JP2003330385A

JP2003330385A - 電極パターンおよびその検査方法

Info

Publication number: JP2003330385A
Application number: JP2002142356A
Authority: JP
Inventors: Masanori Fukuda; 政典福田
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2002-05-17
Filing date: 2002-05-17
Publication date: 2003-11-19

Abstract

(57)【要約】【課題】検査を短時間で行うことができる電極パターン
検査方法と、その検査方法を適用するための電極パター
ンとを提供する。【解決手段】平面上に平行状態で配列する複数本の帯状
電極の内で、奇数番目の帯状電極については所定数を組
として互いに導通する組導通電極部を有し、偶数番目の
帯状電極については奇数番目の帯状電極に対して排他的
に接触端子として選択できる排他的電極部を有する電極
パターン。またその電極パターンにおいて、組導通電極
部に対応する排他的電極部の組に導電性部材を接触させ
ることにより互いに導通させ組導通電極部と導電性部材
との間の短絡検査を行い、短絡が発見された組の組導通
電極部とそれに対応する排他的電極部の各々との間の短
絡検査を行う電極パターン検査方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレ
イ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、等
の平面型ディスプレイの技術分野に属する。特に、平面
型ディスプレイにおける電極パターンとその検査方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイ、プラズマディスプレ
イ、有機ＥＬディスプレイ、等の平面型ディスプレイに
おいてはＩＴＯなどの透明電極が用いられる。その透明
電極の検査方法としては、従来は、主として透明電極に
おけるパターンが正常であるか否かを外観形状から検査
する方法が適用される。しかし、透明電極の短絡欠陥に
ついては外観形状からは検出できない微小な短絡欠陥が
ある。そのため電気的な導通の有無により短絡欠陥を検
査する方法を省略することができない。

【０００３】この電気的な検査方法は、隣接する電極間
の抵抗値を検出しその抵抗値が所定のしきい値以下であ
るときにその電極間が短絡していると判定する検査方法
である。図４、図５には、平面上に平行状態で配列する
複数本の帯状電極からなる電極パターンとプラス（＋）
形状の切断マークが示されている。図４において、ある
帯状電極の右側端部にプローブ４１が電気的な接点を形
成し、その帯状電極に隣接する帯状電極の右側端部にプ
ローブ４２が電気的な接点を形成する。このプローブ４
１とプローブ４２の間の抵抗値を検出して短絡欠陥の有
無を検査する。

【０００４】プローブ４１とプローブ４２が接点を形成
する対象となる２つの隣接する帯状電極は、次に隣接す
る帯状電極へと順次変更する。図４に示す一例では上方
の帯状電極から下方の帯状電極へと順次変更して全帯状
電極が検査の対象となるようにする。

【０００５】上述の図４に対して図５においては、ある
帯状電極の右側端部にプローブ５１が電気的な接点を形
成し、その帯状電極に隣接する帯状電極の左側端部にプ
ローブ５２が電気的な接点を形成する。すなわち帯状電
極の片側からプローブの接点を形成するか、両側からプ
ローブの設定を形成するかにおいて図４と図５とは相異
する。

【０００６】上述のように１つのプローブによって１つ
の接点が形成されるが、ＦＰＣ（flexible print circu
it）によって帯状電極と等間隔となる複数の接点を形成
することができる。このＦＰＣにおける複数の接点の各
々が、複数の帯状電極の各々に接続されるように密着
し、順次電気信号を加えて短絡欠陥の有無、その位置、
等を検査する方法について提案がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、直接的
にＩＴＯなどの透明電極をプローブで接触する方法で
は、プローブによって透明電極が傷つく恐れがある。ま
たすべての帯状電極について１本々々検査する方式であ
るため帯状電極の数が多くなると、それに比例して多く
の時間を検査のために必要とする。そのため、多数の帯
状電極から成る電極パターンを形成した基板の生産性が
低下するという問題がある。また、電極間距離（電極ピ
ッチ）が異なった基板に対しては、それぞれの基板に合
致するＦＰＣを作成する必要性がある。一枚の大基板を
用いて小基板を多面取りする場合、電極の端子部が小基
板の端にないため、ＦＰＣを利用する検査方法を適用す
ることができない、等の問題がある。

