JP2004072235A - エレクトレットコンデンサマイクロホン及びその振動板の製造方法 - Google Patents

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Toshiaki Ido
井土 俊朗
Kazuo Ono
小野 和夫
Kentaro Ishihara
石原 健太郎
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Abstract

【課題】エレクトレットコンデンサマイクロホン(ECM)の一貫したラインでの自動生産を可能とし、かつリサイクル時の廃棄量を低減する。
【解決手段】リングに振動膜が張られてなる振動板を具備し、静電容量を形成する背極と振動膜とのいずれか一方にエレクトレット誘電体膜が設けられているECMにおいて、リングを互いに嵌合される上下一対のリング32,33よりなるものとし、それらリング32,33によって振動膜34が挟み込まれて振動板31が形成されているものとする。従来のように接着ではなく、積層嵌合によって振動板31は形成されるため、ラインでの自動生産が可能となり、またリサイクル時、リング32,33の再利用が可能となる。
【選択図】   図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明はエレクトレットコンデンサマイクロホンに関し、特にその振動板の構造及び製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5はエレクトレットコンデンサマイクロホン(以下、ECMと言う。)の従来構成の一例を示したものであり、図6はその振動板の構成を示したものである。この例ではECMはバックエレクトレットタイプとなっている。
ハウジング11は金属製とされて一端面が閉塞された円筒状をなすものとされ、その閉塞された端面11aには複数の音通孔12が貫通形成されている。
ハウジング11内には音通孔12と対向して振動板13が配置されており、振動板13は金属製のリング14と、そのリング14に周縁が固定保持されて張られた振動膜15とによって構成され、リング14が端面11a側とされてハウジング11に収容されている。
【0003】
背極16はリング状をなす絶縁スペーサ17を介して振動膜15に対向配置されており、背極16の振動膜15との対向面にはエレクトレット誘電体膜18が設けられている。なお、背極16には連通孔19が形成されている。
一方、ハウジング11の他端側(開放端側)には円板状のベース20が配置され、このベース20と背極16との間には金属製のリング21が介在されて所要の空間が形成されている。また、リング21の外周側にはリング状のホルダ22が配置されており、背極16はその外周の角部がホルダ22の内周に設けられた段部22aに位置決めされて固定されている。
【0004】
ベース20のハウジング11への固定は、ハウジング11内に振動板13、絶縁スペーサ17、背極16、ホルダ22及びリング21を順次収納し、ハウジング11の開放端を内側へ折り曲げてかしめることによって行われ、これによりハウジング11の開放端がベース20によって蓋される。図5中、11bはハウジング11のかしめ部を示す。
上記のように配置されて、ハウジング11と共にECMの外形を構成するベース20は片面実装基板とされ、その内面側にはこの例ではFET(電界効果トランジスタ)23が実装されている。FET23のゲート端子はベース20に形成されている電極パターン(図示せず)と圧接されているリング21を介して背極16と電気的に接続されており、このFET23から導出された外部出力端子が図では省略しているが、ベース20の外面側に設けられている。
【0005】
一方、振動板13の振動膜15はリング14を介してハウジング11と電気的に接続されており、ハウジング11はもう一方の外部出力端子(アース端子)をなすものとされる。
このように構成されたECMは、音通孔12を介して音波が入射すると、音波によって振動膜15が振動し、この振動による振動膜15と背極16との間の静電容量の変化を音声信号として外部に出力することができるものとなっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような構成を有するECMにおける振動板13は、従来においてはリング14と振動膜15とを接着剤で貼り付けることによって製造されており、このため以下に示すような問題があった。
(1)接着工程は接着剤硬化のための時間や恒温槽等を一般に必要とすることから、このような接着工程を要する振動板13の組み立てをECMの一連の組み立てを行う自動化生産ラインに組み込むことは工程上及び設備上、困難であり、よって従来においては振動板13の組み立ても含め、ECMを一貫したラインにて自動生産することができず、その点で生産効率が悪く、コスト高の原因となっていた。
(2)ECMのリサイクルの際、リング14に振動膜15が接着されているため、リング14のリサイクルがきかず、廃棄処分するしかなかった。
【0007】
この発明の目的はこれら問題に鑑み、ECMを一貫したラインで自動生産できるようにし、かつ振動板のリングの再利用を可能としてリサイクル時の廃棄量を低減できるようにしたECM及びその振動板の製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明によれば、リングに振動膜が張られてなる振動板を具備し、静電容量を形成する背極と振動膜とのいずれか一方にエレクトレット誘電体膜が設けられているECMにおいて、リングが互いに嵌合される上下一対のリングよりなり、それらリングによって振動膜が挟み込まれて振動板が形成されているものとされる。
