JP2004178725A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】センスアンプ回路を用いることなくビット線間に所望の電圧ストレスを印加可能なバーンインテストを実行可能な半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】バーンインテスト時において、センスアンプ回路90は、各ビット線BLL,/BLL,BLR,/BLRからビット線分離スイッチによって切離される。この状態で、ビット線スイッチ回路130L,130Rは、ビット線BLL,BLRを電圧ノード125L,125Rと接続し、ビット線/BLL,/BLRを電圧ノード120L,120Rと接続する。電圧ノード120L,120Rによって供給されるビット線電圧VBL0と、電圧ノード125L,125Rによって供給されるビット線電圧VBL1とは、少なくともバーンインテストにおいて、互いに独立に設定可能である。
【選択図】 図4
【解決手段】バーンインテスト時において、センスアンプ回路90は、各ビット線BLL,/BLL,BLR,/BLRからビット線分離スイッチによって切離される。この状態で、ビット線スイッチ回路130L,130Rは、ビット線BLL,BLRを電圧ノード125L,125Rと接続し、ビット線/BLL,/BLRを電圧ノード120L,120Rと接続する。電圧ノード120L,120Rによって供給されるビット線電圧VBL0と、電圧ノード125L,125Rによって供給されるビット線電圧VBL1とは、少なくともバーンインテストにおいて、互いに独立に設定可能である。
【選択図】 図4
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体記憶装置に関し、より特定的には、内部の短絡経路を顕在化させるための加速試験(バーンインテスト)を実行する半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)に代表される半導体記憶装置では、製造時にビット線と他のノードとの間に短絡経路が発生するケースがある。しかし、短絡経路に生じるリーク電流が微小である場合には、通常の動作テストでは当該短絡経路を検出することが困難である。以下本明細書では、このような通常の動作電圧では微小なリーク電流しか発生せず、検出が困難な短絡経路を「微小リーク経路」とも称することとする。
【0003】
微小リーク経路が検知されることなく製品化されると、定常的な微小リーク電流の発生によって、動作マージン低下や消費電力増大といった問題点が発生してしまう。したがって、このような微小リーク経路が存在する半導体記憶装置を確実にリジェクトするために、通常動作時よりも高い電圧ストレスを印加して、当該微小リーク経路を顕在化させるバーンインテストが一般的に実行されている。バーンインテストにおいて、ビット線に所定の高電圧を印加する構成については、様々な構成がこれまで提案されている。
【0004】
たとえば、バーンインテスト時において、ビット線への高電圧印加によって、センスアンプ回路を構成する薄膜トランジスタが破壊されるのを防ぐために、バーンイン試験時にビット線とセンスアンプ回路とを切離す構成が開示されている(たとえば特許文献1)。
【0005】
また、直接バーンインテストとは関連しないものの、テストモード時に、一括したデータ書込を実行するために、各ビット線に所定電圧を印加する構成や、奇数列の各ビット線および偶数列の各ビット線にそれぞれ異なるレベルの電圧(高電圧および低電圧)を印加する構成が開示されている(たとえば特許文献2)。
【0006】
【特許文献1】
特開2001−68634号公報(第14頁、第15図)
【0007】
【特許文献2】
特開平10−269775号公報(第12頁、第13−14図)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ビット線に対する微小リーク経路には複数の種類があり、微小リーク経路は、ビット線と他のノード(たとえばワード線)との間やビット線同士の間にも発生し得る。特に、フォールデッドビット線構成においては、同一ビット線対を構成する相補ビット線間にも微小リーク電流が発生し得る。
【0009】
たとえば、ビット線と他のノードとの間の微小リーク経路は、バーンインテストで各ビット線に同一の高電圧を印加することによって顕在化させることが可能である。しかし、ビット線同士の間に生じた微小リーク経路を顕在化させるためには、近接するビット線のそれぞれを異なる電圧に設定する必要がある。特に、フォールデッドビット線構成においては、バーンインテストにおいて、同一ビット線対を構成する相補ビット線同士や隣接する同相あるいは逆相のビット線同士の間で、電圧ストレスを印加する必要がある。
【0010】
上述した特許文献1および2に開示された構成では、センスアンプ回路とビット線とを切離した状態でのバーンインテストのみでは、ビット線間に生じる様々な種類の微小リーク経路を全て顕在化させることができない。言換えれば、センスアンプ回路を介したデータ書込によってビット線に高電圧を印加するバーンインテストが必要になる。しかし、このようなバーンインテストは、センスアンプ回路中の薄膜トランジスタを破壊する危険があるので、実行が困難である。
【0011】
この発明は、このような問題点を解決するためになされたものであって、この発明の目的は、センスアンプ回路を用いずにビット線間の微小リーク経路を効率的に顕在化させることが可能なバーンインテストのための構成を備えた半導体記憶装置を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
この発明に従う半導体記憶装置は、行列状に配置された複数のメモリセルと、複数のメモリセルの列に対応して設けられる複数のビット線対と、複数のビット線対にそれぞれ対応して設けられる複数のセンスアンプユニットを備え、複数のビット線対の各々は、第1および第2のビット線を含む。複数のセンスアンプユニットの各々は、少なくともデータ読出時に対応する第1および第2のビット線と接続されるセンスアンプ回路と、テスト時に、対応する第1および第2のビット線を、互いに異なる電圧をそれぞれ供給可能な複数の電圧ノードのうちの1つずつとそれぞれ接続するためのビット線スイッチとを含む。
【0013】
この発明の他の構成に従う半導体記憶装置は、行列状に配置された複数のメモリセルと、複数のメモリセルの列に対応して設けられる複数のビット線対と、複数のビット線対にそれぞれ対応して設けられる複数のセンスアンプユニットを備え、複数のビット線対の各々は、第1および第2のビット線を含む。複数のセンスアンプユニットの各々は、少なくともデータ読出時に対応する第1および第2のビット線と接続されるセンスアンプ回路を含み、奇数番目のビット線対に対応するセンスアンプユニットの各々は、テスト時に、対応する第1および第2のビット線の各々を第1の電圧ノードと接続する第1のビット線スイッチをさらに含み、偶数番目のビット線対に対応するセンスアンプユニットの各々は、テスト時に、対応する第1および第2のビット線の各々を第2の電圧ノードと接続する第2のビット線スイッチをさらに含み、第1および第2の電圧ノードの電圧は、テスト時において、互いに独立に設定可能である。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下において、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【0015】
[実施の形態1]
(全体構成)
図1は、本発明の実施の形態1に従う半導体記憶装置10の全体構成を示す概略ブロック図である。
【0016】
図1を参照して、半導体記憶装置10は、代表的にはDRAMであり、外部からのコマンド制御信号に応じて半導体記憶装置10の全体動作を制御するためのコントロール回路20と、複数のメモリセルMCが行列状に配置されたメモリセルアレイ30とを備える。
【0017】
メモリセルアレイ30は、ワード線方向(行方向)に沿って複数のブロックに分割されている。図1においては、一例として、メモリセルアレイ30は、4個のブロック35−1〜35−4に分割されている。ブロック35−1〜35−4の隣接領域を用いて、センスアンプ帯40−1〜40−5が設けられている。以下においては、ブロック35−1〜35−4およびセンスアンプ帯40−1〜40−5を総称する場合には、単にブロック35およびセンスアンプ帯40とそれぞれ称することとする。
【0018】
各ブロック35において、行列状に配置されたメモリセルMCに対して、メモリセル行ニそれぞれ対応してワード線WLが配置され、メモリセル列にそれぞれ対応してビット線対BLPが設けられる。ビット線対BLPは相補のビット線BLおよび/BLで構成される。
【0019】
メモリセルMCは、1行ごとにビット線BLおよび/BLの一方ずつと接続される。たとえば、奇数行において、メモリセルMCはビット線BLと接続され、偶数行において、メモリセルMCはビット線/BLと接続されるものとする。図1には、ブロック35−1において、偶数行および奇数行にそれぞれ属する1個ずつのメモリセルMCに対して、対応するワード線WLe(偶数行)およびWLo(奇数行)とビット線BL,/BL(同一列)が代表的に示されている。
【0020】
実施の形態1に従う半導体記憶装置10は、ロウデコーダ50と、コラムデコーダ60と、プリアンプおよびライトドライバ70と、電源系回路80とをさらに備える。
【0021】
ロウデコーダ50は、ロウアドレスRAに応じて、ブロック35−1〜35−4のうちの1つを選択するとともに、選択されたブロックにおいて、1本のワード線WLを活性化する。これに応じて、選択されたブロックでは、奇数行選択時には各ビット線BLに、偶数行選択時には各ビット線/BLに、メモリセルMCが接続されることになる。
【0022】
コラムデコーダ60は、コラムアドレスCAに応じて、メモリセル列にそれぞれ対応して設けられたコラム選択線CSLを選択的に活性化する。コラム選択線CSLは、ブロック35−1〜35−4に共通に設けられる。
【0023】
プリアンプおよびライトドライバ70は、データ読出時には選択メモリセルからの読出データを増幅し、データ書込時には入力された書込データを駆動する。
【0024】
電源系回路80は、半導体記憶装置10の内部で用いられる各種の電源電圧を発生する。これらの電源電圧には、メモリセルアレイ30の動作電圧である電源電圧Vccや、後ほど説明するビット線電圧VBL,VBL0〜VBL3が含まれている。
【0025】
次に、センスアンプ帯40を構成するセンスアンプユニットの構成について詳細に説明するが、まず実施の形態1に従う構成と比較するために、従来の技術に従うセンスアンプユニットの構成について説明する。
【0026】
