JP2004144490A - Icテスタ - Google Patents
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Abstract
【課題】校正用の高精度A/Dコンバータを用いることなく、高精度に校正が行えるICテスタを実現することを目的にする。
【解決手段】本発明は、被試験対象を試験するICテスタに改良を加えたものである。本装置は、被試験対象に与える試験信号を出力する出力D/Aコンバータと、この出力D/Aコンバータの試験信号を校正する少なくとも1つの校正D/Aコンバータと、出力D/Aコンバータの出力と校正D/Aコンバータの出力とを選択する選択部と、この選択部の出力を入力する校正A/Dコンバータとを有し、校正A/Dコンバータにより、出力D/Aコンバータ、校正D/Aコンバータを校正することを特徴とする装置である。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明は、被試験対象を試験するICテスタに改良を加えたものである。本装置は、被試験対象に与える試験信号を出力する出力D/Aコンバータと、この出力D/Aコンバータの試験信号を校正する少なくとも1つの校正D/Aコンバータと、出力D/Aコンバータの出力と校正D/Aコンバータの出力とを選択する選択部と、この選択部の出力を入力する校正A/Dコンバータとを有し、校正A/Dコンバータにより、出力D/Aコンバータ、校正D/Aコンバータを校正することを特徴とする装置である。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被試験対象を試験するICテスタに関し、校正用の高精度A/Dコンバータを用いることなく、高精度に校正が行えるICテスタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ICテスタは、被試験対象(以下DUT)、例えば、IC、LSI等に被試験信号を与え、DUTの出力により、DUTの良否の判定を行っている。このような装置は例えば特許文献1等に記載されている。以下図3を用いて説明する。
【0003】
図3において、出力D/Aコンバータ1は、図示しないDUTに与える試験信号を出力する。校正D/Aコンバータ2は、出力D/Aコンバータ1に電圧を出力し、試験信号のゲイン調整を行う。抵抗R1,R2は、一端を校正D/Aコンバータ2の入力端に接続する。校正D/Aコンバータ3は、抵抗R1の他端に出力端を接続し、校正D/Aコンバータ2の出力を調整する。基準電圧源Vは、抵抗R2の他端にプラス端を接続し、マイナス端を接地すると共に、校正D/Aコンバータ3に基準電圧を与える。校正D/Aコンバータ4は、試験信号のオフセット電圧を出力する。
【0004】
加算器5は、出力D/Aコンバータ1の出力と校正D/Aコンバータ4の出力とを加算して、DUTに出力する。加算器5は、抵抗R4〜R6、オペアンプ51からなる。抵抗R4は、出力D/Aコンバータ1の出力に一端を接続する。抵抗R5は、校正D/Aコンバータ4の出力に一端を接続する。オペアンプ51は、抵抗R4,R5の他端を反転入力端子に接続し、非反転入力端子を接地し、出力端をDUTに電気的に接続する。抵抗R6は、オペアンプ51の反転入力端子を一端に接続し、オペアンプ51の出力端を他端に接続する。
【0005】
校正A/Dコンバータ6は、加算器5(オペアンプ51)の出力を入力する。コントローラ7は、出力D/Aコンバータ1、校正D/Aコンバータ2〜4の各出力のデジタルデータを与え、校正A/Dコンバータ6からデジタルデータを入力し、校正及び試験信号の出力を制御する。
【0006】
このような装置の動作を以下に説明する。まず、校正動作について説明する。コントローラ7は、出力D/Aコンバータ1に0[V]に対応するデジタルデータを与え、出力D/Aコンバータ1に0[V]を出力させる。そして、校正A/Dコンバータ6が加算器5の出力を測定し、加算器5の出力が0[V]になるように、コントローラ7は校正D/Aコンバータ4にデータを与え、校正D/Aコンバータ4の出力電圧を調整する。
【0007】
