JP2004091161A - 有限回転型のテーブル装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】大径の回転テーブルを備えた有限回転型のテーブル装置を寸法および重量の増加を招くことなく実現すること。
【解決手段】有限回転型のテーブル装置1は、ベース4の上にクロスローラベアリング3からなるテーブル支持部を介して回転テーブル2が回転自在の状態で支持されている。回転テーブル2を回転させるためのアクチュエータ5は、支持アーム6によってベース4の側に支持され、その回転出力軸51の回転が駆動アーム7を介して回転テーブル2に伝達される。アクチュエータ5を駆動すると、その中心軸線5aを中心として一対のアーム6、7が相対的に開閉し、アクチュエータ5が移動しながら、回転テーブル2が所定方向に所定角度だけ回転する。
【選択図】 図1
【解決手段】有限回転型のテーブル装置1は、ベース4の上にクロスローラベアリング3からなるテーブル支持部を介して回転テーブル2が回転自在の状態で支持されている。回転テーブル2を回転させるためのアクチュエータ5は、支持アーム6によってベース4の側に支持され、その回転出力軸51の回転が駆動アーム7を介して回転テーブル2に伝達される。アクチュエータ5を駆動すると、その中心軸線5aを中心として一対のアーム6、7が相対的に開閉し、アクチュエータ5が移動しながら、回転テーブル2が所定方向に所定角度だけ回転する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大型プリント基板や液晶基板の角度修正に用いられる有限回転型の回転テーブル装置に関し、回転テーブルの支持部と回転テーブルの駆動部とを分離することにより装置全体の軽量化を図った有限回転型の回転テーブル装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
大型プリント基板や液晶基板の角度修正に用いられるθテーブルあるいはθステージなどと呼ばれている有限回転型の回転テーブル装置は、一般に、X−Yステージに搭載され、数度の動作範囲で高い分解能が要求されることが多い。また、乗せるワークの大型化に伴って、より大型の回転テーブルが要求されるようになってきている。大型のワークを乗せるための大型の回転テーブル装置では、回転テーブルを有限回転させるためのトルクは小さくても良い。しかし、そのテーブル支持部は、大型の回転テーブルが安定するように大径で面振れなく精度良く回転テーブルを支持できる必要がある。
【0003】
例えば、大型プリント基板や液晶基板の角度修正に用いる回転テーブル装置の要求仕様は次の通りである。
動作角度:数度(一般に、プラスマイナス10°程度以下の範囲)
動作速度:最大でも数rpm
出力トルク:要求は低い(慣性駆動のみ)
テーブル支持部:大径であること(安定性重視)
耐荷重:一定アキシャル荷重のみ
精度:高分解能と応答性重視
形状:薄型、軽量
価格:低価格
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような仕様を満足する有限回転型のテーブル装置は市販あるいは提案されておらず、無限回転型のテーブル装置が流用されているのが現状である。入手可能な無限回転型のテーブル装置の一般仕様は例えば次の通りである。
動作角度:無限角
動作速度:数十rpm以上
出力トルク:高出力重視
テーブル支持部:出力相応で大径化
耐荷重:アキシャル、ラジアル荷重
精度:絶対位置決め精度、反復位置決め精度重視
形状:出力相応で厚型化、重量増
価格:高出力化・高分解能化に伴って高騰
【0005】
従って、特に大型のワークを乗せるために大径の回転テーブルを必要とする場合には、テーブル装置の重量や厚みが増加し、これに伴い、当該テーブル装置を支持しているX−Yステージを大型化して耐荷重性能を高める必要がある。さらに、これら回転テーブル装置およびX−Yテーブルを支持しているフレームも大型化して高剛性のものとする必要があるので、装置全体が大型化して、その運搬・設置作業が困難になり、結果としてコストアップを招くことになる。
【0006】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、大径の回転テーブルを有限角度だけ回転させるための小型で軽量な有限回転型のテーブル装置を提案することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の有限回転型のテーブル装置では、大径の回転テーブルを支持するためのテーブル支持部と、回転テーブルを回転駆動するための駆動部とを分離し、駆動部を可動状態に支持する構成を採用している。
【0008】
すなわち、本発明の有限回転型のテーブル装置は、
回転テーブルと、
この回転テーブルを定まったテーブル回転中心線の周りに回転可能な状態で支持しているテーブル支持部と、