【０００８】そこで本発明の目的は、基板に形成された
電極パターンの検査を短時間で行うことができ、基板の
生産性を高めることができ、電極間距離が異なる基板で
あっても適用でき、多面付けの基板であっても適用でき
る電極パターン検査方法と、その検査方法を適用するこ
とができる電極パターンとを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的は下記の本発
明によって達成される。すなわち、本発明の請求項１に
係る電極パターンは、平面上に平行状態で配列する複数
本の帯状電極の内で、前記配列における奇数番目（また
は偶数番目）の帯状電極については所定数を組として互
いに導通する組導通電極部を有し、前記配列における偶
数番目（または奇数番目）の帯状電極については奇数番
目（または偶数番目）の帯状電極に対して排他的に接触
端子として選択できる排他的電極部を有するようにした
ものである。

【００１０】本発明によれば、組導通電極部により奇数
番目（または偶数番目）の帯状電極については所定数を
組として互いに導通され、排他的電極部により偶数番目
（または奇数番目）の帯状電極については奇数番目（ま
たは偶数番目）の帯状電極に対して排他的に接触端子と
して選択できる。すなわち、組導通電極部に対応する排
他的電極部の組に導電性部材を接触させることにより互
いに導通させ組導通電極部と導電性部材との間の短絡検
査を行い、短絡が発見された組についてだけ、その組の
組導通電極部とそれに対応する排他的電極部の各々との
間の短絡検査を行うことができる。また、接点を形成す
る上で制約の小さいプローブを使用することができる。
したがって、本発明が提供する電極パターンによれば、
基板に形成された電極パターンの検査を短時間で行うこ
とができ、基板の生産性を高めることができ、電極間距
離が異なる基板であっても適用でき、多面付けの基板で
あっても適用できる検査方法を適用することができる。

【００１１】また本発明の請求項２に係る電極パターン
は、請求項１に係る電極パターンにおいて、前記組導通
電極部と前記排他的電極部とは前記帯状電極の長手方向
の両側に別れて存在するようにしたものである。本発明
によれば、電極パターンを設計する上での制約が小さ
い。

【００１２】また本発明の請求項３に係る電極パターン
は、請求項１または２に係る電極パターンにおいて、前
記排他的電極部は前記偶数番目（または奇数番目）の帯
状電極の長手方向の一方の側に前記奇数番目（または偶
数番目）の帯状電極よりも延長した形状を有するように
したものである。本発明によれば、組導通電極部に対応
する排他的電極部の組に導電性部材を接触させることが
容易である。

【００１３】また本発明の請求項４に係る電極パターン
は、請求項１〜３のいずれかに係る電極パターンにおい
て、短絡欠陥の発生割合がαの場合、前記組となる帯状
電極の所定数がＮ√（α／２）個（Ｎ：全ライン数）に
最も近い自然数であるようにしたものである。本発明に
よれば、電極パターン検査における短絡検査の回数を極
小化することができる。なお、Ｎ√（α／２）は、Ｎに
対して（α／２）の正の平方根を乗算した値を意味す
る。

【００１４】また本発明の請求項５に係る電極パターン
は、請求項１〜４のいずれかに係る電極パターンにおい
て、前記電極パターンは平面型ディスプレイ用の電極パ
ターンであるようにしたものである。本発明によれば、
平面型ディスプレイ用の電極パターンにおいて、検査を
短時間で行うことができる等の作用効果が得られる。

【００１５】また本発明の請求項６に係る電極パターン
の検査方法は、平面上に平行状態で配列する複数本の帯
状電極の内で、前記配列における奇数番目の帯状電極に
ついては所定数を組として互いに導通する組導通電極部
を有し、前記配列における偶数番目の帯状電極について
は奇数番目の帯状電極に対して排他的に接触端子として
選択できる排他的電極部を有する電極パターンにおい
て、前記組導通電極部に対応する前記排他的電極部の組
に導電性部材を接触させることにより互いに導通させ前
記組導通電極部と前記導電性部材との間の短絡検査を行
い、短絡が発見された組の前記組導通電極部とそれに対
応する前記排他的電極部の各々との間の短絡検査を行う
ことを特徴とする電極パターン検査方法。

