JP2003338071A - 光ピックアップ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】部品数が少ないとともに、高い精度で収差を補
正できる可変形状ミラーを有する光ピックアップ装置を
提供する。 【解決手段】光ピックアップ装置は、レーザ光源１１
と、レーザ光源１１から出射したレーザ光束を平行なレ
ーザ光束に変換する平行光学系１３と、変形可能な反射
面１４ａを有しており、この平行なレーザ光束を反射面
１４ａで反射させて９０度偏向させる可変形状ミラー１
４と、この偏向させられたレーザ光束を光記録媒体１７
に集束させる対物レンズ１５とを備えている。可変形状
ミラー１４の反射面１４ａは、光記録媒体１７で発生す
る収差を補正するよう変形する。変形した反射面１４ａ
の形状は、反射面１４ａに沿って延び、互いに直交する
２つの変形線に対してそれぞれ対称である。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、光記録媒体に対し
て情報の記録／再生を行う光ピックアップ装置に関す
る。特に、記録層前面のカバー層の厚みが異なる複数の
光記録媒体に対して記録／再生を行うときや、記録層前
面のカバー層に光学的厚み誤差を有する光記録媒体、又
は記録層を複数有する多層光記録媒体に対して記録／再
生を行うときに発生する球面収差を補正する光ピックア
ップ装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】光ピックアップ装置を用いて、記録層前
面のカバー層の厚みが異なる複数の光記録媒体に対して
情報の記録／再生を行う場合や、記録層前面のカバー層
に光学的厚み誤差を有する光記録媒体、又は記録層を複
数有する多層光記録媒体に対して情報の記録／再生を行
う場合、記録層前面のカバー層の光学的厚み変化に起因
する球面収差の発生が問題となる。 【０００３】光記録媒体に記録された情報の密度を高く
するために、より短い波長の光を用いたり、高いＮＡ
（開口数）をもつ対物レンズが用いられたりしている。
この場合、僅かな厚みの変化であっても大きな球面収差
が発生し、光記録媒体の記録層上でのスポット形状は大
幅に劣化する。そこで、このような球面収差を補正する
ために、対物レンズと光源の間に変形可能なミラーを配
置する方法が提案されている。例えば、日本国特許第２
５０２８８４号には変形可能な可変形状ミラーを用いて
球面収差を補正する光ピックアップ装置が開示されてい
る。この光ピックアップ装置では、光源からの平行なレ
ーザ光束が偏光ビームスプリッタ、１／４波長板を順に
透過し、可変形状ミラーに略垂直に入射する。可変形状
ミラーは収差を補正するように変形している。可変形状
ミラーで反射したレーザ光束は１／４波長板を透過し偏
光ビームスプリッタで反射して光記録媒体の記録層に導
かれる。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な光ピックアップ装置では、光源からの平行なレーザ光
束を可変形状ミラーに略垂直に入射させているので、レ
ーザ光束を偏向するために偏光ビームスプリッタと１／
４波長板が必要になる。このため、部品の数が増加する
ので、光ピックアップ装置の構成が複雑になる。また、
光ピックアップ装置が大型化する。 【０００５】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、本発明の目的は、部品数が少ないとと
もに、高い精度で収差を補正できる可変形状ミラーを有
する光ピックアップ装置を提供することである。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項１に係わる光ピックアップ装置は、
レーザ光源と、このレーザ光源から出射したレーザ光束
を平行なレーザ光束に変換する平行光学系と、変形可能
な反射面を有しており、この平行なレーザ光束をこの反
射面で反射させて９０度偏向させる可変形状ミラーと、
この偏向させられたレーザ光束を光記録媒体に集束させ
る対物レンズと、光記録媒体に集束させられ光記録媒体
で反射したレーザ光束を検出する光検出器とを備えてお
