JP2003528297A - 軸動線形計測ヘッド - Google Patents

軸動線形計測ヘッド

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JP2003528297A JP2001540320A JP2001540320A JP2003528297A JP 2003528297 A JP2003528297 A JP 2003528297A JP 2001540320 A JP2001540320 A JP 2001540320A JP 2001540320 A JP2001540320 A JP 2001540320A JP 2003528297 A JP2003528297 A JP 2003528297A
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Abstract

(57)【要約】 例えば”カートリッジ”ヘッドのような線形計測ヘッドは、ケーシング（１）と、長手軸に沿ってケーシングに対して可動なスピンドル（１１）と、スピンドルの第１端部に連結されるとともに、巻き線（１５，１６，１７）を有しケーシングに対して静止している差動位置変換器と連結される隙間ゲージ（１３’）と、スピンドルの第２端部と連結された芯（１８）と、を備えている。スピンドルは、長手溝（１２）を含み、転動要素（２３）を有する軸ベアリング（２２）によって案内される。なお、転動要素（２３）は、溝と協働して、スピンドルが長手軸に沿ってケーシングに対して並進することを可能にし、同時に、スピンドルが前記軸に関して回転することを防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 技術分野 本発明は線形計測ヘッドに関し、この線形計測ヘッドは、ケーシングを有する
支持および保護手段であって長手方向の幾何学的な軸を形成する支持および保護
手段と、支持および保護手段に対して軸動可能な細長状要素と、支持および保護
手段に対する細長状要素の変位を検出するための位置変換器と、支持および保護
手段と細長状要素との間に配置された押し込み手段と、ケーシングに対する細長
状要素の軸変位を案内するための案内手段であって、細長状要素と協働する多数
の転動要素を有する軸ベアリングを少なくとも含む案内手段と、を備えている。
【０００２】 軸動線形計測器若しくは計測ヘッドが類似した特徴を有することは周知であり
、例えば国際特許出願WO-A-97/46849によって知られている。
【０００３】 いわゆる”カートリッジ”と呼ばれているヘッドの典型的な構造を有するヘッ
ドが、そのような特許出願において明らかにされている。このヘッドは、円柱状
スピンドルを含み、ケーシング内で長手方向に離間した位置に収容された二つの
軸ベアリングからなる案内装置によって、ケーシングの範囲内において軸方向へ
スライドする。なお、各軸ベアリングは、スピンドルが部分的に挿入される貫通
穴を含んでいる。
【０００４】 スピンドルは、一端に、点検されるべき部品に接触させるための隙間ゲージ（
feeler）を保持し、他端に、強磁性芯を保持する。この強磁性芯は、スピンドル
の軸変位の結果として、対応する巻き線の内側を並進する。
【０００５】 各軸ベアリングは閉鎖した通路を含む。ボールのような適切な形状を有し複数
からなる要素の列が、この通路内で転動可能となっている。その通路は長手部分
を含む。この長手部分は、ベアリングの内側表面上に配置されたスリットに対応
するような位置において形成されている。ボールは、そのベアリングに沿って、
スピンドルに接触するとともに、ケーシングに関するボールの軸方向へのスライ
ドを可能にする。
【０００６】 前記カートリッジヘッドにおいて、ケーシングに対するスピンドルの軸回転を
防止するために、スピンドルに対して放射状にピンが固定されている。そのピン
は、自由端においてアイドラー(an idle wheel)を有する。このアイドラーは、
ケーシングと一体となって軸スリット内に収容されており、例えば、二つのベア
リング間に配置されたスペーサー要素(spacer element)において達成される。
【０００７】 これらの線形計測器において、スリットとアイドラーとの間に存在する不可避
の隙間は、正確性や反復性に影響を及ぼすかもしれない。特に、計測器の長手軸