そして、コントローラ7が校正D/Aコンバータ3に出力範囲の中心電圧に対応するデジタルデータを与え、出力D/Aコンバータ1にフルスケールのデータを与える。校正A/Dコンバータ6が加算器5の出力を測定し、加算器5の出力が出力D/Aコンバータ1のフルスケール電圧(最大電圧)に近くなるように、コントローラ7は校正D/Aコンバータ2を調整する。最後に、コントローラ7は、校正D/Aコンバータ3を調整し、加算器5の出力が出力D/Aコンバータ1のフルスケール電圧になるように微調整する。
【0008】
そして、コントローラ7は、出力D/Aコンバータ1、校正D/Aコンバータ2〜4に各種デジタルデータを与え、DUTに各種の試験信号を与え、DUTの試験を行う。
【0009】
【特許文献1】
特開平5−133997号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
このような装置において、例えば、出力D/Aコンバータ1の出力範囲が±3[V]で、校正D/Aコンバータ4の出力範囲が±2.5[V]の出力が可能であっても、加算器5の出力に現れる影響は、±50[mV]というように、出力D/Aコンバータ1の出力に対する影響を考えると、ごくわずかになってしまう。その他の校正D/Aコンバータ2,3も加算器5の出力に出る影響はわずかである。従って、校正A/Dコンバータ6は高精度のものが要求されてしまう。高精度なA/Dコンバータを用いると、高価になると共に、時間がかかってしまう。
【0011】
また、高精度な校正A/Dコンバータ6を用いても、ICテスタは、多くの回路からなっていて、電源も多く、電源のノイズ、多くの回路からのノイズの影響を受け、校正精度に影響を与え、高精度に校正を行うことができなかった。
【0012】
そこで、本発明の目的は、校正用の高精度A/Dコンバータを用いることなく、高精度に校正が行えるICテスタを実現することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の本発明は、
被試験対象を試験するICテスタにおいて、
前記被試験対象に与える試験信号を出力する出力D/Aコンバータと、
この出力D/Aコンバータの試験信号を校正する少なくとも1つの校正D/Aコンバータと、
前記出力D/Aコンバータの出力と校正D/Aコンバータの出力とを選択する選択部と、
この選択部の出力を入力する校正A/Dコンバータと
を有し、前記校正A/Dコンバータにより、前記出力D/Aコンバータ、前記校正D/Aコンバータを校正することを特徴とするものである。
請求項2記載の本発明は、請求項1記載の本発明において、
校正D/Aコンバータは、ゲイン調整またはオフセット調整を行うことを特徴とするものである。
請求項3記載の本発明は、
被試験対象を試験するICテスタにおいて、
前記被試験対象に与える試験信号を出力する出力D/Aコンバータと、
この出力D/Aコンバータに電圧を与え、ゲイン調整を行う第1の校正D/Aコンバータと、
前記出力D/Aコンバータの出力のオフセット電圧を出力する第2の校正D/Aコンバータと、
前記出力D/Aコンバータの出力と前記第1、第2の校正D/Aコンバータの出力と選択する選択部と、
この選択部の出力を入力する校正A/Dコンバータと
を有し、前記校正A/Dコンバータにより、前記出力D/Aコンバータ、前記第1、第2の校正D/Aコンバータを校正することを特徴とするものである。
請求項4記載の本発明は、請求項3記載の本発明において、
出力D/Aコンバータの出力と第2の校正D/Aコンバータの出力とを加算し、被試験対象または選択部に出力する加算器を設けたことを特徴とするものである。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図1は本発明の第1の実施例を示した構成図である。ここで、図3と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【0015】
図1において、マルチプレクサ8は選択部で、出力D/Aコンバータ1の出力、校正D/Aコンバータ2〜4の出力、加算器5の出力を選択する。校正A/Dコンバータ9は、校正A/Dコンバータ6の代わりに設けられ、マルチプレクサ8の出力を入力する。コントローラ10は、出力D/Aコンバータ1、校正D/Aコンバータ2〜4の各出力のデジタルデータを与え、校正A/Dコンバータ9からデジタルデータを入力し、校正及び試験信号の出力を制御する。
