JP2003300148A - 微細穴の処理装置 - Google Patents
微細穴の処理装置Info
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- JP2003300148A JP2003300148A JP2002250325A JP2002250325A JP2003300148A JP 2003300148 A JP2003300148 A JP 2003300148A JP 2002250325 A JP2002250325 A JP 2002250325A JP 2002250325 A JP2002250325 A JP 2002250325A JP 2003300148 A JP2003300148 A JP 2003300148A
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】軸方向貫通微細穴を有するワークの密封を自動
式で行い、生産性を向上させることができる装置を提
供。 【解決手段】一対のワーク保持具であるフェルール保持
具 6、11の一方11はベース 1に固定した固定ブロック 4
に固定され、増圧器の一方10、カートリッジＢ及びカー
トリッジＡの各１方 22、32はベース 1に固定され、一対
のフェルール保持具の他方 6はベース 1に固定されたテ
ーブル20に固定されたシリンダ19のロッド8に連結され
た移動ブロック 7に固定されて、シリンダ19のロッド 8
によりテーブル上を往復動可能に支持されている。一対
のカートリッジＢ及びカートリッジＡの各他方 21、31は
移動ブロック 7に固定部材18により固定支持され、シリ
ンダ19のロッド 8により一対のフェルール保持具の一方
6をフェルール保持具の他方11に押し付け、密着させる
ことで流路系を密封するようにしワーク 5の密封を自動
式で行う。
式で行い、生産性を向上させることができる装置を提
供。 【解決手段】一対のワーク保持具であるフェルール保持
具 6、11の一方11はベース 1に固定した固定ブロック 4
に固定され、増圧器の一方10、カートリッジＢ及びカー
トリッジＡの各１方 22、32はベース 1に固定され、一対
のフェルール保持具の他方 6はベース 1に固定されたテ
ーブル20に固定されたシリンダ19のロッド8に連結され
た移動ブロック 7に固定されて、シリンダ19のロッド 8
によりテーブル上を往復動可能に支持されている。一対
のカートリッジＢ及びカートリッジＡの各他方 21、31は
移動ブロック 7に固定部材18により固定支持され、シリ
ンダ19のロッド 8により一対のフェルール保持具の一方
6をフェルール保持具の他方11に押し付け、密着させる
ことで流路系を密封するようにしワーク 5の密封を自動
式で行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はφ5.0mm 以下の軸方向貫
通ストレート穴、テーパ穴、曲がり穴などで構成された
穴を有する部品の内面処理（研磨、洗浄、バリ取り、エ
ッジのＲ取り・面取り、表面処理）を行う微細穴の処理
装置に関する。
通ストレート穴、テーパ穴、曲がり穴などで構成された
穴を有する部品の内面処理（研磨、洗浄、バリ取り、エ
ッジのＲ取り・面取り、表面処理）を行う微細穴の処理
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の軸方向貫通微細穴の処理装置とし
ては、精密工学会誌64.1(1998)、64.8(1998)、64.9(199
8)の「 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨」 ではφ
1mm 以下の内径を有する長尺のステンレス鋼製極細管の
内面をスラリーを高速でその中を往復動させることによ
って研磨する方法：高速流動研磨法が報告されている。
また、精密工学会誌67.2(2001)「 光コネクタ用セラミッ
クフェルール微細穴内壁面の高速流動研磨」 では、ジル
コニアセラミックフェルール微細穴内面( φ0.12mm) の
加工精度( 形状精度と面精度) の向上をねらいに、高速
流動研磨法が有効であることが報告されている。その論
文での高速流動研磨装置は、図４、図５に示す。
ては、精密工学会誌64.1(1998)、64.8(1998)、64.9(199
8)の「 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨」 ではφ
1mm 以下の内径を有する長尺のステンレス鋼製極細管の
内面をスラリーを高速でその中を往復動させることによ
って研磨する方法：高速流動研磨法が報告されている。
また、精密工学会誌67.2(2001)「 光コネクタ用セラミッ
クフェルール微細穴内壁面の高速流動研磨」 では、ジル
コニアセラミックフェルール微細穴内面( φ0.12mm) の
加工精度( 形状精度と面精度) の向上をねらいに、高速
流動研磨法が有効であることが報告されている。その論
文での高速流動研磨装置は、図４、図５に示す。
【０００３】図４に示す従来の軸方向貫通微細穴の処理
装置は、エアコンプレッサ51、直圧式増圧器 52、52、溶
媒としてイオン交換水58が入れられたカートリッジＢ5
7、57、溶媒としてのイオン交換水58と砥粒55としてアル
ミナとの混合物であるスラリーが入れられたカートリッ
ジＢ56、56 及びフェルール保持具 53、54で構成されてい
