JP2003297707A - 金属化フィルムコンデンサとその製造方法および製造装置 - Google Patents
金属化フィルムコンデンサとその製造方法および製造装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 両面金属化フィルムは、原反の状態で湿気に
さらされると表裏の蒸着金属同士が接着し、次工程のス
リッタで巻き出した際に蒸着金属が剥離する問題点があ
った。 【解決手段】 フィルムの両面に蒸着金属膜を形成する
金属蒸着部と、蒸着膜のうち少なくとも片側の面にオイ
ル被膜を形成するオイル被膜形成部と、蒸着膜のうち少
なくとも片側の前記蒸着膜上に酸素を吹付ける酸素吹付
け部とを設けることを特徴としている。
さらされると表裏の蒸着金属同士が接着し、次工程のス
リッタで巻き出した際に蒸着金属が剥離する問題点があ
った。 【解決手段】 フィルムの両面に蒸着金属膜を形成する
金属蒸着部と、蒸着膜のうち少なくとも片側の面にオイ
ル被膜を形成するオイル被膜形成部と、蒸着膜のうち少
なくとも片側の前記蒸着膜上に酸素を吹付ける酸素吹付
け部とを設けることを特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種電気機器、電
子機器、産業機器に使用される金属化フィルムコンデン
サおよびその金属化フィルムの製造装置と製造方法に関
するものである。
子機器、産業機器に使用される金属化フィルムコンデン
サおよびその金属化フィルムの製造装置と製造方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】金属を蒸着したプラスチックフィルムか
らなるコンデンサ（以下、金属化フィルムコンデンサと
称す）は、従来から広く用いられており、その一例につ
いて図１０および図１１を用いて説明する。
らなるコンデンサ（以下、金属化フィルムコンデンサと
称す）は、従来から広く用いられており、その一例につ
いて図１０および図１１を用いて説明する。
【０００３】図１０は、従来の片面金属化フィルムコン
デンサの断面図を示し、１６０はフィルム、１６１は蒸
着電極、１６１ａは容量形成部、１６１ｂはコンタクト
部、１６２は片面に金属蒸着されるフィルム、１６３は
金属蒸着しない絶縁マージンを示す。なお、蒸着電極１
６１は容量形成部１６１ａ、コンタクト部１６１ｂの両
方を総称したものである。
デンサの断面図を示し、１６０はフィルム、１６１は蒸
着電極、１６１ａは容量形成部、１６１ｂはコンタクト
部、１６２は片面に金属蒸着されるフィルム、１６３は
金属蒸着しない絶縁マージンを示す。なお、蒸着電極１
６１は容量形成部１６１ａ、コンタクト部１６１ｂの両
方を総称したものである。
【０００４】また、図１１は従来の両面金属化フィルム
コンデンサの断面図を示す。図１１において、１７２、
１７３はフィルムを示し、図１０で示した同一の構成の
ものには同一の符号を付して重複する説明を省略する。
コンデンサの断面図を示す。図１１において、１７２、
１７３はフィルムを示し、図１０で示した同一の構成の
ものには同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【０００５】図１０において、フィルム１６２の片面に
蒸着電極１６１を設けた片面金属化フィルムを２枚重ね
て巻回または積層し、両端面から金属を溶射（図示せ
ず、以下メタリコンと称す）してコンデンサが形成され
る。
蒸着電極１６１を設けた片面金属化フィルムを２枚重ね
て巻回または積層し、両端面から金属を溶射（図示せ
ず、以下メタリコンと称す）してコンデンサが形成され
る。
【０００６】蒸着電極１６１は、アルミニウムや亜鉛、
またはその混合物が用いられている。また、容量形成部
１６１ａは薄く蒸着して自己回復性を高め、コンタクト
部１６１ｂを厚く蒸着して、メタリコンとのコンタクト
