JP2004214481A - バンプ形成装置、バンプ形成方法、検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】キャピラリ部121の金ワイヤ90の先端に金属ボールを形成し、半導体チップ9の電極パッドに押圧するとともに超音波振動を付与して電極パッド上にボールバンプを形成するバンプ形成装置1において、半導体チップ9に光源部13から赤外光を照射して撮像部14にて撮像を行う。撮像部14にて取得された画像は画像処理部151において処理され、金属ボールと電極パッドとの間の接合層の面積が求められる。制御部15では接合層の面積に基づいて制御信号が生成され、金属ボールへの押圧力および超音波振動の振幅が制御される。これにより、ボールバンプと電極パッドとの安定した接合強度を得ることができる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップの電極パッドにボールバンプを形成する技術に関連する。
【0002】
【従来の技術】
近年、各種電子機器の小型化に伴い、半導体のベアチップを基板上に実装する技術として、半導体チップの電極パッド上に金により微小なボールバンプを形成し、ボールバンプを介して半導体チップと基板とを電気的に接合する技術(いわゆる、「フリップチップ実装」)が利用されている。
【0003】
半導体チップの電極パッド上にボールバンプを形成する手法としては、金ワイヤの先端に金属ボールを形成し、金属ボールに超音波振動を与えるとともに電極パッドに付勢し、その後、金ワイヤと金属ボールとを切断するという手法が採用されている。このとき、金属ボールを電極パッドに押圧する力や超音波振動の振幅は予め準備された条件にて行われる(いわゆる、オープンループ制御が行われる)。
【0004】
一方、特許文献1に示されるように、フリップチップ実装後の半導体チップに対して、赤外光を用いて電極パッドの剥がれやパッドのクラックを検出する技術が提案されている。
【0005】
【特許文献1】
特開平9−312317号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のようにオープンループ制御にてボールバンプの形成が行われた場合、バンプ形成環境や電極パッドの表面状態の影響により、接合が完了しているにも関わらず金属ボールに超音波振動が与えられたり、接合が十分でない状態でバンプ形成が終了してしまうことがある。その結果、電極パッドの剥離や接合不良が発生してしまう。
【0007】
また、上記特許文献1では、電極パッドの剥がれやパッドのクラックの検出が行われるが、これらの欠陥検出は実装が行われた後であるとともに十分な強度にてボールバンプと電極パッドとの接合が行われているか否かを検査することができない。さらに、バンプ形成に際して半導体チップ内部にクラックが生じる可能性があるが、電極パッドの観察のみではこのようなクラックを適切に検出することができない。
【0008】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、ボールバンプをより適切に形成する技術を提供することを主たる目的としている。また、バンプ形成における新たな検査方法を提供することも目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、半導体チップにボールバンプを形成するバンプ形成装置であって、半導体チップを保持する保持部と、ボールバンプの材料である金属ワイヤの先端に金属ボールを形成して前記金属ボールを半導体チップの電極パッドに対して押圧する押圧機構と、金属ボールに超音波振動を付与する超音波振動子と、電極パッドとは反対側の面から赤外光を用いて半導体チップを撮像する撮像部とを備える。
【0010】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のバンプ形成装置であって、前記撮像部により取得される画像を処理することにより、電極パッドと金属ボールとの接合状態を取得する処理部をさらに備える。
【0011】
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載のバンプ形成装置であって、前記処理部による処理結果に基づいて前記押圧機構による押圧力を制御する押圧制御部をさらに備える。
【0012】
請求項4に記載の発明は、請求項2または3に記載のバンプ形成装置であって、前記処理部による処理結果に基づいて前記超音波振動子を制御する振動制御部をさらに備える。
【0013】
請求項5に記載の発明は、請求項2ないし4のいずれかに記載のバンプ形成装置であって、前記処理部により、電極パッドと金属ボールとの接合面積が求められる。
