JP2003314791A - 流体動圧軸受の流体注入装置 - Google Patents
流体動圧軸受の流体注入装置Info
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
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- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/10—Construction relative to lubrication
- F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
- F16C33/103—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant retained in or near the bearing
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- F16C17/10—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for both radial and axial load
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空注入法を用いた流体動圧軸受の流体注入
装置において、メンテナンスが容易で、且つ装置と維持
のコストを低減させること。 【解決手段】 シーケンス制御装置２２２は注入用バル
ブ２２０を閉じ、続いて減圧用バルブ２２１を開き、そ
して、真空ポンプ２１６を起動させる。すると、流体動
圧軸受２００の内部は減圧される。流体動圧軸受２００
の内部が減圧されると、シーケンス制御装置２２２は減
圧用バルブ２２１を閉じ、続いて真空ポンプ２１６を停
止させ、そして、注入用バルブ２２０を開く。すると、
注入タンク２１５に貯蔵されている潤滑オイル２２４
は、大気圧によって押し出され、減圧されている流体動
圧軸受２００の内部に注入される。流体動圧軸受２００
の内部への潤滑オイルの注入が完了すると、軸受固定装
置２１１の軸受押さえ部材２１１ａを開放位置に上昇さ
せ、流体動圧軸受２００を軸受保持台２１２から取り外
す。
装置において、メンテナンスが容易で、且つ装置と維持
のコストを低減させること。 【解決手段】 シーケンス制御装置２２２は注入用バル
ブ２２０を閉じ、続いて減圧用バルブ２２１を開き、そ
して、真空ポンプ２１６を起動させる。すると、流体動
圧軸受２００の内部は減圧される。流体動圧軸受２００
の内部が減圧されると、シーケンス制御装置２２２は減
圧用バルブ２２１を閉じ、続いて真空ポンプ２１６を停
止させ、そして、注入用バルブ２２０を開く。すると、
注入タンク２１５に貯蔵されている潤滑オイル２２４
は、大気圧によって押し出され、減圧されている流体動
圧軸受２００の内部に注入される。流体動圧軸受２００
の内部への潤滑オイルの注入が完了すると、軸受固定装
置２１１の軸受押さえ部材２１１ａを開放位置に上昇さ
せ、流体動圧軸受２００を軸受保持台２１２から取り外
す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空注入法を用い
て流体動圧軸受に潤滑用流体を注入する流体動圧軸受の
流体注入装置の改良に関する。
て流体動圧軸受に潤滑用流体を注入する流体動圧軸受の
流体注入装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】流体動圧軸受は、例えば図６に示す如
く、円柱部材２にスラスト部材であるリング部材３が圧
入されて形成されたフランジ付シャフト１と、このフラ
ンジ付シャフト１が回転自在に嵌合する段付円筒状スリ
ーブ４と、スラスト押さえ部材としても機能する環状蓋
部材５とから構成されており、これらの軸受構成部材間
に形成された微小隙間Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４及びＲ５
には潤滑油Ｆが充填されている。円柱部材２の上側の外
周面と環状蓋部材５の内周面との間に形成されたテーパ
ー状微小隙間Ｓは、毛細管現象と表面張力を利用して潤
