JP2004111475A - 熱処理装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板支持体と基板との擦れを抑制し、傷、スリップさらには反り発生を軽減できる基板支持体を有する熱処理装置、及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板支持体30は、本体部に設けられるリング状のプレート72を有し、このプレート72に形成された切欠き74に支持部54が吊下げられている。この支持部54は、球形状の支点62と引掛け部64とを有し、支点62を中心としてプレート72に対して揺動自在となっている。引掛け部64には基板が載置され、基板が熱応力により変形しても揺動自在の支持部54で吸収できるようにしてある。
【選択図】 図7
【解決手段】基板支持体30は、本体部に設けられるリング状のプレート72を有し、このプレート72に形成された切欠き74に支持部54が吊下げられている。この支持部54は、球形状の支点62と引掛け部64とを有し、支点62を中心としてプレート72に対して揺動自在となっている。引掛け部64には基板が載置され、基板が熱応力により変形しても揺動自在の支持部54で吸収できるようにしてある。
【選択図】 図7
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハやガラス基板等を熱処理するための熱処理装置、及び半導体ウェハやガラス基板等を熱処理する工程を有する半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば縦型熱処理装置において、複数のシリコンウェハ又は石英基板(以下、基板という。)を熱処理する場合、基板支持体(ボート)が用いられている。この基板支持体に基板を支持した状態で反応炉で基板が熱処理される。
【0003】ところが、反応炉へ基板支持体を出入する時、及び反応炉において昇降温中において、基板は中心部と周縁部とで温度差を生じる。入出時温度差が大きい程、また、昇降温速度が大きい程、基板面内での温度差は大きくなり、基板が半径方向に延びるという弾性変形を起こす。通常は、基板支持体には炭化珪素や石英等を使用しているため、基板面内に温度差を生じると、基板と基板支持体との材質の違いによる熱膨張率の違いで、両者間に擦れを生じ、基板に傷が発生する。傷が発生した箇所は強度が小さいため、基板温度が1000°C以上の高温になると、基板面内に温度差が無い場合であっても、基板の支持方法によっては転位を発生し易くなる状態となる。この転位が大きくなるとスリップとなり、それがさらに大きくなると反りとなる。
【0004】このような問題を解決する手段として、基板支持体にリング状の支持治具を載置し、この支持治具を介して基板を支持することが知られている(特許文献1参照)。これは、支持治具の厚みを内側よりも外側の方が厚くし、熱容量に差を付けて基板の径方向の温度差を低減しようとするものである。
【0005】
【特許文献1】特開平5−6894号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例においても、固定された基板支持体に基板が支持されている状態には変わりがなく、基板と基板支持体との擦れによる基板の傷、スリップ及び反り発生を防止することはできなかった。
【0007】本発明は、基板支持体と基板との擦れを抑制し、傷、スリップさらには反り発生を軽減できる基板支持体を有する熱処理装置、及び半導体装置の製造方法を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の第1の特徴とするところは、基板を基板支持体に支持した状態で熱処理する熱処理装置において、前記基板支持体は、本体部と、基板を支持する支持部とを有し、この支持部は、前記本体部より揺動自在に吊下げられてなる熱処理装置にある。このように支持部を可動とすることで、基板と基板支持体との間に生じる擦れを小さくすることができる。
【0009】支持部は、本体部に直接吊下げられるように構成することができるが、本体部にプレートを設け、このプレートに支持部を吊下げるようにすることもできる。また、支持部は、基板の径方向のみに揺動させるようにしてもよいが、本体部又はプレートに吊下げられた部分を支点として、振り子のように全方向に向けて揺動できるようにすることが好ましい。また、本体部又はプレートには複数の切欠き又は孔を設け、この切欠き又は孔に支持部の支点を揺動自在に支持することができる。
【0010】なお、支持部を支持するプレートはリング状とし、このリング状のいずれの位置にも支持部を吊下げることができる。支持部の構成としては、支点からL字状の引掛け部を延ばし、この引掛け部に基板の周縁を引っ掛けて基板を支持することができる。この場合、支点から上部に引掛け部を接続してもよいし、支点から下部に引掛け部を接続してもよい。また、支点の構成は、球状として全方向への揺動を可能とするようにしてもよいし、円柱状として基板径方向のみの揺動を可能とすることもできる。さらに支持部はS字状とし、S字部分の上部を本体部又はプレートに揺動自在に支持し、S字部分の下部に基板が支持されるようにすることもできる。