【0014】
請求項6に記載の発明は、請求項2ないし5のいずれかに記載のバンプ形成装置であって、前記処理部により、電極パッド近傍の欠陥の検出が行われる。
【0015】
請求項7に記載の発明は、請求項6に記載のバンプ形成装置であって、前記電極パッド近傍の欠陥に、電極パッドの剥離または半導体チップのクラックが含まれる。
【0016】
請求項8に記載の発明は、請求項6または7に記載のバンプ形成装置であって、半導体チップの厚さ方向に関して前記撮像部の合焦位置と前記半導体チップとの相対的位置関係を変更する機構をさらに備える。
【0017】
請求項9に記載の発明は、半導体チップにボールバンプを形成するバンプ形成方法であって、a) 半導体チップを所定位置に保持する工程と、b) ボールバンプの材料である金属ワイヤの先端に金属ボールを形成して前記金属ボールを前記半導体チップの電極パッドに対して押圧する工程と、c) 前記金属ボールに超音波振動を付与する工程と、d) 前記金属ワイヤを前記電極パッドから待避させることにより前記電極パッド上にボールバンプを形成する工程と、e) 前記電極パッドとは反対側の面から赤外光を用いて前記半導体チップの画像を取得する工程と、f) 前記画像を処理することにより、前記電極パッドと前記金属ボールとの接合状態を取得する工程とを有する。
【0018】
請求項10に記載の発明は、請求項9に記載のバンプ形成方法であって、前記e)およびf)工程が、前記b)工程と前記d)工程との間に実行され、前記接合状態に基づいて前記電極パッドに対する前記金属ボールの押圧力が制御される。
【0019】
請求項11に記載の発明は、請求項9または10に記載のバンプ形成方法であって、前記e)およびf)工程が、前記b)工程と前記d)工程との間に実行され、前記接合状態に基づいて前記超音波振動が制御される。
【0020】
請求項12に記載の発明は、請求項9ないし11のいずれかに記載のバンプ形成方法であって、前記接合状態として、前記電極パッドと前記金属ボールとの接合面積が求められる。
【0021】
請求項13に記載の発明は、請求項9ないし12のいずれかに記載のバンプ形成方法であって、g) 前記画像を処理することにより、前記電極パッド近傍の欠陥を検出する工程をさらに有する。
【0022】
請求項14に記載の発明は、請求項13に記載のバンプ形成方法であって、前記電極パッド近傍の欠陥に、電極パッドの剥離または半導体チップのクラックが含まれる。
【0023】
請求項15に記載の発明は、ボールバンプが形成された半導体チップを検査する検査装置であって、半導体チップを保持する保持部と、ボールバンプが形成された電極パッドとは反対側の面から赤外光を用いて半導体チップを撮像する撮像部と、前記撮像部により取得された画像を処理する処理部とを備え、前記処理部が、取得された画像からボールバンプと電極パッドとの間の接合層に対応する領域を特定し、前記領域に基づいて前記ボールバンプと前記電極パッドとの接合状態の良否を判定する。
【0024】
請求項16に記載の発明は、ボールバンプが形成された半導体チップを検査する検査方法であって、a) 半導体チップを所定位置に保持する工程と、b) ボールバンプが形成された電極パッドとは反対側の面から赤外光を用いて前記半導体チップを撮像する工程と、c) 取得された画像から前記ボールバンプと前記電極パッドとの間の接合層に対応する領域を特定する工程と、d) 前記領域に基づいて前記ボールバンプと前記電極パッドとの接合状態の良否を判定する工程とを有する。
【0025】
請求項17に記載の発明は、ボールバンプが形成された半導体チップを検査する検査装置であって、半導体チップを保持する保持部と、ボールバンプが形成された電極パッドとは反対側の面から赤外光を用いて半導体チップを撮像する撮像部と、前記撮像部により取得された画像を処理する処理部と、半導体チップの厚さ方向に関して前記撮像部の合焦位置と前記半導体チップとの相対的位置関係を変更する機構とを備える。
【0026】
請求項18に記載の発明は、ボールバンプが形成された半導体チップを検査する検査方法であって、a) 半導体チップを所定位置に保持する工程と、b) 合焦位置をボールバンプが形成された電極パッドに合わせて前記電極パッドとは反対側の面から赤外光を用いて前記半導体チップを撮像する工程と、c) 前記b)工程において取得された画像を処理する工程と、d) 前記合焦位置を前記半導体チップの内部に位置させて赤外光を用いて前記半導体チップを撮像する工程と、e) 前記d)工程において取得された画像を処理する工程とを有する。
【0027】
請求項19に記載の発明は、請求項18に記載の検査方法であって、前記e)工程において前記半導体チップの内部のクラックの有無が検査される。
