JP2684273B2 - 配線装置の検査方法、製造方法および検査装置 - Google Patents
配線装置の検査方法、製造方法および検査装置Info
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- JP2684273B2 JP2684273B2 JP3297654A JP29765491A JP2684273B2 JP 2684273 B2 JP2684273 B2 JP 2684273B2 JP 3297654 A JP3297654 A JP 3297654A JP 29765491 A JP29765491 A JP 29765491A JP 2684273 B2 JP2684273 B2 JP 2684273B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マトリックス状に配線
された装置に関わり、特にその配線装置の全面に渡り精
度良く確実に検査する検査方法、その検査方法を実現す
るための配線装置の製造方法及び前記検査方法を実施す
るための検査装置に関する。
された装置に関わり、特にその配線装置の全面に渡り精
度良く確実に検査する検査方法、その検査方法を実現す
るための配線装置の製造方法及び前記検査方法を実施す
るための検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置（以後ＬＣＤと略称）は低
電圧・低消費電力駆動が可能であること、薄型化が可能
であること等表示装置としての優れた特性が認められ、
最近急速に重要性が増している。この傾向は、通称電卓
・デジタル腕時計に代表されるセグメント駆動による表
示装置に留まらず、個々の画素を個別に駆動し複雑なイ
メージや動画を表示する単純マトリックスＬＣＤとして
顕在化している。
電圧・低消費電力駆動が可能であること、薄型化が可能
であること等表示装置としての優れた特性が認められ、
最近急速に重要性が増している。この傾向は、通称電卓
・デジタル腕時計に代表されるセグメント駆動による表
示装置に留まらず、個々の画素を個別に駆動し複雑なイ
メージや動画を表示する単純マトリックスＬＣＤとして
顕在化している。
【０００３】更に、薄膜トランジスター（以後ＴＦＴと
略称）に代表される薄膜スイッチング素子を液晶パネル
内に配して駆動電圧を制御するアクティブマトリックス
制御ＬＣＤは、高精細で高速表示が可能であり、その表
示品位の高さから陰極管に代わる物として、近年特に注
目されている。この薄膜スイッチング素子の集積度は高
密度化する一方であり、６４０列×４００行の表示装置
が市販されるに至っている。従って、このように高集積
化された、マトリックス状に配線された装置の多数の行
電極線と、行電極線と絶縁性部材を介して交差する多数
の列電極線との短絡状態を迅速確実に検査する事が、製
造上重要な課題となっている。
略称）に代表される薄膜スイッチング素子を液晶パネル
内に配して駆動電圧を制御するアクティブマトリックス
制御ＬＣＤは、高精細で高速表示が可能であり、その表
示品位の高さから陰極管に代わる物として、近年特に注
目されている。この薄膜スイッチング素子の集積度は高
密度化する一方であり、６４０列×４００行の表示装置
が市販されるに至っている。従って、このように高集積
化された、マトリックス状に配線された装置の多数の行
電極線と、行電極線と絶縁性部材を介して交差する多数
の列電極線との短絡状態を迅速確実に検査する事が、製
造上重要な課題となっている。
【０００４】図４を用いて、従来行なわれていた、高集
積化されたマトリックス状に配線された装置の多数の行
電極線と、行電極線と絶縁性部材を介して交差する多数
の列電極線との短絡状態を検査する方法について説明す
る。まず第一行目の行電極線X1と第一列目の列電極線Y1
との交差部C1.1での短絡有無を検査するために、第一行
目の行電極線X1の一方の端部Xt1と第一列目の列電極線Y
1の一方の端部Yt1 とに、それぞれ検出端子を接続し、
各端部間の抵抗値を測定し、規定の抵抗値（絶縁抵抗
値）であるか否かを評価し、該交差部C1.1での短絡有無
を判定する。
積化されたマトリックス状に配線された装置の多数の行
電極線と、行電極線と絶縁性部材を介して交差する多数
の列電極線との短絡状態を検査する方法について説明す
る。まず第一行目の行電極線X1と第一列目の列電極線Y1
との交差部C1.1での短絡有無を検査するために、第一行
目の行電極線X1の一方の端部Xt1と第一列目の列電極線Y
1の一方の端部Yt1 とに、それぞれ検出端子を接続し、
各端部間の抵抗値を測定し、規定の抵抗値（絶縁抵抗
値）であるか否かを評価し、該交差部C1.1での短絡有無
を判定する。
【０００５】つづいて、第一行目の行電極線X1と第二列
目の列電極線Y2との交差部C1.2での短絡有無を検査する
ために、第一行目の行電極線X1の一方の端部Xt1 と第二
列目の列電極線Y2の一方の端部Yt2 とに、それぞれ検出
端子を接続し、各端部間の抵抗値を測定し、規定の抵抗
値（絶縁抵抗値）であるか否かを評価し、該交差部C1.2
での短絡有無を判定する。このように、第一行目の行電
極線X1に対して、順次第ｎ列目の列電極線Ynとの交差部
C1.nまでの短絡有無を検査する。
目の列電極線Y2との交差部C1.2での短絡有無を検査する
ために、第一行目の行電極線X1の一方の端部Xt1 と第二
列目の列電極線Y2の一方の端部Yt2 とに、それぞれ検出
端子を接続し、各端部間の抵抗値を測定し、規定の抵抗
値（絶縁抵抗値）であるか否かを評価し、該交差部C1.2
での短絡有無を判定する。このように、第一行目の行電
極線X1に対して、順次第ｎ列目の列電極線Ynとの交差部
C1.nまでの短絡有無を検査する。
【０００６】次に、第二行目の行電極線X2と第一列目の
列電極線Y1との交差部C2.1での短絡有無を検査するため
に、第二行目の行電極線X2の一方の端部Xt2 と第一列目
の列電極線Y1の一方の端部Yt1 とに、それぞれ検出端子
を接続し、各端部間の抵抗値を測定し、規定の抵抗値
（絶縁抵抗値）であるか否かを評価し、該交差部C2.1で
の短絡有無を判定する。ここでも第二行目の行電極線X2
に対して、順次第ｎ列目の列電極線Ynとの交差部C2.nま
での短絡有無を検査する。
列電極線Y1との交差部C2.1での短絡有無を検査するため
に、第二行目の行電極線X2の一方の端部Xt2 と第一列目
の列電極線Y1の一方の端部Yt1 とに、それぞれ検出端子
を接続し、各端部間の抵抗値を測定し、規定の抵抗値
（絶縁抵抗値）であるか否かを評価し、該交差部C2.1で
の短絡有無を判定する。ここでも第二行目の行電極線X2
に対して、順次第ｎ列目の列電極線Ynとの交差部C2.nま
での短絡有無を検査する。
【０００７】このようにして、第ｍ行目の行電極線Xmま
で、順次第ｎ列目の列電極線Ynとの交差部Cm.nまでの短
絡有無を検査する。このようにして基板全面の短絡有無
を検査する場合、一枚の基板に付き、検査回数は行電極
線数と列電極線数との積（ｍ×ｎ）となる。ちなみに、
行電極線数ｍ＝４００、列電極線数ｎ＝６４０とする
と、交差点の数が２５６，０００個となり、一個の交差
点の検査に要する時間を０．１秒としても、基板一枚に
付き７時間以上を要する。
で、順次第ｎ列目の列電極線Ynとの交差部Cm.nまでの短
絡有無を検査する。このようにして基板全面の短絡有無
を検査する場合、一枚の基板に付き、検査回数は行電極
線数と列電極線数との積（ｍ×ｎ）となる。ちなみに、
行電極線数ｍ＝４００、列電極線数ｎ＝６４０とする
と、交差点の数が２５６，０００個となり、一個の交差
点の検査に要する時間を０．１秒としても、基板一枚に
付き７時間以上を要する。
【０００８】これに対して、全ての行電極線と列電極線
とを、行共通電極線Cx及び列共通電極線Cyとを介して共
通端子Ctに接続し、検査工程を大幅に簡略化することが
従来技術の改良として行われている（図５）。この改良
された従来技術では、図５（Ａ）に示したように、行電
極線及び列電極線の一端を、行共通電極線Cx及び列共通
電極線Cyを介して共通端子Ctに導通させ、短絡検査を実
施し、該基板完成後に、図５（Ｂ）に示した行破断線Dx
及び列破断線Dyの箇所で基板を破断する事により、上記
両共通電極線Cx，Cy及び共通端子Ctを除去し、複数の行
電極線及び列電極線のそれぞれを、電気的に独立させる
製造方法で構成している。
とを、行共通電極線Cx及び列共通電極線Cyとを介して共
通端子Ctに接続し、検査工程を大幅に簡略化することが
従来技術の改良として行われている（図５）。この改良
された従来技術では、図５（Ａ）に示したように、行電
極線及び列電極線の一端を、行共通電極線Cx及び列共通
電極線Cyを介して共通端子Ctに導通させ、短絡検査を実
施し、該基板完成後に、図５（Ｂ）に示した行破断線Dx
及び列破断線Dyの箇所で基板を破断する事により、上記
両共通電極線Cx，Cy及び共通端子Ctを除去し、複数の行
電極線及び列電極線のそれぞれを、電気的に独立させる
製造方法で構成している。
【０００９】この方法に付いて、図を用いて説明する。
まず第一行目の行電極線X1と全ての列電極線Y1〜Ynとの
交差部C1.1〜C1.nでの短絡有無を検査するために、第一
行目の行電極線X1の一方の端部Xt1 と共通端子Ctとに、
それぞれ検出端子を接続し、各端部間の抵抗値を測定
し、規定の抵抗値であるか否かを評価し、第一行目の行
電極線X1と全ての列電極線Y1〜Ynとの交差部C1.1〜C1.n
での短絡有無を判定する。ここで、第一行目の行電極線
X1と全ての列電極線Y1〜Ynとの交差部C1.1〜C1.nで短絡
が生じていない場合には、電流は第一行目の行電極線X1
