JPH0843596A - 集束コイルの磁場測定装置 - Google Patents
集束コイルの磁場測定装置Info
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- JPH0843596A JPH0843596A JP17730294A JP17730294A JPH0843596A JP H0843596 A JPH0843596 A JP H0843596A JP 17730294 A JP17730294 A JP 17730294A JP 17730294 A JP17730294 A JP 17730294A JP H0843596 A JPH0843596 A JP H0843596A
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- Japan
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- focusing coil
- field measuring
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 集束コイルと、この集束コイルの中心軸上に
設けられ、軸方向及び軸直角方向磁場を測定する磁場測
定手段と、この磁場測定手段を前記集束コイルの中心軸
方向及び回転方向に移動可能に保持する保持手段と、前
記磁場測定手段の検出信号を増幅するプリアンプと、こ
のプリアンプの出力を表示する測定器本体と、を備え
る。 【効果】 軸方向及び軸直角方向磁場を連続的に滑らか
に測定できる。
設けられ、軸方向及び軸直角方向磁場を測定する磁場測
定手段と、この磁場測定手段を前記集束コイルの中心軸
方向及び回転方向に移動可能に保持する保持手段と、前
記磁場測定手段の検出信号を増幅するプリアンプと、こ
のプリアンプの出力を表示する測定器本体と、を備え
る。 【効果】 軸方向及び軸直角方向磁場を連続的に滑らか
に測定できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電子線型ライナック
の電子ビーム集束コイルの磁場測定装置に関するもので
ある。
の電子ビーム集束コイルの磁場測定装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来の集束コイルの磁場測定装置
を示す断面図であり、図において、１はドーナッツ状の
形状で、直流電流で励磁される集束コイル、２は磁場を
測定するプローブ３を固定する床８の上に置かれたプロ
ーブ置き台、４はプローブ３で検知された信号を増幅等
の信号処理を行うプリアンプ、５はその信号を表示或い
は電気信号として取り出す測定器本体である。
を示す断面図であり、図において、１はドーナッツ状の
形状で、直流電流で励磁される集束コイル、２は磁場を
測定するプローブ３を固定する床８の上に置かれたプロ
ーブ置き台、４はプローブ３で検知された信号を増幅等
の信号処理を行うプリアンプ、５はその信号を表示或い
は電気信号として取り出す測定器本体である。
【０００３】次に動作について説明する。集束コイル１
に直流電流が流れると、アンペアの右ねじの法則に従う
向きに磁場が発生する。この集束コイル１は、ドーナッ
ツ状の構造なので、軸中心は原理的には軸直角方向磁場
はゼロの筈である。しかし実際にはコイルの巻き方のバ
ラツキや、リード線からの漏洩磁場等の影響で完全には
ゼロにならない。また、複数個の集束コイルを使用する
場合、全てのコイルによる合成軸直角方向磁場完全にゼ
ロにはならない。電子ビームを集束させる為には、この
軸直角方向磁場が、軸方向磁場に対して最少となる様に
する必要がある。この集束コイル１によって発生する磁
場を測定する場合、集束コイル１の中の測定したい場所
へプローブ３が置ける様にプローブ２を固定するプロー
ブ置き台２を設置し、その上へプローブ３を固定する。
プローブ３にて検知された磁場の信号は、プリアンプ４
にて増幅等信号処理されて測定器本体５に表示されある