【0016】
このような装置の動作を以下で説明する。まず、校正動作について説明する。コントローラ10は、マルチプレクサ8に出力D/Aコンバータ1を選択させる。そして、コントローラ10は、出力D/Aコンバータ1にデジタルデータを与える。校正A/Dコンバータ9は、マルチプレクサ8を介して、出力D/Aコンバータ1の出力を測定し、コントローラ10は、出力D/Aコンバータ1の動作確認、例えば、ビット落ち等の確認を行う。また、校正A/Dコンバータ9の出力によりコントローラ10は、出力D/Aコンバータ1に対して校正を行う。
【0017】
次に、コントローラ10は、マルチプレクサ8に校正D/Aコンバータ2を選択させる。そして、コントローラ10は、校正D/Aコンバータ2にデジタルデータを与える。校正A/Dコンバータ9は、マルチプレクサ8を介して、校正D/Aコンバータ2の出力を測定し、コントローラ10は、校正D/Aコンバータ2の動作確認する。また、校正A/Dコンバータ9の出力によりコントローラ10は、校正D/Aコンバータ2に対して校正を行う。
【0018】
同様に、校正D/Aコンバータ3,4に対しても、コントローラ9は、マルチプレクサ8に選択させ、動作確認、校正を行う。
【0019】
次に、コントローラ10は、マルチプレクサ8に加算器5の出力を選択させる。そして、コントローラ10は、出力D/Aコンバータ1に0[V]に対応するデジタルデータを与え、出力D/Aコンバータ1に0[V]を出力させる。そして、校正A/Dコンバータ9が、マルチプレクサ8を介した加算器5の出力を測定し、加算器5の出力が0[V]になるように、コントローラ10は校正D/Aコンバータ4にデータを与え、校正D/Aコンバータ4の出力電圧を調整する。
【0020】
そして、コントローラ10が校正D/Aコンバータ3に出力範囲の中心電圧に対応するデジタルデータを与え、出力D/Aコンバータ1にフルスケールのデータを与える。校正A/Dコンバータ9が加算器5の出力を測定し、加算器5の出力が出力D/Aコンバータ1のフルスケール電圧(最大電圧)に近くなるように、コントローラ7は校正D/Aコンバータ2を調整する。最後に、コントローラ10は、校正D/Aコンバータ3を調整し、加算器5の出力が出力D/Aコンバータ1のフルスケール電圧になるように微調整する。
【0021】
そして、コントローラ10は、出力D/Aコンバータ1、校正D/Aコンバータ2〜4に各種デジタルデータを与え、DUTに各種の試験信号を与え、DUTの試験を行う。
【0022】
このように、マルチプレクサ8により、出力D/Aコンバータ1、校正D/Aコンバータ2〜4を選択し、校正A/Dコンバータ9で測定を行うので、校正A/Dコンバータ9に高精度のA/Dコンバータを必要とせずに、高精度の校正を行うことができる。また、多くのノイズの影響を受けても、校正D/Aコンバータ2〜4の出力により校正が行えるので、ノイズの影響を無視でき、高精度に校正が行える。
【0023】
次に第2の実施例を図2に示し説明する。ここで、図1と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【0024】
図2において、外部装置11は、ICテスタの外部に設けられ、外部A/Dコンバータ111、コントローラ112からなる。外部A/Dコンバータ111は、マルチプレクサ8の出力を入力する。コントローラ112は、外部A/Dコンバータ111の出力を入力する。コントローラ12は、コントローラ10の代わりに設けられ、出力D/Aコンバータ1、校正D/Aコンバータ2〜4の各出力のデジタルデータを与え、外部A/Dコンバータ111からデジタルデータをコントローラ112を介して入力し、校正及び試験信号の出力を制御する。
【0025】
このような装置の動作は、図1に示す装置の校正A/Dコンバータ9の代わりに、ICテスタの外部に設けられた外部装置11により測定を行うだけで他の動作は図1に示す装置の動作と同じなので説明を省略する。
【0026】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、ICテスタの外部に外部基準電圧を設け、図1に示す装置のマルチプレクサ8が外部基準電圧を選択する構成にしてもよい。これにより、外部基準電圧により電圧構成を行うことができる。