り、可変形状ミラーの反射面は、光記録媒体で発生する
収差を補正するよう変形し、変形した反射面の形状は、
反射面に沿って延び、互いに直交する２つの変形線に対
してそれぞれ対称である。 【０００７】可変形状ミラーを用いて平行なレーザ光束
を９０度偏向させて対物レンズに導く。このためビーム
スプリッタや１／４波長板が不要であるので、光ピック
アップ装置を小型にすることができる。また、変形した
反射面の形状を、反射面に沿って延び、互いに直交する
２つの変形線に対してそれぞれ対称することにより、不
要な非点収差とコマ収差の発生を抑えながら、光ディス
クのカバーガラスの厚み変化により生じる球面収差を補
正することができる。 【０００８】 【発明の実施の形態】図１〜図８を参照して、本発明の
実施の形態に係わる光ピックアップ装置を説明する。先
ず図１〜図６を参照して第１の実施の形態の光ピックア
ップ装置を説明する。図１は光ピックアップ装置の概略
図である。レーザ光源として用いられている半導体レー
ザ１１から出射した発散するレーザ光束は、ビームスプ
リッタ１２を透過し、コリメータレンズ１３により略平
行なレーザ光束に変換される。コリメータレンズ１３は
平行光学系を形成している。本実施の形態では、平行光
学系はコリメータレンズ１３で形成されているが、別の
光学素子で形成されていても良い。例えば、平行光学系
は複数のレンズを有していても良い。 【０００９】次に、レーザ光束は可変形状ミラー１４で
反射する。可変形状ミラー１４は変形可能な反射面１４
ａを有している。反射面１４ａは可撓性の反射膜１４ｂ
の表面に形成されている。可変形状ミラー１４は反射面
１４ａを変形させる機構（後述、図５〜図８）を有して
いる。反射したレーザ光束は９０°偏向する。次に、レ
ーザ光束は対物レンズ１５を通過し、情報記録媒体とし
て用いられている光ディスク１７に集束する。光ディス
ク１７は記録層１７ａと、記録層１７ａを覆っているカ
バーガラス１７ｂを有している。光ディスク１７に集束
するレーザ光束はカバーガラス１７ｂを透過し、記録層
１７ａに集束する。 【００１０】光ディスク１７に集束し光ディスク１７で
反射したレーザ光束は光検出器１６により検出される。
先ず、光ディスク１７で反射したレーザ光束は逆の光路
を辿って、即ち、対物レンズ１５、可変形状ミラー１４
及びコリメータレンズ１３を順に辿ってビームスプリッ
タ１２に導かれる。ビームスプリッタ１２に導かれたレ
ーザ光束の一部がここで反射し光検出器１６に入射す
る。可変形状ミラー１４の反射面１４ａは、光ディスク
１７で発生する球面収差を補正するよう変形する。 【００１１】この球面収差はカバーガラス１７ｂの厚み
変化によって生ずる。カバーガラスの厚み変化は、カバ
ーガラスの厚みが異なる複数の光ディスクが用意された
場合において、光ピックアップ装置に対向して配置され
た光ディスクを別の光ディスクに交換したときに起こ
る。また、カバーガラスの厚み変化は、カバーガラスが
光学的な厚み誤差を有するときや、光ディスクが、厚み
方向に順に積層された複数の記録層を有するときにも起
こる。 【００１２】互いに異なる規格をもつ光ディスク、例え
ばコンパクト・ディスク（ＣＤ）とデジタル・バーサタ
イル・ディスク（ＤＶＤ）とのカバーガラスの厚みはそ
れぞれ１．２ｍｍと０．６ｍｍであり、その差は０．６
ｍｍである。半導体レーザの波長が比較的短い、例えば
波長が４００ｎｍ程度であり、対物レンズのＮＡが比較
的大きい、例えばＮＡが０．７以上である場合、カバー
ガラスの光学的な厚み誤差が数μｍ程度であっても、球
面収差の大きさからみるとカバーガラスの厚み変化は無
視できない。 【００１３】多層光ディスクは、順に積層された記録層
と、これらの上に設けられた表面カバーガラスとを有し
ている。表面カバーガラスは対物レンズに対向してい
る。それぞれの記録層は接合層を介して接合されてい
る。対物レンズに対向している多層光ディスクの表面か
ら数えて１層目の記録層と、多層光ディスクの表面との
距離、即ち１層目の記録層のカバーガラスと見なされる
ものの厚みは、表面カバーガラスの厚みと等しい。多層
光ディスクの表面から数えて２層目の記録層と、多層光
ディスクの表面との距離、即ち２層目の記録層のカバー
