JPS59173710A - ワ−ク寸法チエツク用測定ヘツド - Google Patents

ワ−ク寸法チエツク用測定ヘツド

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JPS59173710A
JPS59173710A JP59045329A JP4532984A JPS59173710A JP S59173710 A JPS59173710 A JP S59173710A JP 59045329 A JP59045329 A JP 59045329A JP 4532984 A JP4532984 A JP 4532984A JP S59173710 A JPS59173710 A JP S59173710A
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measuring
arm
casing
transducer
measuring arm
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グイド・ゴリネリ
ナルシソ・セレリ
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Finike Italiana Marposs SpA
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Finike Italiana Marposs SpA
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/12Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring diameters

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はワークの寸法をチェックするための測定ヘッド
に係ル、とシわけ、ケーシングと、ケーシングに対し可
動に取付けられた測定アームと、測定アームの端部に固
定され、チェックされるべきワークに接触するフィーラ
と、測定アームの位置に応じた信号を発する少なくとも
λつの要素からなるトランスデユーサと、第1の位置で
λつのトランスデユーサ構成要素を互いに予め定められ
た位置に設定し、第2の位置で測定アームおよび少なく
とも1つのトランスデユーサの変位を可能とする、可動
停止手段を備えた機械的零調整装置°とを備えた測定ヘ
ッドに関チる。
高精度でかつ反復可能性(例えばミクロン範囲内で)を
備えた、機械部品のリニア(−次)寸法をチェックする
ための測定ゲージが知られているが、従来の測定ゲージ
は例えば数ミリメートルの狭い測定範囲しか備えていな
いものであった。測定範囲の幅は、基本的にはトランス
デユーサによシ決定される。頻繁に用いられるトランス
デユーサの1つとしては、直線電圧差動変圧器(リニア
ボルテージディファレンシャル トランスフォーマ L
VDT  )型トランスデユーサがある。このトランス
デユーサは、電気コイルを備えた第1の構成要素と、前
記コイルに対して可動なコアを備えた第2の構成要素と
からなっている。
トランスデユーサの測定範囲の幅よシ大きく異なった寸
法を有するワークのチェックのために測定ゲージを用い
るために、測定ゲージは、通常、機械的零PA整装置を
備えている。
米国特許第3.gl、3.3!θ号明細書においては、
置換可能な目盛を付けられた照合用部材を内蔵し九零調
整装置を有し、異なった位置への測定ゲージ(1つのツ
イーンを備えている)の移動が可能な、電気的測定ゲー
ジが開示されている。測定ゲージのそれぞれの位置は、
目盛を付けられた照合用部材を用いて設定された零調整
位置を与える。この方法は、迅速で単純な零調整作業を
可能とするが、この作業は特別の条件下にセいてのみ行
うことができ、いくつかの目盛を付けられた照合用部材
を必要とする。
他に知られている零調整装置としては、l又は数個の測
定ヘッド構成要素の適宜な変位(例えば、ツイーン、測
定アームに取付けられツイーンを支持する構成要素、ト
ランスデユーサ構成要素等の調整)により、実質的に測
