JP2003309357A - プリント配線板の製造方法及びプリント配線板 - Google Patents

プリント配線板の製造方法及びプリント配線板

Info

Publication number
JP2003309357A
JP2003309357A JP2002110991A JP2002110991A JP2003309357A JP 2003309357 A JP2003309357 A JP 2003309357A JP 2002110991 A JP2002110991 A JP 2002110991A JP 2002110991 A JP2002110991 A JP 2002110991A JP 2003309357 A JP2003309357 A JP 2003309357A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed wiring
wiring board
insulating substrate
hole
conductor pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002110991A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3662892B2 (ja
Inventor
Eiji Imamura
英治 今村
Hisao Onuki
久雄 大貫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daisho Denshi Co Ltd
Original Assignee
Daisho Denshi Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daisho Denshi Co Ltd filed Critical Daisho Denshi Co Ltd
Priority to JP2002110991A priority Critical patent/JP3662892B2/ja
Publication of JP2003309357A publication Critical patent/JP2003309357A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3662892B2 publication Critical patent/JP3662892B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 バイアホール直上面及び直下面に形成された
パッド部の厚さを、バイアホール内周面に形成された導
体材料の鍍金層の厚さと略同等に形成することが可能に
なるとともに、導体パターン及びパッド部の絶縁基板か
らの立ち上がりを急峻に形成することが可能なプリント
配線板の製造方法及びプリント配線板を提供することに
ある。 【解決手段】 絶縁基板1表面に導体パターン16を形
成するプリント配線板30の製造方法であって、絶縁基
板1表面に形成された、内周面に導電材料の鍍金層5が
形成された貫通孔3に、充填材6を充填した後、該基板
1表面に鍍金レジストパターン15を形成し、その後、
充填材6表面及び絶縁基板1表面に無電解鍍金を施し、
パッド部17及び導体パターン16を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、主に電子機器等に
用いられ、絶縁基板の両面に形成された導体パターンを
要所で層間接続させたプリント配線板の製造方法及びプ
リント配線板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】現在、プリント配線板は、生産性の向
上、量産品質の確保、信頼性の向上等を目的として、テ
レビ等の量産機器からロケット等の高い信頼性を要求さ
れる機器まで、あらゆる電子機器に使用されている。近
年、電子機器の小型化が進み、それに伴いプリント配線
板の高精度化及び高密度化が要求されている。
【0003】一般に、この種のプリント配線板は、絶縁
基板の両面に形成された導体パターンを要所で層間接続
させた構成をなしている。該接続部は、貫通孔の壁面に
銅等の導電材料を析出させた構成のもの(バイアホー
ル)が一般的であるが、この場合は、バイアホールの直
上面及び直下面に電子部品を搭載するためのパッド部を
形成することができず、回路設計上の制約を受けること
となり、プリント配線板の表面積の縮小化が困難である
ことから、電子機器の小型化に対応できない問題があっ
た。
【0004】この問題を解決する構成として、バイアホ
ールに充填材を充填し、その直上面及び直下面に上記パ
ッド部を形成する構成と、内周面に銅鍍金層が形成され
ていない貫通孔に、エポキシ樹脂等の絶縁材料と銅等の
導電材料の粉末とを混錬した導電ペーストを充填し、そ
の直上面及び直下面に上記パッド部を形成する構成とが
