JP2004001211A - 微細穴の処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】多数のワーク充填ができ、かつ流体スラリーがワーク保持具を含む配管内に堆積しにくいワーク保持具で、頻繁にワーク保持具を含む配管内の洗浄を必要としない微細穴の処理装置のワーク保持具を提供。
【解決手段】ほぼ中央に流通穴３を設けた、本体４１と本体４１に嵌合し複数個の軸方向ワーク保持孔５を有する蓋４２と、を有し、蓋４２の嵌合面は円錐面４６を形成する。円錐面４６上に本体流通穴３と連通する中央溝４４と中央溝４４と複数個の軸方向ワーク保持孔５と連通する流入経路６と連通する放射状溝４５を設けた。本体４１に蓋４２をすることにより、密封した放射状流入経路を形成する。
【選択図】図５

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はφ５．０ｍｍ　以下の丸穴、角穴、ストレート穴、テーパ穴、曲がり穴などで構成された穴を有する部品の内面処理（研磨、洗浄、バリ取り、コーナＲ成形、面取り、表面処理）を行う、溶媒のみ、又は溶媒に砥粒、プラスチック材及び／又はガラス材を含む表面処理添加物を入れたスラリーをを使用した微細穴の処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の微細穴の処理装置としては、例えば非特許文献１に記載するように、φ１ｍｍ　以下の内径を有する長尺のステンレス鋼製極細管の内面をスラリーを高速でその中を往復動させることによって研磨する方法：高速流動研磨法が報告されている。また、非特許文献２に記載するように、ジルコニアセラミックフェルール微細穴内面（φ０．１２ｍｍ）の加工精度（形状精度と面精度）の向上をねらいに、高速流動研磨法が有効であることが報告されている。その論文での高速流動研磨装置を、図１５、図１６に示す。
【０００３】
【非特許文献１】精密工学会誌６４．１（１９９８）、６４．８（１９９８）、６４．９（１９９８）の「　極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨」
【非特許文献２】精密工学会誌６７．２（２００１）「　光コネクタ用セラミックフェルール微細穴内壁面の高速流動研磨」
【０００４】
図１５に示す従来の軸方向貫通微細穴の処理装置は、エアコンプレッサ５１、直圧式増圧器　５２、５２、触媒としてイオン交換水５８が入れられたカートリッジＡ　５７、５７、触媒としてイオン交換水５８と砥粒５５としてアルミナとの混合物であるスラリーが入れられたカートリッジＢ　５６、５６及びフェルール保持具　５３、５４で構成されている。カートリッジＡ　５７、５７は直圧式増圧器　５２、５２に砥粒５５が侵入することを防ぎ、装置の耐久性を向上させるためのトラップである。
図１６に図１５のフェルール保持具　５３、５４の詳細図を示す。保持具　５３、５４は、２個のフランジ付ステンレス鋼円筒容器　６６、６６から成り、左右の円筒容器　６６、６６には中肉の厚肉エポキシ樹脂円筒管　６３、６３が挿入され、その外側にグランドパッキン　６４、６４が蜜に詰め込まれ、砥粒５５とイオン交換水５８との混合物であるスラリーが回り込まないよう配慮されている。セラミックフェルール　６２、６２を直列にエポキシ樹脂円筒管　６３、６３の中に入れ、左右の円筒容器　６６、６６を仕切る板６０を介して向き合わせ、フランジ部には高圧の流体圧に耐えスラリーが洩れないように２重にＯリング　６１、６１を挿入し、左右フランジ部をボルト　６５、６５で締め付ける。フェルール保持具　５３、５４とカートリッジＢ　５６、５６は配管用継ぎ手　５９、５９で接続する。
【０００５】
作動においては、エアコンプレッサ５１を稼動し圧縮空気を図示しないフィルタレギュレータを介して所定の圧力（０．４９ＭＰａ）　に制御し、右（左）側の直圧式増圧器　５２、５２に送気する。直圧式増圧器　５２、５２と連通する右（左）側のカートリッジＢ　５７、５７内部のイオン交換水５８を空気圧の２５倍に増圧し、右（左）側のカートリッジＢ　５７、５７内のイオン交換水５８に流体圧を加える。カートリッジＢ　５７、５７内のイオン交換水５８は右（左）側のカートリッジＡ　５６、５６内に注送され、カートリッジＡ　５６、５６内のイオン交換水５８に流体圧を加えることになる。