定範囲の変更を行うものがある。このような特徴を備え
た測定ヘッドとしては、西独特詐公開第J、211−1
3g7号公報に記載されている。
一方では、正確さ、繰返し可能性、応答の線形性等の必
要な測定性能を備えた状態で広い測定範囲を有すること
が望まれ、他方では零調整装置によシ、相当な長さの調
整を、非熟練者によシロスタイムを最小限にして、安全
、迅速に行えることが重要であることは容易に理解する
ことができる。
さらに、補助的な工具および装置を必要としないで零調
整作業をすることができることも重要である。
これらの要求は、特に、研削盤においてインプロセスの
測定ヘッドとして用いる場合重要である。
これらの測定ヘッドは、研削作業中にワークの寸法(通
常、内径および/または外径、厚さ、軸方向寸法)をチ
ェックすることができる。これらの測定ヘッドは、また
、剛性、衝撃に対する抵抗力、振動に対+る最小感度等
の好ましい特性が要求される。
米国特許第3./22.ざ3r号明細書に開示されてい
る測定ヘッドは、作業台上でチェックを行うためのもの
であシ、摩擦ねじによ多結合されたλつの構成要素から
なる可動測定アームを備えている。
λつの構成要素の相互の角度位置は、ねじを作動するこ
とによシ調整することができ、荒い零調整を行うことが
できる。さらに、もしツイーンを備えた構成要素が衝撃
荷重を受けた場合には、この構成要素は他の構成要素の
まわシを回転し、測定ヘッドのよシデリケートな構成要
素の破損を防止する。
研削作業中にワークをチェックするインプロセス測定ヘ
ッドとして用いられる前述の測定ヘッドとほぼ同一の技
術的解決手段が、米国特許第≠、23♂、trt号明細
書に開示されている。この測定ヘッドは外径をチェック
するために用いられ、一端部にツイーンが取付けられ、
他端部に位置トランスデユーサの2つの構成要素が取付
けられている2つの可動測定アームから構成されている
。それぞれの測定アームは、摩擦装置によ多連結された
λつの部分からなっている。零調整操作は、2つのトラ
ンスデユーサ構成要素が取付けられた測定アームの2つ
の部分を、予め定められた位置に設定した状態でロック
し、続いて他のλつの部分をチェックされるべきワーク
にツイーンを接触させるよう移動し、最後に前記最初の
2つの部分を再びアンロックの状態にすることによシ行
われる。
摩擦装置は、ワークにフィーラを接触させるために、測
定アームの2つの部分を手動で変位させ得るよう比較的
低い抵抗値でなければならず、また同時に、測定中に滑
らないように十分高い抵抗値でなければならない。
米国特許第3./22.♂3♂号および第≠、231.
I♂6号明細書に記載されているλつの測定ヘッドは、
フィーラあるいはフィーラを保持する測定アームの部分
に、衝撃あるいは振動、他のストレスが作用した場合、
摩擦装置に小さな滑り変位あるいは容易に気付かない滑
シ変位を生じ、使用者が見過してしまう零調整状態の誤
差を生ずるという欠点を有している。この場合、使用者
はなんら調整することなく、測定ゲージによシ与えられ
る測定寸法(実際は誤っているのだが)に対し信頼し続
けることとなる。もし、測定ヘッドの信号が、研削盤の
オペレーションサイクルを制御するために用いられたな
らば、公差を外れた最終寸法のワークが加工されること
となる。
太黙aEllI+1−妃の次点を取除くためになされた
ものでsb、簡単、迅速かつ安全に零調整操作を行うこ
とのできる測定ヘッドを提供することを目的とする。
第1図および第2図に示す電気測定へ、ドは、支持体で
あシ、保護部材である測定ヘッドケーシングlを有し、
とのケーシングlは開口側を有する箱体とその閉鎖力・
々−(第1図および第2図では図示せず)とからなって
いる。
後で第5図を参照して説明するように、♂ンコおよび3
を含む据付は部材がケーシングlに取付けられている。
λつの可動測定用アームtおよび夕が、それぞれビンλ
および3に対し回転可能に取付けられている。測定アー
ムグおよびjは、ケーシングlの開口6および7を貫通
しておシ、ケーシングよル外側の端部には、それぞれ外
径を測定されるべきワークIO(第1図参照)の表面に
接触するフィ□−ラ(接触部)gおよびりが設けられて
いる。
