JP2004170411A - 重畳された遅延信号を用いた光学的特性の決定 - Google Patents
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Abstract
【課題】試験対象デバイスの光学特性を効率的に決定する手段を提供する。
【解決手段】試験対象デバイス(DUT)の光学的特性を、検出されたDUT応答信号、または、それから導出された信号から決定する。DUT応答信号は、合成信号または合成信号から得られた信号に応答したDUTの信号応答を表す。合成信号は、互いに対して遅延されて重畳された信号から構成される。
【選択図】図1
【解決手段】試験対象デバイス(DUT)の光学的特性を、検出されたDUT応答信号、または、それから導出された信号から決定する。DUT応答信号は、合成信号または合成信号から得られた信号に応答したDUTの信号応答を表す。合成信号は、互いに対して遅延されて重畳された信号から構成される。
【選択図】図1
Description
本発明は、試験対象デバイス(DUT)の応答信号又はそれから導出された信号を分析することによりDUTの光学的特性を決定することに関する。
「掃引式ホモダイン干渉分析法(swept homodyne interferometry)」と一般に呼ばれる公知の技法により、DUTは追加の波長依存光路長を導入する干渉測定構成の干渉計アームの一つに実装される。レーザ光源は、一定範囲の波長にわたって掃引される。アーム長の食い違いが原因で、検出器において被変調信号すなわちインターフェログラム(または干渉光強度変化記録図)が観察される。この構成は、伝送に関して見たときはマッハ・ツェーンダー(Mach−Zehnder)構成に、また反射に関して見たときはトワイマン・グリーン(Twyman−Green)干渉計に相当する。この手法に関するさらなる詳細は、Thomas Jensenの著作(非特許文献1参照)や同一出願人による特許出願(特許文献1参照)に見出すことができ、その教示は参照により本願明細書に組み込むものとする。
DUT応答信号又はそれから導出された信号を分析することによる光学的特性の決定を改善することが本発明の一つの目的である。この目的は、特許請求の範囲の独立請求項に記載された発明により解決される。好適な実施形態は、従属請求項に示されている。
本発明は、試験対象デバイス(または試験対象装置)(DUT)の光学的特性を決定するよう構成された装置に関するものである。この装置は合成信号を形成する遅延ユニットを備え、合成信号(または複合信号)は相互に遅延された重畳信号から構成される。合成信号に応答するか又は該合成信号から導出される信号に応答するDUTの信号応答を表わすDUT応答信号を検出する。この装置はさらに、DUT応答信号又はそれから導出された信号からDUTの光学的特性を決定する第1の決定ユニットを備える。
合成信号は、少なくとも2つの重畳された信号を含む。合成信号又は該合成信号から導出される信号に対するDUTの応答を検出して分析すると、DUTが合成信号をどのように変更したかを見出すことが可能である。単純な信号、例えば一つの信号成分のみからなる信号に対するDUTの応答を分析する代わりに、合成信号に対するDUTの応答を用いてDUTの光学的特性を決定する。合成信号は、DUTにより異なる仕方で影響を受ける異なる信号成分を含む。合成信号を使用することによって1計測当たりより多くの情報が収集できるようになるが、それは合成信号の様々な成分のそれぞれがDUTにより異なる仕方で影響を受けることがあるからである。例えば、合成信号は互いに干渉する異なる周波数成分を含むことがある。この種の合成信号に対するDUTの応答を検出することによって、単一の計測で異なる周波数におけるDUTの応答に関する情報を得ることが可能である。
DUTに合成信号を供給する別の利点は、測定構成が相当に簡単化されることである。遅延ユニットはDUTの入力端へ接続され、DUTの出力端は第1の決定ユニットに接続される。合成信号は既に幾つかの信号成分で構成されているため、もはや決定ユニットに対して余分な基準信号を供給する必要はない。