前記回転テーブルを前記テーブル回転中心線の周りに有限角度だけ回転させるためのアクチュエータと、
前記テーブル支持部を支持しているベースと、
前記アクチュエータを支持している支持アームと、
前記アクチュエータの出力回転を前記回転テーブルに伝達する駆動アームとを有しており、
前記支持アームは、その一端が、前記テーブル回転中心線に平行な回転中心線の周りに回転可能な状態で前記ベースに取り付けられ、その他端が、前記アクチュエータのハウジングに固定されており、
前記駆動アームは、その一端が、前記出力回転軸に固定され、その他端が、前記回転テーブル中心線に平行な回転中心線の周りに回転可能な状態で前記回転テーブルに取り付けられていることを特徴としている。
【0009】
ここで、前記テーブル支持部としてはクロスローラベアリングを採用することができる。
【0010】
また、前記アクチュエータとしては、モータおよび減速機を備えた構成のものを採用することができる。この場合、当該減速機の減速回転出力要素が前記回転出力軸である。ここで、前記減速機として、円環状の内歯歯車と、この内側に配置されている可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車を半径方向に撓めて前記内歯歯車に部分的に噛み合わせると共に両歯車の噛み合い位置を円周方向に移動させる波動発生器とを備えた波動歯車装置を用いることができる。
【0011】
さらに、前記モータおよび前記減速機を同軸状態に連結し、これらの中心軸線上に、前記支持アームおよび前記駆動アームの前記アクチュエータに対する連結部分の中心が位置するように、各アームをアクチュエータに連結した構成を採用することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して本発明を適用した有限回転型のテーブル装置の一例を説明する。
【0013】
図1(a)、(b)は本例の有限回転型のテーブル装置を示す平面構成図および側面構成図であり、図2はそのアクチュエータの部分を示す説明図である。これらの図を参照して説明すると、本例のテーブル装置1は、ワーク(図示せず)を乗せるための長方形の回転テーブル2を備え、この回転テーブル2は、クロスローラベアリング3からなるテーブル支持部を介して固定側のベース4によって、テーブル回転中心線2aの周りに回転自在の状態で支持されている。また、回転テーブル2とベース4の間には、テーブル支持部とは分離させた状態で、回転テーブル2をテーブル回転中心線2aの周りに有限角度だけ回転させるためのアクチュエータ5が取り付けられている。
【0014】
アクチュエータ5は支持アーム6によってベース4の側に支持されており、当該アクチュエータ5の回転出力軸51は駆動アーム7を介して回転テーブル2に連結されている。
【0015】
すなわち、支持アーム6は、その一端61が、テーブル回転中心線2aに平行な回転中心線6aの周りに回転可能な状態でベース4に支持され、その他端62が、アクチュエータ5の本体側ハウジング51に対して、その中心軸線5aに対して同軸状態に固定されている。
【0016】
駆動アーム7は、その一端71がアクチュエータの回転出力軸51に対して同軸状態に固定され、その他端72が、回転テーブル中心線2aに平行な回転中心線7aの周りに回転可能な状態で回転テーブル2に取り付けられている。また、駆動アーム7は支持アーム6と同一長さ、すなわち、それらのスイング半径は同一であり、相対的に、アクチュエータ中心軸線5aを中心としてスイングする。
【0017】
本例のアクチュエータ5は、モータ11および減速機12を備えた構成のものを採用しており、当該減速機12の減速回転出力要素が回転出力軸51である。本例の減速機12は、例えば、円環状の内歯歯車と、この内側に配置されている可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車を半径方向に撓めて内歯歯車に部分的に噛み合わせると共に両歯車の噛み合い位置を円周方向に移動させるための楕円形をした波動発生器とを備えた波動歯車装置である。
【0018】
このように構成した本例のテーブル装置1の動作を説明する。例えば、アクチュエータ5を駆動して、その回転出力軸51に固定されている駆動アーム7を他方の支持アーム6の側に回転させる。このようにアクチュエータ5を駆動すると、アクチュエータ自体が支持アーム6の一端61を中心として移動しながら、駆動アーム7が旋回し、回転テーブル2がその回転中心線2aを中心として反時計方向に回転する。アクチュエータ5を逆向きに駆動した場合にも同様であり、アクチュエータ5が移動しながら、駆動アーム7が支持アーム6に対して開く方向に旋回して、回転テーブル2が時計周りに回転する。
【0019】
