JP2004111781A - 熱処理装置、並びに半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】熱処理のときに基板に発生するスリップを、より確実に防止する。
【解決手段】ウエハWを、該ウエハWの裏面と転がり接触する複数のコロ26a,26b…の上に載置した状態で保持するボート6において、ウエハWの裏面に滑り接触する位置決め部材24を備えると共に、各コロ26a,26b…の転がり方向を、位置決め部材24とウエハWとの滑り接触位置を中心とする半径方向に一致させ、これら位置決め部材24及びコロ26a,26b…によってウエハWを水平に支持した状態で、該ウエハWを保持するようにしたボート6を具備する熱処理装置を提供する。
【選択図】 図2
【解決手段】ウエハWを、該ウエハWの裏面と転がり接触する複数のコロ26a,26b…の上に載置した状態で保持するボート6において、ウエハWの裏面に滑り接触する位置決め部材24を備えると共に、各コロ26a,26b…の転がり方向を、位置決め部材24とウエハWとの滑り接触位置を中心とする半径方向に一致させ、これら位置決め部材24及びコロ26a,26b…によってウエハWを水平に支持した状態で、該ウエハWを保持するようにしたボート6を具備する熱処理装置を提供する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法と、その方法の実施に使用する熱処理装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路その他の半導体装置の製造において、ウエハに対し酸化膜の形成やドーパントの拡散等の熱処理を施す工程がある。近年、ウエハを熱処理するにあたっては、縦型の熱処理炉が多用されている。この縦型の熱処理炉にロードされるボートとしては、大略、鉛直方向に立設された3本(または4本)の支柱の各々に所定ピッチで溝を形成してなるものが一般的である。該ボートは、同じ高さに形成された3組(または4組)の溝にてウエハを3点(または4点)支持することにより、これを安定して水平に保持しようとするものである。
【0003】
ところが、この種のボートにあっては、全ての溝とウエハとが滑り接触となっているため、熱処理のときに、ウエハが熱膨張する過程で該ウエハと溝との間に摩擦力が発生する。この摩擦力は、ウエハの熱膨張を妨げる方向に作用するので、ウエハ内に応力が発生する。そして、その応力に起因して、ウエハにスリップと称される結晶欠陥が生じ易くなる。
【0004】
そこで、この問題を解消するものとして、例えば特許文献1に開示されてあるように、ウエハ支持部(例えば、前述した溝)に、ウエハの半径方向に転動可能なコロを設け、このコロの上にウエハの周縁部を載せるようにしたボートが知られている。これは、ウエハが熱膨張するときの該ウエハと溝との間の摩擦を、滑り摩擦ではなく転がり摩擦とすることにより、該ウエハが受ける力を緩和せしめてスリップの発生を防止しようとするものである。
【特許文献1】
特開平9−129567号公報(第3−5頁,第1図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
発明者は、上記従来のボートには次のような改善の余地が残されていることを見出した。即ち、熱処理のときに、ウエハがその全放射方向に均等に熱膨張するとは限らない。例えば、ウエハが或る特定の径方向に相対的に大きく熱膨張する場合を想定すると、この場合、その特定の径方向を転動方向とするコロにおいては、ウエハに加わる摩擦力を緩和できる。しかしながら、その特定の径方向と交差する方向を転動方向とするコロにおいては、該コロが良好に転動しない。その結果、その部分において該ウエハに大きな摩擦力が加わり、スリップが発生してしまうことになる。従って、単にコロをウエハの半径方向に移動可能に配置するだけでは、該ウエハのスリップを確実に防止できるとは言い難い。
【0006】
また例えば、ウエハの周縁部を支持する複数のコロのうち、一つのコロの溝に対する転がり摩擦が、他のコロのそれよりも大きい場合を想定する。その場合、熱処理のときには、当該他のコロが当該一つのコロに対して転動することになる。このとき、当該他のコロのうち当該一つのコロを中心とする半径方向に転動可能なものは良好に転動しうる。しかしながら、当該他のコロのうち該半径方向とは交差する方向を転動方向とするものはうまく転動できない。その結果、そのコロとウエハとは、転がり接触ではなく、滑り接触することになる。従って、当該滑り接触部分において、ウエハに強い応力がかかりスリップが発生することになる。以上説明した問題は、高温下(例:1000℃以上)でウエハ(例:シリコン単結晶ウエハ)に熱処理を施す際に、特に深刻化する。
【0007】
本発明の目的は、熱処理のときに発生するスリップを、より確実に防止する技術を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、基板を基板支持体に支持した状態で熱処理する熱処理装置において、前記基板支持体は、本体部と、該本体部に載置され基板を支持する複数の支持部とを有し、一つの前記支持部の前記本体部に対する摩擦を、他の前記支持部の前記本体部に対する摩擦よりも大きくしたことを特徴とする熱処理装置が提供される。
【0009】
また本発明によれば、本体部と、該本体部に載置され基板を支持する複数の支持部とを有し、一つの前記支持部の前記本体部に対する摩擦を、他の前記支持部の前記本体部に対する摩擦よりも大きくした基板支持体により基板を支持する基板支持工程と、前記基板支持体により基板を支持した状態で該基板を熱処理する熱処理工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法も提供される。