強度を高めるヘビーエッジ構造が広く採用されている。
また、フィルム１６２は、ポリプロピレンフィルムやポ
リエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフ
タレートフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィル
ムなどが用いられている。
またはその混合物が用いられている。また、容量形成部
１６１ａは薄く蒸着して自己回復性を高め、コンタクト
部１６１ｂを厚く蒸着して、メタリコンとのコンタクト
強度を高めるヘビーエッジ構造が広く採用されている。
また、フィルム１６２は、ポリプロピレンフィルムやポ
リエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフ
タレートフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィル
ムなどが用いられている。
【０００７】図１０の従来の金属化フィルムコンデンサ
の構成においては、片面金属化フィルム１６２を２枚用
いているため、それぞれのフィルムに対して蒸着工程が
必要となり、工数がかかっていた。それで、図１１に示
すように、１回の蒸着工程でフィルム１７２の両面に蒸
着電極１６１を設け両面金属化フィルムとし、蒸着して
いないフィルム１７３をそのまま使用する合わせ用フィ
ルム１７５と重ねる構造にしたものを、巻回または積層
し、両端面にメタリコンを設けてコンデンサを形成する
ことで、蒸着工程を半減できるようにしている。この、
フィルムの両面に金属を蒸着して両面金属化フィルムを
製造する試みは従来から行われてきたが、その製造工程
で、表裏の金属が接して巻き取られることから、金属同
士が接着して次工程のスリッタや巻取りの際に円滑に巻
き出せなくなったり、蒸着金属が剥離（以下ブロッキン
グと称す）したりする問題点があった。
の構成においては、片面金属化フィルム１６２を２枚用
いているため、それぞれのフィルムに対して蒸着工程が
必要となり、工数がかかっていた。それで、図１１に示
すように、１回の蒸着工程でフィルム１７２の両面に蒸
着電極１６１を設け両面金属化フィルムとし、蒸着して
いないフィルム１７３をそのまま使用する合わせ用フィ
ルム１７５と重ねる構造にしたものを、巻回または積層
し、両端面にメタリコンを設けてコンデンサを形成する
ことで、蒸着工程を半減できるようにしている。この、
フィルムの両面に金属を蒸着して両面金属化フィルムを
製造する試みは従来から行われてきたが、その製造工程
で、表裏の金属が接して巻き取られることから、金属同
士が接着して次工程のスリッタや巻取りの際に円滑に巻
き出せなくなったり、蒸着金属が剥離（以下ブロッキン
グと称す）したりする問題点があった。
【０００８】この点に鑑みて、特開平４―９９１６６号
公報では、真空蒸着機で両面金属化フィルムを製造する
工程において、金属を蒸着した後に蒸着金属面に酸化性
ガスを吹き付け、その後に巻き取ることによって、ブロ
ッキングを防止する製造方法が提唱されていた。
公報では、真空蒸着機で両面金属化フィルムを製造する
工程において、金属を蒸着した後に蒸着金属面に酸化性
ガスを吹き付け、その後に巻き取ることによって、ブロ
ッキングを防止する製造方法が提唱されていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記特
開平４―９９１６６号公報に示された製造方法では、蒸
着直後のブロッキングは低減されるものの、蒸着された
原反を長期間保管したり輸送したりする際に湿気の影響
を受けた場合には、前記ブロッキングも２次的に進行し
てしまう問題点があった。
開平４―９９１６６号公報に示された製造方法では、蒸
着直後のブロッキングは低減されるものの、蒸着された
原反を長期間保管したり輸送したりする際に湿気の影響
