JP2004140056A - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
【課題】被処理体と静電チャックとの熱伝導性が良好で、被処理体の温度分布を均一化することができる静電チャックを提供する。
【解決手段】被処理体を静電力で吸着保持する静電チャックシート1を有する静電チャックAにおいて、静電チャックシート1上に、フッ素ゴム材料に高熱伝導性充填剤を配合した伝熱シート20を配置する。
【選択図】 図1
【解決手段】被処理体を静電力で吸着保持する静電チャックシート1を有する静電チャックAにおいて、静電チャックシート1上に、フッ素ゴム材料に高熱伝導性充填剤を配合した伝熱シート20を配置する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被処理体を静電力で吸着保持するための静電チャックシートを設けた静電チャックに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造プロセス等に用いる処理装置においては、静電力により被処理体をサセプタ上に吸着保持するための静電チャックが採用されている。特に、最近では、垂直なパターン形状と高い選択比を得るために、被処理体の反応表面を低温化する低温処理方法が注目されている。
【0003】
かかる低温処理方法では、静電チャックは、被処理体の吸着保持のみならず、被処理体の温度制御の面でも重要な役割を果たすため、その構造に対する研究開発が進められている。
【0004】
図4及び図5を参照して従来の静電チャックの構造について以下に説明する。引用文献1にあるように、静電チャック100は、例えばポリイミド樹脂製の静電チャックシート101と、例えばアルミニウム製の円形のサセプタ102とから構成されている。
【0005】
静電チャックシート101は、一対のポリイミド樹脂フィルム103、104を重ね合わせ、その中に銅箔などの薄い導電膜105を封入してなるもので、サセプタ102の上面の高台部分106に載置可能なように平坦な円形シート状に形成されている。この静電チャック100は、使用時には、静電チャックシート101と被処理体W、例えば半導体ウェハーとの間に導電膜105を介して電圧を印加し、両者の間に発生したクーロン力により被処理体Wを吸着するように作用する。
【0006】
しかし、処理室などの真空雰囲気において、静電チャック100を用いて被処理体Wを静電チャックシート101上に吸着保持すると、被処理体の凹凸等により両者の間に真空断熱層が形成されるので、上述のように被処理体を低温処理する場合には、被処理体Wの反応表面の温度制御に対する障害となるおそれがある。
【0007】
そのため、静電チャックシート101と被処理体Wとの間に、冷却ガス、例えばヘリウムなどの不活性ガスを供給することにより、伝熱特性を促進する静電チャック構造が提案されている。
【0008】
図4に示すように、サセプタ102の内部には、図示しない冷媒源から冷却ガス供給管路107を介して導入された冷却ガスを水平方向に流通させるための第1の流通路108と、その第1の流通路108から冷却ガスを垂直方向に案内するための第2の流通路109が形成されている。第1の流通路108は、サセプタ102全体に冷却ガスを流通させることが可能なように、格子状に張り巡らされており、上記サセプタ102の側面にある加工用開口部は封止部材110、例えばプラグなどにより封止されている。
【0009】
また、第2の流通路109は、サセプタ102の高台部106の表面に冷却ガスを放出するための開口111を有している。静電チャックシート101は、そのシートを垂直方向に貫通する貫通孔112を備えており、その貫通孔112の下方開口113は、第2の流通路109の上方開口111と整合する位置に配置され、冷却ガスを、第1の流通路108、第2の流通路109及び貫通孔112を順次介して、静電チャックシート101と上記被処理体Wとの間の空間に供給するように構成されている。
【0010】
しかしながら、上記のような構造を有する静電チャック100を製造するにあたっては、第1の流通路108を形成するために、サセプタ102の側面に加工用開口部110を穿設する必要があり、しかも、最終的にはその加工用開口部110を何らかの手段により封止せねばならないため、静電チャック100の構造が複雑となり、比較的多くの製作工数を必要としていた。
【0011】
これに対して、冷却媒体である不活性ガスを静電チャックシートの裏面全体にわたり供給可能な溝条を形成することが提案されている。
【0012】
また、被処理体と静電チャックシート両者の間の真空断熱層の影響を軽減する方法として、ポリイミド樹脂に充填剤を混合した積層体を設け、これらの密着性を高める提案がなされている(例えば、引用文献2参照。)。
