JP2004018283A - セラミックス耐火板 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数個の成形体を突き合わせて炉内鑞付けするときに敷板として用いる耐火板であって、熱変形が少なく、鑞付けして得られる部品の変形、寸法精度の悪化を抑えて不良発生率を下げ得るものを提供する。
【解決手段】耐火板10をSi3 N4 を主成分とするセラミックスで形成する。また、好ましくはその耐火板の厚みを7mm以上とし、上面の外周部に部品の変形防止効果を高めるテーパ面14を設ける。
【選択図】 図2
【解決手段】耐火板10をSi3 N4 を主成分とするセラミックスで形成する。また、好ましくはその耐火板の厚みを7mm以上とし、上面の外周部に部品の変形防止効果を高めるテーパ面14を設ける。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、複数個の成形体を突き合わせ、加熱炉内で突き合わせ面を鑞付けするときに敷板として用いるセラミックス耐火板に関する。
【0002】
【従来の技術】
焼結部品の製造過程において、粉末成形体を複数個突き合わせて加熱炉に導入し、焼結と同時に各成形体の突き合わせ面を炉中鑞付けして一体化された部品を得る方法が実用化されている。
【0003】
この方法では、焼結材製のリングなどを敷板にしてその敷板上に成形体を載せ、これをネットコンベヤなどを用いて加熱炉に導入する。
【0004】
成形体を敷板に載せて焼結する方法は、発明協会発行の公開技報、公技番号84−003134や特開平5−195017号公報にも示されている。
【0005】
前者の公開技報に示される方法は、中央に突起と穴を設け、外径寸法を成形体よりも小さくしたセラミックス製敷板を用いることで冷却流体の流れを妨げないようにして部品の特に外径側の歪を小さくする。
【0006】
また、後者の公開公報に示される方法は、温度300K及び1200Kにおける熱伝導率と温度1200Kにおける比熱が限定されたセラミックス板を敷板として用いることで炉内温度分布の発生を抑えて焼結による部品の歪を小さくする。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来、炉内鑞付け時に敷板として用いていた焼結材は、部品焼結時の熱で変形し(反りを生じる)、その影響を受けて部品も変形し、不良品が生じる。
【0008】
焼結と同時に鑞付けを行う部品のひとつに、自動車などの自動変速機に用いられるプラネタリギヤ用のキャリアがある。そのプラネタリキャリアの一例を図8に示す。図示のプラネタリキャリア1は、片側の端板になるプレート2aの一面に凹んだ3個のブリッジ接合面2bを設け、さらに、プレート2aを貫通する鑞材供給孔2cとプレートの他面に突出するボス部2dを設けた第1成形体2と、他側の端板になるプレート3aに軸方向に延び出す3個のブリッジ3bと、サンギヤ導入用の孔3cを設けた第2成形体3とから成る。
【0009】
このプラネタリキャリア1は、ブリッジ3bをブリッジ接合面2bに突き合わせて図9に示すように第2成形体3上に第1成形体2を重ね、さらに、鑞材供給孔2cに鑞材を入れ、これを敷板に載せて炉内で焼結する。そして、その焼結時に溶けた鑞材で第1、第2成形体2、3を接合して一体化する。
【0010】
このプラネタリキャリアなどは、敷板が熱変形して反ると、敷板に接したプレート3aが敷板の上面に沿うように変形する。そのプレート3aの変形によりブリッジ3bが傾き、突き合わせの位置や姿勢が変動して第1、第2成形体のプレート間寸法(窓幅)Wが狂うため、不良品が発生する。
【0011】
そこで、前述の公開技報や公開公報に示されるセラミックス製の敷板を用いることを検討したが、従来のセラミックス板では製品の不良率低減に関して満足な結果が得られていない。
【0012】
以上の事情から炉内鑞付け時に生じる部品の変形をより小さく抑えられる敷板用の耐火板が望まれている。
【0013】
この発明は、その要求に応えることを課題としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、この発明においては、成形体の鑞付け時に敷板として用いる耐火板をSi3 N4 を主成分とするセラミックスで形成した。
【0015】
