JP2004168641A - 金属酸化物微粒子の製造方法および金属酸化物微粒子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 金属酸化物微粒子の製造方法は、気体状のβ−ジケトネート金属錯体と、酸素含有ガスまたは酸素とを混合した混合物、β−ジケトネート金属錯体の溶液と、酸素含有ガスまたは酸素とを混合した混合物、またはβ−ジケトネート金属錯体の溶液を気化させた気体状のβ−ジケトネート金属錯体を含む蒸気と、酸素含有ガスまたは酸素とを混合した混合物を加熱して該気体状のβ−ジケトネート金属錯体を加熱分解するか、気体状のβ−ジケトネート金属錯体(a)と、β−ジケトネート金属錯体(b)の溶液と、酸素含有ガスまたは酸素とを混合し、混合物を加熱して該溶液中のβ−ジケトネート金属錯体(b)を気体状とするとともに、気体状のβ−ジケトネート金属錯体(a)および(b)を加熱分解して金属酸化物微粒子を得る。
【選択図】 なし
Description
β−ジケトネート金属錯体を加熱分解して金属酸化物微粒子を得ることを特徴とする金属酸化物微粒子の製造方法。
(以下、「acac」と略記することがある。)の金属錯体である上記[1]〜[8]のいずれかに記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
a(DPM)3、Ce(DPM)3、Ce(DPM)4、Pr(DPM)3、Nd(DPM)3、Sm(DPM)3、Eu(DPM)3、Gd(DPM)3、Tb(DPM)3、Dy(D
PM)3、Ho(DPM)3、Er(DPM)3、Tm(DPM)3、Yb(DPM)3、L
u(DPM)3、Ti(DPM)4、Ti(DPM)2(イソプロポキシド)2、Zr(DPM)4、Hf(DPM)4、Fe(DPM)3、Ru(DPM)3、Cu(DPM)2、Al
(DPM)3、In(DPM)3、Sn(DPM)2、Pb(DPM)2、Mg(DMHD)2、Sr(DMHD)2、Ba(DMHD)2、Ca(DMHD)2、Sc(DMHD)3、Y(DMHD)3、La(DMHD)3、Ce(DMHD)3、Ce(DMHD)4、Pr(DMHD)3、Nd(DMHD)3、Sm(DMHD)3、Eu(DMHD)3、Gd(DMHD)3、Tb(DMHD)3、Dy(DMHD)3、Ho(DMHD)3、Er(DMHD)3、Tm(DMHD)3、Yb(DMHD)3、Lu(DMHD)3、Ti(DMHD)4、
Ti(DMHD)2(イソプロポキシド)2、Zr(DMHD)4、Hf(DMHD)4、Fe(DMHD)3、Ru(DMHD)3、Cu(DMHD)2、Al(DMHD)3、In(DMHD)3、Sn(DMHD)2、Pb(DMHD)2、Mg(acac)2、Sr(acac)2、Ba(acac)2、Ca(acac)2、Sc(acac)2、Y(acac)3、La(acac)3、Ce(acac)3、Ce(acac)4、Pr(acac)3、
Nd(acac)3、Sm(acac)3、Eu(acac)3、Gd(acac)3、Tb(acac)3、Dy(acac)3、Ho(acac)3、Er(acac)3、Tm(acac)3、Yb(acac)3、Lu(acac)3、Ti(acac)4、Ti(acac)2(イソプロポキシド)2、TiO(acac)2、Zr(acac)4、Hf(acac)4、Fe(acac)3、Ru(acac)3、Cu(acac)2、Al(acac)3、In(acac)3、Sn(acac)2またはPb(acac)2であることを特徴とする[1]〜[8]のいずれかに記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
8]のいずれかに記載の金属酸化物微粒子蛍光体の製造方法。
を得ることを特徴とする[1]〜[8]のいずれかに記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
1]〜[8]のいずれかに記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
PM)2、Y(DPM)3、La(DPM)3、Ce(DPM)3、Ce(DPM)4、Pr
(DPM)3、Nd(DPM)3、Sm(DPM)3、Eu(DPM)3、Gd(DPM)3
、Tb(DPM)3、Dy(DPM)3、Ho(DPM)3、Er(DPM)3、Tm(DPM)3、Yb(DPM)3、Lu(DPM)3、Ti(DPM)4、Ti(DPM)2(イソ
プロポキシド)2、Zr(DPM)4、Hf(DPM)4、Fe(DPM)3、Ru(DPM)3、Cu(DPM)2、Al(DPM)3、In(DPM)3、Sn(DPM)2、Pb(
DPM)2、Mg(DMHD)2、Sr(DMHD)2、Ba(DMHD)2、Ca(DMH
D)2、Sc(DMHD)3、Y(DMHD)3、La(DMHD)3、Ce(DMHD)3
、Ce(DMHD)4、Pr(DMHD)3、Nd(DMHD)3、Sm(DMHD)3、Eu(DMHD)3、Gd(DMHD)3、Tb(DMHD)3、Dy(DMHD)3、Ho(
DMHD)3、Er(DMHD)3、Tm(DMHD)3、Yb(DMHD)3、Lu(DMHD)3、Ti(DMHD)4、Ti(DMHD)2(イソプロポキシド)2、Zr(DMHD)4、Hf(DMHD)4、Fe(DMHD)3、Ru(DMHD)3、Cu(DMHD)2、Al(DMHD)3、In(DMHD)3、Sn(DMHD)2、Pb(DMHD)2、
Mg(acac)2、Sr(acac)2、Ba(acac)2、Ca(acac)2、Sc(acac)2、Y(acac)3、La(acac)3、Ce(acac)3、Ce(acac)4、Pr(acac)3、Nd(acac)3、Sm(acac)3、Eu(acac)3、Gd(acac)3、Tb(acac)3、Dy(acac)3、Ho(acac)3
、Er(acac)3、Tm(acac)3、Yb(acac)3、Lu(acac)3、Ti(acac)4、Ti(acac)2(イソプロポキシド)2、TiO(acac)2、Zr(acac)4、Hf(acac)4、Fe(acac)3、Ru(acac)3、Cu(acac)2、Al(acac)3、In(acac)3、Sn(acac)2またはPb(acac)2などが挙げられる。
れた酸化インジウム透明導電性微粒子を得ることができる。
ましくは200〜1600℃、より好ましくは400〜1000℃である。加熱温度が低すぎるとβ−ジケトネート金属錯体の分解反応が進まず、高すぎると経済的に不利である。
に示すような装置で行う方法がある。
[実施例]
以下、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
[参考例1]
図1に示すような装置を用いて金属酸化物微粒子を製造した。
での加熱分解温度350℃とした。キャリア(2)として窒素を25ml/minの量で流し、空気(1)を200ml/minの量で流し、気体状のY(DPM)3と空気とを
管状電気炉(8)に供給した。加熱分解時間は180秒であり、供給した空気中の酸素量はβ−ジケトネート金属錯体(Y(DPM)3)を完全酸化するのに必要な酸素量の40
倍モルの量であった。
て窒素を25ml/minの量で流し、600℃の管状電気炉(8)を通過させ大気雰囲気の捕集器(9)にガスをフィードした。
mであった。