【００１６】本発明によれば、組導通電極部に対応する
排他的電極部の組に導電性部材を接触させることにより
互いに導通させ組導通電極部と導電性部材との間の短絡
検査を行い、短絡が発見された組についてだけ、その組
の組導通電極部とそれに対応する排他的電極部の各々と
の間の短絡検査が行なわれる。また、接点を形成する上
で制約の小さいプローブを使用することができる。した
がって、基板に形成された電極パターンの検査を短時間
で行うことができ、基板の生産性を高めることができ、
電極間距離が異なる基板であっても適用でき、多面付け
の基板であっても適用できる検査方法が提供される。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明について実施の形態により
説明する。まず、本発明の電極パターンについて図１に
示す一例を参照して説明する。図１において、１は電極
パターン（全体）、１ａ，１ｂ，・・・は帯状電極（電
極パターン１の１本々々）、２ａ，２ｂ，・・・は組導
通電極部、３は排他的電極部、４ａ，４ｂ，・・・は切
断マークである。作製する基板１００は、無アルカリガ
ラス、ソーダライムガラス、ＳｉＯ₂基板、ＰＥＴフィ
ルム等の透明基板を用いることができる。厚さは０．２
〜３．０ｍｍ程度のものが多く用いられる。

【００１８】電極パターン１は、クロム、ニッケル、モ
リブデン等の金属薄膜またはＩＴＯ、ＩＺＯ等の透明導
電薄膜、または、それら金属薄膜と導電薄膜の両者の積
層膜を適用して所定のパターンに形成したものである。
金属薄膜、導電薄膜、あるいはそれらの積層膜は、めっ
き法、スパッタ法、蒸着法、イオンプレーティング法、
ＣＶＤ法等を適用して基板１００の上に成膜することが
できる。電極パターン１は、図１に示すように、帯状電
極１ａ，１ｂ，・・・が並行して形成されストライプ状
の部分が主要な部分であり、その部分とともに、組導通
電極部２ａ，２ｂ，・・・の部分と排他的電極部３の部
分から構成される。

【００１９】帯状電極１ａ，１ｂ，・・・は、平面状に
平行状態で配列する複数本の帯状電極である。帯状電極
１ａ，１ｂ，・・・は、平面型ディスプレイにおいて水
平方向または垂直方向に延びる電極である。平面型ディ
スプレイにおいては、水平方向の電極と垂直方向の電極
の交差する部位において画素を形成する。電極の交差す
る部位がマトリックスを形成すれば画素もマトリックス
を形成する。水平方向および垂直方向の各々において電
極の１つを選択することによりマトリックスにおける１
つの画素を特定することができる。画素を特定しながら
その画素の輝度や濃度（透過率）を制御する。これをマ
トリックスの全画素に対して行うことで画像が再現され
る。

【００２０】組導通電極部２ａ，２ｂ，・・・は、電極
パターン１の部分である。平面状に平行状態で配列する
複数本の帯状電極の内で、その配列における奇数番目
（または偶数番目）の帯状電極については所定数を組と
して互いに導通する部分として、組導通電極部２ａ，２
ｂ，・・・を形成する。たとえば、図１に示す一例にお
いては、組導通電極部２ａについては、帯状電極１ｂ，
１ｄ，１ｆが組として互いに導通する部分を形成してい
る。

【００２１】ここで、配列における奇数番目（または偶
数番目）と配列における偶数番目（または奇数番目）と
いう表現は、配列における１つ置きの一方の集合と他方
の集合とを区別する表現である。奇数番目と偶数番目の
別は、配列の先頭を何処にするかによるから相対的な意
味だけを有する。

【００２２】排他的電極部３は、配列における偶数番目
（または奇数番目）の帯状電極については奇数番目（ま
たは偶数番目）の帯状電極に対して排他的に接触端子と
して選択できる排他的電極部である。排他的電極部３
は、図１に示す一例においては、偶数番目（または奇数
番目）の帯状電極の長手方向の一方の側に奇数番目（ま
たは偶数番目）の帯状電極よりも延長した形状を有す
る。