滑油Ｆが外部に漏出しないように機能するキャピラリー
シールである。円柱部材２の下側の外周面にはヘリング
ボーン溝の如きラジアル動圧溝Ｇ１が形成され、リング
部材３の上面と下面にはヘリングボーン溝の如きスパイ
ラルのスラスト動圧発生溝Ｇ２がそれぞれ形成されてい
る。前記テーパー状微小隙間Ｓは、微小隙間Ｒ１、Ｒ
２、Ｒ３、Ｒ４及びＲ５が連通して形成している片袋状
流体充填部の唯一の開口であって、潤滑油Ｆの注入口と
なっている。なお、図７に、スラスト動圧発生溝Ｇ２の
一例を示す。
く、円柱部材２にスラスト部材であるリング部材３が圧
入されて形成されたフランジ付シャフト１と、このフラ
ンジ付シャフト１が回転自在に嵌合する段付円筒状スリ
ーブ４と、スラスト押さえ部材としても機能する環状蓋
部材５とから構成されており、これらの軸受構成部材間
に形成された微小隙間Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４及びＲ５
には潤滑油Ｆが充填されている。円柱部材２の上側の外
周面と環状蓋部材５の内周面との間に形成されたテーパ
ー状微小隙間Ｓは、毛細管現象と表面張力を利用して潤
滑油Ｆが外部に漏出しないように機能するキャピラリー
シールである。円柱部材２の下側の外周面にはヘリング
ボーン溝の如きラジアル動圧溝Ｇ１が形成され、リング
部材３の上面と下面にはヘリングボーン溝の如きスパイ
ラルのスラスト動圧発生溝Ｇ２がそれぞれ形成されてい
る。前記テーパー状微小隙間Ｓは、微小隙間Ｒ１、Ｒ
２、Ｒ３、Ｒ４及びＲ５が連通して形成している片袋状
流体充填部の唯一の開口であって、潤滑油Ｆの注入口と
なっている。なお、図７に、スラスト動圧発生溝Ｇ２の
一例を示す。
【０００３】要するに、流体動圧軸受は、シャフトとス
リーブを含む軸受構成部材と、これら軸受構成部材間に
形成されたラジアル隙間とスラスト隙間を含む片袋状流
体充填部に潤滑用流体が充填され、且つ前記ラジアル隙
間にはラジアル動圧発生溝が形成され、前記スラスト隙
間にはスラスト動圧発生溝が形成されて構成された動圧
軸受である。
リーブを含む軸受構成部材と、これら軸受構成部材間に
形成されたラジアル隙間とスラスト隙間を含む片袋状流
体充填部に潤滑用流体が充填され、且つ前記ラジアル隙
間にはラジアル動圧発生溝が形成され、前記スラスト隙
間にはスラスト動圧発生溝が形成されて構成された動圧
軸受である。
【０００４】小型薄型の流体動圧軸受の微小隙間は数μ
ｍ〜数１００μｍであるから、潤滑用流体は真空注入法
によって流体動圧軸受内に注入される。真空注入法を用
いた従来装置として、米国特許第５８６２８４１号に開
示された潤滑用流体注入装置がある。
ｍ〜数１００μｍであるから、潤滑用流体は真空注入法
によって流体動圧軸受内に注入される。真空注入法を用
いた従来装置として、米国特許第５８６２８４１号に開
示された潤滑用流体注入装置がある。
【０００５】この従来装置は、図５に示す如く、軸受保
持面に流体動圧軸受２７の所定の面が着座するＯリング
を備えた軸受保持台７０と、流体動圧軸受２７を軸受保
持台７０に載置して固定する軸受固定手段４４等と、流
体動圧軸受２７の所定の面と前記軸受保持面及び前記Ｏ
リングとで形成されたシール空間を介して流体動圧軸受
２７の内部を減圧する真空ポンプ５２と、潤滑用流体が
貯蔵されたリザーバ７４と、流体動圧軸受２７の内部に
前記シール空間を介して前記潤滑用流体を注入する流体
注入チューブ９０と、減圧時には流体注入チューブ９０
の先端から離れた第１レベルに且つ注入時には流体注入
チューブ９０の先端が没する第２レベルに前記潤滑用流
体の液面を制御する液面制御手段とから構成された流体
動圧軸受の流体注入装置である。
持面に流体動圧軸受２７の所定の面が着座するＯリング
を備えた軸受保持台７０と、流体動圧軸受２７を軸受保
持台７０に載置して固定する軸受固定手段４４等と、流
体動圧軸受２７の所定の面と前記軸受保持面及び前記Ｏ
リングとで形成されたシール空間を介して流体動圧軸受
２７の内部を減圧する真空ポンプ５２と、潤滑用流体が
貯蔵されたリザーバ７４と、流体動圧軸受２７の内部に
前記シール空間を介して前記潤滑用流体を注入する流体
注入チューブ９０と、減圧時には流体注入チューブ９０
の先端から離れた第１レベルに且つ注入時には流体注入
チューブ９０の先端が没する第２レベルに前記潤滑用流
