JP2004140168A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板載置台に保持された基板に現像液を供給するノズルに、現像液タンクに接続する処理液供給管を接続し、その処理液供給管に流量調整弁9を設ける。流量調整弁9を、現像液の供給流路を形成した弁箱10内に、供給流路の開度を調整する弁体11を設けて構成する。弁体11に中空で横断面形状角形の弁棒12を一体連結し、弁棒12の先端にナット13を連接し、ナット13に、電動モータ(ステッピングモータ)14によって駆動回転されるネジ軸15を螺合する。電動モータ14の正逆転により弁体11を開閉駆動し、その開度および開閉速度を任意に調整することにより、処理液の供給量を制御する。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、現像液やリンス液や純水などの処理液を半導体ウエハや液晶表示器用のガラス基板などの基板に供給して処理する基板処理装置に係り、特に処理液の流量を制御する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
このような基板処理装置では、例えば、現像液の吐出開始の際に現像液が所定流量になるまでに要する時間(すなわち、現像液の流量調整弁の弁体が所定開度になるまでの時間)、および、現像液の供給停止の際にそれに要する時間(すなわち、弁体が所定開度から全閉になるまでの時間)を調整したり、あるいは、処理液の供給流量を調整したりする必要がある。
【0003】
そのため、従来では、図7の流量調整機構の構成図に示すように、処理液供給管01の途中箇所に流量調整弁02を設けている。
流量調整弁02は、弁体03のピストン04を圧縮コイルスプリング05によって全閉側に変位させるように付勢するとともに、エアー供給管06を通じてエアーを供給することにより、圧縮コイルスプリング05の付勢力に抗して弁体03を開くように、いわゆる単動式エアーシリンダで構成されている。
【0004】
エアー供給管06には、第1の一方弁07と第1の絞り弁08とを設けた弁開速度調整回路09と、第2の一方弁010と第2の絞り弁011とを設けた弁閉速度調整回路012とが介装され、第1および第2の絞り弁08,011の絞り量を調整することで、所定開度になるまでの時間(弁開速度)、および、所定開度から全閉になるまでの時間(弁閉速度)をそれぞれ調整するように構成されている。また、ピストン04に当接して弁体03の最大開度を調整するストッパーボルト013が設けられ、処理液の供給流量を調整するように構成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来では、第1および第2の絞り弁08,011の絞り量の調整やストッパーボルト013の調整を人為的に行うものであり、手間がかかるうえに、精度良く調整することが難しいという問題があった。
【0006】
また、処理液の供給流量を調整する場合、処理液供給管01に設けられた流量計(図示せず)の指示値を見ながら行っているが、近年では、スピンヘッドの多段化に伴い、処理液供給管01の本数が多くなるとともに、ストッパーボルト013の位置と流量計の位置とが離れる傾向にあり、流量計の指示値の確認に手間がかかり、処理液の供給流量の調整に手間がかかる欠点があった。
【0007】
更に、処理途中においては、ストッパーボルト013が固定されているため、処理液の供給元で圧力が変動し、それに起因して流量が変化した場合、処理液の供給流量も変動してしまう欠点があった。
【0008】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであって、処理液の供給量を、簡単な操作で精度良く調整できるようにすることを主たる目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述のような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1記載の発明は、基板を保持する基板保持手段と、前記基板保持手段に保持された基板に処理液を供給するノズルと、前記ノズルに接続された処理液供給管と、前記処理液供給管に設けられて処理液の流量を調整する流量調整弁とを備えた基板処理装置において、前記流量調整弁は、処理液供給路を開閉する弁体と、この弁体に連動連結されて弁体を開閉駆動する電動モータとを含み、かつ、前記電動モータを操作して弁体の開度および開閉速度を調整することにより、処理液の流量を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。