本発明は、単一ポート装置と複数ポート装置の両方に用いることができる。複数ポート装置は例えば幾つかの入力ポートを備えており、それによって入力ポートに供給された入力信号は幾つかのチャンネルを構成する少なくとも一つの出力信号に組み合わされる。複数ポート装置は幾つかの出力ポートを備えることもでき、それによって入力信号の様々なチャンネルが出力ポートへ分配される。幾つかの入力ポートを備える複数ポート装置の場合は、遅延ユニットと各入力ポートの間にファイバ接続を確立することにより入力ポートのそれぞれに合成信号を供給することができる。出力ポートは、1以上の決定装置に接続される。この種の測定構成の場合、基準信号が不要であることは格別有利である。これは、全ての必要な信号成分が合成信号内に含まれているからである。
好適な実施形態の他の利点は、単純化された構成の機構的な安定性が改善され、かつ振動に起因する歪が低減されることである。
好適な実施形態によれば、合成信号形成用に用いる重畳信号は一つの入射信号から導出される。信号成分が一つの共通信号源から得られる場合には、それらは互いに対して十分に規定された位相関係を有する。
本発明の別の好適な実施形態によれば、入射光信号は可調整光源(または同調式光源)により、好ましくは狭帯域可調整レーザ光源(狭帯域チューナブルレーザ源)によって生成される。可調整光源により生成される光の周波数は、時間の関数として可変することができ、例えば、光の周波数を一定の周波数範囲にわたって掃引することもできる。この場合、重畳された信号(被重畳信号)間の相対的な遅延により、被重畳信号間に周波数差が生じる。それ故、合成信号は互いに干渉する異なる周波数成分を含み、合成信号は干渉信号を構成する。この干渉信号又はそれから導出される信号は、DUTへ供給することができる。DUT応答信号又はそれから導出される信号を検出して分析することで、合成信号の干渉パターンがDUTにより如何なる影響を受けるかを見出すことが可能である。合成信号の干渉パターンを応答信号の干渉パターンと比較することによって、DUTの光学的特性に関する情報を収集することが可能である。例えば、DUTのばらつきに関する情報とDUTの屈折率の周波数依存性を得ることができる。
本発明の別の好適な実施形態によれば、入射光信号は少なくとも2つの異なる光路に分割される。この光路は異なる光路長を有する。被重畳信号を異なる光路によって遅延させると、被重畳信号には互いに相対的遅延が存在する。
本発明の好適な実施形態によれば、DUT応答信号はDUTを介して伝送される光信号か、DUTにより反射された光信号のいずれかである。好ましくは、この装置はDUTを介して伝送される信号と該DUTにより反射される信号の両方を同時に検出する第1及び第2の決定ユニットを備える。これにより、伝送強度(または伝送された信号強度)と反射強度(または反射された信号強度)の比較が可能となり、伝送強度と反射強度の対応関係を理解することができる。これは、例えばファブリ・ペロー・エタロン(Fabry−Perot−Etalon)の特性などの、より複雑な光学装置の光学的特性の理解に特に役立つものである。
本発明の好適な実施形態によれば、個々の光学的特性は合成信号に応答して得られる干渉パターンの位相を分析することで得られる。これは、例えば、この位相の数学的モデルを構築することによって行うことができ、これにより、適合パラメータ集合は適合化処理期間中に調整される。これを行なうことで、位相への様々な寄与を識別することができる。
DUT応答信号の時間依存強度から、例えばDUTの挿入損失を決定することができる。これは、応答信号の強度を合成信号の強度へ関連付けることで行なうことができる。加えて、群遅延の周波数依存度をDUT応答信号の位相を分析することによって決定することができる。例えば、DUTによりDUT応答信号の干渉パターンを変更する手法によって、周波数の関数として群遅延τgroupの変動を導出することができる。しかし、本発明はこれらの例に限定されるものではない。DUTのいかなる位相特性、または、DUTの損失特性や利得特性も決定することが可能である。
本発明の別の好適な実施形態によれば、入射信号はある波長範囲にわたって所定の掃引速度vfでもって掃引される。この場合、周波数分離Δfは式Δf=ΔT・vfにより相対遅延ΔTに関連付けることができる。一定の掃引速度vfの場合、周波数分離Δfも一定である。