を受けた場合には、前記ブロッキングも２次的に進行し
てしまう問題点があった。
【００１０】湿気によるブロッキングの進行は、蒸着金
属の種類にかかわらず発生するが、中でも亜鉛は湿気に
より容易に酸化物や水酸化物に変化しやすいことから、
亜鉛を含む蒸着金属において著しく進行する。さらに、
フィルムとしてポリプロピレンフィルムを用いた場合に
は、他のフィルムに比べて蒸着金属との接着性が弱いこ
とから、湿気により表裏の蒸着金属同士が接着した場合
に容易にフィルムから剥離してしまう問題点があった。
属の種類にかかわらず発生するが、中でも亜鉛は湿気に
より容易に酸化物や水酸化物に変化しやすいことから、
亜鉛を含む蒸着金属において著しく進行する。さらに、
フィルムとしてポリプロピレンフィルムを用いた場合に
は、他のフィルムに比べて蒸着金属との接着性が弱いこ
とから、湿気により表裏の蒸着金属同士が接着した場合
に容易にフィルムから剥離してしまう問題点があった。
【００１１】このようにブロッキングが進行した両面金
属化フィルムを用いてコンデンサを作製した場合には、
スリッタや巻取りの際に生じたしわにより耐圧が低下し
たり、蒸着膜の剥離や蒸着金属の酸化や水酸化反応によ
り電極抵抗値が増大してｔａｎδが悪化したりする問題
点があった。
属化フィルムを用いてコンデンサを作製した場合には、
スリッタや巻取りの際に生じたしわにより耐圧が低下し
たり、蒸着膜の剥離や蒸着金属の酸化や水酸化反応によ
り電極抵抗値が増大してｔａｎδが悪化したりする問題
点があった。
【００１２】このため、両面金属化フィルムを原反の状
態で保管や輸送する場合には、従来の片面金属化フィル
ムの場合よりも保管場所を低湿度に保ったり、乾燥剤と
ともに密閉梱包したりしなければならないという課題が
あった。
態で保管や輸送する場合には、従来の片面金属化フィル
ムの場合よりも保管場所を低湿度に保ったり、乾燥剤と
ともに密閉梱包したりしなければならないという課題が
あった。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記課題
に関して、鋭意検討を進めた結果、フィルムの両面に蒸
着金属膜を形成する金属蒸着部と、前記金属蒸着部によ
って蒸着金属膜が形成されたフィルムの少なくとも片面
にオイル被膜を形成するオイル被膜形成部と、前記金属
蒸着部によって蒸着金属膜が形成されたフィルムの少な
くとも片面の蒸着金属膜上を、酸素を含む雰囲気に曝露
させる酸素曝露部とを有する両面金属化フィルムの製造
装置を用いた場合に、湿気によるブロッキング進行の無
い良好な両面金属化フィルムを製造できることを見出し
た。
に関して、鋭意検討を進めた結果、フィルムの両面に蒸
着金属膜を形成する金属蒸着部と、前記金属蒸着部によ
って蒸着金属膜が形成されたフィルムの少なくとも片面
にオイル被膜を形成するオイル被膜形成部と、前記金属
蒸着部によって蒸着金属膜が形成されたフィルムの少な
くとも片面の蒸着金属膜上を、酸素を含む雰囲気に曝露
させる酸素曝露部とを有する両面金属化フィルムの製造
装置を用いた場合に、湿気によるブロッキング進行の無
い良好な両面金属化フィルムを製造できることを見出し
た。
【００１４】さらに、本発明に用いるオイルとしては、
シリコンオイル、フッ素オイルやパラフィン油、エステ
ル油、植物油等を用いることができるが、なかでも、化
学的に安定であり、また基材となるフィルムへの浸透や
膨潤が少ないことからシリコンオイルやフッ素オイルを
用いることがより望ましい。オイル被膜の浸透によりフ
ィルムが膨潤した場合には、蒸着膜とフィルムとの密着
性が損なわれて、蒸着膜が剥離したり抵抗値が上昇した
りするからである。
シリコンオイル、フッ素オイルやパラフィン油、エステ
ル油、植物油等を用いることができるが、なかでも、化
学的に安定であり、また基材となるフィルムへの浸透や
膨潤が少ないことからシリコンオイルやフッ素オイルを
用いることがより望ましい。オイル被膜の浸透によりフ
ィルムが膨潤した場合には、蒸着膜とフィルムとの密着
性が損なわれて、蒸着膜が剥離したり抵抗値が上昇した
りするからである。
【００１５】また、本発明に用いる蒸着金属としては、
アルミニウム、亜鉛やその混合物等を用いることができ
るが、特に亜鉛を含む蒸着金属を用いた場合に顕著な効
果を得ることができる。
アルミニウム、亜鉛やその混合物等を用いることができ
るが、特に亜鉛を含む蒸着金属を用いた場合に顕著な効
果を得ることができる。
【００１６】また、本発明に用いるフィルムとしては、
前述のポリプロピレンフィルムやポリエチレンテレフタ
レートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、
ポリフェニレンサルファイドフィルムなどがあるが、中
でも、ポリプロピレンフィルムを用いた場合に顕著な効
果を得ることができる。
前述のポリプロピレンフィルムやポリエチレンテレフタ
レートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、
ポリフェニレンサルファイドフィルムなどがあるが、中
でも、ポリプロピレンフィルムを用いた場合に顕著な効
果を得ることができる。
【００１７】さらに、本発明に用いるオイル被膜形成部
としては、オイル蒸気を吹付けるものや、ロールコータ
により塗布するものなどを用いることができる。オイル
被膜形成部においては、少なくとも片側の蒸着膜の全面
にオイル被膜を形成して良いが、より望ましくは、オイ
ル蒸気の噴出し口形状やロールコータの形状により、フ
ィルムの幅方向に対して所定の部分にのみオイル被膜を
形成するほうがよい。これは、金属化フィルムコンデン
サを作製する際に、メタリコンとコンタクトする部分に
オイル被膜があると、メタリコンの熱により大部分が蒸
発飛散するが、オイルが残存した場合には、コンタクト
が劣る場合があるためである。なお、メタリコンとコン
タクトする部分の裏側は絶縁マージンが配置されるた
め、ブロッキングは発生しない。
としては、オイル蒸気を吹付けるものや、ロールコータ
により塗布するものなどを用いることができる。オイル
被膜形成部においては、少なくとも片側の蒸着膜の全面
にオイル被膜を形成して良いが、より望ましくは、オイ
ル蒸気の噴出し口形状やロールコータの形状により、フ
ィルムの幅方向に対して所定の部分にのみオイル被膜を
形成するほうがよい。これは、金属化フィルムコンデン
サを作製する際に、メタリコンとコンタクトする部分に
オイル被膜があると、メタリコンの熱により大部分が蒸
発飛散するが、オイルが残存した場合には、コンタクト
が劣る場合があるためである。なお、メタリコンとコン
タクトする部分の裏側は絶縁マージンが配置されるた
め、ブロッキングは発生しない。
【００１８】また、オイル被膜形成部としては、オイル
蒸気を吹付けるものが最も望ましい。他の方法、例えば
ロールコータでも本発明によりブロッキングを防止はで
きるが、蒸着面にロールが接触するため、蒸着膜に傷が
できてしまう場合があり、非接触でオイル蒸気を吹付け
ることが望ましい。さらに、オイルタンク内に圧力セン
サを設け、オイル蒸気圧をモニタリングして蒸着膜にオ
イル蒸気を噴霧することにより、長尺のフィルムに一定
の割合でオイル被膜を形成することができる。
蒸気を吹付けるものが最も望ましい。他の方法、例えば
ロールコータでも本発明によりブロッキングを防止はで
きるが、蒸着面にロールが接触するため、蒸着膜に傷が
できてしまう場合があり、非接触でオイル蒸気を吹付け
ることが望ましい。さらに、オイルタンク内に圧力セン
サを設け、オイル蒸気圧をモニタリングして蒸着膜にオ
イル蒸気を噴霧することにより、長尺のフィルムに一定
の割合でオイル被膜を形成することができる。
【００１９】なお、前記酸素曝露部を用いずにオイル被
膜形成部のみを用いた場合には、蒸着直後からブロッキ