請求項2の発明では請求項1の発明において、一対のリングのうちの背極側に位置するリングが絶縁材によって構成される。
【0009】
請求項3の発明によれば、リングと、そのリングに張られた薄膜フィルムよりなる振動膜とによって構成されるECMの振動板は、リングを上リングと下リングとよりなるものとして、それら上リングと下リングとを対向位置決めする工程と、それら上リングと下リングの間に張力を付与した薄膜フィルムを供給する工程と、その薄膜フィルムを挟み込みながら上リングと下リングとを互いに嵌合させて固定一体化する工程と、それら一体化された上下リングの外周に沿って薄膜フィルムの不要部分を切断除去する工程によって製造される。
【0010】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を図面を参照して実施例により説明する。
図1はこの発明によるECMの一実施例を示したものであり、図5と対応する部分には同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。
この例では振動板31は上リング32と下リング33と振動膜34とよりなるものとされ、上リング32と下リング33とによって振動膜34が挟み込まれているものとされる。
【0011】
図2はこの振動板31の構成及びそれを各部に分解した状態を示したものであり、上リング32はその外周面に段が形成されて大径部32aと、それに続く小径部32bとよりなるものとされ、一方下リング33はその内周部分に上リング32の小径部32bが嵌合される溝部33aが形成されているものとされる。
振動板31は振動膜34を挟み込みながら、上リング32の小径部32bを下リング33の溝部33aに圧入嵌合させることによって形成され、つまりこの例では振動膜34を上下一対のリング32,33で挟み込む積層構造によって振動板31が形成される。
【0012】
上記のような構成を有する振動板31において、この例では上リング32は黄銅等の金属製とされ、これに対し、図1に示したように背極16側に位置する下リング33は樹脂等の絶縁材によって形成される。
このように下リング33を絶縁材で形成することにより、この下リング33によって振動膜34と背極16との絶縁を確保することができ、よってこの例では図5に示した従来のECMにおいて、振動板13と背極16との間に介在されていた絶縁スペーサ17を図1に示したように不要とすることができる。
【0013】
なお、上リング32と下リング33とを例えば共に金属製としてもよく、この場合には振動板31と背極16との間に絶縁スペーサ17を配置する。
図3及び4は振動板31をラインで自動生産する場合の具体例を示したものであり、以下、図3及び4を参照して振動板31の製造方法を工程順に説明する。
なお、図3及び4中に示した丸数字▲1▼〜▲5▼は以下の工程▲1▼〜▲5▼と対応する。
▲1▼ 上リング32と下リング33をパーツフィーダ(図示せず)にて供給し、それら上リング32と下リング33をそれぞれ上下に対向配置されたチャック41,42によって吸引し、対向位置決めする。
【0014】
▲2▼ ロール状とされた薄膜フィルム43を繰り出して上リング32と下リング33の間に供給し、その薄膜フィルム43に均一な張力をかける。薄膜フィルム43は例えばニッケル等の金属膜が蒸着されたPPS(ポリフェニレンサルファイド)フィルムとされる。
▲3▼ チャック41,42を駆動変位させ、均一な張力が付与されている薄膜フィルム43を挟み込みながら、上リング32と下リング33とを互いに嵌合させて固定一体化する。
【0015】
▲4▼ 円形のカット刃44を用い、一体化された上下リング32,33の外周に沿って薄膜フィルム43の不要部分を切断除去する。
▲5▼ 薄膜フィルム43よりなる振動膜34が上下リング32,33に挟み込まれて張られた振動板31が完成する。
このように、振動板31は部品供給及びその積層嵌合によって形成されるため、ラインにて自動生産することができ、つまりECMの一貫した自動化生産ラインに振動板31の組み立てを組み込めるものとなる。
【0016】
以上、バックエレクトレットタイプのECMを例として、振動板の構成及び製造方法を説明したが、このような積層構造の振動板はホイルエレクトレットタイプやフロントエレクトレットタイプのECMにおいても同様に適用することができる。
【0017】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば振動板は従来のような接着剤を用いた貼り付けではなく、上下一対のリングで振動膜を挟み込むことによって形成されるため、ラインでの自動生産が可能となり、よってECMを一貫したラインにて自動生産することができ、生産効率の向上を図ることができるため、その点でECMの低価格化を実現することができる。
また、ECMのリサイクルの際、振動板においては従来と異なり、振動膜のみの廃棄に留まり、リングは再利用することができるため、従来に比し、廃棄量を低減することができる。
さらに、環境問題等を考えていく中で、接着剤の使用量の削減は重要な課題となっており、その点で接着剤を使用しないで振動板を作製するこの発明は大きな意義をもつものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明によるECMの一実施例を示す断面図。
【図2】図1における振動板及びそれを分解した斜視図。
【図3】振動板の製造方法を説明するための図(その1)。
【図4】振動板の製造方法を説明するための図(その2)。
【図5】ECMの従来構成の一例を示す断面図。
【図6】図5における振動板の斜視図。