【0010】
本発明においては、一つの支持部の本体部に対する摩擦を、他の支持部の本体部に対する摩擦よりも大きくしたから、熱処理のときには、基板の熱膨張に伴ってまず他の支持部が移動し、一つの支持部は殆ど不動である。そのため、一つの支持部は、該一つの支持部と基板との接触位置において、基板を本体部に対して拘束して位置決めする機能を果たす。これにより、熱膨張のときに基板の位置が本体部に対して安定する。その結果、スリップの発生をより確実に防止することを実現できる。
【0011】
また本発明によれば、基板を基板支持体に支持した状態で熱処理する熱処理装置において、前記基板支持体は、本体部と、該本体部上に配置され基板を支持する複数の支持部とを有し、一つの前記支持部の前記本体部に対する摩擦を、他の前記支持部の前記本体部に対する摩擦よりも大きくするか、又は前記複数の支持部のうち前記一つの支持部のみを前記本体部に固定したことを特徴とする熱処理装置も提供される。
【0012】
一つの支持部を本体部に固定することによっても、熱処理のときには該一つの支持部は不動である。従って、一つの支持部は、該一つの支持部と基板との接触位置において、基板を本体部に対して拘束して位置決めする機能を果たすことができる。これにより、熱膨張のときに基板の位置が本体部に対して安定する。その結果、スリップの発生をより確実に防止することを実現できる。
【0013】
本発明においては、前記本体部が板状のプレートであるのが好ましいが、例えばボートの支柱に形成された突部であってもよい。
【0014】
本発明においては、前記一つの支持部とは、基板の中心部を支持する支持部であるのが好ましい。
【0015】
本発明の一つの具体的態様は、前記一つの支持部の材質を、前記他の支持部の材質と異ならせたことを特徴とする。
【0016】
本発明の別の具体的態様は、前記一つの支持部の前記本体部または前記プレートとの接触部の表面粗さを、前記他の支持部の前記本体部または前記プレートとの接触部の表面粗さと異ならせたことを特徴とする。
【0017】
本発明のさらに別の具体的態様は、前記一つの支持部の形状を、前記他の支持部の形状と異ならせたことを特徴とする。
【0018】
本発明のさらに別の具体的態様は、前記一つの支持部にかかる荷重を、前記他の支持部にかかる荷重と異ならせたことを特徴とする。
【0019】
本発明のさらに別の具体的態様は、前記一つの支持部が前記本体部または前記プレートに固定されていることを特徴とする。
【0020】
本発明のさらに別の具体的態様は、前記一つの支持部が前記本体部または前記プレートと一体に形成されていることを特徴とする。
【0021】
また本発明において、前記他の支持部は、コロ又は回転体からなるのが好ましい。この場合において、前記コロ又は回転体は、前記少なくとも一つの支持部と前記コロ又は回転体とを結ぶ直線上を移動可能なよう構成されるのが好ましい。
【0022】
また本発明において、前記基板支持体は、複数枚の基板を略水平状態で隙間をもって複数段に支持するよう構成されるのが好ましい。
【0023】
また本発明は、1000℃以上の温度で基板を加熱する工程を有する熱処理に適用して好適である。
【0024】
本発明の具体的態様によれば、基板を、該基板を水平に支持する本体部によって支持した状態で熱処理する熱処理装置において、前記基板と前記本体部との間に、前記基板の裏面における所定箇所を熱処理のときに前記本体部に拘束させる位置決め部材と、前記所定箇所を中心とする径方向に移動又は回転可能な複数の支持部材とを配置し、これら位置決め部材及び支持部材を介して前記基板を水平に支持した状態で、該基板を熱処理するようにしたことを特徴とする熱処理装置が提供される。
【0025】
また本発明の具体的態様によれば、基板を、該基板の裏面と転がり接触する複数のコロの上に載置した状態で保持する熱処理用基板保持具において、前記基板の裏面に滑り接触する位置決め部を備えると共に、前記各コロの転がり方向を、前記位置決め部と前記基板との滑り接触位置を中心とする半径方向に一致させ、これら位置決め部及びコロによって前記基板を水平に支持した状態で、該基板を保持するようにしたことを特徴とする熱処理用基板保持具も提供される。
前記コロは、前記基板の熱膨張に伴って転動するものであってもよいし、所定位置において、前記基板の熱膨張に伴って回転する回転体であってもよい。
【0026】
【発明の実施の形態】
図1は、実施の形態による熱処理装置の要部を示す。この熱処理装置は、垂直に立設された縦型の反応管2と、該反応管2の周囲を取り囲むように配置された筒状のヒータ4と、1バッチ分のウエハW…を多段に保持するボート6とを備える。この熱処理装置において、ボート6を除く部分の構成は、既存のものと同様であるため、詳細な説明は省略する(特願2002−55574や特願2002−181318参照)。
【0027】
反応管2には、該反応管2内へウエハWを処理する為のガスを導入するガス導入管8や、該反応管2内の処理済みガスを排気するガス排気管10等が接続されている。反応管2の下端は開口していて、その開口部からボート6がロードされ或いはアンロードされる。即ち、ボート6は、シールキャップ12に載っており、これらボート6及びシールキャップ12が図示せぬエレベータによって昇降されることにより、該ボート6が反応管2にロード/アンロードされる。
【0028】