【0011】本発明は、上記の熱処理装置を用いて半導体装置を製造する方法を含み、本発明の第2の特徴とするところは、本体部と、この本体部より揺動自在に吊下げられた支持部とを有する基板支持体にあって、この基板支持体の支持部に基板を支持する工程と、この支持部に基板を支持した状態で熱処理する工程と、を有する半導体装置の製造方法にある。
【0012】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る熱処理装置10が示されている。この熱処理装置10は、例えば縦型であり、主要部が配置された筺体12を有する。この筺体12には、ポッドステージ14が接続されており、このポッドステージ14にポッド16が搬送される。ポッド16は、例えば25枚の基板が収納され、図示しない蓋が閉じられた状態でポッドステージ14にセットされる。
【0013】筺体12内において、ポッドステージ14に対向する位置には、ポッド搬送装置18が配置されている。また、このポッド搬送装置18の近傍には、ポッド棚20、ポッドオープナ22及び基板枚数検知器24が配置されている。ポッド搬送装置18は、ポッドステージ14とポッド棚20とポッドオープナ22との間でポッド16を搬送する。ポッドオープナ22は、ポッド16の蓋を開けるものであり、この蓋が開けられたポッド16内の基板枚数が基板枚数検知器24により検知される。
【0014】さらに、筺体12内には、基板移載機26、ノッチアライナ28及び基板支持体30(ボート)が配置されている。基板移載機26は、例えば5枚の基板を取り出すことができるアーム32を有し、このアーム32を動かすことにより、ポッドオープナ22の位置に置かれたポッド、ノッチアライナ28及び基板支持体30間で基板を搬送する。ノッチアライナ28は、基板に形成されたノッチまたはオリフラを検出して基板を揃えるものである。
【0015】図2において、反応炉34が示されている。この反応炉34は、反応管36を有し、この反応管36内に基板支持体30が挿入される。反応管36の下方は、基板支持体30を挿入するために開放され、この開放部分はシールキャップ38により密閉されるようにしてある。このシールキャップ38は、石英製の第1のキャップ部40と、炭化珪素製の第2のキャップ部42とを重ねることで構成されている。また、反応管36の周囲は、均熱管44により覆われ、さらに均熱管44の周囲にヒータ46が配置されている。反応管36と均熱管44との間には図示しない熱電対が配置され、反応管36内の温度をモニタできるようにしてある。そして、反応管36には、処理ガスを導入する導入管48と、処理ガスを排気する排気管50とが接続されている。
【0016】次に上述したように構成された熱処理装置10の作用について説明する。
まず、ポッドステージ14に複数枚の基板を収容したポッド16がセットされると、ポッド搬送装置18によりポッド16をポッドステージ14からポッド棚20へ搬送し、このポッド棚20にストックする。次に、ポッド搬送装置18により、このポッド棚20にストックされたポッド16をポッドオープナ22に搬送してセットし、このポッドオープナ22によりポッド16の蓋を開き、基板枚数検知器24によりポッド16に収容されている基板の枚数を検知する。
【0017】次に、基板移載機26により、ポッドオープナ22の位置にあるポッド16から基板を取り出し、ノッチアライナ28に移載する。このノッチアライナ28においては、基板を回転させながら、ノッチを検出し、検出した情報に基づいて複数の基板を同じ位置に整列させる。次に、基板移載機26により、ノッチアライナ28から基板を取り出し、基板支持体30に移載する。
【0018】このようにして、1バッチ分の基板を基板支持体30に移載すると、例えば700°C程度の温度に設定された反応管36内に複数枚の基板を装填した基板支持体30を装入し、シールキャップ38により反応管36内を密閉する。次に、導入管48から処理ガスを導入する。処理ガスには、窒素、アルゴン、水素、酸素等が含まれる。この際、基板は例えば1000°C程度以上の温度に加熱される。なお、この間、熱電対により反応管36内の温度をモニタしながら、予め設定された昇温、降温プログラムに従って基板の熱処理を実施する。
【0019】基板の熱処理が終了すると、例えば炉内温度を700°C程度の温度に降温した後、基板支持体30を反応炉34からアンロードし、基板支持体30に支持された全ての基板が冷えるまで、基板支持体30所定位置で待機させる。次に、待機させた基板支持体30の基板が所定温度まで冷却されると、基板移載機26により、基板支持体30から基板を取り出し、ポッドオープナ22にセットされている空のポッド16に搬送して収容する。次に、ポッド搬送装置18により、基板が収容されたポッド16をポッド棚20に搬送し、さらにポッドステージ14に搬送して完了する。
【0020】次に上記基板支持体30について詳述する。
図3乃至図5において、第1例が示されている。基板支持体30は、本体部52と支持部54とから構成されている。本体部52は、例えば炭化珪素又は石英からなり、例えば3本の支柱56を有する。この支柱56には、多数の支持溝58が形成され、それぞれの支柱56の対応する支持溝58が水平面と平行であるよう形成されている。各支持溝58には、支持部58を支持する例えば半球状の孔60が形成されている。