【0013】
また、熱パッドの装着による伝熱性の改善が提案されている(例えば、引用文献3参照。)。
【0014】
【特許文献1】
特許第3021217号公報
【特許文献2】
特公平5−87177号公報
【特許文献3】
特開平11−87471号公報
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来技術の場合には、下記のような問題が生じていた。
【0016】
すなわち、冷却媒体である不活性ガスを静電チャックシートの裏面全体にわたり供給可能な溝条を形成する構成では、静電チャックの構造が複雑であるとともに、溝条や開口部の位置・大きさの形状設計や伝熱媒体の流量調整に多くの工程を必要としていた。さらに、静電チャック裏面全体にわたり伝熱媒体を均等にかつ迅速に供給することが難しく、被処理体の反応表面温度の均一性が不十分な状態となり、温度制御に対する障害にもなっていた。
【0017】
また、被処理体と静電チャックシート両者の間にポリイミド樹脂に充填剤を混合した積層体を設けた構成や、熱パッドを装着した構成においても、誘電損失を小さく保持しながらも、被処理体と静電チャックとの熱伝導性(熱伝導率及び密着性に起因)に関わる上記問題の十分な解決には至らなかった。
【0018】
本発明は上記の従来技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、被処理体と静電チャックとの熱伝導性が良好で、被処理体の温度分布を均一化することができる静電チャックを提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明にあっては、
被処理体を静電力で吸着保持する静電チャックシートを有する静電チャックにおいて、
前記静電チャックシート上に、フッ素ゴム材料に高熱伝導性充填剤を配合した伝熱シートを配置したことを特徴とする。
【0020】
この構成によれば、複雑な形状でなく冷却機構を用いない簡易な構成で、静電チャックと被処理体との熱の移動を容易にし、被処理体の表面温度を均一化することができる。
【0021】
また、被処理体を静電力で吸着保持する静電チャックシートを有する静電チャックにおいて、
前記静電チャックシート上に、ゴム材料と金属材料とを積層した伝熱シートを配置したことを特徴とする。
【0022】
この構成によれば、積層された金属材料により伝熱シート内での熱の移動が更に容易となり、被処理体の表面温度の均一性が大幅に改善できる。
【0023】
前記ゴム材料は、フッ素ゴム材料に高熱伝導性充填剤を配合した材料であることが好適である。
【0024】
この構成によれば、フッ素ゴム材料及び高熱伝導性充填剤により耐プラズマ性の向上及びアウトガス量の抑制を図ることができる。
【0025】
前記高熱伝導整粒子は、SiCおよび/またはカーボンファイバーであることが好適である。
【0026】
この構成によれば、ともに熱伝導率が高いことから、より伝熱性能に優れる伝熱シートが得られる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して、この発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【0028】
図1〜図3を参照して、本発明の実施の形態に係る静電チャックについて説明する。図1は本実施の形態に係る静電チャックの概略構成断面図である。
【0029】
本実施の形態に係る静電チャックAは、ポリイミド樹脂製の静電チャックシート1と、アルミニウム製の円形のサセプタ2と、誘電損失が小さく熱伝導性に優れた伝熱シート20とから構成されている。
【0030】
静電チャックシート1は、一対のポリイミド樹脂フィルム3,4を重ね合わせ、その中に銅箔などの薄い導電膜5を封入してなるもので、サセプタ2の上面の高台部分に載置可能なように平坦な円形シート状に形成されている。この静電チャックAは、使用時には、静電チャックシート1及び伝熱シート20と被処理体W、例えば半導体ウェハーとの間に導電膜5を介して電圧を印加し、両者の間に発生したクーロン力により被処理体Wを吸着するように作用する。
【0031】
したがって、使用時には伝熱シート20を挟んで静電チャックシート1が被処理体Wを吸引するため、伝熱シート20を通して被処理体Wと静電チャックシート1との間で熱が移動し、被処理体の反応表面を低温化できるとともに、被処理体の反応面内での温度分布を均一化することができる。
【0032】
本実施の形態においては、静電チャックA上部(静電チャックシート1がある場合には静電チャックシート1の上、静電チャックシート1が無い場合にはサセプタ2の上)に、エラストマーにシリコン系充填剤、および/またはカーボン系充填剤を混合してなる伝熱シート20を設けている。
