JP2004047851A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】素子分離埋め込み酸化膜を有する半導体装置の製造方法において、シリコン半導体基板に分離溝を形成した後に、同一のプラズマCVD装置を用いて、処理条件(デポジション/スパッタリング比)を変更した複数回の連続した成膜処理を実行することにより、前記分離溝に埋め込み酸化膜を埋設する。
【選択図】 図6
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体装置の製造方法に係る発明であって、特に、半導体基板に形成される溝内に素子分離埋め込み酸化膜を形成するための半導体装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、DRAM(Dynamic Random Access Memory)をはじめとする半導体装置では、集積化された素子間を電気的に分離することが重要な要素の一つとなっている。また、当該素子分離において、分離性能の向上と分離間隔の縮小が必要となってきている。
【0003】
よって、上記の要請に応えるべく、様々な素子分離膜の形成方法が開発されてきている。
【0004】
以下に、従来より一般的に用いられている埋め込み酸化膜による素子分離膜の形成方法を、図14〜図20その断面図に基づいて説明する。
【0005】
はじめに、図14に示すように、シリコン基板100上に第一の絶縁膜101を成膜した後、第二の絶縁膜102を成膜する。
【0006】
次に、図15に示すように、第二の絶縁膜102上にレジスト103を塗布し、写真製版により、当該レジスト103に所定の分離溝のパターンをパターニングする。
【0007】
次に、図16に示すように、パターニングされたレジスト103をマスクとして、第二の絶縁膜102および第一の絶縁膜101をエッチングし、シリコン基板100の上面を露出させた後、当該レジスト103を除去する。
【0008】
次に、図17に示すように、パターニングされた第二の絶縁膜102をマスクとして、前記エッチングにより上面が露出したシリコン基板100をエッチングし、分離溝104を形成する。
【0009】
次に、図18に示すように、分離溝104の側壁および底部に熱酸化による内壁酸化膜105を形成する。
【0010】
次に、図19に示すように、内壁酸化膜105が形成された分離溝の内部にHDP−CVD(高密度プラズマ化学気相成長)法により、埋め込み酸化膜106を埋設する。
【0011】
最後に、図20に示すように、CMP(Chemical Mechanical Polishing)技術により、分離溝部分以外の埋め込み酸化膜106を除去し、その後、エッチング処理により第二の絶縁膜102および第一の絶縁膜101を除去した後、フッ化水素酸処理により、埋め込み酸化膜106の平坦化を行う。
【0012】
以上の工程により、酸化膜105,106よりなる素子分離埋め込み酸化膜を形成していた。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体装置の駆動能力および高集積度確保のため、素子分離膜の減少が必要となってきており、例えば、256MDRAM級のデバイスでは0.1μmレベルに迫りつつある。
【0014】
しかし、上記の形成方法のHDP−CVD法を用いたとしても、上記微小サイズ(0.1μmレベル)の分離溝に埋め込み酸化膜106の埋設を完全な形で行うことが不可能となってきており、結果として、図21に示すように、シリコン基板100表面位置に埋め込み不良107(ボイド)が発生してしまう。
【0015】
そこで、この発明は、シリコン基板の分離溝内に埋め込み不良が生じることなく埋め込み酸化膜106を埋設することができる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る請求項1に記載の半導体装置の製造方法は、素子分離膜を有する半導体装置の製造方法において、(a)半導体基板に分離溝を形成する工程と、(b)同一のプラズマCVD装置を用いて、処理条件を変更した複数回の連続した成膜処理を実行することにより、前記分離溝に埋め込み酸化膜を埋設する工程とを備えている。
【0017】
また、請求項2に記載の半導体装置の製造方法では、前記工程(b)は、(b−1)比較的低いデポジション/スパッタ比により前記分離溝に酸化膜を成膜する第一の工程と、(b−2)前記工程(b−1)後に、比較的高いデポジション/スパッタ比により前記分離溝に酸化膜を成膜する第二の工程とを備えていてもよい。
【0018】