このことにより、カートリッジＡ　５６、５６内のフェルール保持具　５３、５４に接続してある管を通ってスラリーがフェルール　６２、６２内面に注送されることになる。研磨はスラリーがフェルール　６２、６２内面を流動することにより行われる。右（左）側のカートリッジＡ５６、５６のスラリーが左（右）側のカートリッジＡ　５６、５６に注送されて移動し終わった（１パス目）　後、左（右）側の直圧式増圧器　５２、５２内部のイオン交換水５８を増圧し、スラリーは逆向きに注送される（２パス目で１　往復）　。この流動動作を繰り返してフェルールの微細穴内を研磨する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図１５、図１６に示す従来の軸方向貫通微細穴の処理装置では、ワーク充填は直列に２個といった少数で、２個のフランジ付ステンレス鋼円筒容器　６６、６６をいちいち分解・組立して作業しなければならず、能率が悪く生産性が良いとは言えない。また従来の技術では、高速流動研磨により流体スラリーがワーク保持具を含む配管内に堆積しやすく、次のワーク充填の障害ともなり、頻繁にワーク保持具を含む配管内の洗浄が必要であった。
【０００７】
本発明の第１課題は、かかる従来の微細穴の処理装置の課題を解決した、多数のワーク充填ができ、かつ流体スラリーがワーク保持具を含む配管内に堆積しにくい微細穴の処理装置を提供することにある。
本発明の第２課題は、多数のワーク充填ができ、流体スラリーがワーク保持具を含む配管内に堆積しにくく、加工が容易でかつ流体スラリー通路の洗浄が容易な微細穴の処理装置を提供することにある。
本発明の第３課題は、ワークはそれぞれが、複数個の被加工微細穴を有する複数個のワーク充填ができ、流体スラリーがワーク保持具を含む配管内に堆積しにくいワーク保持具で、加工が容易でかつ流体スラリー通路の洗浄が容易な微細穴の処理装置を提供することにある。
本発明の第４課題は、微細穴を有するワークの特定部位を効果的に研磨、洗浄する微細穴の処理装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このため本発明の第１発明は、溶媒のみ又は溶媒に表面処理添加物を入れたスラリーをワークの微細穴内に通過させて、前記微細穴内周を流動研磨する微細穴の処理装置において、前記ワークを複数個保持するワーク保持具は、流通穴と、流通穴からワーク個々に流通経路が設けられていることを特徴とする微細穴の処理装置を提供することにより、上述した第１課題を解決した。
【０００９】
本発明の第２発明は、溶媒のみ又は溶媒に表面処理添加物を入れたスラリーをワークの微細穴内に通過させて、前記微細穴内周を流動研磨する微細穴の処理装置において、前記ワークを複数個保持するワーク保持具は、流通穴を設けた本体と、本体に嵌合し複数個の軸方向ワーク保持孔を有する蓋と、を有し、前記本体又は蓋の嵌合面はフラット面又は円錐面を形成しかつ前記フラット面又は円錐面上に前記流通穴と連通する中央溝と中央溝と前記複数個の軸方向ワーク保持孔と連通する放射状溝により形成される流通経路を設けたことを特徴とする微細穴の処理装置を提供することにより、上述した第２課題を解決した。
【００１０】
【発明の効果】本発明の第１発明の構成によると、多数のワーク充填ができ、かつ流体スラリーが多数のワーク充填孔に個々に送りこまれる流体スラリー量のばらつきを抑制することができる微細穴の処理装置を提供するものとなった。
好ましくは、流通経路は、前記流通穴からワーク個々に放射状の穴又は配管により前記流通経路が形成されていることにより、多数のワーク充填孔に個々に送りこまれる流体スラリーをスムーズに流れ易くし、スラリー内の砥粒がワーク保持具を含む配管内に堆積しにくい微細穴の処理装置を提供するものとなった。
【００１１】
本発明の第２発明の構成によると、多数のワーク充填ができ、かつ流体スラリーがワーク保持具を含む配管内に堆積しにくいワーク保持具で、複数個の軸方向ワーク保持孔と連通する放射状溝の加工が容易になり、流体スラリー通路の位置が正確に形成でき、かつ流体スラリーがスムーズにはがれ易く、中央溝と中央溝と連通する放射状溝の洗浄が容易な微細穴の処理装置を提供するものとなった。
【００１２】
好ましくは、前記ワークはそれぞれが、複数個の被加工微細穴を有することを特徴とする請求項３乃至請求項６のいずれか１に記載の微細穴の処理装置を提供することにより、上述した第３課題を解決した。