また、より好ましい形態として、その耐火板の外径寸法を、耐火板に載せる成形体の外径寸法と同等又はそれ以上とし、この耐火板の外周部に、成形体の外径よりも中心側から径方向外方に向かって上面位置を低下させるテーパを形成した。
【0016】
なお、テーパを付した耐火板、付していない耐火板のどちらも板厚は7mm以上とするのがよい。
【0017】
また、テーパ付き耐火板は、テーパの内端位置の直径をφZ、成形体相互の連結部の内径をφC、外径をφBとしたとき、φC<φZ<(φB−φC)/2の条件を満足させると好ましい。さらにテーパの勾配を2/1000〜8/1000とする、或いはテーパを上下両面に形成するのも好ましい。
【0018】
【作用】
Si3 N4 を主成分とするセラミックスは、熱膨張率がAl2 O3 、AlN、SiCなどを主成分とするセラミックスよりも更に小さく、加熱時の変形がより小さく抑えられる。これにより、炉内鑞付けして作られる部品の変形も小さくなり、製品の不良発生率が下がる。
【0019】
耐火板をSi3 N4 を主成分とするセラミックスで形成することと併せてその耐火板の上面の外周部にテーパを形成したものは、耐火板の外周部が熱変形して反り上っても、成形体との間にテーパによる隙間が生じているため成形体にこれを持ち上げようとする力が強く働かない。従って、部品の変形、それによる突き合わせの位置、姿勢の変動がテーパ無しの場合よりも小さく抑えられ、図9の窓幅Wが精度良く安定して不良品の発生率が更に小さくなる。
【0020】
なお、テーパの勾配が小さ過ぎるとテーパ設置の効果が不十分になり、一方、その勾配が大き過ぎると成形体の外周側が耐火板から完全に浮いて支持不良による部品の変形が起こるので、テーパの勾配は2/1000〜8/1000程度にするのがよい。
【0021】
このテーパを上下両面に設けると表裏(上下)の関係が無くなり、上下面を見間違えることによる耐火板の誤使用が起こらない。
【0022】
また、耐火板の厚みを7mm以上にすると変形の蓄積による精度低下が抑えられ、繰り返し使用に対する耐久性も確保される。
【0023】
【発明の実施の形態】
図1に、この発明の実施形態を示す。このセラミックス耐火板10は、Si3 N4 の含有量が97〜99重量%(残部は結合材や不可避不純物)の材料で形成されている。
【0024】
このセラミックス耐火板10は、厚みtを7mm以上にして全域でその厚みを一定させており、上面11と下面12が全域で平行になっている。また、外観は円盤状であり、図4に示すように外径φDは、その上に載せる成形体20の外径φAと同等又はそれ以上とし、中心に位置決め用のロッドを挿入する孔13を設けている。
【0025】
図2、図3は、より好ましい実施形態である。図2のセラミックス耐火板10は、材質、厚みについては図1の耐火板と同様とし、上面11の外周部に中心側から外周側に向かって上面位置を低下させるテーパ面14を形成している。また、図3のセラミックス耐火板10は、上面のテーパ面14と同じテーパ面14を下面12の外周部にも設けて表裏の関係を無くしている。
【0026】
テーパ面14の内端位置の直径φZ(図4参照)は、その上に載せる成形体が、例えば図8で述べたプラネタリキャリア1の場合、ブリッジ3bの内径φCよりも大、ブリッジ3bの厚み中心部の直径(φB−φC)/2よりも小にするのがよい。テーパ面14の内端位置の直径φZがブリッジ3bの内径φCと同一又はそれよりも小さいと、荷重が最も集中する領域が耐火板10の平坦部から外れ、プレート3aの支持が不安定になって部品が変形し易くなる。また、φZが(φB−φC)/2よりも大きいと、耐火板の熱変形による部品の変形が起こり易くなる。
【0027】
重ねて載せた成形体相互の連結部が例示のブリッジ3bではなく、円筒などである場合にも同じことが言える。
【0028】
以下に、この発明の効果の確認試験結果を記す。試験には、Si3 N4 含有量97重量%以上、図4の直径φD=120mm、内径φd=50mm、厚みt=10mmのセラミックス耐火板を用いた。
【0029】
この耐火板に、図4に示す成形体20をロッド21で位置決めして載せた。成形体20は、Fe−2Ni−0.8Cの組成で成形密度6.9g/cm3 で成形した鉄系焼結金属(成形体2)と、Fe−2Cu−0.8Cの組成で成形密度6.8g/cm3 で成形した鉄系焼結金属(成形体3)を組み合わせ、鉄系焼結金属の成形体2に設けた貫通孔にFe−Mn−Ni−Cu系の鑞材チップを挿入したものを耐火板上にセットした。そして、これを加熱炉に導入し、1130℃前後に加熱して焼結と同時に鑞付けを行った。