に関する隙間ゲージのオフセットを利用する必要があるような場合は、影響を及
ぼすかもしれない。
【０００８】 実際、類似するケーシングにおいて、スリットと空回りホイールとの間に隙間
が存在するために、スピンドルの軸に関するスピンドルの僅かな回転が、少なか
らぬ隙間ゲージの回転を招くかもしれず、線形計測器によって行われる検査の正
確性や反復性に対して否定的な影響を及ぼす。
【０００９】 更に、WO-A-97/46849で開示されているような回転防止装置では、スピンドル
においてアイドラーを有するピンの挿入を行うために、そして、スペーサー要素
においてスリットへ到達するために、適切な高精度の機構的な機械加工を必要と
している。これは、追加費用と少なからぬ組み立て時間とが必要とされるという
ことを意味する。
【００１０】 他の周知の線形ゲージは、可動スピンドル用の案内手段および滑動手段につい
て他のタイプを有することが可能であり、例えば、ボールを収容するための孔を
有するカゴを備えた軸受け筒を含む。このタイプの線形ゲージは、例えばU.S.特
許No. US-A-4347492において開示されている。そのU.S.特許において開示されて
いる二つの実施の形態の各々において、スピンドルの軸回転が装置によって制限
されている。この装置は、前で簡潔に述べられた装置に類似している。その装置
はピンを有し、このピンは、放射状にスピンドルに対して連結しており、少しで
はあるが不可避の隙間を含んだ状態で、ケーシングに形成された軸方向スリット
内に部分的に収容される。
【００１１】 発明の開示 本発明の目的は、線形計測ヘッドを提供することにある。この線形計測ヘッド
は、精度、再現性、および信頼性に関して高度の基準が確保されており、周知構
造のものに比べて、種々の構成要素の組み立てに要求されるコストおよび時間を
削減することができ、とりわけ簡素な構造を提供する。
【００１２】 この目的や他の目的は、請求項１に基づく線形ゲージヘッドによって達成され
る。
【００１３】 ここで図示されるとともに記述された線形ゲージヘッドによってもたらされる
主な利点のうちの一つは、その細目における簡潔さにあり、構成要素の数の減少
によっても達成されている。
【００１４】 スピンドルの軸回転の制限における間隙を実質的に除去することによってもた
らされる他の重要な利点は、簡素で安価な線形ゲージヘッドの活用の実現性にあ
り、これはスピンドルの滑動軸に対して隙間ゲージがオフセットされ、高度の正
確性および再現性が要求される発明の応用に基づいている。
【００１５】 図面の簡単な説明 本発明に基づく線形計測ヘッドの好ましい実施の形態は、添付されている図面
を参照して記述されている。これらの記述は非限定的な例として与えられており
、本発明はこのような記述に限定されるものではない。
【００１６】 図１は、本発明の一実施の形態における計測ヘッドの縦断面図である。図２は
、図１で示された計測ヘッドの拡大断面図であり、図１のラインＩＩ−ＩＩに沿
ったものである。図３、図４、図５は、三つの異なる発明の実施の形態に基づく
計測ヘッドの断面図である。
【００１７】 発明を達成するための最良の形態 図１に示された軸動計測ヘッドは、例えば鋼製で略円筒形状である、管状のケ
ーシング(casing)１を有する支持および保護手段を備えている。この管状のケー
シングは、長手方向の幾何学的な軸を形成するとともに、略円筒型の内側面２を
形成し、制限的な環状突起体２’とねじ込み部３とを有している。スプール４は
、ケーシング１内に収容され、長手開口７を形成するとともに、三つの外付け式
環状台座８，９，１０を形成する。
【００１８】 細長状要素すなわちスピンドル１１は、互いに向かい合って配置されV字形の
断面を有する長手溝１２を二つの有している。そして、スピンドル１１は、ケー
シング１内に挿入され、ケーシング１に対して可動となっている。被検知体４８
の一部に接触させる隙間ゲージ１３’用の支持要素１３は、二つの長手溝１２の
うちの一つに対する摩擦によって連結された合わせ釘（a dowel)１４によって、
スピンドル１１に取り付けられている。
【００１９】 案内差異位置変換器(an inductive differential position transfer)は、第
１巻線１５と、二つの第２巻線１６および１７と、強磁性物質で作られた芯１８
と、を具備している。巻線１５，１６，１７は、環状台座８，９，および１０の
