JP2003302291A - センサ及びセンサ付軸受装置 - Google Patents
センサ及びセンサ付軸受装置Info
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- bearing
- inert gas
- gas
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/52—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions
- F16C19/525—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions related to temperature and heat, e.g. insulation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C41/00—Other accessories, e.g. devices integrated in the bearing not relating to the bearing function as such
- F16C41/007—Encoders, e.g. parts with a plurality of alternating magnetic poles
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、センサの性能の低下を抑制し、信頼
性に優れたセンサ及びこのセンサを備えるセンサ付軸受
装置を提供する。 【解決手段】センサ５は、検出対象を検出する検出部で
ある振動センサ１２と温度センサ１３と回転速度センサ
１４、及びこれら検出部で検出された信号を処理する回
路部品１５とを備える。振動センサ１２と温度センサ１
３と回転速度センサ１４と回路部品１５とは、容器１６
の内部に収容し、この容器１６の内部に不活性ガスＧを
封入する。
性に優れたセンサ及びこのセンサを備えるセンサ付軸受
装置を提供する。 【解決手段】センサ５は、検出対象を検出する検出部で
ある振動センサ１２と温度センサ１３と回転速度センサ
１４、及びこれら検出部で検出された信号を処理する回
路部品１５とを備える。振動センサ１２と温度センサ１
３と回転速度センサ１４と回路部品１５とは、容器１６
の内部に収容し、この容器１６の内部に不活性ガスＧを
封入する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、産業機械や車両な
どの軸受装置やギヤボックスなどに取付けられるセン
サ、及びこのセンサを備えるセンサ付軸受装置に関す
る。
どの軸受装置やギヤボックスなどに取付けられるセン
サ、及びこのセンサを備えるセンサ付軸受装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】産業用の機械装置の軸受や、鉄道車両及
び自動車などの軸受、あるいはギヤボックスなどには、
保全のために振動や温度などを検出するセンサを取付け
る場合がある。センサは、振動や温度を検出する検出部
と、検出部で検出された信号を処理する回路部品を備え
ている。検出部と回路部品とは、回路基板に実装され、
容器内に収容されている。
び自動車などの軸受、あるいはギヤボックスなどには、
保全のために振動や温度などを検出するセンサを取付け
る場合がある。センサは、振動や温度を検出する検出部
と、検出部で検出された信号を処理する回路部品を備え
ている。検出部と回路部品とは、回路基板に実装され、
容器内に収容されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、回路基
板、及び回路基板に実装された検出部や回路部は、大気
中で容器内部に収容されるため、空気に触れた状態であ
る。そのため、検出部や回路部品と回路基板とのはんだ
付け部や配線は、空気中の酸素によって酸化しやすい。
また、運転中の軸受装置は、転がり摩擦によって温度が
上昇するため、回路基板やこれに実装された検出部及び
回路部品が、経年的に劣化しやすい。
板、及び回路基板に実装された検出部や回路部は、大気
中で容器内部に収容されるため、空気に触れた状態であ
る。そのため、検出部や回路部品と回路基板とのはんだ
付け部や配線は、空気中の酸素によって酸化しやすい。
また、運転中の軸受装置は、転がり摩擦によって温度が
上昇するため、回路基板やこれに実装された検出部及び
回路部品が、経年的に劣化しやすい。
【０００４】繰り返し温度が変化すると、容器内の空気