酸素の10倍モルの酸素を含む空気をフィードした。
度を250℃、キャリア(2)として窒素を100ml/minの量で流し、空気(1)の流量を毎分2000ml、予熱器(12a)での空気の予熱温度を250℃、管状電気炉(8)の温度を700℃とし、気体状のY(DPM)3、Gd(DPM)3およびEu(DPM)3と空気とを管状電気炉(8)に供給した。加熱分解時間は30秒であり、エタ
ノールとY(DPM)3を完全酸化するのに必要な酸素の10倍モルの酸素を含む空気を
フィードした。
度を250℃、キャリア(2)として窒素を100ml/minの量で流し、空気(1)の流量を毎分2000ml、予熱器(12a)での空気の予熱温度を250℃、管状電気炉(8)の温度を700℃とし、気体状のY(DPM)3、Gd(DPM)3およびEu(DPM)3と空気とを管状電気炉(8)に供給した。加熱分解時間は30秒であり、エタ
ノールとY(DPM)3を完全酸化するのに必要な酸素の10倍モルの酸素を含む空気を
フィードした。
解し、加熱気化器(7)に入れた。加熱気化器(7)の温度を250℃、キャリア(2)として窒素を100ml/minの量で流し、空気(1)の流量を毎分2000ml、予熱器(12a)での空気の予熱温度を250℃、管状電気炉(8)の温度を700℃とし、気体状のY(DPM)3およびTb(DPM)3と空気とを管状電気炉(8)に供給した。
を100ml/min流し、空気と共に管状電気炉の上流にフィードし、別にエタノール100gにEu(DPM)3を2重量%溶解して気化後窒素キャリア100ml/min
と共に管状電気炉の中段にフィードした。空気の予熱温度を250℃、管状加熱器の温度を700℃とした。
キャリア(2)として窒素を100ml/minの量で流し、空気(1)の流量を毎分2000ml、予熱器(12a)での空気の予熱温度を250℃、管状電気炉(8)の温度を700℃とし、気体状のBa(DPM)2およびTi(DPM)2(iPrO)2と空気
とを管状電気炉(8)に供給した。
2 … キャリアガス
3 … キャリアガス
4a、4b、4c、4d … マスフローコントローラ
5 … 予熱器
6 … 加熱気化器
7 … 加熱気化器
8 … 管状電気炉
9 … 捕集器
10 … 溶液
11 … 定量ポンプ
12a、12b … 予熱器
Claims (39)
- 気体状のβ−ジケトネート金属錯体を、酸素含有ガスまたは酸素の存在下に加熱分解して金属酸化物微粒子を得ることを特徴とする金属酸化物微粒子の製造方法。
- 気体状のβ−ジケトネート金属錯体と、酸素含有ガスまたは酸素とを混合し、混合物を加熱して該気体状のβ−ジケトネート金属錯体を加熱分解して金属酸化物微粒子を得ることを特徴とする金属酸化物微粒子の製造方法。
- β−ジケトネート金属錯体の溶液と、酸素含有ガスまたは酸素とを混合し、混合物を加熱して該溶液中のβ−ジケトネート金属錯体を気体状とするとともに、該気体状のβ−ジケトネート金属錯体を加熱分解して金属酸化物微粒子を得ることを特徴とする金属酸化物微粒子の製造方法。
- β−ジケトネート金属錯体の溶液を気化させた気体状のβ−ジケトネート金属錯体を含む蒸気と、酸素含有ガスまたは酸素とを混合し、混合物を加熱して該気体状のβ−ジケトネート金属錯体を加熱分解して金属酸化物微粒子を得ることを特徴とする金属酸化物微粒子の製造方法。
- 気体状のβ−ジケトネート金属錯体(a)と、β−ジケトネート金属錯体(b)の溶液と、酸素含有ガスまたは酸素とを混合し、混合物を加熱して該溶液中のβ−ジケトネート金属錯体(b)を気体状とするとともに、気体状のβ−ジケトネート金属錯体(a)および(b)を加熱分解して金属酸化物微粒子を得ることを特徴とする金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体の溶液の溶媒が、メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコール、ブチルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルホキサイド、ジメチルホルムアミド、ヘキサン、ジオキサンおよびジピバロイルメタンから選ばれる少なくとも1種の溶媒であることを特徴とする請求項3〜5のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記気体状のβ−ジケトネート金属錯体を加熱分解する際に、水または水蒸気を添加することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記水または水蒸気の添加量が、β−ジケトネート金属錯体中のβ−ジケトネートに対して0.1倍モル〜20倍モルの量であることを特徴とする請求項7に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体が、2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン、2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオンまたは2,4−ペンタンジオンの金属錯体
であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。 - 上記β−ジケトネート金属錯体がβ−ジケトネートと、アルカリ土類金属、周期表第3族金属または周期表第4族金属との錯体であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体が
Mg(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)2、
Sr(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)2、
Ba(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)2、
Ca(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)2、
Sc(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Y(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
La(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Ce(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Ce(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)4、