本例のテーブル装置1でのテーブルの位置決め分解能は、基本的にアクチュエータ5の持つ分解能に、テーブル半径および駆動アームの半径の比を乗算したものとなる。
【0020】
すなわち、図1(a)に示すように、支持アーム6の一端61に対する駆動アーム7の一端72の移動距離をXとし、そのときの回転テーブル2の回転角をθ1、そのときの駆動アーム7の回転角をθ2とし、テーブル回転中心線2aから駆動アーム7の連結端までの距離(テーブル半径)をR1、駆動アーム7の長さ(半径)をR2とする。
【0021】
この場合、
X=R1×2Sin(θ1/2)=R2×2Sin(θ2/2)
の関係にあるから、
Sin(θ1/2)=R2/R1×Sin(θ2/2)
となる。θ2がアクチュエータ5の最小回転角(1ステップ)程度の微小角度の場合、
θ1≒R2/R1×θ2
と考えることができる。
【0022】
本例のテーブル装置1は、例えば次のような用途に用いることができる。要求される回転角度が微小角度の場合の用途としては、光学系部品(ミラー、プリズムなど)のアライメント調整などの用途、プリント基板、液晶パネルなどの置き角度修正などがある。また、要求回転角度が広角である場合の用途としては、チップ部品のテープマウンタなどの等分割移動用途、ワークの搬送、反転などのハンドリング用途(反復動作用途)、金属加工機のθテーブル(NC制御)などの用途(自在動作用途)などがある。
【0023】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の有限回転型のテーブル装置では、回転テーブルの支持部からアクチュエータを分離し、アクチュエータを回転テーブルとベースの間において一対のスイングアーム(支持アームおよび駆動アーム)によって可動状態で支持した構成を採用している。本発明によれば、大径の回転テーブルを備えたテーブル装置を、寸法および重量の増加を招くことなく実現できる。また、回転テーブルの回転半径R1と駆動アームの回転半径R2の比を適切に設定することにより、所望の分解能で回転テーブルを位置決めすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した有限回転型のテーブル装置の平面構成図および側面構成図である。
【図2】図1のテーブル装置におけるアクチュエータの部分を示す説明図である。
【符号の説明】
1 テーブル装置
2 回転テーブル
2a テーブル回転中心線
3 クロスローラベアリング(テーブル支持部)
4 ベース
5 アクチュエータ
5a 中心軸線
51 回転出力軸
52 ハウジング
6 支持アーム
6a 回転中心線
61、62 支持アームの端
7 駆動アーム
7a 回転中心線
71、72 駆動アームの端
11 モータ
12 減速機
【発明の属する技術分野】
本発明は、大型プリント基板や液晶基板の角度修正に用いられる有限回転型の回転テーブル装置に関し、回転テーブルの支持部と回転テーブルの駆動部とを分離することにより装置全体の軽量化を図った有限回転型の回転テーブル装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
大型プリント基板や液晶基板の角度修正に用いられるθテーブルあるいはθステージなどと呼ばれている有限回転型の回転テーブル装置は、一般に、X−Yステージに搭載され、数度の動作範囲で高い分解能が要求されることが多い。また、乗せるワークの大型化に伴って、より大型の回転テーブルが要求されるようになってきている。大型のワークを乗せるための大型の回転テーブル装置では、回転テーブルを有限回転させるためのトルクは小さくても良い。しかし、そのテーブル支持部は、大型の回転テーブルが安定するように大径で面振れなく精度良く回転テーブルを支持できる必要がある。
【0003】
例えば、大型プリント基板や液晶基板の角度修正に用いる回転テーブル装置の要求仕様は次の通りである。
動作角度:数度(一般に、プラスマイナス10°程度以下の範囲)
動作速度:最大でも数rpm
出力トルク:要求は低い(慣性駆動のみ)
テーブル支持部:大径であること(安定性重視)
耐荷重:一定アキシャル荷重のみ
精度:高分解能と応答性重視
形状:薄型、軽量
価格:低価格
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような仕様を満足する有限回転型のテーブル装置は市販あるいは提案されておらず、無限回転型のテーブル装置が流用されているのが現状である。入手可能な無限回転型のテーブル装置の一般仕様は例えば次の通りである。
動作角度:無限角
動作速度:数十rpm以上
出力トルク:高出力重視
テーブル支持部:出力相応で大径化
耐荷重:アキシャル、ラジアル荷重
精度:絶対位置決め精度、反復位置決め精度重視
形状:出力相応で厚型化、重量増
価格:高出力化・高分解能化に伴って高騰
【0005】