知られている。前者の構成の場合は、一般に以下の形成
方法が知られている。
【0005】図3において、まず、絶縁基板1表面に銅
箔2が貼着された積層板10の上面から下面にかけて、
絶縁基板1の両面に形成される導体パターンを要所で層
間接続させるための貫通孔3を形成し、その後、無電解
銅鍍金の付着性を向上させるための触媒11を積層板1
0表面及び貫通孔3の内周面に塗布する(図3
(A))。
【0006】そして、積層板10表面及び貫通孔3の内
周面に無電解銅鍍金を施し、該各面に第1の銅鍍金層5
を析出させる。ここで、貫通孔3の内周面に第1の銅鍍
金層5が析出した状態がバイアホール3aとなる(図3
(B))。そして、バイアホール3aにエポキシ樹脂等
の充填材6を第1の銅鍍金層5表面から膨出するまで充
填し(図3(C))、その後、充填材6の上記膨出部を
研磨し、充填材6の面位置と第1の銅鍍金層5の面位置
とを合わせ、その表面に触媒11を塗布する(図3
(D))。
【0007】さらに、その表面に無電解銅鍍金を施し、
第2の銅鍍金層7を析出させた後、感光性レジスト層8
を形成し、さらにその表面に、要求する導体パターンと
対応した穴9が形成されたドライフィルム10を載置す
る。そして、ドライフィルム10の外部から紫外線15
を照射して、ドライフィルム10に形成された穴9に対
応する部分の感光性レジスト層8を露光、硬化させる
(図3(E))。
【0008】そして、現像処理を行い、露光されない部
分、すなわちドライフィルム10に覆われた部分の感光
レジスト層8を除去し、露光され硬化した感光レジスト
層8を残す。その後、エッチング液12を該基板表面に
噴射し(図3(F))、導体パターン以外の露出不要と
なる銅材部2、5、7を溶解除去することで、導体パタ
ーン13及びパッド部14が形成される。これにより、
要求する導体パターン13と、バイアホール3aの直上
面及び直下面に形成されたパッド部14とを備えたプリ
ント配線板20が形成される(図3(G))。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
プリント配線板の製造方法によれば、図3(G)に示す
ように、導体パターン13及びパッド部14の厚さB
が、充填材6外周面(あるいはバイアホール3a内周
面)に形成された第1の銅鍍金層5の厚さAより大とな
る関係を有し形成されることになる。これにより、プリ
ント配線板20において、導体部の断面積が不均一にな
る部分が形成されるため、電流の伝搬損失が大きくな
り、特に衛星放送等の分野で使用される高周波回路に対
応することが困難であるという問題があった。
【0010】また、導体パターン13及びパッド部14
をエッチングにより形成するため、該各部の突端部から
絶縁基板1表面に向かうに従い漸次その幅が広くなるよ
うに形成され、さらに、上述したように、導体パターン
13及びパッド部14の突出方向の厚さが厚くなること
と相俟って、プリント配線板20の表面積の縮小化、す
なわち電子機器の小型化に対応することが困難であると
いう問題があった。また、上記後者の構成の場合は、層
間接続部の電気的特性のバラツキが大きくなるととも
に、電流の伝搬損失が大きいため、高周波回路に対応す
ることが困難であるという問題もあった。
【0011】本発明は、このような事情を考慮してなさ
れたもので、バイアホールの直上面及び直下面に形成さ
れたパッド部の厚さを、バイアホール内周面に形成され
た導体材料の鍍金層の厚さと略同等に形成することが可
能になるとともに、導体パターン及びパッド部の絶縁基
板からの立ち上がりを急峻に形成することが可能なプリ
ント配線板の製造方法及びプリント配線板を提供するこ
とを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決して、こ
のような目的を達成するために、本発明は以下の手段を
提案している。請求項1に係る発明は、絶縁基板表面に
導体パターンを形成するプリント配線板の製造方法であ
って、上記絶縁基板表面に形成された、内周面に導電材
料の鍍金層が形成された貫通孔に、充填材を充填した
後、該基板表面に鍍金レジストパターンを形成し、その
後、上記充填材表面及び絶縁基板表面に無電解鍍金を施
し、導体パターンを形成することを特徴とする。
【0013】この発明に係るプリント配線板の製造方法
によれば、上記絶縁基板上に形成された、内周面に導電
材料の鍍金層が形成された貫通孔に、充填材を充填した
後、該基板表面に鍍金レジストパターンを形成し、その
後、上記充填材表面及び絶縁基板表面に無電解鍍金を施
し、導体パターンを形成するため、貫通孔の内周面に形
成された鍍金層の厚さを導体パターンの厚さと略同等に
形成することが可能になる。すなわち、プリント配線板
に形成される全ての導体部の断面積を略均一に形成する
ことが可能になる。これにより、電流の伝搬損失を抑制
することができるため、特に衛星放送等の分野で使用さ
れる高周波回路に対応可能なプリント配線板を形成する
ことが可能になる。
