102の低光吸収化を図ることによりノンドープ非晶質シリコン層102での光吸収損失を低減するために、ノンドープ非晶質シリコン層102を低い基板温度で形成していた。
【0009】
しかしながら、図12に示した従来のn型単結晶シリコン基板101のピラミッド状凹凸形状の表面101aは、通常、原子レベルで平坦ではなく、テラス部(平坦部)が明確ではない(111)面である。このようなテラス部(平坦部)が明確でない(111)面上に、ノンドープ非晶質シリコン層102を低温で形成すると、形成初期にn型単結晶シリコン基板101のピラミッド状凹凸の表面101aの全体がノンドープ非晶質シリコン層102によって覆われずに、表面101aに部分的にノンドープ非晶質シリコン層102が成長する島状成長が起こる。このような島状成長が起こると、ノンドープ非晶質シリコン層102の膜質が低下するという問題点があった。特に、HIT構造で用いられるノンドープ非晶質シリコン層102は、10nm程度の小さい厚みを有するため、n型単結晶シリコン基板101との界面近傍で膜質が低下し、その結果、光起電力装置の出力が低下するという問題点があった。
【0010】
また、従来では、n型単結晶シリコン基板101のピラミッド状凹凸形状の表面101aは、原子レベルで平坦ではなく、テラス部(平坦部)が明確ではない(111)面であるので、結晶欠陥が多いという不都合がある。このように結晶欠陥が多いと、結晶欠陥に起因するキャリアの再結合が増加するので、これによっても、光起電力装置の出力が低下するという問題点があった。
【0011】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、非晶質シリコン層の膜質の低下および結晶系シリコン基板表面の結晶欠陥に起因する出力の低下を抑制することが可能な光起電力装置を提供することである。
【0012】
この発明のもう1つの目的は、非晶質シリコン層の膜質の低下および結晶系シリコン基板表面の結晶欠陥に起因する出力の低下を抑制することが可能な光起電力装置を容易に製造し得る光起電力装置の製造方法を提供することである。
【0013】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明の第1の局面による光起電力装置は、シリコン(111)面が露出された凹凸形状の表面を有し、表面においてステップ部とテラス部とが規定可能な結晶系シリコン基板と、結晶系シリコン基板の表面上に形成された非晶質半導体層とを備えている。
【0014】
この第1の局面による光起電力装置では、上記のように、シリコン(111)面が露出された凹凸形状の表面において、ステップ部とテラス部(平坦部)とが規定可能な結晶系シリコン基板を用いることによって、テラス部(平坦部)では成膜種が拡散しやすいので、結晶系シリコン基板の表面上に非晶質半導体層を低温で形成する際に、非晶質半導体層が島状に成長するのを抑制することができる。これにより、結晶系シリコン基板との界面近傍における非晶質半導体層の膜質の低下を抑制することができるので、非晶質半導体層の膜質の低下に起因する出力の低下を抑制することができる。また、結晶系シリコン基板の表面をステップ部とテラス部(平坦部)とが規定可能な状態にすることによって、結晶系シリコン基板の表面の結晶欠陥を低減することができるので、結晶系シリコン基板の表面の結晶欠陥に起因する出力の低下も抑制することができる。
【0015】
上記第1の局面による光起電力装置において、好ましくは、結晶系シリコン基板のステップ部の高さは、1シリコン原子層以上5シリコン原子層以下であり、結晶系シリコン基板のテラス部の幅は、2nm以上20nm以下である。このように構成すれば、結晶系シリコン基板の表面上に非晶質半導体層を低温で形成する際に、容易に、テラス部(平坦部)で成膜種を拡散することができるので、非晶質半導体層が島状に成長するのを抑制することができる。
【0016】
上記第1の局面による光起電力装置において、好ましくは、非晶質半導体層は、結晶系シリコン基板との界面近傍に、結晶系シリコン基板の表面の原子配列を反映した原子配列を有する層を含む。このように構成すれば、容易に、結晶系シリコン基板との界面近傍における非晶質半導体層の結晶性(膜質)が向上するので、結晶系シリコン基板との界面近傍における非晶質半導体層の膜質の低下を抑制することができる。この場合、好ましくは、結晶系シリコン基板の表面の原子配列を反映した原子配列を有する層は、2シリコン原子層以上5シリコン原子層以下の厚みを有する。このような厚みに結晶系シリコン基板の表面の原子配列を反映した原子配列を有する層を形成すれば、容易に、結晶系シリコン基板との界面近傍における非晶質半導体層の結晶性を向上させることができる。