ガラスと見なされるものの厚みは、表面カバーガラスの
厚み、１層目の記録層の厚み及び接合層の厚みを足し合
わせたものに等しい。従って、１層目の記録層にレーザ
光束が集束された状態から２層目の記録層に集束された
状態に切り替わるときに、１層目の記録層の厚み及び接
合層の厚みを足し合わせた分だけカバーガラスの厚み変
化が起こる。３層目以降の記録層に対しても同様にカバ
ーガラスの厚み変化が起こる。 【００１４】記録層に集束されたレーザ光束の光軸と記
録層が略垂直である場合、カバーガラスの厚み変化によ
り球面収差が発生する。この球面収差を打ち消すため
に、可変形状ミラー１４の反射面１４ａは回転対称な収
差を発生させるように変形することが望ましい。 【００１５】ところで、可変形状ミラー１４には光源１
１側から略平行なレーザ光束が４５度の入射角で入射す
る。可変形状ミラー１４の反射面１４ａと入射光束の関
係を考慮すると、可変形状ミラー１４を含む光学系は偏
心光学系（回転非対称光学系）であるといえる。言い換
えると、反射面１４ａにおいて、入射光束の光軸に沿っ
て進む光線が反射される部分を考えたときに、反射面１
４ａのこの部分の曲率中心が光軸上になく、光軸から大
きく離れた位置にある。図２はこの光学系の概略図であ
る。ｓは入射光束の光軸を、ｓ’は可変形状ミラー１４
で反射した反射光束の光軸をそれぞれ示している。図２
では光軸ｓ，ｓ’を含む平面で切断した可変形状ミラー
１４の断面が示されている。一般的に、偏心光学系で反
射された反射光束は、光軸に対して回転非対称とにな
る。このとき、非点収差とコマ収差が発生する。光ピッ
クアップ装置は、上述の回転対象な球面収差の発生を抑
制すると共に、可変形状ミラーで発生する回転非対称な
非点収差とコマ収差の発生を抑えるように、可変形状ミ
ラーが回転非対称に変形されるように構成されている。 【００１６】図３は可変形状ミラー１４に対して定めら
れた座標系を説明するための図である。可変形状ミラー
１４は平坦にされている。可変形状ミラー１４の反射面
１４ａに垂直にｚ軸をとり、このｚ軸に直交するように
ｙ軸をとる。ｙ軸は可変形状ミラー１４に入射するレー
ザ光束の光軸と反射するレーザ光束の光軸とを含む平面
内にある。ｘ軸（図示せず）はｙ軸とｚ軸に垂直にと
り、座標系ｘｙｚの原点は光軸と可変形状ミラーの反射
面１４ａの交点にとる。対物レンズの光軸をζ軸にと
る。ζ軸はｙｚ平面内に存在する。ｙｚ平面内でζ軸に
垂直にη軸をとる。ξ軸（図示せず）はη軸とζ軸に垂
直にとる。座標系ξηζの原点はｘｙｚ座標系の原点と
一致させる。 【００１７】光ディスク１７で発生する収差を補正する
とともに非点収差やコマ収差の発生を抑えるよう可変形
状ミラー１４の反射面１４ａが変形したとき、変形した
反射面１４ａの形状はｙｚ面に対して対称でありかつｚ
ｘ面に対して対称である。言い換えると、変形した反射
面１４ａの形状は、反射面１４ａに沿って延び、互いに
直交する２つの変形線に対してそれぞれ対称である。２
つの変形線はそれぞれｙｚ面、ｚｘ面と反射面１４ａと
の交線に対応する。可変形状ミラー１４で反射されたレ
ーザ光束はζ軸に対して高い回転対称性をもつ。 【００１８】反射されたレーザ光束の回転対称性につい
て説明する。図４は上述のように変形した可変形状ミラ
ー１４でレーザ光束が反射している様子を示す図であ
る。図４ではｙｚ平面で切断した可変形状ミラー１４の
断面が示されている。反射面１４ａの形状はｚ軸に対し
て対称とする。座標系ｘｙｚ，ξηζの原点は可変形状
ミラー１４の変形に合わせて、とり直している。可変形
状ミラー１４の点Ｃに入射する光線をａ、点Ｃで反射さ
れた光線をｂとする。点Ｃ及び光線ａ，ｂはｙｚ平面内
にある。光線ａのｙ軸からの角度をα、光線ｂのｙ軸か
らの角度をβ、点Ｃにおける反射面１４ａの接線ｌの、
ｙ軸からの傾き角をθとすると、 β＝π−α＋２θ が成り立つ。光線ｂのζ軸からの傾き角をεとすると、 ε＝π／４−α＋２θ となる。ただし、ｚ軸とζ軸のなす角をπ／４とした。 【００１９】点Ｃのｚ軸に対称な点をＣ’とする。点
Ｃ’に入射する光線をａ’、点Ｃ’で反射された光線を
ｂ’とする。点Ｃ’及び光線ａ’，ｂ’はｙｚ平面内に
ある。光線ａ’のｙ軸からの角度をα’、光線ｂ’のｙ