る。カートリッジＢ 57、57は直圧式増圧器 52、52に砥粒
55が侵入することを防ぎ、装置の耐久性を向上させるた
めのトラップである。図５に図４のフェルール保持具 5
3、54の詳細図を示す。保持具53、54 は、２個のフランジ
付ステンレス鋼円筒容器 66、66から成り、左右の容器に
は、中空の厚肉エポキシ樹脂円筒管 63、63が挿入され、
その外側にグランドパッキン 64、64が密に詰め込まれ、
砥粒55とイオン交換水58との混合物であるスラリーが回
り込まないよう配慮している。セラミックフェルール 6
2、62を直列にエポキシ樹脂円筒管 63、63の中に入れ、左
右の樹脂円筒管を仕切り板60を介して向き合わせ、フラ
ンジ部には高圧の流体圧に耐えスラリー55が洩れないよ
うに２重にＯリング 61、61を挿入し、左右フランジ部を
ボルト 65、65で締め付ける。フェルール保持具 53、54と
カートリッジＡ 56、56は配管用の継ぎ手 59、59で接続す
る。
装置は、エアコンプレッサ51、直圧式増圧器 52、52、溶
媒としてイオン交換水58が入れられたカートリッジＢ5
7、57、溶媒としてのイオン交換水58と砥粒55としてアル
ミナとの混合物であるスラリーが入れられたカートリッ
ジＢ56、56 及びフェルール保持具 53、54で構成されてい
る。カートリッジＢ 57、57は直圧式増圧器 52、52に砥粒
55が侵入することを防ぎ、装置の耐久性を向上させるた
めのトラップである。図５に図４のフェルール保持具 5
3、54の詳細図を示す。保持具53、54 は、２個のフランジ
付ステンレス鋼円筒容器 66、66から成り、左右の容器に
は、中空の厚肉エポキシ樹脂円筒管 63、63が挿入され、
その外側にグランドパッキン 64、64が密に詰め込まれ、
砥粒55とイオン交換水58との混合物であるスラリーが回
り込まないよう配慮している。セラミックフェルール 6
2、62を直列にエポキシ樹脂円筒管 63、63の中に入れ、左
右の樹脂円筒管を仕切り板60を介して向き合わせ、フラ
ンジ部には高圧の流体圧に耐えスラリー55が洩れないよ
うに２重にＯリング 61、61を挿入し、左右フランジ部を
ボルト 65、65で締め付ける。フェルール保持具 53、54と
カートリッジＡ 56、56は配管用の継ぎ手 59、59で接続す
る。
【０００４】作動においては、エアコンプレッサ51を稼
動し圧縮空気を図示しないフィルタレギュレータを介し
て所定の圧力(0.49MPa) に制御し、右（左）側の直圧式
増圧器 52、52に送気する。直圧式増圧器 52、52と連通す
る右（左）側のカートリッジＢ 57、57内部のイオン交換
水58を空気圧の25倍に増圧し、右（左）側のカートリッ
ジＢ 57、57内のイオン交換水58に流体圧を加える。カー
トリッジＢ 57、57内のイオン交換水58は右（左）側のカ
ートリッジＡ 56、56内に注送され、カートリッジＡ 56、
56内のイオン交換水58に流体圧を加えることになる。こ
のことにより、カートリッジＡ 56、56内のフェルール保
持具 53、54に接続してある管を通ってスラリーがフェル
ール 62、62内面に注送されることになる。研磨はスラリ
ーがフェルール 62、62内面を流動することにより行われ
る。右（左）側のカートリッジＡ56、56のスラリーが左
（右）側のカートリッジＡ 56、56に注送されて移動し終
わった(1パス目) 後、左（右）側の直圧式増圧器 52、52
内部のイオン交換水58を増圧し、スラリーは逆向きに注
送される(2パス目で1 往復) 。この流動動作を繰り返し
てフェルールの微細穴内を研磨する。
動し圧縮空気を図示しないフィルタレギュレータを介し
て所定の圧力(0.49MPa) に制御し、右（左）側の直圧式
増圧器 52、52に送気する。直圧式増圧器 52、52と連通す
る右（左）側のカートリッジＢ 57、57内部のイオン交換
水58を空気圧の25倍に増圧し、右（左）側のカートリッ
ジＢ 57、57内のイオン交換水58に流体圧を加える。カー
トリッジＢ 57、57内のイオン交換水58は右（左）側のカ
ートリッジＡ 56、56内に注送され、カートリッジＡ 56、
56内のイオン交換水58に流体圧を加えることになる。こ
のことにより、カートリッジＡ 56、56内のフェルール保
持具 53、54に接続してある管を通ってスラリーがフェル
ール 62、62内面に注送されることになる。研磨はスラリ
ーがフェルール 62、62内面を流動することにより行われ
る。右（左）側のカートリッジＡ56、56のスラリーが左
（右）側のカートリッジＡ 56、56に注送されて移動し終
わった(1パス目) 後、左（右）側の直圧式増圧器 52、52
内部のイオン交換水58を増圧し、スラリーは逆向きに注
送される(2パス目で1 往復) 。この流動動作を繰り返し
てフェルールの微細穴内を研磨する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図４、５に示す従来の
軸方向貫通微細穴の処理装置では、ワークであるフェル
ールの密封は手動式であり生産性が良いとは言えない。
また、従来の技術では、高速流動研磨により、ワーク保
持具内又は配管内にスラリーが堆積し易い。さらに、従
来の技術では、12.25MPaの流体圧でスラリーを注送する
ため、各ワーク保持具と各カートリッジＡとは、カート
リッジＡとワーク保持具を接続している管の内壁が摩耗
し、肉厚が減少することで、管の耐圧強度が低下する可
能性があった。