の一方の端部Xt1から、第一行目の行電極線X1を通り、
他方の端部から列共通電極線Cyを通って共通端子Ctにい
たり、所定の配線抵抗値を示す。
まず第一行目の行電極線X1と全ての列電極線Y1〜Ynとの
交差部C1.1〜C1.nでの短絡有無を検査するために、第一
行目の行電極線X1の一方の端部Xt1 と共通端子Ctとに、
それぞれ検出端子を接続し、各端部間の抵抗値を測定
し、規定の抵抗値であるか否かを評価し、第一行目の行
電極線X1と全ての列電極線Y1〜Ynとの交差部C1.1〜C1.n
での短絡有無を判定する。ここで、第一行目の行電極線
X1と全ての列電極線Y1〜Ynとの交差部C1.1〜C1.nで短絡
が生じていない場合には、電流は第一行目の行電極線X1
の一方の端部Xt1から、第一行目の行電極線X1を通り、
他方の端部から列共通電極線Cyを通って共通端子Ctにい
たり、所定の配線抵抗値を示す。
【００１０】これに対して、第一行目の行電極線X1と第
一列目の列電極線Y1との交差部C1.1で短絡が生じていた
場合には、電流は第一行目の行電極線X1の一方の端部Xt
1 から、第一行目の行電極線X1を通り、列共通電極線Cy
を通って共通端子Ctにいたる経路と、短絡が生じている
交差部C1.1から第一列目の列電極線Y1及び行共通電極線
Cxを通って共通端子Ctにいたる経路とを通り、並列経路
が形成されるので抵抗値は所定の値より減少する。他の
列電極線との交差部で短絡が生じていた場合にも、同様
に正規の経路に対して部分的に並列経路が形成されるた
め、端子間の抵抗値は所定の値より減少する。このた
め、第一行目の行電極線X1の、列電極線Y1〜Ynとのどこ
かの交差部C1.1〜C1.nで列電極線と短絡していることが
検出できる。
一列目の列電極線Y1との交差部C1.1で短絡が生じていた
場合には、電流は第一行目の行電極線X1の一方の端部Xt
1 から、第一行目の行電極線X1を通り、列共通電極線Cy
を通って共通端子Ctにいたる経路と、短絡が生じている
交差部C1.1から第一列目の列電極線Y1及び行共通電極線
Cxを通って共通端子Ctにいたる経路とを通り、並列経路
が形成されるので抵抗値は所定の値より減少する。他の
列電極線との交差部で短絡が生じていた場合にも、同様
に正規の経路に対して部分的に並列経路が形成されるた
め、端子間の抵抗値は所定の値より減少する。このた
め、第一行目の行電極線X1の、列電極線Y1〜Ynとのどこ
かの交差部C1.1〜C1.nで列電極線と短絡していることが
検出できる。
【００１１】次に第二行目の行電極線X2と全ての列電極
線Y1〜Ynとの交差部C2.1〜C2.nでの短絡有無を検査する
ために、第二行目の行電極線X2の一方の端部Xt2 と共通
端子Ctとにそれぞれ検出端子を接続し、各端子間の抵抗
値を測定し、規定の抵抗値であるか否かを評価し、第二
行目の行電極線X2と全ての列電極線Y1〜Ynとの交差部C
2.1〜C2.nでの短絡有無を判定する。このようにして、
第ｍ行目の行電極線Xmまで、順次全ての列電極線Y1〜Yn
との交差部Cm.1〜Cm.nでの短絡有無を検査する。行電極
線の検査に次いで、列電極線の検査も同様に実施する。
線Y1〜Ynとの交差部C2.1〜C2.nでの短絡有無を検査する
ために、第二行目の行電極線X2の一方の端部Xt2 と共通
端子Ctとにそれぞれ検出端子を接続し、各端子間の抵抗
値を測定し、規定の抵抗値であるか否かを評価し、第二
行目の行電極線X2と全ての列電極線Y1〜Ynとの交差部C
2.1〜C2.nでの短絡有無を判定する。このようにして、
第ｍ行目の行電極線Xmまで、順次全ての列電極線Y1〜Yn
との交差部Cm.1〜Cm.nでの短絡有無を検査する。行電極
線の検査に次いで、列電極線の検査も同様に実施する。
【００１２】この方法を用いると、全体の短絡有無を検
査する場合、検査回数は、行電極線数と列電極線数との
和（ｍ＋ｎ）となる。ちなみに、行電極線数ｍ＝４０
０、列電極線数ｎ＝６４０とすると、検査回数が１０４
０回となり、同様に一回の検査に要する時間を０．１秒
とすると、検査時間は全体で２分弱となり、従来行われ
ていた検査方法に要していた時間の約２５０分の一で検
査できる。この方法では、検査が完了した後に、不要と
なった行共通電極Cx，列共通電極Cy及び共通端子Ctを図
５（Ｂ）の行破断線ＤX 及び列破断線ＤY で除去し、図
４と同様の配線装置としている。
査する場合、検査回数は、行電極線数と列電極線数との
和（ｍ＋ｎ）となる。ちなみに、行電極線数ｍ＝４０
０、列電極線数ｎ＝６４０とすると、検査回数が１０４
０回となり、同様に一回の検査に要する時間を０．１秒
とすると、検査時間は全体で２分弱となり、従来行われ
ていた検査方法に要していた時間の約２５０分の一で検
査できる。この方法では、検査が完了した後に、不要と
なった行共通電極Cx，列共通電極Cy及び共通端子Ctを図
５（Ｂ）の行破断線ＤX 及び列破断線ＤY で除去し、図
４と同様の配線装置としている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな改良されたとはいえ従来の検査方法では、短絡する
交差部の位置により、抵抗値の変化度合が異なり、配線
抵抗値のバラツキとの関係で、異常を検出できないとい
う問題点があった。例えば、第一行目の行電極線X1と第
一列目の列電極線Y1との交差部C1.1で短絡が生じていた
場合には、電流はほとんどの部分で正規の経路の他に、
短絡している交差部C1.1から第一列目の列電極線Y1・行
共通電極線Cxを通って、共通端子Ctにいたる並列経路を
通るため、端子間の抵抗値は所定の値より大幅に減少し
容易に短絡の有無を検出できる。
うな改良されたとはいえ従来の検査方法では、短絡する
交差部の位置により、抵抗値の変化度合が異なり、配線
抵抗値のバラツキとの関係で、異常を検出できないとい
う問題点があった。例えば、第一行目の行電極線X1と第
一列目の列電極線Y1との交差部C1.1で短絡が生じていた
場合には、電流はほとんどの部分で正規の経路の他に、
短絡している交差部C1.1から第一列目の列電極線Y1・行
共通電極線Cxを通って、共通端子Ctにいたる並列経路を
通るため、端子間の抵抗値は所定の値より大幅に減少し
容易に短絡の有無を検出できる。
【００１４】これに対して、第ｍ行目の行電極線Xmと第
ｎ列目の列電極線Ynとの交差部Cm.nで短絡が生じていた
場合には、第ｍ行目の行電極線Xmの端部Xtm と共通端子
Ctとにそれぞれ検出電極を接続し、各端子間の抵抗値を
測定する場合、電流はほとんどの部分で正規の経路を通
り、並列配線が形成されるのは、交差部Cm.nから共通端
子Ctにいたる経路だけとなり、この間だけの抵抗値は所
定の値の半分程度となるが、全体からみると正規の配線
にしめる異常な部分の割合が少ないため、上記端子間の
抵抗値は所定の抵抗値とほとんど変わらない事になり、
配線抵抗のバラツキとの関係で、短絡の有無を検出でき
ない場合が生ずる。
ｎ列目の列電極線Ynとの交差部Cm.nで短絡が生じていた
場合には、第ｍ行目の行電極線Xmの端部Xtm と共通端子
Ctとにそれぞれ検出電極を接続し、各端子間の抵抗値を
測定する場合、電流はほとんどの部分で正規の経路を通
り、並列配線が形成されるのは、交差部Cm.nから共通端
子Ctにいたる経路だけとなり、この間だけの抵抗値は所
定の値の半分程度となるが、全体からみると正規の配線
にしめる異常な部分の割合が少ないため、上記端子間の
抵抗値は所定の抵抗値とほとんど変わらない事になり、
配線抵抗のバラツキとの関係で、短絡の有無を検出でき
ない場合が生ずる。
【００１５】本発明の目的は係る不都合を解消し、複数
本の行電極線と、該行電極線と絶縁性部材を介して交差
する複数本の列電極線により構成される配線装置を全面
に渡り精度良く確実に検査できる検査方法、製造方法お
よび検査装置を提供することにある。
本の行電極線と、該行電極線と絶縁性部材を介して交差
する複数本の列電極線により構成される配線装置を全面
に渡り精度良く確実に検査できる検査方法、製造方法お
よび検査装置を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
複数本の行電極線と、該行電極線と絶縁性部材を介して
交差する複数本の列電極線により構成される配線装置を
検査する検査方法であって、図１に示したように複数本
の行電極線X1〜Xm及び複数本の列電極線Y1〜Ynの一端Xu
1 〜Xum,Yu1 〜Yun にそれぞれ高抵抗部材RTX1〜RTXm,R
TY1 〜RTYnを接続し、前記各高抵抗部材RTX1〜RTXm,RTY
1 〜RTYnの前記行電極線X1〜Xm又は前記列電極線Y1〜Yn
と接続されていない端部を、行共通電極線Cxまたは列共
通電極線Cyを介して共通端子Ctに導通させ、前記行電極
線X1〜Xm及び前記列電極線Y1〜Ynの高抵抗部材RTX1〜RT
Xm,RTY1 〜RTYnが接続されていないそれぞれの端部Xt1
〜Xtm,Yt1 〜Ytn と、前記共通端子Ctとの間の電気抵抗
値をそれぞれ測定し配線装置１を検査することにより前
記課題を解決するものである。
複数本の行電極線と、該行電極線と絶縁性部材を介して
交差する複数本の列電極線により構成される配線装置を
検査する検査方法であって、図１に示したように複数本
の行電極線X1〜Xm及び複数本の列電極線Y1〜Ynの一端Xu
1 〜Xum,Yu1 〜Yun にそれぞれ高抵抗部材RTX1〜RTXm,R
TY1 〜RTYnを接続し、前記各高抵抗部材RTX1〜RTXm,RTY
1 〜RTYnの前記行電極線X1〜Xm又は前記列電極線Y1〜Yn
と接続されていない端部を、行共通電極線Cxまたは列共
通電極線Cyを介して共通端子Ctに導通させ、前記行電極