【0014】請求項2に係る発明は、請求項1記載のプ
リント配線板の製造方法において、上記絶縁基板を形成
するに際し、当初、その表面に導電材料箔が貼着された
積層板を用い、該積層板表面に貫通孔を穿設するととも
に上記導電材料箔を除去した後、無電解鍍金により上記
貫通孔の内周面に導電材料の鍍金層を形成することを特
徴とする。
【0015】この発明に係るプリント配線板の製造方法
によれば、上記絶縁基板を形成するに際し、当初、その
表面に導電材料箔が貼着された積層板を用い、該積層板
表面に貫通孔を穿設するとともに上記導電材料を除去し
た後、無電解鍍金により上記貫通孔の内周面に導電材料
の鍍金層を形成するため、汎用されている積層板を基
に、上記鍍金層の厚さと略同等の厚さを有する導体パタ
ーンを形成することが可能になる。これにより、高周波
回路に対応可能なプリント配線板を安価に形成すること
が可能になる。また、上記鍍金層と導体パターンとを同
一工法で形成することが可能になるため、容易に上記各
厚さを略同等に形成することが可能になる。
【0016】請求項3に係る発明は、絶縁基板表面に導
体パターンと、貫通孔とが形成され、該貫通孔の内周面
には、上記絶縁基板の一方の面及び他方の面双方に形成
された導体パターンを接続する鍍金層が形成されている
プリント配線板であって、上記貫通孔の直上面及び直下
面に形成された導体パターンの厚さと、上記鍍金層の厚
さとの差が5μm以下、更に好ましくは3μm以下であ
ることを特徴とする。
【0017】この発明に係るプリント配線板によれば、
上記貫通孔の直上面及び直下面上に形成された導体パタ
ーンの厚さと、上記鍍金層の厚さとの差が5μm以下で
あるため、電流の伝搬損失を抑制することができ、高周
波回路に対応可能なプリント配線板を提供することが可
能になる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照し、この発明の
実施の形態について説明する。図1は、この発明の一実
施形態として示したプリント配線板の製造方法及びプリ
ント配線板を説明するための説明図を示すものである。
【0019】まず、絶縁基板1表面に銅箔2が貼着され
た積層板10において、絶縁基板1表面に形成される導
体パターンを貫通接続させるための貫通孔3を穿設した
後、積層板10表面にエッチング液12を噴射し(図1
(A))、銅箔2を除去する。その後、絶縁基板1表面
及び貫通孔3の内周面に無電解銅鍍金の付着性を向上さ
せるための触媒11を塗布する(図1(B))。そし
て、絶縁基板1表面及び貫通孔3の内周面に無電解銅鍍
金を施し、該各面に第1の銅鍍金層5を析出させる。こ
こで、貫通孔3の内周面に第1の銅鍍金層5が析出した
状態がバイアホール3aとなる(図1(C))。その
後、貫通孔3にエポキシ樹脂等の充填材6を第1の銅鍍
金層5表面から膨出するまで充填し、エッチング液12
を該基板表面に噴射し(図1(D))、絶縁基板1表面
に形成された第1の銅鍍金層5を溶解除去する(図1
(E))。その後、充填材6の膨出部と第1の銅鍍金層
5の該膨出部への付着部分を研磨し、充填材6及び第1
の銅鍍金層5の面位置と絶縁基板1の面位置とを合わ
せ、その表面に触媒11を塗布する(図1(F))。
【0020】さらに、その表面に、印刷法等の適宜方法
により鍍金レジストパターン15を形成した後、図示し
ない無電解鍍金装置を第1の銅鍍金層5の厚さと同等に
なるように設定した状態で、無電解銅鍍金を施し、第2
の銅鍍金層7を析出させることで、絶縁基板1上に導体
パターン16を形成する。その後、導体パターン16表
面を研磨及びエッチング等を施し、該表面上の異物等を
除去する。これにより、要求する導体パターン16と、
バイアホール3aの直上面及び直下面上に形成されたパ
ッド部17とを備えたプリント配線板30が形成される
(図1(G))。このとき、例えば、充填材6の外周面
(バイアホール3a内周面)に形成された第1の銅鍍金
層5の厚さAは、10μm以上20μm以下で、導体パ
ターン16及びパッド部17の厚さBは、10μm以上
15μm以下でそれぞれ形成され、両厚さの差は、5μ
m以下となる。
【0021】以上説明したように、本実施形態によるプ
リント配線板の製造方法によれば、充填材6の外周面
(バイアホール3a内周面)に形成された第1の銅鍍金
層5の厚さと、絶縁基板1の表面に形成された第2の銅
鍍金層7の厚さとを略同等に形成することが可能にな
る。また、バイアホール3aの直上面及び直下面にパッ
ド部17を形成することが可能になる。
【0022】これにより、プリント配線板上に形成され
る導体部の断面積を全て均一に形成することが可能にな
ることから、電流の伝搬損失を抑制することができ、高
周波回路に対応可能なプリント配線板を形成することが
可能になる。また、バイアホール3aの直上面及び直下
面にパッド部17を形成することが可能になることか
ら、回路設計上の制約を受けることなく、プリント配線
板の表面積の縮小化を図ることができ、電子機器の小型
