JP2004055741A - 光半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡単な構成で光出力を向上させ、特性改善に合せて結晶性の改善を行うものである。
【解決手段】単結晶の基板1の上に部分的に機能層8を設け、この機能層8を覆うように絶縁層9を形成し、機能層の構成要素の選択と絶縁層の形状により光出力の向上、特性改善を行うものである。
【選択図】 図1
【解決手段】単結晶の基板1の上に部分的に機能層8を設け、この機能層8を覆うように絶縁層9を形成し、機能層の構成要素の選択と絶縁層の形状により光出力の向上、特性改善を行うものである。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光ダイオード、レーザ素子等の光半導体素子に関し、出力の向上と特性の改善を図ったものである。
【0002】
【従来の技術】
図6は、従来の青色LEDの例を示す。サファイア基板(1)上に設けたバッファー層(2)の上にSiO2のマスク層(3)を設け、結晶性の改善を行っているが、サファイア基板への光を遮光する形に挿入されており、結晶性改善のため光特性を損う形になっていた。(特開平11−214744号公報)
図7は、従来のモノリシックLEDの例を示す。n−GaAs基板(4)上にTeドープのn−GaAsP(5)を成長させ、Znドープでp−GaAsP(6)を形成する。これはLPH用LEDとして用いられてきたが高出力化が難しく、光出力のビークコントロール等出来なかった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、単結晶基板上に部分的に機能層を設け、この機能層を覆うように絶縁層を形成し、機能層の構成要素の選択と絶縁層の形状により光出力の向上、特性改善を行うものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第1に、半導体単結晶からなる基板と、前記基板の上部にランド状又はストライプ状にして1つ或いは複数個設けた機能層と、前記機能層の上部を覆うように配置した絶縁層と、前記絶縁層を覆うように設けたコンタクト層と、前記コンタクト層の上部に設けたPN接合よりなる発光層とから構成したものである。
【0005】
第2に、前記機能層を吸収層としたものである。
【0006】
第3に、前記機能層を反射層としたものである。
【0007】
第4に、前記機能層を反射層として上方向へ反射させると共に、傾斜を持たせて横方向に光出力するものである。
【0008】
第5に、裏面に電極をもつ半導体単結晶からなる基板と、前記基板の上部にランド状又はストライプ状に設けた機能層と、前記機能層の上部を覆うように配置した絶縁層と、前記絶縁層を覆うように設けたコンタクト層と、前記コンタクト層の上部又は上方に設けられた発光層と、クラッド層、コンタクト層、上部電極とからなるものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例を図面に基づいて説明する。図1は本発明の実施例を示すレーザの断面図、図2は同じくレーザの他の実施形態を示す断面図、図3は同じく発光素子の実施形態を示す断面図、図4は同じく発光素子の他の実施形態を示す断面図、図5は同じくモノリシックタイプの発光素子の実施形態を示す断面図である。
【0010】
図1〜図4に記載した本発明のレーザや発光素子は基本的には以下のような構成となっている。具体的には図1において、
N−GaNの基板(7)の上面中央部に機能層(8)を設け、GaAs単結晶を成長させて、この機能層を吸収層として形成する。この場合の単結晶の成長は、格子定数が合わないため結晶性が良くない108〜1010cm−2の転位のあるものとなる。
【0011】
N−GaNの基板(7)上にスパッタ技術を用いてSiO2膜を形成し、中央部分のN−GaNが出るようにエッチングを行いGaAs(ノンドープ)を成長させるSiO2を除き、GaAs層を包み込むようにSiO2の絶縁層(9)を形成し、不要部分を除去して機能層(8)(吸収層GaAs)と絶縁層(9)を形成する。
【0012】
この絶縁層の上面に、N−GaNのコンタクト層(10)と、N−GaAINのクラッド層(11)と、InGaNの発光層(12)と、P−GaAINのコンタクト層(13)と、P−GaNのコンタクト層(14)をCVD法等の周知の単結晶成長法を利用して順次成長させ、基板の下面にN電極(15)、P−GaN層(14)の上面にP電極(16)を設ける。
【0013】