は、膨張と収縮を繰り返し、容器の隙間から出入りする
ことで、換気される。したがって、温度変化を繰返すた
びに、容器内部は、酸素が新たに供給される。また、周
囲の環境によっては、水分を含んだ湿り空気を吸い込む
こととなるので、検出部や回路部品にとって好ましくな
い。はんだ部が酸化されたり、検出部や回路部品、ある
いはこれらをモールド固定したモールド材の樹脂が劣化
したりすると、センサの性能が低下する場合がある。
は、膨張と収縮を繰り返し、容器の隙間から出入りする
ことで、換気される。したがって、温度変化を繰返すた
びに、容器内部は、酸素が新たに供給される。また、周
囲の環境によっては、水分を含んだ湿り空気を吸い込む
こととなるので、検出部や回路部品にとって好ましくな
い。はんだ部が酸化されたり、検出部や回路部品、ある
いはこれらをモールド固定したモールド材の樹脂が劣化
したりすると、センサの性能が低下する場合がある。
【０００５】そこで、本発明は、センサの性能の低下を
抑制し、信頼性に優れたセンサ及びこのセンサを備える
センサ付軸受装置を提供することを目的とする。
抑制し、信頼性に優れたセンサ及びこのセンサを備える
センサ付軸受装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係るセンサは、
検出対象を検出する検出部と、この検出部で検出された
信号を処理する回路部品と、検出部と回路部品と不活性
ガスとを収容する容器と、を備える。不活性ガスには、
窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス、またはこれら
の混合ガスの内のいずれかを使用する。容器内に空気が
侵入しないように容器内の不活性ガスの圧力は、大気圧
以上の圧力で維持する。
検出対象を検出する検出部と、この検出部で検出された
信号を処理する回路部品と、検出部と回路部品と不活性
ガスとを収容する容器と、を備える。不活性ガスには、
窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス、またはこれら
の混合ガスの内のいずれかを使用する。容器内に空気が
侵入しないように容器内の不活性ガスの圧力は、大気圧
以上の圧力で維持する。
【０００７】また、容器は、容器本体、及びこの本体と
の間にシール部材を挟んで取付けられる蓋を備える。不
活性ガスの封入作業を容易にするために、容器の蓋に
は、容器内を不活性ガスで置換するためのノズルを取付
ける。
の間にシール部材を挟んで取付けられる蓋を備える。不
活性ガスの封入作業を容易にするために、容器の蓋に
は、容器内を不活性ガスで置換するためのノズルを取付
ける。
【０００８】本発明に係るセンサ付軸受装置は、多数の
転動体を介して相対的に回転する一対の軌道輪を有した
少なくとも１つの軸受を備え、一対の軌道輪の内の一方
の軌道輪、またはこの軌道輪と固定された部材に本発明
に係るセンサを固定する。
転動体を介して相対的に回転する一対の軌道輪を有した
少なくとも１つの軸受を備え、一対の軌道輪の内の一方
の軌道輪、またはこの軌道輪と固定された部材に本発明
に係るセンサを固定する。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明に係る一実施形態につい
て、図１および図２を参照して説明する。図１に示すセ
ンサ付軸受装置１は、２つの転がり軸受２と、ハウジン
グ３と、軸４と、センサ５とを備える。軸受２は、転動
体６を介して固定輪となる外輪７と、回転輪となる内輪
８を備えている。ハウジング３は、外輪７を連結する。
軸４は、内輪８に通されて回転自在に支持されている。
軸４の端部４ａには、歯車状のパルサリング９が取付け
られている。センサ５は、先端部５ａがパルサリング９
の歯９ａに対向するように、ハウジング３の外面３ａか
ら内面３ｂに連通する貫通穴１０に外面３ａ側から挿入
され、取付ねじ１１で固定されている。
て、図１および図２を参照して説明する。図１に示すセ
ンサ付軸受装置１は、２つの転がり軸受２と、ハウジン
グ３と、軸４と、センサ５とを備える。軸受２は、転動
体６を介して固定輪となる外輪７と、回転輪となる内輪
８を備えている。ハウジング３は、外輪７を連結する。
軸４は、内輪８に通されて回転自在に支持されている。
軸４の端部４ａには、歯車状のパルサリング９が取付け
られている。センサ５は、先端部５ａがパルサリング９
の歯９ａに対向するように、ハウジング３の外面３ａか
ら内面３ｂに連通する貫通穴１０に外面３ａ側から挿入
され、取付ねじ１１で固定されている。
【００１０】図２に示すようにセンサ５は、振動センサ
１２と温度センサ１３と回転速度センサ１４と回路部品