Claims (3)

  1. リングに振動膜が張られてなる振動板を具備し、静電容量を形成する背極と上記振動膜とのいずれか一方にエレクトレット誘電体膜が設けられているエレクトレットコンデンサマイクロホンにおいて、
    上記リングが互いに嵌合される上下一対のリングよりなり、それらリングによって上記振動膜が挟み込まれて上記振動板が形成されていることを特徴とするエレクトレットコンデンサマイクロホン。
  2. 請求項1記載のエレクトレットコンデンサマイクロホンにおいて、
    上記一対のリングのうちの上記背極側に位置するリングが絶縁材によって構成されていることを特徴とするエレクトレットコンデンサマイクロホン。
  3. リングと、そのリングに張られた薄膜フィルムよりなる振動膜とによって構成されるエレクトレットコンデンサマイクロホンの振動板の製造方法であって、
    上記リングを上リングと下リングとよりなるものとして、それら上リングと下リングとを対向位置決めする工程と、
    それら上リングと下リングの間に張力を付与した薄膜フィルムを供給する工程と、
    その薄膜フィルムを挟み込みながら上リングと下リングとを互いに嵌合させて固定一体化する工程と、
    それら一体化された上下リングの外周に沿って薄膜フィルムの不要部分を切断除去する工程とよりなることを特徴とする振動板の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007036525A (ja) * 2005-07-26 2007-02-08 Audio Technica Corp コンデンサーマイクロホンユニットおよびコンデンサーマイクロホン
JP2008147899A (ja) * 2006-12-08 2008-06-26 Audio Technica Corp エレクトレットコンデンサマイクロホンユニットの構成部材の製造方法
EP2180722A1 (en) * 2008-10-27 2010-04-28 HTC Corporation Method for manufacturing electret diaphragm

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007036525A (ja) * 2005-07-26 2007-02-08 Audio Technica Corp コンデンサーマイクロホンユニットおよびコンデンサーマイクロホン
JP4698320B2 (ja) * 2005-07-26 2011-06-08 株式会社オーディオテクニカ コンデンサーマイクロホンユニットおよびコンデンサーマイクロホン
JP2008147899A (ja) * 2006-12-08 2008-06-26 Audio Technica Corp エレクトレットコンデンサマイクロホンユニットの構成部材の製造方法
EP2180722A1 (en) * 2008-10-27 2010-04-28 HTC Corporation Method for manufacturing electret diaphragm
US8262824B2 (en) 2008-10-27 2012-09-11 Htc Corporation Method for manufacturing electret diaphragm

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