図2(a)は、ボート6の構成を模式的に示す。ボート6は、上下一対の端板14,16と、これら端板14,16を繋ぐように鉛直方向に架け渡された少なくとも3本(ここでは3本とする。)の支柱18,18,18とを備えてなる。支柱18…の各々には、その長手方向に所定ピッチで突部20…が設けられている。突部20…は、支柱18に溝を形成することによって相対的に構成されたものでもよい。なお、ボート6は、例えばSiC、単結晶若しくは多結晶のSi、又は石英を用いて構成できる。
【0029】
図2(b)は、ボート6がウエハWを保持している状態を拡大して示す。まず、少なくとも3本の支柱18…における同じ高さに形成された少なくとも3組の支持部20…によってプレート(本体部)22が水平に支持されている。なお、図2(b)では便宜的に2組の支持部20,20のみを示し、残りの一つの支持部20は図示省略している。そして、このプレート22上には、一つの位置決め部材24及びコロ26a,26b…が配置されていて、これら位置決め部材24及びコロ26a,26b…を介してウエハWが支持されている。なお、プレート22もボート6と同様に、SiC、単結晶若しくは多結晶のSi、又は石英を用いて構成できる。
【0030】
図3(a)は、一枚のウエハWが支持されている状態を拡大して示す。図3(b)は、プレート22上の位置決め部材24及びコロ26a,26b…を平面方向からみた図である。位置決め部材24は、ウエハW裏面の略中心部を支持する位置に配置されている。一実施例では、プレート22を平面視円形に形成し、該プレート22の中心部に位置決め部材24を配置する。
この位置決め部材24は、略柱状をなし、その上面はウエハW裏面と面接触(滑り接触)し、下面はプレート22上面と面接触(滑り接触)する。なお、位置決め部材24の下面は、例えばピン等を用いてプレート22に固定してもよいし、又は位置決め部材24をプレート22と一体に形成してもよい。
【0031】
コロ26a,26b…は、位置決め部材24の高さと同じ直径を有する中空又は中実の円柱状をなしており、位置決め部材24と相まってウエハWを水平に支持する。従って、位置決め部材24とコロ26a,26b…とは、共にウエハWを支持する支持部として機能する。位置決め部材24は一つであるから、コロは少なくとも2つあれば、ウエハW裏面の3箇所を支持できる。一実施例では、4つのコロ26a,26b,26c,26dを備える。これにより、ウエハWの荷重を効果的に分散できる。
【0032】
これらコロ26a,26b,26c,26dは、プレート22上に転動自在に載置されている。即ち、コロ26a,26b,26c,26dは、ウエハW及びプレート22と転がり接触する。従って、複数の支持部のうち一つの支持部である位置決め部材24のプレート22に対する摩擦(滑り摩擦)が、他の支持部であるコロ26a,26b,26c,26dのプレート22に対する摩擦(転がり摩擦)よりも相対的に大きくなっている。
【0033】
コロ26a,26b,26c,26dは、それぞれ特定の一方向にのみ転動可能な支持部である。本発明では、各コロを、位置決め部24とそのコロとを結ぶ直線上を転動可能な向きに配置している。つまり、当該各コロの転がり方向を、位置決め部24とウエハWとの滑り接触位置を中心とする半径方向に一致させている。
【0034】
このように、熱処理用基板保持具としてのボート6は、ウエハWを、該ウエハWの裏面と転がり接触する複数のコロの上に載置した状態で保持するものであって、ウエハWの裏面に滑り接触する位置決め部材24を備えると共に、各コロ26a,26b,26c,26dの転がり方向を、位置決め部材24とウエハWとの滑り接触位置を中心とする半径方向に一致させ、これら位置決め部24及びコロ26a,26b,26c,26dによってウエハWを水平に支持した状態で、該ウエハWを保持するようにしたものである。
【0035】
本熱処理装置の作用は次の通りである。
まず、ボート6に1バッチ分の未処理ウエハW…を保持する。これにより、プレート22と、該プレート22に載置されウエハWを支持する複数の支持部24,26a,26b…とを有し、そのうち一つの支持部である位置決め部24のプレート22に対する摩擦を、他の支持部であるコロ26a,26b…のプレート22に対する摩擦よりも大きくしたボート6によりウエハWが支持される(基板支持工程)。
【0036】
次いで、該ボート6を反応管2内へロードする。これにより、シールキャップ12によって、反応管2の開口部が閉塞される。そして、ヒータ4によって反応管2が1000℃以上に加熱され、又ガス導入管8から処理ガスが導入される一方、ガス排気管10から処理済みガスが排気されることにより、反応管2内が所定の圧力に保たれながら、ウエハW…に所定の熱処理が施される(熱処理工程)。
【0037】
次いで、ボート6を反応管2からアンロードした後、該ボート6から処理済みウエハWを搬出する(基板搬出工程)。
【0038】
本熱処理装置によれば、次のような効果が得られる。
(1)位置決め部24がウエハW裏面の一箇所に面接触(滑り接触)するから、その一箇所において、ウエハWがプレート22に拘束される。従って、ウエハWはその一箇所をプレート22に対して不動の基準位置として熱膨張する。コロの転動方向は、該基準位置を中心とする半径方向に一致させてあるから、ウエハWが熱膨張するときには、全てのコロが該基準位置を中心として放射方向及び求心方向に良好に転動しうる。これにより、ウエハWに加わろうとする応力を確実に逃がすことができる。従って、スリップの発生を防止できる。
【0039】
(2)位置決め部24とウエハWとの接触位置(基準位置)を、該ウエハW裏面の中心部としたから、ウエハWが熱膨張するときに該接触位置(基準位置)に加わる応力を最小限に抑えることができる。これにより、スリップの発生がより確実に防止される。
【0040】
