JP2004196438A - 搬送用ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定された固定ベース部5と、固定ベース部5に対して上下動可能な上下アーム7を有する上下機構と、上下アーム7に連結固定されると共に、上下アーム7に対して水平方向に旋回自在な旋回アーム9を有する旋回機構と、該旋回アーム9に連結固定されると共に、水平方向に直線的に動作可能な第1の直動アーム13を有する第1の直動機構と、第1の直動アーム13に連結固定され、直線的に動作すると共に、被対象物を搬送可能な第2の直動アーム17を有する第2の直動機構とを備えたものである。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、カセットに収納されている液晶ガラス基板等を取り出して搬送する搬送用ロボットの改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
カセット内に収納された基板を取り出す、従来の搬送ロボットを特開平11−312726号公報によって説明する。該公報によれば、搬送ロボットは回転及び並進運動するロボット本体を有しており、該ロボット本体には、実効長さが同一で、内部に設けられた連動機構によって連結して駆動される第1及び第2のアームが設けられている。
第2のアームは、基端部分が回転可能に取り付けられ、第1のアームは第2のアームの先端部分に基端部分が回転可能に連結されている。そして、載置部材は第1のアームの先端部分に回転可能に連結されると共に、常に直線に沿って並進運動するように構成されている。
【0003】
かかる搬送ロボットによれば、載置部材の先端部分がカセット内に進入することにより、カセット内に段状に収容された基板を持ち上げる。そして、搬送ロボットを駆動して載置部材により基板をカセット内から取り出す。該基板の取り出しの際には、位置検出センサによって基板の前縁を検出する。その後、搬送ロボットにおけるロボット本体が横移動した後、横移動しながら回転することにより基板を定位置に搬送する。以上の動作により基板のずれ量の算出と、基板の位置補正が行われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記搬送ロボットは、ロボット本体を並進移動させる並進移動機構を備えなければならないので、ロボット本体として基板の傾きを修正しながら基板をカセットから取り出すことができなかった。したがって、ロボット本体を並進移動させる並進移動機構が大型化するという問題点があった。
【0005】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、カセット内の被対象物としての例えば基板が傾いていても簡易に取り出すことができる搬送用ロボットを提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
第1の発明に係る搬送用ロボットは、固定された固定ベース部と、該固定ベース部に対して上下動可能な上下アームを有する上下機構と、該上下アームに連結固定されると共に、前記上下アームに対して水平方向に旋回自在な旋回アームを有する旋回機構と、該旋回アームに連結固定されると共に、前記水平方向に直線的に動作可能な第1の直動アームを有する第1の直動機構と、該第1の直動アームに連結固定され、直線的に動作すると共に、被対象物を搬送可能な第2の直動アームを有する第2の直動機構と、を備えたことを特徴とするものである。
かかる搬送用ロボットによれば、第2の直動アームを第1の直動アームによって直線移動するようにしたものである。よって、例えばカセットに収納された基板が傾いていても、補正しながら基板をカセットから取り出しできる。しかも、第1の直動アームは、搬送ロボットの一部となる第2の直動機構を動作すれば足りる。したがって、搬送ロボット本体自身を直線動作しないので、第2の直動機構が簡易になるという効果がある。
【0007】
第2の発明に係る搬送用ロボットは、第1の直動アームと第2の直動アームとが直交されている、ことを特徴とするものである。
かかる搬送用ロボットによれば、第1及び第2の直動アーム、旋回アームの制御が簡易になるという効果がある。
【0008】