(比較例として示される従来のセンスアンプ帯の構成)
図2は、従来の技術に従うセンスアンプユニットの構成を示す回路図である。図2には、2つのブロック35に挟まれた部分に位置するセンスアンプ帯40の構成が示される。
【0027】
図2を参照して、センスアンプ帯40には、各メモリセル列すなわちビット線対ごとにセンスアンプユニット45が配置されている。センスアンプ帯40は、いわゆるシェアードセンス構成を有しているため、センスアンプユニット45は、左側ブロックおよび右側ブロックによって共有されている。以下においては、代表的に第2番目のメモリセル列に対応する構成について説明する。
【0028】
センスアンプユニット45の左側ブロックには、ビット線対をなすビット線BLL2および/BLL2が配置されている。さらに、奇数行および偶数行にそれぞれ対応するワード線の代表例として、ワード線WLL0およびWLL1がさらに示されている。
【0029】
偶数行のメモリセルMCは、ビット線/BLL2とセルプレート電圧Vcpとの間に直列に接続されたアクセストランジスタATおよびストレージキャパシタSCとを有する。アクセストランジスタATのゲートは対応するワード線WLL0と接続されている。同様に、奇数行のメモリセルMCにおいては、アクセストランジスタATおよびストレージキャパシタSCは、ビット線BLL2とセルプレート電圧Vcpとの間に直列に接続されており、アクセストランジスタATのゲートは対応するワード線WLL1と接続されている。
【0030】
センスアンプユニット45の右側ブロックにおいても同様に、ビット線対をなすビット線BLR2および/BLR2が配置されており、奇数行および偶数行にそれぞれ対応するワード線の代表例として、ワード線WLR0およびWLR1がさらに示されている。さらに、メモリセルMCについても、左側ブロックと同様に配置されている。
【0031】
なお、以下においては、特定のメモリセル列と対応させることなく、左側ブロックのビット線を総括的に示す場合にはビット線BLL,/BLLと表記し、右側ブロックのビット線を総括的に示す場合にはビット線BLR,/BLRと表記する。また、特に、右側ブロックおよび左側ブロックを特定することなく、相補ビット線を総括的に表記する場合には、単にビット線BL,/BLと表記する。
【0032】
センスアンプユニット45は、トランジスタ91〜96で構成されたセンスアンプ回路90と、列選択スイッチ97と、ビット線分離スイッチ100L,100Rと、プリチャージ・イコライズ回路110L,110Rとを含む。
【0033】
センスアンプ回路90は、電源電圧VccおよびノードN1の間に接続されたP−MOSトランジスタ91と、ノードN2および接地電圧GNDの間に接続されたN−MOSトランジスタ92と、ノードN1とセンスノードNs2および/Ns2の間にそれぞれ接続されたP−MOSトランジスタ93および94と、センスノードNs2および/Ns2とノードN2との間にそれぞれ接続されたN−MOSトランジスタ95および96とを有する。トランジスタ91および92のゲートには、センスアンプ動作信号S0PおよびS0Nがそれぞれ入力されている。トランジスタ93および95の各ゲートはセンスノード/Ns2に接続され、トランジスタ94および96の各ゲートはセンスノードNs2と接続される。
【0034】
センスアンプ回路90の動作期間において、センスアンプ動作信号S0PおよびS0NがLレベルおよびHレベルにそれぞれ活性化され、ノードN1およびN2は、電源電圧Vccおよび接地電圧GNDとそれぞれ接続される。この結果、センスアンプ回路90は、動作期間において、センスノードNs2および/Ns2の間に生じた微小電圧差を、電源電圧Vccおよび接地電圧GNDの電圧差に増幅する。一方、センスアンプ回路90の非動作期間においては、センスアンプ動作信号S0PおよびS0NがHレベルおよびLレベルにそれぞれ非活性化され、ノードN1およびN2は電源電圧Vccおよび接地電圧GNDとそれぞれ切り離されて、センスアンプ回路90では電力が消費されない。
【0035】
一般的に、センスアンプ回路90を構成するトランジスタ91〜96は、上記の増幅動作を高速化するために、動作速度の速い薄膜トランジスタで形成される。すなわち、トランジスタ91〜96のゲート絶縁膜は、ビット線に接続される他のトランジスタ(トランジスタスイッチ111〜116等)のゲート絶縁膜よりも薄く設計される。
【0036】
列選択スイッチ97は、相補のデータ線IOおよび/IOとセンスノードNs2およびNs2の間にそれぞれ接続されるトランジスタスイッチ98および99を含む。トランジスタスイッチ98および99は、たとえばN−MOSトランジスタで構成され、各々のゲートは、対応するコラム選択線CSL2と接続される。なお、以下においては、センスノードについても、特定のメモリセル列と対応させることなく総括的に示す場合にはNs,/Nsと表記する。
【0037】
したがって、データ読出時およびデータ書込時において、選択列に対応するセンスノードNsおよび/Nsは、相補のデータ線IOおよび/IOとそれぞれ接続される。データ線IO,/IOは、センスアンプ帯40ごとに設けられ、メモリセルアレイ30への読出データおよび書込データを伝達する。データ読出時には、図1に示したプリアンプおよびライトドライバ70によって、選択列のセンスアンプ回路90からデータ線IO,/IOへ伝達された読出データが増幅される。データ書込時には、プリアンプおよびライトドライバ70は、書込データのレベルに応じて、データ線IOおよび/IOを相補レベルの電圧でそれぞれ駆動する。
【0038】
ビット線分離スイッチ100Lは、ビット線BLL2上のノードNaL2およびセンスノードNs2との間に設けられたトランジスタスイッチ101と、ビット線/BLL2上のノードNbL2およびセンスノード/Ns2の間に設けられたトランジスタスイッチ102とを有する。同様に、ビット線分離スイッチ100Rは、ビット線BLR2上のノードNaR2およびセンスノードNs2との間に設けられたトランジスタスイッチ103と、ビット線/BLR2上のノードNbR2およびセンスノード/Ns2の間に設けられたトランジスタスイッチ104とを有する。
【0039】
トランジスタスイッチ101〜104の各々は、N−MOSトランジスタで構成される。トランジスタスイッチ101および102の各ゲートには、ビット線分離信号BLILが入力され、トランジスタスイッチ103および104の各ゲートにはビット線分離信号BLIRが入力される。
【0040】
通常動作時には、センスアンプユニット45の左側ブロックがデータ読出またはデータ書込対象に選択された場合に、ビット線分離信号BLILはHレベルに設定され、ビット線分離信号BLIRはLレベルに設定される。これにより、各メモリセル列において、ビット線BLLおよび/BLLは、センスノードNsおよび/Nsとそれぞれ接続される。反対に、右側ブロックがデータ読出またはデータ書込対象に選択された場合には、ビット線分離信号BLIRはHレベルに設定され、ビット線分離信号BLILはLレベルに設定される。これにより、各メモリセル列において、ビット線BLRおよび/BLRは、センスノードNsおよび/Nsとそれぞれ接続される。
【0041】
さらに、列選択結果に応じてデータ線IOおよび/IOと接続されたセンスアンプ回路90によって、選択列のビット線BLL,/BLLまたはBLR,/BLRを介して、選択メモリセルに対するデータ読出およびデータ書込が実行される。
【0042】
プリチャージ・イコライズ回路110Lは、ノードNaL2およびノードNbL2の間に設けられたトランジスタスイッチ111と、ビット線電圧VBLが伝達される電圧ノード120LとノードNaL2およびNbL2の間にそれぞれ設けられたトランジスタスイッチ112および113とを含む。同様に、プリチャージ・イコライズ回路110Rは、ノードNaR2およびノードNbR2の間に設けられたトランジスタスイッチ114と、ビット線電圧VBLが伝達される電圧ノード120RとノードNaR2およびNbR2の間にそれぞれ設けられたトランジスタスイッチ115および116とを含む。トランジスタスイッチ111〜116の各々はN−MOSトランジスタで構成され、トランジスタスイッチ111〜113の各ゲートはビット線イコライズ信号BLEQLを受け、トランジスタスイッチ114〜116の各ゲートはビット線イコライズ信号BLEQRを受ける。ビット線イコライズ信号BLEQL,BLEQRは、通常動作時には、データ読出およびデータ書込の準備期間に相当する所定期間において、Hレベルに活性化される。
【0043】
したがって、通常動作時には、データ読出およびデータ書込前の所定期間において、適宜ビット線イコライズ信号BLEQLおよびBLEQRをHレベルに活性化することによって、ビット線BLL,/BLL,BLR,/BLRの各々は、ビット線電圧VBLにプリチャージされる。
【0044】
一方、バーンインテスト時には、電圧ノード120L,120Rに供給されるビット線電圧VBLを通常動作時よりも高い電圧に設定することにより、プリチャージ・イコライズ回路110L,110Rによって、各ビット線BLL,/BLL,BLR,/BLRとビット線以外のノードとの間に、通常動作時よりも高い電圧ストレスを印加することができる。
【0045】
さらに、ビット線分離信号BLILおよびBLIRの各々をLレベルに設定することによって、各センスアンプユニット45において、センスノードNsおよび/Nsを両側ブロックのビット線BLL,/BLLおよびBLR,/BLRのいずれとも電気的に切り離すことができる。この結果、各ビット線に高電圧が印加され得るバーンインテスト時に、センスアンプ回路90を構成する薄膜トランジスタ群91〜96を保護することができる。
【0046】
なお、端部のセンスアンプ帯40−1および40−5に配置されるセンスアンプユニット45においては、左側ブロックまたは右側ブロックの一方が存在しない。したがって、図2に示した構成から、ビット線分離スイッチ100Lおよびプリチャージ・イコライズ回路110Lの組、またはビット線分離スイッチ100Rおよびプリチャージ・イコライズ回路110Rの組の配置が省略される。
【0047】
図3は、ビット線に関連した微小リーク経路の種類を示す概念図である。
図3を参照して、微小リーク経路SCaは、ビット線BL1とワード線WLとの間に発生している。ワード線WLは、ビット線以外のノードの代表例として示される。
【0048】
これに対して、微小リーク経路SCb〜SCdは、ビット線同士の間で発生している。具体的には、微小リーク経路SCbは、同一のビット線対を構成する相補(逆相)のビット線間で発生し、微小リーク経路SCcは、隣接ビット線対の逆相のビット線間で発生し、微小リーク経路SCdは、隣接ビット線対の同相のビット線間で発生している。図3の例においては、微小リーク経路SCbは、ビット線BL1と/BL1の間に発生し、微小リーク経路SCcは、ビット線/BL1とBL2の間に発生し、微小リーク経路SCdは、ビット線/BL1および/BL2の間に発生している。
