JP2004070270A - 回折光学素子およびその製造方法および光ピックアップ装置および光ディスクドライブ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】回折光学素子製造の際の、上記「気泡の巻き込み」および／または「反り」の問題を有効に解消する。
【解決手段】透明基板１０上に有機材料膜２０を接着固定する有機材料膜接着工程と、透明基板上に接着固定された有機材料膜に、断面が矩形状の凹凸による回折格子を複数個、格子配列状に形成する回折格子形成工程と、格子配列状に形成された複数の回折格子を個別的に分離する分離工程とを有する回折光学素子の製造方法において、有機材料膜接着工程の際に、有機材料膜２０を、それぞれが１以上の回折格子を形成されることになる有機材料膜片２１に分割して、透明基板１０への接着を行う。
【選択図】　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、回折光学素子およびその製造方法および光ピックアップ装置および光ディスクドライブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回折光学素子は「光に所望の回折現象を生じさせる光学素子」であり、分光や光の偏向等を行わせる素子として広く使用されている。
【０００３】
回折光学素子は従来から種々のものが知られているが、新たな回折光学素子として「光学的に透明な基板の上に有機膜や高分子膜を形成し、これら膜の表面に凹凸による所望の回折格子を形成したもの」が提案されている（特許文献１〜３等）。
【０００４】
上記公報記載の回折光学素子は、膜が複屈折性を持つ「偏光ホログラム素子」であり、例えば、光ピックアップ装置において「光源側からの光束の光路と光ディスクからの戻り光束の光路とを光路分離する」のに好適に使用され得る。
【０００５】
若干、説明を補足すると、回折光学素子は、光ピックアップ装置に用いられるものではサイズが「数ミリ四方程度」で、これを単品づつ別個に製造するわけではなく、一度に数百のものが製造される。
【０００６】
即ち、直径：数１０ｍｍ〜数１００ｍｍのサイズの透明基板、例えば直径：１００ｍｍあるいは１５０ｍｍの透明基板上に接着剤層が形成され、形成された接着剤層上に、基板サイズと同サイズ、あるいはこれより一回り小さいサイズの有機材料膜を載せ、接着剤層により透明基板に接着固定する。接着剤層を構成する接着剤としては熱硬化性のものや、紫外線硬化型接着剤のような光硬化性のものを用いることができる。
【０００７】
透明基板に接着された有機材料膜の表面に複数（通常１００〜２００個）の回折格子の形成が行われる。回折格子の形成は、有機材料膜上に金属や酸化物による薄い膜を形成し、フォトリソグラフィにより上記膜をパターニングして回折格子群に対応するエッチングマスクを形成し、このマスクを介したドライエッチングで行うことができる。
【０００８】
回折格子形成後、必要に応じてオーバコート層を形成し、さらに所望により透明な対向基板をオーバコート層上に載置して全体を一体化する。その後、ダイシング装置を用いて切断を行ない、個々の回折光学素子を得る。
【０００９】
ところで、上記回折格子を形成する有機材料膜は、厚さが１００μｍ程度の薄いものであり、これを透明基板上の接着層上に載置する際に接着剤との接触部に「気泡」を巻き込み易い。換言すると、気泡を巻き込まないようにして有機材料膜を接着剤層上に載置するには細心の注意が必要であり、この載置工程は「回折光学素子の作製プロセスで中でも難しい工程」の１つとなっている。
【００１０】
透明基板と有機材料膜との間に気泡が混入したままで回折光学素子を製造すると、混入気泡を持つ回折光学素子は気泡のために所望の光学特性が満たされず不良品となる。このように有機材料膜載置の際の「気泡の巻き込み」は、製造される回折光学素子の歩留まりを低下させる原因となる。
【００１１】
さらに、上記有機材料膜の材料は一般に「高分子材料」で、回折光学素子の製造工程で加熱を伴う処理（例えば、熱硬化性の接着剤で接着剤層を構成し、加熱により硬化させて有機材料膜を接着固定する場合や、エッチングマスクを形成する際のフォトリソグラフィにおけるフォトレジストのプリベークやポストベーク処理）を受けると、熱による温度変化（上記接着剤の熱硬化の場合で１００〜１５０℃）により収縮し、接着剤層を介して固定された透明基板に「反り」を生じさせる。
【００１２】
このような「反り」が発生すると、例えば、回折格子形成の工程を行う際に、基板を「真空吸着」で所定の位置に固定することが困難になったり、できなくなったりする。また、反りの生じた有機材料膜にドライエッチングで回折格子を形成する際、反りのために「同時に形成される複数の回折格子が同一のものにならなく」なり、製造された回折光学素子の光学特性の「ばらつき」が生じる等の問題がある。特に、反りの大きな部分に形成された回折格子の場合、透過光の波面収差を劣化させ、実際上の使用ができなくなる場合もあるため、回折光学素子の製造の歩留まりが低下する。
【００１３】
【特許文献１】
特開２０００−２２１３２５号公報
【特許文献２】
特開２０００―　７５１３０号公報
【特許文献３】
特開平１１−１７４２２６号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、回折光学素子製造の際の上記「気泡の巻き込み」および／または「反り」の問題を有効に解消することを課題とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この発明の回折光学素子の製造方法は、有機材料膜接着工程と、回折格子形成工程と、分離工程とを有する。
「有機材料膜接着工程」は、透明基板上に有機材料膜を接着固定する工程である。
「回折格子形成工程」は、透明基板上に接着固定された有機材料膜に、断面が矩形状の凹凸による回折格子を複数個、格子配列状に形成する工程である。
「分離工程」は、格子配列状に形成された複数の回折格子を個別的に分離する工程である。
【００１６】
「透明基板」は平行平板状で、前述したように、一般に、直径：数１０ｍｍ〜数１００ｍｍのサイズで円板形状のもの、例えば直径：１００ｍｍあるいは１５０ｍｍのもので、必要に応じてオリエンテーション・フラットを形成されたものが用いられ、厚さは一般に０．３ｍｍ〜数ｍｍ程度である。
【００１７】
このような「透明基板」としては、上記の如き寸法を有するＢＫ−７ガラス基板、石英ガラス基板やパイレックス（登録商標）ガラス基板、結晶性ガラス（商品名：ネオセラム）基板等が好適である。
また、上記「分離工程」は一般にダイシング装置を用いて行われる。
【００１８】
請求項１記載の製造方法は以下の如き特徴を有する。
即ち、有機材料膜接着工程の際に、有機材料膜を「それぞれが１以上の回折格子を形成されることになる有機材料膜片」に分割して透明基板への接着を行う。
【００１９】
上記「互いに分割して透明基板に接着される有機材料膜片の大きさ」は、「透明基板上への接着の際に気泡が巻き込まれない大きさ」とすることができる（請求項２）。
【００２０】
上記請求項１または２記載の回折光学素子の製造法方における「有機材料膜片の大きさ」を、「有機材料膜片の熱収縮が、透明基板を実質的に反らせないような大きさ」とすることができる（請求項３）。