軸方向貫通微細穴の処理装置では、ワークであるフェル
ールの密封は手動式であり生産性が良いとは言えない。
また、従来の技術では、高速流動研磨により、ワーク保
持具内又は配管内にスラリーが堆積し易い。さらに、従
来の技術では、12.25MPaの流体圧でスラリーを注送する
ため、各ワーク保持具と各カートリッジＡとは、カート
リッジＡとワーク保持具を接続している管の内壁が摩耗
し、肉厚が減少することで、管の耐圧強度が低下する可
能性があった。
【０００６】本発明の課題は、かかる従来の軸方向貫通
微細穴の処理装置の課題を解決した、軸方向貫通微細穴
を有するワークの密封を自動式で行い、生産性を向上さ
せることができる装置を提供することにある。本発明の
別の課題は、ワーク保持具内又は配管内にスラリーが堆
積することを防止する装置を提供することにある。本発
明の他の課題は、カートリッジＡとワーク保持具を接続
している管の内壁が摩耗し、肉厚が減少することで、管
の耐圧強度が低下し配管が破損しても外部にスラリーが
飛び散ることがなく安全性を高める装置を提供すること
にある。
微細穴の処理装置の課題を解決した、軸方向貫通微細穴
を有するワークの密封を自動式で行い、生産性を向上さ
せることができる装置を提供することにある。本発明の
別の課題は、ワーク保持具内又は配管内にスラリーが堆
積することを防止する装置を提供することにある。本発
明の他の課題は、カートリッジＡとワーク保持具を接続
している管の内壁が摩耗し、肉厚が減少することで、管
の耐圧強度が低下し配管が破損しても外部にスラリーが
飛び散ることがなく安全性を高める装置を提供すること
にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このため本発明は、一対
の流体圧供給装置、各流体圧供給装置と連結されかつ溶
媒を入れた一対のカートリッジＢ、各カートリッジＢと
配管で上層部同士が連結されかつ前記溶媒に砥粒を加え
たスラリーを入れた一対のカートリッジＡ、及び各カー
トリッジＡ下層部と配管で連結された一対のワーク保持
具を有し、前記ワーク保持具の少なくとも一方は軸方向
貫通微細穴を有するワークを保持し、さらに前記ワーク
保持具の一方はベースに固定した固定ブロックに固定さ
れ、前記一対の流体圧供給装置、カートリッジＢ及びカ
ートリッジＡの各一方は前記ベースに固定され、前記ワ
ーク保持具の他方は前記ベースに固定されたテーブルに
固定されたアクチュエータに連結された移動ブロックに
固定されて前記アクチュエータによりテーブル上を往復
動可能に支持され、前記カートリッジＢ及びカートリッ
ジＡの各他方は前記移動ブロックに固定支持され、前記
ワーク保持具の前記他方は前記アクチュエータにより、
前記一対のワーク保持具の前記一方に押し付け、密着さ
せることで流路系を密封するようにしたことを特徴とす
る微細穴の処理装置を提供することにより、上述した課
題を解決した。
の流体圧供給装置、各流体圧供給装置と連結されかつ溶
媒を入れた一対のカートリッジＢ、各カートリッジＢと
配管で上層部同士が連結されかつ前記溶媒に砥粒を加え
たスラリーを入れた一対のカートリッジＡ、及び各カー
トリッジＡ下層部と配管で連結された一対のワーク保持
具を有し、前記ワーク保持具の少なくとも一方は軸方向
貫通微細穴を有するワークを保持し、さらに前記ワーク
保持具の一方はベースに固定した固定ブロックに固定さ
れ、前記一対の流体圧供給装置、カートリッジＢ及びカ
ートリッジＡの各一方は前記ベースに固定され、前記ワ
ーク保持具の他方は前記ベースに固定されたテーブルに
固定されたアクチュエータに連結された移動ブロックに
固定されて前記アクチュエータによりテーブル上を往復
動可能に支持され、前記カートリッジＢ及びカートリッ
ジＡの各他方は前記移動ブロックに固定支持され、前記
ワーク保持具の前記他方は前記アクチュエータにより、
前記一対のワーク保持具の前記一方に押し付け、密着さ
せることで流路系を密封するようにしたことを特徴とす
る微細穴の処理装置を提供することにより、上述した課
題を解決した。
【０００８】かかる構成によると一対のワーク保持具の
他方はアクチュエータに連結された移動ブロックに固定
されて前記アクチュエータにより一対のワーク保持具の
一方に押し付け密着させることで流路系を密封するよう
にしたので、ワークの密封を自動式で行い生産性を向上
させることができる装置を提供するものとなった。
他方はアクチュエータに連結された移動ブロックに固定
されて前記アクチュエータにより一対のワーク保持具の
一方に押し付け密着させることで流路系を密封するよう
にしたので、ワークの密封を自動式で行い生産性を向上
させることができる装置を提供するものとなった。
【０００９】好ましくは、前記一対のカートリッジＡに
は、前記溶媒に砥粒を加えたスラリーを入れる代わり
に、前記溶媒のみ、又は前記溶媒に、砥粒又はプラスチ
ック材及びガラス材を含む表面処理添加物を入れ、ワー
クの微細穴を洗浄又は表面処理するようにしてもよい。
は、前記溶媒に砥粒を加えたスラリーを入れる代わり
に、前記溶媒のみ、又は前記溶媒に、砥粒又はプラスチ
ック材及びガラス材を含む表面処理添加物を入れ、ワー
クの微細穴を洗浄又は表面処理するようにしてもよい。
【００１０】また、カートリッジＢの前記他方とは、フ
レキシブルチューブにより連結されることにより、アク
チュエータに連結された移動ブロックは、前記一対のカ
ートリッジＢの他方及びカートリッジＡの他方のみを支
持するものとなり、軽量にできる。さらに好ましくは、