【0033】
また、ステンレス等の薄い金属箔の上下面に上記エラストマーにシリコン系充填剤、および/またはカーボン系充填剤を混合してなる伝熱シート20を設けることで、被処理体の表面温度の均一性が大幅に改善できる。
【0034】
なお、本実施の形態におけるサセプタの形状及び構造は特に限定されていないが、より冷却能力を必要とする場合には、従来技術にあるような冷却ガスを導入するための流通路や貫通孔を設けた構成であっても好適に用いることができるのはもちろんである。また、特に必要のない場合は、冷却機構をもたず上記流通路や貫通孔のような複雑な加工も必要としない形状としてもよい。
【0035】
伝熱シート20は、静電チャックの使用目的から誘電損失が小さい特性を有することが必要で、エラストマー及び充填剤等の用いられる材料も誘電損失の小さいものが好ましく、かつ熱伝導性等との兼ね合いから以下に記載の材料を好適に用いることができる。
【0036】
エラストマーとしては、プラズマを使用するプロセスに用いられることから、耐プラズマ性が要求され、また、真空中下で用いられることから、これら雰囲気中でのアウトガス量及びパーティクル発生量が少ないことも要求される。
【0037】
したがって、フッ素系ゴム、パーフルオロ系ゴムを用いることが望ましく、フッ化ビニリデン、クロロトリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、パーフルオロ(メチルビニルエーテル)、パーフルオロ(プロピルビニルエーテル)、などのフッ素系モノマーからなる重合体、共重合体及びそれらの混合物が用いられる。
【0038】
なお、耐プラズマ性は、使用するガス種、例示すればO2、CF4、Arなどのプラズマ中に該材料を置き、その前後での重量変化や体積変化で評価することができる(変化が小さいほど耐プラズマ性が高い)。
【0039】
また、エラストマーに充填されるシリコン系充填剤としては、耐プラズマ性が高く、かつ熱伝導率が高いことからSiCが最適であるが、Siも用いることができる。また、カーボン系充填剤は、熱伝導率の観点からカーボンファイバーを用いることが好ましく、特にPAN系のカーボンファイバーであることが望ましい。そして、静電チャックの機能から伝熱シートは数10〜100μm程度の厚さとなることから、ファイバーの径は10μm以下であることが望ましい。さらには、このシリコン系充填剤とカーボンファイバーを同時に添加することで、より伝熱性能に優れる伝熱シートが得られる。
【0040】
また、これらの充填剤の添加量は、少ないと伝熱性が得られず、一方で多過ぎると伝熱シートの成形性が損なわれるので、エラストマーに対して1〜200phr、好ましくは5〜100phrで用いられる。
【0041】
上述のように、静電チャックの性質上、伝熱シートの誘電損失は小さい方が良く、シートの厚さは薄くまた硬さ(充填剤の配合量などに依存)は高い方が好ましいが、被処理体等との密着性などの性質と両立するように、厚さ及び硬さは適宜以下の条件内で調節する。この場合、必要な静電チャック力を得るためには、やはり厚さは薄い方が好ましいが、薄過ぎるとシートとしての強度が保持できないため、1〜100μm、好ましくは、10〜60μmとする。また、伝熱シートの熱伝導率は、高い方が好ましく、0.8W/m・K以上であることが望ましく、伝熱シートの硬度、粗さを調節することによって達成する。以上のことから、伝熱シートの硬度(JISA)は20〜80、粗さはRa=20μm以下であることが最適である。
【0042】
【実施例】
次に、図1に示した伝熱シートの実施例について以下に述べる。
【0043】
(実施例1)
以下の配合をロールで混練し、得られた生地を50μm厚のシート状に加硫(一次加硫180℃×4min、二次加硫220℃×20hr)した。
【0044】
(1)フッ素系ゴム(フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−パーフルオロ(メチルビニルエーテル)共重合体とフッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン共重合体のブレンドゴム):100phr
(2)SiC(屋久島電工社製/製品番号0Y−15):10phr
(3)日本油脂社製パーオキサイド(製品名パークミルD):5phr
【0045】
(実施例2)
実施例1のうち、屋久島電工社製SiCの代わりに、PAN系カーボンファイバー(東レ社製/トレカミルドファイバーMLD−30)を10phr添加して生地を得た。
【0046】
(実施例3)
実施例1のうち、屋久島電工社製SiCの添加量を8phrにし、さらに、PAN系カーボンファイバー(東レ社製/トレカミルドファイバーMLD−30)を5phr添加して生地を得た。
