JP2003321270A - 優れた耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミックスおよびその成形物の製造方法 - Google Patents
優れた耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミックスおよびその成形物の製造方法Info
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Abstract
する必要もなく、優れた耐摩耗性と耐食性を有するアル
ミナ質セラミックスの提供および該アルミナ質セラミッ
クスからなる成形物の製造方法の提供。 【解決手段】 主としてAl2O3からなり、SiO2
20〜90重量%、MgO0〜70重量%およびCaO
10〜80重量%の三成分からなる焼結助剤の各成分を
合計量として0.1〜1.0重量%含有し、残部として
実質的に不可避的不純物が0.3重量%以下であり、平
均結晶粒径0.5〜5.0μm、かさ密度3.70g/
cm3以上、粉砕用ボールとしての摩耗率が0.2%/
h以下であることを特徴とする耐摩耗性および耐食性を
有するアルミナ質セラミックスおよび該アルミナ質セラ
ミックスの微粉末を所定形状に成形し焼成する、アルミ
ナ質セラミックス成形物の製造方法。
Description
食性を有するアルミナ質セラミックス、特に、耐摩耗性
部材材料として有用な耐摩耗性および耐食性を有するア
ルミナ質セラミックスおよび該アルミナ質セラミックス
からなる成形物の製造方法に関するものである。
および耐食性に優れたものであり、従来、金属が使用さ
れていた耐摩耗部材として、セラミックスが使用されて
いる。この様な耐摩耗部材として用いるセラミックスと
しては、アルミナ、ジルコニア、窒化珪素、炭化珪素等
が使用されているが、その中でもアルミナは硬度が高
く、耐食性に優れ、他のセラミックスに比べて安価であ
ることから広く使用されるようになってきた。しかしな
がら、従来の耐摩耗性アルミナセラミックスとしては、
アルミナ含有量が90〜92重量%程度のものが主とし
て用いられているが、不純物を多く含有するために、ア
ルミナ結晶以外にガラス相や第2相を多く含むものとな
り、高温下あるいは腐食雰囲気中などにおける使用では
粒界のガラス相が腐食されて摩耗特性が大幅に低下する
ことから、このような条件下では耐摩耗性部材として満
足して使用することはできなかった。そこで、例えば、
特開昭62−187157号公報に示されているよう
に、アルミナ含有量を99.9%以上とすることで、ガ
ラス相等のアルミナ結晶以外の第2相量をほとんど含有
しない高強度、高硬度としたアルミナ質セラミックスが
開発されているが、高純度のアルミナ原料を使用するた
め、その精製精度を上げる必要からコストが非常に高く
なるという問題点を有している。また、従来のアルミナ
質セラミックスでは、Al2O3の含有量が99%以上
になると焼結助剤その他の添加剤の量が制限されるた
め、焼結性が低下するため高温で焼成しなければなら
ず、そのために結晶粒径が大きくなり、また焼成温度に
よっては結晶粒径分布が広くなりやすく、充分な耐摩耗
性が得られないという問題点があった。
の精製精度を上げることなく、安価な原料を用いて優れ
た耐摩耗性と耐食性を有するアルミナ質セラミックスお
よび該アルミナ質セラミックスからなる成形物の製造方
法を提供することを目的とする。
き従来技術の問題点に鑑みて、安価な原料を用いて優れ
た耐摩耗性と耐食性を有するアルミナ質セラミックスを
得るべく鋭意研究を重ねてきた。その結果、アルミナ質
セラミックスにおいて、焼結助剤の組成を一定の範囲に
すると共に、その焼結助剤を均一に混合・分散すること
で、焼結性を向上させ、且つ、微細構造が均一な焼結体
を得ることができ、焼結体の結晶粒径および密度を一定
の範囲の値となるように制御されたアルミナ質セラミッ
クスは、極めて優れた耐摩耗性だけでなく耐食性をも有
するものとなることを見出し、ここに本発明を完成する
に至った。
なり、SiO220〜90重量%、MgO0〜70重量
%およびCaO10〜80重量%の三成分からなる焼結
助剤の各成分を合計量として0.1〜1.0重量%含有
し、残部として実質的に不可避的不純物が0.3重量%
以下であり、平均結晶粒径0.5〜5.0μm、かさ密
度3.70g/cm3以上、粉砕用ボールとしての摩耗