測定ヘッドは、ケーシングl内に配置された測定アーム
グおよび!の端部に取付けられた小さなポール//およ
び/2を含む機械的零調整手段を有している。
ケーシングl内には、さらに一本の短アーム/3゜/4
’が配設され、この短アーム/j 、 iダの端部は、
ビンλ、3に枢着されている。短アーム/、7 、 /
4’のビンλ、3に対する結合は、以後説明するように
摩擦手段を介してなされている。
LV DT  タイプの位置トランスデユーサ13を構
成するλつの要素は、それぞれ測定アームtおよび短ア
ーム13に固定されている。すなわち、マグネチックコ
ア(図示せず)の自由端に設けられたステム/6はアー
ムケに固着され、差動トランスフォーマのコイルのハウ
ジングであるサポート/7は短アーム/3に固着されて
いる。
同様に、他のマグネチックコア(図示せず)の自由端に
設けられたステム/gは測定アームjに固着され、他の
位置トランスデユーサ20の差動トランスフォーマのコ
イルのハウジングであるサポート/?は短アームlダに
固着されている。
トランスデユーサ/Sおよび一〇は、それぞれ測定アー
ムグおよびjの位置に応じて測定信号を発生するO ケーシングl内の短アーム/3 、 /lIの自由端に
は、それぞれポール// 、 /、2と同一直径のポー
ル2/ 、 22が固着されている(これらのポール2
ハニは零調整手段の構成要素である)。
多角形(すなわち正方形断面)のシャフト3からなる調
整および案内手段もまた零調整手段を構成しておシ、シ
ャフトνは、ケーシングlの穴、26゜27に枢着され
た円筒形部分評、2りにょシ、ケーシング/に対して回
転可能に連結されている。
さらに、零調整手段は調整レノ々−2ざを有し、この調
整レノ々−2gはケーシングlの外側に配置され、シャ
ツトコ3の端部21I−に固着されている。
零調整手段の停止および案内手段でる多、はぼ同一形状
の2つのブロック、29 、30がシャツトコ3に摺動
可能に取付けられている。ブロック29 、30はシャ
フト23の長手方向軸線に沿って摺動可能であり、この
軸線は、ビン2,3の軸線と直交している。
第3図および第グ図に示すように、ブロック2?は2つ
の分解可能な部材3/および3コによシ構成されている
。部材31はほぼ円筒形状をしており、部材3ユは、部
材3/の平らな側面33にねじ止めされた板状をしてい
る。したがって、ブロック29は、正方形断面をした多
角形の長手方向貫通穴3tを有し、この貫通穴3弘にシ
ャフト3が係合することによシ、ブロック、29がシャ
フトnに沿って移動することができる。
部材3/の円筒形状部分は、貫通穴3’lおよび/ヤス
トコ3の軸線に対し偏位した位置にあシ、固定カム35
を構成している。
部材3/は、ポールI/および2/を取囲むλつのスロ
ット3Aおよび3りを有している。
第1図、第3図および第μ図に示すように、スロッ) 
3& 、 、??は、ポール// 、コ/をシャフトユ
3の軸線方向に移動可能に取囲む幅広の第1の部分と、
ポール//、2/の直径よpわずかに大きい幅の狭い第
2の部分と、両部会を連結する中間部分と、ブロック、
29 、.30の回転変位(シャフトユ3の回転変位)
を制限するλつの端部表面とを有している。
開口6,7はケーシングlと測定アーム≠、!に連結さ
れたベローズ31 、39によシシールされている0ガ
スケツトあるいは他のシール@相によシ、ケーシングの
他のすべてめ開口、例えば図示しないが、トランスデユ
ーサ/3,2θに接続されたケーブルの通路などもシー
ルされている。測定器は完全にシールされている。
測定アーム+、1およびケーシングlには、戻しばねl
IO、K/の両端が固着されている。これらのばね41
0 、 K/は、フィーラg、りをワークIQに押付け
るように、測定方向に泊った測定アーム≠、jの回転を
コントロールする。
第5図に示すように、ビン3はケーシング/の箱部分の
壁に直接取付けられた端部qコと、ケーシング/に取付
けられたプレート鈷の穴+<z内に配置された他方の端
部ダ3とを有している。端部13はケーシング/の閉鎖
カッ々−4JC隣接している。
ビン3に対し、外輪が可動測定アームjの一つの隣接す
る側面に硬く固定されているポールベアリング4’? 
、 ’Igの内輪がキー止めされている。したかって、
−可動測定アーム5はビン3の軸のまゎシを、ポール(
アリング<j? 、 litの外輪とともに回動可能で
ある。
零調整手段を構成する摩擦装置が短アームllIをビン
3に連結している。摩擦装置は、ビン3が貫通している
短アーム/lの端部S/側に配設されたdつのワッンヤ
ダq、soと、ワッシャグヂの側面に配設されたλつの
皿はね32 、 、tJとビン3にねじ込まれたリング
ナツトsりとがらなっている。ワッシャSOは、ビン3
に取付けられたストップリングSSに接触している。
リングナツトWをねじ込むことにょシ、ビン3の軸に対
する短アーム/グの回転をコントロールするために要求
される最適なカを得るために、摩擦装置の予荷重を調整
することができる。
同様な構成要素が測定アームtおよび短アーム13にも
取付けられている。
次に測定ヘッドの作用、とシゎけ零調整操作罠ついて説
明する。
測定状態においては、第3図に示すように、固定カム3
Sがケーシング/の壁面に弾力的に当接され、ブロック
29 、30はシャフト:13に対して変位しない。さ
らに、ポールllはスロット36の幅広の部分内に配置
され、したがって測定アームtがばねりによシ付勢され
、ビンλのまゎシの限定された測定変位金与えている。
この変位の最大値は、ポールl/のスロット36に対す
る接触にょシ決定される。ポール、2/もまた、スロッ
ト37の幅広部分内に配置されているが、短アーム13
は、摩擦装置lit乃至おによシロツクされておシ、測
定アームグに連結されていないので変位しない。
この測定状態において、測定アームクに偶然の衝撃が作
用した場合には、測定ヘッドのよシデリケートな要素(
例えばトランスデユーサ)にダメージを与えない。ビン
2の軸方向およびこれに平行な方向に作用した衝撃力は
、測定アーム≠を支持する構成要素の堅牢さにょシ有害
な結果を生じさせない。同様に、測・定アームグをビン
2のまゎシに回転させようとするモーメント力は、ポー
ル/Iとブロック29を介してケーシング/に解消され
、同様に測定アーム≠に連結されたポールベアリングお
よびピン2を介して解消される。
同様のことが測定アームjに対しても適用されるO したがってすべての構成要素について重大な変形を生じ
ない。さらに、衝撃によシ重大な応力が短アーム/3.
/’Iに伝達されず、したがって測定ゲージの零調整状
態は変化しない。
操作者によシ非常に大きい衝撃が与えられ、測定アーム
弘、jに永久の変形を生じさせることが考えられる。こ
の場合には、操作者は零調整状態をチェックし、もし必
要であれば測定アーム弘。
夕を真直ぐにし、新しい零調整操作を行えばよい。
零調整操作は、レノ々−2gを約ix”時計方向に回転
させ、ンヤフト、2Jおよびブロック29 、30を回
転させて、第μ図に示すようにブロック29 、30の
カム3Sをケーシングlとの当接状態から解放する。と
れによシボール//、コl(同様にポール/2.22)
がスロッ) 、74 、37の幅の狭い方の部分に配置
される。
その後、マスターあるいぽ標準のパーツを測定位置(詳
しくは、研削盤のセンター間)に配置し、測定アーム4
<、jを手動で動かしてフィーラt。
りをパーツに接触させる。
測定アーム4Z、jの回転は、ブロック29 、30が
ポール//、/2に押されてシャフトnに沿って移動す
ることによシ行われる。ブロック29 、30の移動は
、ポール2/、nがスロット37の側壁に接触し、摩擦
装置の抵抗に打ち勝つことによシ、測定アーム/3 、
 /lIに回転変位を生じさせる。この状態において、
トランスデユーサ/!;、X)のそれぞれの構成要素/
A 、 /7および1g 、 /?の相互の位置は変化
せず、測定アーム弘、jの位置に対して独立しているト
ランスデユーサ1! 、 20は、予め定められた定常
信号を発する。
続いて、ブロック、29 、30のカムがケーシングl
に摩擦と弾性変形によシ固定されるまでし・々−2gを
反時計方向に回転し、ポール// 、 /、2をスロッ
トの幅の大きい部分内に配置し、測定アーム弘、!の測
定変位が可能であるようにする。これによシ零調整操作
を終了する。
測定ヘッドは平滑な表面を有するワークだけでなく、ス
プラインのような断続的な表面を有するワークの寸法も
・研削作業中に測定することができる。後者の場合、緩
衝用流体をケーシングl内に注入することによシ測定ア
ームの変位を緩衝すること(例えば米国特許第り、27
り、072号明細書参照)、あるいは米国特許第3,3
弘3.7jE号明細書に記載されたλつのシリンダピス
トン緩衝器を用いて測定アーム4(、jの変位を緩衝す
ることが望ましい。なお、上記緩衝器は、アームt、/