【0047】
(実施例4)
厚さ20μmのステンレス箔の表面を塗布型クロメート処理し、これをサンドイッチする形で実施例1の生地を用いて加硫成形して、60μmの伝熱シートを得た。
【0048】
(実施例5)
実施例1のうち、屋久島電工社製SiCの代わりに、住友大阪セメント社製CVD−SiC(グレード:T1)を10phr添加して生地を得た。
【0049】
(比較例1)
実施例1のうち、フッ素系ゴムの代わりに、ゼオン社製H−NBR(製品番号:セットポール2000LL)を用いて同様の伝熱シートを得た。
【0050】
(比較例2)
日本メクトロン社製ポリイミドワニスに、(株)アドマテックス社製アルミナ(製品番号:A0−502)を10phr混合し、PTFE板上にキャストさせて乾燥して伝熱シートを得た。
【0051】
(評価方法)
上記のそれぞれの伝熱シートを、図2に示す2周波励起平行平板RIE装置(以下「評価装置」という)50を用いて、ウェハーの温度測定、及び、伝熱シートの損傷(耐プラズマ性)を評価した。
【0052】
評価装置50は、下部電極ホルダー51の上面を静電チャックステージ52として、その上部に静電チャックAを備えている。静電チャックAと下部電極ホルダー51との間には静電チャックAの熱を吸熱するための水冷ジャケット53が設けられている。そして下部電極と上部電極54との間に直流電圧に交流電圧を重畳したバイアス電圧を印加し、プラズマを発生させる。
【0053】
伝熱シートの熱伝達の評価に関しては、温度調節を100.0℃にセットし、φ300mmのウェハー温度を中心部、最外周及び径方向の1/2の位置について測定した。伝熱シートの耐プラズマ性に関しては、ウェハーは無しで伝熱シートが直接プラズマに曝されるようにした。その際に用いたエッチングガスはO2及びCF4であり、プラズマ照射を12時間行った後の体積変化率を測定した。
【0054】
また、アウトガス発生量の評価として、同じ表面積の伝熱シートの試料を真空中(10−3〜10−4torr)で200℃に加熱し、揮発成分を液体窒素を用いて冷却してトラップし、その重量を求めた。
【0055】
図3は、各実施例及び各比較例に関して上記評価を行った結果を表にまとめたものである。
【0056】
図3によれば、熱伝導性及びウェハー表面の温度分布の均一化に関しては、実施例1乃至5のいずれも、比較例、特に熱伝導率の低い比較例2と比べて良好な結果となっている。比較例2の結果が各実施例のシートの粗さとほぼ同様にもかかわらず悪いのは、熱伝導率が低く、硬度も大きいため、伝熱シートとウェハーとの密着性が悪く接触面積が小さくなり、熱の伝導がしにくいためである。
【0057】
また、耐プラズマ性評価及びアウトガスの発生量に関しては、フッ素系ゴムを用いた実施例1乃至5のいずれも、比較例、特にゼオン社製H−NBRを用いた比較例1に比べて良好な結果となっている。また、SiC及びカーボンファイバーを配合した伝熱シートは熱伝導率が高くウェハーの表面温度の均一性に優れており、また、アウトガスの発生も少ないことがわかる。
【0058】
したがって、本実施の形態の伝熱シートを被処理体と静電チャックとの間に配置することで、伝熱媒体であるガスの流量調節などの工数を大幅に削減することができるとともに、静電チャックと被処理体との温度差が小さく、かつ被処理体の温度分布が均一になることから、被処理体表面の温度制御性が向上してエッチングレートが均一となり、製品性能の安定化を図ることができる。
【0059】
また、本実施の形態の伝熱シートでは、材質及び形状寸法の特性から、アウトガス、パーティクルなどの耐プラズマ性に優れ(製品の品質の安定化)、かつ誘電損失が小さく被処理体の保持力を十分に確保できる。
【0060】
【発明の効果】
以上説明したように、フッ素ゴム材料に高熱伝導性充填剤を配合した伝熱シートを静電チャックシート上に配置することで、基板と静電チャックとの間の熱の移動を容易にし、基板内での温度分布の均一化を促進することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態に係る静電チャックの概略断面図である。
【図2】静電チャックの特性を評価するための評価装置の概略断面図である。
【図3】実施例及び比較例の特性をまとめた表である。
【図4】従来の静電チャックの概略断面図である。
【図5】従来の静電チャックの分解斜視図である。
【符号の説明】
1 静電チャックシート
2 サセプタ
3,4 ポリイミド樹脂フィルム
5 導電膜
20 伝熱シート
50 評価装置
100 静電チャック
101 静電チャックシート
102 サセプタ
103,104 ポリイミド樹脂フィルム
105 導電膜
106 高台部分
A 静電チャック
W 被処理体
【発明の属する技術分野】
