JP2004066016A

JP2004066016A - 塗布装置

Info

Publication number: JP2004066016A
Application number: JP2002224793A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Fukuda; 福田　努; Toshihiko Kanayama; 金山　利彦; Noriyuki Kakehashi; 掛橋　典之
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 2002-08-01
Filing date: 2002-08-01
Publication date: 2004-03-04

Abstract

【課題】超硬合金製のエッジ本体９をエッジ支持体１０に取り付けるに際してエッジ本体９の反りや曲がりを抑えることができ、特に液晶ディスプレイパネルの製造工程におけるガラス基板へのカラーレジスト等の塗布液の塗布に用いて好適な塗布装置を提供す。
【解決手段】被塗布物Ｓに対向して支持されるエッジ本体９と、このエッジ本体９を先端部に支持するエッジ支持体１０とを備え、エッジ本体９にネジ孔が形成されたクランプ駒１１を取り付けて、エッジ支持体１０に挿通されるクランプネジ１３をクランプ駒１１のネジ孔にねじ込むことによってエッジ本体９をエッジ支持体１０の先端部に取り付けて支持し、エッジ本体９を超硬合金により形成するとともにクランプ駒１１はＭｏを主成分として形成する。
【選択図】　　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に液晶ディスプレイパネルを製造する際のガラス基板表面にカラーレジスト等の塗布液を塗布する工程に用いて好適な塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
このように、液晶ディスプレイパネルを製造する製造工程のうち、パネルの本体となるガラス基板の表面にカラーレジスト等の塗布液を塗布する工程では、従来より基板表面上に塗布液を滴下して基板を回転させることにより遠心力によって塗布液を基板表面全体に拡げて塗布する、いわゆるスピンコートが用いられていたが、昨今のパネルの大画面化に伴う基板の大型化により基板を高速で回転させることが困難となってきたり、また塗布液の歩留まりが悪いなどの問題から、最近では、フィルムやシートのような可撓性を有する帯状の支持体に各種塗布液を塗布するのに用いられている塗布装置が使われるようになってきている。すなわち、この塗布装置は、例えば図４に示すように、図中に矢線Ａで示す移動方向に移動する被塗布物Ｓの幅方向（図面に直交する方向）に延びる長尺の塗布ヘッド１が、その先端部を下向きにして該被塗布物Ｓに対向するように、この被塗布物Ｓの下に配置されて備えられたものであり、この塗布ヘッド１は一対のヘッド部材２，３が間に幅狭のスリット４をあけて上記移動方向Ａに隣接するように配設されて構成され、このスリット４を通して塗布ヘッド４の先端から塗布液を吐出することにより、移動する被塗布物Ｓの表面（上面）にこの塗布液が塗布されるようになされている。また、この種の塗布装置においては、図５に示すように塗布ヘッド５が３つ以上（図５では３つ）のヘッド部材６〜８から構成されることにより、被塗布物Ｓの表面に複数の塗布液が層をなすように同時に塗布可能とされたものも提案されている。
【０００３】
ところで、従来このような塗布装置においては、塗布ヘッド１，５の上記ヘッド部材２，３，６〜８がそれぞれステンレス鋼等の鋼材により一体に成形されていたが、近年の上述のようなフィルムやシート等の可撓性帯状支持体に塗布液によって形成される薄層に対しての一層の薄層化および層厚の均一化への要求を満足するため、上記図４や図５に示したようにこれらヘッド部材２，３，６〜８において、その先端の被塗布物Ｓに対向して塗布液を塗布する部分を高硬度、高剛性の超硬合金により上記幅方向に延びる長尺平板状に形成してエッジ本体９とし、このエッジ本体９をステンレス鋼材より成るエッジ支持体１０にろう付けにより取り付けて支持するようにしたものが用いられるようになってきており、このような高硬度、高剛性の超硬合金によって塗布液を塗布するエッジ（刃先）部分を形成することにより、このエッジの耐摩耗性や真直度などの精度を高めると同時にエッジをシャープに形成して塗布液の液離れを向上させ、上述のような均一な層厚でより薄い薄層の形成を可能としている。