N−GaAlNのクラッド層(11)の外側に該クラッド層よりも屈折率が高く発光波長に対して透明なN−GaNのコンタクト層(10)があるため、該コンタクト層への導波モードしみ出しが大きく垂直横モードに影響を与える。コンタクト層を厚くすればよいが、結晶成長の制限があること及び厚くするとクラックが入る不具合がある。
【0014】
図1によると、GaAsの機能層(8)は吸収層として作用し、この光を吸収するため特性に影響ない。成長したGaAsは結晶性が悪くなるが、吸収層としては十分であり、また、絶縁層(9)に覆われているため結晶成長に影響はない。
【0015】
また、絶縁層(9)の上面は、N−GaNのコンタクト層(10)の単結晶が横方向に成長するため、1/20〜1/33に転位が改善され、N−GaNのコンタクト層(10)の厚みが薄くても良くなり、クラックを生じることがなくなり発光層(12)の結晶性も向上する。
【0016】
この結果、図6の従来例にくらべて光出力特性が大きく改善される。
【0017】
図2は本発明の別の実施例で、光出力を基板(1)の上部へ出力する面発光レーザの例を示す。機能層としてAl単結晶をN−GaNの基板(1)上にスパッタ技術によりSiO2膜を形成し、中央部をN−GaNの基板が出るようにエッチング行い、この上にSiO2膜をマスクとして成長させる。SiO2膜の除去後にはSiO2の絶縁層(9)がAl単結晶を覆うように成形し、不要部分を除去して機能層(8)(Al単結晶による反射層)と絶縁層(9)を形成する。
【0018】
青色発光領域を略400nmにおいて、多層膜よりなるブラッグ反射層は反射率50%まで低下するのに対しAl単結晶は90%以上で1.5倍以上の高出力化ができる。図2に示すN−GaNのコンタクト層(10)の成長においても絶縁層(9)上は横方向の成長を行い、図1と同様な結晶性の改善がある。
【0019】
この場合、Al単結晶の分解温度は高くないが、絶縁層(9)が保護層として働き、耐湿性等も改善される。
【0020】
図3は本発明の別の実施例である発光素子の実施形態を示しており、機能層(8)はAl単結晶であり図2と同様に働く。
【0021】
図4は本発明の別の実施例である発光素子を示す。形成方法は図3と同一で、機能層(8)は、Al単結晶にて反射層として働くが絶縁層(9)の形状を変えることによりチップ光分布を変えることができる。絶縁層(9)にレンズ効果をもたせ集光、拡散をさせることもできる。
【0022】
チップ光の指向性は、図4に示すチップ内部の機能層、絶縁層の位置、大きさ、形状により任意に決定することができる。
【0023】
この結果、外囲器のレンズ形状を一定にしてチップにより指向性をコントロールするため、精度が上がり、輝度を一定に(指向性により変わっていた)することができる。また、屋外用表示器等に要求される視向角をコントロールできる、などの効果がある。
【0024】
図5は本発明の別の実施例を示し、N−GaAsの基板(17)上にSiO2をスパッタリング技術により形成し、エッチング技術を用いて発光部の下部をエッチングする。その後、Al単結晶をN−GaAsの基板上に成長させ、SiO2を除去した後、SiO2の絶縁層(18)を機能層(19)(Al単結晶反射層)を覆うように成形し、不要部分を除去して機能層と絶縁層を形成する。機能層の巾W、発光層までの距離Lに基づき出力光のビーム形状をコントロールする。絶縁層は反射層(屈折率1.4)として働く。
【0025】
絶縁層(18)の上部は、N−GaAsPのコンタクト層(20)が横方向に成長するため、従来106cm−2の転位が3×104cm−2に改善される。
【0026】
結晶性の改善と反射層の形成により低VF化に加えて光出力を図7に比べて約2.5倍となる。反射層の巾、発光層からの距離により出力光のビームコントロールできるようになる。また、絶縁層により、機能層−反射層は保護される。
【0027】
【発明の効果】
本発明によると、機能層の機能して、レーザの場合は上方の発光層からの光モレを吸収し、モノリシックの発光素子の場合は発光素子の場合は上方の発光層からの光を反射させると共に上方の発光層からの光分布をコントロールする。
【0028】
また、レーザの場合は上方の発光層からの光の半透過(レーザ共振器の端面形成、面発光レーザ)などがあり、絶縁層は、結晶成長時に横方向に成長、機能層の保護、電流拡散層と反射層のレンズとして集光、拡散、発光分布コントロールできる。
【0029】
また、基板からの転位防止や機能層による結晶成長の影響防止のために、発光層を単一量子構造、多重量子井戸構造としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示すレーザの断面図である。
【図2】同じくレーザの他の実施形態を示す断面図である。