【0030】
成形体20の寸法諸元は、図4に示す外径φA=120mm、ブリッジ部外径φB=103mm、ブリッジ部内径φC=52mmである。
【0031】
なお、ここで用いた成形体20は、図を簡略化したが、図8で述べたプラネタリキャリアである。
【0032】
−評価試験1−
上記のセラミックス耐火板について、先ずテーパ面14の勾配(μm/mm)=5/1000としてそのテーパ面14の内端位置(直径φZ)が製品の精度にどのような影響を与えるかを調べた。その結果を図5に示す。この図5は、窓幅Wの誤差が±0.15mmの範囲内にあるものを良品、その範囲から外れたものを不良品として良品率を求めている。これから判るように、φZ≧(φB−φC)/2の場合は良品率が95%程度であり、また、φZ≦φCの場合は良品率が90%程度と更に悪くなっているのに対し、φZをφCよりも大、(φB−φC)/2よりも小としたときに100%近い良品率が得られている。
【0033】
−評価試験2−
次に、テーパ面14の有無と、φC<φZ<(φB−φC)/2の条件下でのテーパ勾配の大きさの影響について調べた。その結果を図6に示す。この試験ではテーパ勾配が2/1000〜8/1000の範囲にあるときに最も高い99.7%以上の良品率が得られている。
【0034】
−評価試験3−
耐火板の厚みtを変えてその厚みと製品の平面度の関係を調べた。平面度は、耐火板に接触する面F(図4)の高低差を求めている。その結果を図7に示す。
【0035】
厚み2mmの耐火板は、割れが生じて用をなさなかった。また、厚み5mmの耐火板は平面度が0.2mm以上であり、さらに数回の使用で変形が大きくなって使用に耐えないものになった。これに対し、厚み7mm以上の耐火板は、製品の平面度が0.2mm以下に抑えられ、繰り返し使用に関する耐久性にも問題がなかった。
【0036】
なお、この発明の耐火板は、炉内鑞付けのみを行うときの敷板としても利用できる。
【0037】
【発明の効果】
以上述べたように、この発明の耐火板は、Si3 N4 を主成分とするセラミックスで形成したので、炉内での熱変形が従来のセラミックス板よりも小さく抑えられ、それを敷板にして炉内鑞付けする部品の変形、精度低下による不良発生を減少させることができる。
【0038】
耐火板の上面の外周部にテーパを形成したもの、中でも、テーパの勾配を2/1000〜8/1000にしたものや、テーパ面の内端位置の直径φZについてφC<φZ<(φB−φC)/2の条件を成立させたものは、部品の寸法精度の狂いがより小さく抑えられ、不良発生率が更に小さくなる。
【0039】
また、厚みを7mm以上とした耐火板は、割れ等が防止され、繰り返し使用における変形の蓄積も抑制されて耐久性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の耐火板の実施形態を示す断面図
【図2】他の実施形態の断面図
【図3】更に他の実施形態の断面図
【図4】耐火板のテーパの好ましい内端位置の説明図
【図5】テーパの有無及び大きさと鑞付けした部品の良品率との関係を示す図表
【図6】テーパ面の内端位置の直径と良品率との関係を示す図表
【図7】耐火板の厚みと部品の平面度の関係を示す図表
【図8】(a)鑞付けする成形体の一例(プラネタリキャリアを示す分割斜視図)
(b)第2成形体の内面を示す斜視図
【図9】図8の成形体を突き合わせて重ねた状態の側面図
【符号の説明】
1 プラネタリキャリア
2 第1成形体
2a プレート
2b ブリッジ接合面
3 第2成形体
3a プレート
3b ブリッジ
10 セラミックス耐火板
11 上面
12 下面
13 ロッド挿入用の孔
14 テーパ面
【発明の属する技術分野】
この発明は、複数個の成形体を突き合わせ、加熱炉内で突き合わせ面を鑞付けするときに敷板として用いるセラミックス耐火板に関する。
【0002】
【従来の技術】
焼結部品の製造過程において、粉末成形体を複数個突き合わせて加熱炉に導入し、焼結と同時に各成形体の突き合わせ面を炉中鑞付けして一体化された部品を得る方法が実用化されている。
【0003】
この方法では、焼結材製のリングなどを敷板にしてその敷板上に成形体を載せ、これをネットコンベヤなどを用いて加熱炉に導入する。
【0004】