【０００４】
そして、これは、このような塗布装置を上述のような液晶ディスプレイパネル製造のガラス基板上にカラーレジスト等の塗布液を塗布する工程に用いる場合でも同様である。また、特にこのような液晶ディスプレイパネルのガラス基板には、通常その表面にＩＴＯ（インジウム錫酸化物）薄膜がスパッタリングされていて、このスパッタリングの際にガラス基板に微小クラックが発生し易く、その後の塗布工程においてこのような微小クラックからガラス基板に割れが生じると、その破片がスリット４内に入り込んでしまい、ヘッド部材２，３，６〜８がステンレス鋼製で一体に成形されている場合には、この破片が該ヘッド部材２，３，６〜８に刺さってしまって、その後の塗布においてスジむらなどが発生するといった問題が生じるが、これに対してヘッド部材２，３，６〜８の先端部のエッジ本体９を超硬合金によって形成した場合には、ガラス基板の破片が突き刺されることがなく、従ってスジむら等の発生のない一層均一な薄層の塗布が可能であるという効果も得ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このように超硬合金製のエッジ本体９を鋼製のエッジ支持体１０にろう付けして取り付けた塗布装置では、これら超硬合金とステンレス鋼等の鋼材との熱膨張係数の違いから、ろう付け時にはエッジ本体９がエッジ支持体１０先端に真っ直ぐに取り付けられていたとしても、当該塗布装置の使用時においてはエッジ本体９にその長手方向（上記被塗布物Ｓの幅方向）に沿って反りや曲がりが生じてしまい、これによって被塗布物Ｓに形成される薄層の厚さが不均一となってしまうという問題が惹起される。特に、上述のような液晶ディスプレイパネルの製造工程においてガラス基板にカラーレジストを塗布する塗布工具においては、上記スリット４の幅が０．１ｍｍあるいはそれ以下と極めて小さく、エッジ本体９に僅かな反りや曲がりが生じただけでもカラーレジスト層の厚さの誤差は大きなものとなる一方、エッジ支持体１０の厚さは２０ｍｍ以下と小さいものが多く、その分エッジ支持体１０との熱膨張の差によるエッジ本体９の反りや曲がりも大きくなるため、このような反りや曲がりを修正するのにエッジ本体９のスリット４側を向く側面に研磨をかけるなどしなければならなくなって、当該塗布装置製造のための加工時間も長くならざるを得ない。
【０００６】
また、本発明の発明者等は、このような塗布装置において、エッジ本体９をエッジ支持体１０の先端部に全面に亙ってろう付けするのではなく、エッジ本体９にネジ孔が形成されたクランプ駒を該エッジ本体９の長手方向に間隔をあけて複数ろう付けにより取り付け、エッジ支持体１０に挿通したクランプネジをこのクランプ駒のネジ孔にねじ込むことにより、エッジ本体９をエッジ支持体１０の先端部に取り付けて支持するようにしたものも提案している。ところが、そのような塗布工具でも、超硬合金製のエッジ本体９と鋼材等から成るクランプ駒との熱膨張係数の違いにより、例えば長さが３５０ｍｍのエッジ本体９に８個のクランプ駒を等間隔にろう付けした場合には、該エッジ本体９の両端で１〜１．５ｍｍもの反りが生じることが避けられなかった。
【０００７】