さらに好ましくは、前記流通経路内に介在物を設置し、前記溶媒のみ又は溶媒に表面処理添加物を入れたスラリーの流れを制御するようにしたことを特徴とする請求項３乃至請求項６のいずれか１に記載の微細穴の処理装置を提供することにより、上述した第４課題を解決した。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１〜図３は本発明の第１発明の実施の形態を示す、φ５．０ｍｍ　以下の丸穴、角穴、ストレート穴、テーパ穴、曲がり穴などで構成された穴を有する部品ワークの内面処理（研磨、洗浄、バリ取り、コーナＲ成形、面取り、表面処理）を行う、溶媒のみ、又は溶媒に砥粒、プラスチック材及び／又はガラス材を含む表面処理添加物を入れたスラリーをワークの微細穴内に通過させて、前記微細穴内周を流動研磨する微細穴の処理装置のワーク保持具を示し、各図において（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図をそれぞれ示す。図１のワーク保持具はほぼ中央に流通穴３を設けた本体１と、本体１に嵌合し複数個の軸方向ワーク保持孔５を有する蓋２と、を有し、蓋２の本体との嵌合面に本体流通穴３と連通する中央孔であるスラリー溜まり４を設け（本体に設けてもよい）、スラリー溜まり４が流通穴３と連通する中央孔、及び中央孔と連通する放射状通路を形成する。放射状通路は複数個の軸方向ワーク保持孔５と連通する流入経路６と連通する。スラリー溜まり４、流入経路６により流通経路が形成される。ワークを複数個保持するワーク保持具は、流通穴と、流通穴からワーク個々に流通経路が設けられている。本体１の流通穴３から送り込んだ流体スラリーを一旦スラリー溜まり４で溜め、そこから複数個の軸方向ワーク保持孔５と連通する流入経路６を通りワーク保持孔５の個々のワークに送り込まれる。
図１のワーク保持具は、多数のワーク充填ができ、また流体スラリーが多数のワーク充填孔に個々に送りこまれる流体スラリー量のばらつきを抑制することができるワーク保持具となったが、加工が簡単ではあるが、個々のワークに送り込まれる流体スラリー量のばらつきがやや大きくなりやすく、流体スラリーの砥粒がスラリー溜まり４内に堆積しやすい。
【００１４】
図２のワーク保持具は、本体と蓋とを一体化した本体１１のほぼ中央に流通穴３を設け、流通穴３と連通する中央孔１４を設け、中央孔１４と複数個の軸方向ワーク保持孔５と連通する流入経路６と連通する放射状通路１５を形成する。図２の放射状通路１５は、３方から孔をあけ、３方からそれぞれプラグで閉じる。中央孔１４、放射状通路１５及び流入経路６により流通経路が形成される。図２のワーク保持具は、図１のワーク保持具と同様に多数のワーク充填ができ、個々に送りこまれる流体スラリー量のばらつきを抑制し、かつ流体スラリーをスムーズに流れ易くし、スラリー内の砥粒がワーク保持具を含む配管内に堆積しにくいなどの効果はあるが、放射状通路１５から軸方向ワーク保持孔５と連通する流入経路６へ直角に曲がっており、流体スラリーが流れにくく、加工が難しく、放射状通路１５の位置が出にくい、といった課題が残った。
【００１５】
図３のワーク保持具はほぼ中央に流通穴３を設けた本体２１と、本体２１に嵌合し複数個の軸方向ワーク保持孔５を有する蓋２２と、を有し、蓋２２の本体との嵌合面に本体流通穴３と連通する中央孔２４を設け、中央孔２４から軸方向ワーク保持孔５と連通する流入経路６と連通する放射状通路２５を斜め孔として形成する。図３のワーク保持具は、図２のワーク保持具と同様な効果を奏し、流体スラリーは流れ易いが、図２のワーク保持具と同様に加工が難しく、放射状通路２５の位置が出にくい、といった課題が残った。
【００１６】
図４、図５は本発明の第２発明の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具を示し、各図において（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図をそれぞれ示す。図４、図５のワークを複数個保持するワーク保持具は、ほぼ中央に流通穴３、３を設けた、本体３１、４１と本体３１、４１に嵌合し複数個の軸方向ワーク保持孔５、５を有する蓋３２、４２と、を有し、蓋３２、４２の嵌合面は図４ではフラット面３６を形成し、図５では円錐面４６を形成する。フラット面３６及び円錐面４６上に本体流通穴３、３と連通する中央溝３４、４４と中央溝３４、４４と複数個の軸方向ワーク保持孔５、５と連通する流入経路６、６と連通する放射状溝３５、４５を設けた。本体３１、４１に蓋３２、４２をすることにより、密封した放射状流入経路が形成される。なお中央溝３４、４４又は放射状溝３５、４５は本体３１、４１側に形成したフラット面又は円錐面に形成してもよい。放射状溝３５、４５の形状は図６（ａ）の半円形、（ｂ）のＵ字形又は（ｃ）の三角形のようなものがある。このうち、図６（ａ）の半円形は流体スラリーが流れ易く、洗浄も容易で好ましい。図７は図５のワーク保持具の（ａ）本体４１と（ｂ）蓋４２を示す拡大斜視図である。
【００１７】
図４、図５の微細穴処理装置のワーク保持具は、多数のワーク充填ができ、かつ複数個の軸方向ワーク保持孔と連通する放射状溝の加工が容易になり、流体スラリー通路の位置が正確に形成でき、かつ流体スラリーがスムーズにはがれ易く、流体スラリーがワーク保持具を含む配管内に堆積しにくいワーク保持具で、複数個の軸方向ワーク保持孔５、５と連通する放射状溝３５、４５の加工が容易になり、放射状溝３５、４５である流体スラリー通路の位置が正確に形成でき、かつ中央溝４４と、中央溝と連通する放射状溝３５、４５の洗浄が容易な微細穴の処理装置のワーク保持具となった。図５、図７のワーク保持具は、図４のワーク保持具に較べ放射状流入経路の曲がりが小さく、流体スラリーがよりスムーズに流れ易く、洗浄も容易で好ましい。
【００１８】
図８は図５、図７に示すワーク保持具を微細穴処理装置に組み込んだ要部断面図で、ワーク保持具の本体及び蓋は２対設けられ、各対のワーク保持具は相互に嵌合する凸面又は凹面を有し、２対のワーク保持具の一方の本体４１ａはテーブル５０の固定部材７１に固定され、２対のワーク保持具の他方の本体４１ｂはテーブル５０に往復動可能に支持された図示しないシリンダといった移動装置により往復動する移動部材７２に固定されされている。一方の本体４１ａにＯリング７３を介して取付けられた蓋４２ａには、中央溝４４と放射状溝４５、６個のワークを収容する（直列に２個以上づつ１２個以上収容してもよい）ワーク保持孔５が設けられている。他方の本体４１ｂにＯリング７３を介して取付けられた蓋４２ｂには、ワーク保持孔５、５と整合する流入経路６、６、放射状溝４５及び中央溝４４が設けられている。蓋４２ａ、４２ｂは相互に嵌合する凸面４７及び凹面４８を有し（凸面を蓋４２ｂに、凹面を蓋４２ａに設けてもよい）。４９、４９は本体４１ａ、４１ｂに流体スラリーを供給する鋼管で、蓋４２ｂを４２ａに押しつけて密着させることで、流路系を密封し図示しない６個のワークの被加工孔の加工を同時に行うようにされている。
図８の蓋４２ｂに代わり、蓋４２ｂについても蓋４２ａと同様に蓋４２ａのワーク保持孔５、５と整合する６個のワークを収容するワーク保持孔５を設けてもよい。
【００１９】
図９は本発明の第１発明の別の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図をそれぞれ示す。図９のワーク保持具はほぼ中央に流通穴３を設けた本体８１と、本体８１に嵌合し、不規則に複数個の軸方向ワーク保持孔５を有する蓋８２と、を有し、蓋８２の本体との嵌合面に本体流通穴３と連通するスラリー溜まり４を設け（本体に設けてもよい）、スラリー溜まり４が複数個の軸方向ワーク保持孔５と連通する流入経路６と連通する。スラリー溜まり４、流入経路６により流通経路が形成される。ワークを複数個保持するワーク保持具は、流通穴と、流通穴からワーク個々に流通経路が設けられている。本体８１の流通穴３から送り込んだ流体スラリーを一旦スラリー溜まり４で溜め、そこから複数個の軸方向ワーク保持孔５と連通する流入経路６を通りワーク保持孔５の個々のワークに送り込まれる。図９のワーク保持具は、不規則に多数のワーク充填ができ、生産性が高くなる。
【００２０】
図１０は本発明の第１発明のさらに別の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図をそれぞれ示す。図１０の外形が円筒形のワーク９０はそれぞれが、複数個の、図１０では各２個の、被加工微細穴９５を有し、複数個の被加工微細穴９５を有する円筒形のワーク９０はそれぞれがワーク保持孔８５に挿入されている他は図９と同じである。図１１は本発明の第１発明の他の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図をそれぞれ示す。６は流入経路で、図１１の外形が立体形のワーク９１はそれぞれが、複数個の、図１１では各４個の、被加工微細穴９６を有し、複数個の被加工微細穴９６を有する立体形のワーク９１はそれぞれがワーク保持孔８９に挿入されている他は図１０と同じである。
