JP2004191376A - X線反射計用のビームセンタリング方法及び角度較正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 サンプル表面を検査する方法は、焦点領域を持つ放射線ビームを面に照射してすれすれに入射させるステップを含み、それによって、前記放射線は前記面から反射する。前記面に対する前記焦点領域の位置を変えるために、調整レンジ内の複数の調整ステージを通じて少なくとも一つの焦点領域及びサンプルが調整される。前記複数の調整ステージで前記面から反射された放射線のそれぞれの角度プロファイルが測定され、前記面が、前記ビームについて望ましいアライメントにあるレンジ内の調整を選択するために、前記角度プロファイルが比較される。
【選択図】 なし
Description
焦点領域を持つ放射線ビームを面に照射してすれすれに入射させて、前記放射線を前記面から反射させるステップと、
前記面に対する前記焦点領域の位置を変えるために、調整レンジ内の複数の調整ステージを通じて少なくとも一つの焦点領域及びサンプルを調整するステップと、
前記複数の調整ステージで前記面から反射された放射線のそれぞれの角度プロファイルを測定するステップと、
前記面が、前記ビームについて望ましいアライメントにあるレンジ内の調整を選択するために、前記角度プロファイルを比較するステップと
を含む。
X線の集光ビームを面に照射してすれすれに入射させて、前記X線を前記面から反射させるステップと、
レンジの位置を通じて前記サンプルの位置を前記サンプルの面に対して垂直方向に調整するステップと、
前記レンジ内の複数の位置で前記面から反射された放射線のそれぞれの角度プロファイルを測定するステップと、
前記面が、前記ビームについて望ましいアライメントにあるレンジ内の位置を選択するために、前記角度プロファイルを比較するステップと
を含む。
サンプルの面についてすれすれ入射する角度にわたって放射線を照射して、前記放射線が前記面から反射するステップと、
前記面で反射した放射線の第1及び第2端部で境界付けられたピーク領域を有する角度プロファイルを測定するステップと、
前記面の接線の方向を決めるために前記プロファイルにおける前記第1端部の位置を特定するステップと
を含む。
焦点領域を持つ放射線ビームをすれすれ入射させてサンプルの面を照射する放射線源であって、前記放射線が前記面から反射するために設けられた放射線源と、
前記面に対する前記焦点領域の位置を変えるために、調整レンジ内の複数の調整ステージを通じて少なくとも一つの焦点領域及び前記サンプルを調整する調整機構と、
前記複数の調整ステージで前記面から反射された放射線のそれぞれの角度プロファイルを測定する放射線検出器と、
前記面が、前記ビームについて望ましいアライメントにあるレンジ内の調整を選択するために、前記角度プロファイルを比較する信号処理器と
を備えたことを特徴とする。
X線の集光ビームを面に照射してすれすれに入射させて、前記X線を前記面から反射させるために設けられたX線源と、
レンジの位置を通じて前記サンプルの位置を前記サンプルの面に対して垂直方向に調整するために設けられた可動ステージと、
前記レンジ内の複数の位置で前記面から反射された放射線のそれぞれの角度プロファイルを測定する放射線検出器と、
前記面が、前記ビームについて望ましいアライメントにあるレンジ内の位置を選択するために、前記角度プロファイルを比較する信号処理器と
を備えることを特徴とする。
サンプルの面についてすれすれ入射する角度にわたって放射線を照射する放射線源であって、前記放射線は前記面から反射するように設けられた放射線源と、
前記面で反射した放射線の第1及び第2端部で境界付けられたピーク領域を有する角度プロファイルを測定する放射線検出器と、
前記面の接線の方向を決めるために前記プロファイルにおける前記第1端部の位置を特定する信号処理器と
を備えることを特徴とする。
Claims (42)
- 焦点領域を持つ放射線ビームを面に照射してすれすれに入射させて、前記放射線を前記面から反射させるステップと、
前記面に対する前記焦点領域の位置を変えるために、調整レンジ内の複数の調整ステージを通じて少なくとも一つの焦点領域及びサンプルを調整するステップと、
前記複数の調整ステージで前記面から反射された放射線のそれぞれの角度プロファイルを測定するステップと、
前記面が、前記ビームについて望ましいアライメントにあるレンジ内の調整を選択するために、前記角度プロファイルを比較するステップと
を含むサンプル表面の検査方法。 - 前記角度プロファイルを比較するステップは、
各プロファイルにおけるピーク領域を特定するステップと、
前記ピーク領域についての形状基準を評価するステップと
を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記形状基準を評価するステップは、前記ピーク領域の平坦さを見積もるステップを含み、前記角度プロファイルを比較するステップは、ピーク領域が最も平坦になる調整を選択するステップを含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- それぞれの角度プロファイルを測定するステップは、前記面に接する零度を含む角度の大きさにわたって反射した放射線を測定するステップを含み、前記形状基準を評価するステップは、前記零度を決定するために前記ピーク領域の第1端部を検出するステップを含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記形状基準を評価するステップは、前記面から外部へ全反射する臨界角を決定するために、前記ピーク領域の第2端部を検出するステップを含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記少なくとも一つの焦点領域及びサンプルを調整するステップは、サンプルの面に垂直な方向にサンプルの位置を調整するステップを含むことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- X線の集光ビームを面に照射してすれすれに入射させて、前記X線を前記面から反射させるステップと、