【0049】
以下においては、通常動作時におけるハイレベル電圧およびローレベル電圧をHレベルおよびLレベルと表記し、バーンインテスト時におけるハイレベル電圧およびローレベル電圧をH♯レベルおよびL♯レベルと表記する。一般的に、Hレベルは、メモリセルアレイの動作電源電圧Vccに相当する。H♯レベルとしては、外部から入力された高電圧Vcc♯(>Vcc)やワード線活性化用の昇圧電圧Vpp(>Vcc)が用いられる。また、Lレベルは接地電圧GNDに相当し、L♯としては、接地電圧GNDまたは負電圧Vbb(たとえば基板電圧)が用いられる。
【0050】
図2に示した従来のセンスアンプユニット45では、バーンインテスト時には、プリチャージ・イコライズ回路110L,110Rによって各ビット線BLをH♯レベルに設定するとともに、ワード線WLをL♯レベルに設定することで、各ビット線とワード線WLとの間に、通常動作時よりも高い電圧ストレスを印加することができる。
【0051】
したがって、従来のセンスアンプユニット45によっても、バーンインテストによって、図3中の微小リーク経路SCaを顕在化させることは可能である。さらに、既に説明したように、ビット線分離スイッチ100L,100Rによって、各ビット線とセンスアンプ回路とを電気的に切り離すことができるので、微小リーク経路SCaを検出するためのバーンインテストにおいてセンスアンプ回路90を構成する薄膜トランジスタ群91〜96を保護することができる。
【0052】
これに対して、微小リーク経路SCbに高電圧ストレスを印加するためには、同一ビット線対を構成する相補のビット線BLおよび/BLの一方ずつに対してH♯レベルおよびL♯レベルをそれぞれ印加する必要がある。しかし、図2に示した構成においては、プリチャージ・イコライズ回路110L,110Rによるビット線電圧VBLの供給ではこのような状況を作り出すことはできない。
【0053】
したがって、微小リーク経路SCbを検出するためには、センスアンプユニット45−1中のセンスアンプ回路90(図2)によって、H♯レベルおよびL♯レベルを動作電圧とするデータ書込を実行して、相補のビット線に異なる電圧を印加する必要がある。しかしながら、このようなデータ書込は、センスアンプ回路90を構成する薄膜トランジスタを破壊するおそれがある。
【0054】
同様に、微小リーク経路SCcおよびSCdに高電圧ストレスを印加する場合にも、バーンインテスト時に、センスアンプユニット45−1および45−2によって、H♯レベルおよびL♯レベルを動作電圧とするデータ書込を実行する必要がある。具体的には、微小リーク経路SCcの検出時には、センスアンプユニット45−1および45−2は同一レベルのデータを書込む必要があり、微小リーク経路SCdの検出時には、センスアンプユニット45−1および45−2は相補レベルのデータを書込む必要がある。したがって、微小リーク経路SDbの検出時と同様に、センスアンプ回路90を構成する薄膜トランジスタを破壊するおそれが生じる。
【0055】
したがって、以下において、センスアンプ回路内の薄膜トランジスタの保護と、ビット線間の微小リーク経路の検出とを両立可能である、本願発明に従うセンスアンプユニットの構成について説明する。
【0056】
(実施の形態1に従うセンスアンプユニットの構成)
図4は、本発明の実施の形態1に従うセンスアンプユニット45♯の構成を示す回路図である。
【0057】
図4においては、図2と同様に左側ブロックおよび右側ブロックの間に配置されたセンスアンプ帯40(図1におけるセンスアンプ帯40−2〜40−4)中の1つのセンスアンプユニット45♯が代表的に例示されているが、同様の構成が、各メモリセル列に対応して設けられているものとする。
【0058】
図4を参照して、実施の形態1に従うセンスアンプユニット45♯は、図2に示した従来のセンスアンプユニット45と比較して、ビット線スイッチ回路130Lおよび130Rをさらに含む点で異なる。
【0059】
ビット線スイッチ回路130Lは、左側ブロックに対応して設けられ、ビット線BLL(ノードNaL)と電圧ノード125Lの間に設けられたトランジスタスイッチ131と、ビット線/BLL(ノードNbL)と電圧ノード120Lとの間に設けらたトランジスタスイッチ132とを有する。同様に、ビット線スイッチ回路130Rは、右側ブロックに対応して設けられ、ビット線BLR(ノードNaR)と電圧ノード125Rの間に設けられたトランジスタスイッチ133と、ビット線/BLR(ノードNbR)と電圧ノード120Rとの間に設けらたトランジスタスイッチ134とを有する。
【0060】
トランジスタスイッチ131〜134の各々は、N−MOSトランジスタで構成され、各ゲートは、バーンインテスト時に活性化(Hレベル)されるテストモード信号TMWLを受ける。
【0061】
電圧ノード120Lおよび125Lは、少なくともバーンインテスト時に、互いに異なる電圧レベルへ設定可能である。すなわち、電圧ノード120Lの供給電圧をVBL0とし、電圧ノード125Lの供給電圧をVBL1とすると、バーンインテスト時には、VBL0=VBL1に設定することも、VBL0≠VBL1として両者の間に所望の電圧差を設けることも可能である。電圧ノード120Rおよび125Rは、電圧ノード120Lおよび125Lとそれぞれ同一の電圧VBL0およびVBL1をそれぞれ供給する。
【0062】
この結果、バーンインテスト時に、ビット線分離スイッチ100L,100Rによって、各ビット線BLL,/BLL,BLR,/BLRとセンスアンプ回路90とを切離した状態で、相補ビット線の一方BLL,BLRおよび他方/BLL,/BLRに、独立したビット線電圧VBL1およびVBL0をそれぞれ印加することができる。
【0063】
なお、端部のセンスアンプ帯40−1および40−5に配置されるセンスアンプユニット45♯においては、左側ブロックまたは右側ブロックの一方が存在しない。したがって、図4に示した構成から、ビット線分離スイッチ100L、プリチャージ・イコライズ回路110Lおよびビット線スイッチ回路130Lの組、またはビット線分離スイッチ100R、プリチャージ・イコライズ回路110Rおよびビット線スイッチ回路130Rの組の配置が省略される。
【0064】
図5は、実施の形態1に従うセンスアンプユニットに対するメモリセルアレイ全体でのビット線電圧の供給を説明するブロック図である。
【0065】
図5を参照して、図1に示したように、4つのブロックに分割されたメモリセルアレイにおいて、図4に示されたセンスアンプユニット45♯が、シェアードセンスアンプ構成に従って、複数のセンスアンプ帯40−1〜40−5に配置される。
【0066】
偶数番目のセンスアンプ帯40−2および40−4に配置されたセンスアンプユニット45♯に対しては、図4に示した構成と同様に、電圧ノード120L,125L,120R,125Rによって、ビット線電圧VBL1およびVBL0が供給される。
【0067】
これに対して、奇数番目のセンスアンプ帯40−1,40−3,40−5に配置されたセンスアンプユニット45♯に対しては、図4に示したセンスアンプユニット45♯に対して、電圧ノード120L,120Rに代わる電圧ノード140L,140Rによってビット線電圧VBL2が供給され、電圧ノード125L,125Rに代わる電圧ノード145R,145Lによってビット線電圧VBL3が供給されている。
【0068】
このような構成とすることにより、隣接するビット線対間の合計4本のビット線BL,/BLのそれぞれに対して、バーンインテスト時に、各ビット線とセンスアンプ回路とを切離した状態で、異なるビット線電圧VBL0〜VBL3をそれぞれ独立に設定して与えることができる。
【0069】
図6は、ビット線電圧VBL0〜VBL3の供給構成を示すブロック図である。図6には、図1に示した電源系回路80のうちの、ビット線電圧VBL0〜VBL3に関連する構成が示されている。
【0070】
図6を参照して、電源ノードNcには、通常動作時には、Hレベルに相当する電源電圧Vccが供給され、バーンインテスト時には、H♯レベルに相当する電源電圧Vcc♯または昇圧電圧Vppが印加される。電源ノードNgには、通常動作時には、Lレベルに相当する接地電圧GNDが供給され、バーンインテスト時には、L♯レベルに相当する、接地電圧GNDまたは負電圧Vbbが供給される。ビット線電圧発生回路160は、通常動作時におけるプリチャージ電圧に相当するビット線電圧VBL(一般的には、VBL=Vcc/2)を電源ノードNbへ供給する。
【0071】
ビット線電圧VBL0を供給する電圧ノード120L,120Rと、電源ノードNc,Nb,Ngとの間にはスイッチ150が設けられる。同様に、電圧ノード125L,125Rに対応してスイッチ151が設けられ、電圧ノード140L,140Rに対応してスイッチ152が設けられ、電圧ノード145L,145Rに対応してスイッチ153が設けられる。
【0072】
通常動作時においては、スイッチ150〜153の各々は、対応する電圧ノードを電源ノードNbと接続する。これにより各電圧ノードは、プリチャージ電圧に相当するビット線電圧VBL(Vcc/2)に設定される。
【0073】
これに対して、バーンインテスト時には、スイッチ150〜153は、検出する微小リーク経路の種類に応じて、対応する電圧ノードを電源ノードNc(H♯レベル)またはNg(L♯レベル)と接続する。
【0074】
図3に示した微小リーク経路SCaに対しては、(VBL0,VBL1,VBL2,VBL3)=(L♯,L♯,L♯,L♯)にする一方で、全ワード線WLをH♯レベルに設定すれば、当該微小リーク経路を顕在化させるための電圧ストレスを印加できる。あるいは、全ワード線WLをL♯レベルに設定して、(VBL0,VBL1,VBL2,VBL3)=(H♯,H♯,H♯,H♯)に設定しても、同様のバーンインテストが実行できる。
【0075】
同一ビット線対または隣接ビット線対間での逆相のビット線間の微小リーク経路SCbおよびSCcに対しては、(VBL0,VBL1,VBL2,VBL3)=(L♯,H♯,L♯,H♯)や(VBL0,VBL1,VBL2,VBL3)=(H♯,L♯,H♯,L♯)に設定することで、当該微小リーク経路を顕在化させるための電圧ストレスを印加できる。
【0076】
また、隣接ビット線対での同相のビット線間の微小リーク経路SCdに対しては、(VBL0,VBL1,VBL2,VBL3)=(H♯,H♯,L♯,L♯)や(VBL0,VBL1,VBL2,VBL3)=(L♯,L♯,H♯,H♯)に設定することにより、当該微小リーク経路を顕在化させるための電圧ストレスを印加できる。
【0077】