線X1〜Xm及び前記列電極線Y1〜Ynの高抵抗部材RTX1〜RT
Xm,RTY1 〜RTYnが接続されていないそれぞれの端部Xt1
〜Xtm,Yt1 〜Ytn と、前記共通端子Ctとの間の電気抵抗
値をそれぞれ測定し配線装置１を検査することにより前
記課題を解決するものである。
【００１７】請求項２記載の発明は、複数本の行電極線
と、該行電極線と絶縁性部材を介して交差する複数本の
列電極線により構成される配線装置を製造する製造方法
であって、図２に示したように複数本の行電極線X1〜Xm
及び複数本の列電極線Y1〜Ynの一端にそれぞれ高抵抗部
材RX1〜RXm,RY1 〜RYn を設け、前記各高抵抗部材RX1
〜RXm,RY1 〜RYn の前記行電極線X1〜Xm又は前記列電極
線Y1〜Ynと接続されていない端部を、列共通電極線Cx及
び行共通電極線Cyを介して導通させた後に、上記複数の
行電極線X1〜Xm及び列電極線Y1〜Ynのそれぞれを電気的
に独立させ配線装置１を製造することにより前記課題を
解決するものである。
と、該行電極線と絶縁性部材を介して交差する複数本の
列電極線により構成される配線装置を製造する製造方法
であって、図２に示したように複数本の行電極線X1〜Xm
及び複数本の列電極線Y1〜Ynの一端にそれぞれ高抵抗部
材RX1〜RXm,RY1 〜RYn を設け、前記各高抵抗部材RX1
〜RXm,RY1 〜RYn の前記行電極線X1〜Xm又は前記列電極
線Y1〜Ynと接続されていない端部を、列共通電極線Cx及
び行共通電極線Cyを介して導通させた後に、上記複数の
行電極線X1〜Xm及び列電極線Y1〜Ynのそれぞれを電気的
に独立させ配線装置１を製造することにより前記課題を
解決するものである。
【００１８】請求項３記載の発明は、複数本の行電極線
と、該行電極線と絶縁性部材を介して交差する複数本の
列電極線により構成される配線装置を検査する検査装置
であって、図３に示したように前記複数本の行電極線X1
〜Xm及び前記複数本の列電極線Y1〜Ynの一端Xu1 〜Xum,
Yu1 〜Yun のそれぞれに接続される検出端子部２と、検
出端子部２にそれぞれ接続された高抵抗部材RTX1〜RTX
m,RTY1 〜RTYnを有する高抵抗部材群３と、前記各高抵
抗部材群の前記検出端子部２と接続されていないそれぞ
れの端部を導通させる共通電極線部４と、前記行電極線
X1〜Xm及び前記列電極線Y1〜Ynの検出端子部２が接続さ
れない端部Xt1 〜Xtm,Yt1 〜Ytn に順次接続される走査
端子部５と、共通電極線部４と走査端子部５との間の電
気抵抗値を測定する抵抗値測定部６とを具備することに
より配線装置１の検査装置を構成することにより前記課
題を解決するものである。
と、該行電極線と絶縁性部材を介して交差する複数本の
列電極線により構成される配線装置を検査する検査装置
であって、図３に示したように前記複数本の行電極線X1
〜Xm及び前記複数本の列電極線Y1〜Ynの一端Xu1 〜Xum,
Yu1 〜Yun のそれぞれに接続される検出端子部２と、検
出端子部２にそれぞれ接続された高抵抗部材RTX1〜RTX
m,RTY1 〜RTYnを有する高抵抗部材群３と、前記各高抵
抗部材群の前記検出端子部２と接続されていないそれぞ
れの端部を導通させる共通電極線部４と、前記行電極線
X1〜Xm及び前記列電極線Y1〜Ynの検出端子部２が接続さ
れない端部Xt1 〜Xtm,Yt1 〜Ytn に順次接続される走査
端子部５と、共通電極線部４と走査端子部５との間の電
気抵抗値を測定する抵抗値測定部６とを具備することに
より配線装置１の検査装置を構成することにより前記課
題を解決するものである。
【００１９】
【作用】請求項１記載の発明の検査方法では、行電極線
X1〜Xmと列電極線Y1〜Ynとのどこかの交差部C1.1〜Cn.m
で短絡が生じていた場合、短絡が生じたために形成され
る並列経路のために影響を受ける高抵抗部材RTX1〜RTX
m,RTY1 〜RTYnの抵抗値の、正規の配線にしめる割合が
大きいため、それぞれの端部Xt1 〜Xtm,Yt1 〜Ytnと共
通端子Ctとの間の抵抗値は、所定の抵抗値より大幅に減
少することとなり、行電極線及び列電極線の配線抵抗値
が多少変動したとしても、配線装置全面に渡り交差部で
の短絡の有無を確実に検査することができる。
X1〜Xmと列電極線Y1〜Ynとのどこかの交差部C1.1〜Cn.m
で短絡が生じていた場合、短絡が生じたために形成され
る並列経路のために影響を受ける高抵抗部材RTX1〜RTX
m,RTY1 〜RTYnの抵抗値の、正規の配線にしめる割合が
大きいため、それぞれの端部Xt1 〜Xtm,Yt1 〜Ytnと共
通端子Ctとの間の抵抗値は、所定の抵抗値より大幅に減
少することとなり、行電極線及び列電極線の配線抵抗値
が多少変動したとしても、配線装置全面に渡り交差部で
の短絡の有無を確実に検査することができる。
【００２０】請求項２記載の発明の製造方法では、配線
装置の製造工程において高抵抗部材RX1 〜RXm,RY1 〜RY
n 及び列共通電極線Cx，行共通電極線Cy及び共通端子Ct
を形成しているため、製造工程途中において、行電極線
及び列電極線の配線抵抗値が多少変動したとしても、配
線装置全面に渡り交差部での短絡の有無を確実に検出し
て製造を進めることが出来る。
装置の製造工程において高抵抗部材RX1 〜RXm,RY1 〜RY
n 及び列共通電極線Cx，行共通電極線Cy及び共通端子Ct
を形成しているため、製造工程途中において、行電極線
及び列電極線の配線抵抗値が多少変動したとしても、配
線装置全面に渡り交差部での短絡の有無を確実に検出し
て製造を進めることが出来る。
【００２１】請求項３記載の発明の検査装置では、行電
極線X1〜Xmと列電極線Y1〜Ynとのどこかの交差部C1.1〜
Cn.mで短絡が生じていた場合、短絡が生じたために形成
される並列経路のために影響を受ける高抵抗部材群の抵
抗値の、正規の配線にしめる割合が大きいため、走査端
子部５と共通電極線部４との間の電気抵抗値は所定の抵
抗値より大幅に減少することとなり、行電極線及び列電
極線の配線抵抗値が多少変動したとしても、配線装置全
面に渡り交差部での短絡の有無を確実に検出できる。
極線X1〜Xmと列電極線Y1〜Ynとのどこかの交差部C1.1〜
Cn.mで短絡が生じていた場合、短絡が生じたために形成
される並列経路のために影響を受ける高抵抗部材群の抵
抗値の、正規の配線にしめる割合が大きいため、走査端
子部５と共通電極線部４との間の電気抵抗値は所定の抵
抗値より大幅に減少することとなり、行電極線及び列電
極線の配線抵抗値が多少変動したとしても、配線装置全
面に渡り交差部での短絡の有無を確実に検出できる。
【００２２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。 （実施例１）図１を用いて、本発明の一実施例を詳細に
説明する。実施例として、透明絶縁基板の表面に、厚さ
１００ｎｍのＣｒ薄膜を用いて幅７μｍ，行間ピッチ１
８０μｍの行電極線を４００本（X1〜X400）略平行に、
またこの表面に絶縁性部材を介して交差する６４０本
（Y1〜Y640）の列電極線をそれぞれ形成した配線装置１
を検査する方法を説明する。このため図１においてｍは
４００と、ｎは６４０と読みかえるものとする。
に説明する。 （実施例１）図１を用いて、本発明の一実施例を詳細に
説明する。実施例として、透明絶縁基板の表面に、厚さ
１００ｎｍのＣｒ薄膜を用いて幅７μｍ，行間ピッチ１
８０μｍの行電極線を４００本（X1〜X400）略平行に、
またこの表面に絶縁性部材を介して交差する６４０本
（Y1〜Y640）の列電極線をそれぞれ形成した配線装置１
を検査する方法を説明する。このため図１においてｍは
４００と、ｎは６４０と読みかえるものとする。
【００２３】この様に構成したときの、各交差部一個当
りの配線抵抗は、行電極線・列電極線それぞれ１００Ω
となった。つまり行電極線一本当りでは６４ｋΩ、列電
極線一本当りでは４０ｋΩとなった。
りの配線抵抗は、行電極線・列電極線それぞれ１００Ω
となった。つまり行電極線一本当りでは６４ｋΩ、列電
極線一本当りでは４０ｋΩとなった。
【００２４】各行電極線X1〜X400及び各列電極線Y1〜Y6
40の一方の端部Xu1 〜Xu400,Yu1 〜Yu640 にそれぞれ抵
抗値が２０ｋΩを示す高抵抗部材RTX1〜RTX400,RTY1 〜
RTY640を接続した。この高抵抗部材RTX1〜RTX400,RTY1
〜RTY640の他方の端部は行共通電極線Cx，列共通電極線
Cyを用いて共通端子Ctに接続されている。また各行電極
線X1〜X400及び各列電極線Y1〜Y640の他方の端部Xt1 〜
Xt400,Yt1 〜Yt640 には測定用の走査端子T1を順次走査
し、共通端子Ctと走査端子T1との間の抵抗値を測定し
た。
40の一方の端部Xu1 〜Xu400,Yu1 〜Yu640 にそれぞれ抵
抗値が２０ｋΩを示す高抵抗部材RTX1〜RTX400,RTY1 〜
RTY640を接続した。この高抵抗部材RTX1〜RTX400,RTY1
〜RTY640の他方の端部は行共通電極線Cx，列共通電極線
Cyを用いて共通端子Ctに接続されている。また各行電極
線X1〜X400及び各列電極線Y1〜Y640の他方の端部Xt1 〜
Xt400,Yt1 〜Yt640 には測定用の走査端子T1を順次走査
し、共通端子Ctと走査端子T1との間の抵抗値を測定し
た。
【００２５】次に、本実施例の作用に付いて詳細に説明
する。まず第一行目の行電極線X1と全ての列電極線Y1〜
Y640との交差部C1.1〜C1.640での短絡有無を検査するた
めに、第一行目の行電極線X1の端部Xt1 に走査端子T1を
接続し、共通端子Ctとの間の抵抗値を測定した。