レンジの位置を通じて前記サンプルの位置を前記サンプルの面に対して垂直方向に調整するステップと、
前記レンジ内の複数の位置で前記面から反射された放射線のそれぞれの角度プロファイルを測定するステップと、
前記面が、前記ビームについて望ましいアライメントにあるレンジ内の位置を選択するために、前記角度プロファイルを比較するステップと
を含むサンプル表面の検査方法。 - 前記プロファイルを比較するステップは、
前記各プロファイルにおけるピーク領域を特定するステップと、
前記ピーク領域についての形状基準を評価するステップと
を含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。 - 前記形状基準を評価するステップは、前記ピーク領域の平坦さを見積もるステップを含み、前記角度プロファイルを比較するステップは、ピーク領域が最も平坦になる調整を選択するステップを含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。
- それぞれの角度プロファイルを測定するステップは、前記面に接する零度を含む角度の大きさにわたって反射した放射線を測定するステップを含み、前記形状基準を評価するステップは、前記零度を決定するために前記ピーク領域の第1端部を検出するステップを含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記形状基準を評価するステップは、前記面から外部へ全反射する臨界角を決定するために、前記ピーク領域の第2端部を検出するステップを含むことを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記それぞれの角度プロファイルを測定するステップは、前記面に接した零度を含む角度スケールにわたって反射されたX線を測定するステップを含むことを特徴とする請求項7から11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記角度プロファイルを比較するステップは、前記面がX線の集光ビームの焦点領域を実質的に二等分するサンプルの位置を選択するステップを含むことを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記面を照射するステップは、前記面に照射するためにX線源を向けるステップを含み、反射した放射線を測定するステップは、検出素子のアレイを用いて前記放射線を受けるステップを含み、
前記面について零度付近の検出素子の少なくとも一つによって、前記面から反射することなく前記源から直接のX線の一部を受けることを特徴とする請求項12に記載の方法。 - 前記面に照射しながら、前記サンプルの面に凸状を誘起させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項7から11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記サンプルを前記面に平行な平面上で平行移動させて、X線ビームを前記面の複数の点に順に入射させるステップと、
前記位置を調整するステップを繰り返すステップと、
前記面が、いずれの位置についても好ましい配置にある位置を選択するために、前記角度プロファイルを測定し、比較するステップと
を含むことを特徴とする請求項7から11のいずれか一項に記載の方法。 - サンプルの面についてすれすれ入射する角度にわたって放射線を照射して、前記放射線が前記面から反射するステップと、
前記面で反射した放射線の第1及び第2端部で境界付けられたピーク領域を有する角度プロファイルを測定するステップと、
前記面の接線の方向を決めるために前記プロファイルにおける前記第1端部の位置を特定するステップと
を含むサンプル表面を検査する方法。 - 前記面から外部に全反射する臨界角を決めるために前記ピーク領域の第2端部を特定するステップをさらに含むことを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記ピーク領域の半値全幅(FWHM)を決めるために、前記第1及び第2端部を特定することを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記面を照射するステップは、X線集光ビームを前記面に指向させるステップを含むことを特徴とする請求項17から19のいずれか一項に記載の方法。
- 前記集光ビームを指向させるステップは、前記面を照射するためにX線源を指向させるステップを含み、前記角度プロファイルを測定するステップは、検出素子のアレイを用いて前記放射線を受けるステップを含み、前記面の接線の付近における検出素子の少なくとも一つは、前記面で反射されることなく前記源から直接にX線の一部を受けることを特徴とする請求項20に記載の方法。
- 焦点領域を持つ放射線ビームをすれすれ入射させてサンプルの面を照射する放射線源であって、前記放射線が前記面から反射するために設けられた放射線源と、
前記面に対する前記焦点領域の位置を変えるために、調整レンジ内の複数の調整ステージを通じて少なくとも一つの焦点領域及び前記サンプルを調整する調整機構と、
前記複数の調整ステージで前記面から反射された放射線のそれぞれの角度プロファイルを測定する放射線検出器と、
前記面が、前記ビームについて望ましいアライメントにあるレンジ内の調整を選択するために、前記角度プロファイルを比較する信号処理器と
を備えたことを特徴とするサンプル表面の検査装置。 - 前記信号処理器は、各プロファイルにおけるピーク領域を特定して、前記面が、前記ビームについて望ましいアライメントにあるレンジ内の調整を選択するために、前記ピーク領域についての形状基準を評価するために設けられたことを特徴とする請求項22に記載の装置。
- 前記信号処理器は、前記ピーク領域の平坦さを見積もり、ピーク領域が最も平坦になる調整を選択するために設けられたことを特徴とする請求項23に記載の装置。
- 前記放射線検出器は、前記面に接する零度を含む角度の大きさにわたって反射した放射線を測定するために設けられ、前記信号処理器は、前記零度を決定するために前記ピーク領域の第1端部を検出するために設けられたことを特徴とする請求項23に記載の装置。
- 前記信号処理器は、前記面から外部へ全反射する臨界角を決定するために、前記ピーク領域の第2端部を検出するために設けられたことを特徴とする請求項25に記載の装置。
- 前記調整機構は、前記サンプルの面に垂直な方向に前記サンプルの位置を調整するために設けられたことを特徴とする請求項22から26のいずれか一項に記載の装置。
- X線の集光ビームを面に照射してすれすれに入射させて、前記X線を前記面から反射させるために設けられたX線源と、
レンジの位置を通じて前記サンプルの位置を前記サンプルの面に対して垂直方向に調整するために設けられた可動ステージと、
前記レンジ内の複数の位置で前記面から反射された放射線のそれぞれの角度プロファイルを測定する放射線検出器と、
前記面が、前記ビームについて望ましいアライメントにあるレンジ内の位置を選択するために、前記角度プロファイルを比較する信号処理器と
を備えることを特徴とするサンプル表面の検査装置。 - 前記信号処理器は、前記各プロファイルにおけるピーク領域を特定し、前記面が、前記ビームについて望ましいアライメントにあるレンジ内の位置を選択するために、前記ピーク領域についての形状基準を評価するために設けられたことを特徴とする請求項28に記載の装置。
- 前記信号処理器は、前記ピーク領域の平坦さを見積もるために設けられたことを特徴とする請求項29に記載の装置。
- 前記放射線検出器は、前記面に接する零度を含む角度の大きさにわたって反射した放射線を測定するために設けられ、前記信号処理器は、前記零度を決定するために前記ピーク領域の第1端部を検出するために設けられたことを特徴とする請求項29に記載の装置。
- 前記信号処理器は、前記面から外部へ全反射する臨界角を決定するために、前記ピーク領域の第2端部を検出するために設けられたことを特徴とする請求項31に記載の装置。
- 前記放射線検出器は、前記面に接した零度を含む角度範囲にわたって反射されたX線を測定するために設けられたことを特徴とする請求項28から32のいずれか一項に記載の装置。
- 前記信号処理器は、前記面がX線の集光ビームの焦点領域を実質的に二等分するサンプルの位置を選択するために設けられたことを特徴とする請求項33に記載の装置。
- 前記放射線検出器は、検出素子アレイを備え、前記面について零度付近の検出素子の少なくとも一つによって、前記面から反射することなく前記源から直接のX線の一部を受けることを特徴とする請求項33に記載の装置。
- 前記可動ステージは、前記サンプルの面に凸状を誘起させるために前記サンプルを保持するように連結されていることを特徴とする請求項28から32のいずれか一項に記載の装置。
- 前記可動ステージは、前記サンプルを前記面に平行な平面上で平行移動させて、X線ビームを前記面の複数の点に順に入射させるために設けられており、前記信号処理器は、前記面が、いずれの位置についても好ましい配置にある位置を選択するために設けられたことを特徴とする請求項28から32のいずれか一項に記載の装置。
- サンプルの面についてすれすれ入射する角度にわたって放射線を照射する放射線源であって、前記放射線は前記面から反射するように設けられた放射線源と、
前記面で反射した放射線の第1及び第2端部で境界付けられたピーク領域を有する角度プロファイルを測定する放射線検出器と、
前記面の接線の方向を決めるために前記プロファイルにおける前記第1端部の位置を特定する信号処理器と
を備えることを特徴とするサンプル表面の検査装置。 - 前記信号処理器は、前記面から外部に全反射する臨界角を決めるために前記ピーク領域の第2端部を特定することを特徴とする請求項38に記載の装置。
- 前記第1及び第2端部によって前記ピーク領域の半値全幅(FWHM)を決定することを特徴とする請求項39に記載の装置。
- 前記X線源は、X線集光ビームを前記面に向って指向させるために設けられたことを特徴とする請求項39に記載の装置。
- 前記放射線検出器は、検出素子アレイを備え、前記面の接線の付近における検出素子の少なくとも一つは、前記面で反射されることなく前記源から直接にX線の一部を受けることを特徴とする請求項41に記載の装置。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006105748A (ja) * | 2004-10-05 | 2006-04-20 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ビーム入射を伴う分析方法 |
JP2007024894A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd | 試料の検査方法および装置 |
JP2008224308A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Hitachi Ltd | 薄膜積層体検査方法 |
JP2010139482A (ja) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | X線ビームの断面強度分布を測定するための方法 |
JP2015121527A (ja) * | 2013-11-25 | 2015-07-02 | 株式会社リガク | X線分析装置の光軸調整方法及びx線分析装置 |
JP2016502119A (ja) * | 2013-01-07 | 2016-01-21 | ブルカー・エイエックスエス・インコーポレイテッドBruker AXS, Inc. | 面内斜入射回折を用いた表面マッピングのための装置、および、方法 |
WO2018101023A1 (ja) | 2016-11-29 | 2018-06-07 | 株式会社リガク | X線反射率測定装置 |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7120228B2 (en) * | 2004-09-21 | 2006-10-10 | Jordan Valley Applied Radiation Ltd. | Combined X-ray reflectometer and diffractometer |
US7804934B2 (en) | 2004-12-22 | 2010-09-28 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Accurate measurement of layer dimensions using XRF |
KR101374308B1 (ko) * | 2005-12-23 | 2014-03-14 | 조르단 밸리 세미컨덕터즈 리미티드 | Xrf를 사용한 층 치수의 정밀 측정법 |
US20070274447A1 (en) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Isaac Mazor | Automated selection of X-ray reflectometry measurement locations |
IL180482A0 (en) * | 2007-01-01 | 2007-06-03 | Jordan Valley Semiconductors | Inspection of small features using x - ray fluorescence |
US7680243B2 (en) * | 2007-09-06 | 2010-03-16 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | X-ray measurement of properties of nano-particles |
US7901136B2 (en) * | 2008-11-19 | 2011-03-08 | Morpho Detection, Inc. | Methods and system for calibrating and correcting a detection system |
US8243878B2 (en) | 2010-01-07 | 2012-08-14 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | High-resolution X-ray diffraction measurement with enhanced sensitivity |
RU2419088C1 (ru) * | 2010-02-01 | 2011-05-20 | Учреждение Российской академии наук Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН (ФИАН) | Рентгеновский спектрометр |
US8687766B2 (en) | 2010-07-13 | 2014-04-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Enhancing accuracy of fast high-resolution X-ray diffractometry |
JP5350350B2 (ja) * | 2010-10-19 | 2013-11-27 | セイコープレシジョン株式会社 | X線位置計測装置、x線位置計測装置の位置計測方法、及びx線位置計測装置の位置計測用プログラム |
US8437450B2 (en) | 2010-12-02 | 2013-05-07 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Fast measurement of X-ray diffraction from tilted layers |
US8781070B2 (en) | 2011-08-11 | 2014-07-15 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Detection of wafer-edge defects |
US9390984B2 (en) | 2011-10-11 | 2016-07-12 | Bruker Jv Israel Ltd. | X-ray inspection of bumps on a semiconductor substrate |
US9389192B2 (en) | 2013-03-24 | 2016-07-12 | Bruker Jv Israel Ltd. | Estimation of XRF intensity from an array of micro-bumps |
JP6270215B2 (ja) * | 2013-11-25 | 2018-01-31 | 株式会社リガク | X線分析装置の光軸調整装置 |
US9632043B2 (en) | 2014-05-13 | 2017-04-25 | Bruker Jv Israel Ltd. | Method for accurately determining the thickness and/or elemental composition of small features on thin-substrates using micro-XRF |
US9726624B2 (en) | 2014-06-18 | 2017-08-08 | Bruker Jv Israel Ltd. | Using multiple sources/detectors for high-throughput X-ray topography measurement |
US9829448B2 (en) | 2014-10-30 | 2017-11-28 | Bruker Jv Israel Ltd. | Measurement of small features using XRF |
CN104865050B (zh) * | 2015-05-13 | 2017-05-31 | 北京控制工程研究所 | 基于x射线光学仿真的掠入射光学系统聚焦性能分析方法 |
FR3046241B1 (fr) | 2015-12-24 | 2018-01-26 | Commissariat Energie Atomique | Procede de calibration d’un systeme d’analyse par diffraction x |
US10481111B2 (en) * | 2016-10-21 | 2019-11-19 | Kla-Tencor Corporation | Calibration of a small angle X-ray scatterometry based metrology system |
CN117664933B (zh) * | 2024-01-31 | 2024-05-07 | 季华实验室 | 激光光谱检测装置、方法、电子设备及存储介质 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03148056A (ja) * | 1989-11-03 | 1991-06-24 | Horiba Ltd | 全反射螢光x線分析装置 |
JPH03160353A (ja) * | 1989-11-20 | 1991-07-10 | Toshiba Corp | 蛍光x線分析方法及び蛍光x線分析装置 |
JPH05196583A (ja) * | 1992-01-23 | 1993-08-06 | Hitachi Ltd | 全反射x線分析装置 |
JPH08274137A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 全反射角度設定方法 |
JPH10185846A (ja) * | 1996-10-25 | 1998-07-14 | Technos Kenkyusho:Kk | X線分析装置およびx線照射角設定方法 |
US20020150208A1 (en) * | 2001-04-12 | 2002-10-17 | Boris Yokhin | X-ray reflectometer |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4725963A (en) | 1985-05-09 | 1988-02-16 | Scientific Measurement Systems I, Ltd. | Method and apparatus for dimensional analysis and flaw detection of continuously produced tubular objects |
JP2890553B2 (ja) | 1989-11-24 | 1999-05-17 | 株式会社島津製作所 | X線像撮像装置 |
US5493122A (en) | 1994-02-04 | 1996-02-20 | Nucleonics Development Company | Energy resolving x-ray detector |
FI942218A0 (fi) * | 1994-05-13 | 1994-05-13 | Modulaire Oy | Automatiskt styrningssystem foer obemannat fordon |
US5619548A (en) * | 1995-08-11 | 1997-04-08 | Oryx Instruments And Materials Corp. | X-ray thickness gauge |
US5740226A (en) * | 1995-11-30 | 1998-04-14 | Fujitsu Limited | Film thickness measuring and film forming method |
US5923720A (en) | 1997-06-17 | 1999-07-13 | Molecular Metrology, Inc. | Angle dispersive x-ray spectrometer |
US6192103B1 (en) | 1999-06-03 | 2001-02-20 | Bede Scientific, Inc. | Fitting of X-ray scattering data using evolutionary algorithms |
US6389102B2 (en) | 1999-09-29 | 2002-05-14 | Jordan Valley Applied Radiation Ltd. | X-ray array detector |
US6381303B1 (en) | 1999-09-29 | 2002-04-30 | Jordan Valley Applied Radiation Ltd. | X-ray microanalyzer for thin films |
US6453006B1 (en) * | 2000-03-16 | 2002-09-17 | Therma-Wave, Inc. | Calibration and alignment of X-ray reflectometric systems |
JP2001349849A (ja) | 2000-04-04 | 2001-12-21 | Rigaku Corp | 密度不均一試料解析方法ならびにその装置およびシステム |
US6504902B2 (en) | 2000-04-10 | 2003-01-07 | Rigaku Corporation | X-ray optical device and multilayer mirror for small angle scattering system |
US6970532B2 (en) | 2000-05-10 | 2005-11-29 | Rigaku Corporation | Method and apparatus for measuring thin film, and thin film deposition system |
US6744850B2 (en) * | 2001-01-11 | 2004-06-01 | Therma-Wave, Inc. | X-ray reflectance measurement system with adjustable resolution |
US6744950B2 (en) * | 2001-01-18 | 2004-06-01 | Veridian Systems | Correlators and cross-correlators using tapped optical fibers |
US6507634B1 (en) * | 2001-09-19 | 2003-01-14 | Therma-Wave, Inc. | System and method for X-ray reflectometry measurement of low density films |
US6771735B2 (en) | 2001-11-07 | 2004-08-03 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Method and apparatus for improved x-ray reflection measurement |
US6711232B1 (en) | 2003-04-16 | 2004-03-23 | Kla-Tencor Technologies Corporation | X-ray reflectivity measurement |
-
2002
- 2002-12-06 US US10/313,280 patent/US6947520B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-12-05 TW TW092134399A patent/TWI314643B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-12-08 JP JP2003409151A patent/JP4519455B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03148056A (ja) * | 1989-11-03 | 1991-06-24 | Horiba Ltd | 全反射螢光x線分析装置 |
JPH03160353A (ja) * | 1989-11-20 | 1991-07-10 | Toshiba Corp | 蛍光x線分析方法及び蛍光x線分析装置 |
JPH05196583A (ja) * | 1992-01-23 | 1993-08-06 | Hitachi Ltd | 全反射x線分析装置 |
JPH08274137A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 全反射角度設定方法 |
JPH10185846A (ja) * | 1996-10-25 | 1998-07-14 | Technos Kenkyusho:Kk | X線分析装置およびx線照射角設定方法 |
US20020150208A1 (en) * | 2001-04-12 | 2002-10-17 | Boris Yokhin | X-ray reflectometer |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006105748A (ja) * | 2004-10-05 | 2006-04-20 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ビーム入射を伴う分析方法 |
JP2007024894A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd | 試料の検査方法および装置 |
JP2008224308A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Hitachi Ltd | 薄膜積層体検査方法 |
JP2010139482A (ja) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | X線ビームの断面強度分布を測定するための方法 |
JP2016502119A (ja) * | 2013-01-07 | 2016-01-21 | ブルカー・エイエックスエス・インコーポレイテッドBruker AXS, Inc. | 面内斜入射回折を用いた表面マッピングのための装置、および、方法 |
JP2015121527A (ja) * | 2013-11-25 | 2015-07-02 | 株式会社リガク | X線分析装置の光軸調整方法及びx線分析装置 |
WO2018101023A1 (ja) | 2016-11-29 | 2018-06-07 | 株式会社リガク | X線反射率測定装置 |
KR20190087561A (ko) | 2016-11-29 | 2019-07-24 | 가부시키가이샤 리가쿠 | X선 반사율 측정 장치 |
US10598616B2 (en) | 2016-11-29 | 2020-03-24 | Rigaku Corporation | X-ray reflectometer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040109531A1 (en) | 2004-06-10 |
US6947520B2 (en) | 2005-09-20 |
JP4519455B2 (ja) | 2010-08-04 |
TWI314643B (en) | 2009-09-11 |
TW200427982A (en) | 2004-12-16 |
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