本発明は、被処理体を静電力で吸着保持するための静電チャックシートを設けた静電チャックに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造プロセス等に用いる処理装置においては、静電力により被処理体をサセプタ上に吸着保持するための静電チャックが採用されている。特に、最近では、垂直なパターン形状と高い選択比を得るために、被処理体の反応表面を低温化する低温処理方法が注目されている。
【0003】
かかる低温処理方法では、静電チャックは、被処理体の吸着保持のみならず、被処理体の温度制御の面でも重要な役割を果たすため、その構造に対する研究開発が進められている。
【0004】
図4及び図5を参照して従来の静電チャックの構造について以下に説明する。引用文献1にあるように、静電チャック100は、例えばポリイミド樹脂製の静電チャックシート101と、例えばアルミニウム製の円形のサセプタ102とから構成されている。
【0005】
静電チャックシート101は、一対のポリイミド樹脂フィルム103、104を重ね合わせ、その中に銅箔などの薄い導電膜105を封入してなるもので、サセプタ102の上面の高台部分106に載置可能なように平坦な円形シート状に形成されている。この静電チャック100は、使用時には、静電チャックシート101と被処理体W、例えば半導体ウェハーとの間に導電膜105を介して電圧を印加し、両者の間に発生したクーロン力により被処理体Wを吸着するように作用する。
【0006】
しかし、処理室などの真空雰囲気において、静電チャック100を用いて被処理体Wを静電チャックシート101上に吸着保持すると、被処理体の凹凸等により両者の間に真空断熱層が形成されるので、上述のように被処理体を低温処理する場合には、被処理体Wの反応表面の温度制御に対する障害となるおそれがある。
【0007】
そのため、静電チャックシート101と被処理体Wとの間に、冷却ガス、例えばヘリウムなどの不活性ガスを供給することにより、伝熱特性を促進する静電チャック構造が提案されている。
【0008】
図4に示すように、サセプタ102の内部には、図示しない冷媒源から冷却ガス供給管路107を介して導入された冷却ガスを水平方向に流通させるための第1の流通路108と、その第1の流通路108から冷却ガスを垂直方向に案内するための第2の流通路109が形成されている。第1の流通路108は、サセプタ102全体に冷却ガスを流通させることが可能なように、格子状に張り巡らされており、上記サセプタ102の側面にある加工用開口部は封止部材110、例えばプラグなどにより封止されている。
【0009】
また、第2の流通路109は、サセプタ102の高台部106の表面に冷却ガスを放出するための開口111を有している。静電チャックシート101は、そのシートを垂直方向に貫通する貫通孔112を備えており、その貫通孔112の下方開口113は、第2の流通路109の上方開口111と整合する位置に配置され、冷却ガスを、第1の流通路108、第2の流通路109及び貫通孔112を順次介して、静電チャックシート101と上記被処理体Wとの間の空間に供給するように構成されている。
【0010】
しかしながら、上記のような構造を有する静電チャック100を製造するにあたっては、第1の流通路108を形成するために、サセプタ102の側面に加工用開口部110を穿設する必要があり、しかも、最終的にはその加工用開口部110を何らかの手段により封止せねばならないため、静電チャック100の構造が複雑となり、比較的多くの製作工数を必要としていた。
【0011】
これに対して、冷却媒体である不活性ガスを静電チャックシートの裏面全体にわたり供給可能な溝条を形成することが提案されている。
【0012】
また、被処理体と静電チャックシート両者の間の真空断熱層の影響を軽減する方法として、ポリイミド樹脂に充填剤を混合した積層体を設け、これらの密着性を高める提案がなされている(例えば、引用文献2参照。)。
【0013】
また、熱パッドの装着による伝熱性の改善が提案されている(例えば、引用文献3参照。)。
【0014】
【特許文献1】
特許第3021217号公報
【特許文献2】
特公平5−87177号公報
【特許文献3】
特開平11−87471号公報
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来技術の場合には、下記のような問題が生じていた。
【0016】
すなわち、冷却媒体である不活性ガスを静電チャックシートの裏面全体にわたり供給可能な溝条を形成する構成では、静電チャックの構造が複雑であるとともに、溝条や開口部の位置・大きさの形状設計や伝熱媒体の流量調整に多くの工程を必要としていた。さらに、静電チャック裏面全体にわたり伝熱媒体を均等にかつ迅速に供給することが難しく、被処理体の反応表面温度の均一性が不十分な状態となり、温度制御に対する障害にもなっていた。