する。まず第一行目の行電極線X1と全ての列電極線Y1〜
Y640との交差部C1.1〜C1.640での短絡有無を検査するた
めに、第一行目の行電極線X1の端部Xt1 に走査端子T1を
接続し、共通端子Ctとの間の抵抗値を測定した。
【００２６】ここで、第一行目の行電極線X1と全ての列
電極線Y1〜Y640との交差部C1.1〜C1.640で短絡が生じて
いない場合には、電流は第一行目の行電極線X1の端部Xt
1 から、第一行目の行電極線X1，２０ｋΩの高抵抗部材
RTX1を通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子Ctに
いたり、正規の配線抵抗値である８４ｋΩを示した。
電極線Y1〜Y640との交差部C1.1〜C1.640で短絡が生じて
いない場合には、電流は第一行目の行電極線X1の端部Xt
1 から、第一行目の行電極線X1，２０ｋΩの高抵抗部材
RTX1を通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子Ctに
いたり、正規の配線抵抗値である８４ｋΩを示した。
【００２７】これに対して、第一行目の行電極線X1と第
一列目の列電極線Y1との交差部C1.1で短絡が生じていた
場合には、電流は第一行目の行電極線X1の端部Xt1 か
ら、第一行目の行電極線X1、２０ｋΩの高抵抗部材RTX1
を通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子Ctにいた
る経路と、短絡が生じている交差部C1.1から第一列目の
列電極線Y1、２０ｋΩの高抵抗部材RTY1、行共通電極線
Cxを通って、共通端子Ctにいたる経路とを通り、端子間
の抵抗値は３５ｋΩを示し、所定の値である８４ｋΩよ
り大幅に減少した。他の列電極線Y2〜Y640との交差部C
1.2〜C1.640で短絡が生じていた場合にも、同様に正規
の経路に対して部分的に並列経路が形成されるため、端
子間の抵抗値は所定の値より減少した。
一列目の列電極線Y1との交差部C1.1で短絡が生じていた
場合には、電流は第一行目の行電極線X1の端部Xt1 か
ら、第一行目の行電極線X1、２０ｋΩの高抵抗部材RTX1
を通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子Ctにいた
る経路と、短絡が生じている交差部C1.1から第一列目の
列電極線Y1、２０ｋΩの高抵抗部材RTY1、行共通電極線
Cxを通って、共通端子Ctにいたる経路とを通り、端子間
の抵抗値は３５ｋΩを示し、所定の値である８４ｋΩよ
り大幅に減少した。他の列電極線Y2〜Y640との交差部C
1.2〜C1.640で短絡が生じていた場合にも、同様に正規
の経路に対して部分的に並列経路が形成されるため、端
子間の抵抗値は所定の値より減少した。
【００２８】次に第二行目の行電極線X2と全ての列電極
線Y1〜Ynとの交差部C2.1〜C2.640での短絡有無を検査す
るために、第二行目の行電極線X2の端部Xt2 に走査端子
T1を移動し共通端子Ctとの間の抵抗値を測定し、規定の
抵抗値であるか否かを評価し、第二行目の行電極線X2と
全ての列電極線Y1〜Y640との交差部C2.1〜C2.640での短
絡有無を判定した。このようにして、第４００行目の行
電極線X400まで、順次全ての列電極線Y1〜Y640との交差
部C400.1〜C400.640での短絡有無を検査した。
線Y1〜Ynとの交差部C2.1〜C2.640での短絡有無を検査す
るために、第二行目の行電極線X2の端部Xt2 に走査端子
T1を移動し共通端子Ctとの間の抵抗値を測定し、規定の
抵抗値であるか否かを評価し、第二行目の行電極線X2と
全ての列電極線Y1〜Y640との交差部C2.1〜C2.640での短
絡有無を判定した。このようにして、第４００行目の行
電極線X400まで、順次全ての列電極線Y1〜Y640との交差
部C400.1〜C400.640での短絡有無を検査した。
【００２９】ここでも、行電極線X400と全ての列電極線
Y1〜Y640との交差部C400.1〜C400.640で短絡が生じてい
ない場合には、電流は行電極線X400の端部Xt400 から、
第４００行目の行電極線X400，２０ｋΩの高抵抗部材RT
x400を通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子Ctに
いたり、正規の配線抵抗値である８４ｋΩを示した。
Y1〜Y640との交差部C400.1〜C400.640で短絡が生じてい
ない場合には、電流は行電極線X400の端部Xt400 から、
第４００行目の行電極線X400，２０ｋΩの高抵抗部材RT
x400を通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子Ctに
いたり、正規の配線抵抗値である８４ｋΩを示した。
【００３０】これに対して、第４００行目の行電極線X4
00と第６４０列目の列電極線Y640との交差部C400.640で
短絡が生じていた場合には、電流は第４００行目の行電
極線X400の端部Xt400 から、第４００行目の行電極線X4
00、２０ｋΩの高抵抗部材RTX400を通り、更に列共通電
極線Cyを通って共通端子Ctにいたる経路と、短絡が生じ
ている交差部C400.640から第６４０列目の列電極線Y64
0、２０ｋΩの高抵抗部材RTY640、行共通電極線Cxを通
って、共通端子Ctにいたる経路とを流れ、この該当する
端子間の抵抗値は７４ｋΩを示し、所定の値である８４
ｋΩより明らかに減少し、配線装置全面に渡り交差部で
の短絡現象が検出できた。
00と第６４０列目の列電極線Y640との交差部C400.640で
短絡が生じていた場合には、電流は第４００行目の行電
極線X400の端部Xt400 から、第４００行目の行電極線X4
00、２０ｋΩの高抵抗部材RTX400を通り、更に列共通電
極線Cyを通って共通端子Ctにいたる経路と、短絡が生じ
ている交差部C400.640から第６４０列目の列電極線Y64
0、２０ｋΩの高抵抗部材RTY640、行共通電極線Cxを通
って、共通端子Ctにいたる経路とを流れ、この該当する
端子間の抵抗値は７４ｋΩを示し、所定の値である８４
ｋΩより明らかに減少し、配線装置全面に渡り交差部で
の短絡現象が検出できた。
【００３１】本発明を用いた場合、基板全面の短絡有無
を検査するのに、一枚の基板に付き検査回数は、行電極
線数と列電極線数との和である１０４０回となり、一回
の検査に０．１秒間を要したため、一枚の基板の検査時
間は１０４秒間であった。
を検査するのに、一枚の基板に付き検査回数は、行電極
線数と列電極線数との和である１０４０回となり、一回
の検査に０．１秒間を要したため、一枚の基板の検査時
間は１０４秒間であった。
【００３２】高抵抗部材の抵抗値として、２０ｋΩの素
子を用いた実施例について説明したが、電極線数，配線
抵抗値，配線抵抗値のバラツキにより、高抵抗部材の抵
抗値を適宜設定することにより、確実に配線装置全面の
短絡有無を検査する事が出来る。
子を用いた実施例について説明したが、電極線数，配線
抵抗値，配線抵抗値のバラツキにより、高抵抗部材の抵
抗値を適宜設定することにより、確実に配線装置全面の
短絡有無を検査する事が出来る。
【００３３】本実施例と同様の構成（ｍ＝４００，ｎ＝
６４０）において、高抵抗部材を介さない改良された従
来の検査方法（図５に示した構成）を用いた場合でも、
第一行目の行電極線X1と全ての列電極線Y1〜Y640との交
差部C1.1〜C1.640で短絡が生じていない場合には、電流
は第一行目の行電極線X1の端部Xt1 から、第一行目の行
電極線X1を通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子
Ctにいたり、正規の配線抵抗値である６４ｋΩを示す。
６４０）において、高抵抗部材を介さない改良された従
来の検査方法（図５に示した構成）を用いた場合でも、
第一行目の行電極線X1と全ての列電極線Y1〜Y640との交
差部C1.1〜C1.640で短絡が生じていない場合には、電流
は第一行目の行電極線X1の端部Xt1 から、第一行目の行
電極線X1を通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子
Ctにいたり、正規の配線抵抗値である６４ｋΩを示す。
【００３４】これに対して、第一行目の行電極線X1と第
一列目の列電極線Y1との交差部C1.1で短絡が生じていた
場合には、電流は第一行目の行電極線X1の端部Xt1 か
ら、第一行目の行電極線X1を通り、更に列共通電極線Cy
を通って共通端子Ctにいたる経路と、短絡が生じている
交差部C1.1から第一列目の列電極線Y1、行共通電極線Cx
を通って、共通端子Ctにいたる経路とを通り、端子間の
抵抗値は２５ｋΩを示し、所定の値である６４ｋΩより
大幅に減少し、行電極線と列電極線との間で短絡が発生
していることが容易に検出できる。
一列目の列電極線Y1との交差部C1.1で短絡が生じていた
場合には、電流は第一行目の行電極線X1の端部Xt1 か
ら、第一行目の行電極線X1を通り、更に列共通電極線Cy
を通って共通端子Ctにいたる経路と、短絡が生じている
交差部C1.1から第一列目の列電極線Y1、行共通電極線Cx
を通って、共通端子Ctにいたる経路とを通り、端子間の
抵抗値は２５ｋΩを示し、所定の値である６４ｋΩより
大幅に減少し、行電極線と列電極線との間で短絡が発生
していることが容易に検出できる。
【００３５】ところが、第４００行目の行電極線X400と
第６４０列目の列電極線Y640との交差部C400.640で短絡
が生じていた場合には、電流は第４００行目の行電極線