【0027】
また、校正D/Aコンバータ2,3を設けた構成を示したが、1つの校正D/Aコンバータで構成してもよい。
【0028】
【発明の効果】
本発明によれば、選択部により、出力D/Aコンバータ、校正D/Aコンバータを選択し、校正A/Dコンバータで測定を行うので、校正A/Dコンバータに高精度のA/Dコンバータを必要とせずに、高精度の校正を行うことができるという効果がある。また、多くのノイズの影響を受けても、校正D/Aコンバータの出力により校正が行えるので、ノイズの影響を無視でき、高精度に校正が行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示した構成図である。
【図2】本発明の第2の実施例を示した構成図である。
【図3】従来のICテスタの構成を示した図である。
【符号の説明】
1 出力D/Aコンバータ
2〜4 校正D/Aコンバータ
8 マルチプレクサ
9 校正A/Dコンバータ
10,12 コントローラ
111 外部A/Dコンバータ
【発明の属する技術分野】
本発明は、被試験対象を試験するICテスタに関し、校正用の高精度A/Dコンバータを用いることなく、高精度に校正が行えるICテスタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ICテスタは、被試験対象(以下DUT)、例えば、IC、LSI等に被試験信号を与え、DUTの出力により、DUTの良否の判定を行っている。このような装置は例えば特許文献1等に記載されている。以下図3を用いて説明する。
【0003】
図3において、出力D/Aコンバータ1は、図示しないDUTに与える試験信号を出力する。校正D/Aコンバータ2は、出力D/Aコンバータ1に電圧を出力し、試験信号のゲイン調整を行う。抵抗R1,R2は、一端を校正D/Aコンバータ2の入力端に接続する。校正D/Aコンバータ3は、抵抗R1の他端に出力端を接続し、校正D/Aコンバータ2の出力を調整する。基準電圧源Vは、抵抗R2の他端にプラス端を接続し、マイナス端を接地すると共に、校正D/Aコンバータ3に基準電圧を与える。校正D/Aコンバータ4は、試験信号のオフセット電圧を出力する。
【0004】
加算器5は、出力D/Aコンバータ1の出力と校正D/Aコンバータ4の出力とを加算して、DUTに出力する。加算器5は、抵抗R4〜R6、オペアンプ51からなる。抵抗R4は、出力D/Aコンバータ1の出力に一端を接続する。抵抗R5は、校正D/Aコンバータ4の出力に一端を接続する。オペアンプ51は、抵抗R4,R5の他端を反転入力端子に接続し、非反転入力端子を接地し、出力端をDUTに電気的に接続する。抵抗R6は、オペアンプ51の反転入力端子を一端に接続し、オペアンプ51の出力端を他端に接続する。
【0005】
校正A/Dコンバータ6は、加算器5(オペアンプ51)の出力を入力する。コントローラ7は、出力D/Aコンバータ1、校正D/Aコンバータ2〜4の各出力のデジタルデータを与え、校正A/Dコンバータ6からデジタルデータを入力し、校正及び試験信号の出力を制御する。
【0006】
このような装置の動作を以下に説明する。まず、校正動作について説明する。コントローラ7は、出力D/Aコンバータ1に0[V]に対応するデジタルデータを与え、出力D/Aコンバータ1に0[V]を出力させる。そして、校正A/Dコンバータ6が加算器5の出力を測定し、加算器5の出力が0[V]になるように、コントローラ7は校正D/Aコンバータ4にデータを与え、校正D/Aコンバータ4の出力電圧を調整する。
【0007】
そして、コントローラ7が校正D/Aコンバータ3に出力範囲の中心電圧に対応するデジタルデータを与え、出力D/Aコンバータ1にフルスケールのデータを与える。校正A/Dコンバータ6が加算器5の出力を測定し、加算器5の出力が出力D/Aコンバータ1のフルスケール電圧(最大電圧)に近くなるように、コントローラ7は校正D/Aコンバータ2を調整する。最後に、コントローラ7は、校正D/Aコンバータ3を調整し、加算器5の出力が出力D/Aコンバータ1のフルスケール電圧になるように微調整する。
【0008】