以上説明したように、実施の形態1に従う構成においては、バーンインテスト時において、センスアンプ回路を用いることなく、隣接するビット線対に含まれる4本のビット線のそれぞれに対して、独立に設定可能なビット線電圧VBL0〜VBL3を印加可能な構成としている。したがって、各ビット線をセンスアンプ回路と切り離した状態で、ビット線間に生じた微小リーク経路を顕在化させるための電圧ストレスを印加できる。この結果、高速動作のためにセンスアンプ回路が薄膜トランジスタで構成されている場合においても、薄膜トランジスタを破壊することなく、効果的なバーンインテストを実行できる。
【0078】
あるいは、図7に示されるように、センスアンプ帯40−1〜40−5の各々において、各センスアンプユニット45♯に対してビット線電圧VBL0およびVBL1を供給する構成とすることもできる。この場合には、バーンインテストにおいて、センスアンプ回路を用いることなく、各ビット線対で相補のビット線をビット線電圧VBL0およびVBL1にそれぞれ設定することができる。
【0079】
このような構成においても、(VBL0,VBL1)=(L♯,H♯)または(H♯,L♯)に設定することによって、図3に示した微小リーク経路のうち、逆相のビット線間に生じる微小リーク経路SCb,SCcに対しては、各ビット線をセンスアンプ回路と切り離した状態で、所望の電圧ストレスを印加できる。また、図3に示した微小リーク経路SCaについても、(VBL0,VBL1)=(L♯,L♯)または(H♯,H♯)として、ワード線WLの電圧を適宜H♯またはL♯に設定すれば、センスアンプ回路90を用いることなく、所望の電圧ストレスを印加することができる。
【0080】
したがって、図7に示した変形例によれば、図3に示した微小リーク経路SCdについては、センスアンプ回路を用いずに所望の電圧ストレスを印加することはできないものの、ビット線電圧の種類の増加を抑制した上で、薄膜トランジスタを破壊することなくバーンインテストを実行できる。
【0081】
[実施の形態2]
実施の形態2においては、図2に示した従来のセンスアンプユニットの構成を用いて、効果的なバーンインテストを実行可能な構成について説明する。
【0082】
図8は、実施の形態2におけるセンスアンプユニットに対するメモリセルアレイ全体でのビット線電圧の供給を説明するブロック図である。
【0083】
図8を参照して、実施の形態2に従う構成においては、図2に示したのと同一の回路構成を有するセンスアンプユニット45が、図5,7と同様のシェアードセンスアンプ構成に従って、複数のセンスアンプ帯40−1〜40−5に配置される。
【0084】
奇数番目のセンスアンプ帯40−1,40−3,40−5に配置されたセンスアンプユニット45に対しては、電圧ノード125によってビット線電圧VBL1が供給される。これに対して、偶数番目のセンスアンプ帯40−2および40−4に配置されたセンスアンプユニット45に対しては、電圧ノード120によってビット線電圧VBL0が供給される。
【0085】
実施の形態2に従う構成における、ビット線電圧VBL0およびVBL1は、図6に示した構成のうちのスイッチ150および151に関連する部分によって供給される。したがって、電圧ノード120および125は、通常動作時には、各々が所定のプリチャージ電圧VBL(Vcc/2)に設定され、テストモード時には、各々がH♯レベルおよびL♯レベルの一方に独立に設定される。
【0086】
図9は、実施の形態2に従うセンスアンプユニットの構成を示す回路図である。
【0087】
図9を参照して、センスアンプユニット45の構成そのものは、図2に示したものと同様であるので詳細な説明は繰返さない。
【0088】
ただし、図8にも示したように、偶数番目および奇数番目のセンスアンプ帯のそれぞれにおいて、異なるビット線電圧VBL0,VBL1がプリチャージ・イコライズ回路110Lおよび110Rに供給される構成となっている。
【0089】
また、プリチャージ・イコライズ回路110Lを構成するトランジスタスイッチ111〜113の各ゲートには、論理ゲート170Lの出力信号が入力される。論理ゲート170Lは、図2に示したビット線イコライズ信号BLEQLおよび図4に示したテストモード信号TMWLのOR演算結果を出力する。この結果、トランジスタスイッチ111〜113は、通常動作時における所定のプリチャージ・イコライズ期間およびバーンインテスト時の両方でオンして、対応する電圧ノード120(125)と、ビット線BLL,/BLLとを接続する。
【0090】
同様に、プリチャージ・イコライズ回路110Rを構成するトランジスタスイッチ114〜116の各ゲートには、ビット線イコライズ信号BLEQRおよびテストモード信号TMWLのOR演算結果が、論理ゲート170Rによって与えられる。したがって、トランジスタスイッチ114〜116は、通常動作時における所定のプリチャージ・イコライズ期間およびバーンインテスト時の両方でオンして、対応する電圧ノード120(125)と、ビット線BLR,/BLRとを接続する。
【0091】
したがって、通常動作時においては、電圧ノード120および125がプリチャージ電圧VBL(Vcc/2)に設定されるので、所定のプリチャージ動作が実行できる。
【0092】
一方で、バーンインテスト時には、(VBL0,VBL1)=(L♯,L♯)または(H♯,H♯)として、ワード線WLの電圧を適宜H♯またはL♯に設定すれば、図3に示した微小リーク経路SCaに対して、センスアンプ回路90を用いることなく、所望の電圧ストレスを印加することができる。
【0093】
さらに、図3に示した微小リーク経路SCcおよびSCdに対しては、(VBL0,VBL1)=(H♯,L♯)または(L♯,H♯)と設定することによって、センスアンプ回路90を用いることなく、所望の電圧ストレスを印加することができる。
【0094】
したがって、図3に示した微小リーク経路SCbについては、センスアンプ回路を用いずに所望の電圧ストレスを印加することはできないものの、微小リーク経路SCa,SCc,SCdについては、薄膜トランジスタを破壊することなく、効果的なバーンインテストを実行できる。
【0095】
特に、実施の形態2に従う構成では、センスアンプユニットの回路構成は、従来と同様である。したがって、ビット線間に生じた微小リーク経路のうちの一部の種類については、センスアンプ回路を用いずに顕在化させることはできないものの、センスアンプユニットの回路面積を増加させることなく、顕在化可能なビット線間の微小リーク経路の種類を増やせるという利点が生じる。
【0096】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0097】
【発明の効果】
この発明は以上説明したように、半導体記憶装置のテスト時に、センスアンプ回路を用いることなく、各ビット線対を構成する相補の第1および第2ビット線間に所望の電圧ストレスを印加できる。したがって、センスアンプ回路が薄膜トランジスタで構成されている場合においても、薄膜トランジスタを破壊することなく、ビット線間に存在する微小リーク経路を顕在化させるバーンインテストを実行するこができる。
【0098】
また、通常動作時に各ビット線対を所定電圧にプリチャージすることが可能なビット線スイッチ(プリチャージ・イコライズ回路)によって、半導体記憶装置のテスト時には、偶数番目のビット線対と奇数番目のビット線対とを、独立に設定可能な電圧とそれぞれ接続することができる。この結果、センスアンプユニットの回路面積を増加させることなく、顕在化可能なビット線間の微小リーク経路の種類を増やすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に従う半導体記憶装置の構成を示す概略ブロック図である。
【図2】従来の技術に従うセンスアンプユニットの構成を示す回路図である。
【図3】ビット線に関連した微小リーク経路の種類を示す概念図である。
【図4】実施の形態1に従うセンスアンプユニットの構成を示す回路図である。
【図5】実施の形態1に従うセンスアンプユニットに対するメモリセルアレイ全体でのビット線電圧供給を説明するブロック図である。
【図6】図5に示したビット線電圧の供給構成を示すブロック図である。
【図7】実施の形態1に従うセンスアンプユニットに対するメモリセルアレイ全体でのビット線電圧供給の変形例を説明するブロック図である。
【図8】実施の形態2におけるセンスアンプユニットに対するメモリセルアレイ全体でのビット線電圧の供給を説明するブロック図である。
【図9】実施の形態2に従うセンスアンプユニットの構成を示す回路図である。
【符号の説明】
10 半導体記憶装置、30 メモリセルアレイ、35 ブロック、40 センスアンプ帯、45 センスアンプユニット、80 電源系回路、90 センスアンプ回路、91〜96 薄膜トランジスタ群、100L,100R ビット線分離スイッチ、110L,110R プリチャージ・イコライズ回路、120,120L,120R,125,125L,125R,140L,140R,145R,145L 電圧ノード、130L,130R ビット線スイッチ回路、160 ビット線電圧発生回路、170L,170R 論理ゲート、BLEQL,BLEQR ビット線イコライズ信号、BLIL,BLIR ビット線分離信号、BL,/BL,BLL,/BLL,BLR,/BLR ビット線、BLP ビット線対、IO,/IO データ線、MC メモリセル、Nc,Nb,Ng 電源ノード、SC ストレージキャパシタ、SCa〜SCd 微小リーク経路、TMWL テストモード信号、VBL,VBL0〜VBL3 ビット線電圧。
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体記憶装置に関し、より特定的には、内部の短絡経路を顕在化させるための加速試験(バーンインテスト)を実行する半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)に代表される半導体記憶装置では、製造時にビット線と他のノードとの間に短絡経路が発生するケースがある。しかし、短絡経路に生じるリーク電流が微小である場合には、通常の動作テストでは当該短絡経路を検出することが困難である。以下本明細書では、このような通常の動作電圧では微小なリーク電流しか発生せず、検出が困難な短絡経路を「微小リーク経路」とも称することとする。
【0003】
微小リーク経路が検知されることなく製品化されると、定常的な微小リーク電流の発生によって、動作マージン低下や消費電力増大といった問題点が発生してしまう。したがって、このような微小リーク経路が存在する半導体記憶装置を確実にリジェクトするために、通常動作時よりも高い電圧ストレスを印加して、当該微小リーク経路を顕在化させるバーンインテストが一般的に実行されている。バーンインテストにおいて、ビット線に所定の高電圧を印加する構成については、様々な構成がこれまで提案されている。
