JP2004095731A - 太陽電池パネル色むら検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】大面積の太陽電池パネルの画像に対する撮像、及び撮像された画像を用いての膜厚の検査を含む一連の処理を、可能な限り安価な装置を用いて行うことを可能とする検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置１０は、基板１１上に薄膜１２、１９が積層された太陽電池パネル１３、１５を搬送する搬送部１ａと、前記搬送部１ａにより搬送される前記太陽電池パネル１３、１５の速度に基づいて、撮像要求Ｐを送信する撮像制御部６ａと、前記撮像制御部６ａからの前記撮像要求Ｐに基づいて、前記搬送される太陽電池パネル１３、１５を撮像してパネル画像ＰＳを生成する撮像部２ａと、前記パネル画像ＰＳを解析して、前記薄膜１２、１９の膜厚を示す膜厚データ１Ｄ〜９Ｄ´を生成するデータ生成部７ａとを具備する。前記パネル画像は、前記薄膜の膜厚を色むらで示し、前記膜厚データは、前記色むらを解析することで生成される。
【選択図】 図１
【解決手段】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置１０は、基板１１上に薄膜１２、１９が積層された太陽電池パネル１３、１５を搬送する搬送部１ａと、前記搬送部１ａにより搬送される前記太陽電池パネル１３、１５の速度に基づいて、撮像要求Ｐを送信する撮像制御部６ａと、前記撮像制御部６ａからの前記撮像要求Ｐに基づいて、前記搬送される太陽電池パネル１３、１５を撮像してパネル画像ＰＳを生成する撮像部２ａと、前記パネル画像ＰＳを解析して、前記薄膜１２、１９の膜厚を示す膜厚データ１Ｄ〜９Ｄ´を生成するデータ生成部７ａとを具備する。前記パネル画像は、前記薄膜の膜厚を色むらで示し、前記膜厚データは、前記色むらを解析することで生成される。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池パネル色むら検査装置に関し、特に、太陽電池パネルに対して撮像されたパネル画像に基づいて、太陽電池パネルが有する薄膜の膜厚分布を示すデータ（パネル画像に示される色むらを解析することで生成される）を生成する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２１に、太陽電池の各形成過程（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）（以下、「各形成過程（ａ）〜（ｄ）」と記す）における形成物１３、１５（以下、「太陽電池パネル１３、１５」と記す）と、最終生成物である太陽電池１７とを示す。太陽電池パネル１３、１５、及び太陽電池１７は、一般的に大面積を有することが多い。図２１において、（ａ）はガラス基板１１、（ｂ）はガラス基板１１上に透明電極膜１２の形成された太陽電池パネル１３を示している。また、（ｃ）は、太陽電池パネル１３の透明電極膜１２上に半導体膜１４の形成された太陽電池パネル１５、（ｄ）は、太陽電池パネル１５の半導体膜１４上に裏面電極膜１６が形成されて生成した太陽電池１７を示している。
【０００３】
透明電極膜１２と半導体膜１３の各々の薄膜が均一の厚さに形成されない（即ち、膜厚１８ａ、１８ｂ、１８ｃの各々、又は膜厚１８ｄ、１８ｅ、１８ｆの各々が互いに異なる）と、太陽電池１７の光電効率に悪い影響を与えることがある。また、薄膜が均一の厚さに形成されないと、太陽電池パネル１３、１５、及び太陽電池１７に色むらが発生し、外見の印象が、色むらが発生していないときと比較して相対的に悪いものとなることがある。従って、形成過程（ｂ）においては透明電極膜１２の膜厚分布の検査が行われ、形成過程（ｃ）においては透明電極膜１２と半導体膜１４とを合わせた複合膜の膜厚分布の検査が行われる。これらの検査は、二次元のカメラを用いて太陽電池パネル１３、１５を撮像し、撮像されたパネル画像を画像解析することで行われる。
【０００４】
太陽電池パネル１３、１５が大面積を有するときであっても、出来る限り小型の装置でパネル画像の撮像を行うことを可能とすることが望まれる。
【０００５】
大面積の太陽電池パネル１３、１５に対する撮像、及び撮像されて生成したパネル画像に基づく膜厚分布の検査を、オンラインで自動的に行うことの可能な装置の開発が望まれる。
【０００６】
膜厚分布に対する最適な解析を行うことの可能な装置の開発が望まれる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、太陽電池パネルが大面積を有するときであっても、出来る限り小型の装置でパネル画像の撮像を行うことを可能とする装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、大面積の太陽電池パネルに対する撮像、及び撮像されて生成したパネル画像に基づく膜厚分布の検査を、オンラインで自動的に行うことの可能な装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の更に他の目的は、膜厚分布に対する最適な解析を行うことの可能な装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
以下に、［発明の実施の形態］で使用される番号・符号を括弧付で用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの符号は、［特許請求の範囲］の記載と［発明の実施の形態］の記載との対応を明らかにするために付加されたものであり、［特許請求の範囲］に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【００１１】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）は、基板（１１）上に薄膜（１２、１９）が積層された太陽電池パネル（１３、１５）を搬送する搬送部（１ａ）と、前記搬送部（１ａ）により搬送される前記太陽電池パネル（１３、１５）の速度に基づいて、撮像要求（Ｐ）を送信する撮像制御部（６ａ）と、前記撮像制御部（６ａ）からの前記撮像要求（Ｐ）に基づいて、前記搬送される太陽電池パネル（１３、１５）を撮像してパネル画像（ＰＳ）を生成する撮像部（２ａ）と、前記パネル画像（ＰＳ）を解析して、前記薄膜（１２、１９）の膜厚を示す膜厚データ（３Ｄ〜８Ｄ）を生成するデータ生成部（７ａ）とを具備する。前記パネル画像（ＰＳ）は、前記薄膜の膜厚を色むらで示し、前記膜厚データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、前記色むらを解析することで生成される。３Ｄ〜８Ｄは、３Ｄ、４Ｄ、５Ｄ、６Ｄ、７Ｄ、８Ｄを示している。
【００１２】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）は、前記搬送される太陽電池パネル（１３、１５）に光を照射する光照射部（３ａ）を更に具備する。前記光照射部（３ａ）から照射された光は、前記搬送される太陽電池パネル（１３、１５）により反射されて前記撮像部（２ａ）に入射される。
【００１３】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記光照射部（３ａ）から照射された光の前記搬送される太陽電池パネル（１３、１５）への入射角度は、１６〜２０°である。
【００１４】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、前記薄膜（１２、１９）の膜厚分布を示す膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）である。前記データ生成部（７ａ）は、前記パネル画像（ＰＳ）から前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）を生成する。
【００１５】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記太陽電池パネル（１３、１５）は、ガラス基板（１１）と前記薄膜（１２、１９）とを有している。前記撮像部（２ａ）は、前記ガラス基板（１１）と前記太陽電池パネル（１３、１５）のいずれかを撮像する。前記パネル画像（ＰＳ）は、前記撮像されるガラス基板（１１）、及び前記撮像される太陽電池パネル（１３、１５）のいずれかを示す画像データ（１Ｄ´、２Ｄ´）を含んでいる。前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第１膜厚分布データ（３Ｄ）を含んでいる。前記データ生成部（７ａ）は、前記太陽電池パネル（１３、１５）を示す画像データ（１Ｄ´）の第１輝度（１Ｒ、１Ｇ、１Ｂ、又は１Ｙ）を検出し、前記検出された第１輝度（１Ｒ、１Ｇ、１Ｂ、又は１Ｙ）を、前記ガラス基板（１１）を示す画像データ（２Ｄ´）の第２輝度（２Ｒ、２Ｇ、２Ｂ、又は２Ｙ）に基づいて補正することで前記第１膜厚分布データ（３Ｄ）を生成する。
【００１６】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第２膜厚分布データ（４Ｄ）を含み、前記太陽電池パネル（１３、１５）を示す画像データ（１Ｄ´）は、複数の第１画像データ（１Ｄ´Ｒ、１Ｄ´Ｇ、１Ｄ´Ｂ、又は１Ｄ´Ｙ）で構成されている。前記複数の第１画像データ（１Ｄ´Ｒ、１Ｄ´Ｇ、１Ｄ´Ｂ、又は１Ｄ´Ｙ）は、赤色の第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）、緑色の第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）、青色の第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の各々を含んでいる。前記ガラス基板（１１）を示す画像データ（２Ｄ´）は、複数の第２画像データ（２Ｄ´Ｒ、２Ｄ´Ｇ、２Ｄ´Ｂ、又は２Ｄ´Ｙ）で構成されている。前記複数の第２画像データ（２Ｄ´Ｒ、２Ｄ´Ｇ、２Ｄ´Ｂ、又は２Ｄ´Ｙ）は、赤色の第２赤色画像データ（２Ｄ´Ｒ）、緑色の第２緑色画像データ（２Ｄ´Ｇ）、青色の第２青色画像データ（２Ｄ´Ｂ）の各々を含んでいる。前記データ生成部（７ａ）は、前記第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）を検出し、前記検出された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）を前記第２赤色画像データ（２Ｄ´Ｒ）の第２輝度（２Ｒ）に基づいて補正し、前記補正された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）を用いて前記第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１色度（１Ｒ´）を算出する。前記データ生成部（７ａ）は、前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）を検出し、前記検出された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）を前記第２緑色画像データ（２Ｄ´Ｇ）の第２輝度（２Ｇ）に基づいて補正し、前記補正された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）を用いて前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１色度（１Ｇ´）を算出する。前記データ生成部（７ａ）は、前記第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１輝度（１Ｂ）を検出し、前記検出された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１輝度（１Ｂ）を前記第２青色画像データ（２Ｄ´Ｂ）の第２輝度（２Ｂ）に基づいて補正し、前記補正された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１輝度（１Ｂ）を用いて前記第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１色度（１Ｂ´）を算出し、前記算出された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１色度（１Ｒ´）、前記算出された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１色度（１Ｇ´）、前記算出された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１色度（１Ｂ´）のうち、少なくともいずれか２個の第１色度（１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´）を用いて前記第２膜厚分布データ（４Ｄ）を生成する。
【００１７】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第３膜厚分布データ（６Ｄ）を含んでいる。前記データ生成部（７ａ）は、前記算出された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１色度（１Ｒ´）と、前記第２赤色画像データ（２Ｄ´Ｒ）の第２輝度（２Ｒ）に基づいて算出される前記第２赤色画像データ（２Ｄ´Ｒ）の第２色度（２Ｒ´）との差（ΔＲ）、前記算出された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１色度（１Ｇ´）と、前記第２緑色画像データ（２Ｄ´Ｇ）の第２輝度（２Ｇ）に基づいて算出される前記第２緑色画像データ（２Ｄ´Ｇ）の第２色度（２Ｇ´）との差（ΔＧ）、前記算出された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１色度（１Ｂ´）と、前記第２青色画像データ（２Ｄ´Ｂ）の第２輝度（２Ｂ）に基づいて算出される前記第２青色画像データ（２Ｄ´Ｂ）の第２色度（２Ｂ´）との差（ΔＢ）の各々のうち、少なくともいずれか２個の差を用いて前記第３膜厚分布データ（６Ｄ）を生成する。
【００１８】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第４膜厚分布データ（７Ｄ）を含んでいる。前記第４膜厚分布データ（７Ｄ）は、前記補正された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）と、前記補正された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）に対応する画素数（ｉＸＹ）とを示している。前記第４膜厚分布データ（７Ｄ）は、前記補正された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）と、前記補正された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）に対応する画素数（ｉＸＹ）とを示している。前記第４膜厚分布データ（７Ｄ）は、前記補正された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１輝度（１Ｂ）と、前記補正された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１輝度（１Ｂ）に対応する画素数（ｉＸＹ）とを示している。前記データ生成部（７ａ）は、前記第４膜厚分布データ（７Ｄ）に基づいて、前記補正された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）、前記補正された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）、及び前記補正された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１輝度（１Ｂ）の各々に対する、第１平均値（Ｂｒ −、Ｂｇ −、Ｂｂ −）と第１標準偏差（σｒ、σｇ、σｂ）とを算出する。前記データ生成部（７ａ）は、前記算出の結果、前記算出される第１平均値（Ｂｒ −、Ｂｇ −、Ｂｂ −）が第１設定平均値（Ｂｒｓ −、Ｂｇｓ −、Ｂｂｓ −）の範囲内であり、前記算出される第１標準偏差（σｒ、σｇ、σｂ）が第１設定標準偏差（σｒｓ、σｇｓ、σｂｓ）の範囲内であるときに、前記膜厚分布が正常であると判断する。
【００１９】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第５膜厚分布データ（７Ｄ）を含んでいる。前記第５膜厚分布データ（７Ｄ）は、黄色の輝度画像データ（１Ｄ´Ｙ）の第１輝度（１Ｙ）と、前記輝度画像データ（１Ｄ´Ｙ）の画素数（ｉＸＹ）とを示している。前記データ生成部（７ａ）は、前記第５膜厚分布データ（７Ｄ）に基づいて、前記輝度画像データ（１Ｄ´Ｙ）の第１輝度（１Ｙ）に対する、第２平均値（Ｂｙ −）と第２標準偏差（σｙ）の各々を算出する。前記データ生成部（７ａ）は、前記算出の結果、前記算出される第２平均値（Ｂｙ −）が第２設定平均値（Ｂｙｓ −）の範囲内であり、前記算出される第２標準偏差（σｙ）が第２設定標準偏差（σｙｓ）の範囲内であるときに、前記膜厚分布が正常であると判断する。
【００２０】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記薄膜（１２、１９）は、透明電極膜（１２）と、前記透明電極膜（１２）と半導体膜（１３）とを含む複合膜（１９）とのいずれかであり、前記太陽電池パネル（１３、１５）は、前記透明電極膜（１２）と、前記複合膜（１９）とのいずれかを有している。前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、前記透明電極膜（１２）の膜厚分布と、前記複合膜（１９）の膜厚分布とのいずれかを示している。前記撮像部（２ａ）は、前記透明電極膜（１２）のパネル画像（ＰＳ）と、前記複合膜（１９）のパネル画像（ＰＳ）のいずれかを撮像して前記データ生成部（７ａ）に送信する。前記データ生成部（７ａ）は、前記送信されるいずれかのパネル画像（ＰＳ）を解析し、前記解析の結果に基づいて、前記いずれかの膜厚分布を示す膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）を生成する。
【００２１】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第６膜厚分布データ（８Ｄ）を含んでいる。前記画像データ（１Ｄ´）は、前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）である。前記第６膜厚分布データ（８Ｄ）は、設定輝度（１Ｇｇ）で二値化された前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）と、前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）のうち、前記設定輝度（１Ｇｇ）以上の前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の画素数（ｉＸＹ）とを示している。前記薄膜（１２、１９）は、透明電極膜（１２）であり、前記太陽電池パネル（１３、１５）は、前記透明電極膜（１２）を有している。前記データ生成部（７ａ）は、前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）を検出し、前記検出された第１輝度（１Ｇ）を前記第２緑色画像データ（２Ｄ´Ｇ）の第２輝度（２Ｇ）に基づいて補正し、前記補正された第１輝度（１Ｇ）と前記設定輝度（１Ｇｇ）とに基づいて前記第６膜厚分布データ（８Ｄ）を生成し、前記生成された第６膜厚分布データ（８Ｄ）における、前記第１輝度（１Ｇ）が前記設定輝度（１Ｇｇ）以上である第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の占有率（ＡＡＡ）を算出し、前記算出された占有率（ＡＡＡ）に基づいて、前記透明電極膜（１２）の膜厚分布が正常であるか否かを判断する。