【００２１】
「有機材料膜片」の形状は一般に「矩形形状」であるが、円板形状の透明基板の周辺部に接着されるものでは、上記周辺部の形状に応じた形態となっていることもできる。
【００２２】
有機材料膜片は、上記の如く、各片に「１以上の回折格子を形成される」が、上記の矩形形状のものでは、１片の有機材料膜片にｎ（≧１）×ｍ（≧１）個の回折格子を形成することができる（請求項４）。
【００２３】
有機材料膜片の大きさに関して、上述の「透明基板上への載置の際に気泡が巻き込まれない大きさ」は、有機材料膜の厚さや材質にもよるが、一般に、矩形形状のサイズが小さいほど気泡の巻き込みは起こり難くなる。厚さが１００μｍ程度の有機材料膜の場合であれば、長辺の長さが２５ｍｍ程度以下の矩形形状（正方形形状を含む）であれば確実に「気泡の巻き込み」を防止できることが実験的に確認された。
【００２４】
例えば、１個の回折格子が５ｍｍ×５ｍｍの領域の内部に形成されるものとすると、上記如き厚さ：１００μｍで２５ｍｍ×２５ｍｍの有機材料膜片であれば２５個の回折格子の形成が可能である。
【００２５】
上記「透明基板を実質的に反らせない」は、有機材料膜の熱収縮により透明基板に生じる反りが、前述の「透明基板を真空吸着で所定位置に固定できなくなったり、製造された回折光学素子の光学特性にばらつきが生じたり、透過光の波面収差を劣化させる」等の不具合が生じない程度に小さいことを意味する。
【００２６】
有機材料膜片に関して、上述の「有機材料膜片の熱収縮が、透明基板を実質的に反らせないような大きさ」は、有機材料膜の厚さや材質にもよるが、一般に、矩形形状のサイズが小さいほど反りを防止する効果は大きく、厚さが１００μｍ程度の有機材料膜の場合であれば、上述の「長辺の長さが２５ｍｍ程度以下の矩形形状（正方形形状を含む）」であれば、反りの影響を実質的に除去できる。
【００２７】
従って、上記例の有機材料膜の場合であれば、有機材料膜片の大きさを、長辺の長さが２５ｍｍより小さい矩形形状とすることにより、気泡の巻き込みを防止しつつ、透明基板の反りの問題を有効に解消できる。
【００２８】
勿論、有機材料膜片の最小の大きさは「１個の回折格子を形成する領域の大きさ（前述の例では５ｍｍ×５ｍｍ）」である。
【００２９】
ここで、用語につき若干付言すると、以下の説明において「有機材料膜」は、有機材料膜を有機材料膜片に分割していない状態の膜を意味するほか、分割された有機材料膜片の、透明基板上における集合状態をも意味するものとし、さらに、単品としての回折光学素子における「回折格子の形成されている膜」をも言うものとする。
【００３０】
上記請求項１〜４の任意の１に記載の回折格子の製造方法において、各有機材料膜片は、これを「透明基板の接着面に予め形成された接着剤層上に載置して接着」することが好ましい（請求項５）。この場合、透明基板の接着面に予め形成される接着剤層は「回転による遠心力により層厚を均一化する」ことが好ましい（請求項６）。
【００３１】
上記請求項１〜６の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法において、複数の回折格子を格子配列状に形成された有機材料膜（有機材料膜片の集合状態）の上から、各回折格子における回折格子の凹部に、光学的に透明な材料を充填してオーバコート層とすることができる（請求項７）。
さらに、上記オーバコート層上に、透明な対向基板を一体化した後、分離工程を行うことが好ましい（請求項８）。
【００３２】
請求項７または８記載の回折光学素子の製造方法において、有機材料膜として「有機複屈折膜」を用い、オーバコート層を「有機複屈折膜の常光線に対する屈折率もしくは異常光線に対する屈折率と実質的に等しい屈折率を持つ等方性光学材料（光学特性が方向によらないもの）」とすることができる（請求項９）。
【００３３】
上記「有機複屈折膜」としては、分子鎖が配向した高分子複屈折膜を用いることができる（請求項１０）。
【００３４】
このような高分子複屈折膜は、大面積且つ大量・低コストの製造を考慮すると、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネイト（ＰＣ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、ポリスチレン、ポリサルフォン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリイミドなどの高分子複屈折膜であることが好ましい。中でも均一な薄膜化の容易さ、耐熱性、耐薬品性の点からポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が望ましい。
【００３５】
また、有機複屈折膜は分子鎖が配向した高分子膜であることが好ましく、生産性を考慮すると「延伸により分子鎖を配向させた高分子膜（請求項１１）」であることが特に好ましい。
【００３６】
上記請求項７〜１１の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法において、回折格子上に形成される「オーバコート層」の材料は、アクリル系もしくはエポキシ系の材料が好適である（請求項１２）。
【００３７】
この発明の回折光学素子は「請求項１〜１２の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法で製造される回折光学素子」である（請求項１３）。
このような回折光学素子の形態としては、透明基板上に接着剤層により接着された有機材料膜（複屈折性を持たないもの、あるいは複屈折性を持つもの）に回折格子が形成されたもの（形態１）、形態１のものの回折格子上に「有機材料膜と屈折率の異なる等方性光学材料によるオーバコート層」を形成したもの（形態２）、形態２におけるオーバコート層上に、更に透明な対向基板を一体化させたもの（形態３）が考えられる。
【００３８】
これら形態１〜３の回折光学素子は何れも「分光や光の偏向等を行わせる光学素子」として使用できる。これらの各形態１〜３において、有機材料膜を接着した透明基板の（有機材料膜の接着されたのと反対側の）面に、反射防止膜を形成することができる。
【００３９】
上記形態２または３のもののうち、請求項９または１０または１１記載の回折光学素子の製造方法で製造されるもの、即ち、有機材料膜として有機複屈折膜を用い、オーバコート層を「有機複屈折膜の常光線に対する屈折率もしくは異常光線に対する屈折率と実質的に等しい屈折率を持つ等方性光学材料」で形成するものは「偏光ホログラム素子」として使用することができる（請求項１４）。この場合も「オーバコート層の材料」は、アクリル系もしくはエポキシ系の材料が好適である（請求項１５）。
【００４０】
上記請求項１４または１５記載の回折光学素子は「有機複屈折膜を接着された透明基板に反射防止膜を形成した構成」とすることができる（請求項１６）。
【００４１】
この発明の光ピックアップ装置は、上記請求項１４〜１６の任意の１に記載の回折光学素子を「光源側からの光束の光路と、光ディスクからの戻り光束の光路とを光路分離する偏光ホログラム素子」として用いたことを特徴とする（請求項１７）。