X400の端部Xt400 から、第４００行目の行電極線X400を
通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子Ctにいたる
経路と、短絡が生じている交差部C400.640から第６４０
列目の列電極線Y640、行共通電極線Cxを通って、共通端
子Ctにいたる経路とを通り、この端子間の抵抗値は６
３．９５ｋΩを示し、所定の値である６４ｋΩとほとん
ど変わらず、行電極線及び列電極線の配線抵抗値のバラ
ツキとの関係で、交差部での短絡現象が検出できない。
第６４０列目の列電極線Y640との交差部C400.640で短絡
が生じていた場合には、電流は第４００行目の行電極線
X400の端部Xt400 から、第４００行目の行電極線X400を
通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子Ctにいたる
経路と、短絡が生じている交差部C400.640から第６４０
列目の列電極線Y640、行共通電極線Cxを通って、共通端
子Ctにいたる経路とを通り、この端子間の抵抗値は６
３．９５ｋΩを示し、所定の値である６４ｋΩとほとん
ど変わらず、行電極線及び列電極線の配線抵抗値のバラ
ツキとの関係で、交差部での短絡現象が検出できない。
【００３６】（実施例２）図２を用いて、本発明の他の
実施例を詳細に説明する。本実施例でも実施例１と同様
に、行電極本数（ｍ）として４００本、列電極本数
（ｎ）として６４０本を配した例について詳述する。こ
のため図２においてｍは４００と、ｎは６４０と読みか
えるものとする。
実施例を詳細に説明する。本実施例でも実施例１と同様
に、行電極本数（ｍ）として４００本、列電極本数
（ｎ）として６４０本を配した例について詳述する。こ
のため図２においてｍは４００と、ｎは６４０と読みか
えるものとする。
【００３７】まず透明絶縁基板の表面に、厚さ１００ｎ
ｍのＣｒ薄膜を用いて幅７μｍ，行間ピッチ１８０μｍ
の行電極線を４００本X1〜X400略平行に形成した。各行
電極線の一方の端には測定用の端部Xt1 〜Xt400 を、他
の端にはそれぞれインジウム・錫酸化物からなる薄膜パ
ターンを配し、抵抗が２０ｋΩを示す本発明で開示した
高抵抗部材RX1 〜RX400 とした。この表面に絶縁性部材
を介して交差する６４０本Y1〜Y640の列電極線を形成し
た。更に、上記行電極線と同様に各列電極線Y1〜Y640の
一方の端には測定用の端部Yt1 〜Yt640 を、他の端には
インジウム・錫酸化物からなる薄膜パターンを配し、抵
抗が２０ｋΩを示す本発明で開示した高抵抗部材RY1 〜
RY640 とした。
ｍのＣｒ薄膜を用いて幅７μｍ，行間ピッチ１８０μｍ
の行電極線を４００本X1〜X400略平行に形成した。各行
電極線の一方の端には測定用の端部Xt1 〜Xt400 を、他
の端にはそれぞれインジウム・錫酸化物からなる薄膜パ
ターンを配し、抵抗が２０ｋΩを示す本発明で開示した
高抵抗部材RX1 〜RX400 とした。この表面に絶縁性部材
を介して交差する６４０本Y1〜Y640の列電極線を形成し
た。更に、上記行電極線と同様に各列電極線Y1〜Y640の
一方の端には測定用の端部Yt1 〜Yt640 を、他の端には
インジウム・錫酸化物からなる薄膜パターンを配し、抵
抗が２０ｋΩを示す本発明で開示した高抵抗部材RY1 〜
RY640 とした。
【００３８】ここで、各行電極線，列電極線のＣｒ層の
下地として、インジウム・錫酸化物からなる薄膜パター
ンを配し、高抵抗部材に相当する部分のみＣｒ層を除去
しても本発明の目的は達成される。
下地として、インジウム・錫酸化物からなる薄膜パター
ンを配し、高抵抗部材に相当する部分のみＣｒ層を除去
しても本発明の目的は達成される。
【００３９】この様に構成したときの、各交差部一個当
りの配線抵抗は、行電極線・列電極線それぞれ１００Ω
となった。つまり行電極線一本当りでは６４ｋΩ、列電
極線一本当りでは４０ｋΩとなった。透明絶縁基板の周
辺部で、各々の行電極線及び列電極線と接続されている
高抵抗部材を、幅２ｍｍ，厚さ１００ｎｍのＣｒ薄膜で
形成した行共通電極線Cx，列共通電極線Cyを用いて共通
端子Ctに接続した。この様に構成した後、下記で詳細に
説明する検査工程を実施した。
りの配線抵抗は、行電極線・列電極線それぞれ１００Ω
となった。つまり行電極線一本当りでは６４ｋΩ、列電
極線一本当りでは４０ｋΩとなった。透明絶縁基板の周
辺部で、各々の行電極線及び列電極線と接続されている
高抵抗部材を、幅２ｍｍ，厚さ１００ｎｍのＣｒ薄膜で
形成した行共通電極線Cx，列共通電極線Cyを用いて共通
端子Ctに接続した。この様に構成した後、下記で詳細に
説明する検査工程を実施した。
【００４０】検査工程では、まず第一行目の行電極線X1
と全ての列電極線Y1〜Y640との交差部C1.1〜C1.640での
短絡有無を検査するために、第一行目の行電極線X1の端
部Xt1 と共通端子Ctとに、それぞれ検出電極を接続し、
各端部間の抵抗値を測定した。ここで、第一行目の行電
極線X1と全ての列電極線Y1〜Y640との交差部C1.1〜C1.6
40で短絡が生じていない場合には、電流は第一行目の行
電極線X1の端部Xt1 から、第一行目の行電極線X1，２０
ｋΩの高抵抗部材Rx1 を通り、更に列共通電極線Cyを通
って共通端子Ctにいたり、正規の配線抵抗値である８４
ｋΩを示した。
と全ての列電極線Y1〜Y640との交差部C1.1〜C1.640での
短絡有無を検査するために、第一行目の行電極線X1の端
部Xt1 と共通端子Ctとに、それぞれ検出電極を接続し、
各端部間の抵抗値を測定した。ここで、第一行目の行電
極線X1と全ての列電極線Y1〜Y640との交差部C1.1〜C1.6
40で短絡が生じていない場合には、電流は第一行目の行
電極線X1の端部Xt1 から、第一行目の行電極線X1，２０
ｋΩの高抵抗部材Rx1 を通り、更に列共通電極線Cyを通
って共通端子Ctにいたり、正規の配線抵抗値である８４
ｋΩを示した。
【００４１】これに対して、第一行目の行電極線X1と第
一列目の列電極線Y1との交差部C1.1で短絡が生じていた
場合には、電流は第一行目の行電極線X1の端部Xt1 か
ら、第一行目の行電極線X1、２０ｋΩの高抵抗部材RX1
を通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子Ctにいた
る経路と、短絡が生じている交差部C1.1から第一列目の
列電極線Y1、２０ｋΩの高抵抗部材RY1 、行共通電極線
Cxを通って、共通端子Ctにいたる経路とを通り、端子間
の抵抗値は３５ｋΩを示し、所定の値である８４ｋΩよ
り大幅に減少した。他の列電極線との交差部で短絡が生
じていた場合にも、同様に正規の経路に対して部分的に
並列経路が形成されるため、端子間の抵抗値は所定の値
より減少した。
一列目の列電極線Y1との交差部C1.1で短絡が生じていた
場合には、電流は第一行目の行電極線X1の端部Xt1 か
ら、第一行目の行電極線X1、２０ｋΩの高抵抗部材RX1
を通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子Ctにいた
る経路と、短絡が生じている交差部C1.1から第一列目の
列電極線Y1、２０ｋΩの高抵抗部材RY1 、行共通電極線
Cxを通って、共通端子Ctにいたる経路とを通り、端子間
の抵抗値は３５ｋΩを示し、所定の値である８４ｋΩよ
り大幅に減少した。他の列電極線との交差部で短絡が生
じていた場合にも、同様に正規の経路に対して部分的に
並列経路が形成されるため、端子間の抵抗値は所定の値
より減少した。
【００４２】次に第二行目の行電極線X2と全ての列電極
線Y1〜Y640との交差部C2.1〜C2.640での短絡有無を検査
するために、第二行目の行電極線X2の端部Xt2 と共通端
子Ctとに、それぞれ検出電極を接続し、各端子間の抵抗
値を測定し、規定の抵抗値であるか否かを評価し、第二
行目の行電極線X2と全ての列電極線Y1〜Y640との交差部
C2.1〜C2.640での短絡有無を判定した。このようにし
て、第４００行目の行電極線X400まで、順次全ての列電
極線Y1〜Y640との交差部C400.1〜C400.640での短絡有無
を検査した。ここでも、行電極線X400と全ての列電極線
Y1〜Y640との交差部C400.1〜C400.640で短絡が生じてい
ない場合には、電流は行電極線X400の端部Xt400 から、
第４００行目の行電極線X400，２０ｋΩの高抵抗部材RX
400 を通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子Ctに
いたり、正規の配線抵抗値である８４ｋΩを示した。
線Y1〜Y640との交差部C2.1〜C2.640での短絡有無を検査
するために、第二行目の行電極線X2の端部Xt2 と共通端
子Ctとに、それぞれ検出電極を接続し、各端子間の抵抗
値を測定し、規定の抵抗値であるか否かを評価し、第二
行目の行電極線X2と全ての列電極線Y1〜Y640との交差部
C2.1〜C2.640での短絡有無を判定した。このようにし
て、第４００行目の行電極線X400まで、順次全ての列電
極線Y1〜Y640との交差部C400.1〜C400.640での短絡有無
を検査した。ここでも、行電極線X400と全ての列電極線
Y1〜Y640との交差部C400.1〜C400.640で短絡が生じてい
ない場合には、電流は行電極線X400の端部Xt400 から、
第４００行目の行電極線X400，２０ｋΩの高抵抗部材RX
400 を通り、更に列共通電極線Cyを通って共通端子Ctに
いたり、正規の配線抵抗値である８４ｋΩを示した。