【0010】
(作用・効果)
請求項1記載の発明によれば、電動モータにより弁体を開閉駆動して弁体の開度を調整することにより、処理液の流量を任意に設定することができる。しかも、制御手段で電動モータを操作して弁体の開閉速度を調整することにより、弁体の全閉状態から所定の開度まで開く時間、および、所定の開度から全閉状態に至るまでの時間をそれぞれ任意に調整することができる。
したがって、処理液の供給流量の調整を、人為的な操作によらずに手間少なく、しかも、流量計などで視覚的に確認したりせずに適切に設定して行うことができ、処理液の供給量を、簡単な操作で精度良く調整できる。
また、所定の開度から全閉状態に至るまでの時間を、全閉状態から所定の開度まで開く時間よりも長くするといった調整も容易に行うことができ、弁体をゆっくり閉じてノズルの先端にエアーが逆流するといったことを回避でき、基板の処理品質を向上できる。
【0011】
ところで、基板に種々のフォトレジストを塗付して現像処理を行うと、同一の条件で現像処理を行っているにもかかわらず、フォトレジストの種類によっては現像不良が生じたり、基板にパーティクル(フォトレジストの小さなカス)が付着するという不具合が生じることがある。本発明者らは、これらの原因を考究したところ、それらの原因が、フォトレジストと現像液とのヌレ性の違いにあることを見出すに至った。すなわち、現像液とのヌレ性が悪いフォトレジストの場合、現像液がはじかれるような状態になって、結果的にフォトレジストへの現像液の供給量が不足して現像不良を生じていた。逆に、ヌレ性が良いフォトレジストの場合は、ノズルを基板に近接した状態で移動させて、基板上に現像液を液盛りするときに、ノズルよりも先行して現像液がフォトレジスト上を流れる状態になる。この先行した現像液によりフォトレジストが溶解され、そのときに生じたフォトレジストのカスが、後続するノズルに付着してしまい、結果的に基板を汚染していたのである。
【0012】
これらの現像不良の考究に着目してなされたのが、請求項2に係る発明の基板処理装置である。すなわち、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の基板処理装置において、前記処理液は現像液であり、かつ、前記制御手段は、基板に塗付されたフォトレジストが現像液とのヌレ性が良い場合には現像液の流量を少なくし、そのフォトレジストが現像液とのヌレ性が悪い場合には現像液の流量を多くするように、基板に塗付されたフォトレジストの種類に応じて現像液の流量を制御する。
【0013】
(作用・効果)
請求項2に係る発明によれば、前述した考究結果に基づき、フォトレジストの種類に応じ、制御手段が電動モータを操作することにより、フォトレジストが現像液とのヌレ性が良い場合には現像液の流量を少なくし、そのフォトレジストが現像液とのヌレ性が悪い場合には現像液の流量を多くするように、現像液の流量を制御する。その結果、フォトレジストの種類にかかわらず、現像処理を良好に行える。
【0014】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の基板処理装置において、基板が円形の基板であり、かつ、ノズルが円形の前記基板の表面に沿って基板直径方向に移動するものであり、前記制御手段は、ノズルが基板の円中心から離れている場合には処理液の流量を少なくし、ノズルが基板の円中心の近くにある場合には処理液の流量を多くするように、ノズルの位置に応じて現像液の流量を制御する。
【0015】
(作用・効果)
円形基板の表面に沿ってノズルを直径方向に移動させて処理液を供給する場合、基板の円中心部に比べて、その円中心から離れた部位は表面積が狭いので、必要とする処理液も比較的に少ない。請求項3に記載の発明は、この点に着目したもので、ノズルが基板の円中心から離れている場合には処理液の流量を少なくし、ノズルが基板の円中心の近くにある場合には処理液の流量を多くするように、ノズルの位置に応じて処理液の流量を制御することにより、処理に供されずに基板外に流れる処理液の量を極力少なくすることができる。したがって、処理液の無駄な供給を回避して消費量を少なくでき、経済性を向上できる。
【0016】
また、請求項4に係る発明は、請求項1、2、3のいずれかに記載の基板処理装置において、前記処理液供給管に設けられて処理液流量を測定する流量測定手段を備え、かつ、前記制御手段は、前記流量測定手段で測定される処理液流量が目標流量になるように前記電動モータを操作するフィードバック制御手段であることを特徴としている。
【0017】
(作用・効果)