従って、特に大型のワークを乗せるために大径の回転テーブルを必要とする場合には、テーブル装置の重量や厚みが増加し、これに伴い、当該テーブル装置を支持しているX−Yステージを大型化して耐荷重性能を高める必要がある。さらに、これら回転テーブル装置およびX−Yテーブルを支持しているフレームも大型化して高剛性のものとする必要があるので、装置全体が大型化して、その運搬・設置作業が困難になり、結果としてコストアップを招くことになる。
【0006】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、大径の回転テーブルを有限角度だけ回転させるための小型で軽量な有限回転型のテーブル装置を提案することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の有限回転型のテーブル装置では、大径の回転テーブルを支持するためのテーブル支持部と、回転テーブルを回転駆動するための駆動部とを分離し、駆動部を可動状態に支持する構成を採用している。
【0008】
すなわち、本発明の有限回転型のテーブル装置は、
回転テーブルと、
この回転テーブルを定まったテーブル回転中心線の周りに回転可能な状態で支持しているテーブル支持部と、
前記回転テーブルを前記テーブル回転中心線の周りに有限角度だけ回転させるためのアクチュエータと、
前記テーブル支持部を支持しているベースと、
前記アクチュエータを支持している支持アームと、
前記アクチュエータの出力回転を前記回転テーブルに伝達する駆動アームとを有しており、
前記支持アームは、その一端が、前記テーブル回転中心線に平行な回転中心線の周りに回転可能な状態で前記ベースに取り付けられ、その他端が、前記アクチュエータのハウジングに固定されており、
前記駆動アームは、その一端が、前記出力回転軸に固定され、その他端が、前記回転テーブル中心線に平行な回転中心線の周りに回転可能な状態で前記回転テーブルに取り付けられていることを特徴としている。
【0009】
ここで、前記テーブル支持部としてはクロスローラベアリングを採用することができる。
【0010】
また、前記アクチュエータとしては、モータおよび減速機を備えた構成のものを採用することができる。この場合、当該減速機の減速回転出力要素が前記回転出力軸である。ここで、前記減速機として、円環状の内歯歯車と、この内側に配置されている可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車を半径方向に撓めて前記内歯歯車に部分的に噛み合わせると共に両歯車の噛み合い位置を円周方向に移動させる波動発生器とを備えた波動歯車装置を用いることができる。
【0011】
さらに、前記モータおよび前記減速機を同軸状態に連結し、これらの中心軸線上に、前記支持アームおよび前記駆動アームの前記アクチュエータに対する連結部分の中心が位置するように、各アームをアクチュエータに連結した構成を採用することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して本発明を適用した有限回転型のテーブル装置の一例を説明する。
【0013】
図1(a)、(b)は本例の有限回転型のテーブル装置を示す平面構成図および側面構成図であり、図2はそのアクチュエータの部分を示す説明図である。これらの図を参照して説明すると、本例のテーブル装置1は、ワーク(図示せず)を乗せるための長方形の回転テーブル2を備え、この回転テーブル2は、クロスローラベアリング3からなるテーブル支持部を介して固定側のベース4によって、テーブル回転中心線2aの周りに回転自在の状態で支持されている。また、回転テーブル2とベース4の間には、テーブル支持部とは分離させた状態で、回転テーブル2をテーブル回転中心線2aの周りに有限角度だけ回転させるためのアクチュエータ5が取り付けられている。
【0014】
アクチュエータ5は支持アーム6によってベース4の側に支持されており、当該アクチュエータ5の回転出力軸51は駆動アーム7を介して回転テーブル2に連結されている。
【0015】
すなわち、支持アーム6は、その一端61が、テーブル回転中心線2aに平行な回転中心線6aの周りに回転可能な状態でベース4に支持され、その他端62が、アクチュエータ5の本体側ハウジング51に対して、その中心軸線5aに対して同軸状態に固定されている。
【0016】
駆動アーム7は、その一端71がアクチュエータの回転出力軸51に対して同軸状態に固定され、その他端72が、回転テーブル中心線2aに平行な回転中心線7aの周りに回転可能な状態で回転テーブル2に取り付けられている。また、駆動アーム7は支持アーム6と同一長さ、すなわち、それらのスイング半径は同一であり、相対的に、アクチュエータ中心軸線5aを中心としてスイングする。
【0017】