【００２３】切断マーク４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、検
査によって抽出した短絡欠陥をレーザリペア装置で修正
する等により基板作製の全プロセスを終了後、基板１０
０を所定の寸法に切断するときの切断位置を示す基準マ
ークである。図１に示すように、切断マーク４ａ，４
ｂ，４ｃ，４ｄの位置において切断することにより組導
通電極部２ａ，２ｂ，・・・と排他的電極部３は除去さ
れる。

【００２４】上述の電極パターンの構成において、次
に、本発明の電極パターン検査方法における原理につい
て説明しておく。基板上にＮ本の帯状電極から成る電極
パターンを形成する際に、偶数番目（または奇数番目）
の帯状電極１ａ，１ｃ，・・・については所定の基板の
左側の範囲外まで帯状電極を延長させ、奇数番目（また
は偶数番目）の帯状電極１ｂ，１ｄ，・・・については
所定の基板の右側の範囲外まで帯状電極を延長させる。
すなわち、１本置きにそれぞれ両側に帯状電極を延長さ
せる。そして左側の延長部分は排他的電極部３とし、右
側の延長部分はＭ個のブロック、すなわち組導通電極部
２ａ，２ｂ，・・・にまとめておく。

【００２５】このような電極パターンを持つ基板の短絡
検査において、図２に示すように、まず組導通電極部２
ａ，２ｂ，・・・にまとめられていない左側の帯状電極
１ａ，１ｃ，・・・の延長部分、すなわち排他的電極部
３に導電性バー５を接触させすべて短絡させる。図２は
短絡検査のため片方の電極の延長部分、すなわち排他的
電極部３を導電性バー５を用いて短絡させたことを示す
図である。

【００２６】この状態で短絡させた導電性バー５と組導
通電極部２ａ，２ｂ，・・・の端に各々プローブ６ａ，
６ｂで接点を形成し短絡検査を行うものとする。ここで
製造ラインにおける短絡欠陥の発生割合をαとする。こ
のときプローブ６ｂを移動させる回数はＭ回で、平均Ｎ
×α個のブロック（組導通電極部）において短絡が発生
することとなる（以下、組導通電極部のことをブロック
と呼ぶ）。

【００２７】引き続き導電性のバーを外し短絡が発生し
た組導通電極部（平均Ｎ×α個が存在する）において、
図３に示すように、その組導通電極部端とそれに対応す
る左側の帯状電極１ａ，１ｃ，・・・の延長部分、すな
わち排他的電極部３との間で短絡検査を行う。このと
き、プローブ６ａの移動回数は（Ｎ／２Ｍ）×Ｎ×αで
あらわされる。したがってプローブ６ａ，６ｂの全移動
回数ｆ（Ｍ）は、ｆ（Ｍ）＝Ｍ＋（Ｎ／２Ｍ）×Ｎ×α
であらわされる。

【００２８】プローブ６ａ，６ｂの移動回数を最小にす
るためには全移動回数ｆ（Ｍ）をＭで微分した値が０と
なるような、すなわち全移動回数ｆ（Ｍ）が極値をとる
ようなＭの値を用いればよい。そのときに電極検査を最
も効率的に行うことができる。ｆ’（Ｍ）＝０として計
算するとブロックの数ＭはＮ√（α／２）となる。ここ
でＭの値は自然数でなければならないため、四捨五入し
て適当なＭの値を求める必要がある。ブロック中の本数
Ｎ／Ｍの値も自然数である必要があるためブロック内の
電極の本数はすべて同じである必要性はない。なお、Ｎ
√（α／２）は、Ｎに対して（α／２）の正の平方根を
乗算した値を意味する。

【００２９】

【実施例１】次に、本発明について実施例（その１）を
説明する。ＩＴＯ被膜の電極パターンを製造するライン
であって、約１０００本の帯状電極に対して１個所の割
合で短絡欠陥が発生するものとする。このラインにおい
て９６０本の帯状電極を有する電極パターンが１枚の基
板面内に１２個存在する実施例について説明する。