【0021】支持部54は、例えば炭化珪素、石英等からなり、例えば球形状の支点62と、このL字状の引掛け部64と、支点62から上方に伸びて支点62と引掛け部64とを接続する接続部66と、から構成されている。この支持部54の支点62が本体部52の孔60に嵌り、複数(この第1例では3つ)の支持部54が本体部52に揺動自在であるよう吊下げられている。
【0022】基板70は、支持部54の引掛け部64に該基板70の周縁下面が当接し、支持部54に支持される。したがって、基板70は、揺動自在の支持部54に支持されるので、基板70の反応炉出入時や昇降温度時に発生する熱応力により変形しても、基板70の変形に伴って支持部54が揺動し、支持部54と基板70との擦れが抑制され、傷が発生するのを防止することができる。この第1例においては、球形状の支点62と半球状の孔60とにより支持部58は支点62を中心として全方向に揺動可能であるが、次に示す例のように、基板70の径方向にのみ揺動自在とすることもできる。
なお、引掛け部64は、本体部52の支持溝58近傍に配置され、支持部54が基板70の径方向外側へ一定以上に揺動するのを規制し、支持部54の本体部52から落下するのを防止するようにしてある。
【0023】図6乃至図8において、基板支持体30の第2例が示されている。この第2例は、本体部52はプレート72を有し、このプレート72に支持部54を吊下げるようにしたものである。プレート72は、例えば炭化珪素又は石英からなり、リング状に形成されている。このプレート72は、前述した本体部52の支持溝58に載置されている。このプレート72には、内側に開口する例えば4つの切欠き74が形成されている。この切欠き74に第1例と同様の支持部54が吊下げられている。即ち、切欠き74の幅は、支持部54の球形状の支点62の直径よりも狭く形成され、この切欠き74の上部に支点62の先端近傍部分が嵌合し、プレート72に支持部54が吊下げられているものである。支点62の部分だけからは支持部54は全方向に揺動自在であるが、この第2例においては、引掛け部64も切欠き74に嵌合している。このように、引掛け部64も切欠き74に嵌合させると、支持部54の揺動範囲が狭まるが、支持部54の位置を切欠き74に限定することで安定させることができる。
【0024】図9及び図11において、基板支持体30の第3例が示されている。この第3例は、第2例と比較すると、支持部54の構成を異にしている。即ち、この第3例における支持部54は、球形状の支点62に直接L字状の引掛け部64の上端が接続されている。そして、支持部54は、支点62の手前近傍部分がプレート72の切欠き74に嵌合し、引掛け部64が切欠き74に挿通されて、プレート72に吊下げられている。この第3例においても、第2例と同様に支持部54が基板の径方向にのみ揺動可能としてある。
【0025】図12乃至図14において、基板支持体30の第4例が示されている。この第4例は、第3例と比較すると、支持部54の支点62の形状を異にしている。即ち、この第4例における支点62は円柱状であり、この円柱状の支点62の略中心下部にL字状の引掛け部64の上端が接続されている。そして、支持部54は、支点62の両側がプレート72の上面に当接し、引掛け部64が切欠き74に挿通されて、プレート72に吊下げられている。この第4例においては、第3例と比較してさらに支持部54の揺動範囲が狭まるが、円柱状の支点とすることで位置安定性を向上させることができる。
【0026】図15乃至図17において、基板支持体30の第5例が示されている。この第5例における支持部54はS字状に構成されている。この支持部54のS字上部が支点62を構成し、プレート72の切欠き74に嵌合する。一方、支持部54のS字下部が引掛け部64を構成し、この引掛け部64の先端に基板が載置されるようになっている。このように、支持部54をS字状として支点62と引掛け部64とを構成したので、支持部54の構成を簡略化することができるものである。
【0027】なお、上記実施形態及び実施例の説明にあっては、熱処理装置として、複数の基板を熱処理するバッチ式のものを用いたが、これに限定するものではなく、枚葉式のものであってもよい。
【0028】以上のように、本発明は、特許請求の範囲に記載した事項を特徴とするが、さらに次のような実施形態が含まれる。
(1)本体部は、プレートを有し、このプレートに前記支持部を吊下げたことを特徴とする請求項1記載の熱処理装置又は請求項2記載の半導体装置の製造方法。