第3の発明に係る搬送用ロボットは、第2の直動アームに連結固定されると共に、被対象物を載せる載置部材と、前記被対象物の傾き角度を検出する検出手段と、前記傾き角度に基いて前記第1及び第2の直動アームを直線動作すると共に、前記旋回アームを回転させることにより前記傾き角度を補正する制御手段と、を備えたことを特徴とするものである。
かかる搬送ロボットによれば、例えばカセットに収納された被対象物としての基板が傾いていても、基板の傾き角度に基いて第1及び第2の直動アームを直線動作すると共に、旋回アームを回転させることにより前記傾き角度に基いて補正しながら基板をカセットから取り出すことができる。したがって、被対象物が傾いていても容易にカセット等から被対象物を取り出すことができる搬送ロボットを得ることができるという効果がある。
【0009】
第4の発明に係る搬送用ロボットは、第2の直動アームを第1の直動アームに対しての取付け位置を可変できる可変機構を、備えたことを特徴とするものである。
かかる搬送用ロボットによれば、可変機構により第2の直動アームを第1の直動アームに対して取付け位置を可変にできるので、第2の直動アームの旋回半径を調整できる。したがって、搬送ロボットの占有空間を少なくすることができるという効果がある。
【0010】
第5の発明に係る搬送用ロボットは、第1の直動機構の代りに、第1の一端部が前記旋回アームに連結固定され、第1の他端部を有する第1のリンクと、該第1の他端部に第2の一端部が連結固定されると共に、第2の他端部が直線動作すると共に、前記第2の直動アームに連結固定された第2のリンクとから成る第3の直動機構を、備えたことを特徴とものである。
かかる搬送用ロボットによれば、伸縮軸を二本の第1のリンク,第2のリンクによって形成することにより第3の直動機構を関節構造としたで、小型化を図ることができるという効果がある。
【0011】
第6の発明に係る搬送用ロボットは、第2の直線機構の代りに、第3の一端部が該第1の直動アームに連結固定されると共に、第3の他端部を有する第3のリンクと、該第3の他端部に第4の一端部が連結固定されると共に、第4の他端部が直線動作する第4のリンクとから成る第4の直動機構を、備えたことを特徴とするものである。
かかる搬送用ロボットによれば、伸縮軸を二本の第3のリンク,第4のリンクによって形成することにより第4の直動機構を関節構造としたで、小型化を図ることができるという効果がある。
【0012】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
本発明の一実施の形態を図1乃至図3によって説明する。図1は搬送用ロボットで基板を搬送する側面図、図2は搬送用ロボットの斜視図(a)、ロボットの軸構成図(b)、図3は図1及び図2による搬送用ロボットにより基板を搬送する状態を示す平面図である。
図1及び図2において、搬送用ロボットを用いたシステムは、被対象物としての基板52を載せる略フォーク状の載置部材31を直線動作させる搬送ロボット1と、多数段の基板52が収容されているカセット50と、載置部材31の内側に固定された2つの位置検出センサ41a,41bと、搬送ロボット1を制御する制御部(制御手段)60とを備えている。
ここで、載置部材31の上面部には、基板52を吸引して吸着する吸着パッド31aを多数設けることによりカセット50内から基板52の両端部を持ち上げて取り出すように形成されている。
位置検出センサ41a,41bは、載置部材31を真直ぐに基板52に挿入する際に、基板52の端の位置をそれぞれ検出することにより後述する第2の直動アーム17の軸線を基準にして、基板52の端部の位置から基板52の傾きを検出するもので、一対の発光素子及び受光素子、磁気、静電容量型などを用いている。
【0013】
搬送用ロボット1は、基台3の上面に固定された固定ベース部5と、該固定ベース部5に対して上下方向に動作する上下アーム7を有する上下機構と、該上下アーム7に固定された旋回ベース部8と、旋回ベース部8に固定されると共に、上下アーム7に対して水平方向に旋回自在な旋回アーム9を有する旋回機構と、該旋回アーム9に固定された第1のアームベース部11と、旋回アーム9に連結固定されると共に、上記水平方向に直線的に動作する第1の直動アーム13を有する第1の直動機構と、該第1の直動アーム13に固定された第2のアームベース部15と、第1の直動アーム13と直交して連結固定され、直線的に動作すると共に、載置部材31を固定する第2の直動アーム17を有する第2の直動機構とを備えている。