いは電気信号として取出すことが出来る。集束コイル１
の中で、磁場の測定場所を変える場合は、固定されてい
るプローブ３を外して、改めて固定しなおす必要があ
る。
に直流電流が流れると、アンペアの右ねじの法則に従う
向きに磁場が発生する。この集束コイル１は、ドーナッ
ツ状の構造なので、軸中心は原理的には軸直角方向磁場
はゼロの筈である。しかし実際にはコイルの巻き方のバ
ラツキや、リード線からの漏洩磁場等の影響で完全には
ゼロにならない。また、複数個の集束コイルを使用する
場合、全てのコイルによる合成軸直角方向磁場完全にゼ
ロにはならない。電子ビームを集束させる為には、この
軸直角方向磁場が、軸方向磁場に対して最少となる様に
する必要がある。この集束コイル１によって発生する磁
場を測定する場合、集束コイル１の中の測定したい場所
へプローブ３が置ける様にプローブ２を固定するプロー
ブ置き台２を設置し、その上へプローブ３を固定する。
プローブ３にて検知された磁場の信号は、プリアンプ４
にて増幅等信号処理されて測定器本体５に表示されある
いは電気信号として取出すことが出来る。集束コイル１
の中で、磁場の測定場所を変える場合は、固定されてい
るプローブ３を外して、改めて固定しなおす必要があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の集束コイルの磁
場測定装置は以上のように構成されているので、毎回測
定したい所へプローブ３を設置しなおす必要があり、プ
ローブ３を連続的に動かしながら測定することは不可能
で、集束コイルの磁場分布を測定しグラフにする場合
は、測定点が多い場合、非常に時間がかかりまたその精
度も悪くなるという問題点があった。
場測定装置は以上のように構成されているので、毎回測
定したい所へプローブ３を設置しなおす必要があり、プ
ローブ３を連続的に動かしながら測定することは不可能
で、集束コイルの磁場分布を測定しグラフにする場合
は、測定点が多い場合、非常に時間がかかりまたその精
度も悪くなるという問題点があった。
【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、集束コイルの磁場を連続的に移
動して測定が可能な集束コイルの磁場測定装置を提供す
ることを目的とする。
ためになされたもので、集束コイルの磁場を連続的に移
動して測定が可能な集束コイルの磁場測定装置を提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の集束コイルの
磁場測定装置は、集束コイルと、この集束コイルの中心
軸上に設けられ、軸方向及び軸直角方向磁場を測定する
磁場測定手段と、この磁場測定手段を集束コイルの中心
軸方向及び回転方向に移動可能に保持する保持手段と、
を備えたものである。
磁場測定装置は、集束コイルと、この集束コイルの中心
軸上に設けられ、軸方向及び軸直角方向磁場を測定する
磁場測定手段と、この磁場測定手段を集束コイルの中心
軸方向及び回転方向に移動可能に保持する保持手段と、
を備えたものである。
【０００７】請求項２の集束コイルの磁場測定装置は、
保持手段は、ベアリング及びベアリングホルダーを介し
てリニアウェイに連結されたものである。
保持手段は、ベアリング及びベアリングホルダーを介し
てリニアウェイに連結されたものである。
【０００８】請求項３の集束コイルの磁場測定装置は、
保持手段は、管状の案内である。
保持手段は、管状の案内である。
【０００９】請求項４の集束コイルの磁場測定装置は、
集束コイルと、この集束コイルの中心軸上に設けられ、
軸方向及び軸直角方向磁場を測定する磁場測定手段と、
この磁場測定手段を前記集束コイルの中心軸方向及び回
転方向に移動可能に保持する保持手段と、前記磁場測定
手段の検出信号を増幅するプリアンプと、このプリアン
プの出力を表示する測定器本体と、を備えたものであ
る。
集束コイルと、この集束コイルの中心軸上に設けられ、
軸方向及び軸直角方向磁場を測定する磁場測定手段と、