本例のアクチュエータ5は、モータ11および減速機12を備えた構成のものを採用しており、当該減速機12の減速回転出力要素が回転出力軸51である。本例の減速機12は、例えば、円環状の内歯歯車と、この内側に配置されている可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車を半径方向に撓めて内歯歯車に部分的に噛み合わせると共に両歯車の噛み合い位置を円周方向に移動させるための楕円形をした波動発生器とを備えた波動歯車装置である。
【0018】
このように構成した本例のテーブル装置1の動作を説明する。例えば、アクチュエータ5を駆動して、その回転出力軸51に固定されている駆動アーム7を他方の支持アーム6の側に回転させる。このようにアクチュエータ5を駆動すると、アクチュエータ自体が支持アーム6の一端61を中心として移動しながら、駆動アーム7が旋回し、回転テーブル2がその回転中心線2aを中心として反時計方向に回転する。アクチュエータ5を逆向きに駆動した場合にも同様であり、アクチュエータ5が移動しながら、駆動アーム7が支持アーム6に対して開く方向に旋回して、回転テーブル2が時計周りに回転する。
【0019】
本例のテーブル装置1でのテーブルの位置決め分解能は、基本的にアクチュエータ5の持つ分解能に、テーブル半径および駆動アームの半径の比を乗算したものとなる。
【0020】
すなわち、図1(a)に示すように、支持アーム6の一端61に対する駆動アーム7の一端72の移動距離をXとし、そのときの回転テーブル2の回転角をθ1、そのときの駆動アーム7の回転角をθ2とし、テーブル回転中心線2aから駆動アーム7の連結端までの距離(テーブル半径)をR1、駆動アーム7の長さ(半径)をR2とする。
【0021】
この場合、
X=R1×2Sin(θ1/2)=R2×2Sin(θ2/2)
の関係にあるから、
Sin(θ1/2)=R2/R1×Sin(θ2/2)
となる。θ2がアクチュエータ5の最小回転角(1ステップ)程度の微小角度の場合、
θ1≒R2/R1×θ2
と考えることができる。
【0022】
本例のテーブル装置1は、例えば次のような用途に用いることができる。要求される回転角度が微小角度の場合の用途としては、光学系部品(ミラー、プリズムなど)のアライメント調整などの用途、プリント基板、液晶パネルなどの置き角度修正などがある。また、要求回転角度が広角である場合の用途としては、チップ部品のテープマウンタなどの等分割移動用途、ワークの搬送、反転などのハンドリング用途(反復動作用途)、金属加工機のθテーブル(NC制御)などの用途(自在動作用途)などがある。
【0023】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の有限回転型のテーブル装置では、回転テーブルの支持部からアクチュエータを分離し、アクチュエータを回転テーブルとベースの間において一対のスイングアーム(支持アームおよび駆動アーム)によって可動状態で支持した構成を採用している。本発明によれば、大径の回転テーブルを備えたテーブル装置を、寸法および重量の増加を招くことなく実現できる。また、回転テーブルの回転半径R1と駆動アームの回転半径R2の比を適切に設定することにより、所望の分解能で回転テーブルを位置決めすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した有限回転型のテーブル装置の平面構成図および側面構成図である。
【図2】図1のテーブル装置におけるアクチュエータの部分を示す説明図である。
【符号の説明】
1 テーブル装置
2 回転テーブル
2a テーブル回転中心線
3 クロスローラベアリング(テーブル支持部)
4 ベース
5 アクチュエータ
5a 中心軸線
51 回転出力軸
52 ハウジング
6 支持アーム
6a 回転中心線
61、62 支持アームの端
7 駆動アーム
7a 回転中心線
71、72 駆動アームの端
11 モータ
12 減速機
Claims (5)
- 回転テーブルと、
この回転テーブルを定まったテーブル回転中心線の周りに回転可能な状態で支持しているテーブル支持部と、
前記回転テーブルを前記テーブル回転中心線の周りに有限角度だけ回転させるためのアクチュエータと、
前記テーブル支持部を支持しているベースと、
前記アクチュエータを支持している支持アームと、
前記アクチュエータの出力回転を前記回転テーブルに伝達する駆動アームとを有しており、
前記支持アームは、その一端が、前記テーブル回転中心線に平行な回転中心線の周りに回転可能な状態で前記ベースに取り付けられ、その他端が、前記アクチュエータのハウジングに固定されており、
前記駆動アームは、その一端が、前記出力回転軸に固定され、その他端が、前記回転テーブル中心線に平行な回転中心線の周りに回転可能な状態で前記回転テーブルに取り付けられている有限回転型のテーブル装置。 - 請求項1において、