【0017】
また、被処理体と静電チャックシート両者の間にポリイミド樹脂に充填剤を混合した積層体を設けた構成や、熱パッドを装着した構成においても、誘電損失を小さく保持しながらも、被処理体と静電チャックとの熱伝導性(熱伝導率及び密着性に起因)に関わる上記問題の十分な解決には至らなかった。
【0018】
本発明は上記の従来技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、被処理体と静電チャックとの熱伝導性が良好で、被処理体の温度分布を均一化することができる静電チャックを提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明にあっては、
被処理体を静電力で吸着保持する静電チャックシートを有する静電チャックにおいて、
前記静電チャックシート上に、フッ素ゴム材料に高熱伝導性充填剤を配合した伝熱シートを配置したことを特徴とする。
【0020】
この構成によれば、複雑な形状でなく冷却機構を用いない簡易な構成で、静電チャックと被処理体との熱の移動を容易にし、被処理体の表面温度を均一化することができる。
【0021】
また、被処理体を静電力で吸着保持する静電チャックシートを有する静電チャックにおいて、
前記静電チャックシート上に、ゴム材料と金属材料とを積層した伝熱シートを配置したことを特徴とする。
【0022】
この構成によれば、積層された金属材料により伝熱シート内での熱の移動が更に容易となり、被処理体の表面温度の均一性が大幅に改善できる。
【0023】
前記ゴム材料は、フッ素ゴム材料に高熱伝導性充填剤を配合した材料であることが好適である。
【0024】
この構成によれば、フッ素ゴム材料及び高熱伝導性充填剤により耐プラズマ性の向上及びアウトガス量の抑制を図ることができる。
【0025】
前記高熱伝導整粒子は、SiCおよび/またはカーボンファイバーであることが好適である。
【0026】
この構成によれば、ともに熱伝導率が高いことから、より伝熱性能に優れる伝熱シートが得られる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して、この発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【0028】
図1〜図3を参照して、本発明の実施の形態に係る静電チャックについて説明する。図1は本実施の形態に係る静電チャックの概略構成断面図である。
【0029】
本実施の形態に係る静電チャックAは、ポリイミド樹脂製の静電チャックシート1と、アルミニウム製の円形のサセプタ2と、誘電損失が小さく熱伝導性に優れた伝熱シート20とから構成されている。
【0030】
静電チャックシート1は、一対のポリイミド樹脂フィルム3,4を重ね合わせ、その中に銅箔などの薄い導電膜5を封入してなるもので、サセプタ2の上面の高台部分に載置可能なように平坦な円形シート状に形成されている。この静電チャックAは、使用時には、静電チャックシート1及び伝熱シート20と被処理体W、例えば半導体ウェハーとの間に導電膜5を介して電圧を印加し、両者の間に発生したクーロン力により被処理体Wを吸着するように作用する。
【0031】
したがって、使用時には伝熱シート20を挟んで静電チャックシート1が被処理体Wを吸引するため、伝熱シート20を通して被処理体Wと静電チャックシート1との間で熱が移動し、被処理体の反応表面を低温化できるとともに、被処理体の反応面内での温度分布を均一化することができる。
【0032】
本実施の形態においては、静電チャックA上部(静電チャックシート1がある場合には静電チャックシート1の上、静電チャックシート1が無い場合にはサセプタ2の上)に、エラストマーにシリコン系充填剤、および/またはカーボン系充填剤を混合してなる伝熱シート20を設けている。
【0033】
また、ステンレス等の薄い金属箔の上下面に上記エラストマーにシリコン系充填剤、および/またはカーボン系充填剤を混合してなる伝熱シート20を設けることで、被処理体の表面温度の均一性が大幅に改善できる。
【0034】
なお、本実施の形態におけるサセプタの形状及び構造は特に限定されていないが、より冷却能力を必要とする場合には、従来技術にあるような冷却ガスを導入するための流通路や貫通孔を設けた構成であっても好適に用いることができるのはもちろんである。また、特に必要のない場合は、冷却機構をもたず上記流通路や貫通孔のような複雑な加工も必要としない形状としてもよい。
【0035】
伝熱シート20は、静電チャックの使用目的から誘電損失が小さい特性を有することが必要で、エラストマー及び充填剤等の用いられる材料も誘電損失の小さいものが好ましく、かつ熱伝導性等との兼ね合いから以下に記載の材料を好適に用いることができる。