この磁場測定手段を前記集束コイルの中心軸方向及び回
転方向に移動可能に保持する保持手段と、前記磁場測定
手段の検出信号を増幅するプリアンプと、このプリアン
プの出力を表示する測定器本体と、を備えたものであ
る。
【００１０】請求項５の集束コイルの磁場測定装置は、
磁場測定手段は、Ｏリングを介して保持手段に保持され
たものである。
磁場測定手段は、Ｏリングを介して保持手段に保持され
たものである。
【００１１】請求項６の集束コイルの磁場測定装置は、
保持手段は、ユニバーサルジョイントを有するものであ
る。
保持手段は、ユニバーサルジョイントを有するものであ
る。
【００１２】請求項７の集束コイルの磁場測定装置は、
磁場測定手段は、回転角度検出機構を有するものであ
る。
磁場測定手段は、回転角度検出機構を有するものであ
る。
【００１３】請求項８の集束コイルの磁場測定装置は、
磁場測定手段は、集束コイルの軸方向移動量検出機構を
有するものである。
磁場測定手段は、集束コイルの軸方向移動量検出機構を
有するものである。
【００１４】
【作用】請求項１の集束コイルの磁場測定装置は、保持
手段が磁場測定手段を集束コイルの中心軸方向及び回転
方向に移動させて、磁場測定手段が集束コイルの軸方向
及び軸直角方向磁場を測定する。
手段が磁場測定手段を集束コイルの中心軸方向及び回転
方向に移動させて、磁場測定手段が集束コイルの軸方向
及び軸直角方向磁場を測定する。
【００１５】請求項２の集束コイルの磁場測定装置は、
リニアウェイにより保持手段は集束コイルの中心軸方向
に移動する。
リニアウェイにより保持手段は集束コイルの中心軸方向
に移動する。
【００１６】請求項３の集束コイルの磁場測定装置は、
管状の案内の中に磁場測定手段が保持される。
管状の案内の中に磁場測定手段が保持される。
【００１７】請求項４の集束コイルの磁場測定装置は、
保持手段が磁場測定手段を集束コイルの中心軸方向及び
回転方向に移動させて、磁場測定手段が集束コイルの軸
方向及び軸直角方向磁場を測定し、プリアンプが磁場測
定手段の検出信号を増幅し、このプリアンプの出力を測
定器本体が表示する。
保持手段が磁場測定手段を集束コイルの中心軸方向及び
回転方向に移動させて、磁場測定手段が集束コイルの軸
方向及び軸直角方向磁場を測定し、プリアンプが磁場測
定手段の検出信号を増幅し、このプリアンプの出力を測
定器本体が表示する。
【００１８】請求項５の集束コイルの磁場測定装置は、
磁場測定手段がＯリングを介して柔らかく保持手段に保
持される。
磁場測定手段がＯリングを介して柔らかく保持手段に保
持される。
【００１９】請求項６の集束コイルの磁場測定装置は、
保持手段がユニバーサルジョイントにより、リニアウェ
イとの不平行を吸収する。
保持手段がユニバーサルジョイントにより、リニアウェ
イとの不平行を吸収する。
【００２０】請求項７の集束コイルの磁場測定装置は、
磁場測定手段の回転角度検出機構が磁場測定手段の回転
角度を検出する。
磁場測定手段の回転角度検出機構が磁場測定手段の回転
角度を検出する。
【００２１】請求項８の集束コイルの磁場測定装置は、
磁場測定手段の移動量検出機構が集束コイルの軸方向移
動量を検出する。
磁場測定手段の移動量検出機構が集束コイルの軸方向移
動量を検出する。
【００２２】
実施例１．以下、この発明の実施例１を図について説明
する。図１において、１、３〜５、８は上記従来の装置
と同一のものであり、その説明は省略する。６１は集束
コイル１の軸中心に設置された管状の案内、６２はこの
案内６１の中に隙間のないように挿入され、プローブ３
を一端側に固定し、プローブ３の外径と同じ内径の穴の
あいたホルダー、６３は案内６１を床８に固定する案内
固定具、ホルダー６２の他端はベアリング６５、ベアリ
ングホルダー６８を介して床８に固定されたリニアウェ
イ案内軸６６によって案内されるリニアウェイ６７で保
持され、ホルダー６２の取り付けられたハンドル６４に
よってホルダー６２の水平移動或いは回転が可能であ
る。
する。図１において、１、３〜５、８は上記従来の装置