ングが発生した。これは、オイル被膜は、湿気による２
次的なブロッキングの進行を抑制する効果はあるが、蒸
着装置内で巻き取った際に発生する初期のブロッキング
に対しては効果が無いためである。初期のブロッキング
を抑制するためには、少なくとも片側の蒸着面を酸素雰
囲気に曝露する必要がある。
膜形成部のみを用いた場合には、蒸着直後からブロッキ
ングが発生した。これは、オイル被膜は、湿気による２
次的なブロッキングの進行を抑制する効果はあるが、蒸
着装置内で巻き取った際に発生する初期のブロッキング
に対しては効果が無いためである。初期のブロッキング
を抑制するためには、少なくとも片側の蒸着面を酸素雰
囲気に曝露する必要がある。
【００２０】すなわち、少なくとも片側の蒸着膜表面に
酸化膜を形成し、かつ少なくとも片側の蒸着膜表面にオ
イル被膜を具備することにより、ブロッキングの無い良
好な両面金属化フィルムを実現することができる。
酸化膜を形成し、かつ少なくとも片側の蒸着膜表面にオ
イル被膜を具備することにより、ブロッキングの無い良
好な両面金属化フィルムを実現することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００２２】図１は、本発明の実施の形態における両面
金属化フィルムの製造装置の断面図であり、１は真空チ
ャンバー、２はフィルム巻出し部、３はフィルム、４
ａ、４ｂは冷却キャン、５ａ、５ｂはアルミニウム蒸発
源、６ａ、６ｂは亜鉛蒸発源、７はオイル被膜形成部、
８は酸素吹付け部、９はフィルム巻取り部、１０は中間
ロール、１１、１２は排気を示す。
金属化フィルムの製造装置の断面図であり、１は真空チ
ャンバー、２はフィルム巻出し部、３はフィルム、４
ａ、４ｂは冷却キャン、５ａ、５ｂはアルミニウム蒸発
源、６ａ、６ｂは亜鉛蒸発源、７はオイル被膜形成部、
８は酸素吹付け部、９はフィルム巻取り部、１０は中間
ロール、１１、１２は排気を示す。
【００２３】真空チャンバー１内に未蒸着のフィルムが
巻かれたフィルム巻出し部２が配置されている。そして
同じく真空チャンバー１内に、フィルムに金属を蒸着さ
せる冷却キャン４ａ、４ｂ、アルミニウム蒸発源５ａ、
５ｂ、亜鉛蒸発源６ａ、６ｂとが配置されている。さら
に、フィルムにオイル被膜を形成するオイル被膜形成部
７と、酸素を吹付ける酸素吹付け部８、およびフィルム
を巻き取るフィルム巻取り部９が配置されている。そし
てこれらの部分を経由するフィルムを滑らかに送給する
中間ロール１０が案内用として真空チャンバー１内に、
数箇所配置されている。
巻かれたフィルム巻出し部２が配置されている。そして
同じく真空チャンバー１内に、フィルムに金属を蒸着さ
せる冷却キャン４ａ、４ｂ、アルミニウム蒸発源５ａ、
５ｂ、亜鉛蒸発源６ａ、６ｂとが配置されている。さら
に、フィルムにオイル被膜を形成するオイル被膜形成部
７と、酸素を吹付ける酸素吹付け部８、およびフィルム
を巻き取るフィルム巻取り部９が配置されている。そし
てこれらの部分を経由するフィルムを滑らかに送給する
中間ロール１０が案内用として真空チャンバー１内に、
数箇所配置されている。
【００２４】このような構成を備える金属化蒸着フィル
ムの製造装置において、まずフィルム巻出し部２から巻
き出された未蒸着のフィルム３が、冷却キャン４ａおよ
び４ｂを通過する際に、アルミニウム蒸発源５ａ、５ｂ
および亜鉛蒸発源６ａ、６ｂよりフィルム３の両面に蒸
着を行う。次にオイル被膜形成部７でオイル被膜を形成
し、酸素吹付け部８で酸素を吹付けた後に、フィルム巻
取り部９で巻き取って、両面金属化フィルムの原反を作
製する。なお、本実施の形態ではフィルムに酸化膜を形
成する酸化膜形成部の実施例として酸素を吹付けて形成
する酸素吹付け部を配置した。
ムの製造装置において、まずフィルム巻出し部２から巻
き出された未蒸着のフィルム３が、冷却キャン４ａおよ
び４ｂを通過する際に、アルミニウム蒸発源５ａ、５ｂ
