JP2004186379A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】円筒型キャパシタの容量を向上させることのできる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板1上の第1の絶縁膜5にコンタクトホール6を形成し、コンタクトホール6内にプラグ8を形成し、第1の絶縁膜5およびプラグ8上に第2の絶縁膜9を形成し、第2の絶縁膜9上にレジストパターン10を形成し、レジストパターン10をマスクとして第1、2の絶縁膜5、9をエッチングしてプラグ8が突出したホール11を形成し、ホール11内にキャパシタを形成する工程において、レジストパターン10をマスクとして第1および第2の層間絶縁膜5,9をエッチングし、円筒型のホール11が形成される。その後、レジストパターン10を残したままフッ酸によるウエットエッチングを行うことにより円筒型のホール11の径を拡大する。
【選択図】 図3
【解決手段】半導体基板1上の第1の絶縁膜5にコンタクトホール6を形成し、コンタクトホール6内にプラグ8を形成し、第1の絶縁膜5およびプラグ8上に第2の絶縁膜9を形成し、第2の絶縁膜9上にレジストパターン10を形成し、レジストパターン10をマスクとして第1、2の絶縁膜5、9をエッチングしてプラグ8が突出したホール11を形成し、ホール11内にキャパシタを形成する工程において、レジストパターン10をマスクとして第1および第2の層間絶縁膜5,9をエッチングし、円筒型のホール11が形成される。その後、レジストパターン10を残したままフッ酸によるウエットエッチングを行うことにより円筒型のホール11の径を拡大する。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体装置の製造方法に関し、特にキャパシタの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のスタックトキャパシタは、層間絶縁膜の表面全面に所定のパターンを有するフォトレジストを形成し、このフォトレジストのパターンを用いてエッチングを行うことにより、ソース/ドレイン領域に通ずる第1のコンタクトホールを形成する。
次に、層間絶縁膜の表面全面に、コンタクトホールの内部にまで充填されるようにドープト多結晶シリコン膜を堆積する。
次に、このドープト多結晶シリコン膜を層間絶縁膜の表面が露出するまでエッチバックを施す。これにより、第1のコンタクトホール内に埋込導電膜が形成される。
【0003】
次に、層間絶縁膜の上に、所定のパターンを有するレジスト膜を形成し、このレジスト膜をマスクにして、層間絶縁膜のエッチングを行い、第1のコンタクトホールの径よりも大きい第2の径を有する第2のコンタクトホールを形成する。次に、レジスト膜を除去した後、第2のコンタクトホール内にスパッタリング法により、バリア層と下部電極層とを順次積層する。
【0004】
また、第1のコンタクトホール内に埋込導電膜を形成した後、層間絶縁膜に、等方性のウエットエッチングを施すことにより、コンタクトホールの側壁と層間絶縁膜の上面との交点となる位置に、所定のR形状からなる傾斜部を形成する(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平7−30077号公報(段落番号「0267」〜「0271」、段落番号「0318」「0319」、図36〜40、図53、図54)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来のスタックトキャパシタの製造方法は以上のようであり、埋込導電膜であるプラグを形成した後、プラグ上にキャパシタを形成していた。しかし、限られた占有面積内においてキャパシタの有効面積を大きくし、キャパシタの容量を増加させるためには、円筒型などの複雑な形状のキャパシタを用いる等の種々の開発や改良が行われてきた。
【0007】
円筒型キャパシタの製造方法としては、プラグ形成後、プラグ上に層間絶縁膜を積み、この層間絶縁膜をエッチングして円筒型を形作り、円筒内壁に下部電極を形成するものがある。
この場合、層間絶縁膜をドライエッチングして円筒型のホールを形成した後、レジストマスクを除去してウエットエッチングを行うと、円筒の径は拡大され、R形状となるが、円筒の高さも後退してしまい、容量拡大につながらないという問題点があった。
【0008】
また、プラグを円筒内に突出させた形状の場合、円筒内の面積は拡大されるが、プラグと円筒壁との狭い隙間への下部電極形成が困難であり、安定した容量の確保につながらないという問題点があった。
【0009】
この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、円筒型キャパシタの容量を向上させることのできる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
この発明の半導体装置の製造方法は、ホールを形成する工程が、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をドライエッチングした後、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をウエットエッチングする工程であるようにしたものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1〜3はこの発明の実施の形態1の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図に従って順次説明を行う。