と同一のものであり、その説明は省略する。６１は集束
コイル１の軸中心に設置された管状の案内、６２はこの
案内６１の中に隙間のないように挿入され、プローブ３
を一端側に固定し、プローブ３の外径と同じ内径の穴の
あいたホルダー、６３は案内６１を床８に固定する案内
固定具、ホルダー６２の他端はベアリング６５、ベアリ
ングホルダー６８を介して床８に固定されたリニアウェ
イ案内軸６６によって案内されるリニアウェイ６７で保
持され、ホルダー６２の取り付けられたハンドル６４に
よってホルダー６２の水平移動或いは回転が可能であ
る。
【００２３】次に動作について説明する。床８に案内固
定具６３によって、集束コイル１の軸中心に設置された
管状の案内６１の中をプローブ３を固定したホルダー６
２がハンドル６４を集束コイル１の軸方向に移動或いは
回転することにより精度よく移動する。ホルダー６２の
反プローブ側端部はベアリング６５で保持されており、
ハンドル６４を回転することによりホルダー６２がベア
リング６５内で回転する。ベアリング６５は、ベアリン
グホルダー６８を介して水平移動ができるリニアウェイ
６７で保持されているので、ホルダー６２全体がリニア
ウェイ案内軸に案内されて、集束コイル１の軸方向に移
動することができる。ハンドル６４はホルダー６２に固
定されているので、このハンドル６４を動かすことによ
ってホルダー６２が自由に移動する。測定する位置が決
ったら、磁場を測定を行うが、集束コイル１に直流電流
が流れると、フレミングの左手の法則に従って磁場が集
束コイル１内に発生し、この磁場をプローブ３が検出
し、その検出信号をプリアンプ４に送りここで増幅等の
信号処理をして、その後測定器本体５に表示するか電気
信号として取り出す。
定具６３によって、集束コイル１の軸中心に設置された
管状の案内６１の中をプローブ３を固定したホルダー６
２がハンドル６４を集束コイル１の軸方向に移動或いは
回転することにより精度よく移動する。ホルダー６２の
反プローブ側端部はベアリング６５で保持されており、
ハンドル６４を回転することによりホルダー６２がベア
リング６５内で回転する。ベアリング６５は、ベアリン
グホルダー６８を介して水平移動ができるリニアウェイ
６７で保持されているので、ホルダー６２全体がリニア
ウェイ案内軸に案内されて、集束コイル１の軸方向に移
動することができる。ハンドル６４はホルダー６２に固
定されているので、このハンドル６４を動かすことによ
ってホルダー６２が自由に移動する。測定する位置が決
ったら、磁場を測定を行うが、集束コイル１に直流電流
が流れると、フレミングの左手の法則に従って磁場が集
束コイル１内に発生し、この磁場をプローブ３が検出
し、その検出信号をプリアンプ４に送りここで増幅等の
信号処理をして、その後測定器本体５に表示するか電気
信号として取り出す。
【００２４】実施例１は、集束コイルの磁場の測定を連
続的に滑らかに精度良く行うことができる。従来の装置
のように、測定位置が変る毎に、プローブを取り外して
固定しなおすという必要がなく、効率よく短時間にかつ
滑らかな集束コイルの磁場測定が可能になる。
続的に滑らかに精度良く行うことができる。従来の装置
のように、測定位置が変る毎に、プローブを取り外して
固定しなおすという必要がなく、効率よく短時間にかつ
滑らかな集束コイルの磁場測定が可能になる。
【００２５】実施例２．なお上記実施例では、プローブ
３をホルダー６２中に保持する場合のホルダー６２の内
部構造を、単にプローブ３と同じ外径の穴を有する様な
構造としたが、図３に示すように、ゴム製のＯリングを
介してプローブ３を保持する様にする事によってプロー
ブ３とホルダー６２の間のガタも消すことが出来るし、
通常の場合、薄肉製容器構造のプローブ３をやわらかく
保持する事が出来る。図３において、７１はプローブ３
とホルダー６２の間に設けられたＯリング、７２はこの
Ｏリングを押えるＯリング押えを表わす。
３をホルダー６２中に保持する場合のホルダー６２の内
部構造を、単にプローブ３と同じ外径の穴を有する様な