および亜鉛蒸発源６ａ、６ｂよりフィルム３の両面に蒸
着を行う。次にオイル被膜形成部７でオイル被膜を形成
し、酸素吹付け部８で酸素を吹付けた後に、フィルム巻
取り部９で巻き取って、両面金属化フィルムの原反を作
製する。なお、本実施の形態ではフィルムに酸化膜を形
成する酸化膜形成部の実施例として酸素を吹付けて形成
する酸素吹付け部を配置した。
【００２５】なおこの際、図示しない真空ポンプによ
り、排気１１、１２に示すように真空チャンバー１内か
ら排気する。またアルミニウム蒸発源５ａ、５ｂおよび
亜鉛蒸発源６ａ、６ｂは、目的により、アルミニウムだ
けを蒸着したり亜鉛だけを蒸着したり、またアルミニウ
ムと亜鉛の混合物を蒸着したりすることができる。
り、排気１１、１２に示すように真空チャンバー１内か
ら排気する。またアルミニウム蒸発源５ａ、５ｂおよび
亜鉛蒸発源６ａ、６ｂは、目的により、アルミニウムだ
けを蒸着したり亜鉛だけを蒸着したり、またアルミニウ
ムと亜鉛の混合物を蒸着したりすることができる。
【００２６】さらに、フィルムにオイル被膜を蒸着する
工程について、図２および図３を用いて詳細に説明す
る。図２は、図１のオイル被膜形成部７近傍を拡大した
断面図であり、３ａはフィルムが走行する方向、２０は
オイルタンク、２１は蒸着膜、２２はオイル、２３は加
熱ヒータ、２４はオイル蒸気、２６は温度センサ、２７
は圧力センサ、２８はノズル、２９はオイル被膜を示
し、図１で説明した同一の構成物については同一の符号
を付してその説明を省略する。さらに図３は、図２中の
ノズル２８の形状を矢印Ａで示した方向から見た図であ
り、２８は図２で示したのと同じノズル、３０はノズル
２８に設けられたスリットを示す。
工程について、図２および図３を用いて詳細に説明す
る。図２は、図１のオイル被膜形成部７近傍を拡大した
断面図であり、３ａはフィルムが走行する方向、２０は
オイルタンク、２１は蒸着膜、２２はオイル、２３は加
熱ヒータ、２４はオイル蒸気、２６は温度センサ、２７
は圧力センサ、２８はノズル、２９はオイル被膜を示
し、図１で説明した同一の構成物については同一の符号
を付してその説明を省略する。さらに図３は、図２中の
ノズル２８の形状を矢印Ａで示した方向から見た図であ
り、２８は図２で示したのと同じノズル、３０はノズル
２８に設けられたスリットを示す。
【００２７】そして図２に示すように、オイル被膜形成
部７は、円筒状のオイルタンク２０の内部にオイル２
２、加熱ヒータ２３、温度センサ２６および圧力センサ
２７が収納されている。
部７は、円筒状のオイルタンク２０の内部にオイル２
２、加熱ヒータ２３、温度センサ２６および圧力センサ
２７が収納されている。
【００２８】このような構成を備えるオイル被膜形成部
７の作用において、加熱ヒータ２３により加熱されたオ
イル２２はオイル蒸気２４となりノズル２８から噴出
し、矢印３ａの方向へ走行するフィルム３に設けられた
蒸着膜２１のノズル側にオイル被膜２９を形成する。な
お、温度センサ２６と圧力センサ２７は、オイルタンク
２０内部の温度と圧力をモニタリングするものである。
特に圧力センサ２７により、長尺のフィルムを金属化す
る場合であっても、蒸着中のオイル噴出量を一定に保
ち、均一なオイル被膜を形成することができる。
７の作用において、加熱ヒータ２３により加熱されたオ
イル２２はオイル蒸気２４となりノズル２８から噴出
し、矢印３ａの方向へ走行するフィルム３に設けられた
蒸着膜２１のノズル側にオイル被膜２９を形成する。な
お、温度センサ２６と圧力センサ２７は、オイルタンク
２０内部の温度と圧力をモニタリングするものである。
特に圧力センサ２７により、長尺のフィルムを金属化す
る場合であっても、蒸着中のオイル噴出量を一定に保
ち、均一なオイル被膜を形成することができる。
【００２９】さらに図３に示すように、ノズル２８には
スリット３０をフィルムの幅方向に断続的に設けてい