まず、図1(a)に示すように、半導体基板1上にゲート電極2を形成する。その後、枠付けSiN膜3を形成し、続いてSiN膜ストッパ4を成膜する。その後、BPTEOSからなる第1の層間絶縁膜5を形成する。
【0012】
次に、図1(b)に示すように、レジストパターン(図示なし)を形成してレジストパターンをマスクとして第1の層間絶縁膜5をエッチングしてコンタクトホール6を形成する。このコンタクトホール6はゲート電極2とゲート電極2との間に位置し、半導体基板1に届いた状態に形成される。
次に、図1(c)に示すように、導電膜であるポリシリコン膜7を成膜する。このとき、コンタクトホール6内にはポリシリコン膜7が埋込まれた状態となる。
【0013】
次に、図1(d)に示すように、全面エッチバックを行う。これにより、コンタクトホール6内にのみポリシリコン膜7が残存し、プラグ8が形成される。このとき、プラグ8の高さはエッチバック時のオーバーエッチング量で決定する。
次に、図2(a)に示すように、全面にBPTEOSからなる第2の層間絶縁膜9を形成する。
【0014】
次に、図2(b)に示すように、レジストパターン10を形成する。
次に、図2(c)に示すように、レジストパターン10をマスクとして第1および第2の層間絶縁膜5,9をドライエッチングする。このエッチングはゲート電極上のSiN膜ストッパー4で選択的に停止し、円筒型のホール11が形成される。また、ホール11内のプラグ8はポリシリコン膜7で形成されており、層間絶縁膜5,9のエッチングはポリシリコン膜に対する選択比が高いので、プラグ8はエッチングされずにホール11内に残存する。
【0015】
次に、図3(a)に示すように、レジストパターン10を残したままフッ酸によるウエットエッチングを行うことにより円筒型のホール11の径を拡大する。このとき、ホール11上にはレジストパターン10が残っており、ホール11上面がエッチングされることはない。従ってホール11の高さを損なうことがなく、ホール11内の径を拡大することができ、ホール11内の面積を大きくすることができる。
【0016】
次に、図3(b)に示すように、レジストパターン10を除去した後、ホール11内を含む全面に粗面化ポリシリコン膜12を成長させる。その後、ホール11内にレジスト膜13を埋込んでエッチバックを行う。
これにより、図3(c)に示すように、ホール11内以外に形成された粗面化ポリシリコン膜12を除去し、その後、ホール11内のレジスト膜13を除去する。これによりホール11内にのみ粗面化ポリシリコン膜12を残して下部電極とする。その後、下部電極上に誘電体膜および上部電極を形成してキャパシタを完成させる。
このようにすれば、ホール11内の面積を拡大することができ、キャパシタ形成領域を拡大でき、キャパシタ容量を増やすことができる。
【0017】
実施の形態2.
上記実施の形態1ではホール径を拡大するためのウエットエッチング時のマスクとしてレジストパターンを使用したが、ここでは絶縁膜を使用する場合について説明する。
【0018】
図4は実施の形態2の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。但し、上記実施の形態1の図1の工程の後、図4の工程を行う。図1に示す工程は上記実施の形態1と同様の工程であるので、詳細な説明は省略する。
従って、図1(d)の工程の後、図4(a)に示すように、全面に下部のBPTEOS膜9aを形成した後、その上に上部のSiN膜13を形成して第2の層間絶縁膜9とする。
【0019】
次に、図4(b)に示すように、レジストパターン10を形成し、レジストパターン10をマスクとして第1および第2の層間絶縁膜5,9をドライエッチングする。このエッチングはゲート電極上のSiN膜ストッパ4で選択的に停止し、円筒型のホール11が形成される。また、ホール11内のプラグ8はポリシリコン膜7で形成されており、層間絶縁膜5,9のエッチングはポリシリコンに対する選択比が高いので、プラグ8はエッチングされずにホール11内に残存する。
【0020】
次に、図4(c)に示すように、レジストパターン10を除去した後、SiN膜13をハードマスクとしてフッ酸によるウエットエッチングを行って円筒型のホール11の径を拡大する。このとき、第2の層間絶縁膜9はBPTEOS膜9aの上部にSiN膜13を形成して2層となっている。このSiN膜13はBPTEOS膜9aに比べてフッ酸によるエッチングレートが遅い膜であるので、円筒型のホール11の径を拡大する際にホール11の上部を保護し、ホール11の高さを大きく損なうことがなく、ホール11内の径を拡大することができ、ホール11内の面積を大きくすることができる。
【0021】
その後、上記実施の形態1の図3(b)(c)と同様にしてキャパシタを完成させる。
このようにすれば、ホール11内の面積を拡大することができ、キャパシタ形成領域を拡大でき、キャパシタ容量を増やすことができる。
【0022】
また、BPTEOS膜9aの上部に形成する膜としてはフッ酸に対してBPTEOS膜よりもエッチングレートが小さい絶縁膜であればよく、SiN膜13の他に、USG膜などを用いることができる。
【0023】
実施の形態3.