【００４３】これに対して、第４００行目の行電極線X4
00と第６４０列目の列電極線Y640との交差部C400.640で
短絡が生じていた場合には、電流は第４００行目の行電
極線X400の端部Xt400 から、第４００行目の行電極線X4
00、２０ｋΩの高抵抗部材RX400 を通り、更に列共通電
極線Cyを通って共通端子Ctにいたる経路と、短絡が生じ
ている交差部C400.640から第６４０列目の列電極線Y64
0、２０ｋΩの高抵抗部材RY640 、行共通電極線Cxを通
って、共通端子Ctにいたる経路とを流れ、この該当する
端子間の抵抗値は７４ｋΩを示し、所定の値である８４
ｋΩより明らかに減少し、配線装置前面に渡り交差部で
の短絡現象が検出できた。本発明による上記検査方法を
用いた時、基板全面の短絡有無を検査する場合、一枚の
基板に付き検査回数は、行電極線数と列電極線数との和
である１０４０回となり、一回の検査に０．１秒間を要
したため、一枚の基板の検査時間は１０４秒間であっ
た。
00と第６４０列目の列電極線Y640との交差部C400.640で
短絡が生じていた場合には、電流は第４００行目の行電
極線X400の端部Xt400 から、第４００行目の行電極線X4
00、２０ｋΩの高抵抗部材RX400 を通り、更に列共通電
極線Cyを通って共通端子Ctにいたる経路と、短絡が生じ
ている交差部C400.640から第６４０列目の列電極線Y64
0、２０ｋΩの高抵抗部材RY640 、行共通電極線Cxを通
って、共通端子Ctにいたる経路とを流れ、この該当する
端子間の抵抗値は７４ｋΩを示し、所定の値である８４
ｋΩより明らかに減少し、配線装置前面に渡り交差部で
の短絡現象が検出できた。本発明による上記検査方法を
用いた時、基板全面の短絡有無を検査する場合、一枚の
基板に付き検査回数は、行電極線数と列電極線数との和
である１０４０回となり、一回の検査に０．１秒間を要
したため、一枚の基板の検査時間は１０４秒間であっ
た。
【００４４】前記検査工程が終了した後、図２（Ｂ）に
示した行破断線Dx及び列破断線Dyで基板を切断し、すべ
ての高抵抗部材RX1 〜RX400,RY1 〜RY640 ，行共通電極
線Cx，列共通電極線Cy及び共通端子Ctを除去することに
より、すべての行電極線X1〜X400及び列電極線Y1〜Y640
を電気的に独立させて配線装置を完成させる。このと
き、基板を切断せずに、高抵抗部材を除去しても目的は
達成されるし、共通電極線だけを除去してもかまわな
い。
示した行破断線Dx及び列破断線Dyで基板を切断し、すべ
ての高抵抗部材RX1 〜RX400,RY1 〜RY640 ，行共通電極
線Cx，列共通電極線Cy及び共通端子Ctを除去することに
より、すべての行電極線X1〜X400及び列電極線Y1〜Y640
を電気的に独立させて配線装置を完成させる。このと
き、基板を切断せずに、高抵抗部材を除去しても目的は
達成されるし、共通電極線だけを除去してもかまわな
い。
【００４５】高抵抗部材の抵抗値として、２０ｋΩの素
子を用いた実施例について説明したが、電極線数，配線
抵抗値，配線抵抗値のバラツキにより、高抵抗部材の抵
抗値を適宜設定することにより、確実に短絡有無を検査
する事が出来る。
子を用いた実施例について説明したが、電極線数，配線
抵抗値，配線抵抗値のバラツキにより、高抵抗部材の抵
抗値を適宜設定することにより、確実に短絡有無を検査
する事が出来る。
【００４６】また、高抵抗部材として、インジウム・錫
酸化物からなる薄膜パターンを配した実施例に付いて説
明したが、材質はこれに限るものではないことは言うま
でもないし、単に行電極線・列電極線の配線幅を狭くす
ることにより構成しても、本発明の目的を達成すること
が可能となる。
酸化物からなる薄膜パターンを配した実施例に付いて説
明したが、材質はこれに限るものではないことは言うま
でもないし、単に行電極線・列電極線の配線幅を狭くす
ることにより構成しても、本発明の目的を達成すること
が可能となる。
【００４７】（実施例３）図３を用いて、本発明の更に
他の実施例を詳細に説明する。本実施例でも実施例１と
同様に、行電極本数（ｍ）として４００本、列電極本数
（ｎ）として６４０本を配した例について詳述する。こ
のため図３においてｍは４００と、ｎは６４０と読みか
えるものとする。
他の実施例を詳細に説明する。本実施例でも実施例１と
同様に、行電極本数（ｍ）として４００本、列電極本数
（ｎ）として６４０本を配した例について詳述する。こ
のため図３においてｍは４００と、ｎは６４０と読みか
えるものとする。
【００４８】被検査用の配線装置として、透明絶縁基板
の表面に、厚さ１００ｎｍのＣｒ薄膜を用いて幅７μ
ｍ，行間ピッチ１８０μｍの行電極線を４００本（X1〜
X400）略平行に、またこの表面に絶縁性部材を介して交
差する６４０本（Y1〜Y640）の列電極線をそれぞれ形成
したものを用いた。
の表面に、厚さ１００ｎｍのＣｒ薄膜を用いて幅７μ
ｍ，行間ピッチ１８０μｍの行電極線を４００本（X1〜
X400）略平行に、またこの表面に絶縁性部材を介して交
差する６４０本（Y1〜Y640）の列電極線をそれぞれ形成
したものを用いた。
【００４９】この様に構成したときの、各交差部一個当
りの配線抵抗は、行電極線・列電極線それぞれ１００Ω
となった。つまり行電極線一本当りでは６４ｋΩ、列電
極線一本当りでは４０ｋΩとなった。
りの配線抵抗は、行電極線・列電極線それぞれ１００Ω
となった。つまり行電極線一本当りでは６４ｋΩ、列電
極線一本当りでは４０ｋΩとなった。
【００５０】各行電極線X1〜X400及び各列電極線Y1〜Y6
40の一方の端部Xu1 〜Xu400,Yu1 〜Yu640のそれぞれに
検出端子部２を接続した。この検出端子部２は、それぞ
れ抵抗値が２０ｋΩを示す高抵抗部材RTX1〜RTX400,RTY
1 〜RTY640に接続されている。この高抵抗部材RTX1〜RT
X400,RTY1 〜RTY640は更に共通電極線部４に接続されて
いる。また各行電極線X1〜X400及び各列電極線Y1〜Y640
の他方の端部Xt1 〜Xt400,Yt1〜Yt640 には測定用の走
査端子部５を順次走査し、共通電極線部４と走査端子部
５との間の抵抗値を抵抗値測定部６で測定した。
40の一方の端部Xu1 〜Xu400,Yu1 〜Yu640のそれぞれに
検出端子部２を接続した。この検出端子部２は、それぞ
れ抵抗値が２０ｋΩを示す高抵抗部材RTX1〜RTX400,RTY
1 〜RTY640に接続されている。この高抵抗部材RTX1〜RT
X400,RTY1 〜RTY640は更に共通電極線部４に接続されて
いる。また各行電極線X1〜X400及び各列電極線Y1〜Y640
の他方の端部Xt1 〜Xt400,Yt1〜Yt640 には測定用の走
査端子部５を順次走査し、共通電極線部４と走査端子部
５との間の抵抗値を抵抗値測定部６で測定した。
【００５１】次に、本発明による検査方法に付いて詳細
に説明する。まず第一行目の行電極線X1と全ての列電極
線Y1〜Y640との交差部C1.1〜C1.640での短絡有無を検査
するために、第一行目の行電極線X1の端部Xt1 に走査端
子部５を接続し、共通電極線部４との間の抵抗値を測定
した。
に説明する。まず第一行目の行電極線X1と全ての列電極
線Y1〜Y640との交差部C1.1〜C1.640での短絡有無を検査
するために、第一行目の行電極線X1の端部Xt1 に走査端
子部５を接続し、共通電極線部４との間の抵抗値を測定
した。
【００５２】ここで、第一行目の行電極線X1と全ての列
電極線Y1〜Y640との交差部C1.1〜C1.640で短絡が生じて
いない場合には、電流は第一行目の行電極線X1の端部Xt
1 から、 第一行目の行電極線X1，２０ｋΩの高抵抗部
材RTX1を通り、更に共通電極線部４を通るため、共通電
極線部４と走査端子部５との間の抵抗値は抵抗値測定部
６で測定する事が出来、抵抗値測定部６には正規の配線
抵抗値である８４ｋΩが示された。
電極線Y1〜Y640との交差部C1.1〜C1.640で短絡が生じて
いない場合には、電流は第一行目の行電極線X1の端部Xt
1 から、 第一行目の行電極線X1，２０ｋΩの高抵抗部
材RTX1を通り、更に共通電極線部４を通るため、共通電
極線部４と走査端子部５との間の抵抗値は抵抗値測定部
６で測定する事が出来、抵抗値測定部６には正規の配線
抵抗値である８４ｋΩが示された。
【００５３】これに対して、第一行目の行電極線X1と第
一列目の列電極線Y1との交差部C1.1で短絡が生じていた
場合には、電流は第一行目の行電極線X1の端部Xt1 か
ら、第一行目の行電極線X1、２０ｋΩの高抵抗部材RTX1
を通り、更に共通電極線部４にいたる経路と、短絡が生
じている交差部C1.1から第一列目の列電極線Y1、２０ｋ
Ωの高抵抗部材RTY1、共通電極線部４に至る経路とを通
るため、共通電極線部４と走査端子部５との間の抵抗値
は抵抗値測定部６で測定する事が出来、抵抗値測定部６
には抵抗値として３５ｋΩが示され、所定の値である８
４ｋΩより大幅に減少した。他の列電極線Y2〜Y640との
交差部C1.2〜C1.640で短絡が生じていた場合にも、同様
に正規の経路に対して部分的に並列経路が形成されるた
め、端子間の抵抗値は所定の値より減少した。
一列目の列電極線Y1との交差部C1.1で短絡が生じていた
場合には、電流は第一行目の行電極線X1の端部Xt1 か
ら、第一行目の行電極線X1、２０ｋΩの高抵抗部材RTX1
を通り、更に共通電極線部４にいたる経路と、短絡が生
じている交差部C1.1から第一列目の列電極線Y1、２０ｋ
Ωの高抵抗部材RTY1、共通電極線部４に至る経路とを通
るため、共通電極線部４と走査端子部５との間の抵抗値
は抵抗値測定部６で測定する事が出来、抵抗値測定部６