【0004】
たとえば、バーンインテスト時において、ビット線への高電圧印加によって、センスアンプ回路を構成する薄膜トランジスタが破壊されるのを防ぐために、バーンイン試験時にビット線とセンスアンプ回路とを切離す構成が開示されている(たとえば特許文献1)。
【0005】
また、直接バーンインテストとは関連しないものの、テストモード時に、一括したデータ書込を実行するために、各ビット線に所定電圧を印加する構成や、奇数列の各ビット線および偶数列の各ビット線にそれぞれ異なるレベルの電圧(高電圧および低電圧)を印加する構成が開示されている(たとえば特許文献2)。
【0006】
【特許文献1】
特開2001−68634号公報(第14頁、第15図)
【0007】
【特許文献2】
特開平10−269775号公報(第12頁、第13−14図)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ビット線に対する微小リーク経路には複数の種類があり、微小リーク経路は、ビット線と他のノード(たとえばワード線)との間やビット線同士の間にも発生し得る。特に、フォールデッドビット線構成においては、同一ビット線対を構成する相補ビット線間にも微小リーク電流が発生し得る。
【0009】
たとえば、ビット線と他のノードとの間の微小リーク経路は、バーンインテストで各ビット線に同一の高電圧を印加することによって顕在化させることが可能である。しかし、ビット線同士の間に生じた微小リーク経路を顕在化させるためには、近接するビット線のそれぞれを異なる電圧に設定する必要がある。特に、フォールデッドビット線構成においては、バーンインテストにおいて、同一ビット線対を構成する相補ビット線同士や隣接する同相あるいは逆相のビット線同士の間で、電圧ストレスを印加する必要がある。
【0010】
上述した特許文献1および2に開示された構成では、センスアンプ回路とビット線とを切離した状態でのバーンインテストのみでは、ビット線間に生じる様々な種類の微小リーク経路を全て顕在化させることができない。言換えれば、センスアンプ回路を介したデータ書込によってビット線に高電圧を印加するバーンインテストが必要になる。しかし、このようなバーンインテストは、センスアンプ回路中の薄膜トランジスタを破壊する危険があるので、実行が困難である。
【0011】
この発明は、このような問題点を解決するためになされたものであって、この発明の目的は、センスアンプ回路を用いずにビット線間の微小リーク経路を効率的に顕在化させることが可能なバーンインテストのための構成を備えた半導体記憶装置を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
この発明に従う半導体記憶装置は、行列状に配置された複数のメモリセルと、複数のメモリセルの列に対応して設けられる複数のビット線対と、複数のビット線対にそれぞれ対応して設けられる複数のセンスアンプユニットを備え、複数のビット線対の各々は、第1および第2のビット線を含む。複数のセンスアンプユニットの各々は、少なくともデータ読出時に対応する第1および第2のビット線と接続されるセンスアンプ回路と、テスト時に、対応する第1および第2のビット線を、互いに異なる電圧をそれぞれ供給可能な複数の電圧ノードのうちの1つずつとそれぞれ接続するためのビット線スイッチとを含む。
【0013】
この発明の他の構成に従う半導体記憶装置は、行列状に配置された複数のメモリセルと、複数のメモリセルの列に対応して設けられる複数のビット線対と、複数のビット線対にそれぞれ対応して設けられる複数のセンスアンプユニットを備え、複数のビット線対の各々は、第1および第2のビット線を含む。複数のセンスアンプユニットの各々は、少なくともデータ読出時に対応する第1および第2のビット線と接続されるセンスアンプ回路を含み、奇数番目のビット線対に対応するセンスアンプユニットの各々は、テスト時に、対応する第1および第2のビット線の各々を第1の電圧ノードと接続する第1のビット線スイッチをさらに含み、偶数番目のビット線対に対応するセンスアンプユニットの各々は、テスト時に、対応する第1および第2のビット線の各々を第2の電圧ノードと接続する第2のビット線スイッチをさらに含み、第1および第2の電圧ノードの電圧は、テスト時において、互いに独立に設定可能である。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下において、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【0015】
[実施の形態1]
(全体構成)
図1は、本発明の実施の形態1に従う半導体記憶装置10の全体構成を示す概略ブロック図である。
【0016】
図1を参照して、半導体記憶装置10は、代表的にはDRAMであり、外部からのコマンド制御信号に応じて半導体記憶装置10の全体動作を制御するためのコントロール回路20と、複数のメモリセルMCが行列状に配置されたメモリセルアレイ30とを備える。
【0017】
メモリセルアレイ30は、ワード線方向(行方向)に沿って複数のブロックに分割されている。図1においては、一例として、メモリセルアレイ30は、4個のブロック35−1〜35−4に分割されている。ブロック35−1〜35−4の隣接領域を用いて、センスアンプ帯40−1〜40−5が設けられている。以下においては、ブロック35−1〜35−4およびセンスアンプ帯40−1〜40−5を総称する場合には、単にブロック35およびセンスアンプ帯40とそれぞれ称することとする。
【0018】
各ブロック35において、行列状に配置されたメモリセルMCに対して、メモリセル行ニそれぞれ対応してワード線WLが配置され、メモリセル列にそれぞれ対応してビット線対BLPが設けられる。ビット線対BLPは相補のビット線BLおよび/BLで構成される。
【0019】
メモリセルMCは、1行ごとにビット線BLおよび/BLの一方ずつと接続される。たとえば、奇数行において、メモリセルMCはビット線BLと接続され、偶数行において、メモリセルMCはビット線/BLと接続されるものとする。図1には、ブロック35−1において、偶数行および奇数行にそれぞれ属する1個ずつのメモリセルMCに対して、対応するワード線WLe(偶数行)およびWLo(奇数行)とビット線BL,/BL(同一列)が代表的に示されている。
【0020】
実施の形態1に従う半導体記憶装置10は、ロウデコーダ50と、コラムデコーダ60と、プリアンプおよびライトドライバ70と、電源系回路80とをさらに備える。
【0021】
ロウデコーダ50は、ロウアドレスRAに応じて、ブロック35−1〜35−4のうちの1つを選択するとともに、選択されたブロックにおいて、1本のワード線WLを活性化する。これに応じて、選択されたブロックでは、奇数行選択時には各ビット線BLに、偶数行選択時には各ビット線/BLに、メモリセルMCが接続されることになる。
【0022】
コラムデコーダ60は、コラムアドレスCAに応じて、メモリセル列にそれぞれ対応して設けられたコラム選択線CSLを選択的に活性化する。コラム選択線CSLは、ブロック35−1〜35−4に共通に設けられる。
【0023】
プリアンプおよびライトドライバ70は、データ読出時には選択メモリセルからの読出データを増幅し、データ書込時には入力された書込データを駆動する。
【0024】
電源系回路80は、半導体記憶装置10の内部で用いられる各種の電源電圧を発生する。これらの電源電圧には、メモリセルアレイ30の動作電圧である電源電圧Vccや、後ほど説明するビット線電圧VBL,VBL0〜VBL3が含まれている。
【0025】
次に、センスアンプ帯40を構成するセンスアンプユニットの構成について詳細に説明するが、まず実施の形態1に従う構成と比較するために、従来の技術に従うセンスアンプユニットの構成について説明する。
【0026】
(比較例として示される従来のセンスアンプ帯の構成)
図2は、従来の技術に従うセンスアンプユニットの構成を示す回路図である。図2には、2つのブロック35に挟まれた部分に位置するセンスアンプ帯40の構成が示される。
【0027】
図2を参照して、センスアンプ帯40には、各メモリセル列すなわちビット線対ごとにセンスアンプユニット45が配置されている。センスアンプ帯40は、いわゆるシェアードセンス構成を有しているため、センスアンプユニット45は、左側ブロックおよび右側ブロックによって共有されている。以下においては、代表的に第2番目のメモリセル列に対応する構成について説明する。
【0028】
センスアンプユニット45の左側ブロックには、ビット線対をなすビット線BLL2および/BLL2が配置されている。さらに、奇数行および偶数行にそれぞれ対応するワード線の代表例として、ワード線WLL0およびWLL1がさらに示されている。
【0029】
偶数行のメモリセルMCは、ビット線/BLL2とセルプレート電圧Vcpとの間に直列に接続されたアクセストランジスタATおよびストレージキャパシタSCとを有する。アクセストランジスタATのゲートは対応するワード線WLL0と接続されている。同様に、奇数行のメモリセルMCにおいては、アクセストランジスタATおよびストレージキャパシタSCは、ビット線BLL2とセルプレート電圧Vcpとの間に直列に接続されており、アクセストランジスタATのゲートは対応するワード線WLL1と接続されている。
【0030】
センスアンプユニット45の右側ブロックにおいても同様に、ビット線対をなすビット線BLR2および/BLR2が配置されており、奇数行および偶数行にそれぞれ対応するワード線の代表例として、ワード線WLR0およびWLR1がさらに示されている。さらに、メモリセルMCについても、左側ブロックと同様に配置されている。
【0031】
なお、以下においては、特定のメモリセル列と対応させることなく、左側ブロックのビット線を総括的に示す場合にはビット線BLL,/BLLと表記し、右側ブロックのビット線を総括的に示す場合にはビット線BLR,/BLRと表記する。また、特に、右側ブロックおよび左側ブロックを特定することなく、相補ビット線を総括的に表記する場合には、単にビット線BL,/BLと表記する。
【0032】
センスアンプユニット45は、トランジスタ91〜96で構成されたセンスアンプ回路90と、列選択スイッチ97と、ビット線分離スイッチ100L,100Rと、プリチャージ・イコライズ回路110L,110Rとを含む。
【0033】