本発明の別の好適な実施形態によれば、合成信号の信号成分間の周波数分離Δfは掃引速度vfを可変することにより変化させられる。かくして、構成内で用いられる個々の決定ユニットに対し周波数分離Δfを適用することが可能となる。さらに、計測値の周波数分解能はユーザの必要性に従って調整することができる。例えば、広帯域装置の場合は高い掃引速度が選択されることがあるが、その一方で狭帯域装置の場合は周波数を例えばゆっくりと掃引する。この掃引速度を可調整レーザ光源の部分で可変することができ、それ故に様々な光路の遅延線を変更する必要はない。別の実施形態によれば、周波数分離Δfは少なくとも一つの光路の少なくとも一つの可変遅延を変更することにより変更される。
別の好適な実施形態では、光路のうちの少なくとも一つが、検出された干渉パターンのコントラストを最適化するための偏光コントローラを備える。様々な周波数成分の偏光状態が互いにほぼ等しいときに、高品質の干渉パターンが得られる。
本発明の別の好適な実施形態によれば、DUT応答信号又はそれから導出された信号の時間依存強度が、異なる周波数分離Δf1,Δf2等について記録される。様々な干渉パターンから、DUT応答信号に影響を及ぼす様々な寄与を理解し、互いから識別することができる。
本発明の別の好適な実施形態によれば、装置は合成信号又は該合成信号から導出され信号の基準測定を実行するよう構成された基準決定ユニットを備える。合成信号の強度が変動する場合があり、または、周波数掃引が実行される場合に掃引速度vfが変動することがあるが、これらは測定誤差を招くものである。合成信号の基準測定を実行することで、所望の光学的特性を決定するときにこれらの変動を考慮することが可能である。さらに、合成信号(又はそれから導出された信号)の異なる周波数成分間の周波数分離Δfを、合成信号の位相を分析することにより決定することができる。さらなる分析期間中、Δfの情報が役立つことがある。
本発明の別の好適な実施形態によれば、装置はさらに可調整光源と決定ユニットの間の光路の任意の位置に挿入される光変調器を備える。この変調器は、外部周波数で個々の光信号を変調する。その結果、個々の光信号の各周波数成分は外部周波数によって遷移(またはシフト)させられる。外部周波数の適切な選択により、この周波数成分を任意の所望範囲の周波数に遷移させることが可能となり、これにより、周波数成分の検出を簡単化することができる。
本発明のさらに好適な実施形態によれば、入射信号は少なくとも3つの異なる光信号に分割される。この場合、第1の信号の光路と第3の信号の光路はそれぞれ偏光コントローラを構成する。第1の光信号は第1の偏光状態に設定され、第3の光信号は第2の偏光状態に設定される。さらに、第1及び第3の信号は第2の信号に対し遅延させられる。3つの信号を組み合わせて合成信号を形成すると、第2の信号は遅延された第1の信号に干渉し、それによって第1の干渉パターンを生成し、第2の信号はまた第3の信号に干渉し、それによって第2の干渉パターンを生成する。この理由から、合成信号は2つの異なる偏光面内で振動する2つの干渉パターンを含む。本発明のこの実施形態により、DUTが干渉パターンの個々の偏光状態に依存して干渉パターンを如何に変更するかを見出すことができる。
本発明の別の好適な実施形態によれば、第1の決定ユニットは偏光ダイバ−シティ受信器を含む。偏光ダイバーシティ受信器は、受信干渉パターンの偏光の配向具合を検出する。この目的に合わせ、偏光ダイバーシティ受信器は、例えば、偏光依存ビームスプリッタと、それぞれの偏光方向について信号強度を検出する一組の電力計(パワーメータ)とから構成することができる。DUT応答信号又はそれから導出された信号の偏光分解測定を実行することで、合成信号の偏光が、DUTにより信号が変更される仕方にどのように影響するかを分析することが可能である。例えば、DUTは合成信号の偏光状態を回転させることもある。偏光ダイバーシティ受信器により、DUT内での偏光依存効果を理解できるようになる。
1以上の適切なソフトウェアプログラムにより、本発明の一部または全体を具現化し、またはサポートすることができる。このプログラムを、任意の種類のデータ記憶媒体に保存し、または、そのような記憶媒体から供給することができる。そのプログラムを、任意の適切なデータ処理ユニットにおいて、または、そのユニットにより実行することが可能である。ソフトウェアプログラムやルーチンは、好ましくは可調整光源を制御するため、例えば周波数掃引を実行するために適用される。さらに、検出された干渉パターンの位相を分析するためにソフトウェアプログラムやルーチンを適用することもできる。
本発明の他の目的ならびに付随する多くの利点は、添付図面と共に以下の詳細な説明を参照することにより容易に理解され、かつより良く理解されよう。実質的にまたは機能的に同じか同様である構成には、同一の参照符号が付されている。