また、請求項3に記載の半導体装置の製造方法では、前記工程(b)は、(b−3)比較的高いデポジション/スパッタ比により前記分離溝に酸化膜を成膜する第一の工程と、(b−4)前記工程(b−3)後に、比較的低いデポジション/スパッタ比により前記分離溝に酸化膜を成膜する第二の工程とを備えていてもよい。
【0019】
また、請求項4に記載の半導体装置の製造方法では、前記工程(b−3)は、不純物を含有することによりリフロー性のある埋め込み酸化膜を成膜する工程であってもよい。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、この発明をその実施の形態を示す図面に基づいて具体的に説明する。
【0021】
<実施の形態1>
本実施の形態における素子分離膜の形成方法、つまり、半導体基板に形成された分離溝に埋め込み酸化膜を埋設する方法を、図1〜図9の断面図に基づいて説明する。
【0022】
はじめに、図1に示すように、シリコン半導体基板1上に第一の絶縁膜2を成膜した後、第二の絶縁膜3を成膜する。ここで、本実施の形態では、第二の絶縁膜3としてCVD(化学気相成長)法により成膜された窒化膜を採用しており、当該窒化膜と半導体基板1との間のストレス(応力)を緩和する目的で第一の絶縁膜2としてシリコン酸化膜を採用している。
【0023】
次に、図2に示すように、第二の絶縁膜3上にレジスト4を塗布し、写真製版により、当該レジスト4に所定の分離溝のパターンをパターニングする。
【0024】
次に、図3に示すように、パターニングされたレジスト4をマスクとして、第二の絶縁膜3および第一の絶縁膜2をエッチングし、半導体基板1の上面を露出させた後、当該レジスト4を除去する。
【0025】
次に、図4に示すように、前記エッチングによりパターニングされた第二の絶縁膜3をマスクとして、前記エッチングにより上面が露出した半導体基板1をエッチングし、深さが約300nmの分離溝5を形成する。
【0026】
次に、図5に示すように、分離溝5の側壁および底部に熱酸化による内壁酸化膜6を約35nmの厚さで形成する。これは、分離溝5形成のためのエッチング処理により発生した半導体基板1の結晶欠陥を回復させるために必要なものである。
【0027】
次に、図6に示すように、内壁酸化膜6が形成された分離溝5の内部にHDP−CVD(高密度プラズマ化学気相成長)法により、埋め込み酸化膜7を途中まで埋設する(第一の埋め込み工程)。
【0028】
ここで、本実施の形態において例えば0.15μmサイズの素子分離膜を形成するのであれば、当該第一の埋め込み工程は、バイアス約3700W、デポジション/スパッタリング比(D/S比)約2.3の条件にHDP−CVD装置を設定して、埋め込み酸化膜7の埋設を行う。
【0029】
第一の埋め込み工程において、上記条件でスパッタリングを行いながらデポジション処理を施すことにより、内壁酸化膜6を形成することにより増大したアスペクト比の低減を可能としている。
【0030】
ここで、10μmサイズ以上の広い素子分離膜の形成の際には、上記第一の埋め込み工程を適用すると、図6に示す分離溝の半導体基板1の肩部8においてはスパッタリング成分が強くなり酸化膜のスパッタリングが起こるので、当該スパッタリングが半導体基板1の肩部8まで達しないように第一の埋め込み工程の時間を調整する必要がある。
【0031】
次に、図7に示すように、図6の分離溝5の内部にHDP−CVD法により、埋め込み酸化膜8をさらに埋設し、分離溝5の底上げを行う(第二の埋め込み工程)。
【0032】
ここで、本実施の形態において例えば0.15μmサイズの素子分離膜を形成するのであれば、当該第二の埋め込み工程は、バイアス約1300W、デポジション/スパッタリング比(D/S比)約5.0以上の条件にHDP−CVD装置を設定して、埋め込み酸化膜8の埋設を行う。
【0033】
第一の埋め込み工程において、分離溝5のアスペクト比が低減されているので、当該第二の埋め込み工程では比較的容易に埋め込み酸化膜8の埋設を行うことができる。
【0034】
ここで、第二の埋め込み工程は分離溝5の底上げ、つまりデポジションメインの工程であるので、埋設される埋め込み酸化膜8上面等の均一性は考慮されていない。そこで、図8に示すように第二の埋め込み工程後の分離溝5に、下記条件のHDP−CVD法により埋め込み酸化膜9の埋設をさらに行う(第三の埋め込み工程)。
【0035】
ここで、本実施の形態において例えば0.15μmサイズの素子分離膜を形成するのであれば、当該第三の埋め込み工程は、バイアス約3500W、デポジション/スパッタリング比(D/S比)約3.5程度の条件にHDP−CVD装置を設定して、埋め込み酸化膜9の埋設を行う。
【0036】
第三の埋め込み工程において高バイアス条件を採用することにより、比較的高温での埋め込み酸化膜9の埋設が行われるので、当該埋め込み酸化膜9の焼き締め効果(密度性の向上)を得ることができる。
【0037】
以上、第一〜三の埋め込み工程により分離溝5への埋め込み酸化膜の埋設・成膜は完了する。ここで、上記第一〜三の埋め込み工程では、当該工程間にCMP等による埋め込み酸化膜の平坦化処理を間に入れなくとも、当該埋め込み酸化膜の埋設が行えるので、途中で試料を出し入れすることなくHDP−CVD装置の同一チャンバー内において連続的に当該第一〜三の埋め込み工程を施すことが望ましい。
【0038】
このように同一装置内で一連の埋め込み工程を連続的に施すことにより、工程の簡略化が望める。
【0039】
最後に、図9に示すように、CMP(Chemical Mechanical Polishing)技術により、分離溝部分以外の埋め込み酸化膜9を除去し、その後、例えばウェットエッチング処理により第二の絶縁膜3および第一の絶縁膜2を除去した後、フッ化水素酸処理により、埋め込み酸化膜9の平坦化を行う。
【0040】
以上の工程により、半導体基板1の上面内に素子分離膜10が完成する。
【0041】
本実施の形態に示す素子分離膜10の形成方法を採用することにより、第一の埋め込み工程より、半導体基板1の肩部8等の酸化膜のスパッタリングを行うことにより、分離溝のアスペクト比を軽減させることできるので、その後の第二、第三の埋め込み工程において、半導体基板1表面内の埋め込み不良(ボイド)の発生を防止することができる。
【0042】
なお、第一の埋め込み工程において、図10に示すように分離溝5内部に空隙11が形成されても、当該空隙11の位置が半導体基板1の表面位置より下に存在することとなるので、完成する素子分離膜の性能を劣化させることはない。それどころか、例えば、分離溝のアスペクト比が大きい段階での第一の埋め込み工程において、空隙の発生を気にする必要がないので、埋設処理をより容易に行うことができる。
【0043】
<実施の形態2>
本実施の形態の製造方法は、実施の形態1よりもサイズの小さい素子分離膜を形成する場合に有効な方法である。以下より、本実施の形態の半導体装置の製造方法を、その断面図に基づいて具体的に説明する。
【0044】
ここで、実施の形態1で説明した図1〜4までの製造工程は、本実施の形態の製造方法においても同様なので、ここでの説明は省略する。
【0045】
さて、本実施の形態においては素子分離膜サイズの縮小化に合わせて、図11に示すように、分離溝5の側壁および底部に熱酸化による内壁酸化膜16を約25nmの厚さで形成する。これは、分離溝5形成のためのエッチング処理により発生した半導体基板1の結晶欠陥を回復させるために必要なものである。
【0046】
次に、図12に示すように、内壁酸化膜16が形成された分離溝5の内部に、下記の条件でのHDP−CVD法により、埋め込み酸化膜17を途中まで埋設する(第一の埋め込み工程)。
【0047】
ここで、本実施の形態において例えば0.10μmサイズの素子分離膜を形成するのであれば、当該第一の埋め込み工程は、バイアス約2500W、デポジション/スパッタリング比(D/S比)約5.6程度の条件にHDP−CVD装置を設定して、埋め込み酸化膜17の埋設を行う。
【0048】
本実施の形態の第一の埋め込み工程において、デポジションに対するスパッタリングの割合を低く抑えているのは、素子分離膜の縮小化に伴い内壁酸化膜16の膜厚を薄く形成されているので、スパッタリングの割合を抑え、半導体基板1へのスパッタリングを防止するためである。
【0049】
次に、図13に示すように、図12の分離溝5の内部を下記条件でのHDP−CVD法により、埋め込み酸化膜18をさらに埋設し、分離溝5の底上げを行う(第二の埋め込み工程)。
【0050】
ここで、本実施の形態において例えば0.10μmサイズの素子分離膜を形成するのであれば、当該第二の埋め込み工程は、バイアス約3700W、デポジション/スパッタリング比(D/S比)約2.3程度の条件にHDP−CVD装置を設定して、埋め込み酸化膜18の埋設を行う。
【0051】
第一の埋め込み工程において、デポジションメインの埋め込み酸化膜17の埋設を行ったので、分離溝5のアスペクト比が増加している。そこで、当該第二の埋め込み工程ではスパッタリングの割合を増加させ、アスペクト比を軽減を行いつつ埋め込み酸化膜18を埋設させる。
【0052】
次に、実施の形態1と同様に、図8に示すように、第二の埋め込み工程後の分離溝5に、下記条件のHDP−CVD法により埋め込み酸化膜19の埋設をさらに行う(第三の埋め込み工程)。
【0053】
ここで、当該第三の埋め込み工程は、バイアス約3500W、デポジション/スパッタリング比(D/S比)約3.5程度の条件にHDP−CVD装置を設定して、埋め込み酸化膜19の埋設を行う。