上記実施の形態1および2では円筒型の高さを損なわずに円筒の径を拡大する方法について説明したが、ここでは円筒型内に下部電極を安定して均一に形成しキャパシタ容量を安定して確保できる方法について説明する。
【0024】
図5および図6は実施の形態3を示す工程断面図である。
まず、上記実施の形態1の図1と同様の工程を行う。ここで、図1(d)に示す工程において、全面エッチバックを行うのであるが、このとき、オーバーエッチング量を通常より多くする。これにより、図5に示すように、プラグ8のリセス量を大きくしてプラグ8の高さを低く形成する。
【0025】
その後、上記実施の形態1の図2から図3(a)または上記実施の形態2の図4の工程を経た後、上記実施の形態1の図3(b)(c)の工程を経て図6に示すように、ホール11内にのみ粗面化ポリシリコン膜12を残して下部電極とする。その後、下部電極上に誘電体膜および上部電極を形成してキャパシタを完成させる。
【0026】
このとき、プラグ18が低く形成されているので、円筒壁とプラグ18との狭い隙間にも十分に粗面化ポリシリコン膜12を形成することができる。従って、下部電極形成領域を常に安定して確保することができ、キャパシタ容量を安定して確保できる。
【0027】
実施の形態4.
図7は実施の形態4の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図7は図1および図2(a)(b)を経た後、図2(c)において、レジストパターン10をマスクとして第1および第2の層間絶縁膜5,9をエッチングする際に、プラグ8を形成しているポリシリコン膜に対して選択比が小さい酸化膜エッチングを行ったものである。
【0028】
このエッチングは、C5F8/O2/Ar系のガスにCF4,SF6もしくはCl2を添加することにより、選択比を5程度から3以下としたものである。これにより、ホール11形成時にプラグ8を同時にエッチングして、プラグ8を所望の高さに形成する。
【0029】
その後、実施の形態3と同様にして、粗面化ポリシリコン膜12を形成しキャパシタ下部電極を形成してキャパシタを完成させる。このとき、上記実施の形態3と同様に、プラグ18は低く形成されているので、円筒壁とプラグ18との狭い隙間にも十分に粗面化ポリシリコン膜12を形成することができる。従って、下部電極形成領域を常に安定して確保することができ、キャパシタ容量を安定して確保できる。
【0030】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、ホールを形成する工程が、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をドライエッチングした後、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をウエットエッチングする工程であるようにしたので、ホールの高さを損なうことがなく、ホール内の径を拡大することができ、ホール内の面積を拡大することができる。したがって、キャパシタ形成領域を拡大でき、キャパシタ容量を増やすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図2】この発明の実施の形態1の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図3】この発明の実施の形態1の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図4】この発明の実施の形態2の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図5】この発明の実施の形態3の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図6】この発明の実施の形態3の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図7】この発明の実施の形態4の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【符号の説明】
1 半導体基板、5 第1の層間絶縁膜、7 ポリシリコン膜、8 プラグ、9 第2の層間絶縁膜、9a BPTEOS膜、10 レジストパターン、12 粗面化ポリシリコン膜、13 SiN膜。
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体装置の製造方法に関し、特にキャパシタの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のスタックトキャパシタは、層間絶縁膜の表面全面に所定のパターンを有するフォトレジストを形成し、このフォトレジストのパターンを用いてエッチングを行うことにより、ソース/ドレイン領域に通ずる第1のコンタクトホールを形成する。
次に、層間絶縁膜の表面全面に、コンタクトホールの内部にまで充填されるようにドープト多結晶シリコン膜を堆積する。
次に、このドープト多結晶シリコン膜を層間絶縁膜の表面が露出するまでエッチバックを施す。これにより、第1のコンタクトホール内に埋込導電膜が形成される。
【0003】
次に、層間絶縁膜の上に、所定のパターンを有するレジスト膜を形成し、このレジスト膜をマスクにして、層間絶縁膜のエッチングを行い、第1のコンタクトホールの径よりも大きい第2の径を有する第2のコンタクトホールを形成する。次に、レジスト膜を除去した後、第2のコンタクトホール内にスパッタリング法により、バリア層と下部電極層とを順次積層する。