本発明は、このような背景の下になされたもので、上述のように超硬合金製のエッジ本体をエッジ支持体に取り付けるに際して該エッジ本体の反りや曲がりを抑えることができ、特に液晶ディスプレイパネルの製造工程におけるガラス基板へのカラーレジスト等の塗布液の塗布に用いて好適な塗布装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決して、このような目的を達成するために、本発明は、被塗布物に対向して支持されるエッジ本体と、このエッジ本体を先端部に支持するエッジ支持体とを備え、上記エッジ本体にネジ孔が形成されたクランプ駒を取り付けて、上記エッジ支持体に挿通されるクランプネジを上記クランプ駒のネジ孔にねじ込むことによって上記エッジ本体をエッジ支持体の先端部に取り付けて支持し、上記エッジ本体を超硬合金により形成するとともに、上記クランプ駒をＭｏを主成分として形成したことを特徴とする。従って、このような塗布装置においては、まず超硬合金製のエッジ本体がクランプ駒によってエッジ支持体に取り付けられているため、エッジ本体をその全長に亙ってエッジ支持体にろう付けする場合に比べてエッジ支持体との熱膨張係数の違いによる反りや曲がりの発生を防止することができる。そして、このクランプ駒がＭｏを主成分として形成されており、エッジ本体を形成する超硬合金の熱膨張係数が４．５〜６．５×１０^−６／℃であるのに対してＭｏの熱膨張係数は３．８〜４．２×１０^−６／℃と近く、このためクランプ駒をエッジ本体に取り付ける際と使用時との温度差が大きくても、エッジ本体に反りが生じるのを抑えることができる。
【０００９】
ここで、上記クランプ駒のＭｏ含有量は９０ｗｔ％以上とされているのが望ましく、すなわちこのＭｏ含有量が高いほど超硬合金製のエッジ本体との熱膨張係数の差を小さくして反りや曲がりを抑えることができる。従って、Ｍｏ含有量が１００ｗｔ％、すなわちクランプ駒が純モリブデンによって形成されていれば、より望ましい。一方、このように構成された塗布装置において上記スリットを正確に所定の幅で開口するように設定するには、例えばこのスリットがある程度の大きさを有している場合には上記塗布ヘッドを構成するヘッド部材のエッジ支持体同士の突き合わせ面間に所定の厚さのシムを介装するような方法を採ることも可能ではあるが、上記液晶ディスプレイパネルの製造工程におけるガラス基板へのカラーレジスト等の塗布液の塗布の場合のようにスリット幅が０．１ｍｍ以下と小さい場合には、このシムもその全長に亙ってばらつきなく高精度に所定の厚さとなるように製造しなければならず、シムの製造に多大な時間と労力および熟練を要するとともにその管理も煩雑となることが避けられない。そこで、このような場合には、上記エッジ支持体の基端部に、先端部に支持された上記エッジ本体の側面よりも突出する段差部を形成し、この段差部を突き合わせることによってエッジ本体の側面間に所定幅のスリットが画成されるようにするのが望ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１ないし図３は、それぞれ本発明の第１ないし第３の実施形態を示すものであり、図４および図５に示した従来の塗布装置と共通する部分については同一の符号を配して説明を省略する。すなわち、図１に示す第１の実施形態では塗布ヘッド１が一対のヘッド部材２，３により構成され、また図２および図３に示す第２および第３の実施形態では塗布ヘッド５が３つ以上（第２、第３の実施形態では３つ）のヘッド部材６〜８により構成されていて、各ヘッド部材２，３，６〜８においては、エッジ支持体１０の先端部にエッジ本体９が取り付けられて支持されている。
【００１１】
しかして、これら第１ないし第３の実施形態では、まず上記従来の塗布装置のように塗布ヘッド１，５のヘッド部材２，３，６〜８においてエッジ本体９とエッジ支持体１０とをろう付けにより直接接合するのに代えて、エッジ本体９にはそのスリット４側を向く側面９ａとは反対側の側面９ｂに、内周部に雌ねじ部が形成されたネジ孔を有するナット状のクランプ駒１１を取り付ける一方、エッジ支持体１０にはこのクランプ駒１１を収容可能な大径部１２ａとこれよりも小径の孔部１２ｂと再び大径となる開口部１２ｃとを備えた取付孔１２を貫設し、この取付孔１２に頭部１３ａを有するクランプネジ１３を開口部１２ｃ側から挿通して上記クランプ駒１１のネジ孔にねじ込むことにより、エッジ本体９がエッジ支持体１０に取り付けられて支持されている。ただし、塗布ヘッド５が３つのヘッド部材６〜８によって構成された第２、第３の実施形態において、上記移動方向Ａの中央に位置するヘッド部材７のエッジ本体９にはその両側にスリット４，４が形成されることとなるため、クランプ駒１１は、このうち移動方向Ａ後方側（図２、３において左側）のスリット４側を向く側面９ａと反対の側面９ｂに取り付けられている。