化に対応可能なプリント配線板を形成することが可能に
なる。また、パッド部17を含む導体パターン16が無
電解銅鍍金により形成されることから、導体パターン1
6の絶縁基板1からの立ち上がりを急峻に形成すること
が可能になる。これにより、導体パターン16の細線化
及びプリント配線板30の高密度化を図ることができ、
電子機器の小型化に対応することが可能になる。
【0023】図2は、この発明の別の実施形態として示
したプリント配線板の製造方法を説明するための説明図
を示すものである。この図に示す実施の形態は、図1に
示すプリント配線板の製造方法で使用する要素と基本的
に同一であるので、図1に示す要素と同一のものには同
一符号を付し、その説明を省略する。
【0024】図2において、まず、積層板10表面に貫
通孔3を穿設した後、積層板10表面にエッチング液1
2を噴射し(図2(A))、銅箔2を除去する。そし
て、貫通孔3を除く絶縁基板1表面に絶縁フィルム21
を載置した後、貫通孔3の内周面に無電解銅鍍金の付着
性を向上させるための触媒11を塗布する(図2
(B))。その後、無電解銅鍍金を施し、貫通孔3の内
周面に第1の銅鍍金層5を析出させ、バイアホール3a
を形成した後、絶縁フィルム21を除去する(図2
(C))。そして、貫通孔3にエポキシ樹脂等の充填材
6を第1の銅鍍金層5表面から膨出するまで充填、硬化
させた後(図2(D))、充填材6の膨出部を研磨し、
充填材6の面位置と絶縁基板1の面位置とを合わせ、そ
の表面に触媒11を塗布する(図2(E))。以下、図
1に示したプリント配線板の製造方法と同様にすること
により、要求する導体パターン16と、バイアホール3
aの直上面及び直下面上に形成されたパッド部17とを
備えたプリント配線板30が形成される(図2
(F))。
【0025】以上説明したように、本実施形態によるプ
リント配線板の製造方法によれば、図1に示した先の実
施形態と同様の効果が得られるとともに、図2(B)に
おいて、絶縁基板1表面に絶縁フィルム21を載置する
ことで、無電解銅鍍金を施した際、貫通孔3の内周面に
のみ銅鍍金層5を析出させることが可能になる。すなわ
ち、排出物を発生させるエッチング工程を削減すること
ができるため、環境に対して良好なプリント配線板の製
造方法を実現することが可能になる。
【0026】なお、本実施の形態においては、充填材6
としてエポキシ樹脂等の絶縁材を使用したが、銅等の導
電材料の粉末とエポキシ樹脂等の絶縁材とを混錬させた
導電ペーストを使用しても良い。また、当初、絶縁基板
1表面に銅箔2が貼着された積層板10を使用し、積層
板10表面にエッチング液12を噴射して、銅箔2を除
去したが、当初から絶縁基板1表面に銅箔2が貼着され
ていない絶縁基板1を使用しても良い。
【0027】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1に係る発明によれば、、プリント配線板に形成される
全ての導体部の断面積を略均一に形成することが可能に
なる。これにより、電流の伝搬損失を抑制することがで
きるため、高周波回路に対応可能なプリント配線板を形
成することが可能になる。
【0028】請求項2に係る発明によれば、汎用されて
いる積層板を基に、上記鍍金層の厚さと略同等の厚さを
有する導体パターンを形成することが可能になる。これ
により、高周波回路に対応可能なプリント配線板を安価
に形成することが可能になる。また、上記鍍金層と導体
パターンとを同一工法で形成することが可能になるた
め、容易に上記各厚さを略同等に形成することが可能に
なる。
【0029】請求項3に係る発明によれば、プリント配
線板に形成される全ての導体部の断面積を略均一に形成
することが可能になる。これにより、電流の伝搬損失を
抑制することができるため、高周波回路に対応可能なプ
リント配線板を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態として示したプリント配
線板の製造方法及びプリント配線板を示す説明図であ
る。
【図2】 本発明の別の実施形態として示したプリント
配線板の製造方法及びプリント配線板を示す説明図であ
る。
【図3】 従来のプリント配線板の製造方法及びプリン
ト配線板を示す説明図である。
【符号の説明】 1 絶縁基板 3 貫通孔 3a バイアホール(内周面に導電材料の鍍金層が形成
された貫通孔) 6 充填材 10 積層板 15 鍍金レジストパターン 16 導体パターン 30 プリント配線板 A 貫通孔の内周面に形成された銅鍍金層の厚さ B 導体パターンの厚さ
フロントページの続き Fターム(参考) 5E314 AA32 BB06 CC01 DD06 FF05 FF08 FF17 GG26 5E317 AA24 BB02 BB12 CC32 CD12 CD15 CD21 CD25 CD27 CD32 GG01 GG11 5E343 AA02 AA17 BB14 BB24 DD33 EE33 ER02 ER13 ER35 GG06 GG13