【0017】
上記第1の局面による光起電力装置において、好ましくは、非晶質半導体層は、結晶系シリコン基板の表面上に形成され、実質的に真性な第1非晶質半導体層と、第1非晶質半導体層の表面上に形成された第1導電型の第2非晶質半導体層とを含む。このように構成すれば、実質的に真性な第1非晶質半導体層を含むHIT構造の光起電力装置において、結晶系シリコン基板との界面近傍における非晶質半導体層の膜質の低下を抑制することができるので、非晶質半導体層の膜質の低下に起因する出力の低下を抑制することができる。
【0018】
この発明の第2の局面による光起電力装置の製造方法は、シリコン(111)面が露出された凹凸形状の表面を有する結晶系シリコン基板の表面に対して所定の処理を施すことによって、結晶系シリコン基板の表面をステップ部とテラス部とが規定可能な状態にする工程と、結晶系シリコン基板の表面上に非晶質半導体層を形成する工程とを備えている。
【0019】
この第2の局面による光起電力装置の製造方法では、上記のように、シリコン(111)面が露出された凹凸形状の表面を有する結晶系シリコン基板の表面に対して所定の処理を施すことにより、結晶系シリコン基板の表面をステップ部とテラス部とが規定可能な状態にした後、結晶系シリコン基板の表面上に非晶質半導体層を形成することによって、テラス部では成膜種が拡散しやすいので、結晶系シリコン基板の表面上に非晶質半導体層を低温で形成する際に、非晶質半導体層が島状に成長するのを抑制することができる。これにより、結晶系シリコン基板との界面近傍における非晶質半導体層の膜質の低下を抑制することができるので、非晶質半導体層の膜質の低下に起因する出力の低下を抑制することができる。また、結晶系シリコン基板の表面をステップ部とテラス部(平坦部)とが規定可能な状態にすることによって、結晶系シリコン基板の表面の結晶欠陥を低減することができるので、結晶系シリコン基板の表面の結晶欠陥に起因する出力の低下も抑制することができる。これらの結果、非晶質半導体層の膜質の低下および結晶系シリコン基板表面の結晶欠陥に起因する出力の低下を抑制することが可能な光起電力装置を容易に製造することができる。
【0020】
上記第2の局面による光起電力装置の製造方法において、好ましくは、所定の処理は、結晶系シリコン基板の表面にSi−H結合が形成されやすくなるような処理を含む。このように構成すれば、容易に、結晶系シリコン基板の表面をステップ部とテラス部とが規定可能な状態にすることができる。
【0021】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【0022】
図1は、本発明の実施例で作製したピラミッド状凹凸形状の表面を有する単結晶シリコン基板を含むHIT構造の光起電力装置の全体の概略構造を示した斜視図であり、図2は、図1に示したピラミッド状凹凸形状の表面を有する単結晶シリコン基板周辺の詳細構造を示した断面図である。図1および図2を参照して、まず、実施例で作製した光起電力装置の構造について説明する。
【0023】
本実施例による光起電力装置では、図1および図2に示すように、約1Ω・cmの抵抗率と約300μmの厚みとを有するn型(100)単結晶シリコン基板1(以下、n型単結晶シリコン基板1という)のシリコン(111)面が露出された凹凸形状の表面(図1には図示せず)上に、5nmの厚みを有する実質的に真性なi型のノンドープ非晶質シリコン層2が形成されている。ノンドープ非晶質シリコン層2上には、5nmの厚みを有するp型非晶質シリコン層3が形成されている。なお、n型単結晶シリコン基板1は、本発明の「結晶系シリコン基板」の一例であり、ノンドープ非晶質シリコン層2は、本発明の「非晶質半導体層」および「第1非晶質半導体層」の一例である。また、p型非晶質シリコン層3は、本発明の「非晶質半導体層」および「第2非晶質半導体層」の一例である。
【0024】