(2)前記支持部は、本体部に嵌合する支点を有し、この支点を中心として揺動自在とされたことを特徴とする(1)、又は請求項記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(3)前記本体部に孔又は切欠きが形成され、この孔又は切欠きに前記支点が嵌合されてなる(1)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(4)プレートは、リング状であることを特徴とする(1)乃至(3)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(5)前記支持部は、支点と、該支点に接続された引掛け部を有し、この引掛け部に基板が載置されることを特徴とする(2)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(6)引掛け部はL字状であることを特徴とする(5)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(7)L字状の引掛け部は接続部を介して支点と接続され、支点先端近傍が本体部に嵌合して支持部が本体部に吊下げられたことを特徴とする(6)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(8)L字状の引掛け部は直接支点と接続され、支点手前近傍が本体部に嵌合して支持部が本体部に吊下げられたことを特徴とする(6)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(9)支点は球形状又は円柱状であることを特徴とする(5)乃至(8)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(9)支持部はS字状に形成され、S字上部を支点とし、S字下部を引掛け部としたことを特徴とする(5)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(10)基板支持体は、複数枚の基板を略水平状態で間隔をもって複数段に支持するように構成された(1)乃至(9)いずれか又は請求項記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(11)熱処理は1000°C以上の温度で基板を加熱する工程を有する請求項2記載の半導体装置の製造方法。
【0029】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、基板を支持する支持部を本体部に対して揺動自在としたので、基板に受ける熱応力を吸収し、基板と支持部との擦れを少なくし、基板の傷発生等を防止することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る熱処理装置を示す斜視図である。
【図2】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた反応炉を示す断面図である。
【図3】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第1例を示す断面図である。
【図4】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第1例を示し、図3のA−A線断面図である。
【図5】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第1例の支持部を示す斜視図である。
【図6】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第2例を示す断面図である。
【図7】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第2例の支持部とプレートとを示す斜視図である。
【図8】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第2例の支持部とプレートとを示す拡大断面図である。
【図9】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第3例の支持部を示す斜視図である。
【図10】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第3例の支持部とプレートとを示す斜視図である。
【図11】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第3例の支持部とプレートとを示す拡大断面図である。
【図12】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第4例の支持部を示す斜視図である。
【図13】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第4例の支持部とプレートとを示す斜視図である。
【図14】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第4例の支持部とプレートとを示す拡大断面図である。
【図15】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第5例の支持部を示す斜視図である。
【図16】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第5例の支持部とプレートとを示す斜視図である。
【図17】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第5例の支持部とプレートとを示す拡大断面図である。
10 熱処理装置
30 基板支持体
52 本体部
54 支持部
60 孔
62 支点
64 引掛け部
70 基板
72 プレート
74 切欠き部
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハやガラス基板等を熱処理するための熱処理装置、及び半導体ウェハやガラス基板等を熱処理する工程を有する半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば縦型熱処理装置において、複数のシリコンウェハ又は石英基板(以下、基板という。)を熱処理する場合、基板支持体(ボート)が用いられている。この基板支持体に基板を支持した状態で反応炉で基板が熱処理される。
【0003】ところが、反応炉へ基板支持体を出入する時、及び反応炉において昇降温中において、基板は中心部と周縁部とで温度差を生じる。入出時温度差が大きい程、また、昇降温速度が大きい程、基板面内での温度差は大きくなり、基板が半径方向に延びるという弾性変形を起こす。通常は、基板支持体には炭化珪素や石英等を使用しているため、基板面内に温度差を生じると、基板と基板支持体との材質の違いによる熱膨張率の違いで、両者間に擦れを生じ、基板に傷が発生する。傷が発生した箇所は強度が小さいため、基板温度が1000°C以上の高温になると、基板面内に温度差が無い場合であっても、基板の支持方法によっては転位を発生し易くなる状態となる。この転位が大きくなるとスリップとなり、それがさらに大きくなると反りとなる。
【0004】このような問題を解決する手段として、基板支持体にリング状の支持治具を載置し、この支持治具を介して基板を支持することが知られている(特許文献1参照)。これは、支持治具の厚みを内側よりも外側の方が厚くし、熱容量に差を付けて基板の径方向の温度差を低減しようとするものである。
【0005】
【特許文献1】特開平5−6894号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例においても、固定された基板支持体に基板が支持されている状態には変わりがなく、基板と基板支持体との擦れによる基板の傷、スリップ及び反り発生を防止することはできなかった。
【0007】本発明は、基板支持体と基板との擦れを抑制し、傷、スリップさらには反り発生を軽減できる基板支持体を有する熱処理装置、及び半導体装置の製造方法を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の第1の特徴とするところは、基板を基板支持体に支持した状態で熱処理する熱処理装置において、前記基板支持体は、本体部と、基板を支持する支持部とを有し、この支持部は、前記本体部より揺動自在に吊下げられてなる熱処理装置にある。このように支持部を可動とすることで、基板と基板支持体との間に生じる擦れを小さくすることができる。
【0009】支持部は、本体部に直接吊下げられるように構成することができるが、本体部にプレートを設け、このプレートに支持部を吊下げるようにすることもできる。また、支持部は、基板の径方向のみに揺動させるようにしてもよいが、本体部又はプレートに吊下げられた部分を支点として、振り子のように全方向に向けて揺動できるようにすることが好ましい。また、本体部又はプレートには複数の切欠き又は孔を設け、この切欠き又は孔に支持部の支点を揺動自在に支持することができる。
【0010】なお、支持部を支持するプレートはリング状とし、このリング状のいずれの位置にも支持部を吊下げることができる。支持部の構成としては、支点からL字状の引掛け部を延ばし、この引掛け部に基板の周縁を引っ掛けて基板を支持することができる。この場合、支点から上部に引掛け部を接続してもよいし、支点から下部に引掛け部を接続してもよい。また、支点の構成は、球状として全方向への揺動を可能とするようにしてもよいし、円柱状として基板径方向のみの揺動を可能とすることもできる。さらに支持部はS字状とし、S字部分の上部を本体部又はプレートに揺動自在に支持し、S字部分の下部に基板が支持されるようにすることもできる。
【0011】本発明は、上記の熱処理装置を用いて半導体装置を製造する方法を含み、本発明の第2の特徴とするところは、本体部と、この本体部より揺動自在に吊下げられた支持部とを有する基板支持体にあって、この基板支持体の支持部に基板を支持する工程と、この支持部に基板を支持した状態で熱処理する工程と、を有する半導体装置の製造方法にある。
【0012】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る熱処理装置10が示されている。この熱処理装置10は、例えば縦型であり、主要部が配置された筺体12を有する。この筺体12には、ポッドステージ14が接続されており、このポッドステージ14にポッド16が搬送される。ポッド16は、例えば25枚の基板が収納され、図示しない蓋が閉じられた状態でポッドステージ14にセットされる。
【0013】筺体12内において、ポッドステージ14に対向する位置には、ポッド搬送装置18が配置されている。また、このポッド搬送装置18の近傍には、ポッド棚20、ポッドオープナ22及び基板枚数検知器24が配置されている。ポッド搬送装置18は、ポッドステージ14とポッド棚20とポッドオープナ22との間でポッド16を搬送する。ポッドオープナ22は、ポッド16の蓋を開けるものであり、この蓋が開けられたポッド16内の基板枚数が基板枚数検知器24により検知される。