１５、及びこれらを収容する容器１６を備えている。振
動センサ１２は、例えば圧電素子などを備え、検出対象
として振動（加速度）を検出する。温度センサ１３は、
例えばサーミスタやＩＣ温度センサなどを備え、検出対
象として温度を検出する。回転速度センサ１４は、先端
部５ａの内側に配置されている。この回転速度センサ１
４は、例えばホール素子や磁気抵抗素子などを備え、軸
４とともに回転するパルサリング９の歯９ａとすれ違う
ときに生じる磁界の変動を検出することで、軸４の回転
速度を検出する。回路部品は、振動センサ１２と温度セ
ンサ１３と回転速度センサ１４によって検出された信号
を処理する。
１２と温度センサ１３と回転速度センサ１４と回路部品
１５、及びこれらを収容する容器１６を備えている。振
動センサ１２は、例えば圧電素子などを備え、検出対象
として振動（加速度）を検出する。温度センサ１３は、
例えばサーミスタやＩＣ温度センサなどを備え、検出対
象として温度を検出する。回転速度センサ１４は、先端
部５ａの内側に配置されている。この回転速度センサ１
４は、例えばホール素子や磁気抵抗素子などを備え、軸
４とともに回転するパルサリング９の歯９ａとすれ違う
ときに生じる磁界の変動を検出することで、軸４の回転
速度を検出する。回路部品は、振動センサ１２と温度セ
ンサ１３と回転速度センサ１４によって検出された信号
を処理する。
【００１１】振動センサ１２と温度センサ１３と回路部
品１５は、回路基板１７に実装されている。回路基板１
７は、容器１６内に回路基板１７を固定するための治具
１８へねじ１９で固定されている。また、容器１６に
は、治具１８を容器１６の中にねじ２０で固定するため
の穴２１が設けられている。ねじ１９で回路基板１７が
固定された治具１８は、容器１６の開口部１６ａから挿
入され、ねじ２０で容器１６の内側１６ｂに固定され
る。なお、回路基板１７を治具１８に固定するねじ１９
の取付位置、及び治具１８を容器１６に固定するねじ２
０の取付位置は、振動センサ１２が共振しないように回
路基板１７の大きさや板厚あるいは剛性などに応じて配
置される。穴２１は、治具１８をねじ２０で固定した
後、シール剤２２、例えばシリコーン樹脂やエポキシ樹
脂で密閉される。なお、シール剤２２で密閉する代わり
に、シール部材、例えばガスケットやＯリングを用いて
密閉してもよい。
品１５は、回路基板１７に実装されている。回路基板１
７は、容器１６内に回路基板１７を固定するための治具
１８へねじ１９で固定されている。また、容器１６に
は、治具１８を容器１６の中にねじ２０で固定するため
の穴２１が設けられている。ねじ１９で回路基板１７が
固定された治具１８は、容器１６の開口部１６ａから挿
入され、ねじ２０で容器１６の内側１６ｂに固定され
る。なお、回路基板１７を治具１８に固定するねじ１９
の取付位置、及び治具１８を容器１６に固定するねじ２
０の取付位置は、振動センサ１２が共振しないように回
路基板１７の大きさや板厚あるいは剛性などに応じて配
置される。穴２１は、治具１８をねじ２０で固定した
後、シール剤２２、例えばシリコーン樹脂やエポキシ樹
脂で密閉される。なお、シール剤２２で密閉する代わり
に、シール部材、例えばガスケットやＯリングを用いて
密閉してもよい。
【００１２】また、容器１６は、容器本体の開口部１６
ａを塞ぐ蓋２４を備えている。蓋２４は、本体の開口部
１６ａにシール部材の一例であるＯリング２３を挟んで
取付けられている。Ｏリング２３は、開口部１６ａの内
周角部に設けられた取付部に収容されている。蓋２４
は、容器１６にねじ２５で固定されている。容器１６の
外面１６ｃには、フランジ２６が形成されている。この
フランジ２６には、センサ５をハウジング３に固定する
取付ねじ１１を通すための穴２７が設けられている。
ａを塞ぐ蓋２４を備えている。蓋２４は、本体の開口部
１６ａにシール部材の一例であるＯリング２３を挟んで
取付けられている。Ｏリング２３は、開口部１６ａの内
周角部に設けられた取付部に収容されている。蓋２４
は、容器１６にねじ２５で固定されている。容器１６の
外面１６ｃには、フランジ２６が形成されている。この
フランジ２６には、センサ５をハウジング３に固定する
取付ねじ１１を通すための穴２７が設けられている。
【００１３】容器１６の内部には、不活性ガスＧが封入
されている。不活性ガスＧは、例えば、窒素ガス、ヘリ
ウムガス、アルゴンガス、あるいはこれらの混合ガスな
どを使用する。なお、窒素ガス及びアルゴンガスの方が
ヘリウムガスよりも安価で入手できるとともに、容易に
密閉できるので好ましい。
されている。不活性ガスＧは、例えば、窒素ガス、ヘリ