【００４２】
この発明の光ディスクドライブ装置は「光ディスクに対し、光ピックアップ装置を用いて情報の記録・再生・消去の１以上を行う光ディスクドライブ装置」において、光ピックアップ装置として請求項１７記載のものを用いたことを特徴とする（請求項１８）。
【００４３】
請求項１９記載の回折光学素子の製造方法は、有機材料膜接着工程と、回折格子形成工程と、分離工程とを有する。
「有機材料膜接着工程」は、透明基板上に有機材料膜を接着固定する工程である。
「回折格子形成工程」は、透明基板上に接着固定された有機材料膜に、断面が矩形状の凹凸による回折格子を複数個、格子配列状に形成する工程である。
「分離工程」は、格子配列状に形成された複数の回折格子を個別的に分離する工程である。
【００４４】
「透明基板」は平行平板状で、前述したように、一般に、直径：数１０ｍｍ〜数１００ｍｍのサイズで円板形状のもの、例えば直径：１００ｍｍあるいは１５０ｍｍのもので、必要に応じてオリエンテーション・フラットを形成されたものが用いられ、厚さは一般に０．３ｍｍ〜数ｍｍ程度である。
【００４５】
このような「透明基板」としては、上記の如き寸法を有するＢＫ−７ガラス基板、石英ガラス基板やパイレックス（登録商標）ガラス基板、結晶性ガラス（商品名：ネオセラム）基板等が好適である。
また、上記「分離工程」は一般にダイシング装置を用いて行われる。
【００４６】
請求項１９記載の製造方法は以下の如き特徴を有する。
即ち、有機材料膜接着工程の際に、有機材料膜を「それぞれが１以上の回折格子を形成されることになる有機材料膜片」に分割して透明基板への接着を行う。
【００４７】
その際、各有機材料膜片を接着する接着剤層を「各有機材料膜片の配列に対応させて分割した分割接着剤層の配列」として、透明基板上に形成する。
【００４８】
この請求項１９記載の回折光学素子の製造方法における「透明基板上に配列形成される各分割接着剤層の大きさ」は、透明基板上への各有機材料膜片の接着の際に気泡が巻き込まれない大きさとすることができる（請求項２０）。
【００４９】
上記請求項１９または２０記載の回折光学素子の製造方法においても、互いに分割して透明基板に接着される有機材料膜片の大きさを、「有機材料膜片の熱収縮が、透明基板を実質的に反らせないような大きさ」とすることができる（請求項２１）。
【００５０】
上記請求項１９〜２１の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法において、透明基板上に配列形成される各分割接着剤層の形状は「接着される有機材料膜片の形状と同じである」ことができる（請求項２２）。この場合、有機材料膜片の形状が分割接着剤層の形状と同じであるとは、必ずしも「合同的な同一」のみでなく、後述する実施例の場合にように「互いに相似的」であってもよく、互いに相似的である場合には、有機材料膜片の大きさが分割接着剤層の大きさよりも、大きくても小さくても良い。
【００５１】
請求項１９〜２２の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法において、各有機材料膜片は「透明基板の接着面に予め配列形成された分割接着剤層上に載置されて接着される」ことができる（請求項２３）。この場合、透明基板上に予め形成される分割接着剤層の配列は「透明基板への印刷」することができる（請求項２４）。
【００５２】
この請求項２４記載の回折光学素子の製造方法において、透明基板上に印刷により形成された各分割接着剤層は「印刷後の放置により、層厚を均一化」することができ（請求項２５）、その場合、各分割接着剤層の層厚を均一化する放置期間内に「各分割接着剤層を加熱」することができる（請求項２６）。
【００５３】
あるいは、透明基板への印刷により形成された分割接着剤層上に載置された有機材料膜片の配列に対してローラを走行させて、各分割接着剤層と有機材料膜片との総合厚み（分割接着剤層の厚みと、有機材料膜片の厚みの和）を均一化することもできる（請求項２７）。
【００５４】
上記請求項２４〜２７の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法において、分割接着剤層の配列を「窒素雰囲気中において透明基板へ印刷形成」することができる（請求項２８）。
【００５５】
請求項２９記載の回折光学素子は「上記請求項１９〜２８の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法で製造される回折光学素子」である。
【００５６】
付言すると、上記請求項１９〜２８の任意の１に記載の製造方法においても、互いに分割して透明基板に接着される有機材料膜片にｎ（≧１）×ｍ（≧１）個の回折格子を形成することができ、複数の回折格子を格子配列状に形成された有機材料膜上から、各回折格子における回折格子の凹部に、光学的に透明な材料を充填して、オーバコート層とすることができる。
【００５７】
そして、オーバコート層の形成を行う場合には、オーバコート層上に、透明な対向基板を一体化した後、分離工程を行うことができ、「有機材料膜を有機複屈折膜とし、オーバコート層を有機複屈折膜の常光線に対する屈折率もしくは異常光線に対する屈折率と実質的に等しい屈折率を持つ等方性光学材料とする」ことができる。
【００５８】
上記有機複屈折膜は「分子鎖が配向した高分子複屈折膜」用いることができ、この場合「有機複屈折膜として用いられる高分子複屈折膜が、延伸により分子鎖を配向させた高分子膜」あることができる。「有機複屈折膜の常光線に対する屈折率もしくは異常光線に対する屈折率と実質的に等しい屈折率を持つ等方性光学材料」であるオーバコート層の材料は「アクリル系もしくはエポキシ系の材料」であることができる。
【００５９】
請求項２９記載の回折光学素子も「偏光ホログラム素子」として構成でき、オーバコート層の材料をアクリル系もしくはエポキシ系の材料とすることができ、有機複屈折膜を接着された透明基板に反射防止膜を形成することもできる。
【００６０】
また、請求項２９記載の回折光学素子を「偏光ホログラム素子」として構成する場合、この回折光学素子を、光源側からの光束の光路と、光ディスクからの戻り光束の光路とを光路分離する偏光ホログラム素子として用いて請求項１７記載の光ピックアップ装置と同様の光ピックアップ装置を構成でき、このような光ピックアップ装置を用いて、請求項１８記載の光ディスクドライブ装置と同様の光ディスクドライブ装置を構成することができることは勿論である。
【００６１】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態を具体的な実施例に即して説明するが、この発明は下記の実施例に限定されるものではない。
【００６２】
【実施例】
実施例１
図１に示すように、透明基板１０として、ＢＫ−７ガラスによる、厚さ：１．０ｍｍ、直径：φ＝１００ｍｍの円板状のものを用意し、その片面（有機材料膜を接着する側の面）に、スピンコート装置を用いて粘度：５００ｃｐ〜１０００ｃｐの「エポキシ樹脂系（透明基板と略同一の屈折率を持つ）」の紫外線硬化型接着剤を３ｍｌ滴下し、回転数：３００ｒｐｍで３００秒回転して紫外線硬化型接着剤を透明基板１０の片面全体に塗り広げ、更に、回転数を３００ｒｐｍから増加し、回転数：４００ｒｐｍで３００秒保持して紫外線硬化型接着剤による厚さ：３５μｍの接着剤層を形成した。