【００３０】（フォトマスク設計）所定の基板サイズの
外側まで帯状電極の端子部分を１本おきに交互に延長さ
せ、片側の延長部分を、Ｍ＝Ｎ√（α／２）＝９６０×
√（０．００１／２）＝２１．５に基づいて、２２個の
ブロックにまとめるマスクパターンを設計する。すなわ
ち１ブロックの延長部分のの本数は１４個のブロックに
おいて４４本、８個のブロックにおいて４３本である。

【００３１】（基板作製）縦３００×横４００×厚０．
７ｍｍのソーダライムガラス基板にスパッタ法を用いて
厚さ０．１５μｍのＩＴＯ膜を成膜し、フォトレジスト
（東京応化製ＯＦＰＲ−８００）を０．６μｍの厚さに
塗布して所定の条件でプリベークを行った後、上記のフ
ォトマスクを介して露光を行い、現像液（東京応化製Ｎ
ＭＤ−３）を用いて現像を行い、所定の条件でポストベ
ークを行った。引き続き、塩酸：硝酸：純水＝１：０．
０８：１の酸を用いてエッチングを行った。エッチング
後の、４％ＮａＯＨ水溶液を用いてフォトレジストの剥
離を行い電極のパターニングを完成させる。上記の方法
を用いて同一の基板を１００枚作製した。

【００３２】（電極検査）まず、ブロックごとにまとめ
られていない側の帯状電極の延長部分を導電性バーを用
いて導通させ、各ブロックと短絡検査を行った。検査に
は接触式の電極検査装置を用いた。このときのプローブ
の移動回数は１枚の基板当たり２２×１２＝２６４回で
あり、１００枚の基板では２６４００回である。１００
枚の基板の短絡検査で、１ブロック中の電極本数が４４
本のブロックで７３３個、４３本のブロックで４１９
個、合計１１５２個のブロックで短絡が発見された。次
に、短絡が発見されたブロックについてだけ、ブロック
の端と帯状電極の端で短絡検査を行った。このとき、プ
ローブの移動回数は４４×７３３＋４３×４１９＝５０
２６９回であり、合計２６４００＋５０２６９＝７６６
６９回のプローブの移動で全ラインの短絡検査を済ませ
ることができた。

【００３３】

【実施例２】次に、本発明について実施例（その２）を
説明する。ＩＴＯ被膜の電極パターンを製造するライン
であって、約１００００本の帯状電極に対して１個所の
割合で短絡欠陥が発生するものとする。このラインにお
いて９６０本の帯状電極を有する電極パターンが１枚の
基板面内に１２個存在する実施例について説明する。

【００３４】（フォトマスク設計）所定の基板サイズの
外側まで帯状電極の端子部分を１本おきに交互に延長さ
せ、片側の延長部分を、Ｍ＝Ｎ√（α／２）＝９６０×
√（０．０００１／２）＝６．８に基づいて、７個のブ
ロックにまとめるマスクパターンを設計する。すなわち
１ブロックの延長部分のの本数は４個のブロックにおい
て１３８本、３個のブロックにおいて１３６本である。

【００３５】（基板作製）縦３００×横４００×厚０．
７ｍｍのソーダライムガラス基板にスパッタ法を用いて
厚さ０．１５μｍのＩＴＯ膜を成膜し、フォトレジスト
（東京応化製ＯＦＰＲ−８００）を０．６μｍの厚さに
塗布して所定の条件でプリベークを行った後、上記のフ
ォトマスクを介して露光を行い、現像液（東京応化製Ｎ
ＭＤ−３）を用いて現像を行い、所定の条件でポストベ
ークを行った。引き続き、塩酸：硝酸：純水＝１：０．
０８：１の酸を用いてエッチングを行った。エッチング
後の、４％ＮａＯＨ水溶液を用いてフォトレジストの剥
離を行い電極のパターニングを完成させる。上記の方法
を用いて同一の基板を１００枚作製した。