前記テーブル支持部はクロスローラベアリングを備えていることを特徴とする有限回転型のテーブル装置。 - 請求項1において、
前記アクチュエータは、モータおよび減速機を備え、当該減速機の減速回転出力要素が前記回転出力軸であることを特徴とする有限回転型のテーブル装置。 - 請求項3において、
前記減速機は、円環状の内歯歯車と、この内側に配置されている可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車を半径方向に撓めて前記内歯歯車に部分的に噛み合わせると共に両歯車の噛み合い位置を円周方向に移動させる波動発生器とを備えた波動歯車装置であることを特徴とする有限回転型のテーブル装置。 - 請求項3または4において、
前記モータおよび前記減速機は同軸状態に連結されており、これらの中心軸線上に、前記支持アームおよび前記駆動アームの前記アクチュエータに対する連結部分の中心が位置していることを特徴とする有限回転型のテーブル装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002256448A JP2004091161A (ja) | 2002-09-02 | 2002-09-02 | 有限回転型のテーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002256448A JP2004091161A (ja) | 2002-09-02 | 2002-09-02 | 有限回転型のテーブル装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004091161A true JP2004091161A (ja) | 2004-03-25 |
Family
ID=32061670
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002256448A Pending JP2004091161A (ja) | 2002-09-02 | 2002-09-02 | 有限回転型のテーブル装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004091161A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100918069B1 (ko) | 2007-08-01 | 2009-09-22 | 주식회사 에스에프에이 | 웨이퍼 연마장치 |
CN108594863A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-09-28 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种正负180°转台的限位结构及方法 |
CN111810586A (zh) * | 2020-07-08 | 2020-10-23 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | 一种极限转角范围大于360°的机械缓冲限位结构及转台 |
-
2002
- 2002-09-02 JP JP2002256448A patent/JP2004091161A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100918069B1 (ko) | 2007-08-01 | 2009-09-22 | 주식회사 에스에프에이 | 웨이퍼 연마장치 |
CN108594863A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-09-28 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种正负180°转台的限位结构及方法 |
CN108594863B (zh) * | 2018-04-03 | 2021-06-11 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种正负180°转台的限位结构及方法 |
CN111810586A (zh) * | 2020-07-08 | 2020-10-23 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | 一种极限转角范围大于360°的机械缓冲限位结构及转台 |
CN111810586B (zh) * | 2020-07-08 | 2021-09-28 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | 一种极限转角范围大于360°的机械缓冲限位结构及转台 |
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