【００６３】
「有機材料膜」として、延伸により分子鎖を配向させて複屈折性を発現させたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）による、厚さ：１００μｍの「有機複屈折膜」を用意し、この有機材料膜を「１辺が５ｍｍの正方形形状」に分割した。
このようにして得られた「有機材料膜片」を、透明基板１上の接着剤層の形成された面の上に、図１に示す如く「格子配列状」に手作業で載置した。図１において、符号２１が個々の「有機材料膜片」を示している。
【００６４】
次いで、図１の状態のものを真空容器中の「減圧下」で、即ち、雰囲気を１３３Ｐａ程度まで減圧した状態で接着剤と有機材料膜片２１とを一体化して気泡を除去した後、真空容器内を大気圧に戻し、図示されない「紫外線照射装置」で紫外線硬化型接着剤に紫外光を照射した後、１００℃の温度で１０分間ベーキングを行ない、接着層を完全に硬化させた。この時、接着層に気泡の混入は全く見られなかった。
【００６５】
図２は、このようにして有機材料膜片２１を透明基板１０上に接着した状態を模式的な部分図で示している。符号１１は接着剤層を示している。図２に示すように、上記接着工程の際に、接着剤１１Ａが、個々の有機材料膜片２１の周端部を囲繞するように回り込み、有機材料膜片２１を「より強力」に透明基板１０に貼り付ける。
【００６６】
図３（ａ）は、上記の如く、透明基板１０上に接着剤層１１により（有機材料膜片２１の集合状態として）有機材料膜２０を接着した状態を模式的に示している。このような接着状態を実現した後、有機材料膜２０上にフォトリソグラフィにより、フォトレジストの周期パターン（３．０μｍピッチ）を複数個形成した後、その上にＡｌ膜を真空蒸着法で形成し、リフトオフ法を用いてＡｌによるマスクパターンＭを形成した（図３（ｂ））。マスクパターンＭの材料として、ここではＡｌを用いているが、例えばＣｒ、Ｎｉ等の他の金属を用いても良い。
【００６７】
図４（ａ）は、個々の有機材料膜片２１上にマスクパターンＭが形成された状態を示している。
【００６８】
図３に戻ると、上記マスクパターンＭをマスクとしてドライエッチングを行ない、さらにマスクパターンを構成するＡｌを除去し、各有機材料膜２１に、断面が矩形形状の凹凸格子による回折格子ＲＬを形成した（図３（ｃ））。図４（ｂ）は、個々の有機材料膜片２１に回折格子ＲＬが形成された状態を示している。
【００６９】
回折格子ＲＬが形成されている有機材料膜の上から、オーバコート層となるアクリル系の紫外線硬化型樹脂（有機材料膜２０に発現している複屈折性の「常光線に対する屈折率」と略同一の屈折率を有する）をボッティングし、その上から、ＢＫ−７ガラスによる厚さ：５００μｍの透明な対向基板をのせて適度に加圧し、回折格子の凹部内にオーバコート剤を充填した。対向基板を介して紫外光を照射後、１００℃の温度で１０分間ベーキングを行ない完全に硬化させた。この状態を図３（ｄ）に示す。符号１３が（アクリル系の紫外線硬化型樹脂による）オーバコート層を示し、符号１５が「透明な対向基板」を示す。
【００７０】
最後に、図示されないダイシング装置により、図３（ｅ）に示す切断面ＣＳにそって切断を行ない、５．０ｍｍ×５．０ｍｍサイズのチップに切断し、図５に示すような回折光学素子を多数子個作製した。
【００７１】
このようにして得られた各回折光学素子は「偏光ホログラム素子」として使用できる。得られた個々の回折光学素子は何れも気泡の混入が無く、有機材料膜の熱収縮による「透明基板の反り」の光学特性への影響もなかった。
【００７２】
なお、実施例１において、透明基板上に滴下する紫外線硬化型接着剤の滴下量は１０ｍｌ程度まで増量しても良い。また、各有機材料膜片は「１辺が５ｍｍの正方形形状」で小さいので、透明基板１上の接着剤層の形成された面の上に載置する際に接着剤層への気泡は混入し難く、有機材料膜片の載置後に「雰囲気を１３３Ｐａ程度まで減圧した状態で接着剤と有機材料膜片２１とを一体化して気泡を除去」する作業は省略可能である。
【００７３】
実施例２
透明基板に厚さ：１．０ｍｍ、直径：φ＝１００ｍｍのＢＫ−７ガラス板による円板形状の透明基板を用い、実施例１と同様の方法により、厚さ：１００μｍで、１辺が２０ｍｍの正方形形状の有機材料膜片（延伸により分子鎖を配向させて複屈折性を発現させたポリエチレンテレフタレートの膜片）を透明基板上に接着した。
【００７４】
接着された各有機材料膜片と透明基板との間の接着剤層に「気泡の混入」は見られなかった。その後、実施例１と同様（回折格子は、各有機材料膜片ごとに１６個形成した）にして、回折光学素子を得た。
このようにして得られた各回折光学素子は「偏光ホログラム素子」として使用できる。得られた個々の回折光学素子は何れも気泡の混入が無く、有機材料膜の熱収縮による「透明基板の反り」の光学特性への影響もなかった。
【００７５】
比較例
透明基板に厚さ：１．０ｍｍ、直径：φ＝１００ｍｍのＢＫ−７ガラス板による円板形状の透明基板を用い、実施例１と同様の方法により、厚さ：１００μｍで、１辺が３０ｍｍの正方形形状の有機材料膜片（延伸により分子鎖を配向させて複屈折性を発現させたポリエチレンテレフタレートの膜片）を透明基板上に接着した。
【００７６】
いくつかの有機材料膜片と透明基板との間の接着剤層に「気泡の混入」がみられた。その後、実施例１と同様（回折格子は、各有機材料膜片ごとに３６個形成した）にして、回折光学素子を得た。
このようにして得られた多数の回折光学素子のうちには、気泡の混入により狙い通りの光学特性を発揮できないものが一部存在し、有機材料膜の熱収縮による反りの影響で光学特性の劣化したものも若干存在した。即ち、実施例１、２の場合に比して回折光学素子の製造の歩留まりが低下した。
【００７７】
上記のように、実施例１、２で実施した「回折光学素子の製造方法」は、透明基板１０上に有機材料膜２０を接着固定する有機材料膜接着工程（図１、図２および図３（ａ））と、透明基板１０上に接着固定された有機材料膜２０に、断面が矩形状の凹凸による回折格子ＲＬを複数個、格子配列状に形成する回折格子形成工程（図３（ｂ）、（ｃ）、図４（ａ）、（ｂ））と、格子配列状に形成された複数の回折格子ＲＬを個別的に分離する分離工程（図３（ｅ））とを有する回折光学素子の製造方法において、有機材料膜接着工程の際に、有機材料膜２０を、それぞれが１以上の回折格子を形成されることになる有機材料膜片２１に分割して、透明基板１０への接着を行う（請求項１）ものである。
【００７８】
また、互いに分割して透明基板１０に接着される有機材料膜片２１の大きさが、透明基板１０上への接着の際に気泡が巻き込まれない大きさ（実施例１において５ｍｍ×５ｍｍ、実施例２において２０ｍｍ×２０ｍｍ）で（請求項２）、また、有機材料膜片２１の熱収縮が透明基板１０を実質的に反らせないような大きさである（請求項３）。
【００７９】
また、互いに分割して透明基板１０に接着される有機材料膜片２１に、ｎ＝ｍ＝１で１個（実施例１）、ｎ＝ｍ＝４で１６個（実施例２）の回折格子が形成され（請求項４）、各有機材料膜片２１は、透明基板１０の接着面に予め形成された接着剤層１１上に載置されて接着され（請求項５）、接着剤層１１は、回転による遠心力により層厚を均一化されている（請求項６）。