【００２２】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第７膜厚分布データ（８Ｄ）を含んでいる。前記画像データ（１Ｄ´）は、前記第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）であり、前記第７膜厚分布データ（８Ｄ）は、設定輝度（１Ｇｒ）で二値化された前記第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）と、前記第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）のうち、前記設定輝度（１Ｇｒ）以上の第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の画素数（ｉＸＹ）とを示している。前記薄膜（１２、１９）は、透明電極膜（１２）と半導体膜（１４）とを有する複合膜（１９）であり、前記太陽電池パネル（１３、１５）は、前記複合膜（１９）を有している。前記データ生成部（７ａ）は、前記第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）を検出し、前記検出された第１輝度（１Ｒ）を前記第２赤色画像データ（２Ｄ´Ｒ）の第２輝度（２Ｒ）に基づいて補正し、前記補正された第１輝度（１Ｒ）と前記設定輝度（１Ｇｒ）とに基づいて前記第７膜厚分布データ（８Ｄ）を生成し、前記生成された第７膜厚分布データ（８Ｄ）における、前記第１輝度（１Ｒ）が前記設定輝度（１Ｇｒ）以上である第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の占有率（ＢＢＢ）を算出し、前記算出された占有率（ＢＢＢ）に基づいて、前記複合膜（１９）の膜厚分布が正常であるか否かを判断する。
【００２３】
本発明の太陽電池パネル色むら検査方法は、搬送部（１ａ）、撮像制御部（６ａ）、及び撮像部（２ａ）を具備する太陽電池パネル色むら検査装置（１０）により実行される。本発明の太陽電池パネル色むら検査方法は、前記搬送部（１ａ）が、基板（１１）上に薄膜（１２、１９）が積層された太陽電池パネル（１３、１５）を搬送するステップ（Ｓ１１、Ｓ２１、Ｓ３１）と、前記撮像制御部（６ａ）が、前記搬送部（１ａ）により搬送される前記太陽電池パネル（１３、１５）の速度に基づいて、撮像要求（Ｐ）を送信するステップ（Ｓ１３、Ｓ２３、Ｓ３３）とを具備する。また、本発明の太陽電池パネル色むら検査方法は、前記撮像部（２ａ）が、前記撮像制御部（６ａ）からの前記撮像要求（Ｐ）に応答して、前記搬送される太陽電池パネル（１３、１５）を撮像してパネル画像（ＰＳ）を生成するステップ（Ｓ１４、Ｓ２４、Ｓ３４）と、前記データ生成部（７ａ）が、前記パネル画像（ＰＳ）を解析して、前記薄膜（１２、１９）の膜厚を示す膜厚データ（３Ｄ〜８Ｄ）を生成するステップ（Ｓ１７ａ、Ｓ１７ｂ、Ｓ１７ｃ、Ｓ１７ｄ、Ｓ２７、Ｓ３７）とを具備する。前記パネル画像（ＰＳ）は、前記薄膜の膜厚を色むらで示し、前記膜厚データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、前記色むらを解析することで生成される。
【００２４】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
添付図面を参照して、本発明の太陽電池パネル色むら検査装置１０の実施の形態１について説明する。図１に、太陽電池パネル色むら検査装置１０の構成を示す。太陽電池パネル色むら検査装置１０は、搬送コンベア１ａ、カラーラインセンサカメラ２ａ、ライン照明器３ａ、調光器４ａ、光電スイッチ５ａ、ロータリーエンコーダ６ａ、画像処理装置７ａ、表示装置８ａの各々を具備している。
【００２５】
搬送コンベア１ａには、太陽電池パネル１３、１５を搬送するための一対で構成された複数のローラ１ａ−ｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）が備えられており、各々のローラ１ａ−ｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）と、太陽電池パネル１３、１５とが接する構成になっている。これらのローラ１ａ−ｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）が同時に所定の回転速度で、所定方向に回転することで、太陽電池パネル１３、１５は搬送方向Ｙへ向かって搬送される。
【００２６】
カラーラインセンサカメラ２ａとライン照明器３ａは、各々、別個の固定物（カラーラインセンサカメラ２ａ：柱２ｂ、柱２ｃ、柱２ｄ、ライン照明器３ａ：柱３ｂ、柱３ｃ）によって、搬送方向Ｙに対して鉛直方向に固定して設置されている。カラーラインセンサカメラ２ａとライン照明器３ａとに対する詳細な配置形態を図２に示す。ライン照明器３ａは、蛍光灯等で構成され、搬送コンベア１ａ上を搬送されるガラス基板１１、太陽電池パネル１３、１５の表面上の撮像される領域（撮像領域）に対して照射光Ｌ１を照射する。撮像領域は、図３に示すような一列の領域ｘｙｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）の各々のうち、いずれかに相当する（以下、「撮像領域ｘｙｉ」と記す）。照射された照射光Ｌ１は、太陽電池パネル１３、１５によって反射され、反射光Ｌ２としてカラーラインセンサカメラ２ａに入射する。
【００２７】
搬送コンベア１ａに対する垂線Ｌ３と照射光Ｌ１とのなす角度α１、及び垂線Ｌ３と反射光Ｌ２とのなす角度α２の各々は、太陽電池パネル１３、１５（又は、ガラス基板１１）に対する撮像条件を考慮して、１６〜２０°の程度の範囲内に収まるように設定されている。但し、角度α１、α２の各々は、１８°に設定されることが最も望ましい。
【００２８】
カラーラインセンサカメラ２ａは、画像処理装置７ａからトリガ信号Ｔを受信すると、太陽電池パネル１３、１５（又は、ガラス基板１１）の撮像領域ｘｙｉを認識し、認識された撮像領域ｘｙｉを撮像してパネル画像ＰＳｉを生成し、生成されたパネル画像ＰＳｉを画像処理装置７ａに送信する。この撮像領域ｘｙｉの撮像と、生成されたパネル画像ＰＳｉの画像処理装置７ａへの送信を含む一連の処理が繰り返されることで、最終的に太陽電池パネル１３、１５全体のパネル画像ＰＳが生成され、画像処理装置７ａに送信される。調光器４ａは、照射光Ｌ１の強度が、所定強度となるように調節する。
【００２９】
搬送コンベア１ａ上を搬送される太陽電池パネル１３、１５の撮像領域ｘｙｉが認識され、認識された撮像領域ｘｙｉが撮像されてパネル画像ＰＳｉが生成される処理が順次行われることで、大面積の太陽電池パネル１３、１５に対しても、全体を撮像することが可能となる。カラーラインセンサカメラ２ａについては、撮像領域ｘｙｉを認識して撮像することが可能であればよい。従って、大面積の太陽電池パネル１３、１５全体の撮像を可能とするような大規模で、高価な装置は不要となる（太陽電池パネル１３、１５の製造に係る製造コストを最小限に抑制することが可能となる）。また、ライン照明器３ａについては、撮像領域ｘｙｉへの照射光Ｌ１の照射が可能であればよい。従って、大面積の太陽電池パネル１３、１５全体の光照射を可能とするような大規模で、高価な装置は不要となる（上記と同様の理由で、製造コストを最小限に抑制することが可能となる）。
【００３０】
光電スイッチ５ａは、撮像の対象である太陽電池パネル１３、１５（又は、ガラス基板１１）が所定位置に所在するか否かを検出する。光電スイッチ５ａは、その検出を行ったときに、太陽電池パネル１３、１５（又は、ガラス基板１１）が所定位置にあることを通知する通知信号Ｎを画像処理装置７ａに送信する。所定位置は、例えば、搬送方向が図２におけるＹの方向であるときには、撮像領域ｘｙｉに入射する照射光Ｌ１と垂線Ｌ３とのなす角度α１と、その撮像領域ｘｙｉから反射する反射光Ｌ２と垂線Ｌ３とのなす角度α２の各々が、１６〜２０°（望ましくは１８°）になったときと定義される。但し、この定義形態は一例であり、この形態には限らない。
【００３１】
ロータリーエンコーダ６ａは、各々のローラ１ａ−ｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）の中心に開けられた中心孔部１Ａ−ｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）のうち、いずれかに嵌め込まれることによってローラ１ａ−ｉと接続されており、ローラ１ａ−ｉの回転速度を検出する。また、ロータリーエンコーダ６ａは、ローラ１ａ−ｉの回転速度に対応して、ローラ１ａ−ｉの１回転当たりに数百パルス〜数パルス（予め設定される）のパルス信号Ｐを画像処理装置７ａに送信する。
【００３２】
実施の形態１における画像処理装置７ａのブロック図を図４に示す。画像処理装置７ａは、トリガ信号送信部７ａａ、記憶部７ａｂ、輝度検出・補正部７ａｃ、色度算出部７ａｄ、色度図・色差図生成部７ａｅの各々を具備している。
【００３３】
トリガ信号送信部７ａａは、光電スイッチ５ａから通知信号Ｎを受信し、また、ロータリーエンコーダ６ａからパルス信号Ｐを受信する。トリガ信号送信部７ａａは、１パルスのパルス信号Ｐを受信する毎に１回、トリガ信号Ｔをカラーラインセンサカメラ２ａに送信する。従って、結果的に、ローラ１ａ−ｉの１回転当たりに、トリガ信号Ｔのトリガ信号送信部７ａａからカラーラインセンサカメラ２ａへの送信が数百回〜数回行われる（ローラ１ａ−ｉの１回転当たりに、数百パルス〜数パルスのパルス信号Ｐが送信されるため）。
【００３４】
上記の構成においては、ローラ１ａ−ｉの回転速度と、ガラス基板１１、太陽電池パネル１３、１５の撮像領域ｘｙｉの撮像（及びパネル画像ＰＳｉの生成）に対する速度とは対応している。ローラ１ａ−ｉの回転速度は、太陽電池パネル１３、１５、又はガラス基板１１の搬送速度に対応している。従って、使用されるカラーラインセンサカメラ２ａの撮像に対する分解能（予め設定される）に基づいて、太陽電池パネル１３、１５、又はガラス基板１１の搬送速度を設定することも可能となる。
【００３５】
記憶部７ａｂは、図５に示す色度算出式１Ｔａを記憶している。色度算出式１Ｔａは、輝度検出・補正部７ａｃが、パネル画像ＰＳに示される画像データの輝度を用いて色度を算出するときに用いられる式である。色度算出式１Ｔａには、赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂ、赤色画像データ輝度２Ｒ、緑色画像データ輝度２Ｇ、青色画像データ輝度２Ｂの各々が示されている。また、色度算出式１Ｔａには、赤色度１Ｒ´、緑色度１Ｇ´、青色度１Ｂ´、赤色度２Ｒ´、緑色度２Ｇ´、青色度２Ｂ´の各々が示されている。
【００３６】
赤色画像データ輝度１Ｒは、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳに示される赤色画像データ１Ｄ´Ｒ（図６に示す）の輝度であり、緑色画像データ輝度１Ｇは、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳに示される緑色画像データ１Ｄ´Ｇ（図６に示す）の輝度である。青色画像データ輝度１Ｂは、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳに示される青色画像データ１Ｄ´Ｂ（図６に示す）の輝度である。また、赤色画像データ輝度２Ｒは、ガラス基板１１のパネル画像ＰＳに示される赤色画像データ２Ｄ´Ｒ（図６に示す）の輝度であり、緑色画像データ輝度２Ｇは、ガラス基板１１のパネル画像ＰＳに示される緑色画像データ２Ｄ´Ｇ（図６に示す）の輝度である。青色画像データ輝度２Ｂは、ガラス基板１１のパネル画像ＰＳに示される青色画像データ２Ｄ´Ｂ（図６に示す）の輝度である。
【００３７】
輝度検出・補正部７ａｃは、カラーラインセンサカメラ２ａが生成して送信したパネル画像ＰＳｉを順次受信することで、最終的にパネル画像ＰＳを受信する。また、輝度検出・補正部７ａｃは、受信したパネル画像ＰＳにおいて示される、ガラス基板１１、又は太陽電池パネル１３、１５を示す画像データ（太陽電池パネル画像データ１Ｄ´、又はガラス基板画像データ２Ｄ´）を、図６の（ａ）に示すような画素単位ＸＹに分割する。図６の（ａ）の太陽電池パネル画像データ１Ｄ´、又はガラス基板画像データ２Ｄ´においては、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の各々に基板（ガラス基板１１、又は太陽電池パネル１３、１５）の長さがとられ、１枚の基板がＸＹ平面の座標上（０≦Ｘ≦ｘ７、０≦Ｙ≦ｙ８の範囲）に示されている。太陽電池パネル画像データ１Ｄ´には、赤色画像データ１Ｄ´Ｒ、緑色画像データ１Ｄ´Ｇ、青色画像データ１Ｄ´Ｂの各々が示される。ガラス基板画像データ２Ｄ´には、赤色画像データ２Ｄ´Ｒ、緑色画像データ２Ｄ´Ｇ、青色画像データ２Ｄ´Ｂの各々が示される。更に、輝度検出・補正部７ａｃは、分割された画素単位ＸＹ毎に、赤色画像データ１Ｄ´Ｒの赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ１Ｄ´Ｇの緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ１Ｄ´Ｂの青色画像データ輝度１Ｂの各々を検出する。又は、輝度検出・補正部７ａｃは、ティーチングエリアＸ´Ｙ´に含まれる画素単位ＸＹ毎に、赤色画像データ２Ｄ´Ｒの赤色画像データ輝度２Ｒ、緑色画像データ２Ｄ´Ｇの緑色画像データ輝度２Ｇ、青色画像データ２Ｄ´Ｂの青色画像データ輝度２Ｂの各々を検出する。
【００３８】
ガラス基板１１のパネル画像ＰＳに示される画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂ（赤色画像データ輝度２Ｒ、緑色画像データ輝度２Ｇ、青色画像データ輝度２Ｂ）は、理論的にはどの画素単位ＸＹ（図６の（ａ）では、５６個の画素単位ＸＹに分割されている）でも等しいものと考えられる。しかしながら、一般的にはカラーラインセンサカメラ２ａの周辺減光、及びそれに含まれる撮像素子の感度の不均一性等が原因となり、理論上の画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂと、実際に検出される画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂとは互いに相違することが多い。この相違は、パネル画像ＰＳのうち、周辺部の画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂが、中心部の画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂと比較して薄い結果となって現れる。従って、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳに示される画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂ（赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂ）に対しては、検出された画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂに基づいた補正が必要になる。画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの検出、及び検出された画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの補正（「シェーディング補正」と呼称される）は、具体的に次の処理によって行われる。
【００３９】
ここでは、赤色画像データ輝度２Ｒを基にした赤色画像データ輝度１Ｒの補正を例に挙げて説明するが、緑色画像データ輝度２Ｇを基にした緑色画像データ輝度１Ｇの補正、及び青色画像データ輝度２Ｂを基にした青色画像データ輝度１Ｂの補正の各々に対しても、同様の処理が行われる。緑色画像データ輝度２Ｇを基にした緑色画像データ輝度１Ｇの補正においては、以下の実施の形態１の説明における「赤色画像データ輝度２Ｒ」は「緑色画像データ輝度１Ｇ」、「赤色輝度表示データ１ＤＤ´Ｒ」は「緑色輝度表示データ１ＤＤ´Ｇ」、「赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒ」は「緑色輝度表示データ２ＤＤ´Ｇ」にそれぞれ読み替えられる。また、青色画像データ輝度２Ｂを基にした青色画像データ輝度１Ｂの補正においては、以下の実施の形態１の説明における「赤色画像データ輝度２Ｒ」は「青色画像データ輝度２Ｂ」、「赤色輝度表示データ１ＤＤ´Ｒ」は「青色輝度表示データ１ＤＤ´Ｂ」、「赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒ」は「青色輝度表示データ２ＤＤ´Ｂ」にそれぞれ読み替えられる。
【００４０】
上記の補正を行うため、太陽電池パネル１３、１５の撮像の前に、予めガラス基板１１の撮像が行われる。輝度検出・補正部７ａｃは、カラーラインセンサカメラ２ａが生成した、ガラス基板１１のパネル画像ＰＳを受信すると、受信したパネル画像ＰＳのティーチングエリアＸ´Ｙ´に含まれる各々の画素単位ＸＹ（７個が含まれる）毎に赤色画像データ輝度２Ｒを検出する。輝度検出・補正部７ａｃは、検出された赤色画像データ輝度２Ｒを基にして図６の（ｃ）に示される赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒを生成する。生成された赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒは記憶部７ａｂに記憶される。赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒは、基板長さＸ（横方向）に対する赤色画像データ輝度２Ｒを示している。
【００４１】
輝度検出・補正部７ａｃは、カラーラインセンサカメラ２ａが生成した、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳを受信すると、受信したパネル画像ＰＳを示す画像データ１Ｄ´に含まれる画素単位ＸＹ（５６個が含まれる）毎に、赤色画像データ輝度１Ｒを検出する。赤色画像データ輝度１Ｒは、例えば第１曲線：２Ｒ＝ａＸ２＋ｂＸ＋ｃのような式で示され、理論上の赤色画像データ輝度２Ｒ＝２Ｒａ（基板上の位置によらず一定）であることから、次の式により、補正後の赤色画像データ輝度１Ｒが算出される。ここでは、同一の行（例えば０≦Ｘ≦ｘ１、０≦Ｙ≦ｙ８の範囲）に含まれる画素単位ＸＹにおいては、赤色画像データ輝度１Ｒの補正係数＝（２Ｒａ／ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ）は、等しいものとしている。
（補正後の赤色画像データ輝度１Ｒ）＝（補正前の赤色画像データ輝度１Ｒ）×