には抵抗値として３５ｋΩが示され、所定の値である８
４ｋΩより大幅に減少した。他の列電極線Y2〜Y640との
交差部C1.2〜C1.640で短絡が生じていた場合にも、同様
に正規の経路に対して部分的に並列経路が形成されるた
め、端子間の抵抗値は所定の値より減少した。
【００５４】次に第二行目の行電極線X2と全ての列電極
線Y1〜Y640との交差部C2.1〜C2.640での短絡有無を検査
するために、第二行目の行電極線X2の端部Xt2 に走査端
子部５を移動し抵抗値を測定し、規定の抵抗値であるか
否かを評価し、第二行目の行電極線X2と全ての列電極線
Y1〜Y640との交差部C2.1〜C2.640での短絡有無を判定し
た。このようにして、第４００行目の行電極線X400ま
で、順次全ての列電極線Y1〜Y640との交差部C400.1〜C4
00.640での短絡有無を検査した。
線Y1〜Y640との交差部C2.1〜C2.640での短絡有無を検査
するために、第二行目の行電極線X2の端部Xt2 に走査端
子部５を移動し抵抗値を測定し、規定の抵抗値であるか
否かを評価し、第二行目の行電極線X2と全ての列電極線
Y1〜Y640との交差部C2.1〜C2.640での短絡有無を判定し
た。このようにして、第４００行目の行電極線X400ま
で、順次全ての列電極線Y1〜Y640との交差部C400.1〜C4
00.640での短絡有無を検査した。
【００５５】ここでも、行電極線X400と全ての列電極線
Y1〜Y640との交差部C400.1〜C400.640で短絡が生じてい
ない場合には、電流は行電極線X400の端部Xt400 から、
第４００行目の行電極線X400，２０ｋΩの高抵抗部材RT
X400を通り、更に共通電極線部４を通り、正規の配線抵
抗値である８４ｋΩを示した。
Y1〜Y640との交差部C400.1〜C400.640で短絡が生じてい
ない場合には、電流は行電極線X400の端部Xt400 から、
第４００行目の行電極線X400，２０ｋΩの高抵抗部材RT
X400を通り、更に共通電極線部４を通り、正規の配線抵
抗値である８４ｋΩを示した。
【００５６】これに対して、第４００行目の行電極線X4
00と第６４０列目の列電極線Y640との交差部C400.640で
短絡が生じていた場合には、電流は第４００行目の行電
極線X400の端部Xt400 から、第４００行目の行電極線X4
00、２０ｋΩの高抵抗部材RTX400を通り、更に共通電極
線部４を通る経路と、短絡が生じている交差部C400.640
から第６４０列目の列電極線Y640、２０ｋΩの高抵抗部
材RTY640、共通電極線部４を通る経路とを流れ、この該
当する端子間の抵抗値は７４ｋΩを示し、所定の値であ
る８４ｋΩより明らかに減少し、配線装置全面に渡り交
差部での短絡現象が検出できた。上記検査方法を用いた
時、基板全面の短絡有無を検査する場合、一枚の基板に
付き検査回数は、行電極線数と列電極線数との和である
１０４０回となり、一回の検査に０．１秒間を要したた
め、一枚の基板の検査時間は１０４秒間であった。
00と第６４０列目の列電極線Y640との交差部C400.640で
短絡が生じていた場合には、電流は第４００行目の行電
極線X400の端部Xt400 から、第４００行目の行電極線X4
00、２０ｋΩの高抵抗部材RTX400を通り、更に共通電極
線部４を通る経路と、短絡が生じている交差部C400.640
から第６４０列目の列電極線Y640、２０ｋΩの高抵抗部
材RTY640、共通電極線部４を通る経路とを流れ、この該
当する端子間の抵抗値は７４ｋΩを示し、所定の値であ
る８４ｋΩより明らかに減少し、配線装置全面に渡り交
差部での短絡現象が検出できた。上記検査方法を用いた
時、基板全面の短絡有無を検査する場合、一枚の基板に
付き検査回数は、行電極線数と列電極線数との和である
１０４０回となり、一回の検査に０．１秒間を要したた
め、一枚の基板の検査時間は１０４秒間であった。
【００５７】高抵抗部材の抵抗値として、２０ｋΩの素
子を用いた実施例について説明したが、被検査配線装置
の電極線数，配線抵抗値，配線抵抗値のバラツキによ
り、高抵抗部材の抵抗値を適宜設定することにより、確
実に配線装置全面に渡り交差部での短絡有無を検査する
事が出来る。
子を用いた実施例について説明したが、被検査配線装置
の電極線数，配線抵抗値，配線抵抗値のバラツキによ
り、高抵抗部材の抵抗値を適宜設定することにより、確
実に配線装置全面に渡り交差部での短絡有無を検査する
事が出来る。
【００５８】（実施例４）図６には、本発明の更に他の
実施例を示した。この実施例は、行電極線（X1〜X400）
と列電極線（Y1〜Y640）との交差部に能動素子であるＴ
ＦＴ７を配したアクティブマトリックス制御液晶表示素
子の配線装置に本発明の検査方法を適用したものであ
る。本実施例においても実施例１と同様の作用効果が得
られ、配線装置全面に渡り交差部での短絡現象が確実に
検出できた。
実施例を示した。この実施例は、行電極線（X1〜X400）
と列電極線（Y1〜Y640）との交差部に能動素子であるＴ
ＦＴ７を配したアクティブマトリックス制御液晶表示素
子の配線装置に本発明の検査方法を適用したものであ
る。本実施例においても実施例１と同様の作用効果が得
られ、配線装置全面に渡り交差部での短絡現象が確実に
検出できた。
【００５９】（実施例５）図７には、本発明の更に他の
実施例を示した。この実施例は、行電極線（X1〜X400）
と列電極線（Y1〜Y640）との交差部に能動素子であるＴ
ＦＴ７を配したアクティブマトリックス制御液晶表示素
子の配線装置に本発明の製造方法を適用したものであ
る。本実施例でも実施例２と同様に、配線装置全面に渡
り交差部での短絡現象が確実に検出できた。ここでも、
検査工程が終了し、基板の完成後に、図７（Ｂ）に示し
た行破断線Dx及び列破断線Dyで基板の一部を切断除去
し、すべての高抵抗部材Rx1 〜Rx400,Ry1 〜Ry640 ，行
共通電極線Cx，列共通電極線Cy及び共通端子Ctを除去
し、すべての行電極線及び列電極線を電気的に独立させ
た。本実施例においても、実施例２と同様の作用効果が
得られ、配線装置全面に渡り交差部での短絡現象が確実
に検出できた。
実施例を示した。この実施例は、行電極線（X1〜X400）
と列電極線（Y1〜Y640）との交差部に能動素子であるＴ
ＦＴ７を配したアクティブマトリックス制御液晶表示素
子の配線装置に本発明の製造方法を適用したものであ
る。本実施例でも実施例２と同様に、配線装置全面に渡
り交差部での短絡現象が確実に検出できた。ここでも、
検査工程が終了し、基板の完成後に、図７（Ｂ）に示し
た行破断線Dx及び列破断線Dyで基板の一部を切断除去
し、すべての高抵抗部材Rx1 〜Rx400,Ry1 〜Ry640 ，行
共通電極線Cx，列共通電極線Cy及び共通端子Ctを除去
し、すべての行電極線及び列電極線を電気的に独立させ
た。本実施例においても、実施例２と同様の作用効果が
得られ、配線装置全面に渡り交差部での短絡現象が確実
に検出できた。
【００６０】（実施例６）図８には、本発明の更に他の
実施例を示した。この実施例は、行電極線（X1〜X400）
と列電極線（Y1〜Y640）との交差部に能動素子であるＴ
ＦＴ７を配したアクティブマトリックス制御液晶表示素
子の配線装置に本発明の検査装置を適用したものであ
る。本実施例においても実施例３と同様の作用効果が得
られ、配線装置全面に渡り交差部での短絡現象が確実に
検出できた。
実施例を示した。この実施例は、行電極線（X1〜X400）
と列電極線（Y1〜Y640）との交差部に能動素子であるＴ
ＦＴ７を配したアクティブマトリックス制御液晶表示素
子の配線装置に本発明の検査装置を適用したものであ
る。本実施例においても実施例３と同様の作用効果が得
られ、配線装置全面に渡り交差部での短絡現象が確実に
検出できた。
【００６１】上記各実施例は、高抵抗部材の抵抗値が互
いに等しい場合に付いて説明したが、高抵抗部材の各抵
抗値を適宜変えて構成すると、短絡している交差部の位
置により端子間の抵抗値が異なるため、短絡有無だけに
留まらず、短絡位置まで検出可能となり、行電極線又は
列電極線の検査をするだけで、全ての電極線の検査を実
施したのと同じ効果が得られる。
いに等しい場合に付いて説明したが、高抵抗部材の各抵
抗値を適宜変えて構成すると、短絡している交差部の位
置により端子間の抵抗値が異なるため、短絡有無だけに
留まらず、短絡位置まで検出可能となり、行電極線又は
列電極線の検査をするだけで、全ての電極線の検査を実
施したのと同じ効果が得られる。
【００６２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１記載の発明によれば、複数本の行電極線と、該行電極
線と絶縁性部材を介して交差する複数本の列電極線によ
り構成される配線装置を検査するに際して、短絡が生じ
たために形成される並列経路のために影響を受ける高抵
抗部材の抵抗値の、正規の配線にしめる割合が大きいた
め、行電極線及び列電極線の配線抵抗値が多少変動した
としても、配線装置全面に渡り交差部での短絡の有無を
確実に検出することができるという、効果が得られる。
１記載の発明によれば、複数本の行電極線と、該行電極
線と絶縁性部材を介して交差する複数本の列電極線によ
り構成される配線装置を検査するに際して、短絡が生じ
たために形成される並列経路のために影響を受ける高抵
抗部材の抵抗値の、正規の配線にしめる割合が大きいた
め、行電極線及び列電極線の配線抵抗値が多少変動した
としても、配線装置全面に渡り交差部での短絡の有無を
確実に検出することができるという、効果が得られる。
【００６３】請求項２記載の発明によれば、複数本の行
電極線と、該行電極線と絶縁性部材を介して交差する複