【0054】
第三の埋め込み工程において高バイアス条件を採用することにより、比較的高温での埋め込み酸化膜19の埋設が行われるので、当該埋め込み酸化膜19の焼き締め効果を得ることができる。
【0055】
以上、第一〜三の埋め込み工程により分離溝5への埋め込み酸化膜の埋設・成膜は完了する。ここで、当該一連の埋め込み工程は、同一チャンバー内での連続デポジションにより行われる。
【0056】
ここで、第二の埋め込み工程を引き続き続行させることにより、焼き締めを行いつつ図8に示す状態まで完全に埋め込み酸化膜を埋設・成膜させることも可能であるが、当該工程は、第一の埋め込み工程後における分離溝5のアスペクト比の軽減、つまりスパッタ比の割合を多少大きく取った工程であるので、完全に埋め込み酸化膜が埋設・成膜されるまでには長い時間を要する。
【0057】
そこで、第三の埋め込み工程に切り替えることにより、より短時間で埋め込み酸化膜の埋設・成膜を達成することができる。
【0058】
最後に、図9に示すように、CMP(Chemical Mechanical Polishing)技術により、分離溝部分以外の埋め込み酸化膜19を除去し、その後、例えばウェットエッチング処理により第二の絶縁膜3および第一の絶縁膜2を除去した後、フッ化水素酸処理により、埋め込み酸化膜19の平坦化を行う。
【0059】
以上の工程により、半導体基板1の上面内に素子分離膜10が完成する。
【0060】
本実施の形態に示す素子分離膜10の形成方法を採用することにより、第一の埋め込み工程より、半導体基板1へのスパッタリングの影響を防止しつつ埋め込み酸化膜17を途中まで埋設し、第二の埋め込み工程において半導体基板1の肩部等の酸化膜のスパッタリングを行うことにより、分離溝のアスペクト比を軽減させることできるので、その後の第三の埋め込み工程において(第二の埋め込み工程を続行しても良い)、半導体基板1表面内の埋め込み不良(ボイド)の発生を防止することができる。
【0061】
なお、第一の埋め込み工程において、図10に示すように分離溝5内部に空隙11が形成されても、当該空隙11の位置が半導体基板1の表面より下に存在することとなるので、完成する素子分離膜の性能を劣化させることはない。
【0062】
また、本実施の形態の第一の埋め込み工程において、PH3またはB2H6等を原料ガスに混入し、分離溝5に埋め込み酸化膜17を埋設させることにより、リン(P)またはボロン(B)を含むリフロー性のある埋め込み酸化膜17の埋設となるので、分離溝5の側面における埋め込み酸化膜17のデポジションを軽減すると伴に、その分、分離溝5の底部への埋め込み酸化膜17のデポジションが促進されることとなり、第一の埋め込み工程後の分離溝5のアスペクト比をより軽減させることができる。したがって、その後の埋め込み工程をより容易に行うことができる。
【0063】
【発明の効果】
本発明の請求項1に記載の半導体装置の製造方法は、素子分離膜を有する半導体装置の製造方法において、(a)半導体基板に分離溝を形成する工程と、(b)同一のプラズマCVD装置を用いて、処理条件を変更した複数回の連続した成膜処理を実行することにより、前記分離溝に埋め込み酸化膜を埋設する工程とを備えているので、分離溝のアスペクト比の減少をさせつつ、分離溝への埋め込み酸化膜の埋設を施すことができる。
【0064】
本発明の請求項2に記載の半導体装置の製造方法では、前記工程(b)は、前記工程(b)は、(b−1)比較的低いデポジション/スパッタ比により前記分離溝に酸化膜を成膜する第一の工程と、(b−2)前記工程(b−1)後に、比較的高いデポジション/スパッタ比により前記分離溝に酸化膜を成膜する第二の工程とを備えているので、例えばサイズが比較的大きい(約0.15μmサイズ)素子分離膜を形成するときに、埋め込み不良が発生することがない。
【0065】
本発明の請求項3に記載の半導体装置の製造方法では、前記工程(b)は、(b−3)比較的高いデポジション/スパッタ比により前記分離溝に酸化膜を成膜する第一の工程と、(b−4)前記工程(b−3)後に、比較的低いデポジション/スパッタ比により前記分離溝に酸化膜を成膜する第二の工程とを備えているので、例えばサイズが比較的小さい(約0.10μmサイズ)素子分離膜を形成するときに、埋め込み不良が発生することがない。
【0066】