構造としたが、図３に示すように、ゴム製のＯリングを
介してプローブ３を保持する様にする事によってプロー
ブ３とホルダー６２の間のガタも消すことが出来るし、
通常の場合、薄肉製容器構造のプローブ３をやわらかく
保持する事が出来る。図３において、７１はプローブ３
とホルダー６２の間に設けられたＯリング、７２はこの
Ｏリングを押えるＯリング押えを表わす。
【００２６】実施例２によれば、プローブ３とホルダー
６２の間のガタを無くすと共に、通常薄肉製構造のプロ
ーブ３をやわらかく保持することができる。
６２の間のガタを無くすと共に、通常薄肉製構造のプロ
ーブ３をやわらかく保持することができる。
【００２７】実施例３．また上記実施例では、リニアウ
ェイ６７を保持案内するリニアウェイ用案内軸６６は、
プローブ３の案内６１と平行に設定しておく必要があっ
たが、図４に示すようにホルダ６２をユニバーサルジョ
イント９２を有する構造とすることにより、平行に設定
する必要が無くなり、平行を出す調整時間が無くなるの
で、試験時間も短くなる利点が生じる。
ェイ６７を保持案内するリニアウェイ用案内軸６６は、
プローブ３の案内６１と平行に設定しておく必要があっ
たが、図４に示すようにホルダ６２をユニバーサルジョ
イント９２を有する構造とすることにより、平行に設定
する必要が無くなり、平行を出す調整時間が無くなるの
で、試験時間も短くなる利点が生じる。
【００２８】実施例４．また上記実施例では、ホルダー
６２の回転角を直接精度よく読み取る事は出来なかった
が、図５に示すように歯車８１、８２を介して回転式可
変抵抗器等の角度検出器８３を取り付け、この角度検出
器８３の出力をＸＹレコーダ８４へ入力することによっ
て読み取り精度が上るだけでなく、グラフを直接作成す
ることが出来る。
６２の回転角を直接精度よく読み取る事は出来なかった
が、図５に示すように歯車８１、８２を介して回転式可
変抵抗器等の角度検出器８３を取り付け、この角度検出
器８３の出力をＸＹレコーダ８４へ入力することによっ
て読み取り精度が上るだけでなく、グラフを直接作成す
ることが出来る。
【００２９】実施例５．また図６に示すように、直線型
の可変抵抗器等の距離検出器９１をリニアウェイ６７に
取付ることによって、回転角度以外に直線距離の違いに
よる変化も読み取る事が出来、ＸＹレコーダ８４へ接続
すれば、グラフを直接作成することが出来る。
の可変抵抗器等の距離検出器９１をリニアウェイ６７に
取付ることによって、回転角度以外に直線距離の違いに
よる変化も読み取る事が出来、ＸＹレコーダ８４へ接続
すれば、グラフを直接作成することが出来る。
【００３０】
【発明の効果】請求項１の集束コイルの磁場測定装置
は、集束コイルと、この集束コイルの中心軸上に設けら
れ、軸方向及び軸直角方向磁場を測定する磁場測定手段
と、この磁場測定手段を集束コイルの中心軸方向及び回
転方向に移動可能に保持する保持手段と、を備えるの
で、軸方向及び軸直角方向磁場を連続的に滑らかに測定
できる。
は、集束コイルと、この集束コイルの中心軸上に設けら
れ、軸方向及び軸直角方向磁場を測定する磁場測定手段
と、この磁場測定手段を集束コイルの中心軸方向及び回
転方向に移動可能に保持する保持手段と、を備えるの
で、軸方向及び軸直角方向磁場を連続的に滑らかに測定
できる。
【００３１】請求項２の集束コイルの磁場測定装置は、
保持手段がベアリング及びベアリングホルダーを介して
リニアウェイに連結されるので、集束コイルの中心軸方
向及び回転方向に移動させることができる。
保持手段がベアリング及びベアリングホルダーを介して
リニアウェイに連結されるので、集束コイルの中心軸方
向及び回転方向に移動させることができる。
【００３２】請求項３の集束コイルの磁場測定装置は、
保持手段が管状の案内であり、容易に磁場測定手段を収
納できる。
保持手段が管状の案内であり、容易に磁場測定手段を収
納できる。
【００３３】請求項４の集束コイルの磁場測定装置は、
集束コイルと、この集束コイルの中心軸上に設けられ、
軸方向及び軸直角方向磁場を測定する磁場測定手段と、