（２Ｒａ／ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ）
【００４２】
図６の（ｃ）は、補正前の赤色画像データ輝度１Ｒを示す曲線（第２曲線：１Ｒ＝ｄＸ２＋ｅＸ＋ｆ）と、補正後の赤色画像データ輝度１Ｒを示す曲線（第３曲線：１Ｒ＝ｇＸ２＋ｈＸ＋ｉ）とを示す赤色輝度表示データ１ＤＤ´Ｒである。
【００４３】
輝度検出・補正部７ａｃは、上記のシェーディング補正後における、赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂの各々を合成して、図７の（ｂ）に示す補正データ３Ｄを生成する。図７の（ａ）は、補正前における、赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂの各々を合成した原画データＯＤを示している。図７の（ａ）においては、各々の領域ＡＲａ、ＡＲｂ、ＡＲｃ、ＡＲｄ、ＡＲｅにおける斜線の本数によって、色の濃さ（＝画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの値の大きさ）が表現されている。図６の（ｃ）の第２曲線（上に凸の曲線）によって示される赤色画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂに対応して、原画データＯＤにおいては周辺部（０≦Ｘ≦ｘ１．５、ｘ５≦Ｘ≦ｘ７）の色が相対的に薄くなっている。それに対し、補正データ３Ｄにおいては逆に、図６の（ｃ）の第３曲線（下に凸の曲線）によって示される画像データ輝度１Ｒに対応して、周辺部（０≦Ｘ≦ｘ１．５、ｘ５≦Ｘ≦ｘ７）の色が相対的に濃くなっている。
【００４４】
色度算出部７ａｄは、色度算出式１Ｔａを用いて補正後の画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂを各々変換し、色度（赤色度１Ｒ´、緑色度１Ｇ´、青色度１Ｂ´）１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´を算出する。色度図・色差図生成部７ａｅは、色度算出部７ａｄによって算出された色度１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´を基にして、図８に示す太陽電池パネル色度図データ４Ｄを生成する。太陽電池パネル色度図データ４Ｄは、太陽電池パネル１３、又は太陽電池パネル１５のいずれかに対する色度１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´のうち、いずれか２個の値を平面図の横軸、縦軸の各々にプロットすることで生成された二次元図である（色度１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´の全てをプロットして、三次元図を生成することも可能である）。
【００４５】
色度図・色差図生成部７ａｅは、色度算出部７ａｄによって算出された、ガラス基板１１のパネル画像ＰＳに示される画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂと、色度算出式１Ｔａとを用いて算出された色度２Ｒ´、２Ｇ´、２Ｂ´を基にして、図９に示すガラス基板色度図データ５Ｄを生成する。ガラス基板色度図データ５Ｄは、ガラス基板１１に対する色度２Ｒ´、２Ｇ´、２Ｂ´のうち、いずれか２個の値を平面図の横軸、縦軸の各々にプロットすることで生成された二次元図である（色度２Ｒ´、２Ｇ´、２Ｂ´の全てをプロットして、三次元図を生成することも可能である）。また、色度図・色差図生成部７ａｅは、ガラス基板色度図データ５Ｄを参照して算出された、色度１Ｒ´と色度２Ｒ´との色度差ΔＲ（１Ｒ´−２Ｒ´）、色度１Ｇ´と色度２Ｇ´との色度差ΔＧ（１Ｇ´−２Ｇ´）、色度１Ｂ´と色度２Ｂ´との色度差ΔＢ（１Ｂ´−２Ｂ´）の各々のうち、いずれか２個の値を用いて、太陽電池パネル色差図データ６Ｄを生成する。太陽電池パネル色差図データ６Ｄは、上記の差ΔＲ、ΔＧ、ΔＢのうち、いずれか２個の差を平面図の横軸、縦軸の各々にプロットすることで生成された二次元図である（上記の色度差ΔＲ、ΔＧ、ΔＢの全てをプロットして、三次元図を生成することも可能である）。
【００４６】
輝度検出・補正部７ａｃは、上記の生成された補正データ３Ｄを表示部８ａに送信し、色度図・色差図生成部７ａｅは、上記の生成された太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々を表示部８ａに送信する。表示部８ａは、受信した補正データ３Ｄ、太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々を、図１１に示すような同一の表示画面ＳＣで表示する。表示された補正データ３Ｄ、太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々は、太陽電池パネル１３、１５の膜厚検査を行う者（以下、「検査者」と記す）によって、印字装置９ａから印字出力される。これにより、検査者は、補正データ３Ｄ、太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々の比較対照による膜厚の検査が可能となり、この検査結果に基づいて太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布が正常であるかどうか（膜厚のむらが許容範囲内にあるかどうか）を判断することも可能となる。
【００４７】
尚、表示（及び印字）の形態は上記には限らず、補正データ３Ｄ、太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々を個別に表示画面ＳＣに表示させ、個別に印字する形態であっても構わない。
【００４８】
次に、図１２を用いて、本発明の太陽電池パネル膜厚検査方法１０ａの実施の形態１において行われる処理について説明する。
【００４９】
搬送コンベア１ａにガラス基板１１が載せられ、ローラ１ａ−ｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）が同時に所定の回転速度で、所定方向に回転することで、ガラス基板１１が搬送方向Ｙへ向かって搬送される（ステップＳ１１）。光電スイッチ５ａは、撮像の対象であるガラス基板１１が所定位置に所在することを検出し、検出の結果に基づいて通知信号Ｎをトリガ信号送信部７ａａに送信する（ステップＳ１２）。ロータリーエンコーダ６ａは、ローラ１ａ−ｉの１回転当たりに数百パルス〜数パルスのパルス信号Ｐをトリガ信号送信部７ａａに送信し、トリガ信号送信部７ａａは送信されたパルス信号Ｐを受信する。トリガ信号送信部７ａａは、１パルスのパルス信号Ｐを受信する毎に１回、トリガ信号Ｔをカラーラインセンサカメラ２ａに送信する（ステップＳ１３）。カラーラインセンサカメラ２ａは、トリガ信号送信部７ａａからのトリガ信号Ｔの受信、ガラス基板１１の撮像領域ｘｙｉの認識、認識された撮像領域ｘｙｉの撮像の一連の処理を繰り返すことで、最終的にガラス基板１１全体のパネル画像ＰＳを生成して、輝度検出・補正部７ａｃに送信する（ステップＳ１４）。
【００５０】
輝度検出・補正部７ａｃは、受信したパネル画像ＰＳにおいて示される、ガラス基板１１を示すガラス基板画像データ２Ｄ´に対し、ティーチングエリアＸ´Ｙ´に含まれる画素単位ＸＹ毎に、画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの各々を検出する。輝度検出・補正部７ａｃは、検出された画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを基にして輝度表示データ２ＤＤ´Ｒ、２ＤＤ´Ｇ、２ＤＤ´Ｂを生成する。記憶部７ａｂは、生成された輝度表示データ２ＤＤ´Ｒ、２ＤＤ´Ｇ、２ＤＤ´Ｂを記憶する（ステップＳ１５）。
【００５１】
以下、太陽電池パネル１３、１５を用いて、ステップＳ１１〜Ｓ１４と同様の処理を行う。このとき、ステップＳ１１〜Ｓ１４における、「ガラス基板１１」は「太陽電池パネル１３、１５」に読み替えられる。また、太陽電池パネル１３、１５に対しては、上記のステップＳ１５は行われない。
【００５２】
輝度検出・補正部７ａｃは、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳを示す画像データ１Ｄ´の画素単位ＸＹ毎に、画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂを検出する。輝度検出・補正部７ａｃは、検出された赤色画像データ輝度１Ｒを赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒに基づいて補正し、検出された緑色画像データ輝度１Ｇを緑色輝度表示データ２ＤＤ´Ｇに基づいて補正し、検出された青色画像データ輝度１Ｂを青色輝度表示データ２ＤＤ´Ｂに基づいて補正する（ステップＳ１６）。
【００５３】
輝度検出・補正部７ａｃは、上記のシェーディング補正後における、赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂの各々を合成して補正データ３Ｄを生成する（ステップＳ１７ａ）。
【００５４】
色度算出部７ａｄは、色度算出式１Ｔａを用いて画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを各々変換し、色度２Ｒ´、２Ｇ´、２Ｂ´を算出する。色度図・色差図生成部７ａｅは、色度算出部７ａｄによって算出された色度２Ｒ´、２Ｇ´、２Ｂ´を基にしてガラス基板色度図データ５Ｄを生成する（ステップＳ１７ｂ）。
【００５５】
色度算出部７ａｄは、色度算出式１Ｔａを用いてシェーディング補正後の画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂを各々変換し、色度１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´を算出する。色度図・色差図生成部７ａｅは、色度算出部７ａｄによって算出された色度１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´を基にして太陽電池パネル色度図データ４Ｄを生成する（ステップＳ１７ｃ）。色度図・色差図生成部７ａｅは、赤色度１Ｒ´と赤色度２Ｒ´との差（ΔＲ）、緑色度１Ｇ´と緑色度２Ｇ´との差（ΔＧ）、青色度１Ｂ´と青色度２Ｂ´との差（ΔＢ）を各々算出し、算出された差ΔＲ、ΔＧ、ΔＢのうち、少なくともいずれか２個を用いて太陽電池パネル色差図データ６Ｄを生成する（ステップＳ１７ｄ）。
【００５６】
輝度検出・補正部７ａｃは、上記の生成された補正データ３Ｄを表示部８ａに送信し、色度図・色差図生成部７ａｅは、上記の生成された太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々を表示部８ａに送信する。表示部８ａは、受信した補正データ３Ｄ、太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々を表示画面ＳＣで表示する。表示された補正データ３Ｄ、太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々は、検査者によって、印字装置９ａから印字出力される（ステップＳ１８）。
【００５７】
（実施の形態２）
実施の形態２における太陽電池パネル色むら検査装置１０の構成は、図１と同様であるので、その詳細な説明は省略する。実施の形態２における画像処理装置７ａのブロック図を図１３に示す。画像処理装置７ａは、トリガ信号送信部７ａａ、記憶部７ａｂ、輝度検出・補正部７ａｃ、輝度ヒストグラム生成部７ａｆ、平均値・標準偏差算出部７ａｇの各々を具備している。これらのうち、トリガ信号送信部７ａａ、輝度検出・補正部７ａｃの各々は、実施の形態１と同様の処理を行うので、その詳細な説明は省略する。
【００５８】
実施の形態２における記憶部７ａｂは、図１４に示す算出式・設定値格納テーブル１Ｔを具備している。算出式・設定値格納テーブル１Ｔは、平均値算出式１Ｔｂ、標準偏差算出式１Ｔｃ、輝度画像データ輝度算出式１Ｔｄ、設定平均値、設定標準偏差の各々を格納している。
【００５９】
平均値算出式１Ｔｂは、輝度ヒストグラム生成部７ａｇが、各画像データ輝度ヒストグラム（後述）に基づいて、パネル画像ＰＳに示される画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂに対する、画素単位ＸＹでの平均値を算出するときに用いられる式である。図１４においては、画素単位ＸＹが合計して５６個（図６の（６ａ）に示される）のときに、青色画像データ輝度１Ｂの平均値Ｂ−を算出するときを例に挙げて式を示している。Ｂ１、Ｂ２、…、Ｂ５６は、図６の（６ａ）に示す画素単位ＸＹのうちのいずれかに対する青色画像データ輝度である。標準偏差算出式１Ｔｃは、各画像データ輝度ヒストグラムに基づいて、パネル画像ＰＳに示される画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂに対する、画素単位ＸＹでの輝度分布を示す標準偏差σを算出するときに用いられる式である。図１４においては、青色画像データ輝度１Ｂの標準偏差σｂを算出するときを例に挙げて標準偏差算出式１Ｔｃを示しており、Ｂ２−は、Ｂ１ ２、Ｂ２ ２、…、Ｂ５６ ２の平均であり、｛Ｂ−｝２はＢ−の２乗である。輝度画像データ輝度算出式１Ｔｄは、赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂを合成して、黄色の画像データの輝度１Ｙを算出するときに用いられる式である。
【００６０】
設定平均値、設定標準偏差の各々は、平均値・標準偏差算出部７ａｇが、上記の算出される平均値、標準偏差の各々に基づいて太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布（膜厚のむら）がどの程度であるかを判断するときに、その判断の基準とされる値である。Ｂｒｓ −は赤色画像データ輝度１Ｒに対する設定平均値であり、Ｂｇｓ −は緑色画像データ輝度１Ｇに対する設定平均値である。Ｂｂｓ −は青色画像データ輝度１Ｂに対する設定平均値であり、Ｂｙｓ −は輝度画像データ輝度１Ｙに対する設定平均値である。σｒｓ −は赤色画像データ輝度１Ｒに対する設定標準偏差であり、σｇｓ −は緑色画像データ輝度１Ｇに対する設定標準偏差である。σｂｓ −は青色画像データ輝度１Ｂに対する設定標準偏差であり、σｙｓ −は輝度画像データ輝度１Ｙに対する設定標準偏差である。各画像データ輝度ヒストグラムに基づいて算出された、赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂの各々について、画素単位ＸＹでの平均値が設定平均値の範囲内であり、また、画素単位ＸＹでの輝度の分布を示した標準偏差が設定標準偏差の範囲内であるときに、膜厚分布は正常である（膜厚のむらの程度が許容範囲内である）と判断される。
【００６１】
輝度ヒストグラム生成部７ａｆは、輝度検出・補正部７ａｃが画素単位ＸＹ毎に検出して補正した画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂと、画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂと輝度画像データ輝度算出式１Ｔｄとに基づいて算出される輝度画像データ輝度１Ｙとの各々を用いて、図１５に示す各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄを生成する。生成された各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄは、輝度ヒストグラム生成部７ａｆによって表示装置８ａに送信される。各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄには、赤色画像データ輝度ヒストグラム７Ｄａ、緑色画像データ輝度ヒストグラム７Ｄｂ、青色画像データ輝度ヒストグラム７Ｄｃ、輝度画像データ輝度ヒストグラム７Ｄｄの各々が示されている。また、各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄには、各々の画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂ、１Ｙに対して算出された、平均値と標準偏差とが付記して示されている。判断結果は、平均値・標準偏差算出部７ａｇによって算出された、太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布が正常であるかどうかの判断の結果である。この判断結果は、算出された平均値（Ｂｂ −、Ｂｇ −、Ｂｒ −、Ｂｙ −）と設定平均値（Ｂｂｓ −、Ｂｇｓ −、Ｂｒｓ −、Ｂｙｓ −）の大小関係、算出された標準偏差（σｂ、σｇ、σｒ、σｙ）と設定標準偏差（σｂｓ、σｇｓ、σｒｓ、σｙｓ）の大小関係の各々に対応している。
【００６２】
平均値・標準偏差算出部７ａｇは、平均値算出式を用いて画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの各々に対する、画素単位ＸＹでの平均値を算出し、また、標準偏差算出式を用いて画素単位ＸＹでの画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの分散を示す標準偏差を算出する。また、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出された平均値（以下、「算出平均値」と記す）Ｂｒ −、Ｂｇ −、Ｂｂ −と設定平均値Ｂｒｓ −、Ｂｇｓ −、Ｂｂｓ −とを比較し、算出された標準偏差（以下、「算出標準偏差」と記す）σｂ、σｇ、σｒ、σｙと設定標準偏差σｂｓ、σｇｓ、σｒｓ、σｙｓとを比較する。この比較の結果、算出平均値Ｂｒ −≦設定平均値Ｂｒｓ −、算出平均値Ｂｇ −≦設定平均値Ｂｇｓ −、算出平均値Ｂｂ −≦設定平均値Ｂｂｓ −、算出標準偏差σｒ −≦設定標準偏差σｒｓ −、算出標準偏差σｇ −≦設定標準偏差σｇｓ −、算出標準偏差σｂ −≦設定標準偏差σｂｓ −の各々が成立するときに、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布が正常であると判断する。
【００６３】
又は、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、平均値算出式を用いて輝度画像データ輝度１Ｙに対する、画素単位ＸＹでの平均値を算出し、また、標準偏差算出式を用いて画素単位ＸＹでの輝度画像データ輝度１Ｙの分散を示す標準偏差を算出する。また、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出平均値Ｂｙ −と設定平均値Ｂｙｓ −とを比較する。更に、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出標準偏差σｙ −と設定標準偏差σｙｓ −とを比較する。この比較の結果、算出平均値Ｂｙ −≦設定平均値Ｂｙｓ −、算出標準偏差σｙ −≦設定標準偏差σｙｓ −の各々が成立するときに、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布が正常であると判断する。
【００６４】