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁基板表面に導体パターンが形成され
    たプリント配線板の製造方法であって、 上記絶縁基板表面に形成された、内周面に導電材料の鍍
    金層が形成された貫通孔に、充填材を充填した後、該基
    板表面に鍍金レジストパターンを形成し、その後、上記
    充填材表面及び絶縁基板表面に無電解鍍金を施し、導体
    パターンを形成することを特徴とするプリント配線板の
    製造方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のプリント配線板の製造方
    法において、 上記絶縁基板を形成するに際し、当初、その表面に導電
    材料箔が貼着された積層板を用い、該積層板表面に貫通
    孔を穿設するとともに上記導電材料箔を除去した後、無
    電解鍍金により上記貫通孔の内周面に導電材料の鍍金層
    を形成することを特徴とするプリント配線板の製造方
    法。
  3. 【請求項3】 絶縁基板表面に導体パターンと、貫通孔
    とが形成され、該貫通孔の内周面には、上記絶縁基板の
    一方の面及び他方の面双方に形成された導体パターンを
    接続する鍍金層が形成されているプリント配線板であっ
    て、 上記貫通孔の直上面及び直下面に形成された導体パター
    ンの厚さと、上記鍍金層の厚さとの差が5μm以下であ
    ることを特徴とするプリント配線板。
JP2002110991A 2002-04-12 2002-04-12 プリント配線板の製造方法及びプリント配線板 Expired - Fee Related JP3662892B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002110991A JP3662892B2 (ja) 2002-04-12 2002-04-12 プリント配線板の製造方法及びプリント配線板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002110991A JP3662892B2 (ja) 2002-04-12 2002-04-12 プリント配線板の製造方法及びプリント配線板