体の液面を制御する液面制御手段とから構成された流体
動圧軸受の流体注入装置である。
【０００６】そして、前記液面制御手段は、ベローズ８
０を介してリザーバ７４を軸受固定手段４４に取りつけ
ると共に、軸受固定手段４４に油圧又は空気圧シリンダ
ーで駆動されるアクチュエータ７８が取りつけられ、こ
のアクチュエータ７８によってリザーバ７４を矢印に示
す如く上下に移動させることによって行うものである。
即ち、前記液面制御手段は、潤滑用流体が貯蔵されてい
るリザーバの上下の位置を制御するものであるから、比
較的複雑な構造の装置である。しかも、ベローズ８０
は、内部圧力が５０mTorr以下になっても変形しない強
度を持ち、且つ頻繁な伸縮に長期間耐えられる耐久性の
高いベローズを用いる必要がある。しかしながら、この
ような耐久性の高いベローズは非常に高価であるという
問題があった。しかも、どのように耐久性の高いベロー
ズであっても適切な頻度で交換しなければならない。従
って、従来の流体注入装置には、面倒なメンテナンスと
交換部品の費用が発生するという問題もある。
０を介してリザーバ７４を軸受固定手段４４に取りつけ
ると共に、軸受固定手段４４に油圧又は空気圧シリンダ
ーで駆動されるアクチュエータ７８が取りつけられ、こ
のアクチュエータ７８によってリザーバ７４を矢印に示
す如く上下に移動させることによって行うものである。
即ち、前記液面制御手段は、潤滑用流体が貯蔵されてい
るリザーバの上下の位置を制御するものであるから、比
較的複雑な構造の装置である。しかも、ベローズ８０
は、内部圧力が５０mTorr以下になっても変形しない強
度を持ち、且つ頻繁な伸縮に長期間耐えられる耐久性の
高いベローズを用いる必要がある。しかしながら、この
ような耐久性の高いベローズは非常に高価であるという
問題があった。しかも、どのように耐久性の高いベロー
ズであっても適切な頻度で交換しなければならない。従
って、従来の流体注入装置には、面倒なメンテナンスと
交換部品の費用が発生するという問題もある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、真空注入法を用いた流体動圧軸受の流体注
入装置において、高価な交換部品を必要としない液面制
御手段を採用し、メンテナンスの頻度を激減させ、且つ
コストを低減させることである。
する課題は、真空注入法を用いた流体動圧軸受の流体注
入装置において、高価な交換部品を必要としない液面制
御手段を採用し、メンテナンスの頻度を激減させ、且つ
コストを低減させることである。
【０００８】上記課題を解決する流体動圧軸受の流体注
入装置を、軸受保持面に流体動圧軸受の所定の面が着座
するＯリングを備えた軸受保持台と、前記流体動圧軸受
を前記軸受保持台に載置して固定する軸受固定装置と、
前記前記流体動圧軸受の内部を減圧する真空ポンプと、
前記流体動圧軸受の内部に注入される潤滑オイルが貯蔵
されたオイルタンクと、前記流体動圧軸受の内部に注入
されなかった潤滑オイルを回収するオイル回収タンク
と、前記流体動圧軸受の所定の面と前記軸受保持面及び
前記Ｏリングとで形成されたシール空間と前記オイルタ
ンクとを接続する注入用流路と、前記オイル回収タンク
を介して前記シール空間と真空ポンプとを接続する減圧
用流路と、前記注入用流路に挿入された注入側バルブ
と、前記減圧用流路に挿入された減圧側バルブとで構成
した。
入装置を、軸受保持面に流体動圧軸受の所定の面が着座
するＯリングを備えた軸受保持台と、前記流体動圧軸受
を前記軸受保持台に載置して固定する軸受固定装置と、
前記前記流体動圧軸受の内部を減圧する真空ポンプと、
前記流体動圧軸受の内部に注入される潤滑オイルが貯蔵
されたオイルタンクと、前記流体動圧軸受の内部に注入
されなかった潤滑オイルを回収するオイル回収タンク
と、前記流体動圧軸受の所定の面と前記軸受保持面及び
前記Ｏリングとで形成されたシール空間と前記オイルタ
ンクとを接続する注入用流路と、前記オイル回収タンク
を介して前記シール空間と真空ポンプとを接続する減圧
用流路と、前記注入用流路に挿入された注入側バルブ
と、前記減圧用流路に挿入された減圧側バルブとで構成
した。
【０００９】そして、前記注入側バルブと前記減圧側バ
ルブには自動バルブを用い、真空ポンプの起動停止を制