Pr(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Nd(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Sm(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Eu(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Gd(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Tb(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Dy(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Ho(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Er(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Tm(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Yb(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Lu(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Ti(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)4、
Ti(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)2(イソプロポキシド)2、Zr(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)4、
Hf(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)4、
Fe(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Ru(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Cu(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)2、
Al(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
In(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)3、
Sn(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)2、
Pb(2,2,6,6−テトラメチルヘプタン−3,5−ジオン)2、
Mg(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)2、
Sr(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)2、
Ba(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)2、
Ca(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)2、
Sc(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Y(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
La(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Ce(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Ce(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)4、
Pr(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Nd(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Sm(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Eu(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Gd(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Tb(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Dy(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Ho(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Er(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Tm(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Yb(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Lu(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Ti(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)4、
Ti(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)2(イソプロポキシド)2、
Zr(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)4、
Hf(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)4、
Fe(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Ru(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Cu(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)2、
Al(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
In(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)3、
Sn(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)2、
Pb(2,6−ジメチル−3,5−ヘプタンジオン)2、
Mg(2,4−ペンタンジオン)2、
Sr(2,4−ペンタンジオン)2、
Ba(2,4−ペンタンジオン)2、
Ca(2,4−ペンタンジオン)2、
Sc(2,4−ペンタンジオン)3、
Y(2,4−ペンタンジオン)3、
La(2,4−ペンタンジオン)3、
Ce(2,4−ペンタンジオン)3、
Ce(2,4−ペンタンジオン)4、
Pr(2,4−ペンタンジオン)3、
Nd(2,4−ペンタンジオン)3、
Sm(2,4−ペンタンジオン)3、
Eu(2,4−ペンタンジオン)3、
Gd(2,4−ペンタンジオン)3、
Tb(2,4−ペンタンジオン)3、
Dy(2,4−ペンタンジオン)3、
Ho(2,4−ペンタンジオン)3、
Er(2,4−ペンタンジオン)3、