センスアンプ回路90は、電源電圧VccおよびノードN1の間に接続されたP−MOSトランジスタ91と、ノードN2および接地電圧GNDの間に接続されたN−MOSトランジスタ92と、ノードN1とセンスノードNs2および/Ns2の間にそれぞれ接続されたP−MOSトランジスタ93および94と、センスノードNs2および/Ns2とノードN2との間にそれぞれ接続されたN−MOSトランジスタ95および96とを有する。トランジスタ91および92のゲートには、センスアンプ動作信号S0PおよびS0Nがそれぞれ入力されている。トランジスタ93および95の各ゲートはセンスノード/Ns2に接続され、トランジスタ94および96の各ゲートはセンスノードNs2と接続される。
【0034】
センスアンプ回路90の動作期間において、センスアンプ動作信号S0PおよびS0NがLレベルおよびHレベルにそれぞれ活性化され、ノードN1およびN2は、電源電圧Vccおよび接地電圧GNDとそれぞれ接続される。この結果、センスアンプ回路90は、動作期間において、センスノードNs2および/Ns2の間に生じた微小電圧差を、電源電圧Vccおよび接地電圧GNDの電圧差に増幅する。一方、センスアンプ回路90の非動作期間においては、センスアンプ動作信号S0PおよびS0NがHレベルおよびLレベルにそれぞれ非活性化され、ノードN1およびN2は電源電圧Vccおよび接地電圧GNDとそれぞれ切り離されて、センスアンプ回路90では電力が消費されない。
【0035】
一般的に、センスアンプ回路90を構成するトランジスタ91〜96は、上記の増幅動作を高速化するために、動作速度の速い薄膜トランジスタで形成される。すなわち、トランジスタ91〜96のゲート絶縁膜は、ビット線に接続される他のトランジスタ(トランジスタスイッチ111〜116等)のゲート絶縁膜よりも薄く設計される。
【0036】
列選択スイッチ97は、相補のデータ線IOおよび/IOとセンスノードNs2およびNs2の間にそれぞれ接続されるトランジスタスイッチ98および99を含む。トランジスタスイッチ98および99は、たとえばN−MOSトランジスタで構成され、各々のゲートは、対応するコラム選択線CSL2と接続される。なお、以下においては、センスノードについても、特定のメモリセル列と対応させることなく総括的に示す場合にはNs,/Nsと表記する。
【0037】
したがって、データ読出時およびデータ書込時において、選択列に対応するセンスノードNsおよび/Nsは、相補のデータ線IOおよび/IOとそれぞれ接続される。データ線IO,/IOは、センスアンプ帯40ごとに設けられ、メモリセルアレイ30への読出データおよび書込データを伝達する。データ読出時には、図1に示したプリアンプおよびライトドライバ70によって、選択列のセンスアンプ回路90からデータ線IO,/IOへ伝達された読出データが増幅される。データ書込時には、プリアンプおよびライトドライバ70は、書込データのレベルに応じて、データ線IOおよび/IOを相補レベルの電圧でそれぞれ駆動する。
【0038】
ビット線分離スイッチ100Lは、ビット線BLL2上のノードNaL2およびセンスノードNs2との間に設けられたトランジスタスイッチ101と、ビット線/BLL2上のノードNbL2およびセンスノード/Ns2の間に設けられたトランジスタスイッチ102とを有する。同様に、ビット線分離スイッチ100Rは、ビット線BLR2上のノードNaR2およびセンスノードNs2との間に設けられたトランジスタスイッチ103と、ビット線/BLR2上のノードNbR2およびセンスノード/Ns2の間に設けられたトランジスタスイッチ104とを有する。
【0039】
トランジスタスイッチ101〜104の各々は、N−MOSトランジスタで構成される。トランジスタスイッチ101および102の各ゲートには、ビット線分離信号BLILが入力され、トランジスタスイッチ103および104の各ゲートにはビット線分離信号BLIRが入力される。
【0040】
通常動作時には、センスアンプユニット45の左側ブロックがデータ読出またはデータ書込対象に選択された場合に、ビット線分離信号BLILはHレベルに設定され、ビット線分離信号BLIRはLレベルに設定される。これにより、各メモリセル列において、ビット線BLLおよび/BLLは、センスノードNsおよび/Nsとそれぞれ接続される。反対に、右側ブロックがデータ読出またはデータ書込対象に選択された場合には、ビット線分離信号BLIRはHレベルに設定され、ビット線分離信号BLILはLレベルに設定される。これにより、各メモリセル列において、ビット線BLRおよび/BLRは、センスノードNsおよび/Nsとそれぞれ接続される。
【0041】
さらに、列選択結果に応じてデータ線IOおよび/IOと接続されたセンスアンプ回路90によって、選択列のビット線BLL,/BLLまたはBLR,/BLRを介して、選択メモリセルに対するデータ読出およびデータ書込が実行される。
【0042】
プリチャージ・イコライズ回路110Lは、ノードNaL2およびノードNbL2の間に設けられたトランジスタスイッチ111と、ビット線電圧VBLが伝達される電圧ノード120LとノードNaL2およびNbL2の間にそれぞれ設けられたトランジスタスイッチ112および113とを含む。同様に、プリチャージ・イコライズ回路110Rは、ノードNaR2およびノードNbR2の間に設けられたトランジスタスイッチ114と、ビット線電圧VBLが伝達される電圧ノード120RとノードNaR2およびNbR2の間にそれぞれ設けられたトランジスタスイッチ115および116とを含む。トランジスタスイッチ111〜116の各々はN−MOSトランジスタで構成され、トランジスタスイッチ111〜113の各ゲートはビット線イコライズ信号BLEQLを受け、トランジスタスイッチ114〜116の各ゲートはビット線イコライズ信号BLEQRを受ける。ビット線イコライズ信号BLEQL,BLEQRは、通常動作時には、データ読出およびデータ書込の準備期間に相当する所定期間において、Hレベルに活性化される。
【0043】
したがって、通常動作時には、データ読出およびデータ書込前の所定期間において、適宜ビット線イコライズ信号BLEQLおよびBLEQRをHレベルに活性化することによって、ビット線BLL,/BLL,BLR,/BLRの各々は、ビット線電圧VBLにプリチャージされる。
【0044】
一方、バーンインテスト時には、電圧ノード120L,120Rに供給されるビット線電圧VBLを通常動作時よりも高い電圧に設定することにより、プリチャージ・イコライズ回路110L,110Rによって、各ビット線BLL,/BLL,BLR,/BLRとビット線以外のノードとの間に、通常動作時よりも高い電圧ストレスを印加することができる。
【0045】
さらに、ビット線分離信号BLILおよびBLIRの各々をLレベルに設定することによって、各センスアンプユニット45において、センスノードNsおよび/Nsを両側ブロックのビット線BLL,/BLLおよびBLR,/BLRのいずれとも電気的に切り離すことができる。この結果、各ビット線に高電圧が印加され得るバーンインテスト時に、センスアンプ回路90を構成する薄膜トランジスタ群91〜96を保護することができる。
【0046】
なお、端部のセンスアンプ帯40−1および40−5に配置されるセンスアンプユニット45においては、左側ブロックまたは右側ブロックの一方が存在しない。したがって、図2に示した構成から、ビット線分離スイッチ100Lおよびプリチャージ・イコライズ回路110Lの組、またはビット線分離スイッチ100Rおよびプリチャージ・イコライズ回路110Rの組の配置が省略される。
【0047】
図3は、ビット線に関連した微小リーク経路の種類を示す概念図である。
図3を参照して、微小リーク経路SCaは、ビット線BL1とワード線WLとの間に発生している。ワード線WLは、ビット線以外のノードの代表例として示される。
【0048】
これに対して、微小リーク経路SCb〜SCdは、ビット線同士の間で発生している。具体的には、微小リーク経路SCbは、同一のビット線対を構成する相補(逆相)のビット線間で発生し、微小リーク経路SCcは、隣接ビット線対の逆相のビット線間で発生し、微小リーク経路SCdは、隣接ビット線対の同相のビット線間で発生している。図3の例においては、微小リーク経路SCbは、ビット線BL1と/BL1の間に発生し、微小リーク経路SCcは、ビット線/BL1とBL2の間に発生し、微小リーク経路SCdは、ビット線/BL1および/BL2の間に発生している。
【0049】
以下においては、通常動作時におけるハイレベル電圧およびローレベル電圧をHレベルおよびLレベルと表記し、バーンインテスト時におけるハイレベル電圧およびローレベル電圧をH♯レベルおよびL♯レベルと表記する。一般的に、Hレベルは、メモリセルアレイの動作電源電圧Vccに相当する。H♯レベルとしては、外部から入力された高電圧Vcc♯(>Vcc)やワード線活性化用の昇圧電圧Vpp(>Vcc)が用いられる。また、Lレベルは接地電圧GNDに相当し、L♯としては、接地電圧GNDまたは負電圧Vbb(たとえば基板電圧)が用いられる。
【0050】
図2に示した従来のセンスアンプユニット45では、バーンインテスト時には、プリチャージ・イコライズ回路110L,110Rによって各ビット線BLをH♯レベルに設定するとともに、ワード線WLをL♯レベルに設定することで、各ビット線とワード線WLとの間に、通常動作時よりも高い電圧ストレスを印加することができる。
【0051】
したがって、従来のセンスアンプユニット45によっても、バーンインテストによって、図3中の微小リーク経路SCaを顕在化させることは可能である。さらに、既に説明したように、ビット線分離スイッチ100L,100Rによって、各ビット線とセンスアンプ回路とを電気的に切り離すことができるので、微小リーク経路SCaを検出するためのバーンインテストにおいてセンスアンプ回路90を構成する薄膜トランジスタ群91〜96を保護することができる。
【0052】
これに対して、微小リーク経路SCbに高電圧ストレスを印加するためには、同一ビット線対を構成する相補のビット線BLおよび/BLの一方ずつに対してH♯レベルおよびL♯レベルをそれぞれ印加する必要がある。しかし、図2に示した構成においては、プリチャージ・イコライズ回路110L,110Rによるビット線電圧VBLの供給ではこのような状況を作り出すことはできない。
【0053】
したがって、微小リーク経路SCbを検出するためには、センスアンプユニット45−1中のセンスアンプ回路90(図2)によって、H♯レベルおよびL♯レベルを動作電圧とするデータ書込を実行して、相補のビット線に異なる電圧を印加する必要がある。しかしながら、このようなデータ書込は、センスアンプ回路90を構成する薄膜トランジスタを破壊するおそれがある。
【0054】
同様に、微小リーク経路SCcおよびSCdに高電圧ストレスを印加する場合にも、バーンインテスト時に、センスアンプユニット45−1および45−2によって、H♯レベルおよびL♯レベルを動作電圧とするデータ書込を実行する必要がある。具体的には、微小リーク経路SCcの検出時には、センスアンプユニット45−1および45−2は同一レベルのデータを書込む必要があり、微小リーク経路SCdの検出時には、センスアンプユニット45−1および45−2は相補レベルのデータを書込む必要がある。したがって、微小リーク経路SDbの検出時と同様に、センスアンプ回路90を構成する薄膜トランジスタを破壊するおそれが生じる。