【0014】さらに、筺体12内には、基板移載機26、ノッチアライナ28及び基板支持体30(ボート)が配置されている。基板移載機26は、例えば5枚の基板を取り出すことができるアーム32を有し、このアーム32を動かすことにより、ポッドオープナ22の位置に置かれたポッド、ノッチアライナ28及び基板支持体30間で基板を搬送する。ノッチアライナ28は、基板に形成されたノッチまたはオリフラを検出して基板を揃えるものである。
【0015】図2において、反応炉34が示されている。この反応炉34は、反応管36を有し、この反応管36内に基板支持体30が挿入される。反応管36の下方は、基板支持体30を挿入するために開放され、この開放部分はシールキャップ38により密閉されるようにしてある。このシールキャップ38は、石英製の第1のキャップ部40と、炭化珪素製の第2のキャップ部42とを重ねることで構成されている。また、反応管36の周囲は、均熱管44により覆われ、さらに均熱管44の周囲にヒータ46が配置されている。反応管36と均熱管44との間には図示しない熱電対が配置され、反応管36内の温度をモニタできるようにしてある。そして、反応管36には、処理ガスを導入する導入管48と、処理ガスを排気する排気管50とが接続されている。
【0016】次に上述したように構成された熱処理装置10の作用について説明する。
まず、ポッドステージ14に複数枚の基板を収容したポッド16がセットされると、ポッド搬送装置18によりポッド16をポッドステージ14からポッド棚20へ搬送し、このポッド棚20にストックする。次に、ポッド搬送装置18により、このポッド棚20にストックされたポッド16をポッドオープナ22に搬送してセットし、このポッドオープナ22によりポッド16の蓋を開き、基板枚数検知器24によりポッド16に収容されている基板の枚数を検知する。
【0017】次に、基板移載機26により、ポッドオープナ22の位置にあるポッド16から基板を取り出し、ノッチアライナ28に移載する。このノッチアライナ28においては、基板を回転させながら、ノッチを検出し、検出した情報に基づいて複数の基板を同じ位置に整列させる。次に、基板移載機26により、ノッチアライナ28から基板を取り出し、基板支持体30に移載する。
【0018】このようにして、1バッチ分の基板を基板支持体30に移載すると、例えば700°C程度の温度に設定された反応管36内に複数枚の基板を装填した基板支持体30を装入し、シールキャップ38により反応管36内を密閉する。次に、導入管48から処理ガスを導入する。処理ガスには、窒素、アルゴン、水素、酸素等が含まれる。この際、基板は例えば1000°C程度以上の温度に加熱される。なお、この間、熱電対により反応管36内の温度をモニタしながら、予め設定された昇温、降温プログラムに従って基板の熱処理を実施する。
【0019】基板の熱処理が終了すると、例えば炉内温度を700°C程度の温度に降温した後、基板支持体30を反応炉34からアンロードし、基板支持体30に支持された全ての基板が冷えるまで、基板支持体30所定位置で待機させる。次に、待機させた基板支持体30の基板が所定温度まで冷却されると、基板移載機26により、基板支持体30から基板を取り出し、ポッドオープナ22にセットされている空のポッド16に搬送して収容する。次に、ポッド搬送装置18により、基板が収容されたポッド16をポッド棚20に搬送し、さらにポッドステージ14に搬送して完了する。
【0020】次に上記基板支持体30について詳述する。
図3乃至図5において、第1例が示されている。基板支持体30は、本体部52と支持部54とから構成されている。本体部52は、例えば炭化珪素又は石英からなり、例えば3本の支柱56を有する。この支柱56には、多数の支持溝58が形成され、それぞれの支柱56の対応する支持溝58が水平面と平行であるよう形成されている。各支持溝58には、支持部58を支持する例えば半球状の孔60が形成されている。
【0021】支持部54は、例えば炭化珪素、石英等からなり、例えば球形状の支点62と、このL字状の引掛け部64と、支点62から上方に伸びて支点62と引掛け部64とを接続する接続部66と、から構成されている。この支持部54の支点62が本体部52の孔60に嵌り、複数(この第1例では3つ)の支持部54が本体部52に揺動自在であるよう吊下げられている。
【0022】基板70は、支持部54の引掛け部64に該基板70の周縁下面が当接し、支持部54に支持される。したがって、基板70は、揺動自在の支持部54に支持されるので、基板70の反応炉出入時や昇降温度時に発生する熱応力により変形しても、基板70の変形に伴って支持部54が揺動し、支持部54と基板70との擦れが抑制され、傷が発生するのを防止することができる。この第1例においては、球形状の支点62と半球状の孔60とにより支持部58は支点62を中心として全方向に揺動可能であるが、次に示す例のように、基板70の径方向にのみ揺動自在とすることもできる。
なお、引掛け部64は、本体部52の支持溝58近傍に配置され、支持部54が基板70の径方向外側へ一定以上に揺動するのを規制し、支持部54の本体部52から落下するのを防止するようにしてある。