この磁場測定手段を前記集束コイルの中心軸方向及び回
転方向に移動可能に保持する保持手段と、前記磁場測定
手段の検出信号を増幅するプリアンプと、このプリアン
プの出力を表示する測定器本体と、を備えるので、軸方
向及び軸直角方向磁場を連続的に滑らかに測定し表示で
きる。
集束コイルと、この集束コイルの中心軸上に設けられ、
軸方向及び軸直角方向磁場を測定する磁場測定手段と、
この磁場測定手段を前記集束コイルの中心軸方向及び回
転方向に移動可能に保持する保持手段と、前記磁場測定
手段の検出信号を増幅するプリアンプと、このプリアン
プの出力を表示する測定器本体と、を備えるので、軸方
向及び軸直角方向磁場を連続的に滑らかに測定し表示で
きる。
【００３４】請求項５の集束コイルの磁場測定装置は、
磁場測定手段がＯリングを介して保持手段に保持される
ので、磁場測定手段を柔らかく保持できる。
磁場測定手段がＯリングを介して保持手段に保持される
ので、磁場測定手段を柔らかく保持できる。
【００３５】請求項６の集束コイルの磁場測定装置は、
保持手段がユニバーサルジョイントを有するので、磁場
測定手段とリニアウェイとの平行を出す必要がなく試験
時間が短縮できる。
保持手段がユニバーサルジョイントを有するので、磁場
測定手段とリニアウェイとの平行を出す必要がなく試験
時間が短縮できる。
【００３６】請求項７の集束コイルの磁場測定装置は、
磁場測定手段は、回転角度検出機構を有するので、読み
取り精度が向上する。
磁場測定手段は、回転角度検出機構を有するので、読み
取り精度が向上する。
【００３７】請求項８の集束コイルの磁場測定装置は、
磁場測定手段は、集束コイルの軸方向移動量検出機構を
有するので、直線距離の違いによる変化を読み取ること
ができる。
磁場測定手段は、集束コイルの軸方向移動量検出機構を
有するので、直線距離の違いによる変化を読み取ること
ができる。
【図１】 この発明の実施例１による集束コイルの磁場
測定器を示す断面正面図である。
測定器を示す断面正面図である。
【図２】 この発明の実施例１による集束コイルの磁場
測定器を示す側面図である。
測定器を示す側面図である。
【図３】 この発明の実施例２による集束コイルの磁場
測定器を示す断面正面図である。
測定器を示す断面正面図である。
【図４】 この発明の実施例３による集束コイルの磁場
測定器を示す断面正面図である。
測定器を示す断面正面図である。
【図５】 この発明の実施例４による集束コイルの磁場
測定器を示す断面正面図である。
測定器を示す断面正面図である。
【図６】 この発明の実施例５による集束コイルの磁場
測定器を示す断面正面図である。
測定器を示す断面正面図である。
【図７】 従来の集束コイルの磁場測定器を示す断面正
面図である。
面図である。
【図８】 従来の集束コイルの磁場測定器を示す側面図
である。
である。
１ 集束コイル、２ プローブ置き台、３ プローブ、
４ プリアンプ、５測定器本体、７ 集束コイルホルダ
ー、８ ベース、６１ 案内、６２ ホルダー、６３
案内固定具、６４ ハンドル、６５ ベアリング、６６
案内軸、６７ リニアウェイ、６８ ベアリングホル
ダー、７１ Ｏリング、７２ Ｏリング押え、８１ 歯
車１、８２ 歯車２、８３ 角度検出器、８４ ＸＹレ
コーダ、９１ 距離検出器、９２ ユニバーサルジョイ
ント。
４ プリアンプ、５測定器本体、７ 集束コイルホルダ
ー、８ ベース、６１ 案内、６２ ホルダー、６３
案内固定具、６４ ハンドル、６５ ベアリング、６６
案内軸、６７ リニアウェイ、６８ ベアリングホル
ダー、７１ Ｏリング、７２ Ｏリング押え、８１ 歯
車１、８２ 歯車２、８３ 角度検出器、８４ ＸＹレ
コーダ、９１ 距離検出器、９２ ユニバーサルジョイ
ント。
Claims (8)
- 【請求項１】 電子ビームの集束用電磁石（以下、集束
コイル）と、この集束コイルの中心軸上に設けられ、軸
方向及び軸直角方向磁場を測定する磁場測定手段と、こ
の磁場測定手段を前記集束コイルの中心軸方向及び回転
方向に移動可能に保持する保持手段と、を備えた集束コ