各前記ワーク保持具とカートリッジＡとは、ほぼ垂直方
向の配管により連結されることにより、配管内のスラリ
ーの通過をよくし、配管の保護を図ることができる。な
お、ワークを複数個取りにした場合において、前記ワー
ク保持具の内部に、各前記ワークへの流入経路を個々に
設けることにより、ワーク保持具の内部及び配管内のス
ラリーの通過をよくし、配管の保護を図ることができ
る。
レキシブルチューブにより連結されることにより、アク
チュエータに連結された移動ブロックは、前記一対のカ
ートリッジＢの他方及びカートリッジＡの他方のみを支
持するものとなり、軽量にできる。さらに好ましくは、
各前記ワーク保持具とカートリッジＡとは、ほぼ垂直方
向の配管により連結されることにより、配管内のスラリ
ーの通過をよくし、配管の保護を図ることができる。な
お、ワークを複数個取りにした場合において、前記ワー
ク保持具の内部に、各前記ワークへの流入経路を個々に
設けることにより、ワーク保持具の内部及び配管内のス
ラリーの通過をよくし、配管の保護を図ることができ
る。
【００１１】各前記ワーク保持具とカートリッジＡと
は、配管の外周を別の管で覆った２重構造配管とするこ
とにより、配管が破損しても外部にスラリーが飛び散る
ことがなく、安全性を高めるものとなった。
は、配管の外周を別の管で覆った２重構造配管とするこ
とにより、配管が破損しても外部にスラリーが飛び散る
ことがなく、安全性を高めるものとなった。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態を示す
軸方向貫通微細穴処理装置の概略正面図で図示しないエ
アコンプレッサが適当な配管で一対の流体圧供給装置で
ある増圧器9、10と連結され（エアコンプレッサと連結さ
れた一対の増圧器の代わりに、一対のスラリーポンプを
含む流体圧ポンプ、流体圧シリンダ又は流体圧アキュム
レータであってもよい）、各増圧器9、10は溶媒 2を入れ
た一対のカートリッジＢ 21、22とフレキシブルチューブ
14、配管15により連結され、各カートリッジＢ 21、22は
配管 16、17で溶媒 2に砥粒を加えたスラリー3 を入れた
カートリッジＡ 31、32の上層部同志と連結されている。
各カートリッジＡ 31、32下層部は配管 12、13で一対のフ
ェルール保持具11、6と連結されている。図２では、一対
のフェルール保持具11、6の一方11にワークである図示し
ない軸方向貫通微細穴を有するフェルール 5を保持し、
他方のフェルール保持具 6には一方のフェルール保持具
11のフェルール 5に対応した流入経路28のみを有する
（フェルール保持具11、6の両方にフェルール 5を保持す
るようにしてもよい）。溶媒 2は、水性溶媒、油、アル
コールを含む。一対のフェルール保持具 6、11の一方11
はベース1に固定した固定ブロック 4に固定され、増圧
器の一方10、カートリッジＢ及びカートリッジＡの各１
方 22、32はベース 1に固定され、一対のフェルール保持
具の他方 6はベース 1に固定されたテーブル20に固定さ
れたアクチュエータであるシリンダ19のロッド 8（電磁
アクチュエータ駆動であってもよい）に連結された移動
ブロック 7に固定されて、シリンダ19のロッド 8により
テーブル上を往復動可能に支持されている。一対のカー
トリッジＢの他方及びカートリッジＡの各他方 21、31は
移動ブロック 7に固定部材18により固定支持され、ワー
クである軸方向貫通微細穴を有するフェルール 5はフェ
ルール保持具の一方11に複数個取付け、一対のフェルー
ル保持具の他方 6はシリンダ19のロッド 8により、フェ
ルール保持具の一方11に押し付け密着させることで流路
系を密封するようにした。
軸方向貫通微細穴処理装置の概略正面図で図示しないエ
アコンプレッサが適当な配管で一対の流体圧供給装置で
ある増圧器9、10と連結され（エアコンプレッサと連結さ
れた一対の増圧器の代わりに、一対のスラリーポンプを
含む流体圧ポンプ、流体圧シリンダ又は流体圧アキュム
レータであってもよい）、各増圧器9、10は溶媒 2を入れ
た一対のカートリッジＢ 21、22とフレキシブルチューブ
14、配管15により連結され、各カートリッジＢ 21、22は
配管 16、17で溶媒 2に砥粒を加えたスラリー3 を入れた
カートリッジＡ 31、32の上層部同志と連結されている。
各カートリッジＡ 31、32下層部は配管 12、13で一対のフ
ェルール保持具11、6と連結されている。図２では、一対
のフェルール保持具11、6の一方11にワークである図示し
ない軸方向貫通微細穴を有するフェルール 5を保持し、
他方のフェルール保持具 6には一方のフェルール保持具
11のフェルール 5に対応した流入経路28のみを有する
（フェルール保持具11、6の両方にフェルール 5を保持す
るようにしてもよい）。溶媒 2は、水性溶媒、油、アル
コールを含む。一対のフェルール保持具 6、11の一方11
はベース1に固定した固定ブロック 4に固定され、増圧
器の一方10、カートリッジＢ及びカートリッジＡの各１
方 22、32はベース 1に固定され、一対のフェルール保持
具の他方 6はベース 1に固定されたテーブル20に固定さ
れたアクチュエータであるシリンダ19のロッド 8（電磁
アクチュエータ駆動であってもよい）に連結された移動
ブロック 7に固定されて、シリンダ19のロッド 8により
テーブル上を往復動可能に支持されている。一対のカー
トリッジＢの他方及びカートリッジＡの各他方 21、31は