p型非晶質シリコン層3上には、100nmの厚みを有するITO膜からなる透明導電膜4が形成されている。透明導電膜4の上面上の所定領域には、図1に示すように、銀(Ag)からなる約10μm〜約30μmの厚みと約100μm〜約500μmの幅とを有する集電極5が形成されている。この集電極5は、所定の間隔を隔てて互いに平行に延びるように形成された複数のフィンガー電極部5aと、フィンガー電極部5aに流れる電流を集合させるバスバー電極部5bとによって構成されている。また、n型単結晶シリコン基板1の裏面上には、約10μm〜約30μmの厚みを有する銀(Ag)からなる裏面電極6が形成されている。
【0025】
ここで、本実施例では、n型単結晶シリコン基板1の表面が、ステップ部とテラス部(平坦部)とが規定可能な状態に形成されている。すなわち、1〜5シリコン原子層のステップ高さを有するステップ部と、2nm以上20nm以下のテラス長を有するテラス部とを有する構造が、n型単結晶シリコン基板1のピラミッド状凹凸の表面に形成されている。なお、この点については、後に詳細に説明する。
【0026】
以下、ステップ部とテラス部とが規定可能な表面を有するn型単結晶シリコン基板を含む実施例の光起電力装置を作製したプロセスについて説明する。なお、比較例として、ステップ部とテラス部とが規定できない表面を有する従来のn型単結晶シリコン基板を含む光起電力装置も作製した。
【0027】
まず、実施例および比較例では、約1Ω・cmの抵抗率と、300μmの厚みとを有するn型単結晶シリコン基板の表面を、それぞれ、以下の条件によって洗浄処理することによって、実施例では、n型単結晶シリコン基板1の表面にピラミッド状凹凸形状を形成するとともに、そのピラミッド状凹凸形状の表面をステップ部とテラス部とが規定可能な表面状態にし、比較例では、n型単結晶シリコン基板の表面にピラミッド状凹凸形状を形成するとともに、そのピラミッド状凹凸形状の表面をステップ部とテラス部とが規定できない表面状態にした。
【0028】
具体的には、実施例では、n型単結晶シリコン基板の表面を、(1)NaOH(2.5mol/l、85℃)、(2)NaOH/IPA(0.5mol/l NaOH、2mol/l IPA(イソプロピルアルコール)、85℃、30分)、(3)H2Oリンス(室温)、(4)HF/H2O(2mol/lHF、室温)、(5)H2Oリンス(室温)、(6)HF/HNO3(1:10(モル比)、室温、30秒)、(7)H2Oリンス(室温)、(8)O3/H2O(15ppm、室温、5分)、(9)H2Oリンス(室温)、(10)HF/H2O(2mol/lHF、室温)、(11)NH4F/H2O(0.27mol/l、室温、15秒)、および、(12)H2Oリンス(室温)の処理をこの順番で行うことによって、n型単結晶シリコン基板1の表面に、数μm〜数10μmの幅と数μm〜数10μmの高さとを有するピラミッド状凹凸形状を形成するとともに、そのピラミッド状凹凸形状の表面をステップ部とテラス部(平坦部)とが規定可能な状態にした。
【0029】
その一方、比較例では、n型単結晶シリコン基板を、(1)NaOH(2.5mol/l、85℃)、(2)NaOH/IPA(0.5mol/l NaOH、2mol/l IPA、85℃、30分)、(3)H2Oリンス(室温)、(4)HF/H2O(2mol/lHF、室温)、(5)H2Oリンス(室温)、(6)HF/HNO3(1:10(モル比)、室温、30秒)、(7)H2Oリンス(室温)、(8)O3/H2O(15ppm、室温、5分)、(9)H2Oリンス(室温)、(10)HF/H2O(2mol/lHF、室温)、(12)H2Oリンス(室温)の処理をこの順番で行うことによって、n型単結晶シリコン基板の表面に、実施例と同様のピラミッド状凹凸形状を形成するとともに、そのピラミッド状凹凸形状の表面をステップ部とテラス部(平坦部)とが規定できないテラス部を有しない形状に形成した。
【0030】
ここで、上記した実施例の洗浄処理と比較例の洗浄処理とで異なる点は、実施例の洗浄処理では、比較例の洗浄処理((1)〜(10)および(12))に、(11)のNH4F/H2O(0.27mol/l、室温、15秒)処理が追加されている点である。このように、実施例では、NH4F/H2O(0.27mol/l、室温、15秒)処理を行うことにより、ピラミッド状凹凸形状の表面をステップ部とテラス部(平坦部)とが規定可能な状態にした。すなわち、NH4F/H2O処理により、Si表面でのSi−H2やSi−H3などのSi原子と水素原子(H)との高次の結合が抑制されるとともに、Si最表面に水素が1つ結合して安定となったSi−H結合が形成されやすくなる。これにより、Si最表面での結晶欠陥が低減されるので、ピラミッド状凹凸形状の表面がステップ部とテラス部(平坦部)とが規定可能な状態になる。