それぞれにおいて、周知技術によりスプール４に対してきつく巻き付けられてい
る。一方、芯１８が、例えば接着手段によって、案内桿(stem)１９に対して固定
されている。隙間ゲージ要素１３’を保持する端部とは反対側の端部において、
案内桿１９は、支持手段２０によってスピンドル１１に取り付けられている。案
内桿１９、支持手段２０、およびスピンドル１１の間における連結は、例えば接
着剤を使用することが予見できる。
【００２０】 対応する巻線１５，１６，１７を有するスプール４は、ライナ(liner)５に収
容されるとともに取り付けられている。従って、巻線１５，１６，１７は先のラ
イナ5に対して接着されている。ライナ５の外面は、ケーシング１のねじ込み端
部３にねじ込まれるねじ込み部を有している。
【００２１】 ケーシング１に対するスピンドル１１の軸方向変位を案内するための案内手段
は、それ自体は周知である循環ボールを有する軸ベアリング２２を具備している
。このベアリング２２は、ケーシング１に収容されるとともに、長手溝１２によ
って形成された面に接触する転動体、すなわち複数のボール２３、を有している
。図示されているように、この軸ベアリング２２はくぼみ支持要素２４を有して
いる。このくぼみ支持要素２４は、略円筒形状を有し、そして、スピンドル１１
を部分的に挿入するための長手貫通穴２５を有している。貫通穴２５は、長手ス
リット２７を有する支持要素２４の円筒型表面２６を形成する。くぼみ支持要素
２４は、ボール２３が配置される内部循環路３０を形成する。それぞれの内部循
環路３０は、相互に略平行に設けられた第１長手部３１と図示しない第２長手部
と、これらの長手部間に設けられた接触部３３と、を有している。スリット２７
は、円筒面２６上に位置しており、各循環路３０の第１長手部３１上に配置され
、対応する転動路３０内でボール２３を保留するような特定の寸法を有する。そ
して、ボール２３が対応する第１長手部分３１内にある場合には、そのようなボ
ール２３が円筒面２６に対して部分的に突出することを可能にするとともに、ボ
ール２３がスピンドルの表面に接触することを可能にする。
【００２２】 前述の国際特許出願NO.WO-A-97/46849では、循環転動ボールを有する同一の軸
ベアリングを有するカートリッジヘッドについて広く述べられている。
【００２３】 図示されているように、ボール２３は、V字形の溝１２の壁の点において、ス
ピンドル１１の表面と接触する。このようにして、スピンドル１１と軸ベアリン
グ２２との間の連結は、スピンドル１１をケーシング１に対して軸方向に平行移
動させることを可能にする一方で、その軸に関して回転することを防ぐ。
【００２４】 実際には、スピンドル１１を案内する手段は、スピンドル１１用のいわゆる”
回転防止”機能も果たしている。
【００２５】 長手方向の位置決め要素は、第１スペーサー要素３４および第２スペーサー要
素３５を有している。この第１スペーサー要素３４および第２スペーサー要素３
５は、ケーシング１に収容され、ケーシング１の限定環状突出部２’とベアリン
グ２２の支持要素２４との間、及び、ベアリング２２の支持要素２４とスプール
４との間、にそれぞれが配置される。
【００２６】 押し込み手段は圧縮スプリング３６を有しており、この圧縮スプリング３６の
両端の各々は、案内桿１９の支持体２０の台座２８と、スプール４の台座２９と
に収容されている。これにより、隙間ゲージ１３’と被検知物の一部４８との間
で接触がない場合に、支持体２０の表面とくぼみ支持要素２４の表面との間にお
ける合口(abutment)によって定められた位置に、スピンドル１１を保持すること
が可能となる。
【００２７】 隙間ゲージ１３’の支持体１３の合口表面３７とケーシング１の合口表面３７
とは、スピンドル１１の動きの限界を定める為に協働し、隙間ゲージ１３’が断
片４８に接触した場合には、スプリング３６の偏りに対向するように動く。
【００２８】 柔軟で管形状の密封パッキン３９は、その両端のうちの一端が管形状のケーシ
ング１内に形成された台座４０と連結し、他端が隙間ゲージ１３’の支持体１３
内に形成された台座４１と連結する。
【００２９】 差動変換器（the differntial transducer）、外部電源供給部、表示器(displ
ay)、および加工装置（図１において参照番号４３によって概略的に示されると