移動ブロック 7に固定部材18により固定支持され、ワー
クである軸方向貫通微細穴を有するフェルール 5はフェ
ルール保持具の一方11に複数個取付け、一対のフェルー
ル保持具の他方 6はシリンダ19のロッド 8により、フェ
ルール保持具の一方11に押し付け密着させることで流路
系を密封するようにした。
【００１３】作動においては、図１のフェルール保持具
11、6が開かれた状態でワークであるフェルール 5を複数
個フェルール保持具の一方11に取付け、フェルール保持
具の他方 6をシリンダ19のロッド 8によりフェルール保
持具の一方11に押し付け密着させ密封する。次に図示し
ないエアコンプレッサを稼動し圧縮空気を図示しないフ
ィルタレギュレータを介して所定の圧力に制御し、右側
の増圧器 9に送気する。増圧器 9と連通する右側のカー
トリッジＢ21内部の溶媒 2を空気圧の25倍に増圧し、右
側のカートリッジＢ21内の溶媒 2に流体圧を加える。カ
ートリッジＢ21内の溶媒 2は右側のカートリッジＡ31内
に注送され、カートリッジＡ31内の溶媒2に流体圧を加
えることになる。このことにより、カートリッジＡ31内
のフェルール保持具 6に接続してある配管12を通って溶
媒 2に砥粒を加えたスラリー 3がフェルール 5の軸方向
貫通微細穴内面に注送されることになる。研磨はスラリ
ー3がフェルール 5の微細穴内面を流動することにより
行われる。右側のカートリッジＡ31のスラリー 3が左側
のカートリッジＡ32に注送されて移動し終わった(1パス
目) 後、左側の増圧器10内部の溶媒 2を増圧し、溶媒 2
に砥粒を加えたスラリー 3は逆向きに注送される(2パス
目で1 往復) 。この流動動作を繰り返してワークである
フェルール 5の微細穴を研磨する。
11、6が開かれた状態でワークであるフェルール 5を複数
個フェルール保持具の一方11に取付け、フェルール保持
具の他方 6をシリンダ19のロッド 8によりフェルール保
持具の一方11に押し付け密着させ密封する。次に図示し
ないエアコンプレッサを稼動し圧縮空気を図示しないフ
ィルタレギュレータを介して所定の圧力に制御し、右側
の増圧器 9に送気する。増圧器 9と連通する右側のカー
トリッジＢ21内部の溶媒 2を空気圧の25倍に増圧し、右
側のカートリッジＢ21内の溶媒 2に流体圧を加える。カ
ートリッジＢ21内の溶媒 2は右側のカートリッジＡ31内
に注送され、カートリッジＡ31内の溶媒2に流体圧を加
えることになる。このことにより、カートリッジＡ31内
のフェルール保持具 6に接続してある配管12を通って溶
媒 2に砥粒を加えたスラリー 3がフェルール 5の軸方向
貫通微細穴内面に注送されることになる。研磨はスラリ
ー3がフェルール 5の微細穴内面を流動することにより
行われる。右側のカートリッジＡ31のスラリー 3が左側
のカートリッジＡ32に注送されて移動し終わった(1パス
目) 後、左側の増圧器10内部の溶媒 2を増圧し、溶媒 2
に砥粒を加えたスラリー 3は逆向きに注送される(2パス
目で1 往復) 。この流動動作を繰り返してワークである
フェルール 5の微細穴を研磨する。
【００１４】かかる構成によると、一対のフェルール保
持具の他方 6はシリンダ19のロッド8に連結された移動
ブロック 7に固定されて、シリンダ19のロッド 8により
一対のフェルール保持具の一方11に押し付け、密着させ
ることで流路系を密封するようにしたので、ワークであ
るフェルール 5の密封を自動式で行い、生産性を向上さ
せることができる装置を提供するものとなった。
持具の他方 6はシリンダ19のロッド8に連結された移動
ブロック 7に固定されて、シリンダ19のロッド 8により
一対のフェルール保持具の一方11に押し付け、密着させ
ることで流路系を密封するようにしたので、ワークであ
るフェルール 5の密封を自動式で行い、生産性を向上さ
せることができる装置を提供するものとなった。
【００１５】図１の本発明の実施の形態を示す微細穴処
理装置では、前記一対のカートリッジＡには、前記溶媒
に砥粒を加えたスラリーを入れたが、これに代わり前記
溶媒のみ、又は前記溶媒に、砥粒又はプラスチック材及
びガラス材を含む表面処理添加物を入れ、前記ワークの
軸方向貫通微細穴を洗浄又は表面処理するようにしても
よい。また図１の本発明の実施の形態を示す微細穴処理
装置では、増圧器の前記他方 9はベース 1に固定され、
カートリッジＢの他方31とは、フレキシブルチューブ14
により連結されているので、シリンダ19のロッド 8に連
結された移動ブロック 7は、カートリッジＢの他方21及
びカートリッジＡの他方31のみ支持するものとなり軽量
にできる。
理装置では、前記一対のカートリッジＡには、前記溶媒
に砥粒を加えたスラリーを入れたが、これに代わり前記
溶媒のみ、又は前記溶媒に、砥粒又はプラスチック材及
びガラス材を含む表面処理添加物を入れ、前記ワークの
軸方向貫通微細穴を洗浄又は表面処理するようにしても
よい。また図１の本発明の実施の形態を示す微細穴処理
装置では、増圧器の前記他方 9はベース 1に固定され、
カートリッジＢの他方31とは、フレキシブルチューブ14
により連結されているので、シリンダ19のロッド 8に連
結された移動ブロック 7は、カートリッジＢの他方21及
びカートリッジＡの他方31のみ支持するものとなり軽量
にできる。
【００１６】従来の技術では、高速流動研磨により、各
フェルール保持具及び配管内にスラリーが堆積し易い。