率が0.2%/h以下であることを特徴とする耐摩耗性
および耐食性を有するアルミナ質セラミックスに関す
る。本発明の第2は、主としてAl2O3からなり、S
iO220〜90重量%、MgO0〜70重量%および
CaO10〜80重量%の三成分からなる焼結助剤の各
成分を合計量として0.1〜1.0重量%含有し、残部
として実質的に不可避的不純物からなる基本組成物10
0重量部に対しZrO2を15重量部以下含有する請求
項1に記載の耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質
セラミックスに関する。本発明の第3は、前記不可避的
不純物として含まれるアルカリ金属酸化物が0.1重量
%以下、TiO2が0.05重量%以下であることを特
徴とする請求項1または2に記載の耐摩耗性および耐食
性を有するアルミナ質セラミックスに関する。本発明の
第4は、主としてAl2O3からなり、SiO220〜
90重量%、MgO0〜70重量%およびCaO10〜
80重量%の三成分からなる焼結助剤の各成分を合計量
として0.1〜1.0重量%含有し、残部として実質的
に不可避的不純物が0.3重量%以下であり、平均粒径
0.3〜0.7μmの微粉末を所定形状に成形し、大気
中1350〜1650℃で焼成することを特徴とする耐
摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミックスか
らなる成形物の製造方法に関する。本発明の第5は、焼
結助剤として、SiO220〜90重量%、MgO0〜
70重量%およびCaO10〜80重量%の三成分から
なる原料粉末混合物を900から1300℃で熱処理
し、この熱処理した焼結助剤とアルミナ純度99.7%
以上のアルミナ粉末とを混合し、平均粒子径0.3〜
0.7μmに微粉砕し、得られた微粉末を所定形状に成
形し、大気中1350〜1650℃で焼成することを特
徴とする請求項4に記載の耐摩耗性および耐食性を有す
るアルミナ質セラミックスからなる成形物の製造方法に
関する。本発明の第6は、主としてAl2O3からな
り、SiO220〜90重量%、MgO0〜70重量%
およびCaO10〜80重量%の三成分からなる焼結助
剤の各成分を合計量として0.1〜1.0重量%含有
し、残部として実質的に不可避的不純物からなる基本組
成物100重量部に対しZrO2を15重量部以下含有
する請求項4または5に記載の耐摩耗性および耐食性を
有するアルミナ質セラミックスからなる成形物の製造方
法に関する。
%、MgO0〜70重量%およびCaO10〜80重量
%の三成分からなる焼結助剤を用いることによって、焼
結性が向上し、粒成長の抑制、結晶粒径の均一性が達成
される。また、アルミナ結晶粒界強度を高めることがで
きるため、靱性の向上にも効果がある。使用する焼結助
剤は上記組成のSiO2、MgOおよびCaOの三成分
からなることが必要であり、組成割合がこの範囲から外
れると焼結性が低下したり、異常粒成長を起こしやす
く、また焼結体中にアルミナ以外の結晶やガラス相が多
く生成して、硬さ、強度、靱性等の低下による耐摩耗性
の低下や耐食性の劣化をきたすので好ましくない。この
組成割合は、好ましくはSiO225〜85量%、Mg
O0〜60重量%およびCaO15〜75重量%、より
好ましくはSiO230〜80量%、MgO0〜50重
量%およびCaO20〜70重量%である。
分を前記した組成比率の範囲内で含有すると共に、各成
分の合計量が焼結体中0.1〜1.0重量%であること
が必要である。この合計量が0.1重量%未満の場合に
は、焼結性が悪くなり、欠陥量が増え、硬さ、強度等が
低下するので好ましくなく、1.0重量%を越えると、
アルミナ結晶以外の結晶やガラス相が多く生成するので
好ましくない。各成分の合計量は、好ましくは焼結体中
の0.2〜0.8重量%である。
不可避的不純物、例えば、Fe2O 3、Na2O、K2
OおよびTiO2等が含まれるが、不可避的不純物のう
ちアルカリ金属酸化物およびTiO2はガラス相や第2
相を生成したり異常粒成長をきたすので、不可避的不純
物の含有量が可能な限り少ないものを使用する必要があ
り、焼結体中の不可避的不純物は0.3重量%以下、好
ましくは0.1重量%以下である。特に、Na2Oおよ
びK2OはSiO2等と容易にガラス相を形成するた
め、アルカリ金属酸化物の含有量は0.1重量%以下、