図1は、本発明の基本的な測定構成を示す。可調整レーザ光源1は光ビーム2を照射し、それによって照射光の周波数をある波長範囲にわたって掃引する。照射光は、光ファイバまたはバルク光学系(bulk optic)からなるビームスプリッタ3へ送られる。ビームスプリッタ3は、光ビーム2を第1の光路の信号4と第2の光路の信号5に分割する。光路を屈折率nfiberの光ファイバで実施した場合、第1の光路の光路長は(nfiber・L1)であり、第2の光路の光路長は(nfiber・L2)である。ここでL1,L2はそれぞれの光ファイバの長さを表わす。第1の光路と第2の光路の光路長は(ΔL・nfiber)だけ異なり、ここでΔL=L2−L1である。光合成器(または光結合器)6は、第1の光路を介する第1の遅延信号と第2の光路を介する第2の遅延信号を受け取る。第1の遅延信号はT1=nfiber・L1/cだけ遅延され、第2の遅延信号はT2=nfiber・L2/cだけ遅延され、それ故にこれら2つの信号間の相対的な時間遅延ΔT=T2−T1は、
第1及び第2の遅延信号は重畳され、合成信号7が得られる。合成信号7はDUT8へ入射し、DUTの出力端にて伝送信号9が得られる。伝送信号9の強度は、電力計10により時間の関数として記録される。
周波数掃引の間、照射された光ビーム2の周波数は、下記の式
に従って連続的に増大させられる。ここでvfは可調整レーザ光源の掃引速度、f0は開始周波数である。代替的には、照射光の周波数f(t)を時間とともに連続的に減少させることもできる。波長に関しては、掃引速度は40nm/秒か1000nm/秒、または1000nm/秒を超えることもある。赤外光を照射する可調整レーザ光源を用いた場合、開始周波数f0は例えば193THzのオーダーである。
以下では、図1に示した可調整レーザ光源1は時間とともに連続的に増大する周波数を有する光ビーム2を生成することを仮定している。第1の光路の光路長は第2の光路の光路長よりも小さく、従って時間遅延T1は時間遅延T2よりも小さい。この理由から、第1の光路の出力端にて得られる周波数は第2の光路の出力端で得られる周波数より大きい。第2の光路における追加の時間遅延ΔTがあるのは、第1の遅延信号と第2の遅延信号間の周波数差分Δfのためである。
図2には、第1の遅延信号の周波数の時間依存度11と第2の遅延信号の周波数の時間依存度12が示されている。上記の式(2)から、2つの曲線のそれぞれの傾斜が掃引速度vfにより決まることが分かる。2つの光路間の光路差ΔLは、第2の光路内の追加の時間遅延ΔTに対応する。第1の光路を介して周波数f’の光を受光した後、同一周波数f’の光を第2の光路を介して受光できるようになるまで追加の時間期間ΔTにわたって待機せねばならない。所定時点t’において第1の遅延信号の周波数と第2の遅延信号の周波数を比較すると、それら2つの信号間には十分に規定された(または明確な)周波数差Δfが常に存在することになろう。この周波数差は、追加の時間遅延ΔTと掃引速度vfの両方に依存する。すなわち、
この周波数差Δfは、第1の光路と第2の光路の遅延信号を重畳させ、図1の合成信号7を周波数差Δfに従って変調するときに、干渉を引き起こす。第1と第2の光路間の光路差は、例えばΔL=200mのオーダーであり、ファイバの屈折率nfiberは、例えば1.5に等しく、従って周波数差Δfは、例えば5MHzである。
十分に規定された干渉パターンを有する合成信号7は、試験対象デバイス(DUT)8上に入射し、このDUT8がそのDUTに特徴的であるやり方で干渉パターンを変更(または変調)する。
DUTの出力端において、検出した干渉パターンの位相を分析的に導出することができる。図3は、図1の干渉分析構成を数学的モデルに関連付ける方法を示すものである。図3の上側部分に、干渉計の第1の光路が図示してある。時点t0で光ファイバ13を光が出射し、DUT14に入射する。この場合、DUT14の横断には時間期間τ1が必要である。図3の下側部分は、図1に示した干渉分析構成の第2の光路に対応している。第2の光路長は、第1の光路長を上回る。時間t0において第1の光路の光が既にDUT14に到達しているときは、第2の光路の光はDUT14に達する前に追加の長さΔL=L2−L1の光ファイバ15を横断しなければならない。この長さの差ΔLは、前記式(1)で与えられる追加の遅延ΔTに対応するものである。この時間期間ΔTの間、周波数掃引は続行され、それによって追加遅延ΔTに対応する周波数差Δfが上記の式(3)に従って決定される。この理由から、DUT14を横断するのに必要な時間期間τ2は、時間期間τ1とは異なることになる。何故なら、周波数がその間に変化してしまうからであり、また、分散(または散乱、またはばらつき。以下同じ)のためにDUTの屈折率が周波数に依存することがあるからである。