Tm(2,4−ペンタンジオン)3、
Yb(2,4−ペンタンジオン)3、
Lu(2,4−ペンタンジオン)3、
Ti(2,4−ペンタンジオン)4、
Ti(2,4−ペンタンジオン)2(イソプロポキシド)2、
TiO(2,4−ペンタンジオン)2、
Zr(2,4−ペンタンジオン)4、
Hf(2,4−ペンタンジオン)4、
Fe(2,4−ペンタンジオン)3、
Ru(2,4−ペンタンジオン)3、
Cu(2,4−ペンタンジオン)2、
Al(2,4−ペンタンジオン)3、
In(2,4−ペンタンジオン)3、
Sn(2,4−ペンタンジオン)2または
Pb(2,4−ペンタンジオン)2
であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。 - 上記金属酸化物微粒子が蛍光体であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記金属酸化物微粒子がプラズマディスプレイ用蛍光体であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記金属酸化物微粒子がフィールドエミッションディスプレイ用蛍光体であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記金属酸化物微粒子が白色LED用蛍光体であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記金属酸化物微粒子がランプ用蛍光体であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体として、β−ジケトネートY錯体とβ−ジケトネートEu錯体とを用いて、Y2O3:Eu赤色蛍光体微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体として、β−ジケトネートY錯体、β−ジケトネートGd錯体とβ−ジケトネートEu錯体とを用いて、(Y,Gd)2O3:Eu赤色蛍光体微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体として、β−ジケトネートY錯体、β−ジケトネートV錯体とβ−ジケトネートEu錯体とを用いて、YVO4:Eu赤色蛍光体微粒子を得るこ
とを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。 - 上記β−ジケトネート金属錯体として、β−ジケトネートY錯体とβ−ジケトネートTb錯体とを用いて、Y2O3:Tb緑色蛍光体微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体として、β−ジケトネートBa錯体、β−ジケトネートMg錯体、β−ジケトネートSr錯体、β−ジケトネートAl錯体とβ−ジケトネートMn錯体とを用いて、(Mg,Sr,Ba)Al12O19:Mn緑色蛍光体微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体として、β−ジケトネートY錯体、β−ジケトネートAl錯体とβ−ジケトネートTb錯体とを用いて、(Y,Al)2O3:Tb緑色蛍光体微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体として、β−ジケトネートY錯体とβ−ジケトネートTm錯体とを用いて、Y2O3:Tm青色蛍光体微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体として、β−ジケトネートBa錯体、β−ジケトネートMg錯体、β−ジケトネートAl錯体とβ−ジケトネートEu錯体とを用いて、BaMgAl10O17:Eu青色蛍光体微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体として、β−ジケトネートY錯体、β−ジケトネートA
l錯体とβ−ジケトネートCe錯体とを用いて、(Y,Al)2O3:Ce黄色蛍光体微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。 - 上記金属酸化物微粒子が導電材であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体としてβ−ジケトネートSn錯体を用いて、酸化錫透明導電性微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体として、β−ジケトネートIn錯体とβ−ジケトネートSn錯体とを用いて、酸化錫が添加された酸化インジウム透明導電性微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記金属酸化物微粒子が強誘電体であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体としてβ−ジケトネートBa錯体とβ−ジケトネートTi錯体とを用いて、チタン酸バリウム強誘電体微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体としてβ−ジケトネートPb錯体、β−ジケトネートZr錯体とβ−ジケトネートTi錯体とを用いて、ジルコンチタン酸鉛強誘電体微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体としてβ−ジケトネートBa錯体、β−ジケトネートSr錯体とβ−ジケトネートTi錯体とを用いて、チタン酸バリウムストロンチウム強誘電体微粒子を得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記β−ジケトネート金属錯体を加熱分解する際の温度が200℃以上であることを特徴とする請求項1〜32のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記加熱分解時間が0.1秒以上であることを特徴とする請求項1〜33のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記酸素含有ガスまたは酸素を、β−ジケトネート金属錯体およびβ−ジケトネート金属錯体の溶液の溶媒を完全酸化するのに必要な酸素量の0.5倍〜40倍モルの量で用いることを特徴とする請求項1〜34のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 上記金属酸化物微粒子の数平均粒径が100nm以下であることを特徴とする請求項1〜35のいずれか1項に記載の金属酸化物微粒子の製造方法。
- 請求項1〜35のいずれか1項に記載の方法により製造された金属酸化物微粒子。
- 数平均粒径が1〜100nmであることを特徴とする請求項37に記載の金属酸化物微粒子。
- Mg、Sr、Ba、Ca、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Ti、Zr、Hf、Fe、Ru、Cu、Al、In、Sn、Pbから選ばれる少なくとも1種の金属からなり、数平均粒径が100nm以下であることを特徴とする請求項1〜35のいずれか1項に記載の方法により製造された金属酸化物微粒子。
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