【００８０】
また、複数の回折格子ＲＬを格子配列状に形成された有機材料膜２０上から、各回折格子ＲＬにおける回折格子の凹部に、光学的に透明な材料が充填されてオーバコート層１３となり（請求項７）、オーバコート層１３上に、透明な対向基板１５を一体化した後、分離工程が行われる（請求項８）。
【００８１】
有機材料膜２０は有機複屈折膜であり、オーバコート層１３は有機複屈折膜の常光線に対する屈折率と実質的に等しい屈折率を持つ等方性光学材料であり（請求項９）、有機複屈折膜（有機材料膜２０）は、分子鎖が配向した高分子複屈折膜であり（請求項１０）、かつ「延伸により分子鎖を配向させた高分子膜」である（請求項１１）。また、オーバコート層１３の材料は「アクリル系の材料」である（請求項１２）。
【００８２】
従って、実施例１、２で作製した回折光学素子は、請求項１３記載の回折光学素子の実施の１形態であり、「偏光ホログラム素子」として使用され（請求項１４）、オーバコート層１３の材料がアクリル系の材料である（請求項１５）。
【００８３】
図５に示すように、有機複屈折膜２１を接着された透明基板１０に反射防止膜Ｈを形成することができる（請求項１６）。反射防止膜Ｈは、透明基板１０に当初（有機材料膜２０を接着する段階）から形成しておいてもよいし、あるいは分離工程を実行する前に形成してもよい。
【００８４】
なお、図３（ｃ）、図４（ｂ）に示した「各有機材料膜片２１上に回折格子ＲＬが形成されたもの」において、各回折格子部分は、それ自体で「回折光学素子としての機能（透過光を回折させる機能）」を有するので、これをそのまま回折光学素子として使用することもできる。
【００８５】
しかし、回折格子の形成された有機材料膜は必ずしも十分な「物理的強度」を持つ訳ではないので、このまま使用するよりは、図３（ｄ）に示すようにオーバコート層１３を形成して補強を行うのが良く、更に、オーバコート層１３上に透明な対向基板１５を一体化することが好ましい。
【００８６】
取り扱いに幾分慎重を期するならば、図６に示すように、透明な対向基板１５を用いずに、オーバコート層１３を「保護膜を兼ねた表面層」とすることもできる。
【００８７】
以下、請求項１９以下の発明に関する実施例を挙げる。
【００８８】
実施例３
図９に示すように、透明基板１０として、ＢＫ−７ガラスによる、厚さ：１．０ｍｍ、直径：φ＝１００ｍｍの円板状のものを用意し、その片面（有機材料膜を接着する側の面）に、スクリーン印刷装置を用い、粘度：１０００ｃｐ〜２５００ｃｐの「エポキシ樹脂系（透明基板と略同一の屈折率を持つ）」の紫外線硬化型接着剤を、透明基板１０の片面に「分割接着剤層１１Ｂの配列」として印刷形成した。配列形成された個々の分割接着剤層１１Ｂは「厚さ：４０μｍ、１辺が４．６ｍｍの正方形形状」である。
【００８９】
印刷形成後の状態で５分間放置し、各分割接着剤層１１Ｂ表面の「スクリーンメッシュに対応した凹凸」が平坦化するのを待って、予め用意した「延伸により分子鎖を配向させて複屈折性を発現させた厚さ：１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を、１辺が４．８ｍｍの正方形形状に分割したもの（有機複屈折膜）」を、有機材料膜片として、透明基板１０上に形成された各分割接着剤層１１Ｂの上に手作業（各有機材料膜片を真空吸着して分割接着剤層上に載置した）で載置した。
【００９０】
図１０は、有機材料膜片２１を透明基板１０上に接着した状態を模式的な部分図で示している。有機材料膜片２１が分割接着剤層１１Ｂ上に載置されるとき、分割接着剤層１１Ｂは未だ固化しておらず、載置された有機材料膜片２１の重みにより当初のサイズ（４．６ｍｍ四方）から、透明基板１０上で広がって有機材料膜片１１Ｂの周辺部を囲繞するように回り込み、有機材料膜片２１を「より強力」に透明基板１０に貼り付ける。接着された有機材料膜片２１の配列は、図９に示す分割接着剤層１１Ｂの配列パターンに倣ったものとなる。
【００９１】
図１１（ａ）は、上記の如く、透明基板１０上に各分割接着剤層１１Ｂにより有機材料膜片２１を接着した状態を模式的に示している。実施例１に即して説明した図２、図３（ａ）では、透明基板１０上に接着剤層１１が連続して形成されているが、実施例３（図１０、図１１（ａ））においては、透明基板１０に形成された各分割接着剤層１１Ｂは「相互に分離」している。
【００９２】
図１１（ａ）に示す接着状態を実現した後、フォトリソグラフィにより、各有機材料膜片２１上に「フォトレジストの周期パターン（３．０μｍピッチ）」を１個づつ形成し、その上にＡｌ膜を真空蒸着し、リフトオフ法を用いてＡｌによるマスクパターンＭを形成した（図１１（ｂ））。マスクパターンＭの材料として、Ａｌを用いたが、他の金属、例えばＣｒ、Ｎｉ等を用いても良い。
【００９３】
図１２（ａ）は、個々の有機材料膜片２１上にマスクパターンＭが形成された状態を示している。図１２は、実施例１に関する図４に対応するものであるが、図４の場合と異なり、各有機材料膜２１を接着する分割接着剤層１１Ｂが互いに分離している。
【００９４】
図１１に戻ると、マスクパターンＭをマスクとしてドライエッチングを行なったのち、マスクパターンＭを構成するＡｌを除去し、各有機材料膜２１に「断面形状が矩形形状」の凹凸格子による回折格子ＲＬを形成した（図１１（ｃ））。
【００９５】
図１２（ｂ）は、個々の有機材料膜片２１に回折格子ＲＬが形成された状態を示している。
【００９６】
図１１に戻って、回折格子ＲＬが形成されている各有機材料膜片２１の上から、オーバコート層１３となる「アクリル系の紫外線硬化型樹脂（有機材料膜に発現している複屈折性の「常光線に対する屈折率」と略同一の屈折率を有する）」を滴下し、その上から、ＢＫ−７ガラスからなる厚さ：５００μｍの透明な対向基板１５をのせて適度に加圧し、回折格子ＲＬの凹部内にオーバコート剤を充填した。対向基板１５を介して紫外光を照射後、１００℃の温度で１０分間ベーキングを行ない完全に硬化させた。この状態を図１１（ｄ）に示す。
【００９７】
最後に、図示されないダイシング装置により、図１１（ｅ）に示す切断面ＣＳに沿って切断を行ない「５．０ｍｍ×５．０ｍｍサイズのチップ」として切断し、回折光学素子を多数個作製した。作製された個々の回折光学素子は、図５に示されたものと同様である。
【００９８】
このようにして得られた各回折光学素子は「偏光ホログラム素子」として使用できる。得られた個々の回折光学素子は何れも気泡の混入が無く、有機材料膜の熱収縮による「透明基板の反り」の光学特性への影響もなかった。
【００９９】
実施例４
実施例３と同様、透明基板１０として、ＢＫ−７ガラスによる、厚さ：１．０ｍｍ、直径：φ＝１００ｍｍの円板状のものを用意し、その片面（有機材料膜を接着する側の面）に、「フレキソ印刷装置」を用い、粘度：１００ｃｐ〜１０００ｃｐの「エポキシ樹脂系（透明基板と略同一の屈折率を持つ）」の紫外線硬化型接着剤を透明基板の片面に「分割接着剤層１１Ｂの配列」として印刷形成した。個々の分割接着剤層１１Ｂは「厚さ：２０μｍ、１辺が４．６ｍｍの正方形形状」である。
【０１００】