好ましくは0.08重量%以下、より好ましくは0.0
5%以下に、またTiO2は結晶成長を促進させたり異
常粒成長の原因となることから、その含有量は0.05
重量%以下、好ましくは0.02重量%以下、より好ま
しくは0.01重量%以下になるように原料を選択して
配合される。
mである。本発明は結晶粒径を小さくかつ均一にするこ
とによって耐摩耗性に優れたアルミナセラミックスが得
られることが明らかで、0.8〜3.0μmが好まし
い。平均結晶粒径が0.5μmを下回る場合は、靱性の
低下が起こり結果的に耐摩耗性の低下につながり、また
耐食性も低下するため好ましくない。また、平均結晶粒
径が5.0μmを越えると硬さが低下し、また、大きい
結晶粒子より摩耗が優先的に起こり、粒離脱摩耗による
損耗が大きくなり耐摩耗性の低下をきたすため好ましく
ない。また、耐チッピング性が問題となる場合には耐摩
耗性とのバランスを考慮して0.5〜5.0μmの範囲
内で適宜設定すればよい。また、焼結体を構成する結晶
粒子の最大径が15μmを越える場合には結晶粒径分布
が広く、硬度の低下が起こり、その結果、耐摩耗性の低
下につながるので好ましくなく、最大径が15μm以
下、より好ましくは10μm以下が好適である。本発明
の平均結晶粒径は焼結体を鏡面仕上げし、これを熱エッ
チングし、走査電子顕微鏡にて視野に結晶が100個以
上観察できる倍率で観察して写真撮影し、その写真から
インターセプト法により10点平均から求める。算出式
としてはD=1.5×L/n〔D:平均結晶粒径(μ
m)、L:測定長さ(μm)、n:長さLあたりの結晶
数〕を用いる。最大径は100個の粒子のうち最も大き
い粒子の長径とする。
のは、かさ密度が3.70g/cm 3未満の場合、焼結
度が不十分であると共に欠陥となるポアーが多く存在す
ることになり、強度、硬度および靱性の低下を引き起こ
すだけでなく、このポアーが起点となって摩耗を促進す
るので好ましくない。かさ密度はより好ましくは3.8
0g/cm3以上とする。
さ密度に現れない欠陥が存在する場合があり、その欠陥
量は、セラミックスの耐摩耗性に非常に大きな影響を与
えるため、鏡面仕上げ面での欠陥量は5%以下が好まし
い。これは、欠陥量が5%を越えるとこれらの欠陥が摩
耗の起点となって摩耗が促進され、耐摩耗性の低下を招
くと同時に耐衝撃強度の低下が起こるので好ましくな
く、また、耐食性の低下をきたすからである。この欠陥
量は、好ましくは3%以下、より好ましくは2%以下が
好適である。本発明において、セラミックスの欠陥量と
は、平面研削盤を用いてセラミックスを下記条件により
研削加工した後、研磨加工して鏡面仕上げし、その鏡面
仕上げした面(通常500倍)を走査電子顕微鏡で写真
撮影を行い、その写真を画像解析にて欠陥部分と欠陥で
ない部分とを二値化により分離して、その欠陥部分が画
像全体に占める面積の割合、即ち、面積率(%)をい
う。この欠陥部分には、気孔だけでなく、焼結体の研削
および研磨加工して鏡面仕上げする際に発生する脱粒の
後、および焼結体のかさ密度値に影響を与えないレベル
の欠陥も含まれる。
ンドタイプのダイヤモンド砥石を用い、まず、粒度#1
40のダイヤモンド砥石で、その砥石の周速を1500
m/sec、切り込み深さを8μm、被研削物であるセ
ラミックス(以下、ワークという。)の左右の送り速度
(以下、ワーク速度という。)を17m/secとして
約80μm研削した後、切込みを止めて砥石を5往復さ
せ、次に砥石を#400のダイヤモンド砥石に取り替
え、周速1500m/sec、切込み深さを5μm、ワ
ーク送り13m/secの条件下で約50μm研削した
後、切込みを止めて砥石を10往復させ、更に砥石を#
600のダイヤモンド砥石に取り替え、周速1500m
/sec、切込み深さを2μm、ワーク送り10m/s
ecの条件下で約20〜30μm研削した後、切込みを
止めて砥石を15往復させることにより研削を行い、そ
の後、研削加工したセラミックスの研削面に、40μm
のダイヤモンド砥粒を埋め込んだダイヤモンドパッドを
2.6kgf/cm2で加圧して3分研磨し、更に6μ
mのダイヤモンド砥粒で2.6kgf/cm2に加圧し
て5分研磨した後、3μmのダイヤモンド砥粒で2.6
kgf/cm2に加圧して15分間研磨し、最後に1μ
mのダイヤモンド砥粒で1.3kgf/cm2に加圧し
て5分研磨することにより行う。