【0028】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一の実施の形態に係るバンプ形成装置1の構成を示す図である。バンプ形成装置1は、半導体チップ9が載置されるステージ部11、半導体チップ9の電極パッド上に金のボールバンプを形成するヘッド部12、半導体チップ9に向けて赤外光を出射する光源部13、半導体チップ9を赤外の波長域で撮像する撮像部14、および、バンプ形成装置1の動作を司る制御部15を有する。
【0029】
ステージ部11は、半導体チップ9が載置されるとともに吸引吸着するステージ111、および、ステージ111を水平面内で移動する移動機構112を有する。ステージ111の半導体チップ9が載置される領域は赤外光を透過する石英のガラス111aとなっている。図2はガラス111a近傍を拡大して示す図である。半導体チップ9は、電極パッド91が上側を向く状態でステージ111上に載置され、ステージ111およびガラス111a内を貫通する吸引路111bから吸引が行われることにより、半導体チップ9がガラス111a上に保持される。
【0030】
ヘッド部12は、金ワイヤ90が通される微細な孔が形成された部材(以下、「キャピラリ部」という。)121、キャピラリ部121が取り付けられるUSホーン122、USホーン122に超音波振動を与える超音波振動子123、USホーン122および超音波振動子123を回動軸124を中心に回動させるVCM(ボイスコイルモータ)125、並びに、キャピラリ部121の先端から露出する金ワイヤ90の先端との間でスパーク放電を行うトーチ126を有する。
【0031】
撮像部14は、焦点距離が可変とされたレンズ群141および2次元の撮像デバイス142を有する。撮像部14はステージ111の下方に位置し、半導体チップ9を電極パッドが形成された面とは反対側の面からガラス111aを介して赤外光を用いて撮像を行う。撮像部14の光軸は半導体チップ9の主面に対して垂直であっても傾斜していてもよく、レンズ群141の焦点距離が変更されることにより、半導体チップ9の厚さ方向(図1における上下方向)に関して合焦位置と半導体チップ9との相対的位置関係が変更可能とされる。
【0032】
制御部15は演算処理を行う回路および各種駆動回路を有し、ステージ部11、ヘッド部12、光源部13および撮像部14の動作を制御するとともに撮像部14にて取得された画像が入力される。図1では、撮像部14からの画像を処理する画像処理部151、VCM125の力制御を行うモータ制御部152、超音波振動子123の振幅を制御する超音波制御部153、および、後述の検査処理にて利用される各種しきい値を記憶する判定用しきい値メモリ154のみを図示している。
【0033】
図3および図4は、バンプ形成装置1の動作の流れを示す図である。まず、半導体チップ9がステージ111のガラス111a上に載置されると(ステップS11)、吸引により半導体チップ9がステージ111上に保持される。移動機構112により、最初にバンプ形成が行われる半導体チップ9の電極パッドが撮像部14の撮像範囲内へと移動し(ステップS12)、撮像部14により赤外光による画像が取得される(ステップS13)。取得された画像は、画像処理部151において微分、2値化等の処理が施され、電極パッドの剥離、傷等が事前に検査される(ステップS14)。異常が検出された場合には、後述のステップS42(図4参照)へと移行する。
【0034】
事前検査により電極パッドに異常が存在しないことが確認されると(ステップS15)、モータ制御部152がVCM125を制御してキャピラリ部121が半導体チップ9に向かって下降する。下降途上においてキャピラリ部121から500μm程度突出している金ワイヤ90の先端がトーチ126に近づくと、金ワイヤ90の先端とトーチ126との間でスパーク放電が行われ、金ワイヤ90の先端が溶融して金の金属ボールが形成される。
【0035】
キャピラリ部121はさらに下降して金属ボールがキャピラリ部121の先端と電極パッドとの間に挟まれるようにして電極パッドに当接し、押圧される(ステップS16)。図5はキャピラリ部121の昇降、超音波振動(US)のON/OFF制御、および、キャピラリ部121による押圧のON/OFF制御の動作タイミングを示す図である。図5に示すように、キャピラリ部121による押圧開始と同時に、超音波制御部153により超音波振動子123が能動化され(ステップS17)、USホーン122を介してキャピラリ部121および金属ボールに超音波振動が付与される。
【0036】
なお、後述するように金属ボールへの押圧力および超音波振動の振幅が滑らかに変化するように制御されてもよいが、まず、図5に示すようにキャピラリ部121による押圧および超音波振動がON/OFF制御のみ行われる場合について説明する。