軸からの角度をβ’、Ｃ’点におけるミラー面の接線
ｌ’の、ｙ軸からの傾き角をθ’とする。さらに、光線
ｂ’のζ軸からの傾き角をε’とする。点Ｃの場合と同
様に、 ε’＝π／４−α’＋２θ’ となる。ここでミラー形状はｚ軸に対して対称であるこ
とから、 θ’＝−θ である。可変形状ミラー１４へ入射するレーザ光束がη
軸の回りに回転対称な平行なレーザ光束であり、可変形
状ミラー１４の変形量が数μｍと小さい場合、小さな値
δを用いて α＝π／４＋δ α’＝π／４−δ と表せ、 ε＝−ε’＝−δ＋２θ が成り立つ。 【００２０】言い換えれば、ｚ軸に対して対称な異なる
２点Ｃ，Ｃ’で反射された光線ｂ，ｂ’の傾き角はζ軸
に対して対称である。また、可変形状ミラー１４の変形
量が数μｍと小さい場合、光線ｂと光線ｂ’の位置はζ
軸に対して可変形状ミラー１４の変形量と同程度のずれ
の範囲内において対称といえる。以上のように、ｙｚ平
面内において、可変形状ミラー１４で反射されたレーザ
光束はζ軸に対して対称である。 【００２１】上述したように、ｙｚ平面内では可変形状
ミラー１４の断面形状はｚ軸に対して対称である。可変
形状ミラー１４の断面形状は、さらにｘｙ平面に垂直で
ありかつｚ軸を含む平面内においてもｚ軸に対して対称
である。このため、可変形状ミラー１４で反射されたレ
ーザ光束はζ軸に対して高い回転対称性をもつ。従っ
て、非点収差やコマ収差の発生を抑えながら、球面収差
を補正することができる。 【００２２】可変形状ミラー１４の動作例を説明する。
対物レンズ１５は、カバーガラスの厚みが０．１ｍｍ、
使用波長λが４０５ｎｍのときにレーザ光束を最適に記
録層に集束するように設計されている。対物レンズ１５
の開口数（ＮＡ）は０．８５である。カバーガラスの厚
み変化が起こったことを再現するために、厚さが０．１
２ｍｍであるカバーガラスを用意し、これにレーザ光束
を集束する。このとき、球面収差が発生する。波面収差
は０．２λｒｍｓを超える。この球面収差を可変形状ミ
ラー１４の反射面１４ａを変形させて補正する。 【００２３】反射面１４ａの形状を表すのに多項式を用
いる。反射面１４ａの形状を ｚ＝Σ_ｎΣ_ｍＡ_ｎｍｘ^ｎｙ^ｍ とする。ｎに関する和はｎ＝２、４、６、…と２以上の
偶数とする。ｍに関する和について、ｍ＝２、４、６、
…と２以上の偶数の場合と、ｍ＝２、３、４、…と２以
上の整数の場合とを比較する。ｎを偶数とすることで、
ミラー形状はｙｚ面に対して対称になる。ｍを偶数とす
ることで、ミラー形状はｘｚ面に対して対称になる。ｍ
に奇数を含めるとｘｚ面に対して非対称となるが、ここ
では比較のために示す。ｎ＋ｍが１０以下の場合におい
て、係数Ａ_ｎｍを最適にして球面収差を補正したときの
波面収差（λｒｍｓ）を表１に示す。可変形状ミラー１
４に入射するレーザ光束の光軸がη軸からξ軸方向又は
ζ軸方向に傾いた場合をあわせて示す。 【００２４】 【表１】【００２５】本来、自由度が高くなるよう、ｙの奇数次
を含むとき、即ち反射面１４ａの形状がｘｚ平面に対し
て非対称であるとき、波面収差は小さくなることが予想
される。表１もこのことを示している。しかしながら、
ｙが偶数次のみのときの波面収差と奇数次を含むときの
波面収差を比較すると、大きな差がない。これは、反射
面１４ａの形状がより複雑な形状をもつ非対称の場合と
比較して、反射面１４ａの形状がｘｚ面に対して対称で
ある、即ちより単純な形状である場合であっても、十分
波面収差を小さくすることができることを意味してい
る。 【００２６】変形した反射面１４ａの形状を対称にすれ
ば、可変形状ミラー１４を変形させるための機構を単純
にすることができる。また、この機構の制御も容易にす
ることができる。 【００２７】図５は変形させるための機構を含む可変形
状ミラー１４の断面図である。半導体基板２１の上面に
は凹部２４が設けられている。凹部２４の底面には絶縁
膜２６を介して電極層２７が形成されている。半導体基
板２１の上面には凹部２４を覆うように絶縁膜２２を介
して、電極層２３が設けられている。電極層２３の上面
には反射膜１４ｂが形成されている。反射膜１４ｂには
反射面１４ａが形成されている。 【００２８】電極層２３，２７間に電圧を印加すると、