率は0.2%/h以下である。摩耗率がこれ以上になる
と粉砕用ボール等粉砕用部材として用いた場合、被粉砕
物への摩耗粉混入量が増加し得られた焼結体特性に問題
が生じる危険性があるため好ましくない。また、ベアリ
ングあるいは半導体用部材などの耐摩耗部材として用い
た場合にも、上記摩耗率を超えると使用中に摩耗が大き
くなり装置に支障をきたす可能性があるため好ましくな
い。本発明における粉砕用ボールとしての摩耗率は以下
に示す測定方法により求めた摩耗率が0.2%/h以下
であると定義する。粉砕機として三井三池製アトライタ
ー(MA−01S)を用い、容量650mlのアルミナ
製〔純度99.9%、(株)ニッカトー製SSA−99
9W〕タンク中にボール表面をバレル研磨したφ2mm
の粉砕用ボールを400ml投入し、更に平均粒子径1
0μm、比表面積1.2m2/gのアルミナ粉末200
gおよび水200mlを入れてジルコニア製〔(株)ニ
ッカトー製YTZ〕アームにて回転数400rpmで2
4時間摩耗テストし、下式により摩耗率を求める。 摩耗率={〔(Wb−Wa)/Wb〕×100}/24 (Wa:テスト後のボール重量 Wb:テスト前のボー
ル重量)
クスの焼結性の向上、強度および靱性を一段と向上させ
ると共に、その微細構造組織をより均一化するため、前
記成分組成からなる基本組成物100重量部に対してZ
rO2を15重量部以下、好ましくは10重量部以下、
より好ましくは8重量部以下含有させることができる。
その添加量が基本組成物100重量部に対して15重量
部を越えると、硬度の低下を生じ、特に安定化剤の添加
されていないZrO2粉体を用いると焼結体に単斜晶系
ジルコニアが存在しやすくなり、マイクロクラックの発
生が起こって耐摩耗性の低下につながるので好ましくな
い。この場合、添加するZrO2原料はその平均粒子径
が1.0μm以下のものを使用するのが好適である。こ
れはZrO2原料の平均粒子径が1.0μmを越える
と、焼結体に単斜晶系ジルコニアが存在しやすくなり、
マイクロクラックの発生が起こって耐摩耗性、耐衝撃性
の低下につながるので好ましくない。また、ZrO2原
料としては、希土類元素酸化物等の安定化剤を固溶させ
たものを用いることもできる。この場合、希土類元素酸
化物、例えばY2O3を安定化剤として含むZrO2原
料の場合、Y2O3の含有量は5モル%以下のものを使
用するのが好ましく、これによりジルコニアの応力誘起
変態効果により靱性の向上を図ることができる。
し、その混合物を平均粒径0.3〜0.7μm、比表面
積5〜14m2/gに粉砕し、得られた粉末を所定形状
に成形し、大気中1350〜1650℃で焼成すること
により、優れた耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ
質セラミックスからなる成形物を提供することができ
る。粉砕後の粒度が0.3μm以下であると成形性が低
下し、その結果、焼結体中に欠陥が多く含有し耐摩耗性
および耐食性の低下をもたらすので好ましくない。ま
た、0.7μmを越えると焼結性の低下をもたらし、焼
結体に欠陥を生じやすいため好ましくない。粉砕後の平
均粒径は0.3〜0.5μm、比表面積は7〜12m2
/gがより好ましい。また、焼成温度としては1400
〜1600℃がより好ましい。
ルミナ質セラミックスは以下に示す方法で製造できる。
アルミナ原料はアルミナ純度が99.7%以上、比表面
積が3m2/g以上、平均粒径2μm以下の原料を使用
する。使用するアルミナ原料は明礬法から作られた原料
でも良いが、バイヤー法アルミナ原料を使用することが
好ましく、安価に作ることができる。焼結助剤の原料と
しては平均粒径0.5μm以下、純度98%以上のMg
OおよびCaO原料もしくは水酸化物、炭酸化物の塩を
使用することが可能である。SiO2は珪石、石英をは
じめシリカゾル、エチルシリケート等の塩も使用でき、
更にはカオリン等の粘土鉱物を用いても良い。これら原
料を所定量アルミナ原料に添加し粉砕・混合・分散して
も良いが、MgO、CaOおよびSiO2原料を先に混
合し、次いで熱処理することによって、更に均一に分散
することが可能となり、焼結性の向上、結晶粒径の微細
化および組織の均一化がはかれ、より耐摩耗性にすぐれ
た焼結体を得ることができる。熱処理した焼結助剤を用
いる場合は、MgO、CaOおよびSiO2原料を所定
量になるよう水もしくは有機溶媒中で湿式によってポッ