【0037】
金属ボールが電極パッドに押圧されるとすぐに撮像部14により電極パッドの撮像が行われる(ステップS18)。そして、画像処理部151により接合状態の検出が行われ(ステップS19)、接合が完了したと判定されるまで撮像および接合状態の検出が繰り返される(ステップS20)。なお、押圧および超音波振動がON/OFF制御のみ行われる場合は、図3に示すステップS21は実質的に実行されない。
【0038】
図6(a)および(b)は、接合完了と判断される際に撮像部14により取得される画像を例示する図である。図6(a)および(b)において平行斜線を付す領域92は電極パッド91とボールバンプとの間にて接合層が形成された領域を示している。接合層は、アルミニウムの電極パッドと金の金属ボールとにより合金層が形成された領域であると考えられている。正常な接合が行われる場合には図6(a)に示すように接合層の領域92が円環状に、あるいは、図6(b)に示すように領域92がおよそ円形に形成される。異常な接合の場合には、接合層が不自然に変形した形状となる。
【0039】
ボールバンプと電極パッドとの間の接合強度は、一般に、治具を用いてボールバンプに接合面に平行な力を加え、ボールバンプが半導体チップ9から外れる際の力の大きさ(いわゆる、シェア強度)にて評価される。予め、接合層の面積を計測した上でシェア強度を計測した場合、接合層の面積とシェア強度とはおよそ比例関係にあることが確認されている。すなわち、接合層の面積を計測することにより、非破壊にてボールバンプの接合強度を計測することが可能であるといえる。なお、シェア強度はせん断力に対する強度であるが、接合層の面積は縦歪み方向に対する強度を正確に反映していると考えられ、シェア強度よりも適切な接合強度の評価値として用いることができる。
【0040】
そこで、本実施の形態に係るバンプ形成装置1では、ステップS19にて金属ボールを電極パッドに接合する途上において、撮像部14を用いて接合層の面積を計測することにより接合状態を検出し、接合が完了したか否かを判定するようにしている。
【0041】
図7は、接合状態の検出(ステップS19)の詳細を示す図である。まず、電極パッドの画像から図8に示すように画素値のヒストグラムが生成され、判定用しきい値メモリ154から接合層に相当する画素値の範囲R1が読み出され、範囲R1の度数の総和(図8中にて平行斜線を付す領域の面積)が、接合層の面積として求められる(ステップS191)。
【0042】
さらに、接合層の面積が判定用しきい値メモリ154に記憶されている所定のしきい値と比較され(ステップS192)、面積がしきい値以下の場合には接合が不十分であるとしてステップS18へと戻る。なお、金属ボールの押圧および超音波振動がON/OFF制御されるのみである場合には、図7中に示すステップS194は実行されない。
【0043】
金属ボールに対する押圧および超音波振動の付与が継続的に行われている間、既述のように撮像部14による撮像および画像処理部151による接合層の面積の算出が繰り返され(ステップS18,S191)、面積がしきい値を超えると(ステップS192)、画像処理部151において接合完了信号が生成され(ステップS193)、図5に示すようにモータ制御部152および超音波制御部153による金属ボールの押圧および振動付与が停止される(図4:ステップS31)。その後、キャピラリ部121が上昇するとともに電極パッドに接合された金属ボールから金ワイヤ90を待避させることにより金属ボールと金ワイヤ90とが切断され、金属ボールがボールバンプとされる(ステップS32)。
【0044】
ボールバンプの形成が完了すると、撮像部14により再度撮像が行われ(ステップS33)、画像処理部151により画像が処理されて接合状態の検査が行われる(ステップS34)。接合状態の検査には電極パッド近傍の欠陥検出の処理も含まれる。
【0045】
図9は接合状態の検査の流れを示す図である。接合状態の検査では、まず、電極パッドが半導体チップ9(の本体部分)から剥離しているか否かが検査される。図10は電極パッド91の接合層の領域92が剥離した様子を例示する図である。電極パッドの一部が剥離した場合、剥離部分と他の部分との間に段差が生じるため、剥離部分の境界92aが鮮明なエッジとして現れる。そこで、画像処理部151では、まず、画像を微分して微分画像を生成し(ステップS341)、さらに、微分画像において判定用しきい値メモリ154に記憶されている所定の値以上の画素値の面積を求める(すなわち、2値化する)ことにより、鮮明なエッジの検出が行われる(ステップS342)。
【0046】