【0031】
上記のような洗浄処理を行った後、実施例および比較例では、RFプラズマCVD(13.56MHz)を用いて、n型単結晶シリコン基板のステップ部とテラス部とが規定可能なピラミッド状凹凸形状の表面上に、ノンドープ非晶質シリコン層およびp型非晶質シリコン層をそれぞれ5nmの厚みで堆積した。その場合のプラズマCVD法による非晶質シリコン層の形成条件としては、形成温度:50℃〜200℃、反応圧力:5Pa〜100Pa、RFパワー:1mW/cm2〜500mW/cm2であった。また、p型ドーパントとして、ボロン(B)、n型ドーパントとして、燐(P)をそれぞれ用いた。
【0032】
この後、実施例および比較例では、p型非晶質シリコン層上に、DCマグネトロンスパッタ法を用いて、O2/Ar=1%、圧力:0.4Pa〜1.3Pa、カソードDC電力:1kWの条件下で、100nmの厚みを有するITO膜からなる透明電極膜を形成した。この後、透明電極膜上に、エポキシ樹脂に銀(Ag)微粉末を練り込んだAgペーストをスクリーン印刷法により、約10μm〜約30μmの高さと、約100μm〜約500μmの幅とを有するように形成した。そして、200℃で80分間焼成硬化することによって、所定の間隔を隔てて互いに平行に延びるように形成された複数のフィンガー電極部と、フィンガー電極部に流れる電流を集合させるバスバー電極部とからなる集電極を形成した。さらに、n型単結晶シリコン基板の裏面上にAgからなる裏面電極を形成した。
【0033】
なお、以上の結果作製された実施例による光起電力装置のノンドープ非晶質シリコン層の形成時の基板温度と光学ギャップ(Eopt)との関係を測定した結果が図3に示されている。図3を参照して、基板温度の低温化に伴って光学ギャップが増加することが判明した。光学ギャップが増加すると光吸収が低くなるので、基板温度の低温化により低光吸収の非晶質シリコン層の形成が可能であることが確認された。
【0034】
次に、上記のように作製した実施例および比較例による光起電力装置において、基板温度を150℃にしてノンドープ非晶質シリコン層(i層)およびp型非晶質シリコン層(p層)を形成した際の状態について図4〜図6(実施例)および図7および図8(比較例)を参照して説明する。
【0035】
なお、図4は、図2に示した実施例の光起電力装置の100部分の拡大図であり、図5は、図4に示した実施例のテラス部とステップ部とを説明するための概略図である。図6は、実施例によるピラミッド状凹凸形状の表面を有する単結晶シリコン基板周辺の断面透過電子顕微鏡写真(断面TEM像)のイメージ図である。また、図7および図8は、それぞれ、図4および図6に対応する比較例の拡大図および断面TEM像のイメージ図である。
【0036】
まず、実施例による光起電力装置では、図4および図5に示すように、n型単結晶シリコン基板(c−Si)1の表面に、シリコン(111)面が露出した数μm〜数10μmの幅と厚みとを有するピラミッド状凹凸構造を有し、かつ、そのシリコン表面に、2nm以上20nm以下のテラス長を有するテラス部(平坦部)1aと、1シリコン原子層〜5シリコン原子層のステップ高さを有するステップ部1bとが形成された構造を有することが確認された。また、テラス部1aおよびステップ部1bを有するn型単結晶シリコン基板(c−Si)1の表面上には、n型単結晶シリコン基板1の表面のテラス部1aおよびステップ部1bの原子配列を反映した原子配列を有するノンドープ非晶質シリコン界面層2aを含むノンドープ非晶質シリコン層2が形成されている。
【0037】
具体的には、図6に示すように、n型単結晶シリコン基板1のテラス部1aでは、規則的なSi格子像のドットをTEMにより確認できた。そして、ノンドープ非晶質シリコン層2のn型単結晶シリコン基板1のテラス部1aとの界面には、テラス部1aの規則的なSi格子像のドットを反映したドットがライン状に結ばれた状態(ドット間は不明瞭)のノンドープ非晶質シリコン界面層2aが確認された。そして、そのノンドープ非晶質シリコン界面層2a上には、Si格子像が確認できない通常のランダムなノンドープ非晶質シリコン層2が形成されていることが確認された。
【0038】
これに対して、比較例による光起電力装置では、n型単結晶シリコン基板(c−Si)のピラミッド状凹凸形状の表面には、図7に示すように、ステップ部を有しない±1nm程度の不規則な構造が確認された。また、図8に示すように、この比較例による構造では、n型単結晶シリコン基板(c−Si)の表面上には、Si格子像が確認できない通常のランダムなノンドープ非晶質シリコン層(i層)が形成されていることが確認された。