【0014】
図1乃至図3において、上下機構(図示せず)は、固定ベース部5内に設けられた上下用モータと、上下方向にボールネジが配設されており、該ボールネジの端部に上下用モータの軸が固定され、該ボールネジにナットが螺合されていて、該ナットに上下アーム7が連結固定されている。
旋回機構(図示せず)は、旋回ベース部8の内部に設けられた旋回用モータと、該旋回用モータの軸に固定された歯車を介して旋回自在に旋回アーム9とから成っている。第1の直動機構(図示せず)は、第1のアームベース部11の内部に設けられたモータと、水平方向にボールネジが配設されており、該ボールネジの端部にモータの軸が固定され、該ボールネジにナット(図示せず)が螺合されていて、該ナットに第1の直動アーム11が連結固定されている。第2の直動機構は、第2のアームベース部15の内部に設けられたモータと、水平方向にボールネジが配設されており、該ボールネジの端部にモータの軸が固定され、該ボールネジにナットが螺合されていて、該ナットに第2の直動アーム17が連結固定されている。
【0015】
次に、上記のように構成された搬送ロボット1によってカセット50からの基板52を取り出す際の動作を図1乃至図3によって説明する。
最初、搬送ロボット1の載置部材31がカセット52に対して後方に位置した状態で(図3(a))、制御部60は、直動アーム17を前進して載置部材31に設けられた位置センサ41a,41bによってカセット50に収納された基板52の縁部を検出して基板52の傾きθaを求め(図3(b))、さらに、直動アーム17を前進することにより載置部材31を前進し、基板52の中心と載置部材31の中心と一致する位置まで載置部材31を挿入する(図3(c))。
制御部60は載置部材31に基板52を載せて、基板52を吸着パッド31aにより吸着した状態で、第1の直動アーム13、第2の直動アーム17、旋回アーム9を動作させて載置部材31の傾き角度θcと基板52の傾きθaとを一致させた後(図3(d))、第1の直動アーム13、第2の直動アーム17、旋回アーム9を動作させて載置部材31の傾き角度θcを除々に0°にしながら、第2の直動アーム17を後退させながら載置部材31を元の位置に復帰させることにより基板52をカセット50から取り出す(図3(e),(f))。
【0016】
かかる搬送ロボット1によれば、ロボット内部に二つの直動アーム13,17を備えた簡易な構成で、カセット50の内部において基板52が傾いていても、傾いた基板52を真直ぐに補正しながら基板52をカセット50から取り出すことができるものである。
なお、搬送用ロボット1は、第2のアームベース部15を直線方向に伸縮自在な伸縮直動機構を設け、すなわち、第2の直動アーム17を第1の直動アーム13に対して取付け位置を可変できる可変機構を設けることにより第2のアームベース部15の回転範囲Rを調節することができるので、搬送用ロボット1の占有面積を少なくできる。
【0017】
実施の形態2.
本発明による他の実施の形態を図4によって説明する。図4は他の実施形態による搬送ロボットの斜視図である。図4中、図2と同一符号は、同一又は相当部分を示し説明を省略する。
図4において、搬送用ロボット101における第3の直線機構は、第1の一端部103aが旋回アーム9に連結固定され、第1の他端部103cを有する第1のリンク103と、第1の他端部103cに第2の一端部105aが連結固定されると共に、第2の他端部105cが水平に直線動作すると共に、第2のアームベース部15に固定された第2のリンク105とを備えている。
なお、第2のリンク105が第2の直動アーム17に連結固定されている。
【0018】
かかる搬送用ロボット101によれば、第3の直動機構を第1及び第2のリンク103,105で形成して該リンク103,105を同期動作することにより、第2のリンク105の他端部105cを直線動作させるものである。したがって、搬送用ロボット101は、第3の直動機構における伸縮軸を二本のリンク103,105で形成することにより、第3の直動機構が関節構造となるので、小型化を図ることができる。
【0019】
実施の形態3.