(3)プレート22を用いることにより、コロの配置個数がボート6の支柱の数に限定されることがなくなる。従って、例えば、支柱18が3本のボート6を用いながら、4つのコロ26a,26b,26c,26dにウエハの自重を分散させることができる。これにより、外径300[mm]以上の大型のウエハWを熱処理する場合であっても、該ウエハWにスリップが発生してしまうことを確実に防止できる。
【0041】
〔変形例1〕
図4は、変形例を示す。上記と同様の構成要素については同じ符号を付している。この変形例では、位置決め部材24の配置位置を、ウエハWの裏面における中心以外の位置に対応させている。このように、位置決め部材24とウエハWとの接触位置は、ウエハWの裏面において特に限定されない。但し、コロ26a,26b,26c,26dは、それぞれ位置決め部24とそのコロとを結ぶ直線上を転動可能な向きに配置している。この変形例でも、上記と同様の効果が得られる。
【0042】
〔変形例2〕
図5は、別の変形例を示す。上記と同様の構成要素については同じ符号を付している。この変形例では、プレート22を用いずに、位置決め部材24及びコロ26a…を、ボート6の支柱18の突部20上に配置したものである。この場合は、突部20が本体部として機能する。
【0043】
この変形例においては、3本の支柱18,18,18における同じ高さに形成された3組の突部20,20,20に、それぞれ位置決め部材24、コロ26a、コロ26bを配置している。コロ26a,26bは、それぞれ位置決め部24とそのコロとを結ぶ直線上を転動可能な向きに配置している。この変形例でも上記と同様な効果が得られる。
なお、位置決め部材24は、突部20に固定してもよいし、該突部20と一体に形成してもよい。また、ボート6における支柱の本数は4本又はそれ以上であってもよい。また、コロ26a,26bが突部20から転がり落ちないようにするために、突部に溝等の係止部を形成してもよい。
【0044】
〔変形例3〕
図6は、さらに別の変形例を示す。上記と同様の構成要素については同じ符号を付している。この変形例は、位置決め部材28を、コロ26a,26b…と同様の形状としたものである。コロ26a,26bは、上記と同様に、それぞれ位置決め部28とそのコロとを結ぶ直線上を転動する向きに配置している。
【0045】
位置決め部材28は、プレート22と転がり接触するが、その転がり摩擦は、コロ26a,26b…とプレート22との転がり摩擦よりも相対的に大きい。従って、熱処理のときには、ウエハWの熱膨張に伴ってまずコロ26a,26b…が転動し、位置決め部材28は殆ど不動である。そのため、位置決め部材28は、該位置決め部材28とウエハWとの転がり接触位置において、ウエハWをプレート22に対して拘束する機能を果たす。従って、この変形例でも上記と同様な効果が得られる。
【0046】
このように要するに、複数の支持部のうち一つの支持部の本体部(プレート22又は突部20)に対する摩擦を、他の支持部の本体部に対する摩擦よりも大きくすることにより、当該一つの支持部を位置決め部位材として機能させればよい。このことは、(a)当該一つの支持部と当該他の支持部とのとの材質を異ならせること、(b)両者の表面粗さを異ならせること、(c)両者の形状を異ならせること、(D)両者に加わるウエハWの荷重を異ならせること、(e)当該一つの支持部を本体部にピン等で固定すること、(f)当該一つの支持部を本体部と一体の形成すること、等によって実現できる。
【0047】
〔比較例〕
図7は、好ましくない比較例を示す。上記と同様の構成要素については、便宜的に同じ符号を付している。これは、位置決め部材24(28)を用いずに、単にコロ26a,26b,26c,26dをウエハWの半径方向に転動可能に配置しただけの例である。このように、ウエハWをプレート22(プレート22を用いない場合は突部20)に対して一箇所において拘束しない場合は、熱膨張のときにウエハWが位置決めされないから、ウエハWに対して、コロの転動方向とは異なる方向の応力が加わることがある。
【0048】
具体的には、図7(b)においてウエハWがコロ26Cとコロ26dとが対面する方向(図7(b)中、上下方向)に相対的に大きく熱膨張する場合を想定すると、コロ26C,26dは良好に転動しうる。しかしながら、コロ26a,26bは、当該方向とは交差する方向を転動方向としているから、これらのコロ26a,26bはうまく回転できない。その結果、コロ26a,26bとウエハWとは、転がり接触ではなく、滑り接触することになる。従って、当該滑り接触部分において、ウエハWに強い応力がかかり、結果としてスリップが発生する。
【0049】
なお、コロのように一方向にのみ移動可能な支持部ではなく、任意の方向に移動可能な支持部材(例えば、球状体)を用いるならば、特に位置決め部材24を用いる必要はない。しかしながら、複数の球の上にウエハWを載置した状態では、ウエハWと各球との接触が点接触となるから、当該各点に強い応力がかかり、その結果スリップが発生し易くなる。
【0050】
【発明の効果】
本発明によれば、熱処理のときに基板に発生するスリップを、より確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態による熱処理装置の要部構成を模式的に示す概略図。
【図2】熱処理用基板保持具としてのボートを示す図。
【図3】一つのウエハ支持態様を示す図。
【図4】別のウエハ支持態様を示す図。
【図5】さらに別のウエハ支持態様を示す図。
【図6】さらに別のウエハ支持態様を示す図。
【図7】比較例を示す図。
【符号の説明】
20…突部(本体部)、22…プレート(本体部)、24…位置決め部材(一つの支持部)、26a,26b,26c,26d…コロ(他の支持部)、28…位置決め部材(一つの支持部)、W…ウエハ(基板)。