各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄにより、検査者は膜厚分布が正常であるかどうかの判断を行うことが可能となる。尚、判断結果（膜厚分布が正常であるか否か）は必ずしも示される必要はない。しかしながら、判断結果が示されないときにおいても、検査者は、Ｂｒ −、Ｂｇ −、Ｂｂ −と設定平均値Ｂｒｓ −、Ｂｇｓ −、Ｂｂｓ −との大小関係、及び算出標準偏差σｂ、σｇ、σｒ、σｙと設定標準偏差σｂｓ、σｇｓ、σｒｓ、σｙｓとの大小関係の各々を上記の形態で比較した結果に基づいて、膜厚分布が正常であるかどうかの判断を行うことが可能である。
【００６５】
次に、図１６を用いて、本発明の太陽電池パネル色むら検査方法の実施の形態２において行われる処理について説明する。但し、これらの処理のうち、ステップＳ２１〜ステップＳ２６の処理については、図１２におけるステップＳ１１〜ステップＳ１６の処理と同様であるので、その説明は省略する。
【００６６】
輝度ヒストグラム生成部７ａｆは、輝度検出・補正部７ａｃが画素単位ＸＹ毎に検出して補正した画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂと、画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂと輝度画像データ輝度算出式とに基づいて算出される輝度画像データ輝度１Ｙとの各々を用いて、各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄを生成する（ステップＳ２７）。平均値・標準偏差算出部７ａｇは、平均値算出式１Ｔｂを用いて、輝度検出・補正部７ａｃが画素単位ＸＹ毎に検出して補正した画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの各々に対する、画素単位ＸＹでの平均値を算出する。また、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、標準偏差算出式１Ｔｃを用いて画素単位ＸＹでの画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの分散を示す標準偏差を算出する（ステップＳ２８）。また、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出平均値Ｂｒ −、Ｂｇ −、Ｂｂ −と設定平均値Ｂｒｓ −、Ｂｇｓ −、Ｂｂｓ −とを比較し、算出標準偏差σｂ、σｇ、σｒ、σｙと設定標準偏差σｂｓ、σｇｓ、σｒｓ、σｙｓとを比較する。この比較の結果に基づいて、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布が正常であるか否かを判断する（ステップＳ２９）。
【００６７】
輝度ヒストグラム生成部７ａｆは、生成された各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄを表示装置８ａに送信する。平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出された平均値、標準偏差の各々と、膜厚分布に対する判断結果とを表示装置８ａに送信する。表示装置８ａは、受信した各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄ、平均値（及び設定平均値との大小関係）、標準偏差（及び設定標準偏差との大小関係）、膜厚分布に対する判断結果の各々を図１５のような形態で表示する（ステップＳ２９−２）。
【００６８】
又は、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、ステップＳ２８、Ｓ２９において、次のそれぞれ次の処理を行う。
【００６９】
平均値・標準偏差算出部７ａｇは、平均値算出式１Ｔｂを用いて輝度画像データ輝度１Ｙに対する、画素単位ＸＹでの平均値を算出し、また、標準偏差算出式を用いて画素単位ＸＹでの輝度画像データ輝度１Ｙの分散を示す標準偏差を算出する（ステップＳ２８）。また、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出平均値Ｂｙ −と設定平均値Ｂｙｓ −とを比較する。更に、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出標準偏差σｙ −と設定標準偏差σｙｓ −とを比較する。この比較の結果に基づいて、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布が正常であるか否かを判断する（ステップＳ２９）。
【００７０】
（実施の形態３）
実施の形態３における太陽電池パネル色むら検査装置１０の構成は、図１と同様であるので、その詳細な説明は省略する。実施の形態３における画像処理装置７ａのブロック図を図１７に示す。画像処理装置７ａは、トリガ信号送信部７ａａ、記憶部７ａｂ、輝度検出・補正部７ａｃ、二値化データ生成部７ａｈの各々を具備している。これらのうち、トリガ信号送信部７ａａ、輝度検出・補正部７ａｃの各々は、実施の形態１又は２と同様の処理を行うので、その詳細な説明は省略する。
【００７１】
記憶部７ａｂは、設定輝度１Ｇｒ、１Ｇｇを示す設定輝度表示データＳＤを記憶している。設定輝度１Ｇｒ、１Ｇｇは、二値化データ生成部７ａｈが画像データ輝度１Ｒ、１Ｇを二値化して、（輝度を特定レベルで区分し、二種の色に区分して示す）太陽電池パネル二値化データ（後述）を生成するときに参照される値である。
【００７２】
二値化データ生成部７ａｈは、図１８に示す太陽電池パネル二値化データ８Ｄを生成する。太陽電池パネル二値化データ８Ｄには、輝度検出・補正部７ａｃによって検出して補正された、太陽電池パネル１３に対する、画素単位ＸＹでの緑色画像データ輝度１Ｇが設定輝度１Ｇｇで二値化されて示されている。図１８において、例えば右下がりの斜線部分（領域ＡＲ１、ＡＲ４）は、緑色画像データ輝度１Ｇが設定輝度１Ｇｇ以下の領域であり、左下がりの斜線部分（領域ＡＲ２、ＡＲ３、ＡＲ５、ＡＲ６）は、緑色画像データ輝度１Ｇが設定輝度１Ｇｇ以上の領域である。太陽電池パネル二値化データ８Ｄには、領域ＡＲ２、ＡＲ３、ＡＲ５、ＡＲ６の太陽電池パネル１３全体の面積に対する占有率（ＡＡＡ％）が付記して示されている。この占有率（ＡＡＡ％）は、二値化データ生成部１ａｈによって算出される。
【００７３】
又は、太陽電池パネル二値化データ６Ｄには、輝度検出・補正部７ａｃによって検出して補正された、太陽電池パネル１５に対する、画素単位ＸＹでの赤色画像データ輝度１Ｒが設定輝度１Ｇｒで二値化されて示されている。図１９において、例えば右下がりの斜線部分（領域ＡＲ１、ＡＲ４）は、赤色画像データ輝度１Ｇが設定輝度１Ｇｒ以下の領域であり、左下がりの斜線部分（領域ＡＲ２、ＡＲ３、ＡＲ５、ＡＲ６）は、赤色画像データ輝度１Ｒが設定輝度１Ｇｒ以上の領域である。太陽電池パネル二値化データ８Ｄには、領域ＡＲ２、ＡＲ３、ＡＲ５、ＡＲ６の太陽電池パネル１３全体の面積に対する占有率（ＢＢＢ％）が付記して示されている。この占有率（ＢＢＢ％）は、二値化データ生成部１ａｈによって算出される。
【００７４】
次に、図２０を用いて、本発明の太陽電池パネル色むら検査方法の実施の形態３において行われる処理について説明する。但し、これらの処理のうち、ステップＳ３１〜ステップ３４の処理については、図１２におけるステップＳ１１〜ステップＳ１４の処理と同様である（ガラス基板１１、太陽電池パネル１３、１５を用いた各々の処理の双方に対して）ので、その説明は省略する。
【００７５】
輝度検出・補正部７ａｃは、受信したパネル画像ＰＳにおいて示される、ガラス基板１１を示すガラス基板画像データ２Ｄ´に対し、ティーチングエリアＸ´Ｙ´に含まれる画素単位ＸＹ毎に、赤色画像データ輝度２Ｒの各々を検出する。輝度検出・補正部７ａｃは、検出された赤色画像データ輝度２Ｒを基にして赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒを生成する。記憶部７ａｂは、生成された赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒを記憶する（ステップＳ３５）。
【００７６】
輝度検出・補正部７ａｃは、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳを示す画像データ１Ｄ´の画素単位ＸＹ毎に、赤色画像データ輝度１Ｒを検出する。輝度検出・補正部７ａｃは、検出された赤色画像データ輝度１Ｒを赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒに基づいて補正する（ステップＳ３６）。二値化データ生成部７ａｈは、輝度検出・補正部７ａｃによって検出して補正された、画素単位ＸＹでの赤色画像データ輝度１Ｒを設定輝度１Ｇｒで二値化し、占有率（ＡＡＡ）％を算出して、太陽電池パネル二値化データ８Ｄを生成する（ステップＳ３７）。
【００７７】
尚、上記のステップＳ３５〜ステップＳ３７は、太陽電池パネル１５を用いたときに行われる処理である。太陽電池パネル１３を用いたときには、「赤色画像データ輝度２Ｒ」は「緑色画像データ輝度２Ｇ」、「赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒ」は「緑色輝度表示データ２ＤＤ´Ｇ」、「設定輝度１Ｇｒ」は「設定輝度１Ｇｇ」、「ＡＡＡ」は「ＢＢＢ」にそれぞれ読み替えられる。
【００７８】
二値化データ生成部７ａｈは、生成された太陽電池パネル二値化データ８Ｄと、算出された占有率とを表示装置８ａに送信する。表示装置８ａは、受信した太陽電池パネル二値化データ８Ｄと占有率とを表示する。印字装置９ａは、検査者の操作に基づいて、表示される太陽電池パネル二値化データ８Ｄと占有率とを印字する（ステップＳ３８）。
【００７９】
【発明の効果】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置により、太陽電池パネルが大面積を有するときであっても、出来る限り小型の装置でパネル画像の撮像を行うことが可能となる。
【００８０】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置により、大面積の太陽電池パネルに対する撮像、及び撮像されて生成したパネル画像に基づく膜厚分布の検査を、オンラインで自動的に行うことが可能となる。
【００８１】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置により、膜厚分布に対する最適な解析を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置のの実施の形態１、２、３に係る構成を示す図である。
【図２】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１、２、３に係る、カラーラインセンサカメラとライン照明器に対する配置構成を示す図である。
【図３】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１、２、３に係る、撮像領域を示す図である。
【図４】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、画像処理装置の構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、色度算出式を示す図である。
【図６】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、画像データ輝度に対する補正の形態を示す図である。
【図７】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、（ａ）原画データと、（ｂ）補正データの各々を示す図である。
【図８】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、太陽電池パネル色度図データを示す図である。
【図９】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、ガラス基板色度図データを示す図である。
【図１０】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、太陽電池パネル色差図データを示す図である。
【図１１】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、表示画面を示す図である。
【図１２】本発明の太陽電池パネル色むら検査方法の実施の形態１に係る、処理の過程を示す図である。
【図１３】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態２に係る、画像処理装置の構成を示すブロック図である。
【図１４】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態２に係る、算出式・設定値格納テーブルに格納される情報を示す図である。
【図１５】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態２に係る、各画像データヒストグラムを示す図である。
【図１６】本発明の太陽電池パネル色むら検査方法の実施の形態２に係る、処理の過程を示す図である。
【図１７】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態３に係る、画像処理装置の構成を示すブロック図である。
【図１８】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態３に係る、設定輝度表示データを示す図である。
【図１９】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態３に係る、太陽電池パネル二値化データを示す図である。
【図２０】本発明の太陽電池パネル色むら検査方法の実施の形態３に係る、処理の過程を示す図である。
【図２１】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の従来の技術に係る、太陽電池パネル、太陽電池の構成、及び太陽電池の形成過程を示す図である。
【符号の説明】
１０：太陽電池パネル色むら検査装置
１１：ガラス基板
１２：透明電極膜
１３：太陽電池パネル
１４：半導体膜
１５：太陽電池パネル
１６：裏面電極膜
１７：太陽電池
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ、１８ｅ、１８ｆ：膜厚
１９：複合膜
１ａ：搬送コンベア
１ａ−ｉ：ローラ
１Ａ−ｉ：中心孔部
２ａ：カラーラインセンサカメラ
３ａ：ライン照明器
４ａ：調光器
５ａ：光電スイッチ
６ａ：ロータリーエンコーダ
７ａ：画像処理装置
７ａａ：トリガ信号送信部
７ａｂ：記憶部
７ａｃ：輝度検出・補正部
７ａｄ：色度算出部
７ａｅ：色度図・色差図生成部
７ａｆ：輝度ヒストグラム生成部
７ａｇ：平均値・標準偏差算出部
７ａｈ：二値化データ生成部
８ａ：表示装置
９ａ：印字装置
ＡＲａ、ＡＲｂ、ＡＲｃ、ＡＲｄ、ＡＲｅ：領域
ＡＲ１、ＡＲ２、ＡＲ３、ＡＲ４、ＡＲ５、ＡＲ６、ＡＲ７：領域
Ｘ、Ｙ：基板長さ
ｘｙｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）：撮像領域
ＸＹ：画素単位
ｉＸＹ：画素数
Ｘ´Ｙ´：ティーチングエリア
ＯＤ：原画データ
１Ｄ´：太陽電池パネル画像データ
２Ｄ´：ガラス基板画像データ
１Ｄ´Ｒ、２Ｄ´Ｒ：赤色画像データ
１Ｄ´Ｇ、２Ｄ´Ｇ：緑色画像データ
１Ｄ´Ｂ、２Ｄ´Ｂ：青色画像データ
１ＤＤ´Ｒ、２ＤＤ´Ｒ：赤色輝度表示データ
１ＤＤ´Ｇ、２ＤＤ´Ｇ：緑色輝度表示データ
１ＤＤ´Ｂ、２ＤＤ´Ｂ：青色輝度表示データ
３Ｄ：補正データ
４Ｄ：太陽電池パネル色度図データ
５Ｄ：ガラス基板色度図データ
６Ｄ：太陽電池パネル色差図データ
７Ｄ：各画像データ輝度ヒストグラム
８Ｄ：太陽電池パネル二値化データ
１Ｒ、２Ｒ：赤色画像データ輝度
１Ｇ、２Ｇ：緑色画像データ輝度
１Ｂ、２Ｂ：青色画像データ輝度
１Ｙ、２Ｙ：輝度画像データ輝度
１Ｒ´、２Ｒ´：赤色度
１Ｇ´、２Ｇ´：緑色度
１Ｂ´、２Ｂ´：青色度
１Ｙ´、２Ｙ´：輝度
Ｌ１：照射光
Ｌ２：反射光
Ｌ３：垂線
α１、α２：角度
Ｎ：通知信号
Ｐ：パルス信号
ＰＳ、ＰＳｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）：パネル画像
Ｔ：トリガ信号
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池パネル色むら検査装置に関し、特に、太陽電池パネルに対して撮像されたパネル画像に基づいて、太陽電池パネルが有する薄膜の膜厚分布を示すデータ（パネル画像に示される色むらを解析することで生成される）を生成する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２１に、太陽電池の各形成過程（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）（以下、「各形成過程（ａ）〜（ｄ）」と記す）における形成物１３、１５（以下、「太陽電池パネル１３、１５」と記す）と、最終生成物である太陽電池１７とを示す。太陽電池パネル１３、１５、及び太陽電池１７は、一般的に大面積を有することが多い。図２１において、（ａ）はガラス基板１１、（ｂ）はガラス基板１１上に透明電極膜１２の形成された太陽電池パネル１３を示している。また、（ｃ）は、太陽電池パネル１３の透明電極膜１２上に半導体膜１４の形成された太陽電池パネル１５、（ｄ）は、太陽電池パネル１５の半導体膜１４上に裏面電極膜１６が形成されて生成した太陽電池１７を示している。
【０００３】
透明電極膜１２と半導体膜１３の各々の薄膜が均一の厚さに形成されない（即ち、膜厚１８ａ、１８ｂ、１８ｃの各々、又は膜厚１８ｄ、１８ｅ、１８ｆの各々が互いに異なる）と、太陽電池１７の光電効率に悪い影響を与えることがある。また、薄膜が均一の厚さに形成されないと、太陽電池パネル１３、１５、及び太陽電池１７に色むらが発生し、外見の印象が、色むらが発生していないときと比較して相対的に悪いものとなることがある。従って、形成過程（ｂ）においては透明電極膜１２の膜厚分布の検査が行われ、形成過程（ｃ）においては透明電極膜１２と半導体膜１４とを合わせた複合膜の膜厚分布の検査が行われる。これらの検査は、二次元のカメラを用いて太陽電池パネル１３、１５を撮像し、撮像されたパネル画像を画像解析することで行われる。
【０００４】
太陽電池パネル１３、１５が大面積を有するときであっても、出来る限り小型の装置でパネル画像の撮像を行うことを可能とすることが望まれる。
【０００５】
大面積の太陽電池パネル１３、１５に対する撮像、及び撮像されて生成したパネル画像に基づく膜厚分布の検査を、オンラインで自動的に行うことの可能な装置の開発が望まれる。
【０００６】
膜厚分布に対する最適な解析を行うことの可能な装置の開発が望まれる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、太陽電池パネルが大面積を有するときであっても、出来る限り小型の装置でパネル画像の撮像を行うことを可能とする装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、大面積の太陽電池パネルに対する撮像、及び撮像されて生成したパネル画像に基づく膜厚分布の検査を、オンラインで自動的に行うことの可能な装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の更に他の目的は、膜厚分布に対する最適な解析を行うことの可能な装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