本発明の請求項4に記載の半導体装置の製造方法では、前記工程(b−3)は、不純物を含有することによりリフロー性のある埋め込み酸化膜を成膜する工程であるので、分離溝のアスペクト比を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態1における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図2】実施の形態1における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図3】実施の形態1における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図4】実施の形態1における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図5】実施の形態1における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図6】実施の形態1における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図7】実施の形態1における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図8】実施の形態1における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図9】実施の形態1における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図10】内部に空隙を有する素子分離膜の形成途中の様子を示す断面図である。
【図11】実施の形態2における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図12】実施の形態2における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図13】実施の形態2における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図14】従来の技術における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図15】従来の技術における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図16】従来の技術における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図17】従来の技術における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図18】従来の技術における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図19】従来の技術における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図20】従来の技術における素子分離膜の形成方法を示す断面図である。
【図21】半導体基板の表面内の素子分離膜内に埋め込み不良が形成されている様子を示す断面図である。
【符号の説明】
1 半導体基板、2 第一の絶縁膜、3 第二の絶縁膜、5 分離溝、6,16 内壁酸化膜、7,8,9,17,18 埋め込み酸化膜、10 素子分離膜、11 空隙。
Claims (4)
- 素子分離膜を有する半導体装置の製造方法において、
(a)半導体基板に分離溝を形成する工程と、
(b)同一のプラズマCVD装置を用いて、処理条件を変更した複数回の連続した成膜処理を実行することにより、前記分離溝に埋め込み酸化膜を埋設する工程とを、
備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記工程(b)は、
(b−1)比較的低いデポジション/スパッタリング比により前記分離溝に酸化膜を成膜する第一の工程と、
(b−2)前記工程(b−1)後に、比較的高いデポジション/スパッタリング比により前記分離溝に酸化膜を成膜する第二の工程とを備える、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(b)は、
(b−3)比較的高いデポジション/スパッタリング比により前記分離溝に酸化膜を成膜する第一の工程と、
(b−4)前記工程(b−3)後に、比較的低いデポジション/スパッタリング比により前記分離溝に酸化膜を成膜する第二の工程とを備える、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(b−3)は、
不純物を含有することによりリフロー性のある埋め込み酸化膜を成膜する工程である、
ことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
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