DUT14の出力端では、以下の如く表わすことができる2つの光波u1,u2が得られる。
光波u1,u2に関するこれらの式から、電力計が検出する電力の時間依存度を以下のように導出することができる。
項a12,a22は定数であり、それ故に電力計が検出する干渉パターンは余弦項に起因するものとなる。以下、この余弦項の位相ψ(t)をより詳しく分析する。位相ψ(t)は、下記の如く書き表わすことができる。
周波数掃引が、周波数を時間の関数として増加させるように実行されると仮定すると、周波数f(t−τ1)はf(t−ΔT−τ2)よりも大となろう。DUTが常分散を示す場合、DUTの屈折率nDUTは周波数の増加と共に増加する。屈折率nDUTが大きいときは、横断時間τもまた大きくなる。これから、DUTが常分散を示す場合、Δτ=τ1−τ2が零よりも大となるという結論に至る。その量Δτは、DUTの分散に関する測度と見ることができる。無論、Δτは負値の場合も可能である。
通常、第1と第2の光路間の光路差ΔLは、周波数差Δfが所望範囲内の値であると見なせるよう選択される。例えば、ΔL=200mであれば、ΔTはマイクロ秒のオーダーであり、Δfは5MHzのオーダーとなろう。オーダーが異なる大きさもまた、用いることができる。いずれにせよ、関係Δτ≪ΔTは概ね維持され、この理由からDUT出力端での周波数差はΔfにほぼ等しくなる。すなわち、
ΔτとΔfを上式(6)に代入すると、位相ψ(t)に関して以下の式が得られる。
干渉パターンの位相に関するこの式中、5つの項は特定することができる。第4項(Δf・ΔT)は定数であり、時間に依存しない。第5項(Δf・τ2)は非常に小さい。何故ならΔfとτ2が共に小さいからである。さらに、τ2が時間に強く依存することはない。
第1項(Δf・t)は時間とともに線形に増大し、それによってΔfは5MHzのオーダーで一定であると考えることができる。掃引速度vfは例えば5THz/秒とし、追加の時間遅延ΔTはマイクロ秒のオーダーとすることができる。周波数掃引のために、上記式(8)の第2項及び第3項中の周波数f(t−τ1)もまた時間への線形依存を示す。
量Δτは、周波数間隔Δfに対する横断時間τの時間の変化である。周波数に伴なう横断時間τのこの変化は、周波数に伴なうDUTの屈折率変動により引き起こされる。かくして、ΔτがDUTの分散の追跡を可能にする。
上記式(8)の第2項の意味は、この項を下記の如く書き改めることでより明確となろう。
DUTの群遅延τgroupは、下記の如く書き表わすことができる。
それ故に、式(8)中の位相ψ(t)の第2項は群遅延τgroupと位相遅延τphaseの間の差分として特定することができる。
特に、より複雑な装置、例えばファブリー・ペロー・エタロン(Fabry−Perot−Etalon)といった装置にとって、伝送信号と反射信号の両方を記録することは理に適ったものである。図4には、対応する測定構成を備える第2の実施形態が示されている。可調整レーザ光源11が入射信号12を生成し、この信号がビームスプリッタ13により、第1の光路14に向かう第1の信号と第2の光路15向かう第2の信号に分割される。それによって第2の光路15が余分な遅延を含むことになる。ビーム合成器16では、第1と第2の光路の信号が重畳され、ビームスプリッタ18に供給される合成信号17が形成される。好ましくは、入来光強度のほぼ50%を基準決定ユニット19へ反射する3dBビームスプリッタが用いられる。基準決定ユニット19は基準干渉パターンを記録し、この基準干渉パターンの位相から第1と第2の遅延信号間の周波数間隔(周波数分離)Δfを決定することができる。基準決定パターンからのΔfの決定は、式(8)の位相ψ(t)に対する様々な寄与の分析に役立つ。さらに、合成信号17の強度を決定することができ、この強度はDUT20の挿入損失や挿入利得を決定するときの基準として用いることができる。