【0055】
したがって、以下において、センスアンプ回路内の薄膜トランジスタの保護と、ビット線間の微小リーク経路の検出とを両立可能である、本願発明に従うセンスアンプユニットの構成について説明する。
【0056】
(実施の形態1に従うセンスアンプユニットの構成)
図4は、本発明の実施の形態1に従うセンスアンプユニット45♯の構成を示す回路図である。
【0057】
図4においては、図2と同様に左側ブロックおよび右側ブロックの間に配置されたセンスアンプ帯40(図1におけるセンスアンプ帯40−2〜40−4)中の1つのセンスアンプユニット45♯が代表的に例示されているが、同様の構成が、各メモリセル列に対応して設けられているものとする。
【0058】
図4を参照して、実施の形態1に従うセンスアンプユニット45♯は、図2に示した従来のセンスアンプユニット45と比較して、ビット線スイッチ回路130Lおよび130Rをさらに含む点で異なる。
【0059】
ビット線スイッチ回路130Lは、左側ブロックに対応して設けられ、ビット線BLL(ノードNaL)と電圧ノード125Lの間に設けられたトランジスタスイッチ131と、ビット線/BLL(ノードNbL)と電圧ノード120Lとの間に設けらたトランジスタスイッチ132とを有する。同様に、ビット線スイッチ回路130Rは、右側ブロックに対応して設けられ、ビット線BLR(ノードNaR)と電圧ノード125Rの間に設けられたトランジスタスイッチ133と、ビット線/BLR(ノードNbR)と電圧ノード120Rとの間に設けらたトランジスタスイッチ134とを有する。
【0060】
トランジスタスイッチ131〜134の各々は、N−MOSトランジスタで構成され、各ゲートは、バーンインテスト時に活性化(Hレベル)されるテストモード信号TMWLを受ける。
【0061】
電圧ノード120Lおよび125Lは、少なくともバーンインテスト時に、互いに異なる電圧レベルへ設定可能である。すなわち、電圧ノード120Lの供給電圧をVBL0とし、電圧ノード125Lの供給電圧をVBL1とすると、バーンインテスト時には、VBL0=VBL1に設定することも、VBL0≠VBL1として両者の間に所望の電圧差を設けることも可能である。電圧ノード120Rおよび125Rは、電圧ノード120Lおよび125Lとそれぞれ同一の電圧VBL0およびVBL1をそれぞれ供給する。
【0062】
この結果、バーンインテスト時に、ビット線分離スイッチ100L,100Rによって、各ビット線BLL,/BLL,BLR,/BLRとセンスアンプ回路90とを切離した状態で、相補ビット線の一方BLL,BLRおよび他方/BLL,/BLRに、独立したビット線電圧VBL1およびVBL0をそれぞれ印加することができる。
【0063】
なお、端部のセンスアンプ帯40−1および40−5に配置されるセンスアンプユニット45♯においては、左側ブロックまたは右側ブロックの一方が存在しない。したがって、図4に示した構成から、ビット線分離スイッチ100L、プリチャージ・イコライズ回路110Lおよびビット線スイッチ回路130Lの組、またはビット線分離スイッチ100R、プリチャージ・イコライズ回路110Rおよびビット線スイッチ回路130Rの組の配置が省略される。
【0064】
図5は、実施の形態1に従うセンスアンプユニットに対するメモリセルアレイ全体でのビット線電圧の供給を説明するブロック図である。
【0065】
図5を参照して、図1に示したように、4つのブロックに分割されたメモリセルアレイにおいて、図4に示されたセンスアンプユニット45♯が、シェアードセンスアンプ構成に従って、複数のセンスアンプ帯40−1〜40−5に配置される。
【0066】
偶数番目のセンスアンプ帯40−2および40−4に配置されたセンスアンプユニット45♯に対しては、図4に示した構成と同様に、電圧ノード120L,125L,120R,125Rによって、ビット線電圧VBL1およびVBL0が供給される。
【0067】
これに対して、奇数番目のセンスアンプ帯40−1,40−3,40−5に配置されたセンスアンプユニット45♯に対しては、図4に示したセンスアンプユニット45♯に対して、電圧ノード120L,120Rに代わる電圧ノード140L,140Rによってビット線電圧VBL2が供給され、電圧ノード125L,125Rに代わる電圧ノード145R,145Lによってビット線電圧VBL3が供給されている。
【0068】
このような構成とすることにより、隣接するビット線対間の合計4本のビット線BL,/BLのそれぞれに対して、バーンインテスト時に、各ビット線とセンスアンプ回路とを切離した状態で、異なるビット線電圧VBL0〜VBL3をそれぞれ独立に設定して与えることができる。
【0069】
図6は、ビット線電圧VBL0〜VBL3の供給構成を示すブロック図である。図6には、図1に示した電源系回路80のうちの、ビット線電圧VBL0〜VBL3に関連する構成が示されている。
【0070】
図6を参照して、電源ノードNcには、通常動作時には、Hレベルに相当する電源電圧Vccが供給され、バーンインテスト時には、H♯レベルに相当する電源電圧Vcc♯または昇圧電圧Vppが印加される。電源ノードNgには、通常動作時には、Lレベルに相当する接地電圧GNDが供給され、バーンインテスト時には、L♯レベルに相当する、接地電圧GNDまたは負電圧Vbbが供給される。ビット線電圧発生回路160は、通常動作時におけるプリチャージ電圧に相当するビット線電圧VBL(一般的には、VBL=Vcc/2)を電源ノードNbへ供給する。
【0071】
ビット線電圧VBL0を供給する電圧ノード120L,120Rと、電源ノードNc,Nb,Ngとの間にはスイッチ150が設けられる。同様に、電圧ノード125L,125Rに対応してスイッチ151が設けられ、電圧ノード140L,140Rに対応してスイッチ152が設けられ、電圧ノード145L,145Rに対応してスイッチ153が設けられる。
【0072】
通常動作時においては、スイッチ150〜153の各々は、対応する電圧ノードを電源ノードNbと接続する。これにより各電圧ノードは、プリチャージ電圧に相当するビット線電圧VBL(Vcc/2)に設定される。
【0073】
これに対して、バーンインテスト時には、スイッチ150〜153は、検出する微小リーク経路の種類に応じて、対応する電圧ノードを電源ノードNc(H♯レベル)またはNg(L♯レベル)と接続する。
【0074】
図3に示した微小リーク経路SCaに対しては、(VBL0,VBL1,VBL2,VBL3)=(L♯,L♯,L♯,L♯)にする一方で、全ワード線WLをH♯レベルに設定すれば、当該微小リーク経路を顕在化させるための電圧ストレスを印加できる。あるいは、全ワード線WLをL♯レベルに設定して、(VBL0,VBL1,VBL2,VBL3)=(H♯,H♯,H♯,H♯)に設定しても、同様のバーンインテストが実行できる。
【0075】
同一ビット線対または隣接ビット線対間での逆相のビット線間の微小リーク経路SCbおよびSCcに対しては、(VBL0,VBL1,VBL2,VBL3)=(L♯,H♯,L♯,H♯)や(VBL0,VBL1,VBL2,VBL3)=(H♯,L♯,H♯,L♯)に設定することで、当該微小リーク経路を顕在化させるための電圧ストレスを印加できる。
【0076】
また、隣接ビット線対での同相のビット線間の微小リーク経路SCdに対しては、(VBL0,VBL1,VBL2,VBL3)=(H♯,H♯,L♯,L♯)や(VBL0,VBL1,VBL2,VBL3)=(L♯,L♯,H♯,H♯)に設定することにより、当該微小リーク経路を顕在化させるための電圧ストレスを印加できる。
【0077】
以上説明したように、実施の形態1に従う構成においては、バーンインテスト時において、センスアンプ回路を用いることなく、隣接するビット線対に含まれる4本のビット線のそれぞれに対して、独立に設定可能なビット線電圧VBL0〜VBL3を印加可能な構成としている。したがって、各ビット線をセンスアンプ回路と切り離した状態で、ビット線間に生じた微小リーク経路を顕在化させるための電圧ストレスを印加できる。この結果、高速動作のためにセンスアンプ回路が薄膜トランジスタで構成されている場合においても、薄膜トランジスタを破壊することなく、効果的なバーンインテストを実行できる。
【0078】
あるいは、図7に示されるように、センスアンプ帯40−1〜40−5の各々において、各センスアンプユニット45♯に対してビット線電圧VBL0およびVBL1を供給する構成とすることもできる。この場合には、バーンインテストにおいて、センスアンプ回路を用いることなく、各ビット線対で相補のビット線をビット線電圧VBL0およびVBL1にそれぞれ設定することができる。
【0079】
このような構成においても、(VBL0,VBL1)=(L♯,H♯)または(H♯,L♯)に設定することによって、図3に示した微小リーク経路のうち、逆相のビット線間に生じる微小リーク経路SCb,SCcに対しては、各ビット線をセンスアンプ回路と切り離した状態で、所望の電圧ストレスを印加できる。また、図3に示した微小リーク経路SCaについても、(VBL0,VBL1)=(L♯,L♯)または(H♯,H♯)として、ワード線WLの電圧を適宜H♯またはL♯に設定すれば、センスアンプ回路90を用いることなく、所望の電圧ストレスを印加することができる。
【0080】
したがって、図7に示した変形例によれば、図3に示した微小リーク経路SCdについては、センスアンプ回路を用いずに所望の電圧ストレスを印加することはできないものの、ビット線電圧の種類の増加を抑制した上で、薄膜トランジスタを破壊することなくバーンインテストを実行できる。
【0081】
[実施の形態2]
実施の形態2においては、図2に示した従来のセンスアンプユニットの構成を用いて、効果的なバーンインテストを実行可能な構成について説明する。
【0082】
図8は、実施の形態2におけるセンスアンプユニットに対するメモリセルアレイ全体でのビット線電圧の供給を説明するブロック図である。
【0083】
図8を参照して、実施の形態2に従う構成においては、図2に示したのと同一の回路構成を有するセンスアンプユニット45が、図5,7と同様のシェアードセンスアンプ構成に従って、複数のセンスアンプ帯40−1〜40−5に配置される。
【0084】
奇数番目のセンスアンプ帯40−1,40−3,40−5に配置されたセンスアンプユニット45に対しては、電圧ノード125によってビット線電圧VBL1が供給される。これに対して、偶数番目のセンスアンプ帯40−2および40−4に配置されたセンスアンプユニット45に対しては、電圧ノード120によってビット線電圧VBL0が供給される。