請求項4に係る発明によれば、実際の処理液流量が目標流量になっているかどうかを確認しながら、処理液流量を自動的に調整することができる。したがって、処理液の供給元で圧力変動が生じても、処理液の供給流量を目標流量に正確に維持でき、基板の処理品質を安定した状態で向上できる。
【0018】
本明細書は次のような課題解決手段も開示している。
(1) 基板上に現像液を液盛りして現像処理を行う現像処理方法において、基板に塗付されたフォトレジストが現像液とのヌレ性が良い場合には現像液の流量を少なくし、そのフォトレジストが現像液とのヌレ性が悪い場合には現像液の流量を多くすることを特徴とする現像処理方法。
【0019】
(作用・効果)
前記(1)の発明によれば、フォトレジストが現像液とのヌレ性が良い場合には、ノズルにフォトレジストのカスが付着して基板を汚染するという不都合を回避することができ、一方、フォトレジストが現像液とのヌレ性が悪い場合には、現像液の供給量が不足して現像不良が生じるといった不都合を回避することができ、フォトレジストの種類にかかわらず、現像処理を良好に行うことができる。
【0020】
(2)処理液を供給するノズルを円形基板の表面に沿って基板直径方向に移動させることにより、基板上に処理液を供給して基板に所望の処理を行う基板処理方法において、ノズルが基板の円中心から離れている場合には処理液の流量を少なくし、ノズルが基板の円中心の近くにある場合には処理液の流量を多くすることを特徴とする基板処理方法。
【0021】
前記(2)の発明によれば、ノズルの位置に応じて処理液の流量を変えることにより、処理に供されずに基板外に流れる処理液の量を極力少なくすることができる。したがって、処理液の無駄な供給を回避して消費量を少なくでき、経済性を向上できる。
【0022】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明に係る基板処理装置の実施例を示す全体構成図である。本実施例では、基板上に現像液を供給して基板上に現像液を液盛することにより、基板の現像処理を行う現像処理装置を例に採って説明する。
【0023】
図1おいて、符号1は円形の基板であり、例えば半導体ウエハである。基板1は、基板保持手段としての基板載置台2に吸着保持される。基板載置台2の下面中心部に電動モータ3の駆動軸が連動連結され、基板1を水平姿勢で回転できるように構成されている。
【0024】
基板載置台2に保持された基板1の上方に、基板1に処理液としての現像液を供給するノズル4が設けられている。ノズル4は、図2の平面図に示すように、長方形状に形成されており、その下面に現像液を吐出するスリット5が設けられている。このノズル4が。円形の基板1の表面に沿って基板直径方向に移動可能に構成されている。
【0025】
ノズル4に、現像液タンク(図示せず)に接続する処理液供給管6が接続されている。処理液供給管6には、フィルター7と流量測定手段としての流量計8と流量調整弁9とが設けられている。
【0026】
流量調整弁9は、図3の縦断面図に示すように、現像液の供給流路を形成した弁箱10内に、供給流路の開閉する弁体11を設けて構成されている。弁体11に中空で横断面形状角形の弁棒12が一体連結されるとともに、弁棒12の先端にナット13が連接されている。ナット13に、電動モータ14によって駆動回転されるネジ軸15が螺合され、電動モータ14の正逆転により、弁体11を開閉駆動し、その開度や開閉速度を任意に調整できるように構成されている。電動モータ14は、例えばステッピングモータで構成させている。
【0027】
流量調整弁9には、制御手段(具体的にはフィードバック制御手段)としてのコントローラ16が接続されている。コントーラ16は、メインコントローラ17から現像液流量の経時的な変化パターンを目標値として与えられる。さらに、コントローラ16は、流量計8から現像液の測定流量が与えられ、その測定流量が目標値に一致するように、流量調整弁9の電動モータ14を操作して弁体11の開度および開閉速度を調整することにより、現像液の流量を制御する。
【0028】
メインコントローラ16からコントローラ16に与えられる現像液流量の目標値について説明する。図4に示すように、現像液流量の目標値は現像液流量の経時的な変化パターンとして与えられる。本実施例では、現像液流量の目標値が2種類用意されている。一つは、基板1に塗付されたフォトレジストが現像液とのヌレ性が比較的に良い場合に設定される目標値Aである。もう一つは、基板1に塗付されたフォトレジストが現像液とのヌレ性が比較的に悪い場合に設定される目標値Bである。目標値Aは比較的に現像液の流量が少なく設定され、目標値Bは比較的に現像液の流量が多く設定されている。