静電引力が発生して反射膜１４ｂが凹状に変形する。変
形形状をより正確に制御するために、電極層２３，２７
の少なくとも一方が分割されている。電極層２３，２７
の両方を分割する場合には、分割された電極層２３，２
７の形状は、同じでも良いし、異なっていても良い。本
実施の形態では電極層２３のみが分割されている。分割
された電極層にはそれぞれ個別に電圧が印加される。 【００２９】図６は電極層２３の平面図である。図６で
は、電極層２３は、上述したように反射面１４ａに対し
て定められた座標系ｘｙｚのｘｙ平面に平行に配置され
ている。座標系ｘｙｚの原点は電極層２３のほぼ中心に
とられている。反射面１４ａの形状がｘｚ平面及びｙｚ
平面に対して対称になるよう反射面１４ａを変形させる
ために、分割された電極層２３の形状は、ｘｚ平面及び
ｙｚ平面に対して対称である。電極層２３の分割された
それぞれの部分の内、ｘｚ平面及びｙｚ平面に対して互
いに対称な位置に位置している部分同士には等しい電圧
が印加される。分割された電極層を用いれば、変形した
反射面１４ａの形状を対称な形状にするときに、制御が
容易である。 【００３０】図７及び図８を参照して第２の実施の形態
の光ピックアップ装置を説明する。本実施の形態の光ピ
ックアップ装置の構成は、基本的に第１の光ピックアッ
プ装置の構成と同じである。異なる点は、可変形状ミラ
ーの構成である。本実施の形態において、第１の実施の
形態の図１〜図４を参照して説明した構成部材と実質的
に同一の構成部材は、第１の実施の形態の対応する構成
部材を指示していた参照符号と同じ参照符号を付して詳
細な説明を省略する。 【００３１】図７は本実施の形態の可変形状ミラー１
４’の断面図である。支持部３０の上面には凹部３４が
形成されている。凹部３４を覆うように、支持部３０の
上面には反射膜１４ｂが形成されている。凹部３４とは
反対側にある反射膜１４ｂの表面には金がコーティング
されている。コーティングされた金の表面は反射面１４
ａとして用いられる。凹部３４の底面には永久磁石３３
が固定されている。永久磁石３３のＮ極とＳ極のどちら
か一方が凹部３４の底面に、他方が反射膜１４ｂに向け
られている。反射膜１４ｂの永久磁石３３に対向する部
分にはコイル３２が設けられている。 【００３２】図８はコイル３２側から見た反射膜１４ｂ
の平面図である。２つのコイル３２が反射膜１４ｂに沿
って延びている。２つのコイル３２の形状はそれぞれ長
円形であり、これらは同心的に巻かれている。図８で
は、電極層２３と同様に、反射面１４ａに対して定めら
れた座標系ｘｙｚのｘｙ平面に平行に配置されている。
座標系ｘｙｚの原点は反射膜１４ｂのほぼ中心にとられ
ている。反射面１４ａの形状がｘｚ平面及びｙｚ平面に
対して対称になるよう反射面１４ａを変形させるため
に、コイル３２の形状は、ｘｚ平面及びｙｚ平面に対し
て対称である。コイル３２はフォトリソグラフィーの手
法を用いて作成されている。これは微小なコイルを作成
するのに有利である。 【００３３】コイル３２に電流を流すと電磁力が発生
し、反射膜１４ｂが変形する。これにより、反射面１４
ａが変形する。コイル３２に流される電流の方向に応じ
て、発生する電磁力は引力又は斥力になる。これに応じ
て、変形した反射面１４ａの形状は凹面又は凸面にな
る。 【００３４】本実施の形態では、反射面１４ａを形成す
るために反射膜１４ｂに金がコーティングされている
が、アルミニウム、銀又はクロムがコーティングされて
も良い。また、反射面１４ａを保護するために、コーテ
ィングされた材料の上に、保護層を形成しても良い。 【００３５】本実施の形態ではコイル３２の数は２つで
あるが、本発明はこれに限定されない。例えば、コイル
の数は１つでも良いし、３以上でも良い。また、本実施
の形態ではコイル３２の形状は長円系であり、これらは
同心的に巻かれているが、本発明はこれに限定されな
い。 【００３６】第１及び第２の実施の形態では、反射面１
４ａを変形させるために、それぞれ電極層２３、コイル
３２を用いているが、圧電素子を用いても良い。 【００３７】上記第１及び第２の実施の形態の光ピック
アップ装置を用いれば、部品点数を削減することができ
るので、光ピックアップ装置を小型化することができる