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法と、その方法の実施に使用する熱処理装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路その他の半導体装置の製造において、ウエハに対し酸化膜の形成やドーパントの拡散等の熱処理を施す工程がある。近年、ウエハを熱処理するにあたっては、縦型の熱処理炉が多用されている。この縦型の熱処理炉にロードされるボートとしては、大略、鉛直方向に立設された3本(または4本)の支柱の各々に所定ピッチで溝を形成してなるものが一般的である。該ボートは、同じ高さに形成された3組(または4組)の溝にてウエハを3点(または4点)支持することにより、これを安定して水平に保持しようとするものである。
【0003】
ところが、この種のボートにあっては、全ての溝とウエハとが滑り接触となっているため、熱処理のときに、ウエハが熱膨張する過程で該ウエハと溝との間に摩擦力が発生する。この摩擦力は、ウエハの熱膨張を妨げる方向に作用するので、ウエハ内に応力が発生する。そして、その応力に起因して、ウエハにスリップと称される結晶欠陥が生じ易くなる。
【0004】
そこで、この問題を解消するものとして、例えば特許文献1に開示されてあるように、ウエハ支持部(例えば、前述した溝)に、ウエハの半径方向に転動可能なコロを設け、このコロの上にウエハの周縁部を載せるようにしたボートが知られている。これは、ウエハが熱膨張するときの該ウエハと溝との間の摩擦を、滑り摩擦ではなく転がり摩擦とすることにより、該ウエハが受ける力を緩和せしめてスリップの発生を防止しようとするものである。
【特許文献1】
特開平9−129567号公報(第3−5頁,第1図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
発明者は、上記従来のボートには次のような改善の余地が残されていることを見出した。即ち、熱処理のときに、ウエハがその全放射方向に均等に熱膨張するとは限らない。例えば、ウエハが或る特定の径方向に相対的に大きく熱膨張する場合を想定すると、この場合、その特定の径方向を転動方向とするコロにおいては、ウエハに加わる摩擦力を緩和できる。しかしながら、その特定の径方向と交差する方向を転動方向とするコロにおいては、該コロが良好に転動しない。その結果、その部分において該ウエハに大きな摩擦力が加わり、スリップが発生してしまうことになる。従って、単にコロをウエハの半径方向に移動可能に配置するだけでは、該ウエハのスリップを確実に防止できるとは言い難い。
【0006】
また例えば、ウエハの周縁部を支持する複数のコロのうち、一つのコロの溝に対する転がり摩擦が、他のコロのそれよりも大きい場合を想定する。その場合、熱処理のときには、当該他のコロが当該一つのコロに対して転動することになる。このとき、当該他のコロのうち当該一つのコロを中心とする半径方向に転動可能なものは良好に転動しうる。しかしながら、当該他のコロのうち該半径方向とは交差する方向を転動方向とするものはうまく転動できない。その結果、そのコロとウエハとは、転がり接触ではなく、滑り接触することになる。従って、当該滑り接触部分において、ウエハに強い応力がかかりスリップが発生することになる。以上説明した問題は、高温下(例:1000℃以上)でウエハ(例:シリコン単結晶ウエハ)に熱処理を施す際に、特に深刻化する。
【0007】
本発明の目的は、熱処理のときに発生するスリップを、より確実に防止する技術を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、基板を基板支持体に支持した状態で熱処理する熱処理装置において、前記基板支持体は、本体部と、該本体部に載置され基板を支持する複数の支持部とを有し、一つの前記支持部の前記本体部に対する摩擦を、他の前記支持部の前記本体部に対する摩擦よりも大きくしたことを特徴とする熱処理装置が提供される。
【0009】
また本発明によれば、本体部と、該本体部に載置され基板を支持する複数の支持部とを有し、一つの前記支持部の前記本体部に対する摩擦を、他の前記支持部の前記本体部に対する摩擦よりも大きくした基板支持体により基板を支持する基板支持工程と、前記基板支持体により基板を支持した状態で該基板を熱処理する熱処理工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法も提供される。
【0010】
本発明においては、一つの支持部の本体部に対する摩擦を、他の支持部の本体部に対する摩擦よりも大きくしたから、熱処理のときには、基板の熱膨張に伴ってまず他の支持部が移動し、一つの支持部は殆ど不動である。そのため、一つの支持部は、該一つの支持部と基板との接触位置において、基板を本体部に対して拘束して位置決めする機能を果たす。これにより、熱膨張のときに基板の位置が本体部に対して安定する。その結果、スリップの発生をより確実に防止することを実現できる。
【0011】
また本発明によれば、基板を基板支持体に支持した状態で熱処理する熱処理装置において、前記基板支持体は、本体部と、該本体部上に配置され基板を支持する複数の支持部とを有し、一つの前記支持部の前記本体部に対する摩擦を、他の前記支持部の前記本体部に対する摩擦よりも大きくするか、又は前記複数の支持部のうち前記一つの支持部のみを前記本体部に固定したことを特徴とする熱処理装置も提供される。
【0012】
一つの支持部を本体部に固定することによっても、熱処理のときには該一つの支持部は不動である。従って、一つの支持部は、該一つの支持部と基板との接触位置において、基板を本体部に対して拘束して位置決めする機能を果たすことができる。これにより、熱膨張のときに基板の位置が本体部に対して安定する。その結果、スリップの発生をより確実に防止することを実現できる。