【0023】図6乃至図8において、基板支持体30の第2例が示されている。この第2例は、本体部52はプレート72を有し、このプレート72に支持部54を吊下げるようにしたものである。プレート72は、例えば炭化珪素又は石英からなり、リング状に形成されている。このプレート72は、前述した本体部52の支持溝58に載置されている。このプレート72には、内側に開口する例えば4つの切欠き74が形成されている。この切欠き74に第1例と同様の支持部54が吊下げられている。即ち、切欠き74の幅は、支持部54の球形状の支点62の直径よりも狭く形成され、この切欠き74の上部に支点62の先端近傍部分が嵌合し、プレート72に支持部54が吊下げられているものである。支点62の部分だけからは支持部54は全方向に揺動自在であるが、この第2例においては、引掛け部64も切欠き74に嵌合している。このように、引掛け部64も切欠き74に嵌合させると、支持部54の揺動範囲が狭まるが、支持部54の位置を切欠き74に限定することで安定させることができる。
【0024】図9及び図11において、基板支持体30の第3例が示されている。この第3例は、第2例と比較すると、支持部54の構成を異にしている。即ち、この第3例における支持部54は、球形状の支点62に直接L字状の引掛け部64の上端が接続されている。そして、支持部54は、支点62の手前近傍部分がプレート72の切欠き74に嵌合し、引掛け部64が切欠き74に挿通されて、プレート72に吊下げられている。この第3例においても、第2例と同様に支持部54が基板の径方向にのみ揺動可能としてある。
【0025】図12乃至図14において、基板支持体30の第4例が示されている。この第4例は、第3例と比較すると、支持部54の支点62の形状を異にしている。即ち、この第4例における支点62は円柱状であり、この円柱状の支点62の略中心下部にL字状の引掛け部64の上端が接続されている。そして、支持部54は、支点62の両側がプレート72の上面に当接し、引掛け部64が切欠き74に挿通されて、プレート72に吊下げられている。この第4例においては、第3例と比較してさらに支持部54の揺動範囲が狭まるが、円柱状の支点とすることで位置安定性を向上させることができる。
【0026】図15乃至図17において、基板支持体30の第5例が示されている。この第5例における支持部54はS字状に構成されている。この支持部54のS字上部が支点62を構成し、プレート72の切欠き74に嵌合する。一方、支持部54のS字下部が引掛け部64を構成し、この引掛け部64の先端に基板が載置されるようになっている。このように、支持部54をS字状として支点62と引掛け部64とを構成したので、支持部54の構成を簡略化することができるものである。
【0027】なお、上記実施形態及び実施例の説明にあっては、熱処理装置として、複数の基板を熱処理するバッチ式のものを用いたが、これに限定するものではなく、枚葉式のものであってもよい。
【0028】以上のように、本発明は、特許請求の範囲に記載した事項を特徴とするが、さらに次のような実施形態が含まれる。
(1)本体部は、プレートを有し、このプレートに前記支持部を吊下げたことを特徴とする請求項1記載の熱処理装置又は請求項2記載の半導体装置の製造方法。
(2)前記支持部は、本体部に嵌合する支点を有し、この支点を中心として揺動自在とされたことを特徴とする(1)、又は請求項記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(3)前記本体部に孔又は切欠きが形成され、この孔又は切欠きに前記支点が嵌合されてなる(1)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(4)プレートは、リング状であることを特徴とする(1)乃至(3)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(5)前記支持部は、支点と、該支点に接続された引掛け部を有し、この引掛け部に基板が載置されることを特徴とする(2)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(6)引掛け部はL字状であることを特徴とする(5)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(7)L字状の引掛け部は接続部を介して支点と接続され、支点先端近傍が本体部に嵌合して支持部が本体部に吊下げられたことを特徴とする(6)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(8)L字状の引掛け部は直接支点と接続され、支点手前近傍が本体部に嵌合して支持部が本体部に吊下げられたことを特徴とする(6)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(9)支点は球形状又は円柱状であることを特徴とする(5)乃至(8)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(9)支持部はS字状に形成され、S字上部を支点とし、S字下部を引掛け部としたことを特徴とする(5)記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(10)基板支持体は、複数枚の基板を略水平状態で間隔をもって複数段に支持するように構成された(1)乃至(9)いずれか又は請求項記載の熱処理装置又は半導体装置の製造方法。