そして、コントローラ7は、出力D/Aコンバータ1、校正D/Aコンバータ2〜4に各種デジタルデータを与え、DUTに各種の試験信号を与え、DUTの試験を行う。
【0009】
【特許文献1】
特開平5−133997号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
このような装置において、例えば、出力D/Aコンバータ1の出力範囲が±3[V]で、校正D/Aコンバータ4の出力範囲が±2.5[V]の出力が可能であっても、加算器5の出力に現れる影響は、±50[mV]というように、出力D/Aコンバータ1の出力に対する影響を考えると、ごくわずかになってしまう。その他の校正D/Aコンバータ2,3も加算器5の出力に出る影響はわずかである。従って、校正A/Dコンバータ6は高精度のものが要求されてしまう。高精度なA/Dコンバータを用いると、高価になると共に、時間がかかってしまう。
【0011】
また、高精度な校正A/Dコンバータ6を用いても、ICテスタは、多くの回路からなっていて、電源も多く、電源のノイズ、多くの回路からのノイズの影響を受け、校正精度に影響を与え、高精度に校正を行うことができなかった。
【0012】
そこで、本発明の目的は、校正用の高精度A/Dコンバータを用いることなく、高精度に校正が行えるICテスタを実現することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の本発明は、
被試験対象を試験するICテスタにおいて、
前記被試験対象に与える試験信号を出力する出力D/Aコンバータと、
この出力D/Aコンバータの試験信号を校正する少なくとも1つの校正D/Aコンバータと、
前記出力D/Aコンバータの出力と校正D/Aコンバータの出力とを選択する選択部と、
この選択部の出力を入力する校正A/Dコンバータと
を有し、前記校正A/Dコンバータにより、前記出力D/Aコンバータ、前記校正D/Aコンバータを校正することを特徴とするものである。
請求項2記載の本発明は、請求項1記載の本発明において、
校正D/Aコンバータは、ゲイン調整またはオフセット調整を行うことを特徴とするものである。
請求項3記載の本発明は、
被試験対象を試験するICテスタにおいて、
前記被試験対象に与える試験信号を出力する出力D/Aコンバータと、
この出力D/Aコンバータに電圧を与え、ゲイン調整を行う第1の校正D/Aコンバータと、
前記出力D/Aコンバータの出力のオフセット電圧を出力する第2の校正D/Aコンバータと、
前記出力D/Aコンバータの出力と前記第1、第2の校正D/Aコンバータの出力と選択する選択部と、
この選択部の出力を入力する校正A/Dコンバータと
を有し、前記校正A/Dコンバータにより、前記出力D/Aコンバータ、前記第1、第2の校正D/Aコンバータを校正することを特徴とするものである。
請求項4記載の本発明は、請求項3記載の本発明において、
出力D/Aコンバータの出力と第2の校正D/Aコンバータの出力とを加算し、被試験対象または選択部に出力する加算器を設けたことを特徴とするものである。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図1は本発明の第1の実施例を示した構成図である。ここで、図3と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【0015】
図1において、マルチプレクサ8は選択部で、出力D/Aコンバータ1の出力、校正D/Aコンバータ2〜4の出力、加算器5の出力を選択する。校正A/Dコンバータ9は、校正A/Dコンバータ6の代わりに設けられ、マルチプレクサ8の出力を入力する。コントローラ10は、出力D/Aコンバータ1、校正D/Aコンバータ2〜4の各出力のデジタルデータを与え、校正A/Dコンバータ9からデジタルデータを入力し、校正及び試験信号の出力を制御する。
【0016】
このような装置の動作を以下で説明する。まず、校正動作について説明する。コントローラ10は、マルチプレクサ8に出力D/Aコンバータ1を選択させる。そして、コントローラ10は、出力D/Aコンバータ1にデジタルデータを与える。校正A/Dコンバータ9は、マルチプレクサ8を介して、出力D/Aコンバータ1の出力を測定し、コントローラ10は、出力D/Aコンバータ1の動作確認、例えば、ビット落ち等の確認を行う。また、校正A/Dコンバータ9の出力によりコントローラ10は、出力D/Aコンバータ1に対して校正を行う。