【0004】
また、第1のコンタクトホール内に埋込導電膜を形成した後、層間絶縁膜に、等方性のウエットエッチングを施すことにより、コンタクトホールの側壁と層間絶縁膜の上面との交点となる位置に、所定のR形状からなる傾斜部を形成する(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平7−30077号公報(段落番号「0267」〜「0271」、段落番号「0318」「0319」、図36〜40、図53、図54)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来のスタックトキャパシタの製造方法は以上のようであり、埋込導電膜であるプラグを形成した後、プラグ上にキャパシタを形成していた。しかし、限られた占有面積内においてキャパシタの有効面積を大きくし、キャパシタの容量を増加させるためには、円筒型などの複雑な形状のキャパシタを用いる等の種々の開発や改良が行われてきた。
【0007】
円筒型キャパシタの製造方法としては、プラグ形成後、プラグ上に層間絶縁膜を積み、この層間絶縁膜をエッチングして円筒型を形作り、円筒内壁に下部電極を形成するものがある。
この場合、層間絶縁膜をドライエッチングして円筒型のホールを形成した後、レジストマスクを除去してウエットエッチングを行うと、円筒の径は拡大され、R形状となるが、円筒の高さも後退してしまい、容量拡大につながらないという問題点があった。
【0008】
また、プラグを円筒内に突出させた形状の場合、円筒内の面積は拡大されるが、プラグと円筒壁との狭い隙間への下部電極形成が困難であり、安定した容量の確保につながらないという問題点があった。
【0009】
この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、円筒型キャパシタの容量を向上させることのできる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
この発明の半導体装置の製造方法は、ホールを形成する工程が、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をドライエッチングした後、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をウエットエッチングする工程であるようにしたものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1〜3はこの発明の実施の形態1の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図に従って順次説明を行う。
まず、図1(a)に示すように、半導体基板1上にゲート電極2を形成する。その後、枠付けSiN膜3を形成し、続いてSiN膜ストッパ4を成膜する。その後、BPTEOSからなる第1の層間絶縁膜5を形成する。
【0012】
次に、図1(b)に示すように、レジストパターン(図示なし)を形成してレジストパターンをマスクとして第1の層間絶縁膜5をエッチングしてコンタクトホール6を形成する。このコンタクトホール6はゲート電極2とゲート電極2との間に位置し、半導体基板1に届いた状態に形成される。
次に、図1(c)に示すように、導電膜であるポリシリコン膜7を成膜する。このとき、コンタクトホール6内にはポリシリコン膜7が埋込まれた状態となる。
【0013】
次に、図1(d)に示すように、全面エッチバックを行う。これにより、コンタクトホール6内にのみポリシリコン膜7が残存し、プラグ8が形成される。このとき、プラグ8の高さはエッチバック時のオーバーエッチング量で決定する。
次に、図2(a)に示すように、全面にBPTEOSからなる第2の層間絶縁膜9を形成する。
【0014】
次に、図2(b)に示すように、レジストパターン10を形成する。
次に、図2(c)に示すように、レジストパターン10をマスクとして第1および第2の層間絶縁膜5,9をドライエッチングする。このエッチングはゲート電極上のSiN膜ストッパー4で選択的に停止し、円筒型のホール11が形成される。また、ホール11内のプラグ8はポリシリコン膜7で形成されており、層間絶縁膜5,9のエッチングはポリシリコン膜に対する選択比が高いので、プラグ8はエッチングされずにホール11内に残存する。
【0015】
次に、図3(a)に示すように、レジストパターン10を残したままフッ酸によるウエットエッチングを行うことにより円筒型のホール11の径を拡大する。このとき、ホール11上にはレジストパターン10が残っており、ホール11上面がエッチングされることはない。従ってホール11の高さを損なうことがなく、ホール11内の径を拡大することができ、ホール11内の面積を大きくすることができる。
【0016】
次に、図3(b)に示すように、レジストパターン10を除去した後、ホール11内を含む全面に粗面化ポリシリコン膜12を成長させる。その後、ホール11内にレジスト膜13を埋込んでエッチバックを行う。
これにより、図3(c)に示すように、ホール11内以外に形成された粗面化ポリシリコン膜12を除去し、その後、ホール11内のレジスト膜13を除去する。これによりホール11内にのみ粗面化ポリシリコン膜12を残して下部電極とする。その後、下部電極上に誘電体膜および上部電極を形成してキャパシタを完成させる。
このようにすれば、ホール11内の面積を拡大することができ、キャパシタ形成領域を拡大でき、キャパシタ容量を増やすことができる。
【0017】
実施の形態2.