以下に、［発明の実施の形態］で使用される番号・符号を括弧付で用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの符号は、［特許請求の範囲］の記載と［発明の実施の形態］の記載との対応を明らかにするために付加されたものであり、［特許請求の範囲］に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【００１１】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）は、基板（１１）上に薄膜（１２、１９）が積層された太陽電池パネル（１３、１５）を搬送する搬送部（１ａ）と、前記搬送部（１ａ）により搬送される前記太陽電池パネル（１３、１５）の速度に基づいて、撮像要求（Ｐ）を送信する撮像制御部（６ａ）と、前記撮像制御部（６ａ）からの前記撮像要求（Ｐ）に基づいて、前記搬送される太陽電池パネル（１３、１５）を撮像してパネル画像（ＰＳ）を生成する撮像部（２ａ）と、前記パネル画像（ＰＳ）を解析して、前記薄膜（１２、１９）の膜厚を示す膜厚データ（３Ｄ〜８Ｄ）を生成するデータ生成部（７ａ）とを具備する。前記パネル画像（ＰＳ）は、前記薄膜の膜厚を色むらで示し、前記膜厚データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、前記色むらを解析することで生成される。３Ｄ〜８Ｄは、３Ｄ、４Ｄ、５Ｄ、６Ｄ、７Ｄ、８Ｄを示している。
【００１２】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）は、前記搬送される太陽電池パネル（１３、１５）に光を照射する光照射部（３ａ）を更に具備する。前記光照射部（３ａ）から照射された光は、前記搬送される太陽電池パネル（１３、１５）により反射されて前記撮像部（２ａ）に入射される。
【００１３】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記光照射部（３ａ）から照射された光の前記搬送される太陽電池パネル（１３、１５）への入射角度は、１６〜２０°である。
【００１４】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、前記薄膜（１２、１９）の膜厚分布を示す膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）である。前記データ生成部（７ａ）は、前記パネル画像（ＰＳ）から前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）を生成する。
【００１５】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記太陽電池パネル（１３、１５）は、ガラス基板（１１）と前記薄膜（１２、１９）とを有している。前記撮像部（２ａ）は、前記ガラス基板（１１）と前記太陽電池パネル（１３、１５）のいずれかを撮像する。前記パネル画像（ＰＳ）は、前記撮像されるガラス基板（１１）、及び前記撮像される太陽電池パネル（１３、１５）のいずれかを示す画像データ（１Ｄ´、２Ｄ´）を含んでいる。前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第１膜厚分布データ（３Ｄ）を含んでいる。前記データ生成部（７ａ）は、前記太陽電池パネル（１３、１５）を示す画像データ（１Ｄ´）の第１輝度（１Ｒ、１Ｇ、１Ｂ、又は１Ｙ）を検出し、前記検出された第１輝度（１Ｒ、１Ｇ、１Ｂ、又は１Ｙ）を、前記ガラス基板（１１）を示す画像データ（２Ｄ´）の第２輝度（２Ｒ、２Ｇ、２Ｂ、又は２Ｙ）に基づいて補正することで前記第１膜厚分布データ（３Ｄ）を生成する。
【００１６】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第２膜厚分布データ（４Ｄ）を含み、前記太陽電池パネル（１３、１５）を示す画像データ（１Ｄ´）は、複数の第１画像データ（１Ｄ´Ｒ、１Ｄ´Ｇ、１Ｄ´Ｂ、又は１Ｄ´Ｙ）で構成されている。前記複数の第１画像データ（１Ｄ´Ｒ、１Ｄ´Ｇ、１Ｄ´Ｂ、又は１Ｄ´Ｙ）は、赤色の第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）、緑色の第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）、青色の第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の各々を含んでいる。前記ガラス基板（１１）を示す画像データ（２Ｄ´）は、複数の第２画像データ（２Ｄ´Ｒ、２Ｄ´Ｇ、２Ｄ´Ｂ、又は２Ｄ´Ｙ）で構成されている。前記複数の第２画像データ（２Ｄ´Ｒ、２Ｄ´Ｇ、２Ｄ´Ｂ、又は２Ｄ´Ｙ）は、赤色の第２赤色画像データ（２Ｄ´Ｒ）、緑色の第２緑色画像データ（２Ｄ´Ｇ）、青色の第２青色画像データ（２Ｄ´Ｂ）の各々を含んでいる。前記データ生成部（７ａ）は、前記第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）を検出し、前記検出された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）を前記第２赤色画像データ（２Ｄ´Ｒ）の第２輝度（２Ｒ）に基づいて補正し、前記補正された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）を用いて前記第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１色度（１Ｒ´）を算出する。前記データ生成部（７ａ）は、前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）を検出し、前記検出された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）を前記第２緑色画像データ（２Ｄ´Ｇ）の第２輝度（２Ｇ）に基づいて補正し、前記補正された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）を用いて前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１色度（１Ｇ´）を算出する。前記データ生成部（７ａ）は、前記第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１輝度（１Ｂ）を検出し、前記検出された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１輝度（１Ｂ）を前記第２青色画像データ（２Ｄ´Ｂ）の第２輝度（２Ｂ）に基づいて補正し、前記補正された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１輝度（１Ｂ）を用いて前記第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１色度（１Ｂ´）を算出し、前記算出された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１色度（１Ｒ´）、前記算出された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１色度（１Ｇ´）、前記算出された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１色度（１Ｂ´）のうち、少なくともいずれか２個の第１色度（１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´）を用いて前記第２膜厚分布データ（４Ｄ）を生成する。
【００１７】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第３膜厚分布データ（６Ｄ）を含んでいる。前記データ生成部（７ａ）は、前記算出された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１色度（１Ｒ´）と、前記第２赤色画像データ（２Ｄ´Ｒ）の第２輝度（２Ｒ）に基づいて算出される前記第２赤色画像データ（２Ｄ´Ｒ）の第２色度（２Ｒ´）との差（ΔＲ）、前記算出された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１色度（１Ｇ´）と、前記第２緑色画像データ（２Ｄ´Ｇ）の第２輝度（２Ｇ）に基づいて算出される前記第２緑色画像データ（２Ｄ´Ｇ）の第２色度（２Ｇ´）との差（ΔＧ）、前記算出された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１色度（１Ｂ´）と、前記第２青色画像データ（２Ｄ´Ｂ）の第２輝度（２Ｂ）に基づいて算出される前記第２青色画像データ（２Ｄ´Ｂ）の第２色度（２Ｂ´）との差（ΔＢ）の各々のうち、少なくともいずれか２個の差を用いて前記第３膜厚分布データ（６Ｄ）を生成する。
【００１８】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第４膜厚分布データ（７Ｄ）を含んでいる。前記第４膜厚分布データ（７Ｄ）は、前記補正された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）と、前記補正された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）に対応する画素数（ｉＸＹ）とを示している。前記第４膜厚分布データ（７Ｄ）は、前記補正された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）と、前記補正された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）に対応する画素数（ｉＸＹ）とを示している。前記第４膜厚分布データ（７Ｄ）は、前記補正された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１輝度（１Ｂ）と、前記補正された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１輝度（１Ｂ）に対応する画素数（ｉＸＹ）とを示している。前記データ生成部（７ａ）は、前記第４膜厚分布データ（７Ｄ）に基づいて、前記補正された第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）、前記補正された第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）、及び前記補正された第１青色画像データ（１Ｄ´Ｂ）の第１輝度（１Ｂ）の各々に対する、第１平均値（Ｂｒ −、Ｂｇ −、Ｂｂ −）と第１標準偏差（σｒ、σｇ、σｂ）とを算出する。前記データ生成部（７ａ）は、前記算出の結果、前記算出される第１平均値（Ｂｒ −、Ｂｇ −、Ｂｂ −）が第１設定平均値（Ｂｒｓ −、Ｂｇｓ −、Ｂｂｓ −）の範囲内であり、前記算出される第１標準偏差（σｒ、σｇ、σｂ）が第１設定標準偏差（σｒｓ、σｇｓ、σｂｓ）の範囲内であるときに、前記膜厚分布が正常であると判断する。
【００１９】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第５膜厚分布データ（７Ｄ）を含んでいる。前記第５膜厚分布データ（７Ｄ）は、黄色の輝度画像データ（１Ｄ´Ｙ）の第１輝度（１Ｙ）と、前記輝度画像データ（１Ｄ´Ｙ）の画素数（ｉＸＹ）とを示している。前記データ生成部（７ａ）は、前記第５膜厚分布データ（７Ｄ）に基づいて、前記輝度画像データ（１Ｄ´Ｙ）の第１輝度（１Ｙ）に対する、第２平均値（Ｂｙ −）と第２標準偏差（σｙ）の各々を算出する。前記データ生成部（７ａ）は、前記算出の結果、前記算出される第２平均値（Ｂｙ −）が第２設定平均値（Ｂｙｓ −）の範囲内であり、前記算出される第２標準偏差（σｙ）が第２設定標準偏差（σｙｓ）の範囲内であるときに、前記膜厚分布が正常であると判断する。
【００２０】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記薄膜（１２、１９）は、透明電極膜（１２）と、前記透明電極膜（１２）と半導体膜（１３）とを含む複合膜（１９）とのいずれかであり、前記太陽電池パネル（１３、１５）は、前記透明電極膜（１２）と、前記複合膜（１９）とのいずれかを有している。前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、前記透明電極膜（１２）の膜厚分布と、前記複合膜（１９）の膜厚分布とのいずれかを示している。前記撮像部（２ａ）は、前記透明電極膜（１２）のパネル画像（ＰＳ）と、前記複合膜（１９）のパネル画像（ＰＳ）のいずれかを撮像して前記データ生成部（７ａ）に送信する。前記データ生成部（７ａ）は、前記送信されるいずれかのパネル画像（ＰＳ）を解析し、前記解析の結果に基づいて、前記いずれかの膜厚分布を示す膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）を生成する。
【００２１】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第６膜厚分布データ（８Ｄ）を含んでいる。前記画像データ（１Ｄ´）は、前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）である。前記第６膜厚分布データ（８Ｄ）は、設定輝度（１Ｇｇ）で二値化された前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）と、前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）のうち、前記設定輝度（１Ｇｇ）以上の前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の画素数（ｉＸＹ）とを示している。前記薄膜（１２、１９）は、透明電極膜（１２）であり、前記太陽電池パネル（１３、１５）は、前記透明電極膜（１２）を有している。前記データ生成部（７ａ）は、前記第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の第１輝度（１Ｇ）を検出し、前記検出された第１輝度（１Ｇ）を前記第２緑色画像データ（２Ｄ´Ｇ）の第２輝度（２Ｇ）に基づいて補正し、前記補正された第１輝度（１Ｇ）と前記設定輝度（１Ｇｇ）とに基づいて前記第６膜厚分布データ（８Ｄ）を生成し、前記生成された第６膜厚分布データ（８Ｄ）における、前記第１輝度（１Ｇ）が前記設定輝度（１Ｇｇ）以上である第１緑色画像データ（１Ｄ´Ｇ）の占有率（ＡＡＡ）を算出し、前記算出された占有率（ＡＡＡ）に基づいて、前記透明電極膜（１２）の膜厚分布が正常であるか否かを判断する。
【００２２】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置（１０）において、前記膜厚分布データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、第７膜厚分布データ（８Ｄ）を含んでいる。前記画像データ（１Ｄ´）は、前記第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）であり、前記第７膜厚分布データ（８Ｄ）は、設定輝度（１Ｇｒ）で二値化された前記第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）と、前記第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）のうち、前記設定輝度（１Ｇｒ）以上の第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の画素数（ｉＸＹ）とを示している。前記薄膜（１２、１９）は、透明電極膜（１２）と半導体膜（１４）とを有する複合膜（１９）であり、前記太陽電池パネル（１３、１５）は、前記複合膜（１９）を有している。前記データ生成部（７ａ）は、前記第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の第１輝度（１Ｒ）を検出し、前記検出された第１輝度（１Ｒ）を前記第２赤色画像データ（２Ｄ´Ｒ）の第２輝度（２Ｒ）に基づいて補正し、前記補正された第１輝度（１Ｒ）と前記設定輝度（１Ｇｒ）とに基づいて前記第７膜厚分布データ（８Ｄ）を生成し、前記生成された第７膜厚分布データ（８Ｄ）における、前記第１輝度（１Ｒ）が前記設定輝度（１Ｇｒ）以上である第１赤色画像データ（１Ｄ´Ｒ）の占有率（ＢＢＢ）を算出し、前記算出された占有率（ＢＢＢ）に基づいて、前記複合膜（１９）の膜厚分布が正常であるか否かを判断する。
【００２３】
本発明の太陽電池パネル色むら検査方法は、搬送部（１ａ）、撮像制御部（６ａ）、及び撮像部（２ａ）を具備する太陽電池パネル色むら検査装置（１０）により実行される。本発明の太陽電池パネル色むら検査方法は、前記搬送部（１ａ）が、基板（１１）上に薄膜（１２、１９）が積層された太陽電池パネル（１３、１５）を搬送するステップ（Ｓ１１、Ｓ２１、Ｓ３１）と、前記撮像制御部（６ａ）が、前記搬送部（１ａ）により搬送される前記太陽電池パネル（１３、１５）の速度に基づいて、撮像要求（Ｐ）を送信するステップ（Ｓ１３、Ｓ２３、Ｓ３３）とを具備する。また、本発明の太陽電池パネル色むら検査方法は、前記撮像部（２ａ）が、前記撮像制御部（６ａ）からの前記撮像要求（Ｐ）に応答して、前記搬送される太陽電池パネル（１３、１５）を撮像してパネル画像（ＰＳ）を生成するステップ（Ｓ１４、Ｓ２４、Ｓ３４）と、前記データ生成部（７ａ）が、前記パネル画像（ＰＳ）を解析して、前記薄膜（１２、１９）の膜厚を示す膜厚データ（３Ｄ〜８Ｄ）を生成するステップ（Ｓ１７ａ、Ｓ１７ｂ、Ｓ１７ｃ、Ｓ１７ｄ、Ｓ２７、Ｓ３７）とを具備する。前記パネル画像（ＰＳ）は、前記薄膜の膜厚を色むらで示し、前記膜厚データ（３Ｄ〜８Ｄ）は、前記色むらを解析することで生成される。
【００２４】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
添付図面を参照して、本発明の太陽電池パネル色むら検査装置１０の実施の形態１について説明する。図１に、太陽電池パネル色むら検査装置１０の構成を示す。太陽電池パネル色むら検査装置１０は、搬送コンベア１ａ、カラーラインセンサカメラ２ａ、ライン照明器３ａ、調光器４ａ、光電スイッチ５ａ、ロータリーエンコーダ６ａ、画像処理装置７ａ、表示装置８ａの各々を具備している。
【００２５】
搬送コンベア１ａには、太陽電池パネル１３、１５を搬送するための一対で構成された複数のローラ１ａ−ｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）が備えられており、各々のローラ１ａ−ｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）と、太陽電池パネル１３、１５とが接する構成になっている。これらのローラ１ａ−ｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）が同時に所定の回転速度で、所定方向に回転することで、太陽電池パネル１３、１５は搬送方向Ｙへ向かって搬送される。
【００２６】