御するシーケンス制御装置によって、その開閉を制御す
るようにした。
ルブには自動バルブを用い、真空ポンプの起動停止を制
御するシーケンス制御装置によって、その開閉を制御す
るようにした。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１はシャフト２０１とスリーブ
２０２とスラスト押え板２１３を有する流体動圧軸受２
００に潤滑用流体を注入する本発明の一実施形態の要部
を断面で示した構成図、図２はその部分拡大断面図であ
る。
２０２とスラスト押え板２１３を有する流体動圧軸受２
００に潤滑用流体を注入する本発明の一実施形態の要部
を断面で示した構成図、図２はその部分拡大断面図であ
る。
【００１１】これらの図において、本発明の一実施形態
の流体動圧軸受の流体注入装置は、水平な軸受保持面に
流体動圧軸受２００の所定の面が着座するＯリング２１
３を備えた軸受保持台２１２と、流体動圧軸受２００を
軸受保持台２１２に載置して固定する軸受固定装置２１
１とを含む。
の流体動圧軸受の流体注入装置は、水平な軸受保持面に
流体動圧軸受２００の所定の面が着座するＯリング２１
３を備えた軸受保持台２１２と、流体動圧軸受２００を
軸受保持台２１２に載置して固定する軸受固定装置２１
１とを含む。
【００１２】軸受保持台２１２には、Ｏリング２１３と
同軸の円筒状穴２１２ａと、円筒状穴２１２ａと連通し
た注入側流路２１２ｂと減圧側流路２１２ｃが形成され
ている。円筒状穴２１２ａは軸受保持台２１２の水平な
軸受保持面に開口し、注入側流路２１２ｂと減圧側流路
２１２ｃは左右の側面に開口している。
同軸の円筒状穴２１２ａと、円筒状穴２１２ａと連通し
た注入側流路２１２ｂと減圧側流路２１２ｃが形成され
ている。円筒状穴２１２ａは軸受保持台２１２の水平な
軸受保持面に開口し、注入側流路２１２ｂと減圧側流路
２１２ｃは左右の側面に開口している。
【００１３】軸受固定装置２１１は、図示されていない
モータと、前記モータの回転軸に固着された駆動軸２１
１ｂと、駆動軸２１１ｂの先端に取り付けられた軸受押
さえ部材２１１ａとを含む。
モータと、前記モータの回転軸に固着された駆動軸２１
１ｂと、駆動軸２１１ｂの先端に取り付けられた軸受押
さえ部材２１１ａとを含む。
【００１４】流体注入においては、スラスト押え板２０
３の表面を軸受保持台２１２のＯリング２１３に着坐さ
せ、且つ軸受固定装置２１１によって所定の圧力を加え
て、流体動圧軸受２００を軸受保持台２１２に固定す
る。すると、流体動圧軸受２００を軸受保持台２１２と
の間にはシール空間２１４が形成される。図２を参照す
れば、シール空間２１４は流体動圧軸受２００のスラス
ト押え板２０３の表面、軸受保持台２１２の円筒状穴２
１２ａ並びに軸受保持面２１２ｄ、Ｏリング２１３とで
形成されたシール空間である。
３の表面を軸受保持台２１２のＯリング２１３に着坐さ
せ、且つ軸受固定装置２１１によって所定の圧力を加え
て、流体動圧軸受２００を軸受保持台２１２に固定す
る。すると、流体動圧軸受２００を軸受保持台２１２と
の間にはシール空間２１４が形成される。図２を参照す
れば、シール空間２１４は流体動圧軸受２００のスラス
ト押え板２０３の表面、軸受保持台２１２の円筒状穴２
１２ａ並びに軸受保持面２１２ｄ、Ｏリング２１３とで
形成されたシール空間である。
【００１５】本発明の一実施形態の流体動圧軸受の流体
注入装置は、また、流体動圧軸受２００の内部を減圧す
る真空ポンプ２１６と、流体動圧軸受２００の内部に注
入される潤滑オイル２２４が貯蔵されたオイルタンク２
１５と、流体動圧軸受２００の内部に注入されなかった
潤滑オイルを回収するオイル回収タンク２１７を含む。
注入装置は、また、流体動圧軸受２００の内部を減圧す
る真空ポンプ２１６と、流体動圧軸受２００の内部に注
入される潤滑オイル２２４が貯蔵されたオイルタンク２
１５と、流体動圧軸受２００の内部に注入されなかった
潤滑オイルを回収するオイル回収タンク２１７を含む。
【００１６】オイルタンク２１５は、注入用流路２１８
と注入側流路２１２ｂとを介してシール空間２１４に接
続され、且つ、大気圧開口パイプ２２３を介して大気に
開口している。また、真空ポンプ２１６は、オイル回収
タンク２１７、減圧用流路２１９、及び減圧側流路２１