【図3】は同じく発光素子の実施形態を示す断面図である。
【図4】同じく発光素子の他の実施形態を示す断面図である。
【図5】同じくモノリシックタイプの発光素子の実施形態を示す断面図である。
【図6】従来の青色LEDの例を示す断面図である。
【図7】従来のモノリシックLEDの例を示す断面図である。
【符号の説明】
7 基板
8 機能層
9 絶縁層
10 コンタクト層
11 クラッド層
12 発光層
13 コンタクト層
14 コンタクト層
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光ダイオード、レーザ素子等の光半導体素子に関し、出力の向上と特性の改善を図ったものである。
【0002】
【従来の技術】
図6は、従来の青色LEDの例を示す。サファイア基板(1)上に設けたバッファー層(2)の上にSiO2のマスク層(3)を設け、結晶性の改善を行っているが、サファイア基板への光を遮光する形に挿入されており、結晶性改善のため光特性を損う形になっていた。(特開平11−214744号公報)
図7は、従来のモノリシックLEDの例を示す。n−GaAs基板(4)上にTeドープのn−GaAsP(5)を成長させ、Znドープでp−GaAsP(6)を形成する。これはLPH用LEDとして用いられてきたが高出力化が難しく、光出力のビークコントロール等出来なかった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、単結晶基板上に部分的に機能層を設け、この機能層を覆うように絶縁層を形成し、機能層の構成要素の選択と絶縁層の形状により光出力の向上、特性改善を行うものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第1に、半導体単結晶からなる基板と、前記基板の上部にランド状又はストライプ状にして1つ或いは複数個設けた機能層と、前記機能層の上部を覆うように配置した絶縁層と、前記絶縁層を覆うように設けたコンタクト層と、前記コンタクト層の上部に設けたPN接合よりなる発光層とから構成したものである。
【0005】
第2に、前記機能層を吸収層としたものである。
【0006】
第3に、前記機能層を反射層としたものである。
【0007】
第4に、前記機能層を反射層として上方向へ反射させると共に、傾斜を持たせて横方向に光出力するものである。
【0008】
第5に、裏面に電極をもつ半導体単結晶からなる基板と、前記基板の上部にランド状又はストライプ状に設けた機能層と、前記機能層の上部を覆うように配置した絶縁層と、前記絶縁層を覆うように設けたコンタクト層と、前記コンタクト層の上部又は上方に設けられた発光層と、クラッド層、コンタクト層、上部電極とからなるものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例を図面に基づいて説明する。図1は本発明の実施例を示すレーザの断面図、図2は同じくレーザの他の実施形態を示す断面図、図3は同じく発光素子の実施形態を示す断面図、図4は同じく発光素子の他の実施形態を示す断面図、図5は同じくモノリシックタイプの発光素子の実施形態を示す断面図である。
【0010】
図1〜図4に記載した本発明のレーザや発光素子は基本的には以下のような構成となっている。具体的には図1において、
N−GaNの基板(7)の上面中央部に機能層(8)を設け、GaAs単結晶を成長させて、この機能層を吸収層として形成する。この場合の単結晶の成長は、格子定数が合わないため結晶性が良くない108〜1010cm−2の転位のあるものとなる。
【0011】
N−GaNの基板(7)上にスパッタ技術を用いてSiO2膜を形成し、中央部分のN−GaNが出るようにエッチングを行いGaAs(ノンドープ)を成長させるSiO2を除き、GaAs層を包み込むようにSiO2の絶縁層(9)を形成し、不要部分を除去して機能層(8)(吸収層GaAs)と絶縁層(9)を形成する。
【0012】
この絶縁層の上面に、N−GaNのコンタクト層(10)と、N−GaAINのクラッド層(11)と、InGaNの発光層(12)と、P−GaAINのコンタクト層(13)と、P−GaNのコンタクト層(14)をCVD法等の周知の単結晶成長法を利用して順次成長させ、基板の下面にN電極(15)、P−GaN層(14)の上面にP電極(16)を設ける。
【0013】
N−GaAlNのクラッド層(11)の外側に該クラッド層よりも屈折率が高く発光波長に対して透明なN−GaNのコンタクト層(10)があるため、該コンタクト層への導波モードしみ出しが大きく垂直横モードに影響を与える。コンタクト層を厚くすればよいが、結晶成長の制限があること及び厚くするとクラックが入る不具合がある。