カラーラインセンサカメラ２ａとライン照明器３ａは、各々、別個の固定物（カラーラインセンサカメラ２ａ：柱２ｂ、柱２ｃ、柱２ｄ、ライン照明器３ａ：柱３ｂ、柱３ｃ）によって、搬送方向Ｙに対して鉛直方向に固定して設置されている。カラーラインセンサカメラ２ａとライン照明器３ａとに対する詳細な配置形態を図２に示す。ライン照明器３ａは、蛍光灯等で構成され、搬送コンベア１ａ上を搬送されるガラス基板１１、太陽電池パネル１３、１５の表面上の撮像される領域（撮像領域）に対して照射光Ｌ１を照射する。撮像領域は、図３に示すような一列の領域ｘｙｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）の各々のうち、いずれかに相当する（以下、「撮像領域ｘｙｉ」と記す）。照射された照射光Ｌ１は、太陽電池パネル１３、１５によって反射され、反射光Ｌ２としてカラーラインセンサカメラ２ａに入射する。
【００２７】
搬送コンベア１ａに対する垂線Ｌ３と照射光Ｌ１とのなす角度α１、及び垂線Ｌ３と反射光Ｌ２とのなす角度α２の各々は、太陽電池パネル１３、１５（又は、ガラス基板１１）に対する撮像条件を考慮して、１６〜２０°の程度の範囲内に収まるように設定されている。但し、角度α１、α２の各々は、１８°に設定されることが最も望ましい。
【００２８】
カラーラインセンサカメラ２ａは、画像処理装置７ａからトリガ信号Ｔを受信すると、太陽電池パネル１３、１５（又は、ガラス基板１１）の撮像領域ｘｙｉを認識し、認識された撮像領域ｘｙｉを撮像してパネル画像ＰＳｉを生成し、生成されたパネル画像ＰＳｉを画像処理装置７ａに送信する。この撮像領域ｘｙｉの撮像と、生成されたパネル画像ＰＳｉの画像処理装置７ａへの送信を含む一連の処理が繰り返されることで、最終的に太陽電池パネル１３、１５全体のパネル画像ＰＳが生成され、画像処理装置７ａに送信される。調光器４ａは、照射光Ｌ１の強度が、所定強度となるように調節する。
【００２９】
搬送コンベア１ａ上を搬送される太陽電池パネル１３、１５の撮像領域ｘｙｉが認識され、認識された撮像領域ｘｙｉが撮像されてパネル画像ＰＳｉが生成される処理が順次行われることで、大面積の太陽電池パネル１３、１５に対しても、全体を撮像することが可能となる。カラーラインセンサカメラ２ａについては、撮像領域ｘｙｉを認識して撮像することが可能であればよい。従って、大面積の太陽電池パネル１３、１５全体の撮像を可能とするような大規模で、高価な装置は不要となる（太陽電池パネル１３、１５の製造に係る製造コストを最小限に抑制することが可能となる）。また、ライン照明器３ａについては、撮像領域ｘｙｉへの照射光Ｌ１の照射が可能であればよい。従って、大面積の太陽電池パネル１３、１５全体の光照射を可能とするような大規模で、高価な装置は不要となる（上記と同様の理由で、製造コストを最小限に抑制することが可能となる）。
【００３０】
光電スイッチ５ａは、撮像の対象である太陽電池パネル１３、１５（又は、ガラス基板１１）が所定位置に所在するか否かを検出する。光電スイッチ５ａは、その検出を行ったときに、太陽電池パネル１３、１５（又は、ガラス基板１１）が所定位置にあることを通知する通知信号Ｎを画像処理装置７ａに送信する。所定位置は、例えば、搬送方向が図２におけるＹの方向であるときには、撮像領域ｘｙｉに入射する照射光Ｌ１と垂線Ｌ３とのなす角度α１と、その撮像領域ｘｙｉから反射する反射光Ｌ２と垂線Ｌ３とのなす角度α２の各々が、１６〜２０°（望ましくは１８°）になったときと定義される。但し、この定義形態は一例であり、この形態には限らない。
【００３１】
ロータリーエンコーダ６ａは、各々のローラ１ａ−ｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）の中心に開けられた中心孔部１Ａ−ｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）のうち、いずれかに嵌め込まれることによってローラ１ａ−ｉと接続されており、ローラ１ａ−ｉの回転速度を検出する。また、ロータリーエンコーダ６ａは、ローラ１ａ−ｉの回転速度に対応して、ローラ１ａ−ｉの１回転当たりに数百パルス〜数パルス（予め設定される）のパルス信号Ｐを画像処理装置７ａに送信する。
【００３２】
実施の形態１における画像処理装置７ａのブロック図を図４に示す。画像処理装置７ａは、トリガ信号送信部７ａａ、記憶部７ａｂ、輝度検出・補正部７ａｃ、色度算出部７ａｄ、色度図・色差図生成部７ａｅの各々を具備している。
【００３３】
トリガ信号送信部７ａａは、光電スイッチ５ａから通知信号Ｎを受信し、また、ロータリーエンコーダ６ａからパルス信号Ｐを受信する。トリガ信号送信部７ａａは、１パルスのパルス信号Ｐを受信する毎に１回、トリガ信号Ｔをカラーラインセンサカメラ２ａに送信する。従って、結果的に、ローラ１ａ−ｉの１回転当たりに、トリガ信号Ｔのトリガ信号送信部７ａａからカラーラインセンサカメラ２ａへの送信が数百回〜数回行われる（ローラ１ａ−ｉの１回転当たりに、数百パルス〜数パルスのパルス信号Ｐが送信されるため）。
【００３４】
上記の構成においては、ローラ１ａ−ｉの回転速度と、ガラス基板１１、太陽電池パネル１３、１５の撮像領域ｘｙｉの撮像（及びパネル画像ＰＳｉの生成）に対する速度とは対応している。ローラ１ａ−ｉの回転速度は、太陽電池パネル１３、１５、又はガラス基板１１の搬送速度に対応している。従って、使用されるカラーラインセンサカメラ２ａの撮像に対する分解能（予め設定される）に基づいて、太陽電池パネル１３、１５、又はガラス基板１１の搬送速度を設定することも可能となる。
【００３５】
記憶部７ａｂは、図５に示す色度算出式１Ｔａを記憶している。色度算出式１Ｔａは、輝度検出・補正部７ａｃが、パネル画像ＰＳに示される画像データの輝度を用いて色度を算出するときに用いられる式である。色度算出式１Ｔａには、赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂ、赤色画像データ輝度２Ｒ、緑色画像データ輝度２Ｇ、青色画像データ輝度２Ｂの各々が示されている。また、色度算出式１Ｔａには、赤色度１Ｒ´、緑色度１Ｇ´、青色度１Ｂ´、赤色度２Ｒ´、緑色度２Ｇ´、青色度２Ｂ´の各々が示されている。
【００３６】
赤色画像データ輝度１Ｒは、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳに示される赤色画像データ１Ｄ´Ｒ（図６に示す）の輝度であり、緑色画像データ輝度１Ｇは、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳに示される緑色画像データ１Ｄ´Ｇ（図６に示す）の輝度である。青色画像データ輝度１Ｂは、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳに示される青色画像データ１Ｄ´Ｂ（図６に示す）の輝度である。また、赤色画像データ輝度２Ｒは、ガラス基板１１のパネル画像ＰＳに示される赤色画像データ２Ｄ´Ｒ（図６に示す）の輝度であり、緑色画像データ輝度２Ｇは、ガラス基板１１のパネル画像ＰＳに示される緑色画像データ２Ｄ´Ｇ（図６に示す）の輝度である。青色画像データ輝度２Ｂは、ガラス基板１１のパネル画像ＰＳに示される青色画像データ２Ｄ´Ｂ（図６に示す）の輝度である。
【００３７】
輝度検出・補正部７ａｃは、カラーラインセンサカメラ２ａが生成して送信したパネル画像ＰＳｉを順次受信することで、最終的にパネル画像ＰＳを受信する。また、輝度検出・補正部７ａｃは、受信したパネル画像ＰＳにおいて示される、ガラス基板１１、又は太陽電池パネル１３、１５を示す画像データ（太陽電池パネル画像データ１Ｄ´、又はガラス基板画像データ２Ｄ´）を、図６の（ａ）に示すような画素単位ＸＹに分割する。図６の（ａ）の太陽電池パネル画像データ１Ｄ´、又はガラス基板画像データ２Ｄ´においては、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の各々に基板（ガラス基板１１、又は太陽電池パネル１３、１５）の長さがとられ、１枚の基板がＸＹ平面の座標上（０≦Ｘ≦ｘ７、０≦Ｙ≦ｙ８の範囲）に示されている。太陽電池パネル画像データ１Ｄ´には、赤色画像データ１Ｄ´Ｒ、緑色画像データ１Ｄ´Ｇ、青色画像データ１Ｄ´Ｂの各々が示される。ガラス基板画像データ２Ｄ´には、赤色画像データ２Ｄ´Ｒ、緑色画像データ２Ｄ´Ｇ、青色画像データ２Ｄ´Ｂの各々が示される。更に、輝度検出・補正部７ａｃは、分割された画素単位ＸＹ毎に、赤色画像データ１Ｄ´Ｒの赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ１Ｄ´Ｇの緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ１Ｄ´Ｂの青色画像データ輝度１Ｂの各々を検出する。又は、輝度検出・補正部７ａｃは、ティーチングエリアＸ´Ｙ´に含まれる画素単位ＸＹ毎に、赤色画像データ２Ｄ´Ｒの赤色画像データ輝度２Ｒ、緑色画像データ２Ｄ´Ｇの緑色画像データ輝度２Ｇ、青色画像データ２Ｄ´Ｂの青色画像データ輝度２Ｂの各々を検出する。
【００３８】
ガラス基板１１のパネル画像ＰＳに示される画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂ（赤色画像データ輝度２Ｒ、緑色画像データ輝度２Ｇ、青色画像データ輝度２Ｂ）は、理論的にはどの画素単位ＸＹ（図６の（ａ）では、５６個の画素単位ＸＹに分割されている）でも等しいものと考えられる。しかしながら、一般的にはカラーラインセンサカメラ２ａの周辺減光、及びそれに含まれる撮像素子の感度の不均一性等が原因となり、理論上の画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂと、実際に検出される画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂとは互いに相違することが多い。この相違は、パネル画像ＰＳのうち、周辺部の画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂが、中心部の画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂと比較して薄い結果となって現れる。従って、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳに示される画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂ（赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂ）に対しては、検出された画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂに基づいた補正が必要になる。画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの検出、及び検出された画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの補正（「シェーディング補正」と呼称される）は、具体的に次の処理によって行われる。
【００３９】
ここでは、赤色画像データ輝度２Ｒを基にした赤色画像データ輝度１Ｒの補正を例に挙げて説明するが、緑色画像データ輝度２Ｇを基にした緑色画像データ輝度１Ｇの補正、及び青色画像データ輝度２Ｂを基にした青色画像データ輝度１Ｂの補正の各々に対しても、同様の処理が行われる。緑色画像データ輝度２Ｇを基にした緑色画像データ輝度１Ｇの補正においては、以下の実施の形態１の説明における「赤色画像データ輝度２Ｒ」は「緑色画像データ輝度１Ｇ」、「赤色輝度表示データ１ＤＤ´Ｒ」は「緑色輝度表示データ１ＤＤ´Ｇ」、「赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒ」は「緑色輝度表示データ２ＤＤ´Ｇ」にそれぞれ読み替えられる。また、青色画像データ輝度２Ｂを基にした青色画像データ輝度１Ｂの補正においては、以下の実施の形態１の説明における「赤色画像データ輝度２Ｒ」は「青色画像データ輝度２Ｂ」、「赤色輝度表示データ１ＤＤ´Ｒ」は「青色輝度表示データ１ＤＤ´Ｂ」、「赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒ」は「青色輝度表示データ２ＤＤ´Ｂ」にそれぞれ読み替えられる。
【００４０】
上記の補正を行うため、太陽電池パネル１３、１５の撮像の前に、予めガラス基板１１の撮像が行われる。輝度検出・補正部７ａｃは、カラーラインセンサカメラ２ａが生成した、ガラス基板１１のパネル画像ＰＳを受信すると、受信したパネル画像ＰＳのティーチングエリアＸ´Ｙ´に含まれる各々の画素単位ＸＹ（７個が含まれる）毎に赤色画像データ輝度２Ｒを検出する。輝度検出・補正部７ａｃは、検出された赤色画像データ輝度２Ｒを基にして図６の（ｃ）に示される赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒを生成する。生成された赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒは記憶部７ａｂに記憶される。赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒは、基板長さＸ（横方向）に対する赤色画像データ輝度２Ｒを示している。
【００４１】
輝度検出・補正部７ａｃは、カラーラインセンサカメラ２ａが生成した、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳを受信すると、受信したパネル画像ＰＳを示す画像データ１Ｄ´に含まれる画素単位ＸＹ（５６個が含まれる）毎に、赤色画像データ輝度１Ｒを検出する。赤色画像データ輝度１Ｒは、例えば第１曲線：２Ｒ＝ａＸ２＋ｂＸ＋ｃのような式で示され、理論上の赤色画像データ輝度２Ｒ＝２Ｒａ（基板上の位置によらず一定）であることから、次の式により、補正後の赤色画像データ輝度１Ｒが算出される。ここでは、同一の行（例えば０≦Ｘ≦ｘ１、０≦Ｙ≦ｙ８の範囲）に含まれる画素単位ＸＹにおいては、赤色画像データ輝度１Ｒの補正係数＝（２Ｒａ／ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ）は、等しいものとしている。
（補正後の赤色画像データ輝度１Ｒ）＝（補正前の赤色画像データ輝度１Ｒ）×
（２Ｒａ／ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ）
【００４２】
図６の（ｃ）は、補正前の赤色画像データ輝度１Ｒを示す曲線（第２曲線：１Ｒ＝ｄＸ２＋ｅＸ＋ｆ）と、補正後の赤色画像データ輝度１Ｒを示す曲線（第３曲線：１Ｒ＝ｇＸ２＋ｈＸ＋ｉ）とを示す赤色輝度表示データ１ＤＤ´Ｒである。
【００４３】
輝度検出・補正部７ａｃは、上記のシェーディング補正後における、赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂの各々を合成して、図７の（ｂ）に示す補正データ３Ｄを生成する。図７の（ａ）は、補正前における、赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂの各々を合成した原画データＯＤを示している。図７の（ａ）においては、各々の領域ＡＲａ、ＡＲｂ、ＡＲｃ、ＡＲｄ、ＡＲｅにおける斜線の本数によって、色の濃さ（＝画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの値の大きさ）が表現されている。図６の（ｃ）の第２曲線（上に凸の曲線）によって示される赤色画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂに対応して、原画データＯＤにおいては周辺部（０≦Ｘ≦ｘ１．５、ｘ５≦Ｘ≦ｘ７）の色が相対的に薄くなっている。それに対し、補正データ３Ｄにおいては逆に、図６の（ｃ）の第３曲線（下に凸の曲線）によって示される画像データ輝度１Ｒに対応して、周辺部（０≦Ｘ≦ｘ１．５、ｘ５≦Ｘ≦ｘ７）の色が相対的に濃くなっている。
【００４４】
色度算出部７ａｄは、色度算出式１Ｔａを用いて補正後の画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂを各々変換し、色度（赤色度１Ｒ´、緑色度１Ｇ´、青色度１Ｂ´）１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´を算出する。色度図・色差図生成部７ａｅは、色度算出部７ａｄによって算出された色度１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´を基にして、図８に示す太陽電池パネル色度図データ４Ｄを生成する。太陽電池パネル色度図データ４Ｄは、太陽電池パネル１３、又は太陽電池パネル１５のいずれかに対する色度１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´のうち、いずれか２個の値を平面図の横軸、縦軸の各々にプロットすることで生成された二次元図である（色度１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´の全てをプロットして、三次元図を生成することも可能である）。
【００４５】
色度図・色差図生成部７ａｅは、色度算出部７ａｄによって算出された、ガラス基板１１のパネル画像ＰＳに示される画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂと、色度算出式１Ｔａとを用いて算出された色度２Ｒ´、２Ｇ´、２Ｂ´を基にして、図９に示すガラス基板色度図データ５Ｄを生成する。ガラス基板色度図データ５Ｄは、ガラス基板１１に対する色度２Ｒ´、２Ｇ´、２Ｂ´のうち、いずれか２個の値を平面図の横軸、縦軸の各々にプロットすることで生成された二次元図である（色度２Ｒ´、２Ｇ´、２Ｂ´の全てをプロットして、三次元図を生成することも可能である）。また、色度図・色差図生成部７ａｅは、ガラス基板色度図データ５Ｄを参照して算出された、色度１Ｒ´と色度２Ｒ´との色度差ΔＲ（１Ｒ´−２Ｒ´）、色度１Ｇ´と色度２Ｇ´との色度差ΔＧ（１Ｇ´−２Ｇ´）、色度１Ｂ´と色度２Ｂ´との色度差ΔＢ（１Ｂ´−２Ｂ´）の各々のうち、いずれか２個の値を用いて、太陽電池パネル色差図データ６Ｄを生成する。太陽電池パネル色差図データ６Ｄは、上記の差ΔＲ、ΔＧ、ΔＢのうち、いずれか２個の差を平面図の横軸、縦軸の各々にプロットすることで生成された二次元図である（上記の色度差ΔＲ、ΔＧ、ΔＢの全てをプロットして、三次元図を生成することも可能である）。
【００４６】
輝度検出・補正部７ａｃは、上記の生成された補正データ３Ｄを表示部８ａに送信し、色度図・色差図生成部７ａｅは、上記の生成された太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々を表示部８ａに送信する。表示部８ａは、受信した補正データ３Ｄ、太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々を、図１１に示すような同一の表示画面ＳＣで表示する。表示された補正データ３Ｄ、太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々は、太陽電池パネル１３、１５の膜厚検査を行う者（以下、「検査者」と記す）によって、印字装置９ａから印字出力される。これにより、検査者は、補正データ３Ｄ、太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々の比較対照による膜厚の検査が可能となり、この検査結果に基づいて太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布が正常であるかどうか（膜厚のむらが許容範囲内にあるかどうか）を判断することも可能となる。