【0036】
エラストマーとしては、プラズマを使用するプロセスに用いられることから、耐プラズマ性が要求され、また、真空中下で用いられることから、これら雰囲気中でのアウトガス量及びパーティクル発生量が少ないことも要求される。
【0037】
したがって、フッ素系ゴム、パーフルオロ系ゴムを用いることが望ましく、フッ化ビニリデン、クロロトリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、パーフルオロ(メチルビニルエーテル)、パーフルオロ(プロピルビニルエーテル)、などのフッ素系モノマーからなる重合体、共重合体及びそれらの混合物が用いられる。
【0038】
なお、耐プラズマ性は、使用するガス種、例示すればO2、CF4、Arなどのプラズマ中に該材料を置き、その前後での重量変化や体積変化で評価することができる(変化が小さいほど耐プラズマ性が高い)。
【0039】
また、エラストマーに充填されるシリコン系充填剤としては、耐プラズマ性が高く、かつ熱伝導率が高いことからSiCが最適であるが、Siも用いることができる。また、カーボン系充填剤は、熱伝導率の観点からカーボンファイバーを用いることが好ましく、特にPAN系のカーボンファイバーであることが望ましい。そして、静電チャックの機能から伝熱シートは数10〜100μm程度の厚さとなることから、ファイバーの径は10μm以下であることが望ましい。さらには、このシリコン系充填剤とカーボンファイバーを同時に添加することで、より伝熱性能に優れる伝熱シートが得られる。
【0040】
また、これらの充填剤の添加量は、少ないと伝熱性が得られず、一方で多過ぎると伝熱シートの成形性が損なわれるので、エラストマーに対して1〜200phr、好ましくは5〜100phrで用いられる。
【0041】
上述のように、静電チャックの性質上、伝熱シートの誘電損失は小さい方が良く、シートの厚さは薄くまた硬さ(充填剤の配合量などに依存)は高い方が好ましいが、被処理体等との密着性などの性質と両立するように、厚さ及び硬さは適宜以下の条件内で調節する。この場合、必要な静電チャック力を得るためには、やはり厚さは薄い方が好ましいが、薄過ぎるとシートとしての強度が保持できないため、1〜100μm、好ましくは、10〜60μmとする。また、伝熱シートの熱伝導率は、高い方が好ましく、0.8W/m・K以上であることが望ましく、伝熱シートの硬度、粗さを調節することによって達成する。以上のことから、伝熱シートの硬度(JISA)は20〜80、粗さはRa=20μm以下であることが最適である。
【0042】
【実施例】
次に、図1に示した伝熱シートの実施例について以下に述べる。
【0043】
(実施例1)
以下の配合をロールで混練し、得られた生地を50μm厚のシート状に加硫(一次加硫180℃×4min、二次加硫220℃×20hr)した。
【0044】
(1)フッ素系ゴム(フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−パーフルオロ(メチルビニルエーテル)共重合体とフッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン共重合体のブレンドゴム):100phr
(2)SiC(屋久島電工社製/製品番号0Y−15):10phr
(3)日本油脂社製パーオキサイド(製品名パークミルD):5phr
【0045】
(実施例2)
実施例1のうち、屋久島電工社製SiCの代わりに、PAN系カーボンファイバー(東レ社製/トレカミルドファイバーMLD−30)を10phr添加して生地を得た。
【0046】
(実施例3)
実施例1のうち、屋久島電工社製SiCの添加量を8phrにし、さらに、PAN系カーボンファイバー(東レ社製/トレカミルドファイバーMLD−30)を5phr添加して生地を得た。
【0047】
(実施例4)
厚さ20μmのステンレス箔の表面を塗布型クロメート処理し、これをサンドイッチする形で実施例1の生地を用いて加硫成形して、60μmの伝熱シートを得た。
【0048】
(実施例5)
実施例1のうち、屋久島電工社製SiCの代わりに、住友大阪セメント社製CVD−SiC(グレード:T1)を10phr添加して生地を得た。
【0049】
(比較例1)
実施例1のうち、フッ素系ゴムの代わりに、ゼオン社製H−NBR(製品番号:セットポール2000LL)を用いて同様の伝熱シートを得た。
【0050】
(比較例2)
日本メクトロン社製ポリイミドワニスに、(株)アドマテックス社製アルミナ(製品番号:A0−502)を10phr混合し、PTFE板上にキャストさせて乾燥して伝熱シートを得た。
【0051】