微分画像の2値画像の面積(例えば、画素値が1の領域の面積)は判定用しきい値メモリ154に記憶されている所定のしきい値とさらに比較され、面積がしきい値以上の場合には、電極パッドの剥離が存在すると判定される(ステップS343,S344)。
【0047】
次に、撮像部14にて取得された画像のヒストグラムが生成され、接合層に対応する画素値範囲(図8中の符号R1参照)以外の範囲(符号R2,R3参照)に異常に高い度数が存在するか否かが確認される(ステップS345)。例えば、電極パッドに傷やクラックが存在する場合、異常に明るい(すなわち、電極パッドの接合層以外の領域よりも明るい)画素や異常に暗い画素が生じる。そこで、異常に画素値が大きいまたは小さい画素の度数が大きい場合には、何らかの欠陥が存在すると判定がなされる(ステップS346)。
【0048】
次に、ボールバンプが完全に形成された後の接合強度が十分であるか否かが確認される。具体的には、画素値のヒストグラムにおいて接合層に対応する画素値範囲の度数の総和(すなわち、接合層の面積)が求められ(ステップS347)、面積が所定のしきい値(図7中のステップS192にて用いられたしきい値)と比較される(ステップS348)。面積がしきい値以下の場合には、接合不良であると判定される(ステップS349)。このとき、接合層の領域が抽出されて接合層の形状検査が行われてもよい。
【0049】
以上の説明における撮像部14による撮像は、撮像部14の合焦位置が電極パッドに合わされて行われる。次に、撮像部14のレンズ群141の焦点距離が変更されて合焦位置が半導体チップ9の内部へと移動され(図4:ステップS35)、撮像部14による撮像が再度行われる(ステップS36)。画像処理部151では取得された画像を処理することにより、電極パッド近傍にて半導体チップ9内部にクラックが存在するか否かが確認される(ステップS37)。
【0050】
図11は半導体チップ9内のクラックが撮像された様子を示す図である。合焦位置が半導体チップ9内に位置するため、図11では接合層の領域92のエッジが若干ぼけた状態で取得される。一方、半導体チップ9内において、通常、電極パッド91に対して傾斜した面となるクラック92bは、少なくとも一部が合焦位置に位置し、鮮明なエッジとして現れる。そこで、パッド剥離検出と同様の手法によりクラック92bの検出が行われる。
【0051】
図12はクラック検査(ステップS37)の流れを示す図である。画像処理部151では、まず、画像を微分して微分画像を生成し(ステップS371)、微分画像において判定用しきい値メモリ154に記憶されている所定の値以上の画素値の面積を求める(すなわち、2値化する)ことにより、鮮明なエッジの検出が行われる(ステップS372)。微分画像の2値画像の面積は判定用しきい値メモリ154に記憶されている所定のしきい値とさらに比較され、面積がしきい値以上の場合には、半導体チップ9内にクラックが存在すると判定される(ステップS373,S374)。
【0052】
接合状態検査およびクラック検査において異常が検出されず、かつ、バンプ形成対象となっている半導体チップ9においてボールバンプが未形成の電極パッドが存在する場合には、その電極パッドに対してバンプ形成および検査が繰り返される(図4:ステップS38,S39)。一方、半導体チップ9において最後のバンプ形成が完了し、次の半導体チップ9が存在する場合には、半導体チップ9がステージ111からアンロードされて次の半導体チップ9がステージ111にロードされる(ステップS40,S41、図3:ステップS11)。
【0053】
図3中の事前検査(ステップS14)において電極パッドの異常が検出された場合には、欠陥を有する半導体チップ9の番号および欠陥種別が制御部15内のメモリに記憶され、バンプ形成を行うことなく次の半導体チップ9に対するバンプ形成へと移行する(ステップS15,S42,S40,S41)。
【0054】
図4中の接合状態検査(ステップS34)またはクラック検査(ステップS37)において接合異常が検出された場合も、欠陥を有する半導体チップ9の番号および欠陥種別が制御部15内のメモリに記憶され、残りの電極パッドに対してバンプ形成を行うことなく次の半導体チップ9に対するバンプ形成へと移行する(ステップS38,S42,S40,S41)。
【0055】
以上に説明したように、バンプ形成装置1では金属ボールが電極パッドに接合される途上において接合層の面積が求められ、接合が完了したか否かが確認される。これにより、接合が不十分であるにも関わらず接合動作が終了してしまうことが防止され、安定した接合強度が得られる。また、接合が十分であるにも関わらず過剰に接合動作が行われることも防止されるため、電極パッドの損傷も抑制することができる。
【0056】