ウムガス、アルゴンガス、あるいはこれらの混合ガスな
どを使用する。なお、窒素ガス及びアルゴンガスの方が
ヘリウムガスよりも安価で入手できるとともに、容易に
密閉できるので好ましい。
【００１４】不活性ガスＧの封入は、チャンバーやグロ
ーブボックスなどのガス交換室の中に容器１６と蓋２４
を入れ、ガス交換室内を不活性ガスＧで置換し、蓋２４
を容器１６にねじ２５で取付けることによって、実施さ
れる。蓋２４を閉じるときのガス交換室内の圧力を大気
圧以上、好ましくは大気圧よりも高くしておくと、容器
１６内の圧力が大気圧以上に高くなるので、温度変化に
よって空気が容器１６の内部に入り難い。
ーブボックスなどのガス交換室の中に容器１６と蓋２４
を入れ、ガス交換室内を不活性ガスＧで置換し、蓋２４
を容器１６にねじ２５で取付けることによって、実施さ
れる。蓋２４を閉じるときのガス交換室内の圧力を大気
圧以上、好ましくは大気圧よりも高くしておくと、容器
１６内の圧力が大気圧以上に高くなるので、温度変化に
よって空気が容器１６の内部に入り難い。
【００１５】本発明に係る第２の実施形態のセンサ３１
について、図３を参照して説明する。なお、第１の実施
形態のセンサ５と同じ構成については、同じ符号を付し
てその説明を省略する。図３は、センサ３１の容器１６
の開口部１６ａとこの開口部１６ａに取付けられた蓋３
２を示す。この蓋３２は、中央にガス置換用の孔３３が
設けられている。孔３３には、蓋３２の外面３２ａ側に
向かって広がるテーパーねじ孔３３ａが加工されてお
り、浮子式の逆止弁３４が取付けられている。なお、逆
止弁３４のテーパーねじ部にシールテープやシールボン
ドなどのシール剤をつけて、蓋３２のテーパーねじ孔３
３ａにねじ込むことで、蓋３２と逆止弁３４とは密閉さ
れる。逆止弁３４は、容器１６の内圧を封止する向きに
取付けられている。逆止弁３４は、ばね３４ａで支持さ
れる浮子３４ｂを容器１６の中に向かって押し込むこと
で、容器１６の中の気体を出すことができるように作ら
れている。
について、図３を参照して説明する。なお、第１の実施
形態のセンサ５と同じ構成については、同じ符号を付し
てその説明を省略する。図３は、センサ３１の容器１６
の開口部１６ａとこの開口部１６ａに取付けられた蓋３
２を示す。この蓋３２は、中央にガス置換用の孔３３が
設けられている。孔３３には、蓋３２の外面３２ａ側に
向かって広がるテーパーねじ孔３３ａが加工されてお
り、浮子式の逆止弁３４が取付けられている。なお、逆
止弁３４のテーパーねじ部にシールテープやシールボン
ドなどのシール剤をつけて、蓋３２のテーパーねじ孔３
３ａにねじ込むことで、蓋３２と逆止弁３４とは密閉さ
れる。逆止弁３４は、容器１６の内圧を封止する向きに
取付けられている。逆止弁３４は、ばね３４ａで支持さ
れる浮子３４ｂを容器１６の中に向かって押し込むこと
で、容器１６の中の気体を出すことができるように作ら
れている。
【００１６】容器１６の開口部１６ａに嵌まり込んでい
る蓋３２の外周には、溝３５が形成されており、Ｏリン
グ３６が取付けられている。なお、溝は、容器１６の内
面１６ｂ、あるいは、開口部１６ａのねじ２５よりも中
心寄りの端面１６ｄ、または、端面１６ｄと対向する部
分の蓋３２に設けられていてもよい。
る蓋３２の外周には、溝３５が形成されており、Ｏリン
グ３６が取付けられている。なお、溝は、容器１６の内
面１６ｂ、あるいは、開口部１６ａのねじ２５よりも中
心寄りの端面１６ｄ、または、端面１６ｄと対向する部
分の蓋３２に設けられていてもよい。
【００１７】以上のように構成されたセンサ３１は、空
気中で組立てられる。容器１６の内部に残留する空気
は、浮子３４ｂを押し込みながら逆止弁３４に接続され
たホース３７から真空ポンプで吸い出す。所望する圧力
まで容器１６の内圧が低下したら、ホース３７の経路を
繋ぎ換えて容器１６の内圧が大気圧よりも大きくなるま
で、逆止弁３４を通して不活性ガスＧを注入する。な
お、切換弁を設けてホース３７の経路を繋ぎ換えると、
経路を確実に切換えられるので、好ましい。ホース３７
を取外すとともに、押し下げていた浮子を離すと、逆止
弁３４は、不活性ガスＧを容器１６内に封止する。な
お、不活性ガスの純度を高めるために、減圧と不活性ガ
スの注入を数回繰返してもよい。
気中で組立てられる。容器１６の内部に残留する空気
は、浮子３４ｂを押し込みながら逆止弁３４に接続され
たホース３７から真空ポンプで吸い出す。所望する圧力
まで容器１６の内圧が低下したら、ホース３７の経路を
繋ぎ換えて容器１６の内圧が大気圧よりも大きくなるま
で、逆止弁３４を通して不活性ガスＧを注入する。な
お、切換弁を設けてホース３７の経路を繋ぎ換えると、