【0013】
本発明においては、前記本体部が板状のプレートであるのが好ましいが、例えばボートの支柱に形成された突部であってもよい。
【0014】
本発明においては、前記一つの支持部とは、基板の中心部を支持する支持部であるのが好ましい。
【0015】
本発明の一つの具体的態様は、前記一つの支持部の材質を、前記他の支持部の材質と異ならせたことを特徴とする。
【0016】
本発明の別の具体的態様は、前記一つの支持部の前記本体部または前記プレートとの接触部の表面粗さを、前記他の支持部の前記本体部または前記プレートとの接触部の表面粗さと異ならせたことを特徴とする。
【0017】
本発明のさらに別の具体的態様は、前記一つの支持部の形状を、前記他の支持部の形状と異ならせたことを特徴とする。
【0018】
本発明のさらに別の具体的態様は、前記一つの支持部にかかる荷重を、前記他の支持部にかかる荷重と異ならせたことを特徴とする。
【0019】
本発明のさらに別の具体的態様は、前記一つの支持部が前記本体部または前記プレートに固定されていることを特徴とする。
【0020】
本発明のさらに別の具体的態様は、前記一つの支持部が前記本体部または前記プレートと一体に形成されていることを特徴とする。
【0021】
また本発明において、前記他の支持部は、コロ又は回転体からなるのが好ましい。この場合において、前記コロ又は回転体は、前記少なくとも一つの支持部と前記コロ又は回転体とを結ぶ直線上を移動可能なよう構成されるのが好ましい。
【0022】
また本発明において、前記基板支持体は、複数枚の基板を略水平状態で隙間をもって複数段に支持するよう構成されるのが好ましい。
【0023】
また本発明は、1000℃以上の温度で基板を加熱する工程を有する熱処理に適用して好適である。
【0024】
本発明の具体的態様によれば、基板を、該基板を水平に支持する本体部によって支持した状態で熱処理する熱処理装置において、前記基板と前記本体部との間に、前記基板の裏面における所定箇所を熱処理のときに前記本体部に拘束させる位置決め部材と、前記所定箇所を中心とする径方向に移動又は回転可能な複数の支持部材とを配置し、これら位置決め部材及び支持部材を介して前記基板を水平に支持した状態で、該基板を熱処理するようにしたことを特徴とする熱処理装置が提供される。
【0025】
また本発明の具体的態様によれば、基板を、該基板の裏面と転がり接触する複数のコロの上に載置した状態で保持する熱処理用基板保持具において、前記基板の裏面に滑り接触する位置決め部を備えると共に、前記各コロの転がり方向を、前記位置決め部と前記基板との滑り接触位置を中心とする半径方向に一致させ、これら位置決め部及びコロによって前記基板を水平に支持した状態で、該基板を保持するようにしたことを特徴とする熱処理用基板保持具も提供される。
前記コロは、前記基板の熱膨張に伴って転動するものであってもよいし、所定位置において、前記基板の熱膨張に伴って回転する回転体であってもよい。
【0026】
【発明の実施の形態】
図1は、実施の形態による熱処理装置の要部を示す。この熱処理装置は、垂直に立設された縦型の反応管2と、該反応管2の周囲を取り囲むように配置された筒状のヒータ4と、1バッチ分のウエハW…を多段に保持するボート6とを備える。この熱処理装置において、ボート6を除く部分の構成は、既存のものと同様であるため、詳細な説明は省略する(特願2002−55574や特願2002−181318参照)。
【0027】
反応管2には、該反応管2内へウエハWを処理する為のガスを導入するガス導入管8や、該反応管2内の処理済みガスを排気するガス排気管10等が接続されている。反応管2の下端は開口していて、その開口部からボート6がロードされ或いはアンロードされる。即ち、ボート6は、シールキャップ12に載っており、これらボート6及びシールキャップ12が図示せぬエレベータによって昇降されることにより、該ボート6が反応管2にロード/アンロードされる。
【0028】
図2(a)は、ボート6の構成を模式的に示す。ボート6は、上下一対の端板14,16と、これら端板14,16を繋ぐように鉛直方向に架け渡された少なくとも3本(ここでは3本とする。)の支柱18,18,18とを備えてなる。支柱18…の各々には、その長手方向に所定ピッチで突部20…が設けられている。突部20…は、支柱18に溝を形成することによって相対的に構成されたものでもよい。なお、ボート6は、例えばSiC、単結晶若しくは多結晶のSi、又は石英を用いて構成できる。
【0029】
図2(b)は、ボート6がウエハWを保持している状態を拡大して示す。まず、少なくとも3本の支柱18…における同じ高さに形成された少なくとも3組の支持部20…によってプレート(本体部)22が水平に支持されている。なお、図2(b)では便宜的に2組の支持部20,20のみを示し、残りの一つの支持部20は図示省略している。そして、このプレート22上には、一つの位置決め部材24及びコロ26a,26b…が配置されていて、これら位置決め部材24及びコロ26a,26b…を介してウエハWが支持されている。なお、プレート22もボート6と同様に、SiC、単結晶若しくは多結晶のSi、又は石英を用いて構成できる。
【0030】
図3(a)は、一枚のウエハWが支持されている状態を拡大して示す。図3(b)は、プレート22上の位置決め部材24及びコロ26a,26b…を平面方向からみた図である。位置決め部材24は、ウエハW裏面の略中心部を支持する位置に配置されている。一実施例では、プレート22を平面視円形に形成し、該プレート22の中心部に位置決め部材24を配置する。