【0029】
フォトレジストと現像液とのヌレ性が良い場合、ノズル4を基板1の表面に近接させた状態で基板表面に沿って移動させながら現像液を吐出すると、現像液がノズル4よりも先行して基板表面に広がる傾向がある。ノズル4よりも先行して広がった現像液によってフォトレジストが溶解する。そのときに生じたフォトレジストのカスが後続するノズル4に付着して、基板1の表面を汚染することがある。このように現像液に対してヌレ性の良いフォトレジストの場合に、現像液の供給量を比較的に少なくすることにより、ノズル4よりも先行して現像液が広がるという現象を抑制して、基板1の汚染を防止することができる。
【0030】
一方、フォトレジストと現像液とのヌレ性が悪い場合、ノズル4から吐出された現像液が基板表面上を広がりにくいので、結果としてフォトレジストに供給される現像液が不足して現像不良が生じることがある。このように現像液に対してヌレ性の悪いフォトレジストの場合に、現像液の供給量を比較的に多くすることにより、現像液の広がりを助長して、現像不良を防止することができる。
【0031】
なお、本実施例では現像液流量の2種類の目標値を用いたが、レジストの種類に応じて更に多くの目標値を準備すれば一層、基板処理の品質向上を図ることができる。
【0032】
また、本実施例で設定される目標値A、Bの別の特徴は、ノズル4が基板1の円中心から離れている場合には現像液の流量を少なくし、ノズル4が基板1の円中心の近くにある場合には現像液の流量を多くするように、ノズル4の位置に応じて現像液の流量目標値を変えた点にある。具体的には、ノズル4が基板1の端部から中心部に近づくに従って流量目標値が次第に多くなり、ノズル4が基板1の中心部から遠ざかるに従って流量目標値が次第に少なくなっている。
【0033】
このようにノズル4の位置に応じて流量目標値を変える理由は次のとおりである。ノズル4が円形基板の端部に対向しているとき、ノズル4から現像液の供給を受けるべき基板部位の面積は小さい。一方、ノズル4が円形基板の中心部の対向しているとき、ノズル4から現像液の供給を受けるべき基板部位の面積は大きい。したがって、ノズル4の位置に関わらず流量目標値を一定にしておくと、その目標値は面積の大きな基板中心部に合わせて多めの流量値に設定しておく必要があるので、面積の小さな基板端部では基板処理に供されずに無駄に捨てられる現像液の量が多くなってしまう。本実施例ではこのような現像液の無駄をなくすために、基板端部に近いほど流量目標値を小さく設定している。
【0034】
本実施例で設定される目標値A、Bの更に別の特徴は、現像液の吐出開始の際に、現像液が所定流量になるまでに要する時間TO(すなわち、流量調整弁9の弁体11が所定開度になるまでの時間)、および、現像液の供給停止の際にそれに要する時間TC(すなわち、弁体11が所定開度から全閉になるまでの時間)を設定した点にある。例えば、現像液の供給停止を急激に行う(弁体11を急に閉じる)と、それまでの現像液の吐出勢いによりノズル4の内部に貯留されるべき現像液もでも吐出され、それと入れ代わりにノズル4の内部に空気が進入し、次の基板現像処理のときに現像液に混ざって気泡が吐出され、この気泡が基板表面に付着することにより、現像不良が発生することがある。本実施例では現像液の供給停止に要する時間TCを遅く(例えば、吐出開始に要する時間TOが0.5±0.1秒であるのに対して、供給停止に要する時間TCを1.2±0.1秒に)設定しておくことにより、上記の不都合を回避している。
【0035】
次に上述した構成を備えた実施例装置の動作を説明する。
メインコントローラ17は、基板1に塗付されたフォトレジストの種類に応じた、現像液の流量目標値の変化パターンを選択する。本実施例では図4に示した目標値A、Bのいずれかの変化パターンが選択される。メインコントローラ17は、選択した目標値変化パターンを参照して現像液の吐出開始から供給停止までの時々刻々の流量目標値をコントローラ16に順に与える。コントローラ16は、流量計8で測定された現像液の流量が、時々刻々に与えられる流量目標値に一致するように、流量制御弁9の電動モータ14を操作して弁体11の開度および開閉速度を調整する。
【0036】
具体的には、図4に示した目標値A、Bのいずれかに従って、現像液の吐出開始の際は、所定流量になるまで弁体11が所定の速度で開かれてゆく。所定の流量になった後は、ノズル4が基板端部から基板中心部に向かうに従って次第に弁体11が開かれてゆくことにより、現像液の流量が次第に増えて行く。ノズル4が基板中心部にあるときは弁体11が一定の開度に維持されることにより、現像液の流量が一定値に維持される。ノズル4が基板中心部から遠ざかるに従って弁体11が閉じられてゆくことにより、現像液の流量が次第に減ってゆく。そして、所定流量に達すると、弁体11がゆっくりと閉じられて現像液の供給が停止される。