本実施の形態を示す微細穴処理装置では、各フェルール
保持具6、11と各カートリッジＡ 31、32とは、ほぼ垂直方
向の配管 12、13により連結されることにより、それによ
り、配管長さを短くし、配管 12、13内のスラリー 3の通
過をよくし、配管 12、13の保護を図ることができる。
フェルール保持具及び配管内にスラリーが堆積し易い。
本実施の形態を示す微細穴処理装置では、各フェルール
保持具6、11と各カートリッジＡ 31、32とは、ほぼ垂直方
向の配管 12、13により連結されることにより、それによ
り、配管長さを短くし、配管 12、13内のスラリー 3の通
過をよくし、配管 12、13の保護を図ることができる。
【００１７】図２は本発明の別の実施の形態を示す微細
穴処理装置であり、ワークであるフェルール 5の６個取
りのフェルール保持具11、6であり、直列に１個づつ入
れ、並列に６列とし、円周上に配列したフェルール保持
具の具体例である。左側フェルール保持具11は、Ｏリン
グ40を介して取付けられた６個のフェルール 5への流入
経路29を個々に６経路設けたワーク保持具本体27を有す
る。右側フェルール保持具 6も、ワーク保持具本体27の
ワーク６個に対応した、流入経路28を個々に６経路設け
たワーク保持具本体26を有し、Ｏリング41を介して取付
けられている。フェルール 5を複数個取りにした場合に
おいて、フェルール保持具11、6の及びワーク保持具本体
27、26内部に、各フェルールへの流入経路 29、28を個々
に設けたので、フェルール保持具11、6及びワーク保持具
本体 27、26内部に、スラリーが堆積しにくくできる。
穴処理装置であり、ワークであるフェルール 5の６個取
りのフェルール保持具11、6であり、直列に１個づつ入
れ、並列に６列とし、円周上に配列したフェルール保持
具の具体例である。左側フェルール保持具11は、Ｏリン
グ40を介して取付けられた６個のフェルール 5への流入
経路29を個々に６経路設けたワーク保持具本体27を有す
る。右側フェルール保持具 6も、ワーク保持具本体27の
ワーク６個に対応した、流入経路28を個々に６経路設け
たワーク保持具本体26を有し、Ｏリング41を介して取付
けられている。フェルール 5を複数個取りにした場合に
おいて、フェルール保持具11、6の及びワーク保持具本体
27、26内部に、各フェルールへの流入経路 29、28を個々
に設けたので、フェルール保持具11、6及びワーク保持具
本体 27、26内部に、スラリーが堆積しにくくできる。
【００１８】従来の技術では、12.25MPaの流体圧でスラ
リーを注送するため、各フェルール保持具と各カートリ
ッジＡとは、カートリッジＡとフェルール保持具を接続
している管の内壁が摩耗し、肉厚が減少することで、管
の耐圧強度が低下する可能性があった。図３に示すよう
に、本発明の他の実施の形態を示す微細穴処理装置で
は、フェルール保持具6、11と各カートリッジＡ 31、32と
を連結する配管 12、13は、配管金具 25、25に接続され、
鋼管である配管 12、13の外周を覆うように耐高圧ホース
23、24を差込み、鋼管である配管 12、13の両端部で耐高
圧ホース外周をホースバンド 26、27で締めて２重構造配
管とすることにより、配管 12、13が破損しても外部にス
ラリー 3が飛び散ることがなく、安全性を高めるものと
なった。
リーを注送するため、各フェルール保持具と各カートリ
ッジＡとは、カートリッジＡとフェルール保持具を接続
している管の内壁が摩耗し、肉厚が減少することで、管
の耐圧強度が低下する可能性があった。図３に示すよう
に、本発明の他の実施の形態を示す微細穴処理装置で
は、フェルール保持具6、11と各カートリッジＡ 31、32と
を連結する配管 12、13は、配管金具 25、25に接続され、
鋼管である配管 12、13の外周を覆うように耐高圧ホース
23、24を差込み、鋼管である配管 12、13の両端部で耐高
圧ホース外周をホースバンド 26、27で締めて２重構造配
管とすることにより、配管 12、13が破損しても外部にス
ラリー 3が飛び散ることがなく、安全性を高めるものと
なった。
【図１】本発明の実施の形態を示す微細穴処理装置の概
略縦断面図を示す。
略縦断面図を示す。
【図２】本発明の別の実施の形態を示す微細穴処理装置
であり、ワークであるフェルールの６個取りのフェルー
ル保持具を示す概略部分断面図である。
であり、ワークであるフェルールの６個取りのフェルー
ル保持具を示す概略部分断面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態を示す微細穴処理装置
の配管の概略部分断面図である。
の配管の概略部分断面図である。
【図４】従来の微細穴処理装置の概略縦断面図を示す。
【図５】図４のフェルール保持具の詳細図を示す。
【符号の説明】
1・・・ベース 2・・・溶媒 3・・・スラリー
4・・・固定ブロック 5・・・ワーク（フェルール）
6、11・・ワーク保持具（フェルール保持具） 7・・・移動
ブロック 8・・・ロッド 9、10・・・ 増圧器（流体圧供
給装置） 12、13、15、16、17・・・ 配管 14・・フレキシブルチューブ 18・・・ 固定部材 19・・・ シリンダ（アクチュ
エータ） 20・・・ テーブル 21、22・・ カートリッジＢ 26、27・・・ワーク保持具本体 31、32・・ カートリッジＡ
ブロック 8・・・ロッド 9、10・・・ 増圧器（流体圧供