る。そしてこのスリット３０よりオイル蒸気２４が噴出
し、フィルム上にオイル被膜が形成される。このよう
に、スリット３０を断続的に設けることで、金属化フィ
ルムの容量形成部（後述する図６の６１ａ）にのみオイ
ル被膜を形成することができる。なお、金属化フィルム
製造工程は、複数分のコンデンサに相当するフィルムを
一度に作製し、後工程でカットするので、スリットも断
続的なものとなる。すなわち１つのスリット３０は後工
程でできる１つの金属化フィルムにおける容量形成部に
相当する。
スリット３０をフィルムの幅方向に断続的に設けてい
る。そしてこのスリット３０よりオイル蒸気２４が噴出
し、フィルム上にオイル被膜が形成される。このよう
に、スリット３０を断続的に設けることで、金属化フィ
ルムの容量形成部（後述する図６の６１ａ）にのみオイ
ル被膜を形成することができる。なお、金属化フィルム
製造工程は、複数分のコンデンサに相当するフィルムを
一度に作製し、後工程でカットするので、スリットも断
続的なものとなる。すなわち１つのスリット３０は後工
程でできる１つの金属化フィルムにおける容量形成部に
相当する。
【００３０】さらに、図４を用いて、フィルムの蒸着膜
に酸素を吹付ける工程について詳細に説明する。図４は
図１における酸素吹付け部８を拡大した図である。図４
において、３１は酸素を含むガス、３２は円筒状パイ
プ、３３は円筒状パイプ３２に設けた穴を示し、図１お
よび図２で説明した同一構成のものについては同一の符
号を付してその説明を省略する。
に酸素を吹付ける工程について詳細に説明する。図４は
図１における酸素吹付け部８を拡大した図である。図４
において、３１は酸素を含むガス、３２は円筒状パイ
プ、３３は円筒状パイプ３２に設けた穴を示し、図１お
よび図２で説明した同一構成のものについては同一の符
号を付してその説明を省略する。
【００３１】円筒状パイプ３２の内部には、酸素を含む
ガス３１を真空チャンバー（図示せず）の外部より導入
している。さらに円筒状パイプ３２には、フィルムの全
幅方向に渡って等間隔で穴３３を設けている。
ガス３１を真空チャンバー（図示せず）の外部より導入
している。さらに円筒状パイプ３２には、フィルムの全
幅方向に渡って等間隔で穴３３を設けている。
【００３２】このような構成により、円筒状パイプ３２
設けた穴３３からフィルム３上の蒸着膜２１に酸素を含
むガス３１を吹付けることにより、蒸着膜に酸素を吹付
けることができる。
設けた穴３３からフィルム３上の蒸着膜２１に酸素を含
むガス３１を吹付けることにより、蒸着膜に酸素を吹付
けることができる。
【００３３】次に、以上で説明した本発明の実施の形態
の製造装置で作製した両面金属化フィルムのブロッキン
グ評価結果について図５を用いて説明する。図５は、本
発明の実施の形態の製造装置で両面金属化フィルムを作
製する際の条件とその結果を示したものである。
の製造装置で作製した両面金属化フィルムのブロッキン
グ評価結果について図５を用いて説明する。図５は、本
発明の実施の形態の製造装置で両面金属化フィルムを作
製する際の条件とその結果を示したものである。
【００３４】本発明の実施の形態の図１で示す製造装置
により、６μｍ厚みで５２０ｍｍ幅のポリプロピレンフ
ィルムを、図５における本実施の形態その１からその
６、従来例１から３および比較例で示すように、蒸着金
属、オイル被膜、曝露雰囲気の条件を変えて作製し、そ
の違いを確認した。作製した蒸着フィルムの長さは、い
ずれも３０００ｍで、蒸着膜の膜抵抗値は、アルミニウ
ム＋亜鉛、もしくは亜鉛単独の場合は１２Ω、アルミニ
ウム単独の場合は８Ωとなるよう蒸着した。
により、６μｍ厚みで５２０ｍｍ幅のポリプロピレンフ
ィルムを、図５における本実施の形態その１からその
６、従来例１から３および比較例で示すように、蒸着金
属、オイル被膜、曝露雰囲気の条件を変えて作製し、そ
の違いを確認した。作製した蒸着フィルムの長さは、い