また、接合後の検査においても、接合層の面積に基づいて非破壊にて接合強度を確認することができ、さらに、撮像部14の合焦位置を変更することにより半導体チップ9内部のクラックの検査も行うことができるため、従来検出が困難であった欠陥も容易に検出することができる。
【0057】
次に、ボールバンプ形成の際に電極パッドへの押圧および超音波振動が画像の処理結果に基づいてON/OFF制御のみが行われるのではなく、図3中のステップS21が実行されて電極パッドへの押圧力および超音波振動の振幅が可変制御される場合の例について説明する。
【0058】
金属ボールと電極パッドとの接合が行われている間に撮像部14による撮像(図3:ステップS18)および接合層の面積の算出(図7:ステップS191)が行われると、接合層の面積が所定の値となるまで制御部15において金属ボールの押圧力および/または超音波振動の振幅が求められ、接合制御信号が生成される(ステップS192,S194)。接合制御信号は、モータ制御部152および/または超音波制御部153に入力され、金属ボールの押圧力および/または超音波振動の振幅が変更される(図3:ステップS21)。
【0059】
具体例としては、ヘッド部12の出力P(押圧力および振幅に基づくエネルギー)は、画像処理部151にて求められた接合層の現面積S、目標面積Sd(すなわち、ステップS192におけるしきい値)、並びに、係数KpおよびKdを用いて数1により求められ、フィードバック制御(PD制御)が行われる。
【0060】
【数1】
【0061】
これにより、図13(a)に示すように出力が時間とともに変化し、図13(b)に示すように時刻teにて接合層の面積が目標面積Sdとされる。その結果、接合完了間際に電極パッドが剥離したり、半導体チップ9内にクラックが発生することを抑制し、バンプ形成の歩留まりを向上することが実現される。
【0062】
なお、出力制御は、VCM125による金属ボールへの押圧力または超音波振動の振幅のいずれか一方のみにより行われてもよく、赤外光を利用した画像に基づく制御の態様も図13(a)および(b)に示すものには限定されない。さらには、フィードバック制御に際して金属ボールの潰れの程度等の他の要素が併用されてもよい。
【0063】
以上、本発明の一の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【0064】
例えば、ボールバンプ形成後の接合層の面積や形状に基づいて接合状態の領域を判定する検査、または、合焦位置を変更することによる半導体チップ9内部のクラックの有無の検査は、バンプ形成装置1から分離された検査装置にて実行されてもよい。
【0065】
また、半導体チップ9はガラス111a上において機械的に保持されてもよいし、検査のみを行う場合には、半導体チップ9は微小な吸引ノズルにより中央が保持されてもよい。ガラス111aに代えて、シリコン等の赤外光を透過する他の材料が用いられてもよい。
【0066】
上記実施の形態では、レンズ群141により半導体チップ9に対する合焦位置が変更可能とされるが、例えば、検査のみを行う場合には、半導体チップ9を昇降させることにより合焦位置と半導体チップ9との相対的位置関係が変更されてもよい。
【0067】
上記実施の形態では金属ボールに対する押圧や超音波振動がフィードバック制御される際に撮像部14および画像処理部151により接合層の面積が求められるが、このとき、電極パッドの剥離、半導体チップ9のクラック、接合層の形状等の接合状態が同時に取得されてもよい。さらに、接合開始からの接合層の面積の増加速度に基づいて、接合不能等の異常検出が行われてもよい。
【0068】
【発明の効果】
請求項1、2および9の発明では、ボールバンプを形成する際に赤外光を用いて撮像部により金属ボールと電極パッドとの接続状態を示す画像を取得することができる。
【0069】
また、請求項3ないし5、並びに、10ないし12の発明では、取得された画像に基づいて接合を制御することにより、ボールバンプと電極パッドとの安定した接合強度を得ることができる。
【0070】
さらに、請求項6ないし8、並びに、13および14の発明では撮像部により取得される画像を欠陥検出に利用することができる。
【0071】
請求項15および16の発明では、ボールバンプと電極パッドとの接合状態を的確に判定することができ、請求項17ないし19の発明では、半導体チップ内を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】バンプ形成装置の構成を示す図
【図2】ステージのガラス近傍を拡大して示す図
【図3】バンプ形成装置の動作の流れを示す図
【図4】バンプ形成装置の動作の流れを示す図
【図5】キャピラリ部の昇降、超音波振動および押圧の動作タイミングを示す図
【図6】(a)および(b)は、電極パッドの画像を例示する図