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003309357A true JP2003309357A (ja) 2003-10-31
JP3662892B2 JP3662892B2 (ja) 2005-06-22

Family

ID=29393963

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002110991A Expired - Fee Related JP3662892B2 (ja) 2002-04-12 2002-04-12 プリント配線板の製造方法及びプリント配線板

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3662892B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100688697B1 (ko) 2006-02-10 2007-03-02 삼성전기주식회사 패키지 기판의 제조방법
JP2007123471A (ja) * 2005-10-27 2007-05-17 Victor Co Of Japan Ltd プリント配線板及びその製造方法
JP2010153839A (ja) * 2008-11-26 2010-07-08 Kyocer Slc Technologies Corp 配線基板の製造方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007123471A (ja) * 2005-10-27 2007-05-17 Victor Co Of Japan Ltd プリント配線板及びその製造方法
JP4668030B2 (ja) * 2005-10-27 2011-04-13 株式会社メイコー プリント配線板及びその製造方法
KR100688697B1 (ko) 2006-02-10 2007-03-02 삼성전기주식회사 패키지 기판의 제조방법
JP2010153839A (ja) * 2008-11-26 2010-07-08 Kyocer Slc Technologies Corp 配線基板の製造方法
JP2014039072A (ja) * 2008-11-26 2014-02-27 Kyocer Slc Technologies Corp 配線基板の製造方法
JP2014039073A (ja) * 2008-11-26 2014-02-27 Kyocer Slc Technologies Corp 配線基板の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3662892B2 (ja) 2005-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6618940B2 (en) Fine pitch circuitization with filled plated through holes
JP3229286B2 (ja) プリント回路基板の製造方法
US20090288873A1 (en) Wiring board and method of manufacturing the same
EP3557957B1 (en) Wiring substrate, multilayer wiring substrate, and method for manufacturing wiring substrate
KR100898451B1 (ko) 회로 기판 제조 방법 및 통신 기기
KR100905574B1 (ko) 인쇄회로기판의 제조방법
US6651324B1 (en) Process for manufacture of printed circuit boards with thick copper power circuitry and thin copper signal circuitry on the same layer
JP2006041029A (ja) 配線基板及びその製造方法ならびに電子装置
JPS61288489A (ja) 成形回路基板の製造方法
KR20150024093A (ko) 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 제조 방법
KR20070079794A (ko) 인쇄회로기판의 제조방법
JP2003309357A (ja) プリント配線板の製造方法及びプリント配線板
JP2004063575A (ja) プリント基板
USRE29284E (en) Process for forming interconnections in a multilayer circuit board
KR20040061410A (ko) 도통 관통홀이 구리로 채워진 인쇄회로기판 및 그 제조방법
JP2889516B2 (ja) 多層配線基板の製造方法
JP2015041770A (ja) 印刷回路基板および印刷回路基板の製造方法
KR100704917B1 (ko) 인쇄회로기판 및 그 제조방법
KR100311814B1 (ko) 무선 단말기용 다층 인쇄회로기판의 보이드 제거방법
KR101084776B1 (ko) 전자소자 내장 기판 및 그 제조방법
KR100566912B1 (ko) 부분 동도금이 이루어지는 연성 인쇄기판 제조방법
KR100910794B1 (ko) 인쇄회로기판의 제조방법
JP3665036B2 (ja) プリント配線板の製造方法及びプリント配線板
CN117177481A (zh) 多层线路板及其制作方法
JPH10335786A (ja) 高密度プリント配線基板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040325

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040420

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040621

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20041130

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050119

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050315

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050324

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3662892

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080401

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090401

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100401

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110401

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120401

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130401

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140401

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees