JP2004167490A

JP2004167490A - 塗布装置

Info

Publication number: JP2004167490A
Application number: JP2003430023A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Fukuda; 努福田
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 2003-12-25
Filing date: 2003-12-25
Publication date: 2004-06-17

Abstract

【課題】塗布液に対する摩擦抵抗が少なく、塗布液を安定して均一に可撓性帯状支持体に塗布することのできる塗布装置を提供する。
【解決手段】第１，第２スロット１１，１２を形成する溝面１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ、及びポケット２０，２１を塗布液に対する摩擦係数を低減するよう所望の面粗度に研磨加工し、この時、塗布液の流出する方向に沿って、溝面１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂを研磨加工した。
【選択図】図３

Description

本発明は、走行する可撓性帯状支持体に薄層を塗布する塗布装置に係り、特に、塗布液を吐出する塗布ヘッドに関するものである。

一般に、薄層を形成するための塗布装置の従来技術として、例えば特許文献１（以下、第１の従来技術という）に示されるものがある。

第１の従来技術に示される塗布装置は、図４に示すように塗布ヘッドを有し、この塗布ヘッドが第１スロット１を形成するバックエッジ２及び第１ドクターエッジ３と、この第１ドクターエッジ３と共に第２スロット４を形成する第２ドクターエッジ５とを備えた構成とされている。

塗布ヘッドの内部には、第１スロット１，第２スロット４に連通する断面略円形状をなすポケット６ａ，６ｂが形成されている。そして、図示しない給液手段から配管７ａ，７ｂを介して矢印方向Ｂ１，Ｂ２に塗布液がそれぞれ送液され、ポケット６ａ，６ｂに液溜めされ、該ポケット６ａ，６ｂから第１スロット１，第２スロット４の各流出口に押し出され、矢印方向Ｃ１，Ｃ２に吐出されるように構成されている。

可撓性帯状支持体８は、図示されぬ可撓性帯状支持体８の送り手段によって、バックエッジ２側から該バックエッジ２，第１ドクターエッジ３，第２ドクターエッジ５に向う矢印方向Ａに走行するようになっている。

この可撓性帯状支持体８の走行時、ポケット６ａ内の第１の塗布液が第１スロット１から吐出され、可撓性帯状支持体８の片面に塗布される。その後、可撓性帯状支持体８の走行方向の下流側に位置し、かつポケット６ｂ内から第２スロット４の流出口に押し出された第２の塗布液が、第１の塗布液の上に重ね塗りされる。このように、可撓性帯状支持体８の走行時、各塗布液が前後して吐出され、可撓性帯状支持体８に二層の塗布液が塗布される。
特公平６−７７７１２号公報

ところで、可撓性帯状支持体８に塗布される塗布液の厚さは、数〜数十ミクロン相当のものであって、これを流通させるスロット１，４は必然的に隘路となる形状であるので、スロット１，４に塗布液が流通する際、塗布液とスロット１，４内面との間に少なからぬ摩擦が生じる。このため、塗布液が流通しにくくなり、スロット１，４の経路が５００ｍｍを越えるように長くなると、塗布液の吐出圧にばらつきが発生して塗布液の膜厚を均一に制御しにくくなるという問題が存在していた。また、塗布液が溝面上で固化してしまい、清掃に手間取るという問題も有していた。

本発明は、上記事情に鑑み、塗布液に対する摩擦抵抗が少なく、塗布液を安定して均一に可撓性帯状支持体に塗布することのできる塗布装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決するために本発明においては、以下の手段を採用した。
本発明では、一の方向に走行する可撓性帯状支持体の上に塗布液を塗布する塗布ヘッドを備え、前記塗布ヘッドが、前記可撓性帯状支持体の走行方向に順次配置された少なくとも二つの部材を有し、前記部材同士の間に前記塗布液が前記可撓性帯状支持体に向かって流通するスロットが形成された塗布装置であって、前記部材の前記スロットを形成する溝面が、前記塗布液に対する摩擦を低減するよう、所望の面粗度に研磨加工されている。