【００２１】
図１０、図１１において、本体８３の流通穴３から送り込んだ流体スラリーを一旦スラリー溜まり４で溜め、そこから複数個の軸方向ワーク保持孔５と連通する流入経路６を通りワーク保持孔８５、８９の個々のワーク９５、９６に送り込まれ、複数個の被加工微細穴９５、９６を有するワーク９０、９１のすべての被加工微細穴を含む加工部位を同時に加工でき、さらに複数個の被加工微細穴９５、９６を有する多数のワークを不規則に充填ができ、生産性がより高くなる。
【００２２】
図１２は本発明の第１発明のさらに他の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具の断面図を示し、流通経路　１０６内に介在物　１１４を設置し、溶媒に砥粒を加えたスラリーの流れを制御するようにしたものである。図１２のワーク保持具はほぼ中央に流通穴　１０３を設けた本体　１１１と、本体　１１１に嵌合し、複数個の軸方向ワーク保持孔　１１５を有する蓋　１１２と、を有し、蓋　１１２に嵌合し（本体　１１１に嵌合ししてもよい）本体　１１１と蓋　１１２とで挟み固定した介在物　１１４が設けられ、介在物　１１４には本体　１１１の流通穴　１０３と連通する流入経路　１０８が設けられ、流入経路　１０８はワーク保持孔　１０５と流通経路　１０６で連通する。流入路　１０７を有する第２の蓋　１１３は、流入路　１０７がワーク保持孔　１０５と水密に連通するよう蜜着固定される。
【００２３】
図１３（ａ）は図１２のＡ部を拡大した要部断面図である。介在物　１１４の介在物端面　１１５は、ワーク　１２０の加工部位　１２１付近に位置決めし、流通経路　１０６からワーク　１２０内を流動する溶媒に砥粒を加えたスラリーの流れ変え、加工したい加工部位　１２１に積極的にスラリーを当てるように制御するようにしたものである。図１３（ｂ）は介在物端面　１１５の形状を示す側面図で、介在物端面　１１５の例は、上から先端に平面を有する平面付き円筒、先端に斜面を有する斜面付き円筒、先端に凸球面を有する凸球面付き円筒、先端に凹球面を有する凹球面付き円筒、又は先端に円錐面を有する円錐面付き円筒など、加工したい加工部位およびその形状に合わせて選択できる。図１２、図１３のワーク保持具は、介在物　１１４の形状、設置位置を変えることで、ワークの任意の加工部位およびその形状を、積極的に能率よく、研磨、洗浄ができるものとなった。
【００２４】
図１４は図１３のワーク保持具の介在物　１１４を長くしかつワーク　１２０のワーク１２２内に挿入した例を示す図１３とは別の要部断面図である。ワーク　１２２内に挿入することで、流路断面積を小さくしたワーク保持具の具体例である。これにより、内径の大きいワーク丸穴、角穴など、各種穴に対しても、効率よく研磨、洗浄ができるものとなった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１発明の第１の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図を示す。
【図２】本発明の第１発明の第２の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図を示す。
【図３】本発明の第１発明の第２の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図を示す。
【図４】本発明の第２発明の第１の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図を示す。
【図５】本発明の第２発明の第２の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図を示す。
【図６】図４、図５のワーク保持具の放射状溝の断面形状を示す断面図。
【図７】図５のワーク保持具の（ａ）本体と（ｂ）蓋を示す拡大斜視図。
【図８】図５、図７に示すワーク保持具を微細穴処理装置に組み込んだ要部断面図。
【図９】本発明の第１発明の別の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図をそれぞれ示す。