【００３６】（電極検査）まず、ブロックごとにまとめ
られていない側の帯状電極の延長部分を導電性バーを用
いて導通させ、各ブロックと短絡検査を行った。検査に
は接触式の電極検査装置を用いた。このときのプローブ
の移動回数は１枚の基板当たり７×１２＝８４回であ
り、１００枚の基板では８４００回である。１００枚の
基板の短絡検査で、１ブロック中の電極本数が１３８本
のブロックで６６個、１３６本のブロックで４９個、合
計１１５個のブロックで短絡が発見された。次に、短絡
が発見されたブロックについてだけ、ブロックの端と帯
状電極の端で短絡検査を行った。このとき、プローブの
移動回数は１３８×６６＋１３６×４９＝１５７７２回
であり、合計８４００＋１５７７２＝２４１７２回のプ
ローブの移動で全ラインの短絡検査を済ませることがで
きた。

【００３７】

【実施例３】次に、本発明について実施例（その３）を
説明する。実施例１のラインにおいて実施例２のフォト
マスクを用いて基板を１００枚作製した。（電極検査）まず、ブロックごとにまとめられていない
側の帯状電極の延長部分を導電性バーを用いて導通さ
せ、各ブロックと短絡検査を行った。検査には接触式の
電極検査装置を用いた。このときのプローブの移動回数
は１枚の基板当たり７×１２＝８４回であり、１００枚
の基板では８４００回である。１００枚の基板の短絡検
査で、１ブロック中の電極本数が１３８本のブロックで
６５８個、１３６本のブロックで４９４個、合計１１５
２個のブロックで短絡が発見された。次に、短絡が発見
されたブロックについてだけ、ブロックの端と帯状電極
の端で短絡検査を行った。このとき、プローブの移動回
数は１３８×６５６＋１３６×４９４＝１５９４７０回
となり、合計８４００＋１５９４７０＝１６７８７０回
のプローブの移動で全ラインの短絡検査を済ませること
ができた。

【００３８】

【実施例４】次に、本発明について実施例（その４）を
説明する。実施例２のラインにおいて実施例１のフォト
マスクを用いて基板を１００枚作製した。（電極検査）まず、ブロックごとにまとめられていない
側の帯状電極の延長部分を導電性バーを用いて導通さ
せ、各ブロックと短絡検査を行った。検査には接触式の
電極検査装置を用いた。このときのプローブの移動回数
は１枚の基板当たり２２×１２＝２６４回であり、１０
０枚の基板では２６４００回である。１００枚の基板の
短絡検査で、１ブロック中の電極本数が４４本のブロッ
クで７３個、４３本のブロックで４２個、合計１１５個
のブロックで短絡が発見された。次に、短絡が発見され
たブロックについてだけ、ブロックの端と帯状電極の端
で短絡検査を行った。このとき、プローブの移動回数は
４４×７３＋４３×４２＝５０１８回となり、合計２６
４００＋５０１８＝３１４１８回のプローブの移動で全
ラインの短絡検査を済ませることができた。

【００３９】

【比較例１】次に、従来方法について比較例（その１）
を説明する。ＩＴＯ被膜の電極パターンを製造するライ
ンにおいて９６０本の帯状電極を有する電極パターンが
１枚の基板面内に１２個存在する基板を１００枚作製し
た。（電極検査）プローブを１本づつ移動させる従来方法で
は、電極パターンを製造するラインにおける短絡欠陥の
発生する割合に係わらず、プローブの移動回数は１枚の
基板当たり９６０×１２＝１１５２０回である。したが
って、１００枚の基板における全ラインの短絡検査を済
ませるためには１１５２０００回プローブの移動を行う
必要性がある。