経路を確実に切換えられるので、好ましい。ホース３７
を取外すとともに、押し下げていた浮子を離すと、逆止
弁３４は、不活性ガスＧを容器１６内に封止する。な
お、不活性ガスの純度を高めるために、減圧と不活性ガ
スの注入を数回繰返してもよい。
【００１８】第１の実施形態のセンサ付軸受装置１が備
えるセンサ５と第２の実施形態のセンサ３１は、振動セ
ンサ１２、温度センサ１３、回転速度センサ１４、回路
部品１５、及びこれらが実装されている回路基板１７を
容器１６に収容し、容器１６の中が大気圧よりも高い圧
力の不活性ガスＧで置換されている。したがって、振動
センサ１２、温度センサ１３、回転速度センサ１４、回
路部品１５、回路基板１７のはんだ付け部や配線が空気
中の酸素に触れて酸化することがない。また、繰り返し
温度変化のある環境でセンサ５，３１を取付けた場合に
も、容器１６には大気圧よりも高い圧力で不活性ガスＧ
が封入されているので、空気が容器１６に侵入し難い。
したがって、センサ５，３１の検出性能の低下が抑制さ
れる。
えるセンサ５と第２の実施形態のセンサ３１は、振動セ
ンサ１２、温度センサ１３、回転速度センサ１４、回路
部品１５、及びこれらが実装されている回路基板１７を
容器１６に収容し、容器１６の中が大気圧よりも高い圧
力の不活性ガスＧで置換されている。したがって、振動
センサ１２、温度センサ１３、回転速度センサ１４、回
路部品１５、回路基板１７のはんだ付け部や配線が空気
中の酸素に触れて酸化することがない。また、繰り返し
温度変化のある環境でセンサ５，３１を取付けた場合に
も、容器１６には大気圧よりも高い圧力で不活性ガスＧ
が封入されているので、空気が容器１６に侵入し難い。
したがって、センサ５，３１の検出性能の低下が抑制さ
れる。
【００１９】また、センサ５を備えるセンサ付軸受装置
１は、検出対象を検出するセンサ５の性能の低下が抑制
されるので、軸受装置の保全のために計測される振動や
温度あるいは軸の回転速度などを長期間にわたり安定し
て検出しつづけることができる。
１は、検出対象を検出するセンサ５の性能の低下が抑制
されるので、軸受装置の保全のために計測される振動や
温度あるいは軸の回転速度などを長期間にわたり安定し
て検出しつづけることができる。
【００２０】なお、第１の実施形態のセンサ付軸受装置
１が備えるセンサ５は、第２の実施形態のセンサ３１で
あってもよい。また、センサ５，３１は、軸受２の軌道
輪（外輪７または内輪８）と一体に形成された部分に固
定してもよい。
１が備えるセンサ５は、第２の実施形態のセンサ３１で
あってもよい。また、センサ５，３１は、軸受２の軌道
輪（外輪７または内輪８）と一体に形成された部分に固
定してもよい。
【００２１】また、センサ５をリニアガイドやボールね
じ等の直動装置に搭載し、センサ付直動装置としてもよ
い。
じ等の直動装置に搭載し、センサ付直動装置としてもよ
い。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、センサの検出部と回路
部品と回路基板を容器内に収容し、この容器内に不活性
ガスを封入しているので、はんだ付け部や配線が空気中
の酸素に触れて酸化することがないとともに、繰り返し
温度変化のある環境で使用しても、空気が容器内に侵入
し難い。したがって、本発明に係るセンサは、性能の低
下を抑制し、信頼性に優れている。また、このセンサを
備えたセンサ付軸受装置によれば、センサの検出性能の
低下が抑制されるので、軸受装置の保全のために検出さ
れる検出対象を長期間にわたって安定して検出すること
ができる。
部品と回路基板を容器内に収容し、この容器内に不活性
ガスを封入しているので、はんだ付け部や配線が空気中
の酸素に触れて酸化することがないとともに、繰り返し
温度変化のある環境で使用しても、空気が容器内に侵入
し難い。したがって、本発明に係るセンサは、性能の低
下を抑制し、信頼性に優れている。また、このセンサを
備えたセンサ付軸受装置によれば、センサの検出性能の
低下が抑制されるので、軸受装置の保全のために検出さ
れる検出対象を長期間にわたって安定して検出すること
ができる。
【図１】本発明に係る第１の実施形態のセンサ付軸受装
置を示す断面図。
置を示す断面図。
【図２】図１中のセンサの断面図。
【図３】本発明に係る第２の実施形態のセンサの蓋とそ
の近傍を示す図。
の近傍を示す図。
１…センサ付軸受装置
２…軸受
３…ハウジング（軌道輪と固定される部材）
５，３１…センサ
６…転動体
７…外輪（軌道輪）
８…内輪（軌道輪）
１２…振動センサ（検出部）
１３…温度センサ（検出部）
１４…回転速度センサ（検出部）