ともに識別されている）における、巻線１５，１６，１７間の電気接続は、ケー
ブル４４の電線によってもたらされる。
【００３０】 長手方向にクランプする為の要素は、貫通クランプリングナット４５を有する
。この貫通クランプリングナット４５は、ライナ５のねじ込み部に結合させられ
ることにより、ライナー５に対するケーシング１の相互位置を係止し、従って、
芯１８と変換器巻線１５，１６，１７との間における相互配置を定める。
【００３１】 記述され図示された計測ヘッドの各種の構成要素の組み立ては、とりわけ単純
な且つ素早い方法によって行われる。最初に、第１スペーサー要素３４とベアリ
ング２２と第２スペーサー要素３５とが、順々にケーシング１内に挿入され、そ
こに接着される。次に、スピンドル１１が挿入される。なお、案内桿１９および
芯１８に支持体２０が予め結合させられることを含む。隙間ゲージ１３’が、合
わせ釘(dowel)１４によってスピンドル１１に連結させられる。そしてその後、
パッキン３９が組み立てられる。それから、スプリング３６が挿入され、次に、
巻線１５，１６，１７が取り付けられたスプール４に対するライナ５が、ケーシ
ング１にねじ込まれる。その後に、ケーシング１とライナー５との間の相互配置
は、貫通リングナット４５によって係止される。
【００３２】 計測ヘッドが通常の操作状態であって、隙間ゲージ１３’と断片４８との間で
接触が生じていない場合には、図１に図示されているように、スプリング３６は
、案内桿１９の支持体２０の合口表面とベアリング２２のくぼみ要素２４の合口
表面との間における協働によって形成される静止位置へと、スピンドル１１を駆
り立てる。隙間ゲージ１３’と断片４８の表面との間で接触が生じた場合（手動
あるいは自動といったあらゆる周知の方法によ、ここには図示も描写もされてい
ない。）には、スピンドル１１は、スプリング３６の作用に対向するように、ベ
アリング２２に案内されて、ケーシング１の長手軸と平行に設けられた直進路に
沿ってケーシング１に対して変位する。
【００３３】 更に詳細には、スピンドル１１が被る推進力によって、ボール２３は、スリッ
ト２７を介して、溝１２によって形成されたスピンドル１１の表面と接触する。
そして、ボール２３は、一側面がスピンドル１１の表面上において転動するとと
もに、他が路３０の内面上で転動する。スピンドル１１の変位は、案内差動変換
器の周知の機能方式に従って、巻線１５，１６，１７の範囲内における芯１８の
変位と、第２巻線１６，１７の各種端子における対応する出力電圧変動と、をも
たらす。ケーブル４４の電線を有する電気接続によって、ゼロ状態（予め、ヘッ
ドのゼロ設定段階で周知の方法により形成されている）に対する電圧変動は、外
部の装置４３において検出され、静止位置からの変位の総計に関するデータが表
示されている。
【００３４】 ここで記述され図示されているような軸動計測ヘッドは、信頼性、簡素さ、そ
して経済的な利便性に関して特有の特徴を提供する。
【００３５】 二つの長手溝１２を含むスピンドル１１に連結された軸ベアリング２２は、案
内および回転防止の手段を達成することを可能にする。なお、この案内および回
転防止の手段は、スピンドル１１がケーシング１に対する並進変位を果たすこと
を可能にする一方で、他のいかなる要素を追加することなく、略いかなる間隙も
なしに、ケーシング１に対するスピンドル１１の軸回転を防止するためのもので
ある。これにより計測ヘッドには相当な利点が与えられる。
【００３６】 まず、間隙の欠如は、スピンドル１１とケーシング１との間における、非常に
正確な並進移動を可能にする。このようにして、計測ヘッドの長手軸に関する隙
間ゲージのオフセット(offset)の利用は、周知の計測ヘッドにおけるような不具
合はない。なぜなら、スピンドル１１とケーシング１との間における軸回転変位
に起因する異常による危険を、たとえそれが最小限度に存在する危険であっても
略取り除かれ、そして、その危険により隙間ゲージ１３’の相当な変位をもたら
しうるような危険も略取り除かれるからである。
【００３７】 更に、案内手段と分離した回転防止手段の欠如は、設計を簡素化させる。その
結果として、製造コストおよび組み立て時間に関して節約することができる。
【００３８】 この発明の意図する範囲内において線形計測ヘッドがある。この発明は、ここ