(評価方法)
上記のそれぞれの伝熱シートを、図2に示す2周波励起平行平板RIE装置(以下「評価装置」という)50を用いて、ウェハーの温度測定、及び、伝熱シートの損傷(耐プラズマ性)を評価した。
【0052】
評価装置50は、下部電極ホルダー51の上面を静電チャックステージ52として、その上部に静電チャックAを備えている。静電チャックAと下部電極ホルダー51との間には静電チャックAの熱を吸熱するための水冷ジャケット53が設けられている。そして下部電極と上部電極54との間に直流電圧に交流電圧を重畳したバイアス電圧を印加し、プラズマを発生させる。
【0053】
伝熱シートの熱伝達の評価に関しては、温度調節を100.0℃にセットし、φ300mmのウェハー温度を中心部、最外周及び径方向の1/2の位置について測定した。伝熱シートの耐プラズマ性に関しては、ウェハーは無しで伝熱シートが直接プラズマに曝されるようにした。その際に用いたエッチングガスはO2及びCF4であり、プラズマ照射を12時間行った後の体積変化率を測定した。
【0054】
また、アウトガス発生量の評価として、同じ表面積の伝熱シートの試料を真空中(10−3〜10−4torr)で200℃に加熱し、揮発成分を液体窒素を用いて冷却してトラップし、その重量を求めた。
【0055】
図3は、各実施例及び各比較例に関して上記評価を行った結果を表にまとめたものである。
【0056】
図3によれば、熱伝導性及びウェハー表面の温度分布の均一化に関しては、実施例1乃至5のいずれも、比較例、特に熱伝導率の低い比較例2と比べて良好な結果となっている。比較例2の結果が各実施例のシートの粗さとほぼ同様にもかかわらず悪いのは、熱伝導率が低く、硬度も大きいため、伝熱シートとウェハーとの密着性が悪く接触面積が小さくなり、熱の伝導がしにくいためである。
【0057】
また、耐プラズマ性評価及びアウトガスの発生量に関しては、フッ素系ゴムを用いた実施例1乃至5のいずれも、比較例、特にゼオン社製H−NBRを用いた比較例1に比べて良好な結果となっている。また、SiC及びカーボンファイバーを配合した伝熱シートは熱伝導率が高くウェハーの表面温度の均一性に優れており、また、アウトガスの発生も少ないことがわかる。
【0058】
したがって、本実施の形態の伝熱シートを被処理体と静電チャックとの間に配置することで、伝熱媒体であるガスの流量調節などの工数を大幅に削減することができるとともに、静電チャックと被処理体との温度差が小さく、かつ被処理体の温度分布が均一になることから、被処理体表面の温度制御性が向上してエッチングレートが均一となり、製品性能の安定化を図ることができる。
【0059】
また、本実施の形態の伝熱シートでは、材質及び形状寸法の特性から、アウトガス、パーティクルなどの耐プラズマ性に優れ(製品の品質の安定化)、かつ誘電損失が小さく被処理体の保持力を十分に確保できる。
【0060】
【発明の効果】
以上説明したように、フッ素ゴム材料に高熱伝導性充填剤を配合した伝熱シートを静電チャックシート上に配置することで、基板と静電チャックとの間の熱の移動を容易にし、基板内での温度分布の均一化を促進することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態に係る静電チャックの概略断面図である。
【図2】静電チャックの特性を評価するための評価装置の概略断面図である。
【図3】実施例及び比較例の特性をまとめた表である。
【図4】従来の静電チャックの概略断面図である。
【図5】従来の静電チャックの分解斜視図である。
【符号の説明】
1 静電チャックシート
2 サセプタ
3,4 ポリイミド樹脂フィルム
5 導電膜
20 伝熱シート
50 評価装置
100 静電チャック
101 静電チャックシート
102 サセプタ
103,104 ポリイミド樹脂フィルム
105 導電膜
106 高台部分
A 静電チャック
W 被処理体
Claims (4)
- 被処理体を静電力で吸着保持する静電チャックシートを有する静電チャックにおいて、
前記静電チャックシート上に、フッ素ゴム材料に高熱伝導性充填剤を配合した伝熱シートを配置したことを特徴とする静電チャック。 - 被処理体を静電力で吸着保持する静電チャックシートを有する静電チャックにおいて、
前記静電チャックシート上に、ゴム材料と金属材料とを積層した伝熱シートを配置したことを特徴とする静電チャック。 - 前記ゴム材料は、フッ素ゴム材料に高熱伝導性充填剤を配合した材料であることを特徴とする請求項2に記載の静電チャック。
- 前記高熱伝導整粒子は、SiCおよび/またはカーボンファイバーであることを特徴とする請求項1または3に記載の静電チャック。
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