【図7】接合状態の検出の詳細を示す図
【図8】画素値のヒストグラムを例示する図
【図9】接合状態の検査の流れを示す図
【図10】電極パッドが剥離した様子を例示する図
【図11】半導体チップ内のクラックを例示する図
【図12】クラック検査の流れを示す図
【図13】(a)は出力の変化を示す図
(b)は接合層の面積の変化を示す図
【符号の説明】
1 バンプ形成装置
9 半導体チップ
14 撮像部
90 金属ワイヤ
91 電極パッド
111 ステージ
121 キャピラリ部
123 超音波振動子
125 VCM
151 画像処理部
152 モータ制御部
153 超音波制御部
141 レンズ群
S11,S16〜S19,S21,S32〜S37,S191,S347 ステップ
Claims (19)
- 半導体チップにボールバンプを形成するバンプ形成装置であって、
半導体チップを保持する保持部と、
ボールバンプの材料である金属ワイヤの先端に金属ボールを形成して前記金属ボールを半導体チップの電極パッドに対して押圧する押圧機構と、
金属ボールに超音波振動を付与する超音波振動子と、
電極パッドとは反対側の面から赤外光を用いて半導体チップを撮像する撮像部と、
を備えることを特徴とするバンプ形成装置。 - 請求項1に記載のバンプ形成装置であって、
前記撮像部により取得される画像を処理することにより、電極パッドと金属ボールとの接合状態を取得する処理部をさらに備えることを特徴とするバンプ形成装置。 - 請求項2に記載のバンプ形成装置であって、
前記処理部による処理結果に基づいて前記押圧機構による押圧力を制御する押圧制御部をさらに備えることを特徴とするバンプ形成装置。 - 請求項2または3に記載のバンプ形成装置であって、
前記処理部による処理結果に基づいて前記超音波振動子を制御する振動制御部をさらに備えることを特徴とするバンプ形成装置。 - 請求項2ないし4のいずれかに記載のバンプ形成装置であって、
前記処理部により、電極パッドと金属ボールとの接合面積が求められることを特徴とするバンプ形成装置。 - 請求項2ないし5のいずれかに記載のバンプ形成装置であって、
前記処理部により、電極パッド近傍の欠陥の検出が行われることを特徴とするバンプ形成装置。 - 請求項6に記載のバンプ形成装置であって、
前記電極パッド近傍の欠陥に、電極パッドの剥離または半導体チップのクラックが含まれることを特徴とするバンプ形成装置。 - 請求項6または7に記載のバンプ形成装置であって、
半導体チップの厚さ方向に関して前記撮像部の合焦位置と前記半導体チップとの相対的位置関係を変更する機構をさらに備えることを特徴とするバンプ形成装置。 - 半導体チップにボールバンプを形成するバンプ形成方法であって、
a) 半導体チップを所定位置に保持する工程と、
b) ボールバンプの材料である金属ワイヤの先端に金属ボールを形成して前記金属ボールを前記半導体チップの電極パッドに対して押圧する工程と、
c) 前記金属ボールに超音波振動を付与する工程と、
d) 前記金属ワイヤを前記電極パッドから待避させることにより前記電極パッド上にボールバンプを形成する工程と、
e) 前記電極パッドとは反対側の面から赤外光を用いて前記半導体チップの画像を取得する工程と、
f) 前記画像を処理することにより、前記電極パッドと前記金属ボールとの接合状態を取得する工程と、
を有することを特徴とするバンプ形成方法。 - 請求項9に記載のバンプ形成方法であって、
前記e)およびf)工程が、前記b)工程と前記d)工程との間に実行され、前記接合状態に基づいて前記電極パッドに対する前記金属ボールの押圧力が制御されることを特徴とするバンプ形成方法。 - 請求項9または10に記載のバンプ形成方法であって、
前記e)およびf)工程が、前記b)工程と前記d)工程との間に実行され、前記接合状態に基づいて前記超音波振動が制御されることを特徴とするバンプ形成方法。 - 請求項9ないし11のいずれかに記載のバンプ形成方法であって、
前記接合状態として、前記電極パッドと前記金属ボールとの接合面積が求められることを特徴とするバンプ形成方法。 - 請求項9ないし12のいずれかに記載のバンプ形成方法であって、
g) 前記画像を処理することにより、前記電極パッド近傍の欠陥を検出する工程をさらに有することを特徴とするバンプ形成方法。 - 請求項13に記載のバンプ形成方法であって、
前記電極パッド近傍の欠陥に、電極パッドの剥離または半導体チップのクラックが含まれることを特徴とするバンプ形成方法。 - ボールバンプが形成された半導体チップを検査する検査装置であって、
半導体チップを保持する保持部と、
ボールバンプが形成された電極パッドとは反対側の面から赤外光を用いて半導体チップを撮像する撮像部と、
前記撮像部により取得された画像を処理する処理部と、