トミル、アトリッションミル等の粉砕機で粉砕、混合
し、900℃〜1300℃にて熱処理することによって
熱処理した焼結助剤を作製する。900℃以下では熱処
理の効果が現れず、アルミナ原料に助剤原料を単体で添
加した場合と大差が見られない。また、1300℃を越
えた場合には熱処理した焼結助剤の結合が強固で、助剤
として添加した場合に粉砕・分散が充分に行えないため
好ましくなく、1000℃から1200℃で加熱処理す
ることがより好ましい。
iO2およびZrO2量となるように、上記熱処理した
焼結助剤あるいは各焼結助剤原料と必要に応じZrO2
原料を添加し、水もしくは有機溶媒中で湿式によってポ
ットミル、アトリッションミル等の粉砕機で粉砕、混
合、分散する。得られた粉体の平均粒径は0.3〜0.
7μm以下、比表面積は5〜14m2/gにする必要が
ある。得られたスラリーにバインダーとしてポリビニル
アルコール(PVA)、アクリル樹脂およびパラフィン
ワックスエマルジョン等を添加してスプレードライヤー
にて乾燥・造粒して成形用粉体とする。次いでこの粉体
を用いてセラミックスの製造における常法に従って金型
プレス、冷間静水圧成形(CIP)等により所定の形状
に成形する。これらの成形方法以外に鋳込み成形、押出
成形、射出成形、造粒成形等の成形方法によっても成形
できる。得られた成形体を1350℃〜1650℃、好
ましくは1400℃〜1600℃の温度で焼成し耐摩耗
性および耐食性アルミナ質セラミックスとする。
は、耐摩耗性および耐食性に優れるため、粉砕用メディ
ア、ケージミル用部材、内張材、粉砕用容器、ノズル、
ローラ、ゲージ、ベアリング(軸受部品)および半導体
用治具等の耐摩耗部材として最適である。
本発明はこれにより何ら限定するものではない。
し、得られた混合物を92%アルミナ製〔(株)ニッカ
トー製HD〕ポットミル(内容積7.2リットル)とφ
10mmの92%アルミナ製〔(株)ニッカトー製HD
−11〕ボールを用いて濃度50%で24〜72時間湿
式粉砕し、表2に示す平均粒径を有し比表面積が5m2
/g以上の微粉末を含むスラリーを得た。得られたスラ
リーにポリビニルアルコール水溶液を3〜5重量%バイ
ンダとして添加して、粘度を300cps以下に調整
し、これをスプレードライヤーにて乾燥・造粒し成形用
粉体を得た。続いてこの粉体を造粒成形にて球状に成形
し、1300℃〜1700℃で焼成して、φ2mmのボ
ールとし、次いでこのボールの表面をバレル研磨して粉
砕用ボールとした。また、耐食性評価のため、成形用粉
体をCIP1tonf/cm3成形し、粉砕用ボールと
同様に焼成して10×10×3mmの焼結体を作製し、
鏡面仕上げして評価用サンプルとした。
19は平均粒径が2μm、比表面積3m2/g、純度9
9.7%のバイヤー法により作製されたローソーダアル
ミナ原料を、それ以外の試料は平均粒径1μm、比表面
積5m2/g、純度99.8%のリアクティブアルミナ
原料を用いた。助剤原料としては、MgOおよびCaO
の原料として純度99.5%の炭酸塩を使用し、SiO
2の原料としては珪石を使用した。更に、ZrO2の原
料としては試料No.3,4および14については平均
粒径1.0μm、比表面積12m2/g、純度99.9
%の二酸化ジルコニウムを用い、試料No.2について
はY2O3を3.0モル%含有する平均粒径0.5μ
m、比表面積15m2/gの二酸化ジルコニウムを用い
た。
よび22については、配合した助剤原料をポットミルで
24時間湿式混合し、乾燥後900℃〜1300℃で熱
処理した後、上記アルミナ原料と配合し、試料No.2
および14については更にZrO2原料を配合した。ま
た、試料No.3および4については助剤原料とアルミ
ナ原料およびZrO2原料を配合した。これら配合した
原料をポットミルで所定の粒度となるように湿式粉砕を
行い、次いでPVAを加えた後、スプレードライヤーに
て乾燥・造粒し成形用粉体を得た。続いてこの粉体を造
粒成形にて球状に成形し、1300℃〜1700℃で焼
成して、φ2mmのボールとし、次いでこのボールの表
面をバレル研磨して粉砕用ボールとした。また、耐食性
評価のため、成形用粉体をCIP1tonf/cm3成
形し、粉砕用ボールと同様に焼成して10×10×3m
mの焼結体を作製し、鏡面仕上げして評価用サンプルと
した。
より摩耗率を求めた。粉砕機として三井三池製アトライ