【００１２】
ここで、このようにエッジ本体９の側面９ｂにクランプ駒１１を取り付けるに際しては、銀ろう材等によるろう付けによって接合するようにしてもよく、また嫌気性接着剤やエポキシ系接着剤等の接着剤によって接合するようにしてもよい。なお、このようにエッジ本体９とエッジ支持体１０とを接合する接着剤としては、２ｋｇ／ｃｍ^２以上の接着強度を有するものが用いられるのが望ましい。また、特にこのように接着剤によってクランプ駒１１をエッジ本体９に接合するときには、少なくともこれらエッジ本体９とクランプ駒１１を、また望ましくは接着剤も、当該塗布装置の塗布ヘッド１，５の使用温度、すなわち被塗布物Ｓへの薄層の形成時にそのスリット４を通って吐出される塗布液の温度にまで昇温させておいて、この塗布ヘッド１，５の使用時における温度と略等しい温度条件下で接合させるのが望ましい。
【００１３】
なお、図１および図２に示す第１および第２の実施形態では、いずれもクランプネジ１３がエッジ本体９の厚さ方向に垂直に取り付けられているのに対し、図３に示す第３の実施形態では、被塗布物Ｓの移動方向Ａに向けて両端のヘッド部材６，８を除くヘッド部材７において、取付孔１２がスリット４に開口しないように形成されて、クランプネジ１３がエッジ支持体１０の上部から挿通されるように構成されている。また、これらクランプ駒１１，取付孔１２，およびクランプネジ１３は、塗布ヘッド１，５の長手方向に向けてそれぞれ複数箇所ずつ等間隔にヘッド部材２，３，６〜８に設けられている。さらに、図中に符号４ａで示すのは、スリット４を通して吐出させられる塗布液が供給される凹部である。
【００１４】
そして、これら第１ないし第３の実施形態では、エッジ本体９は超硬合金によって形成される一方、上記クランプ駒１１はＭｏを主成分とした材料によって形成されている。ここで、このクランプ駒１１のＭｏ含有量は９０ｗｔ％以上とされるのが望ましく、Ｍｏ含有量が不可避不純物を除いて１００ｗｔ％の純Ｍｏであればより望ましい。また、本実施形態では、このクランプ駒１１の上記ネジ孔にねじ込まれる上記クランプネジ１３も該クランプ駒１１と同じ材料によって形成されている。
【００１５】
一方、上記エッジ支持体１０は、本実施形態では従来と同様にステンレス鋼等の鋼材によって形成されている。ただし、本実施形態では、上記移動方向Ａに隣接するヘッド部材２，３，６〜８間においてスリット４を形成するのに際し、これら隣接するヘッド部材２，３，６〜８のうち一方のヘッド部材（第１の実施形態ではヘッド部材２、第２、第３の実施形態ではヘッド部材７）においては、そのエッジ支持体１０のスリット４側を向く側面１０ａが、その先端部に取り付けられたエッジ本体９のスリット４側を向く側面９ａと面一となるようにされ、かつこの側面１０ａに上記凹部４ａを介して連なるエッジ支持体１０の基端部の側面１０ｂも該側面１０ａと同一平面上に位置する平坦面とされているのに対し、他方のヘッド部材（第１の実施形態ではヘッド部材３、第２、第３の実施形態ではヘッド部材６，８）においては、そのエッジ支持体１０のスリット４側を向く側面１０ａは先端のエッジ本体９の側面９ａと面一とされているものの、この側面１０ａに凹部４ａを介して連なる基端部には、先端部に支持されたエッジ本体９の上記側面９ａよりも突出する側面１０ａに平行な段差部１０ｃが形成されており、この段差部１０ｃを上記一方のヘッド部材２，７の側面１０ｂに突き合わせることにより、ヘッド部材２，３，６〜８のエッジ本体９…の互いに対向する側面９ａ…間に、段差部１０ｃの突出量分の幅のスリット４が画成されるようになされている。
【００１６】