【0039】
また、上記した実施例および比較例による光起電力装置の出力特性を比較したところ、実施例の開放電圧Vocは、比較例の開放電圧Vocに比べて約1%向上していることが判明した。
【0040】
これは以下の理由によると考えられる。すなわち、実施例では、テラス部(平坦部)1aとステップ部1bとが規定可能な表面を有するn型単結晶シリコン基板1を用いることによって、テラス部(平坦部)1aでは成膜種が拡散しやすいので、n型単結晶シリコン基板1の表面上にノンドープ非晶質シリコン層2を低温で形成する際に、ノンドープ非晶質シリコン層2が島状に成長するのを抑制することができる。これにより、n型単結晶シリコン基板1との界面近傍におけるノンドープ非晶質シリコン層2の膜質の低下を抑制することができるので、ノンドープ非晶質シリコン層2の膜質の低下に起因する出力の低下を抑制することができたと考えられる。また、n型単結晶シリコン基板1の表面をテラス部(平坦部)1aとステップ部1bとが規定可能な状態にすることによって、n型単結晶シリコン基板1の表面の結晶欠陥を低減することができるので、n型単結晶シリコン基板1の表面の結晶欠陥に起因する出力の低下も抑制することができたと考えられる。
【0041】
次に、実施例によるテラス有りのn型単結晶シリコン基板を用いた光起電力装置と比較例によるテラス無しのn型単結晶シリコン基板を用いた光起電力装置とにおいて、ノンドープ非晶質シリコン層の形成温度を75℃から200℃まで低温で変化させた場合の光起電力装置の規格化開放電圧Vocおよびセル出力の測定結果について、図9および図10を参照して説明する。なお、図9および図10では、基板温度が150℃でテラス無しのn型単結晶シリコン基板を用いた比較例の場合の値によって規格化した。図9および図10に示すように、テラス無しのn型単結晶シリコン基板を用いた比較例では、基板温度の低温化に伴って急激な開放電圧Vocおよびセル出力の低下が見られた。これは、基板温度の低温化に伴って、テラス無しの比較例では、ノンドープ非晶質シリコン層が島状に成長しやすくなるため、ノンドープ非晶質シリコン層の膜質が低下するためであると考えられる。
【0042】
これに対して、テラス有りのn型単結晶シリコン基板を用いた実施例の場合では、基板温度の低温化による開放電圧Vocの低下は見られず、ノンドープ非晶質シリコン層の光吸収の低減による出力改善が確認された。また、図9および図10のデータ測定に用いた実施例の光起電力装置のノンドープ非晶質シリコン層の成膜初期を観察したところ、n型単結晶シリコン基板上での規則正しい成膜が見られた。完成品の断面構造は、75℃の基板温度の場合においても、図6に示すような、n型単結晶シリコン基板の表面の規則的なSi格子像のドットを反映したドットがライン状に結ばれた状態(ドット間は不明瞭)の高品質のノンドープ非晶質シリコン界面層が形成されていることが判明した。
【0043】
なお、今回開示された実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【0044】
たとえば、上記実施例では、n型単結晶シリコン基板のピラミッド状の凹凸形状を有する表面にテラス部とステップ部とが規定可能な構造を形成するために、NH4F/H2O処理を行ったが、本発明はこれに限らず、Si表面でのSi−H2やSi−H3などのSi原子と水素原子(H)との高次の結合を抑制することができるとともに、Si最表面に水素が1つ結合して安定となったSi−H結合を形成可能な処理であれば、NH4F/H2O処理以外であってもよい。たとえば、沸点近く(90℃以上)に温度を上昇させたH2O(水)による洗浄処理によってもNH4F/H2O処理と同様の効果を得ることができる。
【0045】
また、上記実施例では、表面側から光が入射されるn型単結晶シリコン基板の表面上にi型のノンドープ非晶質シリコン層およびp型非晶質シリコン層が形成されるHIT構造の光起電力装置における表面側(光入射側)に本発明を適用した例を説明したが、本発明はこれに限らず、結晶系シリコン基板の表面上や裏面上に非晶質シリコン層が形成される構造であれば、他の構造を有する光起電力装置にも適用可能である。たとえば、n型単結晶シリコン基板の裏面上に、i型のノンドープ非晶質シリコン層およびn型非晶質シリコン層が形成される構造の光起電力装置における裏面側(光透過側)にも本発明は適用可能である。