数本の列電極線により構成される配線装置を製造するに
際して、複数本の行電極線及び複数本の列電極線の一端
にそれぞれ高抵抗部材を設け、前記各高抵抗部材の前記
行電極線又は前記列電極線と接続されていない端部を、
列共通電極線及び行共通電極線を介して導通させた後
に、上記複数の行電極線及び列電極線のそれぞれを電気
的に独立させ配線装置を製造している。この構成とする
ことにより、共通電極線と、行電極線及び列電極線の高
抵抗部材と接続されていないそれぞれの端部との間の抵
抗値が、所定の値か否かを検査し前記行電極線及び列電
極線の交差部での短絡の有無を配線装置全面に渡り高感
度で確実に検出することができるという効果が得られ
る。
電極線と、該行電極線と絶縁性部材を介して交差する複
数本の列電極線により構成される配線装置を製造するに
際して、複数本の行電極線及び複数本の列電極線の一端
にそれぞれ高抵抗部材を設け、前記各高抵抗部材の前記
行電極線又は前記列電極線と接続されていない端部を、
列共通電極線及び行共通電極線を介して導通させた後
に、上記複数の行電極線及び列電極線のそれぞれを電気
的に独立させ配線装置を製造している。この構成とする
ことにより、共通電極線と、行電極線及び列電極線の高
抵抗部材と接続されていないそれぞれの端部との間の抵
抗値が、所定の値か否かを検査し前記行電極線及び列電
極線の交差部での短絡の有無を配線装置全面に渡り高感
度で確実に検出することができるという効果が得られ
る。
【００６４】請求項３記載の発明の検査装置によれば、
複数本の行電極線と、該行電極線と絶縁性部材を介して
交差する複数本の列電極線により構成される配線装置を
検査するに際して、複数本の行電極線及び前記複数本の
列電極線の一端のそれぞれに接続される検出端子部、検
出端子部にそれぞれ接続された高抵抗部材群と、前記各
高抵抗部材群の前記検出端子部と接続されていないそれ
ぞれの端部を導通させる共通電極線部と、前記行電極線
及び前記列電極線の検出端子部が接続されない端部に順
次接続される走査端子部と、共通電極線部と走査端子部
との間の電気抵抗値を測定する抵抗値測定部とを具備す
ることにより、短絡が生じたために形成される並列経路
のために影響を受ける高抵抗部材群の抵抗値の、正規の
配線にしめる割合が大きいため、走査端子部と共通電極
線部との間の電気抵抗値は所定の抵抗値より大幅に減少
することとなり、行電極線及び列電極線の配線抵抗値が
多少変動したとしても、配線装置全面に渡り短絡の有無
を確実に検出できるという効果が得られる。
複数本の行電極線と、該行電極線と絶縁性部材を介して
交差する複数本の列電極線により構成される配線装置を
検査するに際して、複数本の行電極線及び前記複数本の
列電極線の一端のそれぞれに接続される検出端子部、検
出端子部にそれぞれ接続された高抵抗部材群と、前記各
高抵抗部材群の前記検出端子部と接続されていないそれ
ぞれの端部を導通させる共通電極線部と、前記行電極線
及び前記列電極線の検出端子部が接続されない端部に順
次接続される走査端子部と、共通電極線部と走査端子部
との間の電気抵抗値を測定する抵抗値測定部とを具備す
ることにより、短絡が生じたために形成される並列経路
のために影響を受ける高抵抗部材群の抵抗値の、正規の
配線にしめる割合が大きいため、走査端子部と共通電極
線部との間の電気抵抗値は所定の抵抗値より大幅に減少
することとなり、行電極線及び列電極線の配線抵抗値が
多少変動したとしても、配線装置全面に渡り短絡の有無
を確実に検出できるという効果が得られる。
【図１】本発明による配線装置の検査方法の一実施例を
示す平面略図
示す平面略図
【図２】本発明による配線装置の製造方法の一実施例を
示す平面略図
示す平面略図
【図３】本発明による配線装置の検査装置の一実施例を
示す平面略図
示す平面略図
【図４】従来技術による配線装置を示す平面略図
【図５】改良された従来技術による配線装置の製造方法
を示す平面略図
を示す平面略図
【図６】本発明による配線装置の検査方法の他の実施例
を示す平面略図
を示す平面略図
【図７】本発明による配線装置の製造方法の他の実施例
を示す平面略図
を示す平面略図
【図８】本発明による配線装置の検査装置の他の実施例
を示す平面略図
を示す平面略図
１ 配線装置 ２ 検出端子部 ３ 高抵抗部材群 ４ 共通電極線部 ５ 走査端子部 ６ 抵抗値測定部 ７ ＴＦＴ X1 第一行目の行電極線 Xm 第ｍ行目の行電極線 Y1 第一列目の列電極線 Yn 第ｎ列目の列電極線 Xt1 X1の端部 Xu1 X1の端部 Xtm Xmの端部 Xum Xmの端部 Yt1 Y1の端部 Yu1 Y1の端部 Ytn Ynの端部 Yun Ynの端部 Cx 行共通電極線 Cy 列共通電極線 Ct 共通端子 C1.1 X1とY1との交差部 Cm.n XmとYnとの交差部 RX1 X1に接続された高抵抗部材 RXm Xmに接続された高抵抗部材 RY1 Y1に接続された高抵抗部材 RYn Ynに接続された高抵抗部材 Dx 行破断線 Dy 列破断線 T1 走査端子
Claims (3)
- 【請求項１】 複数本の行電極線と、該行電極線と絶縁
性部材を介して交差する複数本の列電極線により構成さ
れる配線装置を検査する検査方法であって、前記複数本
の行電極線及び前記複数本の列電極線の一端にそれぞれ
高抵抗部材を接続し、前記各高抵抗部材の前記行電極線
又は前記列電極線と接続されていない端部を、共通電極
線を介して共通端子に導通させ、前記行電極線及び前記
列電極線の高抵抗部材が接続されていないそれぞれの端
部と、前記共通端子との間の電気抵抗値をそれぞれ測定
する事を特徴とする配線装置の検査方法。 - 【請求項２】 複数本の行電極線と、該行電極線と絶縁
性部材を介して交差する複数本の列電極線により構成さ
れる配線装置を製造する製造方法であって、前記複数本
の行電極線及び前記複数本の列電極線の一端にそれぞれ
高抵抗部材を設け、各高抵抗部材の、前記行電極線又は
前記列電極線と接続されていない端部を、共通電極線を
介して導通させた後に、上記複数本の行電極線及び列電
極線のそれぞれを電気的に独立させる事を特徴とする配
線装置の製造方法。 - 【請求項３】 複数本の行電極線と、該行電極線と絶縁
性部材を介して交差する複数本の列電極線により構成さ
れる配線装置を検査する検査装置であって、前記複数本
の行電極線及び前記複数本の列電極線の一端のそれぞれ
に接続される検出端子部と、各検出端子部にそれぞれ接
続された高抵抗部材を有する高抵抗部材群と、前記各高
抵抗部材群の前記検出端子部と接続されていないそれぞ
れの端部を導通させる共通電極線部と、前記行電極線及
び前記列電極線の検出端子部が接続されない端部に接続
される走査端子部と、共通電極線部と走査端子部との間
の電気抵抗値を測定する抵抗値測定部とを具備すること
を特徴とする配線装置の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3297654A JP2684273B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 配線装置の検査方法、製造方法および検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3297654A JP2684273B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 配線装置の検査方法、製造方法および検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05107298A JPH05107298A (ja) | 1993-04-27 |
| JP2684273B2 true JP2684273B2 (ja) | 1997-12-03 |
Family
ID=17849394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3297654A Expired - Lifetime JP2684273B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 配線装置の検査方法、製造方法および検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2684273B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7569126B2 (en) * | 2004-06-18 | 2009-08-04 | Roche Diagnostics Operations, Inc. | System and method for quality assurance of a biosensor test strip |
| US7713392B2 (en) | 2005-04-15 | 2010-05-11 | Agamatrix, Inc. | Test strip coding and quality measurement |
| KR102610847B1 (ko) * | 2023-03-24 | 2023-12-06 | 주식회사 피지오닉스 | 매트릭스 배열 타입 압저항 센서 측정을 위한 구동 장치 및 방법 |
-
1991
- 1991-10-18 JP JP3297654A patent/JP2684273B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05107298A (ja) | 1993-04-27 |
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