本発明による他の実施の形態を図5によって説明する。図5は他の実施形態による搬送ロボットの斜視図である。図5中、図2と同一符号は、同一又は相当部分を示し説明を省略する。
図5において、搬送ロボット201における第4の直動機構は、一端部203aが該第1の直動アーム13に連結固定されると共に、第3の他端部203cを有する第3のリンク203と、該第3のリンク203の他端部203cに第4の一端部205aが連結固定されると共に、第4の他端部205cが直線動作する第4のリンク205とを備えており、第4のリンク205の先端部(他端部)205cに載置部材31が固定されている。
すなわち、第4の直動機構を第3及び第4のリンク203,205で形成して該リンク203,205を同期動作させることにより、第4のリンク205の先端部(他端部)205cを、すなわち、載置部材31を直線動作させるものである。
かかる搬送ロボット201によれば、伸縮軸を二本のリンク203,205による形成とすることにより、第4の直動機構が関節構造となるので、小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態による搬送用ロボットで基板を搬送する側面図である。
【図2】図1に示す搬送用ロボットの斜視図(a)、ロボットの軸構成図(b)である。
【図3】図1及び図2に示す搬送用ロボットにより各工程における基板の搬送動作(a)〜(f)を示す平面図である。
【図4】本発明の他の実施の形態による搬送用ロボットを示す斜視図である。
【図5】本発明の他の実施の形態による搬送用ロボットを示す斜視図である。
【符号の説明】
101,201,301 搬送用ロボット、5 固定ベース部、7 上下アーム、9 旋回アーム、13 第1の直動アーム、17 第2の直動アーム、60 制御部、103 第1のリンク、103a 第1のリンクの一端部、103c 第1のリンクの他端部、105 第2のリンク、105a 第2のリンクの一端部、105c 第2のリンクの他端部、203 第3のリンク、203a 第3のリンクの一端部、203c 第3のリンクの他端部、205 第4のリンク、205a 第4のリンクの一端部、205c 第4のリンクの他端部。
Claims (6)
- 固定された固定ベース部と、
該固定ベース部に対して上下動可能な上下アームを有する上下機構と、
該上下アームに連結固定されると共に、前記上下アームに対して水平方向に旋回自在な旋回アームを有する旋回機構と、
該旋回アームに連結固定されると共に、前記水平方向に直線的に動作可能な第1の直動アームを有する第1の直動機構と、
該第1の直動アームに連結固定され、直線的に動作すると共に、被対象物を搬送可能な第2の直動アームを有する第2の直動機構と、
を備えたことを特徴とする搬送用ロボット。 - 前記第1の直動アームと前記第2の直動アームとが直交されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の搬送用ロボット。 - 前記第2の直動アームに連結固定されると共に、前記被対象物を載せる載置部材と、
前記被対象物の傾き角度を検出する検出手段と、
前記傾き角度に基いて前記第1及び第2の直動アームを直線動作すると共に、前記旋回アームを回転させることにより前記傾き角度を補正する制御手段と、
を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送用ロボット。 - 前記第2の直動アームを前記第1の直動アームに対して取付け位置を可変できる可変機構を、
備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送用ロボット。 - 前記第1の直線機構の代りに、第1の一端部が前記旋回アームに連結固定され、第1の他端部を有する第1のリンクと、該第1の他端部に第2の一端部が連結固定されると共に、第2の他端部が直線動作すると共に、前記第2の直動アームに連結固定された第2のリンクとから成る第3の直動機構を、
備えたことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の搬送用ロボット。 - 前記第2の直動機構の代りに、第3の一端部が該第1の直動アームに連結固定されると共に、第3の他端部を有する第3のリンクと、
該第3の他端部に第4の一端部が連結固定されると共に、第4の他端部が直線動作する第4のリンクとから成る第4の直動機構を、
備えたことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の搬送用ロボット。
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