【００４７】
尚、表示（及び印字）の形態は上記には限らず、補正データ３Ｄ、太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々を個別に表示画面ＳＣに表示させ、個別に印字する形態であっても構わない。
【００４８】
次に、図１２を用いて、本発明の太陽電池パネル膜厚検査方法１０ａの実施の形態１において行われる処理について説明する。
【００４９】
搬送コンベア１ａにガラス基板１１が載せられ、ローラ１ａ−ｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）が同時に所定の回転速度で、所定方向に回転することで、ガラス基板１１が搬送方向Ｙへ向かって搬送される（ステップＳ１１）。光電スイッチ５ａは、撮像の対象であるガラス基板１１が所定位置に所在することを検出し、検出の結果に基づいて通知信号Ｎをトリガ信号送信部７ａａに送信する（ステップＳ１２）。ロータリーエンコーダ６ａは、ローラ１ａ−ｉの１回転当たりに数百パルス〜数パルスのパルス信号Ｐをトリガ信号送信部７ａａに送信し、トリガ信号送信部７ａａは送信されたパルス信号Ｐを受信する。トリガ信号送信部７ａａは、１パルスのパルス信号Ｐを受信する毎に１回、トリガ信号Ｔをカラーラインセンサカメラ２ａに送信する（ステップＳ１３）。カラーラインセンサカメラ２ａは、トリガ信号送信部７ａａからのトリガ信号Ｔの受信、ガラス基板１１の撮像領域ｘｙｉの認識、認識された撮像領域ｘｙｉの撮像の一連の処理を繰り返すことで、最終的にガラス基板１１全体のパネル画像ＰＳを生成して、輝度検出・補正部７ａｃに送信する（ステップＳ１４）。
【００５０】
輝度検出・補正部７ａｃは、受信したパネル画像ＰＳにおいて示される、ガラス基板１１を示すガラス基板画像データ２Ｄ´に対し、ティーチングエリアＸ´Ｙ´に含まれる画素単位ＸＹ毎に、画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂの各々を検出する。輝度検出・補正部７ａｃは、検出された画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを基にして輝度表示データ２ＤＤ´Ｒ、２ＤＤ´Ｇ、２ＤＤ´Ｂを生成する。記憶部７ａｂは、生成された輝度表示データ２ＤＤ´Ｒ、２ＤＤ´Ｇ、２ＤＤ´Ｂを記憶する（ステップＳ１５）。
【００５１】
以下、太陽電池パネル１３、１５を用いて、ステップＳ１１〜Ｓ１４と同様の処理を行う。このとき、ステップＳ１１〜Ｓ１４における、「ガラス基板１１」は「太陽電池パネル１３、１５」に読み替えられる。また、太陽電池パネル１３、１５に対しては、上記のステップＳ１５は行われない。
【００５２】
輝度検出・補正部７ａｃは、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳを示す画像データ１Ｄ´の画素単位ＸＹ毎に、画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂを検出する。輝度検出・補正部７ａｃは、検出された赤色画像データ輝度１Ｒを赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒに基づいて補正し、検出された緑色画像データ輝度１Ｇを緑色輝度表示データ２ＤＤ´Ｇに基づいて補正し、検出された青色画像データ輝度１Ｂを青色輝度表示データ２ＤＤ´Ｂに基づいて補正する（ステップＳ１６）。
【００５３】
輝度検出・補正部７ａｃは、上記のシェーディング補正後における、赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂの各々を合成して補正データ３Ｄを生成する（ステップＳ１７ａ）。
【００５４】
色度算出部７ａｄは、色度算出式１Ｔａを用いて画像データ輝度２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを各々変換し、色度２Ｒ´、２Ｇ´、２Ｂ´を算出する。色度図・色差図生成部７ａｅは、色度算出部７ａｄによって算出された色度２Ｒ´、２Ｇ´、２Ｂ´を基にしてガラス基板色度図データ５Ｄを生成する（ステップＳ１７ｂ）。
【００５５】
色度算出部７ａｄは、色度算出式１Ｔａを用いてシェーディング補正後の画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂを各々変換し、色度１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´を算出する。色度図・色差図生成部７ａｅは、色度算出部７ａｄによって算出された色度１Ｒ´、１Ｇ´、１Ｂ´を基にして太陽電池パネル色度図データ４Ｄを生成する（ステップＳ１７ｃ）。色度図・色差図生成部７ａｅは、赤色度１Ｒ´と赤色度２Ｒ´との差（ΔＲ）、緑色度１Ｇ´と緑色度２Ｇ´との差（ΔＧ）、青色度１Ｂ´と青色度２Ｂ´との差（ΔＢ）を各々算出し、算出された差ΔＲ、ΔＧ、ΔＢのうち、少なくともいずれか２個を用いて太陽電池パネル色差図データ６Ｄを生成する（ステップＳ１７ｄ）。
【００５６】
輝度検出・補正部７ａｃは、上記の生成された補正データ３Ｄを表示部８ａに送信し、色度図・色差図生成部７ａｅは、上記の生成された太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々を表示部８ａに送信する。表示部８ａは、受信した補正データ３Ｄ、太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々を表示画面ＳＣで表示する。表示された補正データ３Ｄ、太陽電池パネル色度図データ４Ｄ、太陽電池パネル色差図データ６Ｄの各々は、検査者によって、印字装置９ａから印字出力される（ステップＳ１８）。
【００５７】
（実施の形態２）
実施の形態２における太陽電池パネル色むら検査装置１０の構成は、図１と同様であるので、その詳細な説明は省略する。実施の形態２における画像処理装置７ａのブロック図を図１３に示す。画像処理装置７ａは、トリガ信号送信部７ａａ、記憶部７ａｂ、輝度検出・補正部７ａｃ、輝度ヒストグラム生成部７ａｆ、平均値・標準偏差算出部７ａｇの各々を具備している。これらのうち、トリガ信号送信部７ａａ、輝度検出・補正部７ａｃの各々は、実施の形態１と同様の処理を行うので、その詳細な説明は省略する。
【００５８】
実施の形態２における記憶部７ａｂは、図１４に示す算出式・設定値格納テーブル１Ｔを具備している。算出式・設定値格納テーブル１Ｔは、平均値算出式１Ｔｂ、標準偏差算出式１Ｔｃ、輝度画像データ輝度算出式１Ｔｄ、設定平均値、設定標準偏差の各々を格納している。
【００５９】
平均値算出式１Ｔｂは、輝度ヒストグラム生成部７ａｇが、各画像データ輝度ヒストグラム（後述）に基づいて、パネル画像ＰＳに示される画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂに対する、画素単位ＸＹでの平均値を算出するときに用いられる式である。図１４においては、画素単位ＸＹが合計して５６個（図６の（６ａ）に示される）のときに、青色画像データ輝度１Ｂの平均値Ｂ−を算出するときを例に挙げて式を示している。Ｂ１、Ｂ２、…、Ｂ５６は、図６の（６ａ）に示す画素単位ＸＹのうちのいずれかに対する青色画像データ輝度である。標準偏差算出式１Ｔｃは、各画像データ輝度ヒストグラムに基づいて、パネル画像ＰＳに示される画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂに対する、画素単位ＸＹでの輝度分布を示す標準偏差σを算出するときに用いられる式である。図１４においては、青色画像データ輝度１Ｂの標準偏差σｂを算出するときを例に挙げて標準偏差算出式１Ｔｃを示しており、Ｂ２−は、Ｂ１ ２、Ｂ２ ２、…、Ｂ５６ ２の平均であり、｛Ｂ−｝２はＢ−の２乗である。輝度画像データ輝度算出式１Ｔｄは、赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂを合成して、黄色の画像データの輝度１Ｙを算出するときに用いられる式である。
【００６０】
設定平均値、設定標準偏差の各々は、平均値・標準偏差算出部７ａｇが、上記の算出される平均値、標準偏差の各々に基づいて太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布（膜厚のむら）がどの程度であるかを判断するときに、その判断の基準とされる値である。Ｂｒｓ −は赤色画像データ輝度１Ｒに対する設定平均値であり、Ｂｇｓ −は緑色画像データ輝度１Ｇに対する設定平均値である。Ｂｂｓ −は青色画像データ輝度１Ｂに対する設定平均値であり、Ｂｙｓ −は輝度画像データ輝度１Ｙに対する設定平均値である。σｒｓ −は赤色画像データ輝度１Ｒに対する設定標準偏差であり、σｇｓ −は緑色画像データ輝度１Ｇに対する設定標準偏差である。σｂｓ −は青色画像データ輝度１Ｂに対する設定標準偏差であり、σｙｓ −は輝度画像データ輝度１Ｙに対する設定標準偏差である。各画像データ輝度ヒストグラムに基づいて算出された、赤色画像データ輝度１Ｒ、緑色画像データ輝度１Ｇ、青色画像データ輝度１Ｂの各々について、画素単位ＸＹでの平均値が設定平均値の範囲内であり、また、画素単位ＸＹでの輝度の分布を示した標準偏差が設定標準偏差の範囲内であるときに、膜厚分布は正常である（膜厚のむらの程度が許容範囲内である）と判断される。
【００６１】
輝度ヒストグラム生成部７ａｆは、輝度検出・補正部７ａｃが画素単位ＸＹ毎に検出して補正した画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂと、画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂと輝度画像データ輝度算出式１Ｔｄとに基づいて算出される輝度画像データ輝度１Ｙとの各々を用いて、図１５に示す各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄを生成する。生成された各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄは、輝度ヒストグラム生成部７ａｆによって表示装置８ａに送信される。各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄには、赤色画像データ輝度ヒストグラム７Ｄａ、緑色画像データ輝度ヒストグラム７Ｄｂ、青色画像データ輝度ヒストグラム７Ｄｃ、輝度画像データ輝度ヒストグラム７Ｄｄの各々が示されている。また、各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄには、各々の画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂ、１Ｙに対して算出された、平均値と標準偏差とが付記して示されている。判断結果は、平均値・標準偏差算出部７ａｇによって算出された、太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布が正常であるかどうかの判断の結果である。この判断結果は、算出された平均値（Ｂｂ −、Ｂｇ −、Ｂｒ −、Ｂｙ −）と設定平均値（Ｂｂｓ −、Ｂｇｓ −、Ｂｒｓ −、Ｂｙｓ −）の大小関係、算出された標準偏差（σｂ、σｇ、σｒ、σｙ）と設定標準偏差（σｂｓ、σｇｓ、σｒｓ、σｙｓ）の大小関係の各々に対応している。
【００６２】
平均値・標準偏差算出部７ａｇは、平均値算出式を用いて画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの各々に対する、画素単位ＸＹでの平均値を算出し、また、標準偏差算出式を用いて画素単位ＸＹでの画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの分散を示す標準偏差を算出する。また、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出された平均値（以下、「算出平均値」と記す）Ｂｒ −、Ｂｇ −、Ｂｂ −と設定平均値Ｂｒｓ −、Ｂｇｓ −、Ｂｂｓ −とを比較し、算出された標準偏差（以下、「算出標準偏差」と記す）σｂ、σｇ、σｒ、σｙと設定標準偏差σｂｓ、σｇｓ、σｒｓ、σｙｓとを比較する。この比較の結果、算出平均値Ｂｒ −≦設定平均値Ｂｒｓ −、算出平均値Ｂｇ −≦設定平均値Ｂｇｓ −、算出平均値Ｂｂ −≦設定平均値Ｂｂｓ −、算出標準偏差σｒ −≦設定標準偏差σｒｓ −、算出標準偏差σｇ −≦設定標準偏差σｇｓ −、算出標準偏差σｂ −≦設定標準偏差σｂｓ −の各々が成立するときに、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布が正常であると判断する。
【００６３】
又は、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、平均値算出式を用いて輝度画像データ輝度１Ｙに対する、画素単位ＸＹでの平均値を算出し、また、標準偏差算出式を用いて画素単位ＸＹでの輝度画像データ輝度１Ｙの分散を示す標準偏差を算出する。また、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出平均値Ｂｙ −と設定平均値Ｂｙｓ −とを比較する。更に、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出標準偏差σｙ −と設定標準偏差σｙｓ −とを比較する。この比較の結果、算出平均値Ｂｙ −≦設定平均値Ｂｙｓ −、算出標準偏差σｙ −≦設定標準偏差σｙｓ −の各々が成立するときに、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布が正常であると判断する。
【００６４】
各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄにより、検査者は膜厚分布が正常であるかどうかの判断を行うことが可能となる。尚、判断結果（膜厚分布が正常であるか否か）は必ずしも示される必要はない。しかしながら、判断結果が示されないときにおいても、検査者は、Ｂｒ −、Ｂｇ −、Ｂｂ −と設定平均値Ｂｒｓ −、Ｂｇｓ −、Ｂｂｓ −との大小関係、及び算出標準偏差σｂ、σｇ、σｒ、σｙと設定標準偏差σｂｓ、σｇｓ、σｒｓ、σｙｓとの大小関係の各々を上記の形態で比較した結果に基づいて、膜厚分布が正常であるかどうかの判断を行うことが可能である。
【００６５】
次に、図１６を用いて、本発明の太陽電池パネル色むら検査方法の実施の形態２において行われる処理について説明する。但し、これらの処理のうち、ステップＳ２１〜ステップＳ２６の処理については、図１２におけるステップＳ１１〜ステップＳ１６の処理と同様であるので、その説明は省略する。
【００６６】
輝度ヒストグラム生成部７ａｆは、輝度検出・補正部７ａｃが画素単位ＸＹ毎に検出して補正した画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂと、画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂと輝度画像データ輝度算出式とに基づいて算出される輝度画像データ輝度１Ｙとの各々を用いて、各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄを生成する（ステップＳ２７）。平均値・標準偏差算出部７ａｇは、平均値算出式１Ｔｂを用いて、輝度検出・補正部７ａｃが画素単位ＸＹ毎に検出して補正した画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの各々に対する、画素単位ＸＹでの平均値を算出する。また、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、標準偏差算出式１Ｔｃを用いて画素単位ＸＹでの画像データ輝度１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの分散を示す標準偏差を算出する（ステップＳ２８）。また、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出平均値Ｂｒ −、Ｂｇ −、Ｂｂ −と設定平均値Ｂｒｓ −、Ｂｇｓ −、Ｂｂｓ −とを比較し、算出標準偏差σｂ、σｇ、σｒ、σｙと設定標準偏差σｂｓ、σｇｓ、σｒｓ、σｙｓとを比較する。この比較の結果に基づいて、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布が正常であるか否かを判断する（ステップＳ２９）。
【００６７】
輝度ヒストグラム生成部７ａｆは、生成された各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄを表示装置８ａに送信する。平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出された平均値、標準偏差の各々と、膜厚分布に対する判断結果とを表示装置８ａに送信する。表示装置８ａは、受信した各画像データ輝度ヒストグラム７Ｄ、平均値（及び設定平均値との大小関係）、標準偏差（及び設定標準偏差との大小関係）、膜厚分布に対する判断結果の各々を図１５のような形態で表示する（ステップＳ２９−２）。
【００６８】
又は、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、ステップＳ２８、Ｓ２９において、次のそれぞれ次の処理を行う。
【００６９】
平均値・標準偏差算出部７ａｇは、平均値算出式１Ｔｂを用いて輝度画像データ輝度１Ｙに対する、画素単位ＸＹでの平均値を算出し、また、標準偏差算出式を用いて画素単位ＸＹでの輝度画像データ輝度１Ｙの分散を示す標準偏差を算出する（ステップＳ２８）。また、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出平均値Ｂｙ −と設定平均値Ｂｙｓ −とを比較する。更に、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、算出標準偏差σｙ −と設定標準偏差σｙｓ −とを比較する。この比較の結果に基づいて、平均値・標準偏差算出部７ａｇは、太陽電池パネル１３、１５の膜厚分布が正常であるか否かを判断する（ステップＳ２９）。
【００７０】
（実施の形態３）
実施の形態３における太陽電池パネル色むら検査装置１０の構成は、図１と同様であるので、その詳細な説明は省略する。実施の形態３における画像処理装置７ａのブロック図を図１７に示す。画像処理装置７ａは、トリガ信号送信部７ａａ、記憶部７ａｂ、輝度検出・補正部７ａｃ、二値化データ生成部７ａｈの各々を具備している。これらのうち、トリガ信号送信部７ａａ、輝度検出・補正部７ａｃの各々は、実施の形態１又は２と同様の処理を行うので、その詳細な説明は省略する。
【００７１】
記憶部７ａｂは、設定輝度１Ｇｒ、１Ｇｇを示す設定輝度表示データＳＤを記憶している。設定輝度１Ｇｒ、１Ｇｇは、二値化データ生成部７ａｈが画像データ輝度１Ｒ、１Ｇを二値化して、（輝度を特定レベルで区分し、二種の色に区分して示す）太陽電池パネル二値化データ（後述）を生成するときに参照される値である。
【００７２】