ター(MA−01S)を用い、容量650mlのアルミ
ナ製〔純度99.9%、(株)ニッカトー製SSA−9
99W〕タンク中にボール表面をバレル研磨したφ2m
mの粉砕用ボールを400ml投入し、更に平均粒子径
10μm、比表面積1.2m2/gのアルミナ粉末20
0gおよび水200mlを入れてジルコニア製〔(株)
ニッカトー製YTZ〕アームにて回転数400rpmで
24時間摩耗テストし、下式により摩耗率を求める。 摩耗率={〔(Wb−Wa)/Wb〕×100}/24 (Wa:テスト後のボール重量 Wb:テスト前のボー
ル重量) また、これら試料の耐食性は下記の方法で評価した。鏡
面仕上げを行った10×10×3mmのサンプルを容量
70mlの圧力分解容器に入れ、30mlのH 2SO4
溶液(濃度20%)中で150℃−48h保持し、サン
プルの表面積に対する重量減で評価した。これらの結果
を、粉砕用ボールのかさ密度、結晶粒径、欠陥量、並び
に粉砕粉体の平均粒径および焼成温度と共に表2に示
す。
および不可避的不純物からなる基本組成物100重量部
に対する添加量(重量部)で示してある。表2中の耐食
性評価結果はAが0.24mg/cm3/day以下で
優秀、Bが2.4mg/cm 3/day以下で良好、C
が7.2mg/cm3/day以下で十分、Dが24m
g/cm3/day以下で劣ることを示す。また、表1
および表2中の試料No.1〜10の焼結体は本発明の
条件を満足するものであり、試料No.11〜23は本
発明において規定する条件を少なくとも1つを満たして
いない本発明の範囲外のものである。本発明の試料の摩
耗率は0.2%/h以下とすぐれた摩耗特性を示し、ま
た耐食性にも非常にすぐれていた。
精度を特に高くする必要もなく、優れた耐摩耗性と耐食
性を有するアルミナ質セラミックスおよび該アルミナ質
セラミックスからなる成形物の製造方法を提供すること
ができた。
Claims (6)
- 【請求項1】 主としてAl2O3からなり、SiO2
20〜90重量%、MgO0〜70重量%およびCaO
10〜80重量%の三成分からなる焼結助剤の各成分を
合計量として0.1〜1.0重量%含有し、残部として
実質的に不可避的不純物が0.3重量%以下であり、平
均結晶粒径0.5〜5.0μm、かさ密度3.70g/
cm3以上、粉砕用ボールとしての摩耗率が0.2%/
h以下であることを特徴とする耐摩耗性および耐食性を
有するアルミナ質セラミックス。 - 【請求項2】 主としてAl2O3からなり、SiO2
20〜90重量%、MgO0〜70重量%およびCaO
10〜80重量%の三成分からなる焼結助剤の各成分を
合計量として0.1〜1.0重量%含有し、残部として
実質的に不可避的不純物からなる基本組成物100重量
部に対しZrO2を15重量部以下含有する請求項1に
記載の耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミ
ックス。 - 【請求項3】 前記不可避的不純物として含まれるアル
カリ金属酸化物が0.1重量%以下、TiO2が0.0
5重量%以下であることを特徴とする請求項1または2
に記載の耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラ
ミックス。 - 【請求項4】 主としてAl2O3からなり、SiO2
20〜90重量%、MgO0〜70重量%およびCaO
10〜80重量%の三成分からなる焼結助剤の各成分を
合計量として0.1〜1.0重量%含有し、残部として
実質的に不可避的不純物が0.3重量%以下であり、平
均粒径0.3〜0.7μmの微粉末を所定形状に成形
し、大気中1350〜1650℃で焼成することを特徴
とする耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミ
ックスからなる成形物の製造方法。 - 【請求項5】 焼結助剤として、SiO220〜90重
量%、MgO0〜70重量%およびCaO10〜80重
量%の三成分からなる原料粉末混合物を900から13
00℃で熱処理し、この熱処理した焼結助剤とアルミナ
純度99.7%以上のアルミナ粉末とを混合し、平均粒
子径0.3〜0.7μmに微粉砕し、得られた微粉末を
所定形状に成形し、大気中1350〜1650℃で焼成
することを特徴とする請求項4に記載の耐摩耗性および
耐食性を有するアルミナ質セラミックスからなる成形物