3およびアームj 、 /lIにそれぞれ取付けること
ができる。
測定ヘッドは2つの別々の位置トランスデユーサを備え
ているので、奇数個の溝を有するスプラインの測定が可
能である。この場合、一方Ωフィーラがワークの外表面
に接触している間、他のフィーラは溝内に位置している
。トランスデユーサが2つあることによシ、測定誤差を
避けつつ連続的にトランスデユーサ信号を得ることがで
きる。
また、トランスデユーサが2つあることにより、2つの
可動測定アームと1つのトランスデユーサを備えた測定
ヘッドに比べて、2倍め測定範囲を有するという利点が
ある。
もちろん、本発明を1つの可動測定アームを有する測定
ヘッドに応用することもできる二この場合には、図示す
る測定ヘッドにおいて、7つの測定アームとトランスデ
ユーサとを削除して単純化することで十分である。
さらに図示する測定ヘッドは、簡単な変更にょ外内径測
定用の測定器として使用することもできる。このために
は、ばねダθ、 tI/にょシ制御される変位が、チェ
ックされるべき穴の内面に接近するフィーラの動きとな
るように、所望の形状を備えた可動測定アLムを用いる
だけで十分である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による測定ヘッドの部分切欠部を含む側
面図でsb、λつの測炬用フィーラにょシ外径寸法を測
定している状態を示す図、第2図は第1図に示す測定ヘ
ッドにおいて零調整操作の状態を示す図、第3図は第1
図および第2図に示す測定ヘッドの部分拡大水平断面図
であシ、特に零調整装置を示す図、第μ図は第3図に示
す断面図において、零調整操作の状態を示す図、第5図
は第1図および第2図に示す測定ヘッドの部分拡大水平
断面図であり、特に測定ヘッドの可動アームの保持装置
を示す図である。 l・・・ケーシング、2,3・・・ビン、ゲ、j・・・
測定アーム、r、り・・・ツイーン、/θ・・・ワーク
、// 、 /2゜、2/、ユコ・・・ボール、23・
・・シャフト、コg・・・レノ々−、コ9゜3θ・・・
ブロック、31. 、37・・・スロット。 出願人代理人  猪 股     清

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 /、ケーシングと、このケーシングに対し可動に取付け
    られた測定アームと、測定アームの端部に固定され、チ
    ェックされるべきワークに接触するフィーラと、測定ア
    ームの位置に応じた信号を発する少なくとも2つの要素
    からなるトランスデユーサと、第1の位置で2つのトラ
    ンスデユーサ構成要素を互いに予め定められた位置に設
    定し、第コの位置で測定アームおよび少なくとも1つの
    トランスデユーサの変位を可能とする、可動停止手段を
    備えた機械的零調整装置とからなシ、前記零調整装置は
    さらに、測定アームに対し前記2つのトランスデユーサ
    構成要素の設定された位置を変化させることなく測定ア
    ームとトランスデユーサをケーシングに対して変位させ
    て零調整操作を行うための制御および案内手段を備えて
    いることを特徴とするワークの寸法をチェックするため
    に用いる測定ヘッド。 λ、測定アームはケーシングに対し回動軸を用いて回動
    変位可能に取付けられ、零調整装置は、ケーシングに対
    して回動変位可能に取付けられた短アームと前記短アー
    ムの回動変位に対して摩擦抵抗を及ぼす摩擦装置を備え
    、2つのトランスデユーサ構成要素はそれぞれ測定アー
    ムと短アームに固着され、可動停止手段はその第1の位
    置で測定アームと類アームとの予め定められた位置を設
    定するようにされていることを特徴とする特許請求の範
    囲第を項記載の測定ヘッド。 3、制御および案内手段は、ケーシングに対し測定アー
    ムの回動軸に直交する方向に取付けられた制御および案
    内シャフトを備え、可動停止手段は前記制御および案内
    シャフトに沿って摺動可能カブロックを備え、前記ブロ
    ックは、測定アームの他端部および如アームの端部とそ
    れぞれ係合する接触表面を備えておシ、測定アームと短
    アームの予め定められた互いの位置を設定することを特
    徴とする特許請求の範囲第2項記載のJl定ヘッド。 佑ブロックは制御および案内シャフトにょ多形成された
    軸のまわシを回転可能であることを特徴とする特許請求
    の範囲第3項記載の測定ヘッド。 !、ブロックは測定アームの他端部および短アームの端
    部をそれぞれ取囲むスロットを有し、このスロットには
    前記接触表面が形成されていることを特徴とする特許請