成形体を敷板に載せて焼結する方法は、発明協会発行の公開技報、公技番号84−003134や特開平5−195017号公報にも示されている。
【0005】
前者の公開技報に示される方法は、中央に突起と穴を設け、外径寸法を成形体よりも小さくしたセラミックス製敷板を用いることで冷却流体の流れを妨げないようにして部品の特に外径側の歪を小さくする。
【0006】
また、後者の公開公報に示される方法は、温度300K及び1200Kにおける熱伝導率と温度1200Kにおける比熱が限定されたセラミックス板を敷板として用いることで炉内温度分布の発生を抑えて焼結による部品の歪を小さくする。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来、炉内鑞付け時に敷板として用いていた焼結材は、部品焼結時の熱で変形し(反りを生じる)、その影響を受けて部品も変形し、不良品が生じる。
【0008】
焼結と同時に鑞付けを行う部品のひとつに、自動車などの自動変速機に用いられるプラネタリギヤ用のキャリアがある。そのプラネタリキャリアの一例を図8に示す。図示のプラネタリキャリア1は、片側の端板になるプレート2aの一面に凹んだ3個のブリッジ接合面2bを設け、さらに、プレート2aを貫通する鑞材供給孔2cとプレートの他面に突出するボス部2dを設けた第1成形体2と、他側の端板になるプレート3aに軸方向に延び出す3個のブリッジ3bと、サンギヤ導入用の孔3cを設けた第2成形体3とから成る。
【0009】
このプラネタリキャリア1は、ブリッジ3bをブリッジ接合面2bに突き合わせて図9に示すように第2成形体3上に第1成形体2を重ね、さらに、鑞材供給孔2cに鑞材を入れ、これを敷板に載せて炉内で焼結する。そして、その焼結時に溶けた鑞材で第1、第2成形体2、3を接合して一体化する。
【0010】
このプラネタリキャリアなどは、敷板が熱変形して反ると、敷板に接したプレート3aが敷板の上面に沿うように変形する。そのプレート3aの変形によりブリッジ3bが傾き、突き合わせの位置や姿勢が変動して第1、第2成形体のプレート間寸法(窓幅)Wが狂うため、不良品が発生する。
【0011】
そこで、前述の公開技報や公開公報に示されるセラミックス製の敷板を用いることを検討したが、従来のセラミックス板では製品の不良率低減に関して満足な結果が得られていない。
【0012】
以上の事情から炉内鑞付け時に生じる部品の変形をより小さく抑えられる敷板用の耐火板が望まれている。
【0013】
この発明は、その要求に応えることを課題としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、この発明においては、成形体の鑞付け時に敷板として用いる耐火板をSi3 N4 を主成分とするセラミックスで形成した。
【0015】
また、より好ましい形態として、その耐火板の外径寸法を、耐火板に載せる成形体の外径寸法と同等又はそれ以上とし、この耐火板の外周部に、成形体の外径よりも中心側から径方向外方に向かって上面位置を低下させるテーパを形成した。
【0016】
なお、テーパを付した耐火板、付していない耐火板のどちらも板厚は7mm以上とするのがよい。
【0017】
また、テーパ付き耐火板は、テーパの内端位置の直径をφZ、成形体相互の連結部の内径をφC、外径をφBとしたとき、φC<φZ<(φB−φC)/2の条件を満足させると好ましい。さらにテーパの勾配を2/1000〜8/1000とする、或いはテーパを上下両面に形成するのも好ましい。
【0018】
【作用】
Si3 N4 を主成分とするセラミックスは、熱膨張率がAl2 O3 、AlN、SiCなどを主成分とするセラミックスよりも更に小さく、加熱時の変形がより小さく抑えられる。これにより、炉内鑞付けして作られる部品の変形も小さくなり、製品の不良発生率が下がる。
【0019】
耐火板をSi3 N4 を主成分とするセラミックスで形成することと併せてその耐火板の上面の外周部にテーパを形成したものは、耐火板の外周部が熱変形して反り上っても、成形体との間にテーパによる隙間が生じているため成形体にこれを持ち上げようとする力が強く働かない。従って、部品の変形、それによる突き合わせの位置、姿勢の変動がテーパ無しの場合よりも小さく抑えられ、図9の窓幅Wが精度良く安定して不良品の発生率が更に小さくなる。
【0020】