給装置） 12、13、15、16、17・・・ 配管 14・・フレキシブルチューブ 18・・・ 固定部材 19・・・ シリンダ（アクチュ
エータ） 20・・・ テーブル 21、22・・ カートリッジＢ 26、27・・・ワーク保持具本体 31、32・・ カートリッジＡ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１４年１１月１２日（２００２．１１．
１２）
１２）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】このため本発明は、一対
の流体圧供給装置、各流体圧供給装置からの加圧流体が
作用する溶媒に砥粒を加えたスラリーを入れた一対のカ
ートリッジＡ、及び各カートリッジＡ下層部と配管で連
結された一対のワーク保持具を有し、前記ワーク保持具
の少なくとも一方は軸方向貫通微細穴を有するワークを
保持し、さらに前記ワーク保持具の一方はベースに固定
した固定ブロックに固定され、前記一対の流体圧供給装
置及びカートリッジＡの各一方は前記ベースに固定さ
れ、前記ワーク保持具の他方は前記ベースに固定された
テーブルに固定されたアクチュエータに連結された移動
ブロックに固定されて前記アクチュエータによりテーブ
ル上を往復動可能に支持され、前記カートリッジＡの他
方は前記移動ブロックに固定支持され、前記ワーク保持
具の前記他方は前記アクチュエータにより、前記一対の
ワーク保持具の前記一方に押し付け、密着させることで
流路系を密封するようにしたことを特徴とする微細穴の
処理装置を提供することにより、上述した課題を解決し
た。
の流体圧供給装置、各流体圧供給装置からの加圧流体が
作用する溶媒に砥粒を加えたスラリーを入れた一対のカ
ートリッジＡ、及び各カートリッジＡ下層部と配管で連
結された一対のワーク保持具を有し、前記ワーク保持具
の少なくとも一方は軸方向貫通微細穴を有するワークを
保持し、さらに前記ワーク保持具の一方はベースに固定
した固定ブロックに固定され、前記一対の流体圧供給装
置及びカートリッジＡの各一方は前記ベースに固定さ
れ、前記ワーク保持具の他方は前記ベースに固定された
テーブルに固定されたアクチュエータに連結された移動
ブロックに固定されて前記アクチュエータによりテーブ
ル上を往復動可能に支持され、前記カートリッジＡの他
方は前記移動ブロックに固定支持され、前記ワーク保持
具の前記他方は前記アクチュエータにより、前記一対の
ワーク保持具の前記一方に押し付け、密着させることで
流路系を密封するようにしたことを特徴とする微細穴の
処理装置を提供することにより、上述した課題を解決し
た。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】また、カートリッジＡの前記他方とは、フ
レキシブルチューブにより連結されることにより、アク
チュエータに連結された移動ブロックは、前記一対のカ
ートリッジＡの他方のみを支持するものとなり、軽量に
できる。さらに好ましくは、各前記ワーク保持具とカー
トリッジＡとは、ほぼ垂直方向の配管により連結される
ことにより、配管内のスラリーの通過をよくし、配管の
保護を図ることができる。なお、ワークを複数個取りに
した場合において、前記ワーク保持具の内部に、各前記
ワークへの流入経路を個々に設けることにより、ワーク
保持具の内部及び配管内のスラリーの通過をよくし、配
管の保護を図ることができる。
レキシブルチューブにより連結されることにより、アク
チュエータに連結された移動ブロックは、前記一対のカ
ートリッジＡの他方のみを支持するものとなり、軽量に
できる。さらに好ましくは、各前記ワーク保持具とカー
トリッジＡとは、ほぼ垂直方向の配管により連結される
ことにより、配管内のスラリーの通過をよくし、配管の
保護を図ることができる。なお、ワークを複数個取りに
した場合において、前記ワーク保持具の内部に、各前記
ワークへの流入経路を個々に設けることにより、ワーク
保持具の内部及び配管内のスラリーの通過をよくし、配
管の保護を図ることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】図１の本発明の実施の形態を示す微細穴処
理装置では、前記一対のカートリッジＡには、前記溶媒
に砥粒を加えたスラリーを入れたが、これに代わり前記
溶媒のみ、又は前記溶媒に、砥粒又はプラスチック材及
びガラス材を含む表面処理添加物を入れ、前記ワークの
軸方向貫通微細穴を洗浄又は表面処理するようにしても
よい。また図１の本発明の実施の形態を示す微細穴処理
装置では、増圧器の前記他方 9はベース 1に固定され、
カートリッジＡの他方31は、カートリッジＢの他方21を
介してフレキシブルチューブ14により連結されているの
で、シリンダ19のロッド 8に連結された移動ブロック 7
は、カートリッジＢの他方21及びカートリッジＡの他方
31のみ支持するものとなり軽量にできる。
理装置では、前記一対のカートリッジＡには、前記溶媒
に砥粒を加えたスラリーを入れたが、これに代わり前記
溶媒のみ、又は前記溶媒に、砥粒又はプラスチック材及
びガラス材を含む表面処理添加物を入れ、前記ワークの
軸方向貫通微細穴を洗浄又は表面処理するようにしても
よい。また図１の本発明の実施の形態を示す微細穴処理
装置では、増圧器の前記他方 9はベース 1に固定され、
カートリッジＡの他方31は、カートリッジＢの他方21を
介してフレキシブルチューブ14により連結されているの
で、シリンダ19のロッド 8に連結された移動ブロック 7