このように、部材のスロットを形成する溝面が研磨加工され、塗布液に対する摩擦係数が低減されるように所望の面粗度に形成されていると、塗布液の流通するスロットの経路が長くなっても、塗布液の供給時、該塗布液を円滑に供給することができるため、スロットから吐出される塗布液の吐出圧を部材の延在する方向で一様にし、かつ、それぞれの位置で時間的にも安定させることができる。こうして、塗布液の均一な膜厚の制御を良好に実現することが可能となる。
また、溝面上での塗布液の液離れが良好となるので、溝面上で塗布液が付着して固化したりするのを防止でき、溝面の清掃を容易に行うことができる

また本発明では、前記溝面は、前記塗布液の流通する方向に沿って研磨加工されている。あるいは、前記溝面に、前記塗布液に対する摩擦を低減する被覆膜が形成されている。
このように、部材の溝面が，塗布液の流通方向に沿って研磨加工されたり、摩擦係数を低減する被覆膜を有していたりすると、塗布液の流通がいっそう円滑となり、吐出圧の安定化をいっそう図ることができる。

以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて説明する。塗布装置は、塗布ヘッド１０を有し、この塗布ヘッド１０が第１スロット１１を形成するバックエッジ１３及び第１ドクターエッジ１４と、第１ドクターエッジ１４と共に第２スロット１２を形成する第２ドクターエッジ１５とを備えて構成されている。
これらバックエッジ１３，第１，第２ドクターエッジ１４，１５は、可撓性帯状支持体１９の走行方向Ａに沿い順次配置され、しかも先端部には超硬合金からなるバックエッジ先端１６，第１，第２ドクターエッジ先端１７，１８がそれぞれ装着されている。
ここで、バックエッジ先端１６，第１，第２ドクターエッジ先端１７，１８は超硬合金で構成されている。

可撓性帯状支持体１９は、図示されぬ可撓性帯状支持体１９の送り手段によって、バックエッジ１３側から該バックエッジ１３，第１ドクターエッジ１４，第２ドクターエッジ１５に向う矢印方向Ａに走行するようになっている。
そして、この可撓性帯状支持体１９の走行時、図示しない給液手段によって塗布液が供給され、該塗布液がポケット２０，２１及び第１スロット１１，第２スロット１２を流通することにより、可撓性帯状支持体１９の片面に塗布液が重ねて塗布されるように構成されている。
この場合の塗布液としては、本例では、積層セラミックスコンデンサのグリーンシートに用いられる母材シートを形成するためのものであり、例えば、誘電体セラミックス粉の含有液、及びその組成を若干変えた誘電体含有液等の二種類からなっている。

また本実施形態では、スロット１１を形成するバックエッジ１３の溝面１１ａ及び第１ドクターエッジ１４の溝面１１ｂ、さらに、スロット１４を形成する第１ドクターエッジ１４の溝面１２ａ，第２ドクターエッジの溝面１２ｂが、塗布液に対する摩擦係数が低減されるように所望の面粗度に研磨加工されている。
例えば、図２は、所望の面粗度に研磨加工される溝面１１ｂを示すものである。図２に示すように、溝面１１ｂは、第１ドクターエッジ１４の溝面１４ａと、第１ドクターエッジ先端１７の溝面１７ａとを有しており、これらのいずれもが研磨加工されている。同様に、溝面１１ａは、バックエッジ１３の溝面１３ａと、バックエッジ先端１６の溝面１６ａとを、溝面１２ａは、第１ドクターエッジ１４の溝面１４ｂと、第１ドクターエッジ先端１７の溝面１７ｂとを、溝面１２ｂは、第２ドクターエッジ１５の溝面１５ａと、第２ドクターエッジ先端１８の溝面１８ａとを、それぞれ有し、これらの溝面のいすれもが所望の面粗度に研磨加工されている。
加えて、ポケット２０，２１も、これらの溝面と同様の面粗度にて研磨されている。
研磨加工する際の面粗度は、スロット１１，１２内を前記塗布液の種類によって適宜選択すればよいが、例えば、グリーンシートに用いられる母材シートを形成するためのものを塗布液に選ぶと、何れも面粗度が１Ｓ以下の粗さ、好ましくは０．８Ｓ以下の粗さに研磨されるのが望ましい。
なお、図２において、符号２２は組立用のボルト穴である。

さらに、上記研磨加工時には、溝面１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂのそれぞれが、塗布液の流通する方向に沿って研磨加工されている。

このように、溝面１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ及びポケット２０，２１が研磨加工され、塗布液に対する摩擦係数が低減されるように所望の面粗度に形成されていると、塗布液の供給時、該塗布液を円滑に供給することができるため、スロット１１，１２から吐出される塗布液の吐出圧をバックエッジ１２、第１，第２ドクターエッジ１４，１５の延在する方向で一様にし、かつ、それぞれの位置で時間的にも安定させることができる。こうして、塗布液の均一な膜厚の制御を良好に実現することが可能となる。
また、溝面１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ上での塗布液の液離れが良好となるので、溝面１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ上で塗布液が付着して固化したりするのを防止でき、溝面１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの清掃を容易に行うことができる。

さらに、各溝面１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂが、塗布液の流出方向に沿って研磨加工されているので、塗布液の流通がいっそう円滑となり、吐出圧の安定化をいっそう図ることもできる。

図３は他の実施形態を示している。
この実施形態では、バックエッジ１３，第１，第２ドクターエッジ１４，１５において第１，第２スロット１１，１２を形成する溝面１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ、及びポケット２０，２１に被覆膜２３が形成されている。
この被覆膜２３としては、塗布液の流通を円滑にさせるためのものであって、本例ではダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）がコーティングされているが、それ以外のものでもよく、要は、アブレーション摩耗や、脂肪酸あるいは硫黄含有有機物などによる腐食摩耗等により損傷しにくい材質で構成されることが好ましい。

このように、バックエッジ１３，第１，第２ドクターエッジ１４，１５の、第１，第２スロット１１，１２を形成する溝面１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂに被覆膜２３がそれぞれ形成されると、塗布液の流通が円滑になり、吐出圧を一様に安定させることができるので、前述した実施形態と略同様の効果を得ることができる。

なお、これまで述べた各実施形態においては、二層の塗布液を塗布する塗布装置に適用した例を示したが、無論、一層の塗布液を塗布する装置に適用しても、同様の作用効果が得られる。

以上述べたように、本発明によれば、部材のスロットを形成する溝面が研磨加工され、塗布液に対する摩擦係数を低減するよう所望の面粗度に形成されるので、吐出圧を空間的かつ時間的に安定させることができる。塗布液の流通するスロットが長くなっても、塗布液の均一な膜厚の制御を良好に実現することが可能となる。

また本発明によれば、スロットを形成する溝面が，塗布液の流通方向に沿って研磨加工され、あるいは、摩擦を低減する被覆膜が設けられるので、塗布液の流通がいっそう円滑となり、吐出圧の安定化をいっそう高めることもできる。

本発明による塗布装置の一実施形態を示す概略図である。第１ドクターエッジを示す斜視図である本発明による塗布装置の他の実施形態を示す要部断面図である。従来の塗布装置の一構成例を示す説明図である。

符号の説明

１０…塗布ヘッド
１１，１２…スロット
１３…バックエッジ
１４…第１ドクターエッジ
１５…第２ドクターエッジ
１６…バックエッジ先端
１７…第１ドクターエッジ先端
１８…第２ドクターエッジ先端
１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ…溝面
２０，２１…ポケット
２３…被覆膜

Claims

一の方向に走行する可撓性帯状支持体の上に塗布液を塗布する塗布ヘッドを備え、前記塗布ヘッドが、前記可撓性帯状支持体の走行方向に順次配置された少なくとも二つの部材を有し、前記部材同士の間に前記塗布液が前記可撓性帯状支持体に向かって流通するスロットが形成された塗布装置であって、
前記部材の前記スロットを形成する溝面が、前記塗布液に対する摩擦を低減するよう、所望の面粗度に研磨加工されていることを特徴とする塗布装置。
前記溝面は、前記塗布液の流通する方向に沿って研磨加工されていることを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
前記溝面に、前記塗布液に対する摩擦を低減する被覆膜が形成されていることを特徴とする請求項１記載の塗布装置。