(11)熱処理は1000°C以上の温度で基板を加熱する工程を有する請求項2記載の半導体装置の製造方法。
【0029】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、基板を支持する支持部を本体部に対して揺動自在としたので、基板に受ける熱応力を吸収し、基板と支持部との擦れを少なくし、基板の傷発生等を防止することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る熱処理装置を示す斜視図である。
【図2】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた反応炉を示す断面図である。
【図3】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第1例を示す断面図である。
【図4】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第1例を示し、図3のA−A線断面図である。
【図5】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第1例の支持部を示す斜視図である。
【図6】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第2例を示す断面図である。
【図7】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第2例の支持部とプレートとを示す斜視図である。
【図8】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第2例の支持部とプレートとを示す拡大断面図である。
【図9】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第3例の支持部を示す斜視図である。
【図10】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第3例の支持部とプレートとを示す斜視図である。
【図11】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第3例の支持部とプレートとを示す拡大断面図である。
【図12】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第4例の支持部を示す斜視図である。
【図13】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第4例の支持部とプレートとを示す斜視図である。
【図14】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第4例の支持部とプレートとを示す拡大断面図である。
【図15】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第5例の支持部を示す斜視図である。
【図16】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第5例の支持部とプレートとを示す斜視図である。
【図17】本発明の実施形態に係る熱処理装置に用いた基板支持体の第5例の支持部とプレートとを示す拡大断面図である。
10 熱処理装置
30 基板支持体
52 本体部
54 支持部
60 孔
62 支点
64 引掛け部
70 基板
72 プレート
74 切欠き部
Claims (2)
- 基板を基板支持体に支持した状態で熱処理する熱処理装置において、前記基板支持体は、本体部と、基板を支持する支持部とを有し、この支持部は、前記本体部より揺動自在に吊下げられてなることを特徴とする熱処理装置。
- 本体部と、この本体部より揺動自在に吊下げられた支持部とを有する基板支持体にあって、この基板支持体の支持部に基板を支持する工程と、この支持部に基板を支持した状態で熱処理する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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JP2002268882A JP2004111475A (ja) | 2002-09-13 | 2002-09-13 | 熱処理装置及び半導体装置の製造方法 |
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Family Applications (1)
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- 2002-09-13 JP JP2002268882A patent/JP2004111475A/ja active Pending
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