の製造方法。 - 【請求項6】 主としてAl2O3からなり、SiO2
20〜90重量%、MgO0〜70重量%およびCaO
10〜80重量%の三成分からなる焼結助剤の各成分を
合計量として0.1〜1.0重量%含有し、残部として
実質的に不可避的不純物からなる基本組成物100重量
部に対しZrO2を15重量部以下含有することを特徴
とする請求項4または5に記載の耐摩耗性および耐食性
を有するアルミナ質セラミックスからなる成形物の製造
方法。
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EP1510509A2 (en) * | 2003-08-28 | 2005-03-02 | Kyocera Corporation | Alumina/zirconia ceramics and method of producing the same |
JP2005239463A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Kyocera Corp | アルミナ質焼結体 |
JP2005281054A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Kyocera Corp | 酸化アルミニウム質焼結体及びその製造方法並びにこれを用いた半導体、液晶製造装置部材 |
JP2009091196A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Nitsukatoo:Kk | 耐摩耗性にすぐれたアルミナ質セラミックス及びその製造方法 |
JP2010076791A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Kyocera Corp | 溶液容器、筆記用具、化粧用具、および攪拌子 |
JP2017095333A (ja) * | 2015-11-27 | 2017-06-01 | 株式会社ニッカトー | 高温特性及び耐食性に優れたアルミナ焼結体 |
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1510509A2 (en) * | 2003-08-28 | 2005-03-02 | Kyocera Corporation | Alumina/zirconia ceramics and method of producing the same |
EP1510509A3 (en) * | 2003-08-28 | 2005-11-09 | Kyocera Corporation | Alumina/zirconia ceramics and method of producing the same |
US7148167B2 (en) | 2003-08-28 | 2006-12-12 | Kyocera Corporation | Alumina/zirconia ceramics and method of producing the same |
JP2005239463A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Kyocera Corp | アルミナ質焼結体 |
JP2005281054A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Kyocera Corp | 酸化アルミニウム質焼結体及びその製造方法並びにこれを用いた半導体、液晶製造装置部材 |
JP2009091196A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Nitsukatoo:Kk | 耐摩耗性にすぐれたアルミナ質セラミックス及びその製造方法 |
JP2010076791A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Kyocera Corp | 溶液容器、筆記用具、化粧用具、および攪拌子 |
JP2017095333A (ja) * | 2015-11-27 | 2017-06-01 | 株式会社ニッカトー | 高温特性及び耐食性に優れたアルミナ焼結体 |
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