残存強度をもった合成信号17が、DUT20へ入射される。電力計22では、伝送信号(透過信号)21の強度が時間の関数として決定される。DUT20が反射する信号は、ビームスプリッタ18により一部透過されるとともに一部反射され、反射信号23の強度が電力計24により決定される。図4に示す実施形態では、ビームスプリッタ18は、合成信号17の一部を電力計19に反射し、反射された信号23を電力計24に送るという両方の機能を受け持つ。これらの2つのタスク用に一つのビームスプリッタ18を用いる代わりに、2つの別個のビームスプリッタを適用することもできる。
式(8)中の位相ψ(t)への異なる寄与を識別するために、少なくとも2つの異なる周波数分離Δf1,Δf2等に関する干渉パターンを記録することが有益である。周波数分離Δfは、Δf=ΔT・vfとして表わすことができる。周波数分離Δfを可変する第1の方法によれば、可調整レーザ光源の掃引速度vfは可変されるが、その一方で2つの光路間の遅延ΔTは一定に保たれる。すなわち、
周波数分離Δfを変化させる第2の方法に従い、第1と第2の光路間の追加遅延ΔTが変えられる。このことは、例えば、第2の光路長を変更することにより、及び/または、例えば、追加の遅延線を追加することにより行なうことができる。選択する追加の遅延ΔTが大きければ大きいほど、以下で示されるように、周波数分離Δfは大きくなる。
さらに、第1及び第2の方法を組み合わせてΔfを変化させることができる。Δfの個々の値は、常に合成信号の干渉パターンの基準測定により決定することができる。
干渉パターン検出用の光路は、さらに少なくとも一つの光変調器を備えることも可能である。図4には、光変調器25は、DUT20と電力計22の間に挿入された状態で(点線で)示されている。光変調器は、光路内の他の任意の位置に挿入することもできる。変調器の個々の入力信号、例えばDUT出力信号21は、外部周波数
だけシフトさせられる。光変調器25は、音響光変調器(AOM:acoustic optical modulator)として、または電気光変調器(EOM:electrical optical modulator)として実施することができる。ある周波数成分を任意の所望の周波数範囲へシフトさせることができ、その周波数成分を適切な決定ユニットにより検出することができる。
さらに、偏光コントローラを光路のうちの少なくとも一つに加えることもできる。図4は、第1の光路14に加えた偏光コントローラ26を(点線で)示すものである。偏光コントローラ26は、ビーム合成器16の入力端において第1の光路の信号の偏光が第2の光路の信号の偏光にほぼ一致するように第1の光路の信号の偏光を変化させる。両光路内の偏光が同一であるときは、最高のコントラストのインターフェログラムが得られる。例えば、両信号が同じ偏光面内で振動する場合、インターフェログラムのコントラストはその最適状態に達する。別の実施形態によれば、インターフェログラムのコントラストは偏波(偏光)保持型ファイバを第1の光路と第2の光路の両方で用いることで最適化することができる。この場合も、異なる光路を介して受信される信号の偏光状態はビーム合成器16の入力端でほぼ同一とされる。
伝送信号21或いは反射信号23の偏光状態は、偏光ダイバーシティ受信器を用いて分析することができる。どの電力計19,22,24も、この種の偏光ダイバーシティ受信器でもって置換することができる。個々の信号強度を時間の関数として記録するのに加えて、偏光ダイバーシティ受信器は受信信号の偏光状態の決定を可能にもする。図5は、受信信号29を第1の偏光状態を有する第1の信号30と第2の偏光状態を有する第2の信号31へ分割する偏光依存ビームスプリッタ28を備える偏光ダイバーシティ受信器27を示す。さらに、偏光ダイバーシティ受信器27は2つの電力計を備え、それによって第1の電力計32は第1の信号30の時間依存度を検出し、第2の電力計33は時間の関数として第2の信号31の強度を記録する。電力計32,33が記録する2つの干渉パターンから、受信信号29の偏光状態を導出することができる。