二値化データ生成部７ａｈは、図１８に示す太陽電池パネル二値化データ８Ｄを生成する。太陽電池パネル二値化データ８Ｄには、輝度検出・補正部７ａｃによって検出して補正された、太陽電池パネル１３に対する、画素単位ＸＹでの緑色画像データ輝度１Ｇが設定輝度１Ｇｇで二値化されて示されている。図１８において、例えば右下がりの斜線部分（領域ＡＲ１、ＡＲ４）は、緑色画像データ輝度１Ｇが設定輝度１Ｇｇ以下の領域であり、左下がりの斜線部分（領域ＡＲ２、ＡＲ３、ＡＲ５、ＡＲ６）は、緑色画像データ輝度１Ｇが設定輝度１Ｇｇ以上の領域である。太陽電池パネル二値化データ８Ｄには、領域ＡＲ２、ＡＲ３、ＡＲ５、ＡＲ６の太陽電池パネル１３全体の面積に対する占有率（ＡＡＡ％）が付記して示されている。この占有率（ＡＡＡ％）は、二値化データ生成部１ａｈによって算出される。
【００７３】
又は、太陽電池パネル二値化データ６Ｄには、輝度検出・補正部７ａｃによって検出して補正された、太陽電池パネル１５に対する、画素単位ＸＹでの赤色画像データ輝度１Ｒが設定輝度１Ｇｒで二値化されて示されている。図１９において、例えば右下がりの斜線部分（領域ＡＲ１、ＡＲ４）は、赤色画像データ輝度１Ｇが設定輝度１Ｇｒ以下の領域であり、左下がりの斜線部分（領域ＡＲ２、ＡＲ３、ＡＲ５、ＡＲ６）は、赤色画像データ輝度１Ｒが設定輝度１Ｇｒ以上の領域である。太陽電池パネル二値化データ８Ｄには、領域ＡＲ２、ＡＲ３、ＡＲ５、ＡＲ６の太陽電池パネル１３全体の面積に対する占有率（ＢＢＢ％）が付記して示されている。この占有率（ＢＢＢ％）は、二値化データ生成部１ａｈによって算出される。
【００７４】
次に、図２０を用いて、本発明の太陽電池パネル色むら検査方法の実施の形態３において行われる処理について説明する。但し、これらの処理のうち、ステップＳ３１〜ステップ３４の処理については、図１２におけるステップＳ１１〜ステップＳ１４の処理と同様である（ガラス基板１１、太陽電池パネル１３、１５を用いた各々の処理の双方に対して）ので、その説明は省略する。
【００７５】
輝度検出・補正部７ａｃは、受信したパネル画像ＰＳにおいて示される、ガラス基板１１を示すガラス基板画像データ２Ｄ´に対し、ティーチングエリアＸ´Ｙ´に含まれる画素単位ＸＹ毎に、赤色画像データ輝度２Ｒの各々を検出する。輝度検出・補正部７ａｃは、検出された赤色画像データ輝度２Ｒを基にして赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒを生成する。記憶部７ａｂは、生成された赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒを記憶する（ステップＳ３５）。
【００７６】
輝度検出・補正部７ａｃは、太陽電池パネル１３、１５のパネル画像ＰＳを示す画像データ１Ｄ´の画素単位ＸＹ毎に、赤色画像データ輝度１Ｒを検出する。輝度検出・補正部７ａｃは、検出された赤色画像データ輝度１Ｒを赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒに基づいて補正する（ステップＳ３６）。二値化データ生成部７ａｈは、輝度検出・補正部７ａｃによって検出して補正された、画素単位ＸＹでの赤色画像データ輝度１Ｒを設定輝度１Ｇｒで二値化し、占有率（ＡＡＡ）％を算出して、太陽電池パネル二値化データ８Ｄを生成する（ステップＳ３７）。
【００７７】
尚、上記のステップＳ３５〜ステップＳ３７は、太陽電池パネル１５を用いたときに行われる処理である。太陽電池パネル１３を用いたときには、「赤色画像データ輝度２Ｒ」は「緑色画像データ輝度２Ｇ」、「赤色輝度表示データ２ＤＤ´Ｒ」は「緑色輝度表示データ２ＤＤ´Ｇ」、「設定輝度１Ｇｒ」は「設定輝度１Ｇｇ」、「ＡＡＡ」は「ＢＢＢ」にそれぞれ読み替えられる。
【００７８】
二値化データ生成部７ａｈは、生成された太陽電池パネル二値化データ８Ｄと、算出された占有率とを表示装置８ａに送信する。表示装置８ａは、受信した太陽電池パネル二値化データ８Ｄと占有率とを表示する。印字装置９ａは、検査者の操作に基づいて、表示される太陽電池パネル二値化データ８Ｄと占有率とを印字する（ステップＳ３８）。
【００７９】
【発明の効果】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置により、太陽電池パネルが大面積を有するときであっても、出来る限り小型の装置でパネル画像の撮像を行うことが可能となる。
【００８０】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置により、大面積の太陽電池パネルに対する撮像、及び撮像されて生成したパネル画像に基づく膜厚分布の検査を、オンラインで自動的に行うことが可能となる。
【００８１】
本発明の太陽電池パネル色むら検査装置により、膜厚分布に対する最適な解析を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置のの実施の形態１、２、３に係る構成を示す図である。
【図２】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１、２、３に係る、カラーラインセンサカメラとライン照明器に対する配置構成を示す図である。
【図３】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１、２、３に係る、撮像領域を示す図である。
【図４】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、画像処理装置の構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、色度算出式を示す図である。
【図６】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、画像データ輝度に対する補正の形態を示す図である。
【図７】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、（ａ）原画データと、（ｂ）補正データの各々を示す図である。
【図８】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、太陽電池パネル色度図データを示す図である。
【図９】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、ガラス基板色度図データを示す図である。
【図１０】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、太陽電池パネル色差図データを示す図である。
【図１１】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態１に係る、表示画面を示す図である。
【図１２】本発明の太陽電池パネル色むら検査方法の実施の形態１に係る、処理の過程を示す図である。
【図１３】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態２に係る、画像処理装置の構成を示すブロック図である。
【図１４】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態２に係る、算出式・設定値格納テーブルに格納される情報を示す図である。
【図１５】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態２に係る、各画像データヒストグラムを示す図である。
【図１６】本発明の太陽電池パネル色むら検査方法の実施の形態２に係る、処理の過程を示す図である。
【図１７】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態３に係る、画像処理装置の構成を示すブロック図である。
【図１８】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態３に係る、設定輝度表示データを示す図である。
【図１９】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の実施の形態３に係る、太陽電池パネル二値化データを示す図である。
【図２０】本発明の太陽電池パネル色むら検査方法の実施の形態３に係る、処理の過程を示す図である。
【図２１】本発明の太陽電池パネル色むら検査装置の従来の技術に係る、太陽電池パネル、太陽電池の構成、及び太陽電池の形成過程を示す図である。
【符号の説明】
１０：太陽電池パネル色むら検査装置
１１：ガラス基板
１２：透明電極膜
１３：太陽電池パネル
１４：半導体膜
１５：太陽電池パネル
１６：裏面電極膜
１７：太陽電池
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ、１８ｅ、１８ｆ：膜厚
１９：複合膜
１ａ：搬送コンベア
１ａ−ｉ：ローラ
１Ａ−ｉ：中心孔部
２ａ：カラーラインセンサカメラ
３ａ：ライン照明器
４ａ：調光器
５ａ：光電スイッチ
６ａ：ロータリーエンコーダ
７ａ：画像処理装置
７ａａ：トリガ信号送信部
７ａｂ：記憶部
７ａｃ：輝度検出・補正部
７ａｄ：色度算出部
７ａｅ：色度図・色差図生成部
７ａｆ：輝度ヒストグラム生成部
７ａｇ：平均値・標準偏差算出部
７ａｈ：二値化データ生成部
８ａ：表示装置
９ａ：印字装置
ＡＲａ、ＡＲｂ、ＡＲｃ、ＡＲｄ、ＡＲｅ：領域
ＡＲ１、ＡＲ２、ＡＲ３、ＡＲ４、ＡＲ５、ＡＲ６、ＡＲ７：領域
Ｘ、Ｙ：基板長さ
ｘｙｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）：撮像領域
ＸＹ：画素単位
ｉＸＹ：画素数
Ｘ´Ｙ´：ティーチングエリア
ＯＤ：原画データ
１Ｄ´：太陽電池パネル画像データ
２Ｄ´：ガラス基板画像データ
１Ｄ´Ｒ、２Ｄ´Ｒ：赤色画像データ
１Ｄ´Ｇ、２Ｄ´Ｇ：緑色画像データ
１Ｄ´Ｂ、２Ｄ´Ｂ：青色画像データ
１ＤＤ´Ｒ、２ＤＤ´Ｒ：赤色輝度表示データ
１ＤＤ´Ｇ、２ＤＤ´Ｇ：緑色輝度表示データ
１ＤＤ´Ｂ、２ＤＤ´Ｂ：青色輝度表示データ
３Ｄ：補正データ
４Ｄ：太陽電池パネル色度図データ
５Ｄ：ガラス基板色度図データ
６Ｄ：太陽電池パネル色差図データ
７Ｄ：各画像データ輝度ヒストグラム
８Ｄ：太陽電池パネル二値化データ
１Ｒ、２Ｒ：赤色画像データ輝度
１Ｇ、２Ｇ：緑色画像データ輝度
１Ｂ、２Ｂ：青色画像データ輝度
１Ｙ、２Ｙ：輝度画像データ輝度
１Ｒ´、２Ｒ´：赤色度
１Ｇ´、２Ｇ´：緑色度
１Ｂ´、２Ｂ´：青色度
１Ｙ´、２Ｙ´：輝度
Ｌ１：照射光
Ｌ２：反射光
Ｌ３：垂線
α１、α２：角度
Ｎ：通知信号
Ｐ：パルス信号
ＰＳ、ＰＳｉ（ｉ＝１，２，…，ｎ）：パネル画像
Ｔ：トリガ信号
Claims (13)
- 基板上に薄膜が積層された太陽電池パネルを搬送する搬送部と、
前記搬送部により搬送される前記太陽電池パネルの速度に基づいて、撮像要求を送信する撮像制御部と、
前記撮像制御部からの前記撮像要求に応答して、前記搬送される太陽電池パネルを撮像してパネル画像を生成する撮像部と、
前記パネル画像を解析して、前記薄膜の膜厚を示す膜厚データを生成するデータ生成部とを具備し、
前記パネル画像は、前記薄膜の膜厚を色むらで示し、前記膜厚データは、前記色むらを解析することで生成される
太陽電池パネル色むら検査装置。 - 請求項１において、
前記搬送される太陽電池パネルに光を照射する光照射部を更に具備し、
前記光照射部から照射された光は、前記搬送される太陽電池パネルにより反射されて前記撮像部に入射される太陽電池パネル色むら検査装置。 - 請求項２において、
前記光照射部から照射された光の前記搬送される太陽電池パネルへの入射角度は、１６〜２０°である太陽電池パネル色むら検査装置。 - 請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記膜厚データは、前記薄膜の膜厚の分布を示す膜厚分布データであり、
前記データ生成部は、前記パネル画像から前記膜厚分布データを生成する
太陽電池パネル色むら検査装置。 - 請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記太陽電池パネルは、ガラス基板と前記薄膜とを有し、前記撮像部は、前記ガラス基板と前記太陽電池パネルのいずれかを撮像し、前記パネル画像は、前記撮像されるガラス基板、及び前記撮像される太陽電池パネルのいずれかを示す画像データを含み、前記膜厚分布データは、第１膜厚分布データを含み、
前記データ生成部は、前記太陽電池パネルを示す画像データの第１輝度を検出し、前記検出された第１輝度を、前記ガラス基板を示す画像データの第２輝度に基づいて補正することで前記第１膜厚分布データを生成する
太陽電池パネル色むら検査装置。 - 請求項５において、
前記膜厚分布データは、第２膜厚分布データを含み、前記太陽電池パネルを示す画像データは、複数の第１画像データであり、前記複数の第１画像データは、赤色の第１赤色画像データ、緑色の第１緑色画像データ、青色の第１青色画像データの各々を含み、前記ガラス基板を示す画像データは、複数の第２画像データであり、前記複数の第２画像データは、赤色の第２赤色画像データ、緑色の第２緑色画像データ、青色の第２青色画像データの各々を含み、
前記データ生成部は、前記第１赤色画像データの第１輝度を検出し、前記検出された第１赤色画像データの第１輝度を前記第２赤色画像データの第２輝度に基づいて補正し、前記補正された第１赤色画像データの第１輝度を用いて前記第１赤色画像データの第１色度を算出し、前記第１緑色画像データの第１輝度を検出し、前記検出された第１緑色画像データの第１輝度を前記第２緑色画像データの第２輝度に基づいて補正し、前記補正された第１緑色画像データの第１輝度を用いて前記第１緑色画像データの第１色度を算出し、前記第１青色画像データの第１輝度を検出し、前記検出された第１青色画像データの第１輝度を前記第２青色画像データの第２輝度に基づいて補正し、前記補正された第１青色画像データの第１輝度を用いて前記第１青色画像データの第１色度を算出し、前記算出された第１赤色画像データの第１色度、前記算出された第１緑色画像データの第１色度、前記算出された第１青色画像データの第１色度のうち、少なくともいずれか２個の第１色度を用いて前記第２膜厚分布データを生成する
太陽電池パネル色むら検査装置。 - 請求項６において、
前記膜厚分布データは、第３膜厚分布データを含み、
前記データ生成部は、前記算出された第１赤色画像データの第１色度と、前記第２赤色画像データの第２輝度に基づいて算出される前記第２赤色画像データの第２色度との差、前記算出された第１緑色画像データの第１色度と、前記第２緑色画像データの第２輝度に基づいて算出される前記第２緑色画像データの第２色度との差、前記算出された第１青色画像データの第１色度と、前記第２青色画像データの第２輝度に基づいて算出される前記第２青色画像データの第２色度との差の各々のうち、少なくともいずれか２個の差を用いて前記第３膜厚分布データを生成する
太陽電池パネル色むら検査装置。 - 請求項６において、
前記膜厚分布データは、第４膜厚分布データを含み、前記第４膜厚分布データは、前記補正された第１赤色画像データの第１輝度と、前記補正された第１赤色画像データの第１輝度に対応する画素数とを示し、前記補正された第１緑色画像データの第１輝度と、前記補正された第１緑色画像データの第１輝度に対応する画素数とを示し、前記補正された第１青色画像データの第１輝度と、前記補正された第１青色画像データの第１輝度に対応する画素数とを示し、
前記データ生成部は、前記第４膜厚分布データに基づいて、前記補正された第１赤色画像データの第１輝度、前記補正された第１緑色画像データの第１輝度、及び前記補正された第１青色画像データの第１輝度の各々に対する、第１平均値と第１標準偏差とを算出し、前記算出の結果、前記算出される第１平均値が第１設定平均値の範囲内であり、前記算出される第１標準偏差が第１設定標準偏差の範囲内であるときに、前記膜厚分布が正常であると判断する
太陽電池パネル色むら検査装置。 - 請求項６において、
前記膜厚分布データは、第５膜厚分布データを含み、前記第５膜厚分布データは、黄色の輝度画像データの第１輝度と、前記輝度画像データの画素数とを示し、
前記データ生成部は、前記第５膜厚分布データに基づいて、前記輝度画像データの第１輝度に対する、第２平均値と第２標準偏差の各々を算出し、前記算出の結果、前記算出される第２平均値が第２設定平均値の範囲内であり、前記算出される第２標準偏差が第２設定標準偏差の範囲内であるときに、前記膜厚分布が正常であると判断する
太陽電池パネル色むら検査装置。 - 請求項４乃至９のいずれかにおいて、
前記薄膜は、透明電極膜と、前記透明電極膜と半導体膜とを含む複合膜とのいずれかであり、前記太陽電池パネルは、前記透明電極膜と、前記複合膜とのいずれかを有し、前記膜厚分布データは、前記透明電極膜の膜厚分布と、前記複合膜の膜厚分布とのいずれかを示し、
前記撮像部は、前記透明電極膜のパネル画像と、前記複合膜のパネル画像のいずれかを撮像して前記データ生成部に送信し、
前記データ生成部は、前記送信されるいずれかの画像を解析し、前記解析の結果に基づいて、前記いずれかの膜厚分布を示す膜厚分布データを生成する
太陽電池パネル色むら検査装置。 - 請求項６において、
前記膜厚分布データは、第６膜厚分布データを含み、前記画像データは、前記第１緑色画像データであり、前記第６膜厚分布データは、設定輝度で二値化された前記第１緑色画像データの第１輝度と、前記第１緑色画像データの第１輝度のうち、前記設定輝度以上の第１緑色画像データの画素数とを示し、前記薄膜は、透明電極膜であり、前記太陽電池パネルは、前記透明電極膜を有し、
前記データ生成部は、前記第１緑色画像データの第１輝度を検出し、前記検出された第１輝度を前記第２緑色画像データの第２輝度に基づいて補正し、前記補正された第１輝度と前記設定輝度とに基づいて前記第６膜厚分布データを生成し、前記生成された第６膜厚分布データにおける、前記第１輝度が前記設定輝度以上である第１緑色画像データの占有率を算出し、前記算出された占有率に基づいて、前記透明電極膜の膜厚分布が正常であるか否かを判断する
太陽電池パネル色むら検査装置。 - 請求項６において、
前記膜厚分布データは、第７膜厚分布データであり、前記画像データは、前記赤色画像データであり、前記第７膜厚分布データは、設定輝度で二値化された前記第１赤色画像データの第１輝度と、前記第１赤色画像データの第１輝度のうち、前記設定輝度以上の第１赤色画像データの画素数とを示し、前記薄膜は、透明電極膜と半導体膜とを有する複合膜であり、前記太陽電池パネルは、前記複合膜を有し、
前記データ生成部は、前記第１赤色画像データの第１輝度を検出し、前記検出された第１輝度を前記第２赤色画像データの第２輝度に基づいて補正し、前記補正された第１輝度と前記設定輝度とに基づいて前記第７膜厚分布データを生成し、前記生成された第７膜厚分布データにおける、前記第１輝度が前記設定輝度以上である第１赤色画像データの占有率を算出し、前記算出された占有率に基づいて、前記複合膜の膜厚分布が正常であるか否かを判断する
太陽電池パネル色むら検査装置。 - 搬送部、撮像制御部、及び撮像部を具備する太陽電池パネル色むら検査装置により実行される太陽電池パネル色むら検査方法において、
前記搬送部が、基板上に薄膜が積層された太陽電池パネルを搬送するステップと、
前記撮像制御部が、前記搬送部により搬送される前記太陽電池パネルの速度に基づいて、撮像要求を送信するステップと、
前記撮像部が、前記撮像制御部からの前記撮像要求に応答して、前記搬送される太陽電池パネルを撮像してパネル画像を生成するステップと、
前記データ生成部が、前記パネル画像を解析して、前記薄膜の膜厚を示す膜厚データを生成するステップとを具備し、
前記パネル画像は、前記薄膜の膜厚を色むらで示し、前記膜厚データは、前記色むらを解析することで生成される
太陽電池パネル色むら検査方法。
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