２ｃを介してシール空間２１４に接続されている。
と注入側流路２１２ｂとを介してシール空間２１４に接
続され、且つ、大気圧開口パイプ２２３を介して大気に
開口している。また、真空ポンプ２１６は、オイル回収
タンク２１７、減圧用流路２１９、及び減圧側流路２１
２ｃを介してシール空間２１４に接続されている。
【００１７】本発明の一実施形態の流体動圧軸受の流体
注入装置は、更に、注入用流路２１８に挿入された注入
側バルブ２２０と、減圧用流路２１９に挿入された減圧
側バルブ２２１と、これらバルブの開閉制御と真空ポン
プの起動／停止制御を行うシーケンス制御装置２２２を
含む。
注入装置は、更に、注入用流路２１８に挿入された注入
側バルブ２２０と、減圧用流路２１９に挿入された減圧
側バルブ２２１と、これらバルブの開閉制御と真空ポン
プの起動／停止制御を行うシーケンス制御装置２２２を
含む。
【００１８】本発明の一実施形態の流体注入装置は、概
ね、以下の動作を順に実行し、流体動圧軸受に潤滑用流
体を注入する。
ね、以下の動作を順に実行し、流体動圧軸受に潤滑用流
体を注入する。
【００１９】先ず、流体動圧軸受２００を、そのキャピ
ラリーシール部を下にして、軸受保持台２１２のＯリン
グ２１３に着座させる。
ラリーシール部を下にして、軸受保持台２１２のＯリン
グ２１３に着座させる。
【００２０】次に、軸受固定装置２１１のモータを駆動
し、軸受押さえ部材２１１ａによって流体動圧軸受２０
０を軸受保持台２１２に固定する。
し、軸受押さえ部材２１１ａによって流体動圧軸受２０
０を軸受保持台２１２に固定する。
【００２１】続いて、シーケンス制御装置２２２は開閉
信号２２２ａを発生し操作器２２０ａを駆動して注入用
バルブ２２０を閉じ、続いて開閉信号２２２ｂを発生し
減圧用バルブ２２１を開く。
信号２２２ａを発生し操作器２２０ａを駆動して注入用
バルブ２２０を閉じ、続いて開閉信号２２２ｂを発生し
減圧用バルブ２２１を開く。
【００２２】続いて、シーケンス制御装置２２２は起動
停止信号２２２ｃを発生し真空ポンプ２１６を起動させ
る。すると、流体動圧軸受２００の内部、シール空間２
１４、減圧側連通穴２１２ｃ、減圧用流路２１９及びオ
イル回収タンク２１７を満たしていた空気が真空ポンプ
２１６に吸入され、流体動圧軸受２００の内部は減圧さ
れる。このとき、シール空間２１４、減圧側連通穴２１
２ｃ及び減圧用流路２１９に残存していた潤滑オイル
は、オイル回収タンク２１７に回収され、回収オイル２
２５として貯蔵される。
停止信号２２２ｃを発生し真空ポンプ２１６を起動させ
る。すると、流体動圧軸受２００の内部、シール空間２
１４、減圧側連通穴２１２ｃ、減圧用流路２１９及びオ
イル回収タンク２１７を満たしていた空気が真空ポンプ
２１６に吸入され、流体動圧軸受２００の内部は減圧さ
れる。このとき、シール空間２１４、減圧側連通穴２１
２ｃ及び減圧用流路２１９に残存していた潤滑オイル
は、オイル回収タンク２１７に回収され、回収オイル２
２５として貯蔵される。
【００２３】流体動圧軸受２００の内部が減圧される
と、シーケンス制御装置２２２は開閉信号２２２ｂを発
生し操作器２２１ａを駆動して減圧用バルブ２２１を閉
じ、続いて起動停止信号２２２ｃを発生し真空ポンプ２
１６を停止させる。
と、シーケンス制御装置２２２は開閉信号２２２ｂを発
生し操作器２２１ａを駆動して減圧用バルブ２２１を閉
じ、続いて起動停止信号２２２ｃを発生し真空ポンプ２
１６を停止させる。
【００２４】続いて、シーケンス制御装置２２２は開閉
信号２２２ａを発生し操作器２２０ａを駆動して注入用
バルブ２２０を開く。すると、注入タンク２１５に貯蔵
されている潤滑オイル２２４は、大気圧によって押し出
され、注入用流路２１８、注入側連通穴２１２ｂ、及び
シール空間２１４を介して、減圧されている流体動圧軸
受２００の内部に注入される。
信号２２２ａを発生し操作器２２０ａを駆動して注入用
バルブ２２０を開く。すると、注入タンク２１５に貯蔵
されている潤滑オイル２２４は、大気圧によって押し出
され、注入用流路２１８、注入側連通穴２１２ｂ、及び
シール空間２１４を介して、減圧されている流体動圧軸
受２００の内部に注入される。
【００２５】流体動圧軸受２００の内部への潤滑オイル
の注入が完了すると、軸受固定装置２１１のモータを駆