【0017】
次に、コントローラ10は、マルチプレクサ8に校正D/Aコンバータ2を選択させる。そして、コントローラ10は、校正D/Aコンバータ2にデジタルデータを与える。校正A/Dコンバータ9は、マルチプレクサ8を介して、校正D/Aコンバータ2の出力を測定し、コントローラ10は、校正D/Aコンバータ2の動作確認する。また、校正A/Dコンバータ9の出力によりコントローラ10は、校正D/Aコンバータ2に対して校正を行う。
【0018】
同様に、校正D/Aコンバータ3,4に対しても、コントローラ9は、マルチプレクサ8に選択させ、動作確認、校正を行う。
【0019】
次に、コントローラ10は、マルチプレクサ8に加算器5の出力を選択させる。そして、コントローラ10は、出力D/Aコンバータ1に0[V]に対応するデジタルデータを与え、出力D/Aコンバータ1に0[V]を出力させる。そして、校正A/Dコンバータ9が、マルチプレクサ8を介した加算器5の出力を測定し、加算器5の出力が0[V]になるように、コントローラ10は校正D/Aコンバータ4にデータを与え、校正D/Aコンバータ4の出力電圧を調整する。
【0020】
そして、コントローラ10が校正D/Aコンバータ3に出力範囲の中心電圧に対応するデジタルデータを与え、出力D/Aコンバータ1にフルスケールのデータを与える。校正A/Dコンバータ9が加算器5の出力を測定し、加算器5の出力が出力D/Aコンバータ1のフルスケール電圧(最大電圧)に近くなるように、コントローラ7は校正D/Aコンバータ2を調整する。最後に、コントローラ10は、校正D/Aコンバータ3を調整し、加算器5の出力が出力D/Aコンバータ1のフルスケール電圧になるように微調整する。
【0021】
そして、コントローラ10は、出力D/Aコンバータ1、校正D/Aコンバータ2〜4に各種デジタルデータを与え、DUTに各種の試験信号を与え、DUTの試験を行う。
【0022】
このように、マルチプレクサ8により、出力D/Aコンバータ1、校正D/Aコンバータ2〜4を選択し、校正A/Dコンバータ9で測定を行うので、校正A/Dコンバータ9に高精度のA/Dコンバータを必要とせずに、高精度の校正を行うことができる。また、多くのノイズの影響を受けても、校正D/Aコンバータ2〜4の出力により校正が行えるので、ノイズの影響を無視でき、高精度に校正が行える。
【0023】
次に第2の実施例を図2に示し説明する。ここで、図1と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【0024】
図2において、外部装置11は、ICテスタの外部に設けられ、外部A/Dコンバータ111、コントローラ112からなる。外部A/Dコンバータ111は、マルチプレクサ8の出力を入力する。コントローラ112は、外部A/Dコンバータ111の出力を入力する。コントローラ12は、コントローラ10の代わりに設けられ、出力D/Aコンバータ1、校正D/Aコンバータ2〜4の各出力のデジタルデータを与え、外部A/Dコンバータ111からデジタルデータをコントローラ112を介して入力し、校正及び試験信号の出力を制御する。
【0025】
このような装置の動作は、図1に示す装置の校正A/Dコンバータ9の代わりに、ICテスタの外部に設けられた外部装置11により測定を行うだけで他の動作は図1に示す装置の動作と同じなので説明を省略する。
【0026】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、ICテスタの外部に外部基準電圧を設け、図1に示す装置のマルチプレクサ8が外部基準電圧を選択する構成にしてもよい。これにより、外部基準電圧により電圧構成を行うことができる。
【0027】
また、校正D/Aコンバータ2,3を設けた構成を示したが、1つの校正D/Aコンバータで構成してもよい。
【0028】
【発明の効果】