なお、テーパの勾配が小さ過ぎるとテーパ設置の効果が不十分になり、一方、その勾配が大き過ぎると成形体の外周側が耐火板から完全に浮いて支持不良による部品の変形が起こるので、テーパの勾配は2/1000〜8/1000程度にするのがよい。
【0021】
このテーパを上下両面に設けると表裏(上下)の関係が無くなり、上下面を見間違えることによる耐火板の誤使用が起こらない。
【0022】
また、耐火板の厚みを7mm以上にすると変形の蓄積による精度低下が抑えられ、繰り返し使用に対する耐久性も確保される。
【0023】
【発明の実施の形態】
図1に、この発明の実施形態を示す。このセラミックス耐火板10は、Si3 N4 の含有量が97〜99重量%(残部は結合材や不可避不純物)の材料で形成されている。
【0024】
このセラミックス耐火板10は、厚みtを7mm以上にして全域でその厚みを一定させており、上面11と下面12が全域で平行になっている。また、外観は円盤状であり、図4に示すように外径φDは、その上に載せる成形体20の外径φAと同等又はそれ以上とし、中心に位置決め用のロッドを挿入する孔13を設けている。
【0025】
図2、図3は、より好ましい実施形態である。図2のセラミックス耐火板10は、材質、厚みについては図1の耐火板と同様とし、上面11の外周部に中心側から外周側に向かって上面位置を低下させるテーパ面14を形成している。また、図3のセラミックス耐火板10は、上面のテーパ面14と同じテーパ面14を下面12の外周部にも設けて表裏の関係を無くしている。
【0026】
テーパ面14の内端位置の直径φZ(図4参照)は、その上に載せる成形体が、例えば図8で述べたプラネタリキャリア1の場合、ブリッジ3bの内径φCよりも大、ブリッジ3bの厚み中心部の直径(φB−φC)/2よりも小にするのがよい。テーパ面14の内端位置の直径φZがブリッジ3bの内径φCと同一又はそれよりも小さいと、荷重が最も集中する領域が耐火板10の平坦部から外れ、プレート3aの支持が不安定になって部品が変形し易くなる。また、φZが(φB−φC)/2よりも大きいと、耐火板の熱変形による部品の変形が起こり易くなる。
【0027】
重ねて載せた成形体相互の連結部が例示のブリッジ3bではなく、円筒などである場合にも同じことが言える。
【0028】
以下に、この発明の効果の確認試験結果を記す。試験には、Si3 N4 含有量97重量%以上、図4の直径φD=120mm、内径φd=50mm、厚みt=10mmのセラミックス耐火板を用いた。
【0029】
この耐火板に、図4に示す成形体20をロッド21で位置決めして載せた。成形体20は、Fe−2Ni−0.8Cの組成で成形密度6.9g/cm3 で成形した鉄系焼結金属(成形体2)と、Fe−2Cu−0.8Cの組成で成形密度6.8g/cm3 で成形した鉄系焼結金属(成形体3)を組み合わせ、鉄系焼結金属の成形体2に設けた貫通孔にFe−Mn−Ni−Cu系の鑞材チップを挿入したものを耐火板上にセットした。そして、これを加熱炉に導入し、1130℃前後に加熱して焼結と同時に鑞付けを行った。
【0030】
成形体20の寸法諸元は、図4に示す外径φA=120mm、ブリッジ部外径φB=103mm、ブリッジ部内径φC=52mmである。
【0031】
なお、ここで用いた成形体20は、図を簡略化したが、図8で述べたプラネタリキャリアである。
【0032】
−評価試験1−
上記のセラミックス耐火板について、先ずテーパ面14の勾配(μm/mm)=5/1000としてそのテーパ面14の内端位置(直径φZ)が製品の精度にどのような影響を与えるかを調べた。その結果を図5に示す。この図5は、窓幅Wの誤差が±0.15mmの範囲内にあるものを良品、その範囲から外れたものを不良品として良品率を求めている。これから判るように、φZ≧(φB−φC)/2の場合は良品率が95%程度であり、また、φZ≦φCの場合は良品率が90%程度と更に悪くなっているのに対し、φZをφCよりも大、(φB−φC)/2よりも小としたときに100%近い良品率が得られている。
【0033】
−評価試験2−
次に、テーパ面14の有無と、φC<φZ<(φB−φC)/2の条件下でのテーパ勾配の大きさの影響について調べた。その結果を図6に示す。この試験ではテーパ勾配が2/1000〜8/1000の範囲にあるときに最も高い99.7%以上の良品率が得られている。
【0034】
−評価試験3−