【図１０】本発明の第１発明のさらに別の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図をそれぞれ示す。
【図１１】本発明の第１発明の他の実施の形態を示す微細穴処理装置のワーク保持具を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の右側面図をそれぞれ示す。
【図１２】
【図１３】（ａ）は図１２のＡ部を拡大した要部断面図、（ｂ）は介在物端面１１５の形状を示す側面図であるる。
【図１４】
【図１５】従来の軸方向貫通微細穴の処理装置を示す断面図。
【図１６】図１５のフェルール保持具　５３、５４の詳細図を示す拡大断面図。
【符号の説明】
１、１１、２１、３１、４１、４１ａ、４１ｂ、８１、８３、１１１・・本体
２、２２、３２、４２、４２ａ、４２ｂ、８２、８４、８６、１１１、１１２、１１３　・・・蓋
３、１０３　・・流通穴　　　４、１４、２４、３４、４４・・中央溝（流通経路）
５、１０５・・ワーク保持孔　　６、１０６・・流入経路（流通経路）
１５、２５、３５、４５・・放射状溝（流通経路）
３６・・フラット面　　　　　４６・・円錐面

Claims (9)

1. 溶媒のみ又は溶媒に表面処理添加物を入れたスラリーをワークの微細穴内に通過させて、前記微細穴内周を流動研磨する微細穴の処理装置において、前記ワークを複数個保持するワーク保持具は、流通穴と、流通穴からワーク個々に流通経路が設けられていることを特徴とする微細穴の処理装置。
2. 前記流通経路は、前記流通穴からワーク個々に放射状の穴又は配管により前記流通経路が形成されていることを特徴とする請求項１記載の微細穴の処理装置。
3. 溶媒のみ又は溶媒に表面処理添加物を入れたスラリーをワークの微細穴内に通過させて、前記微細穴内周を流動研磨する微細穴の処理装置において、前記ワークを複数個保持するワーク保持具は、流通穴を設けた本体と、本体に嵌合し複数個の軸方向ワーク保持孔を有する蓋と、を有し、前記本体又は蓋の嵌合面はフラット面又は円錐面を形成しかつ前記フラット面又は円錐面上に前記流通穴と連通する中央溝と中央溝と前記複数個の軸方向ワーク保持孔と連通する放射状溝により形成される流通経路を設けたことを特徴とする微細穴の処理装置。
4. 前記ワーク保持具の本体及び蓋は２対設けられ、各対のワーク保持具は相互に嵌合する凸面又は凹面を有し、２対のうちの一方の本体はテーブルの固定部材に固定され、２対のうちの他方の本体は前記テーブルに往復動可能に支持された移動部材に固定されされたことを特徴とする請求項３記載の微細穴の処理装置。
5. 前記ワーク保持具の本体及び蓋は二対設けられ、各対のワーク保持具は相互に嵌合する凸面又は凹面を有し、各対のうちの一方の本体はテーブルに往復動可能に支持された移動装置により往復動する移動部材に固定されされ、前記一方の本体に取付けられた蓋には前記流通穴と放射状溝及び複数個のワークを１個づつ又は直列に２個以上づつ収容する前記ワーク保持孔が設けられ、前記他方の本体に取付けられた蓋には前記一方の本体に取付けられた蓋の前記ワーク保持孔と整合する流通経路、放射状溝及び中央溝が設けられ、各蓋は外方に相互に嵌合する凸面又は凹面を有することを特徴とする請求項３記載の微細穴の処理装置。
6. 前記他方の本体に取付けられた蓋には前記一方の本体に取付けられた蓋の前記ワーク保持孔と整合する、複数個のワークを１個づつ又は直列に２個以上づつ収容するワーク保持孔、ワーク保持孔と整合する流通経路、放射状溝、中央溝及び流通穴が設けられたことを特徴とする請求項５記載の微細穴の処理装置。
7. 前記放射状溝の断面は半円形、Ｕ字形又三角形はであることを特徴とする請求項３乃至請求項６のいずれか１に記載の微細穴の処理装置。
8. 前記ワークはそれぞれが、複数個の被加工微細穴を有することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１に記載の微細穴の処理装置。
9. 前記流通経路内に介在物を設置し、前記溶媒のみ又は溶媒に表面処理添加物を入れたスラリーの流れを制御するようにしたことを特徴とする請求項３乃至請求項６のいずれか１に記載の微細穴の処理装置。

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