イルの磁場測定装置。 - 【請求項２】 保持手段は、ベアリング及びベアリング
ホルダーを介してリニアウェイに連結されたことを特徴
とする請求項１記載の集束コイルの磁場測定装置。 - 【請求項３】 保持手段は、管状の案内であることを特
徴とする請求項１記載の集束コイルの磁場測定装置。 - 【請求項４】 集束コイルと、この集束コイルの中心軸
上に設けられ、軸方向及び軸直角方向磁場を測定する磁
場測定手段と、この磁場測定手段を前記集束コイルの中
心軸方向及び回転方向に移動可能に保持する保持手段
と、前記磁場測定手段の検出信号を増幅するプリアンプ
と、このプリアンプの出力を表示する測定器本体と、を
備えた集束コイルの磁場測定装置。 - 【請求項５】 磁場測定手段は、Ｏリングを介して保持
手段に保持されたことを特徴とする請求項１記載の集束
コイルの磁場測定装置。 - 【請求項６】 保持手段は、ユニバーサルジョイントを
有することを特徴とする請求項１記載の集束コイルの磁
場測定装置。 - 【請求項７】 磁場測定手段は、回転角度検出機構を有
することを特徴とする請求項１記載の集束コイルの磁場
測定装置。 - 【請求項８】 磁場測定手段は、集束コイルの軸方向移
動量検出機構を有することを特徴とする請求項１記載の
集束コイルの磁場測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17730294A JPH0843596A (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 集束コイルの磁場測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17730294A JPH0843596A (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 集束コイルの磁場測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0843596A true JPH0843596A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=16028626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17730294A Pending JPH0843596A (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 集束コイルの磁場測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0843596A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107797082A (zh) * | 2017-12-06 | 2018-03-13 | 山东蓝孚高能物理技术股份有限公司 | 一种工业直线电子加速管的聚焦线圈测试平台 |
| JP2021048057A (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | 住友重機械工業株式会社 | 磁場分布測定装置 |
-
1994
- 1994-07-28 JP JP17730294A patent/JPH0843596A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107797082A (zh) * | 2017-12-06 | 2018-03-13 | 山东蓝孚高能物理技术股份有限公司 | 一种工业直线电子加速管的聚焦线圈测试平台 |
| JP2021048057A (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | 住友重機械工業株式会社 | 磁場分布測定装置 |
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