印刷直後の各分割接着剤層１１Ｂの表面は、図１３（ａ）に示すように、フレキソ印刷装置の転写ローラの溝に応じた「凹凸形状」となっている。実施例４において、分割接着剤層１１Ｂを構成する紫外線効果型接着剤は上記の如く、粘度：１００ｃｐ〜１０００ｃｐと、実施例３で用いたものに比して粘性が小さいので、図１３（ａ）に示すように、ヒータ内蔵の加熱装置１００を用いて加熱し、接着剤温度を３０℃に保った状態で２分間静置し、転写ローラー溝に対応した凹凸を平坦化して、図１３（ｂ）に示す状態とした。
【０１０１】
その後、予め用意した実施例３におけると同じ有機材料膜片を、実施例３と同様にして各分割接着剤層１１Ｂ上に載置した。
【０１０２】
その後、図１４に示すように、透明基板移動装置（図示されず）により透明基板１０を図の左方へ移動させ、ゴムローラ１１０により有機材料膜片２１の表面を加圧し、透明基板１０底面から有機材料膜片２１表面までの高さを、高さ：Ｂから高さ：Ａにして厚みの均一化をはかった。
【０１０３】
このようにして有機材料膜片２１を透明基板１０上に接着した状態は、模式的には、図１０と同様である。
【０１０４】
そのあと、実施例３と同様に、フォトリソグラフィによるパターン形成、メタルマスク形成、ドライエッチングによる回折格子形成、オーバコート剤の充填、対向透明基板の設置、オーバコート剤硬化、ダイシング装置によるチップ化を行って、回折光学素子を得た。
【０１０５】
このようにして得られた各回折光学素子は「偏光ホログラム素子」として使用できる。得られた個々の回折光学素子は何れも気泡の混入が無く、有機材料膜の熱収縮による「透明基板の反り」の光学特性への影響もなかった。
【０１０６】
上記実施例３、４の変形例として、直径：φ＝１００ｍｍ、厚さ：１．０ｍｍのＢＫ−７ガラス板上に、２０ｍｍ四方の分割接着剤層の配列パターンを形成し、同じく２０ｍｍ四方の有機材料膜片を接着した。
【０１０７】
接着された各有機材料膜片と透明基板との間の分割接着剤層に「気泡の混入」は見られなかった。その後、実施例３と同様（回折格子は、各有機材料膜片ごとに１６個形成した）にして、光学性能の良好な回折光学素子を得た。
【０１０８】
このようにして得られた各回折光学素子は「偏光ホログラム素子」として使用できる。得られた個々の回折光学素子は何れも気泡の混入が無く、有機材料膜の熱収縮による「透明基板の反り」の光学特性への影響もなかった。
【０１０９】
先に、実施例１、２に関する比較例と同様、透明基板に厚さ：１．０ｍｍ、直径：φ＝１００ｍｍのＢＫ−７ガラス板による円板形状の透明基板に、実施例３と同様の方法で「１辺が３０ｍｍの正方形形状の分割接着剤層」の配列を印刷形成し、各分割接着剤層上に、厚さ：１００μｍで「１辺が３０ｍｍの正方形形状の有機材料膜片」を接着した。以後、実施例３と同様のプロセスで得られた回折光学素子の一部には、有機材料膜片と透明基板との間の分割接着剤層に「気泡の混入」がみられ、実施例３、４の場合に比して製造の歩留まりが低下した。
【０１１０】
上記のように、実施例３、４で実施した「回折光学素子の製造方法」は、透明基板上に有機材料膜を接着固定する有機材料膜接着工程と、透明基板上に接着固定された有機材料膜に、断面が矩形状の凹凸による回折格子を複数個、格子配列状に形成する回折格子形成工程と、格子配列状に形成された複数の回折格子を個別的に分離する分離工程とを有する回折光学素子の製造方法において、有機材料膜接着工程の際に、有機材料膜を、それぞれが１以上の回折格子を形成されることになる有機材料膜片２１に分割して、透明基板１０への接着を行い、各有機材料膜片２１を接着する接着剤層を、各有機材料膜片２１の配列に対応させて分割した分割接着剤層１１Ｂの配列として透明基板１０上に形成する回折光学素子の製造方法（請求項１９）である。
【０１１１】
また、実施例３、４の製造方法では、透明基板１０上に配列形成される各分割接着剤層１１Ｂの大きさが、透明基板１０上への各有機材料膜片２１の接着の際に気泡が巻き込まれない大きさであり（請求項２０）、互いに分割して透明基板１０に接着される有機材料膜片２１の大きさが、有機材料膜片の熱収縮が、透明基板１０を実質的に反らせないような大きさである（請求項２１）。
【０１１２】
また、実施例３、４の製造方法とも、透明基板１０上に配列形成される各分割接着剤層１１Ｂの形状は「接着される有機材料膜片２１の形状と同じ」であり（請求項２２）、各有機材料膜片２１は、透明基板１０の接着面に予め配列形成された分割接着剤層上に載置されて接着される（請求項２３）。
【０１１３】
さらに、実施例３、４の製造方法とも、分割接着剤層１１Ｂの配列が「透明基板１０への印刷」により形成され（請求項２４）、印刷形成された分割接着剤層の配列における各分割接着剤層１１Ｂは、実施例３においては「印刷後の放置により、層厚を均一化」され（請求項２５）、実施例４においては「各分割接着剤層の層厚を均一化する放置期間内」に、各分割接着剤層が加熱され（請求項２６）、
透明基板１０への印刷により形成された分割接着剤層１１Ｂ上に載置された有機材料膜片２１の配列に対してローラ１１０を走行させて、各分割接着剤層と有機材料膜片との厚さを均一化している（請求項２７）。
【０１１４】
なお、実施例３、４とも、分割接着剤層の配列は「窒素雰囲気中において透明基板へ印刷形成」することにより行った（請求項２８）。
【０１１５】
実施例３、４の製造方法により得られる回折光学素子においても、図５に示すように、有機複屈折膜２１を接着された透明基板１０に反射防止膜Ｈを形成することができる。反射防止膜Ｈは、透明基板１０に当初（有機材料膜２０を接着する段階）から形成しておいてもよいし、あるいは分離工程を実行する前に形成してもよい。
【０１１６】
上記実施例３、４の製造方法で製造される回折光学素子は、請求項２９記載の回折光学素子である。
【０１１７】
なお、図３（ｃ）、図４（ｂ）、図１２（ｂ）に示した「各有機材料膜片２１上に回折格子ＲＬが形成されたもの」において、各回折格子部分は、それ自体で「回折光学素子としての機能（透過光を回折させる機能）」を有するので、これをそのまま回折光学素子として使用することもできる。
【０１１８】
しかし、回折格子の形成された有機材料膜は必ずしも十分な「物理的強度」を持つ訳ではないので、このまま使用するよりは、図３（ｄ）に示すようにオーバコート層１３を形成して補強を行うのが良く、更に、オーバコート層１３上に透明な対向基板１５を一体化することが好ましい。
【０１１９】
取り扱いに幾分慎重を期するならば、図６に示すように、透明な対向基板１５を用いずに、オーバコート層１３を「保護膜を兼ねた表面層」とすることもできる。
【０１２０】
【発明の実施の形態】
図７は、この発明の光ピックアップ装置の実施の１形態を示す図である。
光ピックアップ装置は、光源３０から放射される光を対物レンズ３７により光ディスク４０の記録面上に光スポットとして集光し、記録面により反射された戻り光束を、対物レンズ３７を介して光検出部３９へ導きつつ、光ディスク４０に対し、情報の記録・再生・消去の１以上を行う光ピックアップ装置であり、光源３０と対物レンズ３７との間に回折光学素子３１が配置されている。
回折光学素子３１は図５に示す如きものである。
【０１２１】