本発明によれば、選択部により、出力D/Aコンバータ、校正D/Aコンバータを選択し、校正A/Dコンバータで測定を行うので、校正A/Dコンバータに高精度のA/Dコンバータを必要とせずに、高精度の校正を行うことができるという効果がある。また、多くのノイズの影響を受けても、校正D/Aコンバータの出力により校正が行えるので、ノイズの影響を無視でき、高精度に校正が行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示した構成図である。
【図2】本発明の第2の実施例を示した構成図である。
【図3】従来のICテスタの構成を示した図である。
【符号の説明】
1 出力D/Aコンバータ
2〜4 校正D/Aコンバータ
8 マルチプレクサ
9 校正A/Dコンバータ
10,12 コントローラ
111 外部A/Dコンバータ
Claims (4)
- 被試験対象を試験するICテスタにおいて、
前記被試験対象に与える試験信号を出力する出力D/Aコンバータと、
この出力D/Aコンバータの試験信号を校正する少なくとも1つの校正D/Aコンバータと、
前記出力D/Aコンバータの出力と校正D/Aコンバータの出力とを選択する選択部と、
この選択部の出力を入力する校正A/Dコンバータと
を有し、前記校正A/Dコンバータにより、前記出力D/Aコンバータ、前記校正D/Aコンバータを校正することを特徴とするICテスタ。 - 校正D/Aコンバータは、ゲイン調整またはオフセット調整を行うことを特徴とする請求項1記載のICテスタ。
- 被試験対象を試験するICテスタにおいて、
前記被試験対象に与える試験信号を出力する出力D/Aコンバータと、
この出力D/Aコンバータに電圧を与え、ゲイン調整を行う第1の校正D/Aコンバータと、
前記出力D/Aコンバータの出力のオフセット電圧を出力する第2の校正D/Aコンバータと、
前記出力D/Aコンバータの出力と前記第1、第2の校正D/Aコンバータの出力と選択する選択部と、
この選択部の出力を入力する校正A/Dコンバータと
を有し、前記校正A/Dコンバータにより、前記出力D/Aコンバータ、前記第1、第2の校正D/Aコンバータを校正することを特徴とするICテスタ。 - 出力D/Aコンバータの出力と第2の校正D/Aコンバータの出力とを加算し、被試験対象または選択部に出力する加算器を設けたことを特徴とする請求項3記載のICテスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002306480A JP2004144490A (ja) | 2002-10-22 | 2002-10-22 | Icテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002306480A JP2004144490A (ja) | 2002-10-22 | 2002-10-22 | Icテスタ |
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JP2004144490A true JP2004144490A (ja) | 2004-05-20 |
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ID=32453208
Family Applications (1)
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JP2002306480A Pending JP2004144490A (ja) | 2002-10-22 | 2002-10-22 | Icテスタ |
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JP (1) | JP2004144490A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016102747A (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 株式会社アドバンテスト | 測定装置 |
-
2002
- 2002-10-22 JP JP2002306480A patent/JP2004144490A/ja active Pending
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