従って、このように構成された塗布装置においては、まず超硬合金製のエッジ本体９が、このエッジ本体９の側面９ｂに取り付けられたクランプ駒１１にクランプネジ１３をねじ込むことによりエッジ支持体１０に取り付けられているので、従来のようにこの側面９ｂを全面的にエッジ支持体１０にろう付けしてエッジ本体９が取り付けられている場合に比べ、エッジ支持体１０がステンレス鋼等の鋼製であっても、ろう付け時と使用時との温度差によってエッジ本体９に反りや曲がりが生じるのを防ぐことができる。すなわち、従来のようにエッジ本体９がろう付けによって全面的にエッジ支持体１０に接合されている場合には、高温のろう付け時にはエッジ本体９が真っ直ぐエッジ支持体１０に取り付けられていても、これより低温となる使用時にはエッジ本体９に比べてエッジ支持体１０が大きく収縮してしまっているため、ヘッド部材２，３，６〜８がその長手方向両端部に対して中央部が突き出すように変形し、これに伴いエッジ本体９にも反りや曲がりが生じてしまうのに対し、エッジ本体９をクランプ駒１１にねじ込んだクランプネジ１３によってエッジ支持体１０に取り付けた本実施形態の塗布装置では、エッジ本体９の取り付け時すなわちクランプネジ１３のねじ込み時の温度と使用時の温度との差はそれほど大きくはなく、しかも使用時等に塗布液の温度などによってヘッド部材２，３，６〜８が加熱されたりしても、これによるエッジ本体９とエッジ支持体１０との熱膨張の差を、クランプネジ１３と上記取付孔１２とのクリアランスによって吸収することができ、このためエッジ支持体１０の厚さがたとえ２０ｍｍ以下であったとしても、その膨張に伴ってエッジ本体９に反りや曲がりが生じるのを防ぐことができる。
【００１７】
そして、その一方で、これら第１ないし第３の実施形態では、このエッジ本体９に取り付けられるクランプ駒１１がＭｏを主成分とする材料によって形成されており、エッジ本体９を構成する超硬合金の熱膨張係数が４．５〜６．５×１０^−６／℃であるのに対してＭｏの熱膨張係数は３．８〜４．２×１０^−６／℃と近く、このため上述のようにクランプ駒１１をろう付けによってエッジ本体９に接合して取り付けた場合でも、高温のろう付け時と低温の使用時とでエッジ本体９とクランプ駒１１との熱膨張の差によりエッジ本体９に反りや曲がりが生じるのを抑えることができる。例えば、長さが３５０ｍｍのエッジ本体９に８個のクランプ駒１１を等間隔にろう付けした場合には、クランプ駒が鋼製の場合には上述のようにエッジ本体の両端で１〜１．５ｍｍの反りが生じていたのに対し、本実施形態においてはこの反りを０．０５ｍｍ以下に抑えることができる。
【００１８】
従って、このように構成された第１ないし第３の実施形態の塗布装置によれば、特に当該塗布装置を上述したような液晶ディスプレイパネルの製造工程におけるガラス基板表面へのカラーレジスト等の塗布液の塗布に用いた場合において、たとえ上記スリット４の幅（間隔）が０．１ｍｍ以下と小さい場合であっても、またディスプレイパネルの大画面化に伴いスリット４の長さすなわちエッジ本体９の長さが長くなるような場合であっても、上述のようなエッジ本体９の反りや曲がりによってこのスリット４の幅にエッジ本体９の長手方向に向け偏差が生じるのを抑えることができ、これにより被塗布物（ガラス基板）Ｓの表面に均一に塗布液（カラーレジスト）を塗布することが可能となって、大画面の液晶ディスプレイパネルの確実かつ効率的な製造を図ることができる。また、エッジ本体９が高硬度の超硬合金製であるため、ガラス基板表面にスパッタリングされたＩＴＯ薄膜の微小クラックによりガラス基板に割れが生じても、その破片がこのエッジ本体９に突き刺さってその後の塗布にスジむらを生じさせるようなこともない。
【００１９】
また、本実施形態ではこのクランプ駒１１が、そのＭｏ含有量が９０ｗｔ％以上、より望ましくは１００ｗｔ％の純Ｍｏとされており、従って一層確実に超硬合金製のエッジ本体９との熱膨張係数の差を小さくして、その反りや曲がりを防ぐことが可能となる。すなわち、クランプ駒１１におけるＭｏ含有量が９０ｗｔ％未満であると、Ｍｏ以外の他の成分によってはクランプ駒１１の熱膨張係数とエッジ本体９の熱膨張係数との差が大きくなってしまい、このエッジ本体９の反りや曲がりを上述のような小さな範囲に抑えることができなくなるおそれが生じる。さらに、本実施形態では、このクランプ駒１１にねじ込まれてエッジ本体９をエッジ支持体１０に取り付けるクランプネジ１３もクランプ駒１１と同様にＭｏを主成分とし、望ましくはＭｏ含有量９０ｗｔ％以上、より望ましくは１００ｗｔ％の純Ｍｏとされているので、これらクランプ駒１１とクランプネジ１３との間の熱膨張の差により当該塗布装置の使用時にエッジ本体９の取り付けが不安定となったりするような事態も未然に防止することが可能となる。