【0014】
図1によると、GaAsの機能層(8)は吸収層として作用し、この光を吸収するため特性に影響ない。成長したGaAsは結晶性が悪くなるが、吸収層としては十分であり、また、絶縁層(9)に覆われているため結晶成長に影響はない。
【0015】
また、絶縁層(9)の上面は、N−GaNのコンタクト層(10)の単結晶が横方向に成長するため、1/20〜1/33に転位が改善され、N−GaNのコンタクト層(10)の厚みが薄くても良くなり、クラックを生じることがなくなり発光層(12)の結晶性も向上する。
【0016】
この結果、図6の従来例にくらべて光出力特性が大きく改善される。
【0017】
図2は本発明の別の実施例で、光出力を基板(1)の上部へ出力する面発光レーザの例を示す。機能層としてAl単結晶をN−GaNの基板(1)上にスパッタ技術によりSiO2膜を形成し、中央部をN−GaNの基板が出るようにエッチング行い、この上にSiO2膜をマスクとして成長させる。SiO2膜の除去後にはSiO2の絶縁層(9)がAl単結晶を覆うように成形し、不要部分を除去して機能層(8)(Al単結晶による反射層)と絶縁層(9)を形成する。
【0018】
青色発光領域を略400nmにおいて、多層膜よりなるブラッグ反射層は反射率50%まで低下するのに対しAl単結晶は90%以上で1.5倍以上の高出力化ができる。図2に示すN−GaNのコンタクト層(10)の成長においても絶縁層(9)上は横方向の成長を行い、図1と同様な結晶性の改善がある。
【0019】
この場合、Al単結晶の分解温度は高くないが、絶縁層(9)が保護層として働き、耐湿性等も改善される。
【0020】
図3は本発明の別の実施例である発光素子の実施形態を示しており、機能層(8)はAl単結晶であり図2と同様に働く。
【0021】
図4は本発明の別の実施例である発光素子を示す。形成方法は図3と同一で、機能層(8)は、Al単結晶にて反射層として働くが絶縁層(9)の形状を変えることによりチップ光分布を変えることができる。絶縁層(9)にレンズ効果をもたせ集光、拡散をさせることもできる。
【0022】
チップ光の指向性は、図4に示すチップ内部の機能層、絶縁層の位置、大きさ、形状により任意に決定することができる。
【0023】
この結果、外囲器のレンズ形状を一定にしてチップにより指向性をコントロールするため、精度が上がり、輝度を一定に(指向性により変わっていた)することができる。また、屋外用表示器等に要求される視向角をコントロールできる、などの効果がある。
【0024】
図5は本発明の別の実施例を示し、N−GaAsの基板(17)上にSiO2をスパッタリング技術により形成し、エッチング技術を用いて発光部の下部をエッチングする。その後、Al単結晶をN−GaAsの基板上に成長させ、SiO2を除去した後、SiO2の絶縁層(18)を機能層(19)(Al単結晶反射層)を覆うように成形し、不要部分を除去して機能層と絶縁層を形成する。機能層の巾W、発光層までの距離Lに基づき出力光のビーム形状をコントロールする。絶縁層は反射層(屈折率1.4)として働く。
【0025】
絶縁層(18)の上部は、N−GaAsPのコンタクト層(20)が横方向に成長するため、従来106cm−2の転位が3×104cm−2に改善される。
【0026】
結晶性の改善と反射層の形成により低VF化に加えて光出力を図7に比べて約2.5倍となる。反射層の巾、発光層からの距離により出力光のビームコントロールできるようになる。また、絶縁層により、機能層−反射層は保護される。
【0027】
【発明の効果】
本発明によると、機能層の機能して、レーザの場合は上方の発光層からの光モレを吸収し、モノリシックの発光素子の場合は発光素子の場合は上方の発光層からの光を反射させると共に上方の発光層からの光分布をコントロールする。
【0028】
また、レーザの場合は上方の発光層からの光の半透過(レーザ共振器の端面形成、面発光レーザ)などがあり、絶縁層は、結晶成長時に横方向に成長、機能層の保護、電流拡散層と反射層のレンズとして集光、拡散、発光分布コントロールできる。
【0029】
また、基板からの転位防止や機能層による結晶成長の影響防止のために、発光層を単一量子構造、多重量子井戸構造としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示すレーザの断面図である。
【図2】同じくレーザの他の実施形態を示す断面図である。
【図3】は同じく発光素子の実施形態を示す断面図である。
【図4】同じく発光素子の他の実施形態を示す断面図である。
【図5】同じくモノリシックタイプの発光素子の実施形態を示す断面図である。
【図6】従来の青色LEDの例を示す断面図である。
【図7】従来のモノリシックLEDの例を示す断面図である。
【符号の説明】
7 基板
8 機能層
9 絶縁層
10 コンタクト層
11 クラッド層
12 発光層
13 コンタクト層
14 コンタクト層
Claims (5)
- 半導体単結晶からなる基板と、前記基板の上部にランド状又はストライプ状にして1つ或いは複数個設けた機能層と、前記機能層の上部を覆うように配置した絶縁層と、前記絶縁層を覆うように設けたコンタクト層と、前記コンタクト層の上部に設けたPN接合よりなる発光層とから構成したことを特徴とする光半導体素子。
- 前記機能層を吸収層としたことを特徴とする1項記載の光半導体素子。
- 前記機能層を反射層としたことを特徴とする1項記載の光半導体素子。
- 前記機能層を反射層として上方向へ反射させると共に、傾斜を持たせて横方向に光出力することを特徴とする1項記載の光半導体素子。
- 裏面に電極をもつ半導体単結晶からなる基板と、前記基板の上部にランド状又はストライプ状に設けた機能層と、前記機能層の上部を覆うように配置した絶縁層と、前記絶縁層を覆うように設けたコンタクト層と、前記コンタクト層の上部又は上方に設けられた発光層と、クラッド層、コンタクト層、上部電極を具備したことを特徴とする光半導体素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002209677A JP2004055741A (ja) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | 光半導体素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002209677A JP2004055741A (ja) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | 光半導体素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004055741A true JP2004055741A (ja) | 2004-02-19 |
Family
ID=31933464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002209677A Pending JP2004055741A (ja) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | 光半導体素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004055741A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006109840A1 (en) * | 2005-04-07 | 2006-10-19 | Showa Denko K.K. | Production method of group iii nitride semioconductor element |
JP2007258337A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP2008300719A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Nichia Corp | 半導体発光素子およびその製造方法 |
-
2002
- 2002-07-18 JP JP2002209677A patent/JP2004055741A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006109840A1 (en) * | 2005-04-07 | 2006-10-19 | Showa Denko K.K. | Production method of group iii nitride semioconductor element |
JP2007258337A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP2008300719A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Nichia Corp | 半導体発光素子およびその製造方法 |
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