で概略的に図示され、これまでに記述されているものとはいくつかの面において
異なる実施の形態に基づいても達成される。可能な変形例のうちのいくつかを、
以下において簡潔に述べる。
【００３９】 ・軸ベアリング２２は、ボール２３以外の転動要素を具備することが可能であ
り、例えば、円筒ローラーや他の形状のローラといったような転動要素を具備す
ることが可能である。
【００４０】 ・軸ベアリング２２’（図３）は、路に関して、図示された数（二つ）とは異
なる数の路を含むことが可能である。この場合、路のうちのいくつかは、スピン
ドル１１の溝１２に対向する部分を有しており、対応するボール２３は、ここで
これまでに開示したような案内および回転防止の機能を果たすが、その一方で、
対応する路における他のボールは、更に小さい寸法を有し、周知の案内機能を達
成する目的でスピンドル１１の円筒型表面に接触する。
【００４１】 ・スピンドル１１は、たった一つの長手溝１２を有することが可能である（図
４）。ベアリング２２’’の路のうちのたった一つが、回転防止機能を果たすた
めに、適切な寸法のボール２３を含んでいるが、その一方で、他の一つの路（あ
るいは複数の路）のボール２３’は、全く周知の案内機能を有している。
【００４２】 ・スピンドル１１は、三つの或いはそれ以上の長手溝１２を有することが可能
である。そして、ベアリング２２は、適切な数および寸法で路およびボールを有
することが可能である。
【００４３】 ・二つ或いはそれ以上の軸ベアリング２２であって、そのうちの少なくとも一
つが、スピンドル１１の単数或いは複数の溝１２と協働するボール２３を含んで
いる。
【００４４】 ・循環転動ボールを有する軸ベアリング２２は、一つ或いはそれ以上のボール
ブッシング５２と取り替え可能であり、この明細書の本文における背景技術部分
において述べられた（図５）U.S.特許No.US-A-4347492において開示されている
ようなボールブッシング５２と取り替え可能である。この場合、案内機能に加え
て回転防止機能を有するいくつかのボール５３は、他のボール５３’に対して更
に大きな寸法を有し、スピンドル１１の一つ或いは複数の溝１２において一方の
側部で転動し、そしてケーシング表面の内側に形成された溝１２’において他が
転動する。なお、この溝１２’は、スピンドル１１の溝１２と同様であって、溝
１２と向かい合う。
【００４５】 ・押し込み手段は、スプリング３６を活用する方法とは異なる方法で実現可能
である。例えば、支持および保護手段に連結されるとともに、押し込みをスピン
ドル１１に適用するように適応させられた、周知タイプの圧縮空気装置によって
、押し込み手段を実現することが可能である。
【００４６】 ・変換器は図示されたものとは異なっていてもよく、周知タイプのゲージヘッ
ドを含んでいてもよい。この周知タイプの計測ヘッドは、例えば、ダイヤル計測
であって、支持および保護手段に連結され、スピンドル１１と接触する可動部分
を有するダイヤルゲージが考えられる。更に、発明に基づく特有の機械構造のお
かげで、スピンドル１１とケーシング１との間における再現可能変位を非常に必
要とする変換器であっても活用することが可能である。例えば、付加的な変換器
が活用され、これにより、非常に高い精度の計測ヘッドやアブソリュート計測器
（absolute gauges）を完成させることができる。
【００４７】 ・発明に基づく計測ヘッドは、周知の検査装置において活用されることが可能
であり、例えばフォーク或いはプラグといったタイプの検査装置であって、それ
ぞれ、軸方向(axially)に可動な細長状要素およびその変位を検出する変換器手
段を有することが予見される、外側および内側直径寸法を検査する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施の形態における計測ヘッドの縦断面図である。
【図２】 図１で示された計測ヘッドの拡大断面図であり、図１のラインＩＩ−ＩＩに沿
ったものである。
【図３】 発明の実施の形態における計測ヘッドの断面図である。
【図４】 発明の実施の形態における計測ヘッドの断面図である。