耐火板の厚みtを変えてその厚みと製品の平面度の関係を調べた。平面度は、耐火板に接触する面F(図4)の高低差を求めている。その結果を図7に示す。
【0035】
厚み2mmの耐火板は、割れが生じて用をなさなかった。また、厚み5mmの耐火板は平面度が0.2mm以上であり、さらに数回の使用で変形が大きくなって使用に耐えないものになった。これに対し、厚み7mm以上の耐火板は、製品の平面度が0.2mm以下に抑えられ、繰り返し使用に関する耐久性にも問題がなかった。
【0036】
なお、この発明の耐火板は、炉内鑞付けのみを行うときの敷板としても利用できる。
【0037】
【発明の効果】
以上述べたように、この発明の耐火板は、Si3 N4 を主成分とするセラミックスで形成したので、炉内での熱変形が従来のセラミックス板よりも小さく抑えられ、それを敷板にして炉内鑞付けする部品の変形、精度低下による不良発生を減少させることができる。
【0038】
耐火板の上面の外周部にテーパを形成したもの、中でも、テーパの勾配を2/1000〜8/1000にしたものや、テーパ面の内端位置の直径φZについてφC<φZ<(φB−φC)/2の条件を成立させたものは、部品の寸法精度の狂いがより小さく抑えられ、不良発生率が更に小さくなる。
【0039】
また、厚みを7mm以上とした耐火板は、割れ等が防止され、繰り返し使用における変形の蓄積も抑制されて耐久性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の耐火板の実施形態を示す断面図
【図2】他の実施形態の断面図
【図3】更に他の実施形態の断面図
【図4】耐火板のテーパの好ましい内端位置の説明図
【図5】テーパの有無及び大きさと鑞付けした部品の良品率との関係を示す図表
【図6】テーパ面の内端位置の直径と良品率との関係を示す図表
【図7】耐火板の厚みと部品の平面度の関係を示す図表
【図8】(a)鑞付けする成形体の一例(プラネタリキャリアを示す分割斜視図)
(b)第2成形体の内面を示す斜視図
【図9】図8の成形体を突き合わせて重ねた状態の側面図
【符号の説明】
1 プラネタリキャリア
2 第1成形体
2a プレート
2b ブリッジ接合面
3 第2成形体
3a プレート
3b ブリッジ
10 セラミックス耐火板
11 上面
12 下面
13 ロッド挿入用の孔
14 テーパ面
Claims (6)
- 複数個の成形体を突き合わせ、加熱炉内で各成形体の突き合わせ面を鑞付けするときに敷板として用いる耐火板であって、Si3 N4 を主成分とする材料で形成されていることを特徴とするセラミックス耐火板。
- 耐火板の厚みを7mm以上にした請求項1記載のセラミックス耐火板。
- 耐火板の外径寸法を、耐火板に載せる成形体の外径寸法と同等又はそれ以上とし、この耐火板の外周部に、成形体の外径よりも中心側から径方向外方に向かって上面位置を低下させるテーパを形成した請求項1又は2記載のセラミックス耐火板。
- 前記テーパの内端位置の直径をφZ、成形体相互の連結部の内径をφC、外径をφBとしたとき、φC<φZ<(φB−φC)/2の条件を満足させた請求項3記載のセラミックス耐火板。
- 前記テーパの勾配を2/1000〜8/1000とした請求項3又は4記載のセラミックス耐火板。
- 前記テーパを上下両面に形成した請求項3乃至5のいずれかに記載のセラミックス耐火板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002172768A JP2004018283A (ja) | 2002-06-13 | 2002-06-13 | セラミックス耐火板 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2004018283A true JP2004018283A (ja) | 2004-01-22 |
Family
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JP2002172768A Pending JP2004018283A (ja) | 2002-06-13 | 2002-06-13 | セラミックス耐火板 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2004018283A (ja) |
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