【0046】
また、上記実施例では、結晶系シリコン基板上に形成される非晶質半導体層の一例として、非晶質シリコン層を用いた場合について説明したが、本発明はこれに限らず、非晶質シリコン層に代えて、非晶質SiC層、非晶質SiGe層、非晶質SiOx層、非晶質SiN層などのシリコン系半導体材料からなる非晶質半導体層を用いても同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例で作製したピラミッド状凹凸形状の表面を有する単結晶シリコン基板を含むHIT構造の光起電力装置の全体の概略構造を示した斜視図である。
【図2】図1に示したピラミッド状凹凸形状の表面を有する単結晶シリコン基板周辺の詳細構造を示した断面図である。
【図3】実施例による光起電力装置のノンドープ非晶質シリコン層の形成時の基板温度と光学ギャップ(Eopt)との関係を示した相関図である。
【図4】図2に示した実施例の光起電力装置の100部分の拡大図である。
【図5】図4に示した実施例のテラス部とステップ部とを説明するための概略図である。
【図6】実施例によるピラミッド状凹凸形状の表面を有する単結晶シリコン基板周辺の断面透過電子顕微鏡写真(断面TEM像)のイメージ図である。
【図7】本発明の比較例によるピラミッド状凹凸形状の表面を有する単結晶シリコン基板周辺の拡大断面図である。
【図8】比較例によるピラミッド状凹凸形状の表面を有する単結晶シリコン基板周辺の断面透過電子顕微鏡写真(断面TEM像)のイメージ図である。
【図9】ノンドープ非晶質シリコン層の形成温度と規格化開放電圧Vocとの関係をテラス無し(比較例)とテラス有り(実施例)とについて示した相関図である。
【図10】ノンドープ非晶質シリコン層の形成温度と規格化出力との関係をテラス無し(比較例)とテラス有り(実施例)とについて示した相関図である。
【図11】本発明の比較例で作製したピラミッド状凹凸形状の表面を有する単結晶シリコン基板を含むHIT構造の光起電力装置の全体の概略構造を示した斜視図である。
【図12】図11に示したピラミッド状凹凸形状の表面を有する単結晶シリコン基板周辺の詳細構造を示した断面図である。
【符号の説明】
1 n型単結晶シリコン基板(結晶系シリコン基板)
1a テラス部
1b ステップ部
2 ノンドープ非晶質シリコン層(非晶質半導体層、第1非晶質半導体層)
2a ノンドープ非晶質シリコン界面層
3 p型非晶質シリコン層(非晶質半導体層、第2非晶質半導体層)
4 透明導電膜
5 集電極
6 裏面電極
Claims (7)
- シリコン(111)面が露出された凹凸形状の表面を有し、前記表面においてステップ部とテラス部とが規定可能な結晶系シリコン基板と、
前記結晶系シリコン基板の表面上に形成された非晶質半導体層とを備えた、光起電力装置。 - 前記結晶系シリコン基板のステップ部の高さは、1シリコン原子層以上5シリコン原子層以下であり、
前記結晶系シリコン基板のテラス部の幅は、2nm以上20nm以下である、請求項1に記載の光起電力装置。 - 前記非晶質半導体層は、前記結晶系シリコン基板との界面近傍に、前記結晶系シリコン基板の表面の原子配列を反映した原子配列を有する層を含む、請求項1または2に記載の光起電力装置。
- 前記結晶系シリコン基板の表面の原子配列を反映した原子配列を有する層は、2シリコン原子層以上5シリコン原子層以下の厚みを有する、請求項3に記載の光起電力装置。
- 前記非晶質半導体層は、
前記結晶系シリコン基板の表面上に形成され、実質的に真性な第1非晶質半導体層と、
前記第1非晶質半導体層の表面上に形成された第1導電型の第2非晶質半導体層とを含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光起電力装置。 - シリコン(111)面が露出された凹凸形状の表面を有する結晶系シリコン基板の前記表面に対して所定の処理を施すことによって、結晶系シリコン基板の表面をステップ部とテラス部とが規定可能な状態にする工程と、
前記結晶系シリコン基板の表面上に非晶質半導体層を形成する工程とを備えた、光起電力装置の製造方法。 - 前記所定の処理は、前記結晶系シリコン基板の表面にSi−H結合が形成されやすくなるような処理を含む、請求項6に記載の光起電力装置の製造方法。
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