とともにコストを抑えることができる。また、反射面１
４ａを所定の２つの平面と反射面１４ａとの交線に対し
てそれぞれ対称的に変形させることにより、不要な非点
収差とコマ収差の発生を抑えながら、光ディスクのカバ
ーガラスの厚み変化により生じる球面収差を補正するこ
とができる。このため、カバーガラスの厚さが異なる複
数の光ディスクを用いる場合や、カバーガラスの厚さに
バラツキ誤差がある場合や、複数の記録層を有する光デ
ィスクを用いる場合にも、記録層に集束されたレーザ光
束のスポット形状を小さくすることができる。従って、
記録／再生の分解能を改善することができるので、記録
／再生の質を高くすることができる。 【００３８】尚、本発明は上述した実施の形態に限定さ
れるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内にお
いて種々の変形や応用が可能であることは勿論である。 【００３９】 【発明の効果】以上詳述したことから明らかなように、
本発明に従った光ピックアップ装置では、平行なレーザ
光束を反射面で反射させて９０度偏向させて対物レンズ
に導くので、部品点数を削減することができる。従っ
て、光ピックアップ装置を小型化することができるとと
もにコストを抑えることができる。また、変形した反射
面の形状を、反射面に沿って延び、互いに直交する２つ
の変形線に対してそれぞれ対称することにより、不要な
非点収差とコマ収差の発生を抑えながら、光ディスクの
カバーガラスの厚み変化により生じる球面収差を補正す
ることができる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の第１の実施の形態における光ピックア
ップ装置の概略図。 【図２】可変形状ミラーを含む偏心光学系の概略図。 【図３】可変形状ミラーに対して定められた座標系を説
明するための図。 【図４】変形した可変形状ミラーでレーザ光束が反射し
ている様子を示す図。 【図５】本発明の第１の実施の形態における光ピックア
ップ装置に用いられている可変形状ミラーの断面図。 【図６】図５の可変形状ミラーに設けられた電極層の平
面図。 【図７】本発明の第２の実施の形態における光ピックア
ップ装置に用いられている可変形状ミラーの断面図。 【図８】図７の可変形状ミラーにおいてコイル側から見
た反射膜の平面図。 【符号の説明】 １１ 光源 １２ ビームスプリッタ １３ コリメータレンズ １４ 可変形状ミラー １４ａ 反射面 １４ｂ 反射膜 １５ 対物レンズ １６ 光検出器 １７ 光ディスク １７ａ 記録層 １７ｂ カバーガラス ２１ 半導体基板 ２２ 絶縁膜 ２３ 電極層 ２４ 凹部 ２６ 絶縁膜 ２７ 電極層 ３０ 支持部 ３２ コイル ３３ 永久磁石 ３４ 凹部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D119 AA01 AA04 AA11 AA22 AA41 BA01 BB01 BB02 BB03 BB13 DA01 DA05 EB02 EC01 EC02 EC04 FA05 JA02 JA09 JA10 JA57 JA64 5D789 AA01 AA04 AA11 AA22 AA41 BA01 BB01 BB02 BB03 BB13 DA01 DA05 EB02 EC01 EC02 EC04 FA05 JA02 JA09 JA10 JA57 JA64

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 レーザ光源と、 このレーザ光源から出射したレーザ光束を平行なレーザ
   光束に変換する平行光学系と、 変形可能な反射面を有しており、この平行なレーザ光束
   をこの反射面で反射させて９０度偏向させる可変形状ミ
   ラーと、 この偏向させられたレーザ光束を光記録媒体に集束させ
   る対物レンズと、 光記録媒体に集束させられ光記録媒体で反射したレーザ
   光束を検出する光検出器とを備えており、 可変形状ミラーの反射面は、光記録媒体で発生する収差
   を補正するよう変形し、 変形した反射面の形状は、反射面に沿って延び、互いに
   直交する２つの変形線に対してそれぞれ対称であること
   を特徴とする光ピックアップ装置。