を備え、
前記処理部が、取得された画像からボールバンプと電極パッドとの間の接合層に対応する領域を特定し、前記領域に基づいて前記ボールバンプと前記電極パッドとの接合状態の良否を判定することを特徴とする検査装置。 - ボールバンプが形成された半導体チップを検査する検査方法であって、
a) 半導体チップを所定位置に保持する工程と、
b) ボールバンプが形成された電極パッドとは反対側の面から赤外光を用いて前記半導体チップを撮像する工程と、
c) 取得された画像から前記ボールバンプと前記電極パッドとの間の接合層に対応する領域を特定する工程と、
d) 前記領域に基づいて前記ボールバンプと前記電極パッドとの接合状態の良否を判定する工程と、
を有することを特徴とする検査方法。 - ボールバンプが形成された半導体チップを検査する検査装置であって、
半導体チップを保持する保持部と、
ボールバンプが形成された電極パッドとは反対側の面から赤外光を用いて半導体チップを撮像する撮像部と、
前記撮像部により取得された画像を処理する処理部と、
半導体チップの厚さ方向に関して前記撮像部の合焦位置と前記半導体チップとの相対的位置関係を変更する機構と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - ボールバンプが形成された半導体チップを検査する検査方法であって、
a) 半導体チップを所定位置に保持する工程と、
b) 合焦位置をボールバンプが形成された電極パッドに合わせて前記電極パッドとは反対側の面から赤外光を用いて前記半導体チップを撮像する工程と、
c) 前記b)工程において取得された画像を処理する工程と、
d) 前記合焦位置を前記半導体チップの内部に位置させて赤外光を用いて前記半導体チップを撮像する工程と、
e) 前記d)工程において取得された画像を処理する工程と、
を有することを特徴とする検査方法。 - 請求項18に記載の検査方法であって、
前記e)工程において前記半導体チップの内部のクラックの有無が検査されることを特徴とする検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004214481A true JP2004214481A (ja) | 2004-07-29 |
Family
ID=32819102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003000955A Pending JP2004214481A (ja) | 2003-01-07 | 2003-01-07 | バンプ形成装置、バンプ形成方法、検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004214481A (ja) |
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---|---|---|---|---|
JP2006156978A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-06-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造システムおよび製造方法 |
US7659127B2 (en) | 2006-10-11 | 2010-02-09 | Denso Corporation | Manufacturing device of semiconductor package and manufacturing method of semiconductor package |
CN102437062A (zh) * | 2011-11-17 | 2012-05-02 | 中南大学 | 打火成球工艺中的参数优化方法及系统 |
JP2017024281A (ja) * | 2015-07-23 | 2017-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | 接合構造体、圧電デバイス、液体噴射ヘッド、及び接合構造体の検査方法 |
WO2023012966A1 (ja) * | 2021-08-05 | 2023-02-09 | 株式会社オプト・システム | 半導体チップの良否判定方法及びその装置 |
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2003
- 2003-01-07 JP JP2003000955A patent/JP2004214481A/ja active Pending
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