【００４０】

【発明の効果】以上のとおりであるから、本発明の請求
項１に係る電極パターンによれば、基板に形成された電
極パターンの検査を短時間で行うことができ、基板の生
産性を高めることができ、電極間距離が異なる基板であ
っても適用でき、多面付けの基板であっても適用できる
検査方法を適用することができる。また本発明の請求項
２に係る電極パターンによれば、電極パターンを設計す
る上での制約が小さい。また本発明の請求項３に係る電
極パターンによれば、組導通電極部に対応する排他的電
極部の組に導電性部材を接触させることが容易である。
また本発明の請求項４に係る電極パターンによれば、電
極パターン検査における短絡検査の回数を極小化するこ
とができる。また本発明の請求項５に係る電極パターン
によれば、平面型ディスプレイ用の電極パターンにおい
て、検査を短時間で行うことができる等の作用効果が得
られる。また本発明の請求項６に係る電極パターンの検
査方法によれば、基板に形成された電極パターンの検査
を短時間で行うことができ、基板の生産性を高めること
ができ、電極間距離が異なる基板であっても適用でき、
多面付けの基板であっても適用できる検査方法が提供さ
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電極パターンの一例を示す上面図であ
る。

【図２】短絡検査のため片方の電極の延長部分、すなわ
ち排他的電極部を導電性バーを用いて短絡させたことを
示す図である。

【図３】組導通電極部端とそれに対応する排他的電極部
との間における短絡検査を示す図である。

【図４】従来の電極パターンと短絡検査方法（その１）
を示す図である。

【図５】従来の電極パターンと短絡検査方法（その２）
を示す図である。

【符号の説明】

１電極パターン（全体）１ａ，１ｂ，・・・帯状電極（電極パターン１の１本
々々）２ａ，２ｂ，・・・組導通電極部３排他的電極部４ａ，４ｂ，・・・切断マーク５導電性バー６ａ，６ｂ，４１，４２，５１，５２プローブ１００基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｌ 21/3205 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｓ５Ｆ０３３ 21/66 21/88 Ｚ５Ｇ４３５Ｆターム(参考） 2G014 AA03 AB21 AC10 2H088 FA13 HA02 MA20 2H092 GA05 GA41 HA04 MA47 MA57 NA30 4M106 AA01 BA01 CA16 5C094 AA32 AA43 CA19 EA03 EA05 GB10 5F033 GG04 HH38 VV12 VV15 XX37 5G435 AA17 AA19 CC09 KK09 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】平面上に平行状態で配列する複数本の帯状
電極の内で、前記配列における奇数番目（または偶数番
目）の帯状電極については所定数を組として互いに導通
する組導通電極部を有し、前記配列における偶数番目
（または奇数番目）の帯状電極については奇数番目（ま
たは偶数番目）の帯状電極に対して排他的に接触端子と
して選択できる排他的電極部を有することを特徴とする
電極パターン。
【請求項２】請求項１記載の電極パターンにおいて、前
記組導通電極部と前記排他的電極部とは前記帯状電極の
長手方向の両側に別れて存在することを特徴とする電極
パターン。
【請求項３】請求項１または２記載の電極パターンにお
いて、前記排他的電極部は前記偶数番目（または奇数番
目）の帯状電極の長手方向の一方の側に前記奇数番目
（または偶数番目）の帯状電極よりも延長した形状を有
することを特徴とする電極パターン。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載の電極パタ
ーンにおいて、短絡欠陥の発生割合がαの場合、前記組
となる帯状電極の所定数がＮ√（α／２）個（Ｎ：全ラ
イン数）に最も近い自然数であることを特徴とする電極
パターン。
【請求項５】請求項１〜４のいずれかに記載の電極パタ
ーンにおいて、前記電極パターンは平面型ディスプレイ
用の電極パターンであることを特徴とする電極パター
ン。
【請求項６】平面上に平行状態で配列する複数本の帯状
電極の内で、前記配列における奇数番目（または偶数番
目）の帯状電極については所定数を組として互いに導通
する組導通電極部を有し、前記配列における偶数番目
（または奇数番目）の帯状電極については奇数番目（ま
たは偶数番目）の帯状電極に対して排他的に接触端子と
して選択できる排他的電極部を有する電極パターンにお
いて、前記組導通電極部に対応する前記排他的電極部の
組に導電性部材を接触させることにより互いに導通させ
前記組導通電極部と前記導電性部材との間の短絡検査を
行い、短絡が発見された組の前記組導通電極部とそれに
対応する前記排他的電極部の各々との間の短絡検査を行
うことを特徴とする電極パターン検査方法。