は、カートリッジＢの他方21及びカートリッジＡの他方
31のみ支持するものとなり軽量にできる。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 清都 俊之
富山県富山市不二越本町一丁目１番１号株
式会社不二越内
Ｆターム(参考） 3C043 AC03 CC07 DD05
3C049 AA07 AA11 AB04 AC04 CB03
3C058 AA07 AA11 AB04 AC04 CB03
Claims (6)
- 【請求項１】一対の流体圧供給装置、各流体圧供給装置
と連結されかつ溶媒を入れた一対のカートリッジＢ、各
カートリッジＢと配管で上層部同士が連結されかつ前記
溶媒に砥粒を加えたスラリーを入れた一対のカートリッ
ジＡ、及び各カートリッジＡ下層部と配管で連結された
一対のワーク保持具を有し、前記ワーク保持具の少なく
とも一方は軸方向貫通微細穴を有するワークを保持し、
さらに前記ワーク保持具の一方はベースに固定した固定
ブロックに固定され、前記一対の流体圧供給装置、カー
トリッジＢ及びカートリッジＡの各一方は前記ベースに
固定され、前記ワーク保持具の他方は前記ベースに固定
されたテーブルに固定されたアクチュエータに連結され
た移動ブロックに固定されて前記アクチュエータにより
テーブル上を往復動可能に支持され、前記カートリッジ
Ｂ及びカートリッジＡの各他方は前記移動ブロックに固
定支持され、前記ワーク保持具の前記他方は前記アクチ
ュエータにより、前記一対のワーク保持具の前記一方に
押し付け、密着させることで流路系を密封するようにし
たことを特徴とする微細穴の処理装置。 - 【請求項２】前記一対のカートリッジＡには、前記溶媒
のみ、又は前記溶媒に砥粒又はプラスチック材及びガラ
ス材を含む表面処理添加物を入れたことを特徴とする請
求項１記載の微細穴の処理装置。 - 【請求項３】前記流体圧供給装置の前記他方は前記ベー
スに固定され、前記流体圧供給装置の前記他方と前記カ
ートリッジＢの前記他方とは、フレキシブルチューブに
より連結されたことを特徴とする請求項１記載の微細穴
の処理装置。 - 【請求項４】各前記ワーク保持具と各前記カートリッジ
Ａとは、ほぼ垂直方向の配管により連結されたことを特
徴とする請求項１記載の微細穴の処理装置。 - 【請求項５】ワークを複数個取りにした場合において、
前記ワーク保持具の内部に、各前記ワークへの流入経路
を個々に設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２
記載の微細穴の処理装置。 - 【請求項６】各前記ワーク保持具とカートリッジＡと
は、配管の外周を別の管で覆った２重構造配管としたこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載
の微細穴の処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002250325A JP2003300148A (ja) | 2002-02-08 | 2002-08-29 | 微細穴の処理装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002-32194 | 2002-02-08 | ||
| JP2002032194 | 2002-02-08 | ||
| JP2002250325A JP2003300148A (ja) | 2002-02-08 | 2002-08-29 | 微細穴の処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003300148A true JP2003300148A (ja) | 2003-10-21 |
Family
ID=29404989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002250325A Pending JP2003300148A (ja) | 2002-02-08 | 2002-08-29 | 微細穴の処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003300148A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110977787A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-04-10 | 国营第六一六厂 | 一种精确快速液力挤压滑阀微细计量孔夹具 |
-
2002
- 2002-08-29 JP JP2002250325A patent/JP2003300148A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110977787A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-04-10 | 国营第六一六厂 | 一种精确快速液力挤压滑阀微细计量孔夹具 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051117 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051206 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060411 |