上記実施の形態1ではホール径を拡大するためのウエットエッチング時のマスクとしてレジストパターンを使用したが、ここでは絶縁膜を使用する場合について説明する。
【0018】
図4は実施の形態2の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。但し、上記実施の形態1の図1の工程の後、図4の工程を行う。図1に示す工程は上記実施の形態1と同様の工程であるので、詳細な説明は省略する。
従って、図1(d)の工程の後、図4(a)に示すように、全面に下部のBPTEOS膜9aを形成した後、その上に上部のSiN膜13を形成して第2の層間絶縁膜9とする。
【0019】
次に、図4(b)に示すように、レジストパターン10を形成し、レジストパターン10をマスクとして第1および第2の層間絶縁膜5,9をドライエッチングする。このエッチングはゲート電極上のSiN膜ストッパ4で選択的に停止し、円筒型のホール11が形成される。また、ホール11内のプラグ8はポリシリコン膜7で形成されており、層間絶縁膜5,9のエッチングはポリシリコンに対する選択比が高いので、プラグ8はエッチングされずにホール11内に残存する。
【0020】
次に、図4(c)に示すように、レジストパターン10を除去した後、SiN膜13をハードマスクとしてフッ酸によるウエットエッチングを行って円筒型のホール11の径を拡大する。このとき、第2の層間絶縁膜9はBPTEOS膜9aの上部にSiN膜13を形成して2層となっている。このSiN膜13はBPTEOS膜9aに比べてフッ酸によるエッチングレートが遅い膜であるので、円筒型のホール11の径を拡大する際にホール11の上部を保護し、ホール11の高さを大きく損なうことがなく、ホール11内の径を拡大することができ、ホール11内の面積を大きくすることができる。
【0021】
その後、上記実施の形態1の図3(b)(c)と同様にしてキャパシタを完成させる。
このようにすれば、ホール11内の面積を拡大することができ、キャパシタ形成領域を拡大でき、キャパシタ容量を増やすことができる。
【0022】
また、BPTEOS膜9aの上部に形成する膜としてはフッ酸に対してBPTEOS膜よりもエッチングレートが小さい絶縁膜であればよく、SiN膜13の他に、USG膜などを用いることができる。
【0023】
実施の形態3.
上記実施の形態1および2では円筒型の高さを損なわずに円筒の径を拡大する方法について説明したが、ここでは円筒型内に下部電極を安定して均一に形成しキャパシタ容量を安定して確保できる方法について説明する。
【0024】
図5および図6は実施の形態3を示す工程断面図である。
まず、上記実施の形態1の図1と同様の工程を行う。ここで、図1(d)に示す工程において、全面エッチバックを行うのであるが、このとき、オーバーエッチング量を通常より多くする。これにより、図5に示すように、プラグ8のリセス量を大きくしてプラグ8の高さを低く形成する。
【0025】
その後、上記実施の形態1の図2から図3(a)または上記実施の形態2の図4の工程を経た後、上記実施の形態1の図3(b)(c)の工程を経て図6に示すように、ホール11内にのみ粗面化ポリシリコン膜12を残して下部電極とする。その後、下部電極上に誘電体膜および上部電極を形成してキャパシタを完成させる。
【0026】
このとき、プラグ18が低く形成されているので、円筒壁とプラグ18との狭い隙間にも十分に粗面化ポリシリコン膜12を形成することができる。従って、下部電極形成領域を常に安定して確保することができ、キャパシタ容量を安定して確保できる。
【0027】
実施の形態4.
図7は実施の形態4の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図7は図1および図2(a)(b)を経た後、図2(c)において、レジストパターン10をマスクとして第1および第2の層間絶縁膜5,9をエッチングする際に、プラグ8を形成しているポリシリコン膜に対して選択比が小さい酸化膜エッチングを行ったものである。
【0028】
このエッチングは、C5F8/O2/Ar系のガスにCF4,SF6もしくはCl2を添加することにより、選択比を5程度から3以下としたものである。これにより、ホール11形成時にプラグ8を同時にエッチングして、プラグ8を所望の高さに形成する。
【0029】
その後、実施の形態3と同様にして、粗面化ポリシリコン膜12を形成しキャパシタ下部電極を形成してキャパシタを完成させる。このとき、上記実施の形態3と同様に、プラグ18は低く形成されているので、円筒壁とプラグ18との狭い隙間にも十分に粗面化ポリシリコン膜12を形成することができる。従って、下部電極形成領域を常に安定して確保することができ、キャパシタ容量を安定して確保できる。
【0030】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、ホールを形成する工程が、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をドライエッチングした後、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をウエットエッチングする工程であるようにしたので、ホールの高さを損なうことがなく、ホール内の径を拡大することができ、ホール内の面積を拡大することができる。したがって、キャパシタ形成領域を拡大でき、キャパシタ容量を増やすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図2】この発明の実施の形態1の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図3】この発明の実施の形態1の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図4】この発明の実施の形態2の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図5】この発明の実施の形態3の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図6】この発明の実施の形態3の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図7】この発明の実施の形態4の半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【符号の説明】
1 半導体基板、5 第1の層間絶縁膜、7 ポリシリコン膜、8 プラグ、9 第2の層間絶縁膜、9a BPTEOS膜、10 レジストパターン、12 粗面化ポリシリコン膜、13 SiN膜。
Claims (7)
- 半導体基板上に第1の絶縁膜を形成する工程と、上記第1の絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程と、上記コンタクトホール内に導電膜を埋込んでプラグを形成する工程と、上記第1の絶縁膜およびプラグ上に第2の絶縁膜を形成する工程と、上記第2の絶縁膜上にレジストパターンを形成し、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をエッチングして上記プラグが突出したホールを形成する工程と、上記ホール内にキャパシタを形成する工程を備えた半導体装置の製造方法において、
上記ホールを形成する工程が、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をドライエッチングした後、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をウエットエッチングする工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板上に第1の絶縁膜を形成する工程と、上記第1の絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程と、上記コンタクトホール内に導電膜を埋込んでプラグを形成する工程と、上記第1の絶縁膜およびプラグ上に、上部と下部とからなり、上部にはウエットエッチングに対して下部よりもエッチングレートの遅いハードマスクを有する第2の絶縁膜を形成する工程と、上記ハードマスク上にレジストパターンを形成し、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をドライエッチングした後、上記レジストパターンを除去して上記ハードマスクをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜の下部をウエットエッチングして上記プラグが突出したホールを形成する工程と、上記ホール内にキャパシタを形成する工程を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 上記第1および第2の絶縁膜の下部がBPTEOS膜でなり、上記第2の絶縁膜の上部がSiN膜またはUSG膜でなることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上に第1の絶縁膜を形成する工程と、上記第1の絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程と、上記コンタクトホール内に導電膜を埋込んでプラグを形成する工程と、上記第1の絶縁膜およびプラグ上に第2の絶縁膜を形成する工程と、上記第2の絶縁膜上にレジストパターンを形成し、上記レジストパターンをマスクとして上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜をエッチングして上記プラグが突出したホールを形成する工程と、上記ホール内にキャパシタを形成する工程を備えた半導体装置の製造方法において、
上記キャパシタを形成する工程の前に、上記プラグの高さが低くなるようにエッチングする工程を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 上記プラグの高さが低くなるようにエッチングする工程が、上記コンタクトホール内に導電膜を埋込んでプラグを形成する工程において、上記導電膜をオーバーエッチングする工程であることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記プラグの高さが低くなるようにエッチングする工程が、上記ホールを形成する工程において、上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜のエッチングが上記プラグを形成している導電膜に対して選択比が3以下のエッチングであることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記第1の絶縁膜および上記第2の絶縁膜が酸化膜でなり、上記導電膜がポリシリコン膜である場合、C5F8/O2/Ar系のガスにCF4,SF6,またはCl2を添加したガスを用いて上記エッチングを行うことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
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2002
- 2002-12-03 JP JP2002351026A patent/JP2004186379A/ja active Pending
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