【0037】
以上の現像液の流量制御は、流量計8で測定された現像液流量が、メインコントローラ17から時々刻々に設定される流量目標値に一致するよう電動モータが操作されるフィードバック制御であるので、現像液の供給元で圧力変動が発生しても、処理液の供給流量を目標値に正確に維持することができる。
【0038】
上述実施例では、現像処理装置を例に採って説明したが、本発明は、基板に薬液などの処理液を供給して処理を行う種々の基板処理装置に適用することができる。
【0039】
また、本発明は、スリット5を設けたノズル4を備える基板処理装置に限らず、例えば、円孔を設けたノズルなど、各種のノズルを備える基板処理装置に適用できる。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、電動モータにより弁体を開閉駆動して弁体の開度を調整することにより、処理液の流量を任意に設定することができる。しかも、制御手段で電動モータを操作して弁体の開閉速度を調整することにより、弁体の全閉状態から所定の開度まで開く時間、および、所定の開度から全閉状態に至るまでの時間をそれぞれ任意に調整することができる。したがって、処理液の供給流量の調整を、人為的な操作によらずに手間少なく、しかも、流量計などで視覚的に確認したりせずに適切に設定して行うことができ、処理液の供給量を、簡単な操作で精度良く調整できる。また、所定の開度から全閉状態に至るまでの時間を、全閉状態から所定の開度まで開く時間よりも長くするといった調整も容易に行うことができ、弁体をゆっくり閉じてノズルの先端にエアーが逆流するといったことを回避でき、基板の処理品質を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る基板処理装置の実施例を示す全体構成図である。
【図2】実施例装置の要部の平面図である。
【図3】流量調整弁の縦断面図である。
【図4】現象液の流量目標値の経時的変化を示すグラフである。
【図5】従来の流量調整機構の構成図である。
【符号の説明】
1…基板
2…基板載置台(基板保持手段)
4…ノズル
6…処理液供給管
8…流量計(流量測定手段)
9…流量調整弁
11…弁体
14…電動モータ
16…コントローラ(制御手段)
17…メインコントローラ
Claims (4)
- 基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持された基板に処理液を供給するノズルと、
前記ノズルに接続された処理液供給管と、
前記処理液供給管に設けられて処理液の流量を調整する流量調整弁と
を備えた基板処理装置において、
前記流量調整弁は、処理液供給路を開閉する弁体と、この弁体に連動連結されて弁体を開閉駆動する電動モータとを含み、
かつ、前記電動モータを操作して弁体の開度および開閉速度を調整することにより、処理液の流量を制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記処理液は現像液であり、
かつ、前記制御手段は、基板に塗付されたフォトレジストが現像液とのヌレ性が良い場合には現像液の流量を少なくし、そのフォトレジストが現像液とのヌレ性が悪い場合には現像液の流量を多くするように、基板に塗付されたフォトレジストの種類に応じて現像液の流量を制御する基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置において、
基板が円形の基板であり、かつ、ノズルが円形の前記基板の表面に沿って基板直径方向に移動するものであり、
前記制御手段は、ノズルが基板の円中心から離れている場合には処理液の流量を少なくし、ノズルが基板の円中心の近くにある場合には処理液の流量を多くするように、ノズルの位置に応じて現像液の流量を制御する基板処理装置。 - 請求項1、2、3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記処理液供給管に設けられて処理液流量を測定する流量測定手段を備え、
かつ、前記制御手段は、前記流量測定手段で測定される処理液流量が目標流量になるように前記電動モータを操作するフィードバック制御手段である基板処理装置。
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