この位置決め部材24は、略柱状をなし、その上面はウエハW裏面と面接触(滑り接触)し、下面はプレート22上面と面接触(滑り接触)する。なお、位置決め部材24の下面は、例えばピン等を用いてプレート22に固定してもよいし、又は位置決め部材24をプレート22と一体に形成してもよい。
【0031】
コロ26a,26b…は、位置決め部材24の高さと同じ直径を有する中空又は中実の円柱状をなしており、位置決め部材24と相まってウエハWを水平に支持する。従って、位置決め部材24とコロ26a,26b…とは、共にウエハWを支持する支持部として機能する。位置決め部材24は一つであるから、コロは少なくとも2つあれば、ウエハW裏面の3箇所を支持できる。一実施例では、4つのコロ26a,26b,26c,26dを備える。これにより、ウエハWの荷重を効果的に分散できる。
【0032】
これらコロ26a,26b,26c,26dは、プレート22上に転動自在に載置されている。即ち、コロ26a,26b,26c,26dは、ウエハW及びプレート22と転がり接触する。従って、複数の支持部のうち一つの支持部である位置決め部材24のプレート22に対する摩擦(滑り摩擦)が、他の支持部であるコロ26a,26b,26c,26dのプレート22に対する摩擦(転がり摩擦)よりも相対的に大きくなっている。
【0033】
コロ26a,26b,26c,26dは、それぞれ特定の一方向にのみ転動可能な支持部である。本発明では、各コロを、位置決め部24とそのコロとを結ぶ直線上を転動可能な向きに配置している。つまり、当該各コロの転がり方向を、位置決め部24とウエハWとの滑り接触位置を中心とする半径方向に一致させている。
【0034】
このように、熱処理用基板保持具としてのボート6は、ウエハWを、該ウエハWの裏面と転がり接触する複数のコロの上に載置した状態で保持するものであって、ウエハWの裏面に滑り接触する位置決め部材24を備えると共に、各コロ26a,26b,26c,26dの転がり方向を、位置決め部材24とウエハWとの滑り接触位置を中心とする半径方向に一致させ、これら位置決め部24及びコロ26a,26b,26c,26dによってウエハWを水平に支持した状態で、該ウエハWを保持するようにしたものである。
【0035】
本熱処理装置の作用は次の通りである。
まず、ボート6に1バッチ分の未処理ウエハW…を保持する。これにより、プレート22と、該プレート22に載置されウエハWを支持する複数の支持部24,26a,26b…とを有し、そのうち一つの支持部である位置決め部24のプレート22に対する摩擦を、他の支持部であるコロ26a,26b…のプレート22に対する摩擦よりも大きくしたボート6によりウエハWが支持される(基板支持工程)。
【0036】
次いで、該ボート6を反応管2内へロードする。これにより、シールキャップ12によって、反応管2の開口部が閉塞される。そして、ヒータ4によって反応管2が1000℃以上に加熱され、又ガス導入管8から処理ガスが導入される一方、ガス排気管10から処理済みガスが排気されることにより、反応管2内が所定の圧力に保たれながら、ウエハW…に所定の熱処理が施される(熱処理工程)。
【0037】
次いで、ボート6を反応管2からアンロードした後、該ボート6から処理済みウエハWを搬出する(基板搬出工程)。
【0038】
本熱処理装置によれば、次のような効果が得られる。
(1)位置決め部24がウエハW裏面の一箇所に面接触(滑り接触)するから、その一箇所において、ウエハWがプレート22に拘束される。従って、ウエハWはその一箇所をプレート22に対して不動の基準位置として熱膨張する。コロの転動方向は、該基準位置を中心とする半径方向に一致させてあるから、ウエハWが熱膨張するときには、全てのコロが該基準位置を中心として放射方向及び求心方向に良好に転動しうる。これにより、ウエハWに加わろうとする応力を確実に逃がすことができる。従って、スリップの発生を防止できる。
【0039】
(2)位置決め部24とウエハWとの接触位置(基準位置)を、該ウエハW裏面の中心部としたから、ウエハWが熱膨張するときに該接触位置(基準位置)に加わる応力を最小限に抑えることができる。これにより、スリップの発生がより確実に防止される。
【0040】
(3)プレート22を用いることにより、コロの配置個数がボート6の支柱の数に限定されることがなくなる。従って、例えば、支柱18が3本のボート6を用いながら、4つのコロ26a,26b,26c,26dにウエハの自重を分散させることができる。これにより、外径300[mm]以上の大型のウエハWを熱処理する場合であっても、該ウエハWにスリップが発生してしまうことを確実に防止できる。
【0041】
〔変形例1〕
図4は、変形例を示す。上記と同様の構成要素については同じ符号を付している。この変形例では、位置決め部材24の配置位置を、ウエハWの裏面における中心以外の位置に対応させている。このように、位置決め部材24とウエハWとの接触位置は、ウエハWの裏面において特に限定されない。但し、コロ26a,26b,26c,26dは、それぞれ位置決め部24とそのコロとを結ぶ直線上を転動可能な向きに配置している。この変形例でも、上記と同様の効果が得られる。
【0042】
〔変形例2〕
図5は、別の変形例を示す。上記と同様の構成要素については同じ符号を付している。この変形例では、プレート22を用いずに、位置決め部材24及びコロ26a…を、ボート6の支柱18の突部20上に配置したものである。この場合は、突部20が本体部として機能する。
【0043】