動し、軸受押さえ部材２１１ａを開放位置に上昇させ、
流体動圧軸受２００を軸受保持台２１２から取り外す。
以上で、１個の流体動圧軸受への潤滑オイルの注入が完
了する。
の注入が完了すると、軸受固定装置２１１のモータを駆
動し、軸受押さえ部材２１１ａを開放位置に上昇させ、
流体動圧軸受２００を軸受保持台２１２から取り外す。
以上で、１個の流体動圧軸受への潤滑オイルの注入が完
了する。
【００２６】なお、軸受固定装置２１１のモータの起動
停止は、注入用バルブ２２０並びに減圧用バルブ２２１
の開閉、及び真空ポンプ２１６の起動停止と共に、シー
ケンス制御装置２２２によって自動的に制御される。
停止は、注入用バルブ２２０並びに減圧用バルブ２２１
の開閉、及び真空ポンプ２１６の起動停止と共に、シー
ケンス制御装置２２２によって自動的に制御される。
【００２７】
【発明の効果】本発明は、真空注入法を用いた流体動圧
軸受の流体注入装置において、液面制御手段を必要とし
ないものである。従って、従来の流体注入装置に採用さ
れている液面制御手段を構成する必須部品であるベロー
ズ等の高価な交換部品を必要としないので、メンテナン
スが容易で、且つ装置と維持のコストを低減させること
ができた。
軸受の流体注入装置において、液面制御手段を必要とし
ないものである。従って、従来の流体注入装置に採用さ
れている液面制御手段を構成する必須部品であるベロー
ズ等の高価な交換部品を必要としないので、メンテナン
スが容易で、且つ装置と維持のコストを低減させること
ができた。
【図１】一実施形態の流体注入装置の要部を断面で示し
た構成図である。
た構成図である。
【図２】一実施形態の流体注入装置の要部拡大断面図で
ある。但し、流体動圧軸受は流体注入が完了した状態で
示してある。
ある。但し、流体動圧軸受は流体注入が完了した状態で
示してある。
【図３】従来の流体注入装置の構成図である。
【図４】潤滑用流体が注入される流体動圧軸受の一実施
例の断面図である。但し、微小隙間は誇張して示してあ
る。
例の断面図である。但し、微小隙間は誇張して示してあ
る。
【図５】スラスト動圧発生溝Ｇ２の一例を示した図であ
る。
る。
２７ 流体動圧軸受
４４ 軸受固定手段
５２ 真空ポンプ
７０ 軸受保持台
７４ リザーバ
８０ ベローズ
９０ 流体注入チューブ
２０１ 流体動圧軸受のシャフト
２０２ 流体動圧軸受のスリーブ
２１１ 軸受固定手段
２１２ 軸受保持台
２１３ Ｏリング
２１４ シール空間
２１５ オイルタンク
２１６ 真空ポンプ
２１７ オイル回収タンク
２１８ 注入用流路
２１９ 減圧用流路
２２０ 注入側バルブ
２２０ａ 注入側バルブの操作器
２２１ 減圧側バルブ
２２１ａ 減圧側バルブの操作器
２２２ シーケンス制御装置
２２３ 大気圧開口パイプ
２２４ 潤滑オイル
２２５ 回収オイル
Claims (2)
- 【請求項１】軸受保持面に流体動圧軸受の所定の面が着
座するＯリングを備えた軸受保持台と、前記流体動圧軸
受を前記軸受保持台に載置して固定する軸受固定装置
と、前記前記流体動圧軸受の内部を減圧する真空ポンプ
と、前記流体動圧軸受の内部に注入される潤滑オイルが
貯蔵されたオイルタンクと、前記流体動圧軸受の内部に
注入されなかった潤滑オイルを回収するオイル回収タン
クと、前記流体動圧軸受の所定の面と前記軸受保持面及
び前記Ｏリングとで形成されたシール空間と前記オイル
タンクとを接続する注入用流路と、前記オイル回収タン
クを介して前記シール空間と真空ポンプとを接続する減
圧用流路と、前記注入用流路に挿入された注入側バルブ
と、前記減圧用流路に挿入された減圧側バルブとから構
成された流体動圧軸受の流体注入装置。 - 【請求項２】前記注入側バルブと前記減圧側バルブは自
動バルブであって、真空ポンプの起動停止を制御するシ
ーケンス制御装置によって、その開閉が制御されるもの
であることを特徴とする請求項２の流体動圧軸受の流体
注入装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002116569A JP2003314791A (ja) | 2002-04-18 | 2002-04-18 | 流体動圧軸受の流体注入装置 |