図6には、DUT上に入射する信号の偏光状態がそのDUTによりどのように変更されるかを分析するのに特に役立つ本発明の第3の実施形態が示されている。可調整レーザ光源34は信号35を生成し、その信号の周波数はある波長範囲にわたって連続的に掃引させられる。ビームスプリッタ36は、信号35を第1の光路の第1の信号37と第2の光路の第2の信号38と第3の光路の第3の信号39とに分割する。第1の光路は、偏光コントローラ40と追加の遅延線41を備える。ビーム合成器43の入力端では、第1の光路から遅延信号42が受信される。偏光コントローラ40は、遅延信号42が−45度を向く(−45度配向した)偏光面において偏光されるように第1の信号37の偏光状態を変更する。第3の光路は、偏光コントローラ44と追加の遅延線45を備える。ここで、偏光コントローラ44はビーム合成器43の入力端における遅延信号46が+45度を向く(+45度配向した)偏光面において偏光されるように第3の信号39の偏光状態を偏光する。ビーム合成器43において、第2の信号38と遅延信号42,46が重畳され、合成信号47が得られる。
合成信号47を理解するため、第2の信号38が2つの異なる成分で構成されていると考えることは有益であり、この場合、信号38の第1の成分は−45度の方向に偏光し、第2の成分は+45度の方向へ偏光する。信号35の周波数は掃引周波数vfで連続的に掃引され、それ故に第1の光路中の遅延線41が信号38と遅延信号42の間に周波数分離Δfを引き起こす。この周波数分離のために、遅延信号42は−45度を向く偏光面内で信号38の第1の成分と干渉する。それ故、合成信号47は−45度を向く偏光面内で振動する第1の干渉パターンを含むことになる。同様に、第3の光路中の遅延線45が信号38と遅延信号46との間に周波数分離Δfを引き起こし、それ故に信号38の第2の成分は+45度を向く偏光面内で遅延信号46と干渉する。それ故、合成信号47は2つの干渉パターンを含み、この場合、第1の干渉パターンは−45度を向く偏光面内で振動し、第2の干渉パターンは+45度を向く偏光面内で振動することになる。
合成信号47は、ビームスプリッタ48を介してDUT49へ送られる。ビームスプリッタ48は、合成信号47を基準通信ユニット50へ供給する。そこで、干渉パターンが分析され、周波数分離Δfが決定される。DUT49の出力端において伝送信号51が得られ、この伝送信号51が決定ユニットにより検出されて分析される。図6に示す実施形態では、伝送信号51は偏光依存ビームスプリッタ53と伝送信号51の干渉パターンを時間の関数として記録する2つの電力計54,55を含む偏光ダイバーシティ受信器52により分析される。これにより、DUT49が干渉パターンの偏光面に依存して干渉パターンをどのように変更するかを分析できるようになる。さらに、DUT49により引き起こされる干渉パターンのどんな回転も追跡可能である。DUT49が反射する信号は、一部がビームスプリッタ48により反射され、決定ユニット56へ達する。好ましくは、決定ユニット56もまた偏光ダイバーシティ受信器である。
本発明によれば、試験対象デバイス(DUT)の光学的特性が、検出されたDUT応答信号、または、それから導出された信号から決定される。DUT応答信号は、合成信号または合成信号から得られた信号に応答したDUTの信号応答を表す。合成信号は、互いに対して遅延されて重畳された信号から構成される。
2、12、35 入射光信号
8、20、49 試験対象デバイス
7、17、47 合成信号
9、21、51 DUT応答信号
8、20、49 試験対象デバイス
7、17、47 合成信号
9、21、51 DUT応答信号
Claims (21)
- 試験対象デバイスDUT(8,20,49)の光学的特性を決定するための装置であって、
互いに対して遅延された重畳信号からなる合成信号(7,17,47)を供給するよう構成された遅延ユニットと、
検出されたDUT応答信号(9,21,51)又はそれから導出された信号からDUTの光学的特性を決定するよう構成された第1の決定ユニット(10,22,52)であって、前記DUT応答信号(9,21,51)が前記合成信号(7,17,47)又はそれから導出された信号に応答した前記DUT(8,20,49)の信号応答を表わすことからなる、第1の決定ユニット
を備える、装置。 - 前記遅延ユニットは、入射光信号(2,12,35)から重畳信号を導出するように構成される、請求項1に記載の装置。
- 入射光信号を供給する好ましくは可調整レーザ光源である可調整光源をさらに備える、請求項2に記載の装置。
- 前記遅延ユニットが、
前記入射光信号を第1の光信号と第2の光信号を含む少なくとも2つの光信号に分割するよう構成されたビーム分割ユニットと、
前記光信号を互いに対して遅延させて、少なくとも2つの遅延信号を得るよう構成された少なくとも2つの異なる光路と、