【0085】
実施の形態2に従う構成における、ビット線電圧VBL0およびVBL1は、図6に示した構成のうちのスイッチ150および151に関連する部分によって供給される。したがって、電圧ノード120および125は、通常動作時には、各々が所定のプリチャージ電圧VBL(Vcc/2)に設定され、テストモード時には、各々がH♯レベルおよびL♯レベルの一方に独立に設定される。
【0086】
図9は、実施の形態2に従うセンスアンプユニットの構成を示す回路図である。
【0087】
図9を参照して、センスアンプユニット45の構成そのものは、図2に示したものと同様であるので詳細な説明は繰返さない。
【0088】
ただし、図8にも示したように、偶数番目および奇数番目のセンスアンプ帯のそれぞれにおいて、異なるビット線電圧VBL0,VBL1がプリチャージ・イコライズ回路110Lおよび110Rに供給される構成となっている。
【0089】
また、プリチャージ・イコライズ回路110Lを構成するトランジスタスイッチ111〜113の各ゲートには、論理ゲート170Lの出力信号が入力される。論理ゲート170Lは、図2に示したビット線イコライズ信号BLEQLおよび図4に示したテストモード信号TMWLのOR演算結果を出力する。この結果、トランジスタスイッチ111〜113は、通常動作時における所定のプリチャージ・イコライズ期間およびバーンインテスト時の両方でオンして、対応する電圧ノード120(125)と、ビット線BLL,/BLLとを接続する。
【0090】
同様に、プリチャージ・イコライズ回路110Rを構成するトランジスタスイッチ114〜116の各ゲートには、ビット線イコライズ信号BLEQRおよびテストモード信号TMWLのOR演算結果が、論理ゲート170Rによって与えられる。したがって、トランジスタスイッチ114〜116は、通常動作時における所定のプリチャージ・イコライズ期間およびバーンインテスト時の両方でオンして、対応する電圧ノード120(125)と、ビット線BLR,/BLRとを接続する。
【0091】
したがって、通常動作時においては、電圧ノード120および125がプリチャージ電圧VBL(Vcc/2)に設定されるので、所定のプリチャージ動作が実行できる。
【0092】
一方で、バーンインテスト時には、(VBL0,VBL1)=(L♯,L♯)または(H♯,H♯)として、ワード線WLの電圧を適宜H♯またはL♯に設定すれば、図3に示した微小リーク経路SCaに対して、センスアンプ回路90を用いることなく、所望の電圧ストレスを印加することができる。
【0093】
さらに、図3に示した微小リーク経路SCcおよびSCdに対しては、(VBL0,VBL1)=(H♯,L♯)または(L♯,H♯)と設定することによって、センスアンプ回路90を用いることなく、所望の電圧ストレスを印加することができる。
【0094】
したがって、図3に示した微小リーク経路SCbについては、センスアンプ回路を用いずに所望の電圧ストレスを印加することはできないものの、微小リーク経路SCa,SCc,SCdについては、薄膜トランジスタを破壊することなく、効果的なバーンインテストを実行できる。
【0095】
特に、実施の形態2に従う構成では、センスアンプユニットの回路構成は、従来と同様である。したがって、ビット線間に生じた微小リーク経路のうちの一部の種類については、センスアンプ回路を用いずに顕在化させることはできないものの、センスアンプユニットの回路面積を増加させることなく、顕在化可能なビット線間の微小リーク経路の種類を増やせるという利点が生じる。
【0096】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0097】
【発明の効果】
この発明は以上説明したように、半導体記憶装置のテスト時に、センスアンプ回路を用いることなく、各ビット線対を構成する相補の第1および第2ビット線間に所望の電圧ストレスを印加できる。したがって、センスアンプ回路が薄膜トランジスタで構成されている場合においても、薄膜トランジスタを破壊することなく、ビット線間に存在する微小リーク経路を顕在化させるバーンインテストを実行するこができる。
【0098】
また、通常動作時に各ビット線対を所定電圧にプリチャージすることが可能なビット線スイッチ(プリチャージ・イコライズ回路)によって、半導体記憶装置のテスト時には、偶数番目のビット線対と奇数番目のビット線対とを、独立に設定可能な電圧とそれぞれ接続することができる。この結果、センスアンプユニットの回路面積を増加させることなく、顕在化可能なビット線間の微小リーク経路の種類を増やすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に従う半導体記憶装置の構成を示す概略ブロック図である。
【図2】従来の技術に従うセンスアンプユニットの構成を示す回路図である。
【図3】ビット線に関連した微小リーク経路の種類を示す概念図である。
【図4】実施の形態1に従うセンスアンプユニットの構成を示す回路図である。
【図5】実施の形態1に従うセンスアンプユニットに対するメモリセルアレイ全体でのビット線電圧供給を説明するブロック図である。
【図6】図5に示したビット線電圧の供給構成を示すブロック図である。
【図7】実施の形態1に従うセンスアンプユニットに対するメモリセルアレイ全体でのビット線電圧供給の変形例を説明するブロック図である。
【図8】実施の形態2におけるセンスアンプユニットに対するメモリセルアレイ全体でのビット線電圧の供給を説明するブロック図である。
【図9】実施の形態2に従うセンスアンプユニットの構成を示す回路図である。
【符号の説明】
10 半導体記憶装置、30 メモリセルアレイ、35 ブロック、40 センスアンプ帯、45 センスアンプユニット、80 電源系回路、90 センスアンプ回路、91〜96 薄膜トランジスタ群、100L,100R ビット線分離スイッチ、110L,110R プリチャージ・イコライズ回路、120,120L,120R,125,125L,125R,140L,140R,145R,145L 電圧ノード、130L,130R ビット線スイッチ回路、160 ビット線電圧発生回路、170L,170R 論理ゲート、BLEQL,BLEQR ビット線イコライズ信号、BLIL,BLIR ビット線分離信号、BL,/BL,BLL,/BLL,BLR,/BLR ビット線、BLP ビット線対、IO,/IO データ線、MC メモリセル、Nc,Nb,Ng 電源ノード、SC ストレージキャパシタ、SCa〜SCd 微小リーク経路、TMWL テストモード信号、VBL,VBL0〜VBL3 ビット線電圧。
Claims (6)
- 行列状に配置された複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルの列に対応して設けられる複数のビット線対と、
前記複数のビット線対にそれぞれ対応して設けられる複数のセンスアンプユニットを備え、
前記複数のビット線対の各々は、第1および第2のビット線を含み、
前記複数のセンスアンプユニットの各々は、
少なくともデータ読出時に対応する前記第1および第2のビット線と接続されるセンスアンプ回路と、
テスト時に、前記対応する第1および第2のビット線を、互いに異なる電圧をそれぞれ供給可能な複数の電圧ノードのうちの1つずつとそれぞれ接続するためのビット線スイッチとを含む、半導体記憶装置。 - 奇数番目の前記ビット線対に対応する前記センスアンプユニットの各々において、前記ビット線スイッチは、前記テスト時に、前記対応する第1および第2のビット線を、前記複数の電圧ノードのうちの第1および第2の電圧ノードとそれぞれ接続し、
偶数番目の前記ビット線対に対応する前記センスアンプユニットの各々において、前記ビット線スイッチは、前記テスト時に前記対応する第1および第2のビット線を、前記複数の電圧ノードのうちの第3および第4の電圧ノードとそれぞれ接続し、
前記第1から第4の電圧ノードの電圧は、前記テスト時において、互いに独立に設定可能である、請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記複数のセンスアンプユニットの各々は、
通常動作時に所定のタイミングにおいて、前記対応する第1および第2のビット線の各々を所定のプリチャージ電圧と結合するためのプリチャージ・イコライズ回路をさらに含み、
前記通常動作時において、前記複数の電圧ノードの各々は、前記プリチャージ電圧に設定される、請求項1または請求項2記載の半導体記憶装置。 - 行列状に配置された複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルの列に対応して設けられる複数のビット線対と、
前記複数のビット線対にそれぞれ対応して設けられる複数のセンスアンプユニットを備え、
前記複数のビット線対の各々は、第1および第2のビット線を含み、
前記複数のセンスアンプユニットの各々は、
少なくともデータ読出時に対応する前記第1および第2のビット線と接続されるセンスアンプ回路を含み、
奇数番目の前記ビット線対に対応する前記センスアンプユニットの各々は、テスト時に、前記対応する第1および第2のビット線の各々を第1の電圧ノードと接続する第1のビット線スイッチをさらに含み、
偶数番目の前記ビット線対に対応する前記センスアンプユニットの各々は、テスト時に、前記対応する第1および第2のビット線の各々を第2の電圧ノードと接続する第2のビット線スイッチをさらに含み、
前記第1および第2の電圧ノードの電圧は、前記テスト時において、互いに独立に設定可能である、半導体記憶装置。 - 前記第1および第2の電圧ノードの各々は、通常動作時には、所定のプリチャージ電圧に設定され、
前記第1および第2のビット線スイッチの各々は、前記通常動作時に所定のタイミングにおいて、前記対応する第1および第2のビット線の各々を前記第1および第2の電圧ノードの対応する一方と接続する、請求項4記載の半導体記憶装置。 - 前記複数のメモリセル列の各々において、前記第1および第2のビット線は、前記テスト時に、第1および第2のノードにおいて前記電圧ノードとそれぞれ接続され、
前記複数のセンスアンプユニットの各々は、
前記テスト時において、前記第1および第2のノードと前記センスアンプ回路との間を電気的に切離すビット線分離スイッチをさらに含み、
前記センスアンプ回路を構成するトランジスタのゲート絶縁膜厚は、前記テスト時に前記第1および第2のビット線と接続されているトランジスタのゲート絶縁膜厚よりも薄い、請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。
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