【図５】 発明の実施の形態における計測ヘッドの断面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ，ＴＲ)，ＯＡ(ＢＦ ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ， ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，Ｇ Ｍ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ， ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ， ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，Ｂ Ｚ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ， ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，Ｊ Ｐ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ， ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，Ｒ Ｏ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ， ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 長手方向の幾何学的な軸を定め、枠（１）を有する支持および保護手段と、 支持および保護手段（１）に対して軸方向に可動な細長状要素（１１）と、 支持および保護手段に対する細長状要素（１１）の変位を検出するための位置
    変換器と、 支持および保護手段と、細長状要素（１１）との間に配置された押し込み手段
    （３６）と、 ケーシング（１）に対して細長状要素（１１）を軸方向に変位させるための案
    内手段であって、細長状要素（１１）と協働する多数の転動要素（２３）を有す
    る軸ベアリング（２２）を少なくとも含む案内手段と、を備え、 細長状要素（１１）は、少なくとも一つの長手溝（１２）を有する略円筒型の
    形状を有し、 少なくとも前記転動要素（２３）の一部が、前記少なくとも一つの長手溝（１
    ２）において、細長状要素と協働するように構成されている ことを特徴とする線形計測ヘッド。
  2. 【請求項２】 前記少なくとも一つの長手溝（１２）は、V字形の断面を有していることを特
    徴とする請求項１に記載の計測ヘッド。
  3. 【請求項３】 スピンドル（１１）には、二つの長手溝（１２）が形成され、 この二つの長手溝（１２）は、直径方向において対向する位置に配置されてい
    る ことを特徴とする請求項２に記載の計測ヘッド。
  4. 【請求項４】 前記転動要素（２３）は、球形状を有し、 前記少なくとも一つの軸ベアリング（２２）は、くぼみ支持要素（２４）を含
    み、 このくぼみ支持要素（２４）は、略円筒型の形状を有するとともに、細長状要
    素（１１）の一部を収容するための長手貫通穴（２５）を有し、 貫通穴（２５）は、転動要素（２３）が細長状要素（１１）と接触することを
    可能とするために、長手スリット（２７）を有する支持要素（２４）の円筒型表
    面を形成し、 前記長手スリット（２７）のうち少なくとも一つは、前記少なくとも一つの長
    手溝（１２）に対向している ことを特徴とする請求項３に記載の計測ヘッド。
  5. 【請求項５】 前記くぼみ支持要素は、転動要素（２３）用の内部循環路を形成し、 前記内部循環路は、相互に略平行な第１（３１）の長手部分および第２の長手
    部分と、長手部分間における二つの接触部（３３）と、を有し、 前記スリット（２７）は、各穿内部循環路（３０）の第１長手部分（３１）に
    配置されている ことを特徴とする請求項４に記載の計測ヘッド。
  6. 【請求項６】 隙間ゲージ要素（１３’）と、 合わせ釘（１４）によって細長状要素（１１）の一端に対して部分的に結合さ
    れた対応する支持体（１３）であって、前記少なくとも一つの長手溝（１２）に
    収容される対応する支持体（１３）と、 を更に備えたことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の計測
    ヘッド。
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