図７の光ピックアップ装置では、光源３０である半導体レーザからの光が回折光学素子３１を透過する。回折光学素子３１は有機材料膜が有機複屈折膜のものであり「偏光ホログラム素子」として用いられ、光源側からの光はそのまま回折光学素子３１を透過し、さらに、１／４波長板３５を透過し、対物レンズ３７の作用により、光ディスク４０の記録面上に光スポットとして集光する。
【０１２２】
記録面により反射された光は「戻り光束」となって対物レンズ３７、１／４波長板３５を透過し、偏光面が当初の方向から９０度旋回した直線偏光となり、回折光学素子３１に入射し、回折光学素子３１による回折作用を受けて光検出部３９へ向けて偏向される。このとき、戻り光束には回折光学素子３１により、例えば非点収差が与えられ、この光束は光検出部３９で受光され、非点収差法によるフォーカシング信号、プッシュプル法によるトラッキング信号や再生信号を発生させる。
【０１２３】
即ち、図７の光ピックアップ装置は、請求項１５あるいは１６記載の回折光学素子を、光源３０側からの光束の光路と、光ディスク４０からの戻り光束の光路とを光路分離する偏光ホログラム素子３１として用いたもの（請求項１７）である。
【０１２４】
図８は、光ディスクドライブ装置の実施の１形態を示す図である。
この光ディスクドライブ装置は、光ディスク４０に対し、光ピックアップ装置４１を用いて情報の記録・再生・消去の１以上を行う装置である。
【０１２５】
光ディスク４０は保持部４７に保持され、「駆動手段」としてのモータＭｔで回転駆動される。セットされた光ディスク４０に対し光ピックアップ装置４１が、変位駆動手段４３により光ディスク４０の半径方向へ変位駆動されて記録・再生・消去の１以上を行う。制御手段４５は、光ピックアップ装置４１からの信号に基づく各種制御や再生信号の出力を制御するほか、装置全体の制御を行う。
【０１２６】
即ち、図８の光ディスクドライブ装置は、光ディスク４０に対し、光ピックアップ装置４１を用いて情報の記録・再生・消去の１以上を行う光ディスクドライブ装置において、光ピックアップ装置として、例えば図７に示すような、請求項１７記載のものを用いたもの（請求項１８）である。
【０１２７】
図７に示した光ピックアップ装置における偏光ホログラム素子３１として、実施例３、４の製造方法により製造された回折光学素子を用いることができ、この光ピックアップ装置を、図８の光ディスクドライブ装置に用いることができる。
【０１２８】
【発明の効果】
以上に説明したように、この発明によれば、回折光学素子およびその製造方法および光ピックアップ装置および光ディスクドライブ装置を実現できる。
【０１２９】
この発明の回折光学素子の製造方法では、透明基板に接着する有機材料膜を、有機材料膜片に分割して接着を行うので、接着の際の気泡の巻き込み及び／または透明基板の反りの光学特性への影響を有効に防止することができ、所望の光学特性をもった回折光学素子を歩留まりよく製造できる。
【０１３０】
また、請求項１９〜２８記載の発明では、有機材料膜片を接着する接着剤も、分割接着剤層に分割されて配列され、接着の際の気泡の巻き込み及び／または透明基板の反りの光学特性への影響を有効に防止することができ、所望の光学特性をもった回折光学素子を歩留まりよく製造できる。
【０１３１】
従って、この発明の回折光学素子は製造の歩留まりよく製造できる。
このような回折光学素子を偏光ホログラム素子として用いる光ピックアップ装置は、良好な光ピックアップ機能を実現でき、このような光ピックアップ装置を用いる光ディスクドライブ装置は性能良好である。
【図面の簡単な説明】
【図１】透明基板への有機材料膜片の接着を説明するための図である。
【図２】透明基板への有機材料膜片の接着を説明するための図である。
【図３】回折光学素子の製造プロセスの、有機材料膜片の透明基板への接着以後のプロセスを説明するための図である。
【図４】図３（ｂ）、（ｃ）における状態を、有機材料膜片について拡大して模式的に示す説明図である。
【図５】回折光学素子の実施の１形態を示す図である。
【図６】回折光学素子の実施の別形態を示す図である。
【図７】光ピックアップ装置の実施の１形態を説明するための図である。
【図８】光ディスクドライブ装置の実施の１形態を説明するための図である。
【図９】透明基板へ分割接着剤層の配列を形成した状態を説明するための図である。
【図１０】分割接着剤層に有機材料膜片を接着させた状態を説明するための図である。
【図１１】請求項１９記載の回折光学素子の製造方法における、有機材料膜片の透明基板への接着以後のプロセスを説明するための図である。
【図１２】図１１（ｂ）、（ｃ）における状態を、分割接着剤装置と有機材料膜片の１組について拡大して模式的に示す説明図である。
【図１３】透明基板に印刷形成された分割接着剤層の表面の平坦化を説明するための図である。
【図１４】請求項２７記載の発明を説明するための図である。
【符号の説明】
１０　　　透明基板
１１　　　接着剤層
１１Ｂ　　分割接着剤層
２１　　　有機材料膜片

Claims (29)

1. 透明基板上に有機材料膜を接着固定する有機材料膜接着工程と、
   上記透明基板上に接着固定された上記有機材料膜に、断面が矩形状の凹凸による回折格子を複数個、格子配列状に形成する回折格子形成工程と、
   格子配列状に形成された複数の回折格子を個別的に分離する分離工程とを有する回折光学素子の製造方法において、
   有機材料膜接着工程の際に、有機材料膜を、それぞれが１以上の回折格子を形成されることになる有機材料膜片に分割して、透明基板への接着を行うことを特徴とする回折光学素子の製造方法。
2. 請求項１記載の回折光学素子の製造方法において、
   互いに分割して透明基板に接着される有機材料膜片の大きさが、上記透明基板上への接着の際に気泡が巻き込まれない大きさであることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
3. 請求項１または２記載の回折光学素子の製造法方法において、
   互いに分割して透明基板に接着される有機材料膜片の大きさを、有機材料膜片の熱収縮が上記透明基板を実質的に反らせないような大きさとしたことを特徴とする回折光学素子の製造方法。
4. 請求項２または３記載の回折光学素子の製造方法において、
   互いに分割して透明基板に接着される有機材料膜片にｎ（≧１）×ｍ（≧１）個の回折格子が形成されることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
5. 請求項１〜４の任意の１に記載の回折格子の製造方法において、
   各有機材料膜片は、透明基板の接着面に予め形成された接着剤層上に載置されて接着されることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
6. 請求項５記載の回折光学素子の製造方法において、
   透明基板の接着面に予め形成される接着剤層は、回転による遠心力により層厚を均一化されることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
7. 請求項１〜６の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法において、