【００２０】
一方、本実施形態では、特に当該塗布装置を上述のような液晶ディスプレイパネルのガラス基板へのカラーレジスト等の塗布液の塗布に用いた場合に、上記スリット４の幅が０．１ｍｍ以下と小さな幅とされるのに際し、互いに隣接するエッジ支持体１０，１０のうち一方のエッジ支持体１０の基端部の側面１０ｂを、その先端部に取り付けられたエッジ本体９のスリット４側を向く側面９ａと面一な平面状に形成するとともに、他方のエッジ支持体１０の基端部にはその先端部のエッジ本体９の側面９ａよりも突出する段差部１０ｃを形成し、これらの側面１０ｂと段差部１０ｃとを突き合わせることにより、その突出量をもって上述のような幅がスリット４に与えられるようにしている。従って、本実施形態では、上述のような幅をスリット４に与えるために、例えばこの幅と同じ厚さのシムをエッジ支持体１０，１０の基端部側面１０ｂ，１０ｂ間に介装したりする必要がなく、部品数が少なくて済むのは勿論、このようなシムを使用した場合のシム厚さのばらつきによりスリット４の幅に偏差が生じたり、このような偏差を生じさせないためにシムを極めて高精度で一定厚さとなるように多くの時間と労力、熟練度を要して製造、管理しなければならなくなったりすることがなく、比較的容易に、しかしながら高精度にスリット４に上述のような小さな幅を設定することが可能となる。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、超硬合金製のエッジ本体にクランプ駒を取り付けて、エッジ支持体に挿通したクランプネジをこのクランプ駒にねじ込むことにより、エッジ本体をエッジ支持体に取り付けて支持しているので、これらエッジ本体とエッジ支持体との熱膨張係数の差によってエッジ支持体に反りや曲がりが生じるのを防ぐことができる。そして、その上で、さらにクランプ駒がＭｏを主成分としているので、このクランプ駒の取り付けによるエッジ本体の反りや曲がりを抑えることができ、たとえ液晶ディスプレイパネルの製造工程におけるガラス基板へのカラーレジスト等の塗布液の塗布などのようにスリット幅が小さく制限される場合に用いても、均一な薄層を被塗布物に形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す塗布ヘッド１の長手方向に直交する断面図である。
【図２】本発明の第２の実施形態を示す塗布ヘッド５の長手方向に直交する断面図である。
【図３】本発明の第３の実施形態を示す塗布ヘッド５の長手方向に直交する断面図である。
【図４】従来の塗布装置を示す塗布ヘッド１の長手方向に直交する断面図である。
【図５】従来の他の塗布装置を示す塗布ヘッド５の長手方向に直交する断面図である。
【符号の説明】
１，５　塗布ヘッド
２，３，６，７，８　ヘッド部材
４　スリット
９　エッジ本体
９ａ　エッジ本体９のスリット４側を向く側面
１０　エッジ支持体
１０ｃ　段差部
１１　クランプ駒
１２　取付孔
１３　クランプネジ
Ｓ　被塗布物
Ａ　被塗布物Ｓの移動方向

Claims

被塗布物に対向して支持されるエッジ本体と、このエッジ本体を先端部に支持するエッジ支持体とを備え、上記エッジ本体にはネジ孔が形成されたクランプ駒が取り付けられていて、上記エッジ支持体に挿通されるクランプネジが上記クランプ駒のネジ孔にねじ込まれることによって上記エッジ本体がエッジ支持体の先端部に取り付けられて支持されており、上記エッジ本体が超硬合金により形成されるとともに、上記クランプ駒はＭｏを主成分として形成されていることを特徴とする塗布装置。
上記クランプ駒のＭｏ含有量が９０ｗｔ％以上とされていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
上記エッジ支持体の基端部には、先端部に支持された上記エッジ本体の側面よりも突出する段差部が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の塗布工具。