| US10/410,462 US7073630B2 (en) | 2002-04-18 | 2003-04-09 | Fluid injection apparatus for fluid dynamic pressure bearing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002116569A JP2003314791A (ja) | 2002-04-18 | 2002-04-18 | 流体動圧軸受の流体注入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003314791A true JP2003314791A (ja) | 2003-11-06 |
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ID=29534091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002116569A Pending JP2003314791A (ja) | 2002-04-18 | 2002-04-18 | 流体動圧軸受の流体注入装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7073630B2 (ja) |
| JP (1) | JP2003314791A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2004081439A1 (ja) * | 2003-03-14 | 2004-09-23 | Seiko Instruments Inc. | オイル注入装置 |
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| US7168463B2 (en) | 2004-02-23 | 2007-01-30 | Nidec Corporation | Method of charging dynamic-pressure bearing device with lubricating fluid, and method of inspecting dynamic-pressure bearing device |
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| CN113188031B (zh) * | 2021-05-14 | 2022-04-19 | 杭州拓展轴承有限公司 | 一种汽车用轴承的加工机构 |
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2002
- 2002-04-18 JP JP2002116569A patent/JP2003314791A/ja active Pending
-
2003
- 2003-04-09 US US10/410,462 patent/US7073630B2/en not_active Expired - Fee Related
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| WO2006027970A1 (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-16 | Seiko Instruments Inc. | 作動流体注入装置、作動流体注入方法および流体動圧軸受の製造方法 |
| US7921565B2 (en) | 2004-09-07 | 2011-04-12 | Seiko Instruments Inc. | Working fluid injection apparatus, method of injecting working fluid, and method of manufacturing fluid dynamic pressure bearing |
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|---|---|
| US7073630B2 (en) | 2006-07-11 |
| US20040020721A1 (en) | 2004-02-05 |
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