   複数の回折格子を格子配列状に形成された有機材料膜上から、各回折格子における回折格子の凹部に、光学的に透明な材料を充填して、オーバコート層とすることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
8. 請求項７記載の回折光学素子の製造方法において、
   オーバコート層上に、透明な対向基板を一体化した後、分離工程を行うことを特徴とする回折光学素子の製造方法。
9. 請求項７または８記載の回折光学素子の製造方法において、
   有機材料膜が有機複屈折膜であり、オーバコート層が、上記有機複屈折膜の常光線に対する屈折率もしくは異常光線に対する屈折率と実質的に等しい屈折率を持つ等方性光学材料であることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
10. 請求項９記載の回折光学素子の製造方法において、
    有機複屈折膜として、分子鎖が配向した高分子複屈折膜を用いることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
11. 請求項１０記載の回折光学素子の製造方法において、
    有機複屈折膜として用いられる高分子複屈折膜が、延伸により分子鎖を配向させた高分子膜であることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
12. 請求項７〜１１の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法において、
    オーバコート層の材料がアクリル系もしくはエポキシ系の材料であることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
13. 請求項１〜１２の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法で製造される回折光学素子。
14. 請求項１３記載の回折光学素子において、
    請求項９または１０または１１記載の回折光学素子の製造方法で製造され、偏光ホログラム素子として使用されることを特徴とする回折光学素子。
15. 請求項１４記載の回折光学素子において、
    オーバコート層の材料がアクリル系もしくはエポキシ系の材料であることを特徴とする回折光学素子。
16. 請求項１４または１５記載の回折光学素子において、
    有機複屈折膜を接着された透明基板に反射防止膜を形成したことを特徴とする回折光学素子。
17. 請求項１４〜１６の任意の１に記載の回折光学素子を、光源側からの光束の光路と、光ディスクからの戻り光束の光路とを光路分離する偏光ホログラム素子として用いたことを特徴とする光ピックアップ装置。
18. 光ディスクに対し、光ピックアップ装置を用いて情報の記録・再生・消去の１以上を行う光ディスクドライブ装置において、
    光ピックアップ装置として、請求項１７記載のものを用いたことを特徴とする光ディスクドライブ装置。
19. 透明基板上に有機材料膜を接着固定する有機材料膜接着工程と、
    上記透明基板上に接着固定された上記有機材料膜に、断面が矩形状の凹凸による回折格子を複数個、格子配列状に形成する回折格子形成工程と、
    格子配列状に形成された複数の回折格子を個別的に分離する分離工程とを有する回折光学素子の製造方法において、
    有機材料膜接着工程の際に、有機材料膜を、それぞれが１以上の回折格子を形成されることになる有機材料膜片に分割して、透明基板への接着を行い、
    上記各有機材料膜片を接着する接着剤層を、上記各有機材料膜片の配列に対応させて分割した分割接着剤層の配列として上記透明基板上に形成することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
20. 請求項１９記載の回折光学素子の製造方法において、
    透明基板上に配列形成される各分割接着剤層の大きさが、上記透明基板上への各有機材料膜片の接着の際に気泡が巻き込まれない大きさであることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
21. 請求項１９または２０記載の回折光学素子の製造方法において、
    互いに分割して透明基板に接着される有機材料膜片の大きさが、有機材料膜片の熱収縮が、上記透明基板を実質的に反らせないような大きさであることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
22. 請求項１９〜２１の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法において、
    透明基板上に配列形成される各分割接着剤層の形状が、接着される有機材料膜片の形状と同じであることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
23. 請求項１９〜２２の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法において、
    各有機材料膜片は、透明基板の接着面に予め配列形成された分割接着剤層上に載置されて接着されることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
24. 請求項２３記載の回折光学素子の製造方法において、
    分割接着剤層の配列が、透明基板への印刷により形成されることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
25. 請求項２４記載の回折光学素子の製造方法において、
    透明基板上に印刷により形成された各分割接着剤層は、印刷後の放置により、層厚を均一化されることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
26. 請求項２５記載の回折光学素子の製造方法において、
    各分割接着剤層の層厚を均一化する放置期間内に、各分割接着剤層を加熱することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
27. 請求項２４記載の回折光学素子の製造方法において、
    透明基板への印刷により形成された分割接着剤層上に載置された有機材料膜片の配列に対してローラを走行させて、各分割接着剤層と有機材料膜片との総合厚みを均一化することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
28. 請求項２４〜２７の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法において、
    分割接着剤層の配列を、窒素雰囲気中において透明基板へ印刷形成することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
29. 請求項１９〜２８の任意の１に記載の回折光学素子の製造方法で製造される回折光学素子。

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