    求の範囲第を項記載の測定ヘッド。 6、ブロックはケーシングに当接し、ブロックをケーシ
    ングに対し固定するためのカムを備えていることを特徴
    とする特許請求の範囲第μ項または第5項記載の測定ヘ
    ッド。 7、測定アームの他端部および短アームの端部にはそれ
    ぞれボール状部材が取付けられ前記スロット内に配置さ
    れているとともに前記接触表面に係合しておシ、前記ス
    ロットのうちの1つは幅の異ガるλつの部分を有し、小
    幅の部分は測定アームの他端部に設けられたポール状部
    材に係合して前記2つのアームの予め定められた相互の
    位置を設定し、前記短アームは回動軸の回シを回動可能
    であることを特徴とする特許請求の範囲第5項または第
    6項記載の測定ヘッド。 g、制御および案内手段はケーシングに対して回転可能
    であシ、可動停止手段は前記−IIJ御および案内手段
    に対してそれと共に回転可能に連結されていることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項乃至第7項のいずれか1
    つに記載の測定ヘッド。 り、ケーシングはほぼ密閉形をしておシ、短アームはケ
    ーシング内に完全に収納され、測定アー・ムは部分的に
    ケーシング内に配設され、制御レノ々−を含む制御およ
    び案内手段はケーシングの外側に配置され、前記停止手
    段を第1の位置と第2の位置にそれぞれ変位させること
    により、測定アームとトランスデユーサを、手動にょシ
    ゛測定ヘッドを零調整する状態から測定する状態に位置
    させ得ることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第
    ♂項のいずれがlっに記載の測定ヘッド。 10、ケーシングに対し可動に取付けられ、端部にワー
    クに接触する第2のフィーラ(り)が固着された第2の
    測定アーム0)と、第2の測定アーム(j>の位置に応
    じた信号を発するλつの・トランスデユーサ構成要素(
    lざ、/9)を備えた第2のトランスデユーサに)と、
    第コのトランスデユーサ(,2Q)の構成要素(1g 
    、 /9 )の予め定められた位置を設定するだめの第
    1の位置と、第2の測定アーム(j)と第2のトランス
    デユーサに)の少なくとも1つの構成要素Qりとの相互
    の変位を許容する第2の位置とに配置される第2の可動
    停止手段(30)を含む機械的零調整装置と、第2のト
    ランスデユーサGII))の2つの構成要素(tg 。 /9)の相互の位置と、第2のトランスデユーサ0のの
    λつの構成要素(7g、/9)の第2の測定アーム(j
    5に対する位置とを変化させることなく、ケーシングに
    対する第コの測定アームCJ’)と第2のトランスデユ
    ーサCII))との変位を生じさせる制御および案内手
    段とを備えて欧る特許請求の範囲第1項乃至第2項のい
    ずれが7つに記載の測定ヘッド0
JP59045329A 1983-03-09 1984-03-09 ワ−ク寸法チエツク用測定ヘツド Granted JPS59173710A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT3358A/83 1983-03-09
IT03358/83A IT1169180B (it) 1983-03-09 1983-03-09 Comparatore per il controllo di dimensioni lineari di pezzi meccanici

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59173710A true JPS59173710A (ja) 1984-10-01
JPH0426404B2 JPH0426404B2 (ja) 1992-05-07

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ID=11105625

Family Applications (1)

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JP59045329A Granted JPS59173710A (ja) 1983-03-09 1984-03-09 ワ−ク寸法チエツク用測定ヘツド

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