前記遅延信号を重畳することによって合成信号を形成するためのビーム合成ユニット
を備える、請求項1乃至3のいずれかに記載の装置。 - 前記DUT応答信号は、前記DUTを通って伝送された光信号と前記DUTにより反射された光信号のうちの少なくとも一つである、請求項1乃至4のいずれかに記載の装置。
- 第2の決定ユニットをさらに備え、前記第1の決定ユニットは、前記DUTを通って伝送された光信号を検出するよう構成され、前記第2の決定ユニットは、前記DUTによって反射された光信号を検出するよう構成され、または、前記第1の決定ユニットは、前記DUTによって反射された光信号を検出するよう構成され、前記第2の決定ユニットは、前記DUTを通って伝送された光信号を検出するよう構成される、請求項1乃至5のいずれかに記載の装置。
- 前記光学的特性は、前記DUT応答信号の干渉パターンを分析することによって決定される、請求項1乃至6のいずれかに記載の装置。
- 前記光学的特性は、DUTの位相特性または、DUTの損失特性または利得特性を含むグループのうちの少なくとも一つである、請求項1乃至7のいずれかに記載の装置。
- 前記入射光信号は、ある周波数調整範囲にわたって所定の掃引速度でもって周波数掃引される、請求項1乃至8のいずれかに記載の装置。
- 前記遅延信号間の周波数分離Δfは、周波数における入射光信号の掃引速度を可変することによって変化させられる、請求項1乃至9のいずれかに記載の装置。
- 前記光路の少なくとも一つが前記遅延信号間の周波数分離Δfを可変する可変遅延線と、前記遅延信号の少なくとも一つの偏光を調整する偏光コントローラとのうちの少なくとも一つを備える、請求項1乃至10のいずれかに記載の装置。
- 第1の干渉パターンは前記遅延信号間の第1の周波数分離Δf1に関して検出され、第2の干渉パターンは前記遅延信号間の第2の周波数分離Δf2に関して検出される、請求項1乃至11のいずれかに記載の装置。
- 前記合成信号又は該信号から導出された信号の基準測定を実行するための基準決定ユニットをさらに備える、請求項1乃至12のいずれかに記載の装置。
- 前記遅延信号間の周波数分離Δfが、前記合成信号又はそれから導出された信号の基準干渉パターンを分析することによって決定される、請求項1乃至13のいずれかに記載の装置。
- 前記合成信号又は前記DUT応答信号又はそれらの信号から導出された信号を外部周波数で変調するよう構成された光変調器をさらに備える、請求項1乃至14のいずれかに記載の装置。
- 前記第1のビーム分割ユニットは、前記可調整光源の光を前記第1の光信号と前記第2の光信号と第3の光信号を含む少なくとも3つの光信号に分割し、
前記第1の光信号の光路は、前記第1の光信号の偏光を第1の偏光状態に設定する偏光コントローラを備え、
前記第3の光信号の光路は、前記第3の光信号の偏光を第2の偏光状態に設定する偏光コントローラを備える、
請求項1乃至15のいずれかに記載の装置。 - 前記第1の決定ユニットは、前記DUT応答信号又はそれから導出された信号の偏光状態に依存して干渉パターンを検出するよう構成された偏光ダイバーシティ受信器を備える、請求項1乃至16のいずれかに記載の装置。
- 試験対象デバイスDUT(8,20,49)の光学的特性を決定するための方法であって、
互いに対して遅延された信号を重畳することによって合成信号(7,17,47)を供給するステップと、
DUT応答信号(9,21,51)を検出するステップであって、該DUT応答信号(9,21,51)が前記合成信号(7,17,47)又はそれから導出された信号に応答した該DUT(8,20,49)の信号応答を表わすことからなる、ステップと、
前記検出されたDUT応答信号(9,21,51)又はそれから導出された信号から前記DUTの光学的特性を決定するステップ
を含む、方法。 - 入射信号を第1の光信号と第2の光信号を含む少なくとも2つの光信号に分割するステップと、
少なくとも2つの異なる光路を介して前記光信号を個別に遅延させて前記遅延信号を得るステップ
を含む、請求項18に記載の方法。 - ある周波数調整範囲にわたって入射信号の周波数を掃引するステップをさらに含む、請求項18又は19に記載の方法。
- 前記重畳信号の異なる偏光状態を用いて少なくとも1回は前記測定を繰り返すステップをさらに含む、請求項18乃至20のいずれかに記載の方法。
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