この変形例においては、3本の支柱18,18,18における同じ高さに形成された3組の突部20,20,20に、それぞれ位置決め部材24、コロ26a、コロ26bを配置している。コロ26a,26bは、それぞれ位置決め部24とそのコロとを結ぶ直線上を転動可能な向きに配置している。この変形例でも上記と同様な効果が得られる。
なお、位置決め部材24は、突部20に固定してもよいし、該突部20と一体に形成してもよい。また、ボート6における支柱の本数は4本又はそれ以上であってもよい。また、コロ26a,26bが突部20から転がり落ちないようにするために、突部に溝等の係止部を形成してもよい。
【0044】
〔変形例3〕
図6は、さらに別の変形例を示す。上記と同様の構成要素については同じ符号を付している。この変形例は、位置決め部材28を、コロ26a,26b…と同様の形状としたものである。コロ26a,26bは、上記と同様に、それぞれ位置決め部28とそのコロとを結ぶ直線上を転動する向きに配置している。
【0045】
位置決め部材28は、プレート22と転がり接触するが、その転がり摩擦は、コロ26a,26b…とプレート22との転がり摩擦よりも相対的に大きい。従って、熱処理のときには、ウエハWの熱膨張に伴ってまずコロ26a,26b…が転動し、位置決め部材28は殆ど不動である。そのため、位置決め部材28は、該位置決め部材28とウエハWとの転がり接触位置において、ウエハWをプレート22に対して拘束する機能を果たす。従って、この変形例でも上記と同様な効果が得られる。
【0046】
このように要するに、複数の支持部のうち一つの支持部の本体部(プレート22又は突部20)に対する摩擦を、他の支持部の本体部に対する摩擦よりも大きくすることにより、当該一つの支持部を位置決め部位材として機能させればよい。このことは、(a)当該一つの支持部と当該他の支持部とのとの材質を異ならせること、(b)両者の表面粗さを異ならせること、(c)両者の形状を異ならせること、(D)両者に加わるウエハWの荷重を異ならせること、(e)当該一つの支持部を本体部にピン等で固定すること、(f)当該一つの支持部を本体部と一体の形成すること、等によって実現できる。
【0047】
〔比較例〕
図7は、好ましくない比較例を示す。上記と同様の構成要素については、便宜的に同じ符号を付している。これは、位置決め部材24(28)を用いずに、単にコロ26a,26b,26c,26dをウエハWの半径方向に転動可能に配置しただけの例である。このように、ウエハWをプレート22(プレート22を用いない場合は突部20)に対して一箇所において拘束しない場合は、熱膨張のときにウエハWが位置決めされないから、ウエハWに対して、コロの転動方向とは異なる方向の応力が加わることがある。
【0048】
具体的には、図7(b)においてウエハWがコロ26Cとコロ26dとが対面する方向(図7(b)中、上下方向)に相対的に大きく熱膨張する場合を想定すると、コロ26C,26dは良好に転動しうる。しかしながら、コロ26a,26bは、当該方向とは交差する方向を転動方向としているから、これらのコロ26a,26bはうまく回転できない。その結果、コロ26a,26bとウエハWとは、転がり接触ではなく、滑り接触することになる。従って、当該滑り接触部分において、ウエハWに強い応力がかかり、結果としてスリップが発生する。
【0049】
なお、コロのように一方向にのみ移動可能な支持部ではなく、任意の方向に移動可能な支持部材(例えば、球状体)を用いるならば、特に位置決め部材24を用いる必要はない。しかしながら、複数の球の上にウエハWを載置した状態では、ウエハWと各球との接触が点接触となるから、当該各点に強い応力がかかり、その結果スリップが発生し易くなる。
【0050】
【発明の効果】
本発明によれば、熱処理のときに基板に発生するスリップを、より確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態による熱処理装置の要部構成を模式的に示す概略図。
【図2】熱処理用基板保持具としてのボートを示す図。
【図3】一つのウエハ支持態様を示す図。
【図4】別のウエハ支持態様を示す図。
【図5】さらに別のウエハ支持態様を示す図。
【図6】さらに別のウエハ支持態様を示す図。
【図7】比較例を示す図。
【符号の説明】
20…突部(本体部)、22…プレート(本体部)、24…位置決め部材(一つの支持部)、26a,26b,26c,26d…コロ(他の支持部)、28…位置決め部材(一つの支持部)、W…ウエハ(基板)。
Claims (2)
- 基板を基板支持体に支持した状態で熱処理する熱処理装置において、
前記基板支持体は、本体部と、該本体部に載置され基板を支持する複数の支持部とを有し、一つの前記支持部の前記本体部に対する摩擦を、他の前記支持部の前記本体部に対する摩擦よりも大きくしたことを特徴とする熱処理装置。 - 本体部と、該本体部に載置され基板を支持する複数の支持部とを有し、一つの前記支持部の前記本体部に対する摩擦を、他の前記支持部の前記本体部に対する摩擦よりも大きくした基板支持体により基板を支持する基板支持工程と、
前記基板支持体により基板を支持した状態で該基板を熱処理する熱処理工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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-
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- 2002-09-20 JP JP2002274655A patent/JP2004111781A/ja active Pending
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