１５…回路部品
１６…容器
１７…回路基板
２３，３６…Ｏリング（シール部材）
２４，３２…蓋
３４…逆止弁（ノズル）
Ｇ…不活性ガス
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
// Ｇ０１Ｐ 1/02 Ｇ０１Ｐ 1/02
Ｆターム(参考） 2G024 AC00 BA11 CA09 CA13 CA17
DA09 DA12 DA16 EA11
2G064 AA17 AB22 AB24 AB26 BA21
BD18
3J101 AA01 AA62 BA77 FA22 FA23
FA24 FA26 FA48 GA01 GA31
GA34
Claims (6)
- 【請求項１】検出対象を検出する検出部と、 この検出部で検出された信号を処理する回路部品と、 前記検出部と前記回路部品と不活性ガスとを収容する容
器とを備えるセンサ。 - 【請求項２】請求項１に記載のセンサにおいて、前記不
活性ガスは、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス、
またはこれらの混合ガスの内のいずれかである。 - 【請求項３】請求項１または請求項２に記載のセンサに
おいて、前記容器は、前記不活性ガスの圧力を大気圧以
上で維持する。 - 【請求項４】請求項１から請求項３の内のいずれか１項
に記載のセンサにおいて、前記容器は、容器本体、及び
この本体との間にシール部材を挟んで取付けられた蓋を
備えている。 - 【請求項５】請求項４に記載のセンサにおいて、前記蓋
は、前記容器の内部を前記不活性ガスで置換するノズル
を備えている。 - 【請求項６】多数の転動体を介して相対的に回転する一
対の軌道輪を有した少なくとも１つの軸受を備え、 前記一対の軌道輪の内の一方の軌道輪、またはこの軌道
輪と固定された部材に請求項１から請求項５の内のいず
れか１項に記載のセンサを取付けたセンサ付軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002110745A JP2003302291A (ja) | 2002-04-12 | 2002-04-12 | センサ及びセンサ付軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002110745A JP2003302291A (ja) | 2002-04-12 | 2002-04-12 | センサ及びセンサ付軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003302291A true JP2003302291A (ja) | 2003-10-24 |
Family
ID=29393794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002110745A Pending JP2003302291A (ja) | 2002-04-12 | 2002-04-12 | センサ及びセンサ付軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003302291A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008002883A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Nsk Ltd | 軸受センサの取付構造および軸受センサの取付方法 |
| JP2008003087A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | General Electric Co <Ge> | 電気機械の多機能センサシステム |
-
2002
- 2002-04-12 JP JP2002110745A patent/JP2003302291A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008002883A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Nsk Ltd | 軸受センサの取付構造および軸受センサの取付方法 |
| JP2008003087A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | General Electric Co <Ge> | 電気機械の多機能センサシステム |
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