JP4348871B2 - 塗布装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、走行する可撓性帯状支持体に、有機物ないしは無機物、もしくはこれらの複合物からなるゲル状・液状の塗布液を、均一に、しかも薄く塗布する塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、長尺なフィルムやシート等の可撓性帯状支持体の表面に塗付液を薄く塗布して薄層を形成する塗布装置として、例えば特公平６−７７７１２号公報（以下、第１の従来技術という）に示されるものがある。
【０００３】
第１の従来技術に示される塗布装置は、図３に示すように塗布ヘッドを有し、この塗布ヘッドが第１スロット１を形成するバックエッジ２及び第１ドクターエッジ３と、この第１ドクターエッジ３と共に第２スロット４を形成する第２ドクターエッジ５とを備えた構成とされている。
バックエッジ２、第１ドクターエッジ３、及び第２ドクターエッジ５の可撓性帯状支持体８に臨む側には、各々、可撓性帯状支持体８に圧接せしめられる先端面２１，３１，５１が形成され、さらに、隣接するバックエッジ２と第１ドクターエッジ３の互いに向き合う側には、第１スロット１を構成する離間された平らな側面２２，３２が、また、第１ドクターエッジ３と第２ドクターエッジ５の互いに向き合う側には、第２スロット４を構成する離間された平らな側面３４，５２がそれぞれ形成されている。そして、先端面２１と側面２２とが交差する稜線がバックエッジ２の刃先２３とされ、先端面３１と側面３２とが交差する稜線が第１ドクターエッジ３の第１の刃先３３とされ、先端面３１と側面３４とが交差する稜線が第１ドクターエッジ３の第２の刃先３５とされ、先端面５１と側面５２とが交差する稜線が第２ドクターエッジ５の刃先５３とされている。
【０００４】
塗布ヘッドの内部には、第１スロット１，第２スロット４に連通する断面略円形状をなすポケット６ａ，６ｂが形成されている。そして、図示しない給液手段から配管７ａ，７ｂを介して矢印方向Ｂ１，Ｂ２に塗布液がそれぞれ送液され、ポケット６ａ，６ｂに液溜めされ、該ポケット６ａ，６ｂから第１スロット１，第２スロット４の各流出口に押し出され、矢印方向Ｃ１，Ｃ２に吐出されるように構成されている。
【０００５】
可撓性帯状支持体８は、図示されぬ可撓性帯状支持体８の送り手段によって、バックエッジ２側からバックエッジ２，第１ドクターエッジ３，第２ドクターエッジ５に向う矢印方向Ａに走行するようになっている。
【０００６】
この可撓性帯状支持体８の走行時、図４に示すように、ポケット６ａ内の第１の塗布液９１が第１スロット１から吐出され、可撓性帯状支持体８の片面に塗布される。その後、可撓性帯状支持体８の走行方向の下流側に位置し、かつポケット６ｂ内から第２スロット４の流出口に押し出された第２の塗布液９２が、第１の塗布液９１の上に重ね塗りされる。このように、可撓性帯状支持体８の走行時、各塗布液９１，９２が前後して吐出され、可撓性帯状支持体８に二層の塗布液９１，９２が塗布される。
このとき、バックエッジ２，第１ドクターエッジ３，第２ドクターエッジ５のそれぞれの刃先２３，３３，３５，５３が第１スロット１と第２スロット４の流出口の形状をそれぞれ精度良く画成して、塗付液９１，９２の流量と可撓性帯状支持体８に塗布される膜厚とが設定されるようになっている。
また、塗付液中には、無機物質からなる硬質分散粒子や、樹脂や溶媒等の各種添加物が含まれており、摩耗や腐食が著しいため、バックエッジ２，第１ドクターエッジ３，第２ドクターエッジ５といったエッジは、特許第３０４８１５号公報（以下、第２の従来技術という）に開示されているように、高い剛性、耐摩耗性、及び耐食性を有する超硬合金から形成され、先端の形状精度や面精度を維持して、形成される薄層に対して均一な膜厚が得られる構成とされている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のように塗布ヘッドの先端部分に超硬合金からなるエッジを設けてその強度と靭性を増すとともに、スロットから常に一定の流量で塗付液が吐出されるような構成にした場合でも、被膜構造の多層化の要求に伴って上述の如き複数のスリットを有する塗布ヘッドが使用されるようになってきていることに加え、塗布される膜の薄層化、高速塗布化、さらには、塗布面積の増大化によって、剛性、耐摩耗性、耐腐食性とも十分ではなくなってきている。
その一つとして、塗布される膜の薄層化への移行に伴い、エッジの刃先の歪みによって発生する塗付液の厚さの不均一さが、形成される層全体の厚さに対して無視できなくなってきているという問題があった。刃先の歪みは、エッジの先端の加工精度にもよるが、これに加えて、エッジの先端の剛性にも依存する。すなわち、エッジの先端は、走行する可撓性帯状支持体から受ける応力、換言すれば塗付液が可撓性帯状支持体に塗布されて引き伸ばされる際の粘弾性応力、可撓性帯状支持体に塗布ヘッドが押し付けられることによって受ける可撓性帯状支持体の張力、塗付液を吐出する際の塗付液からの圧力等の様々な力を受ける。ところが、例えば、塗付液を薄く、そして速く塗布したり、塗布面積を拡大するために可撓性帯状支持体の幅寸法を広げ、エッジの先端も長くすると、これらによってエッジの先端に加わる力も増し、この力にエッジの先端の剛性が抗しきれず、刃先の真直度が低下して均一な膜厚が得られないという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、可撓性帯状支持体に均一な厚さで塗付液を塗布し、薄層を形成することのできる塗布装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、可撓性帯状支持体の走行方向に沿って複数のエッジが順番に配置されている塗布ヘッドにおいて、可撓性帯状支持体側に形成されたエッジの先端面のうねりと、隣り合うエッジとの間でスロットを構成するよう該エッジに形成された平らな側面のうねりとをそれぞれ低減し、先端面と側面とが交差してなる刃先の真直度を向上させることにより、可撓性帯状支持体に塗布される塗付液の厚さを幅方向に沿って均一にできること、このとき、エッジの先端が十分なヤング率を有することにより、塗布中にエッジの先端が受ける力に抗して刃先の真直度を保つことができ、均一な厚さで塗付液を塗布することができること、そして、エッジの少なくとも先端が炭化タングステンを主成分とする超硬合金製から形成され、この超硬合金は、炭化タングステンの粒子間に所定の成分を有する結合相金属が均一に配合されて硬度と靭性が高められていること、また、炭化タングステンの粒子間の結合力を高める高温熱処理の下で炭化タングステンの粒成長を抑制する粒成長抑制剤が添加されていること、炭化タングステンの平均粒径が十分小さいことによって十分なヤング率を有することができるという知見を得て本発明に至った。
【００１０】
すなわち、本発明は、一の方向に走行する可撓性帯状支持体の上に塗布液を塗布する塗布ヘッドを備え、前記塗布ヘッドが、前記可撓性帯状支持体の走行方向に順次配置された少なくとも二つのエッジを有し、前記エッジは、前記可撓性帯状支持体に臨む側に各々先端面を有し、隣接する二つのエッジの互いに向き合う側にそれぞれ平らな側面が設けられるとともに、これらの間が離間されて、前記塗布液が前記可撓性帯状支持体に向かって流通するスロットが形成され、前記エッジの先端で開口される前記スロットの流出口から前記塗布液が流出して前記可撓性帯状支持体に塗布されるよう構成された塗布装置であって、前記エッジの前記側面と前記先端面とが交差してなる稜線が前記エッジの刃先とされるとともに、前記刃先の真直度が３μｍ以下とされ、かつ、前記エッジの先端のヤング率が５００ＧＰａ以上〜７００ＧＰａ以下とされていることを特徴とする。
【００１１】
本発明においては、刃先の真直度が３μｍとなるような加工精度でエッジの先端が加工される。そして、これにより、スロットの流出口から流出される塗付液の流量がエッジの長手方向、すなわち、可撓性帯状支持体の幅方向に沿って場所によらず一定となり、可撓性帯状支持体上に形成される薄層の膜厚を幅方向に沿って均一にすることができる。すなわち、可撓性帯状支持体上に、例えば４μｍ以下の薄層を形成する場合には、可撓性帯状支持体の幅方向に沿って膜厚の偏差を１０％以下に抑えることができる。
エッジの刃先は、エッジの先端面とエッジの側面とが交差してなる稜線上に形成されている。したがって、エッジの刃先の歪みは、それぞれの面が互いに他方の面によって切断され、それぞれの面上のうねりが交差稜線上に現れることによって形成されたものである。例えば、仮に一方の面が理想的な平面で、他方の面にうねりがあるとすると、刃先の歪みは、平らな一方の面による他方の面の断面の稜線の歪みである。それぞれの面にうねりがある場合は、刃先の歪みは、それぞれの面のうねりが重なり合って大きくなるか、もしくは、逆に打ち消し合って小さくなる。しかしながら、刃先の真直度は、概ねそれぞれの面を互いに他方の面に沿った方向の平面で切断したときの稜線の歪みによって評価することができる。そこで、ここでいう刃先の真直度とは、ＪＩＳ Ｂ ００２１に規定される線の真直度公差であるとする。そして、エッジの先端面、もしくは、エッジの側面に沿った方向の平面に刃先を投影したときの二つの平行な直線の間に挟まれた領域を公差域とする。刃先の真直度が３μｍ以下ということは、エッジの先端面、エッジの側面、いずれの方向の平面に刃先を投影してもその公差域が３μｍを上回らないということである。このことが実現されるためには、エッジの先端面、及び、エッジの側面のいずれの面においても、交差稜線付近で少なくともうねりが３μｍ以下でなければならない。なお、塗布ヘッドに設けられるエッジのうち、可撓性帯状支持体の走行方向に沿って二番目以降に配置されるドクターエッジと呼ばれるエッジは、先端面が可撓性帯状支持体の走行方向に沿って湾曲した曲面から形成されていてもよい。この場合、エッジの先端面の方向とは、エッジの側面との交差稜線で先端面に接する接平面の方向とする。
また、エッジの先端が十分なヤング率を有することで、エッジの先端の剛性を保つことができ、塗布中にエッジの先端に加わる様々な力に抗して刃先の真直度の低下が最小限に抑えられ、均一な厚さで塗付液を塗布することができる。
このようにして、刃先の真直度を高めることで、可撓性帯状支持体に均一な厚さで塗付液を塗布し、薄層を形成することができる。
【００１２】
また、本発明の塗布装置では、前記エッジの少なくとも先端は、コバルトを４〜２０重量％と、クロムを０．３〜３．０重量％および／またはバナジウムを０．１〜３．０重量％と、残部が平均粒径が１μｍ以下とされた炭化タングステンと不可避不純物とからなる超硬合金から形成されていることを特徴とする。
【００１３】
本発明においては、エッジの先端を形成する超硬合金の硬質相が炭化タングステンからなるため、エッジの先端の靭性及び強度の向上を図ることができる。ここで、炭化タングステンは立方晶構造化合物であることから、その平均粒径を１μｍ以下として超硬合金の強度の低下を抑えることが好ましく、さらに、炭化タングステンの粒径をできるだけ均一なものとし、かつ、結合相中に均一に分散することがエッジの先端の強度及び靭性を向上する上で望ましい。
また、エッジの先端を形成する超硬合金の結合相を形成するコバルトは、４重量％を下回るとエッジの靭性が失われ、２０重量％を上回るとエッジの耐摩耗性劣化が著しくなるため、４〜２０重量％とされていることが好ましい。
また、エッジの先端の耐食性を高めるため、さらには、炭化タングステンの粒子間の結合力を高める高温熱処理の下で炭化タングステンの粒成長を抑制するため、エッジの先端を形成する超硬合金がクロムとバナジウムの少なくとも一方もしくは双方を含んでいることが好ましい。ここで、クロムは、０．３重量％を下回ると耐食性が得られず、３．０重量％を上回ると炭化クロムの有害な層が析出するため、０．３〜３．０重量％とされていることが好ましく、また、バナジウムは、０．１重量％を下回ると耐食性が得られず、３．０重量％を上回ると炭化バナジウムの有害な層が析出するため、０．１〜３．０重量％とされていることが好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による塗布装置を図面に基づき説明する。本発明の塗布装置は、一方向に走行するフィルムやシート等の可撓性帯状支持体の表面に塗付液を均一に塗布して薄層を形成する塗布装置に関するもので、その他の構成要素や用法に関して特に制限を設けない。
【００１５】
図１及び図２に、本発明に係る塗布装置の一実施形態を示す。図において、塗布装置は、塗布ヘッド１０を有し、この塗布ヘッド１０が第１スロット１１（スロット）を形成するバックエッジ１３（エッジ）及び第１ドクターエッジ１４（エッジ）と、第１ドクターエッジ１４と共に第２スロット１２（スロット）を形成する第２ドクターエッジ１５（エッジ）とを備えて構成されている。さらに、可撓性帯状支持体１９を矢印方向Ａに送る図示されぬ送り手段を有している。
【００１６】
これらバックエッジ１３，第１，第２ドクターエッジ１４，１５は、可撓性帯状支持体１９の走行方向Ａに沿い順次配置されており、それぞれ鉄系合金からなるバックエッジ本体１３ａ，第１，第２ドクターエッジ本体１４ａ，１５ａ（エッジ本体）と、これらバックエッジ本体１３ａ，第１，第２ドクターエッジ本体１４ａ，１５ａの可撓性帯状支持体１９の側の先端部分にそれぞれ取り付けられ、可撓性帯状支持体１９に圧接せしめられる超硬合金からなるバックエッジ先端１６（エッジ先端）、第１ドクターエッジ先端１７（エッジ先端）、第２ドクターエッジ先端１８（エッジ先端）とから構成されている。
ここで、バックエッジ本体１３ａ，第１，第２ドクターエッジ本体１４ａ，１５ａは、ＪＩＳの規定による炭素鋼Ｓ４５Ｃとされ、また、バックエッジ先端１６，第１，第２ドクターエッジ先端１７，１８を形成する超硬合金は、コバルトを４〜２０重量％と、クロムを０．３〜３．０重量％および／またはバナジウムを０．１〜３．０重量％と、残部が平均粒径が１μｍ以下とされた炭化タングステンと不可避不純物とから構成されている。そして、この超硬合金のヤング率が５００ＧＰａ以上〜７００ＧＰａ以下とされている。
【００１７】
バックエッジ先端１６の可撓性帯状支持体１９に臨む側には、平らな先端面１６ａが形成され、また、バックエッジ先端１６の隣に配置された第１ドクターエッジ先端１７に臨む側には、平らなスロット側面１６ｂ（側面）が設けられている。一方、第１ドクターエッジ先端１７のドクターエッジ先端１６ｂに臨む側は、平らなスロット側面１７ｂ（側面）とされ、これらスロット側面１６ｂとスロット側面１７ｂとの間が離間され、第１スロット１１が形成されている。そして、先端面１６ａとスロット側面１６ｂとが交差してなる稜線がバックエッジ先端１６の刃先１６ｃとされている。
また、第１ドクターエッジ先端１７の可撓性帯状支持体１９に臨む側には、可撓性帯状支持体１９に沿って湾曲する先端面１７ａが形成され、この先端面１７ａとスロット側面１７ｂとが交差してなる稜線が第１ドクターエッジ先端１７の第１の刃先１７ｃとされている。さらに、第１ドクターエッジ先端１７の第２ドクターエッジ先端１８に臨む側には、平らなスロット側面１７ｄ（側面）が設けられ、このスロット側面１７ｄと先端面１７ａとが交差してなる稜線が第１ドクターエッジ先端１７の第２の刃先１７ｅとされている。
また、第２ドクターエッジ先端１８の可撓性帯状支持体１９に臨む側には、可撓性帯状支持体１９に沿って湾曲する先端面１８ａが形成され、また、第１ドクターエッジ先端１７に臨む側には、平らなスロット側面１８ｂ（側面）が設けられている。先端面１８ａとスロット側面１８ｂとが交差してなる稜線が第２ドクターエッジ先端１８の刃先１８ｃとされている。
これらの刃先１６ｃ，１７ｃ，１７ｅ，１８ｃはそれぞれＪＩＳ Ｂ ００２１に規定される線の真直度公差で０．５μｍ以上〜３μｍ以下となるよう加工形成されている。すなわち、先端面１６ａ，１７ａ，１８ａ、もしくは、スロット側面１６ｂ，１７ｂ，１７ｄ，１８ｂに沿った方向の平面に刃先１６ｃ，１７ｃ，１７ｅ，１８ｃをそれぞれ投影したときの二つの平行な直線の間に挟まれた領域を公差域とし、先端面１６ａ，１７ａ，１８ａ、スロット側面１６ｂ，１７ｂ，１７ｄ，１８ｂ、いずれの方向の平面に刃先１６ｃ，１７ｃ，１７ｅ，１８ｃを投影してもその公差域の幅が０．５μｍ以上〜３μｍ以下となるよう形成されている。なお、湾曲した第１ドクターエッジ先端１７の先端面１７ａと第２ドクターエッジ先端１８の先端面１８ａに沿った方向とは、これらの面に刃先１７ｃ，１７ｅ，１８ｃで接する接平面の方向とする。
【００１８】
塗布装置は、可撓性帯状支持体１９の走行時、図示しない給液手段によって塗布液２０Ａ，２０Ｂが供給され、該塗布液２０Ａ，２０Ｂがポケット２１，２２及び第１スロット１１，第２スロット１２を流通し、それぞれの流出口から図中矢印Ｃ１，Ｃ２の方向へ吐出することにより、可撓性帯状支持体１９の片面に塗布液２０Ａ，２０Ｂが重ねて塗布されるように構成されている。
この場合の塗布液としては、本例では、積層セラミックスコンデンサのグリーンシートに用いられる母材シートを形成するためのものであり、例えば、誘電体セラミックス粉の含有液、及びその組成を若干変えた誘電体含有液等の二種類からなっている。
【００１９】
このような構成の塗布装置においては、可撓性帯状支持体１９が走行すると、給液手段によって塗布液２０Ａ，２０Ｂがそれぞれ供給され、該塗布液２０Ａ，２０Ｂがポケット２１，２２及び第１スロット１１，第２スロット１２を流通してそれぞれの流出口から図中Ｃ１，Ｃ２で示される方向に吐出され、可撓性帯状支持体１９の片面に塗布される。この場合、可撓性帯状支持体１９の片面上に塗布液２０Ａ，塗布液２０Ｂが順次重なった状態で塗布される。
【００２０】
この塗布時、刃先１６ｃ，１７ｃ，１７ｅ，１８ｃの真直度が０．５μｍ以上〜３μｍ以下とされ、３μｍ以下の値とされているので、第１，第２スロット１１，１２の流出口から流出される塗付液２０Ａ，２０Ｂの流量がバックエッジ先端１６、第１，第２ドクターエッジ先端１７，１８の長手方向、すなわち、可撓性帯状支持体１９の幅方向に沿って場所によらず一定となり、可撓性帯状支持体１９上に形成される薄層の膜厚を幅方向に沿って均一にすることができる。すなわち、可撓性帯状支持体１９上に、例えば４μｍ以下の薄層を形成する場合には、可撓性帯状支持体の幅方向に沿って膜厚の偏差を１０％以下に抑えることができる。
【００２１】
また、バックエッジ先端１６、第１，第２ドクターエッジ先端１７，１８を形成する超硬合金のヤング率が５００ＧＰａ以上〜７００ＧＰａ以下とされることによって、バックエッジ先端１６、第１，第２ドクターエッジ先端１７，１８は、走行する可撓性帯状支持体１９から受ける応力、換言すれば塗付液２０Ａ，２０Ｂが可撓性帯状支持体１９に塗布されて引き伸ばされる際の粘弾性応力、可撓性帯状支持体１９に塗布ヘッド１０が押し付けられることによって受ける可撓性帯状支持体１９の張力、塗付液２０Ａ，２０Ｂを吐出する際の塗付液２０Ａ，２０Ｂからの圧力等の様々な力に抗する十分な剛性を有するものとされ、塗布中においても刃先１６ｃ，１７ｃ，１７ｅ，１８ｃの真直度を３μｍ以下に保つことができ、均一な厚さで塗付液２０Ａ，２０Ｂを塗布することができる。
【００２２】
また、バックエッジ先端１６、第１，第２ドクターエッジ先端１７，１８を形成する超硬合金が、コバルトを４〜２０重量％と、クロムを０．３〜３．０重量％および／またはバナジウムを０．１〜３．０重量％と、残部が平均粒径が１μｍ以下とされた炭化タングステンと不可避不純物とから形成されるているので、バックエッジ先端１６、第１，第２ドクターエッジ先端１７，１８の靭性、耐摩耗性、及び耐食性を向上することができ、刃先１６ｃ，１７ｃ，１７ｅ，１８ｃの真直度を保って均一な厚さで塗付液２０Ａ，２０Ｂを塗布することができる。
【００２３】
このように、本実施形態によれば、バックエッジ先端１６の破損や変形が抑えられて可撓性帯状支持体１９上への二つの塗布液２０Ａ，２０Ｂの塗布条件を一定に保つことができ、これらの塗付液２０Ａ，２０Ｂを均一にかつ安定した状態で塗布することができ、むらのない均一な二層の薄膜層を確実に得ることができる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明は、以下に記載されるような効果を奏する。
請求項１に記載の発明によれば、エッジの先端面とエッジの側面とが交差してなる稜線に形成されたエッジの刃先の真直度が３μｍ以下とされ、かつ、エッジの先端のヤング率が５００ＧＰａ以上〜７００ＧＰａとされているので、塗布中においても刃先の真直度を保って可撓性帯状支持体に均一な厚さで塗付液を塗布し、薄層を形成することができる。
【００２５】
また、請求項２に記載の発明によれば、エッジの少なくとも先端は、コバルトを４〜２０重量％と、クロムを０．３〜３．０重量％および／またはバナジウムを０．１〜３．０重量％と、残部が平均粒径が１μｍ以下とされた炭化タングステンと不可避不純物とからなる超硬合金から形成されているので、エッジの先端の靭性、耐摩耗性、及び耐食性を向上することができ、刃先の真直度を保って均一な厚さで塗付液を塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による塗布装置の一実施形態を示す塗布ヘッドの斜視図である。
【図２】 本発明の要部を示す拡大説明図である。
【図３】 従来の塗布装置を示す斜視図である。
【図４】 従来の塗布装置の要部を示す拡大説明図である。
【符号の説明】
１１…第１スロット（スロット）
１２…第２スロット（スロット）
１３…バックエッジ（エッジ）
１４…第１ドクターエッジ（エッジ）
１５…第２ドクターエッジ（エッジ）
１３ａ…バックエッジ本体（エッジ本体）
１４ａ…第１ドクターエッジ本体（エッジ本体）
１５ａ…第２ドクターエッジ本体（エッジ本体）
１６…バックエッジ先端（エッジ先端）
１７…第１ドクターエッジ先端（エッジ先端）
１８…第２ドクターエッジ先端（エッジ先端）
１６ａ，１７ａ，１８ａ…先端面
１６ｂ，１７ｂ，１７ｄ，１８ｂ…スロット側面（側面）
１６ｃ，１７ｃ，１７ｅ，１８ｃ…刃先
１９…可撓性帯状支持体
２０Ａ，２０Ｂ…塗布液

Claims (2)

1. 一の方向に走行する可撓性帯状支持体の上に塗布液を塗布する塗布ヘッドを備え、前記塗布ヘッドが、前記可撓性帯状支持体の走行方向に順次配置された少なくとも二つのエッジを有し、前記エッジは、前記可撓性帯状支持体に臨む側に各々先端面を有し、隣接する二つのエッジの互いに向き合う側にそれぞれ平らな側面が設けられるとともに、これらの間が離間されて、前記塗布液が前記可撓性帯状支持体に向かって流通するスロットが形成され、前記エッジの先端で開口される前記スロットの流出口から前記塗布液が流出して前記可撓性帯状支持体に塗布されるよう構成された塗布装置であって、
   前記エッジの前記側面と前記先端面とが交差してなる稜線が前記エッジの刃先とされるとともに、前記刃先の真直度が３μｍ以下とされ、かつ、前記エッジの先端のヤング率が５００ＧＰａ以上〜７００ＧＰａ以下とされていることを特徴とする塗布装置。
2. 請求項１に記載の塗布装置において、前記エッジの少なくとも先端は、コバルトを４〜２０重量％と、クロムを０．３〜３．０重量％および／またはバナジウムを０．１〜３．０重量％と、残部が平均粒径が１μｍ以下とされた炭化タングステンと不可避不純物とからなる超硬合金から形成されていることを特徴とする塗布装置。

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