ずれも３０００ｍで、蒸着膜の膜抵抗値は、アルミニウ
ム＋亜鉛、もしくは亜鉛単独の場合は１２Ω、アルミニ
ウム単独の場合は８Ωとなるよう蒸着した。
【００３５】そして、このようにして各条件で作製した
両面金属化フィルムを、原反の状態のまま、温度４０℃
相対湿度６０％の雰囲気で２０日間放置した後、スリッ
タ機で裁断してシワの有無を判別するとともに蒸着膜の
抵抗値も測定し、図５にその結果を示した。
両面金属化フィルムを、原反の状態のまま、温度４０℃
相対湿度６０％の雰囲気で２０日間放置した後、スリッ
タ機で裁断してシワの有無を判別するとともに蒸着膜の
抵抗値も測定し、図５にその結果を示した。
【００３６】図５から明らかなように、従来例１から３
および比較例に示す、オイル被膜をしないか酸素を吹付
けない条件で作製した両面金属化フィルムでは、ブロッ
キングによりスリッタ時にシワが発生し、また蒸着膜抵
抗値も上昇した。これに対し、本実施の形態その１から
その６では、シワの発生が無く、抵抗値上昇も抑制され
た。なかでもオイル被膜としてシリコンオイルやフッ素
オイルを用いた場合に、抵抗値上昇の無い良好な結果を
得た。また、蒸着金属が亜鉛を含む場合に、特に顕著に
良好な結果を得た。
および比較例に示す、オイル被膜をしないか酸素を吹付
けない条件で作製した両面金属化フィルムでは、ブロッ
キングによりスリッタ時にシワが発生し、また蒸着膜抵
抗値も上昇した。これに対し、本実施の形態その１から
その６では、シワの発生が無く、抵抗値上昇も抑制され
た。なかでもオイル被膜としてシリコンオイルやフッ素
オイルを用いた場合に、抵抗値上昇の無い良好な結果を
得た。また、蒸着金属が亜鉛を含む場合に、特に顕著に
良好な結果を得た。
【００３７】次に、図５に示す本実施の形態その１およ
び従来例１の両面金属化フィルムを用いて金属化フィル
ムコンデンサを作製した。図６は、作製した金属化フィ
ルムコンデンサの断面図であり、４１はオイル被膜、４
２は酸化被膜、６１ａ、６１ｂは蒸着金属、７２、７３
はフィルム、７４は両面金属化フィルム、７５は金属蒸
着しない合わせ用フィルムを示す。
び従来例１の両面金属化フィルムを用いて金属化フィル
ムコンデンサを作製した。図６は、作製した金属化フィ
ルムコンデンサの断面図であり、４１はオイル被膜、４
２は酸化被膜、６１ａ、６１ｂは蒸着金属、７２、７３
はフィルム、７４は両面金属化フィルム、７５は金属蒸
着しない合わせ用フィルムを示す。
【００３８】図６において、両面金属化フィルム７４
は、本実施の形態における製造装置により図５で示す本
実施の形態その１および従来例１の条件にて作製された
ものであり、フィルム７２に蒸着金属６１ａ、６１ｂを
具備し、さらにオイル被膜４１や酸化被膜４２で被われ
ている。そして、この両面金属化フィルム７４と、フィ
ルム７３に金属蒸着しないでそのまま使用する合わせ用
フィルム７５とを組合せて巻回し、金属化フィルムコン
デンサを作製する。
は、本実施の形態における製造装置により図５で示す本
実施の形態その１および従来例１の条件にて作製された
ものであり、フィルム７２に蒸着金属６１ａ、６１ｂを
具備し、さらにオイル被膜４１や酸化被膜４２で被われ
ている。そして、この両面金属化フィルム７４と、フィ
ルム７３に金属蒸着しないでそのまま使用する合わせ用
フィルム７５とを組合せて巻回し、金属化フィルムコン
デンサを作製する。
【００３９】さらに、このようにして作製した金属化フ
ィルムコンデンサの、１ｋＨｚにおけるｔａｎδと、６
０Ｈｚにおける耐電圧を試験した結果を図７に示す。図
７は、図５における本実施の形態その１と従来例１での
条件で製造した金属化フィルムを使用して作製したコン
デンサの試験結果を示すものである。
ィルムコンデンサの、１ｋＨｚにおけるｔａｎδと、６
０Ｈｚにおける耐電圧を試験した結果を図７に示す。図
７は、図５における本実施の形態その１と従来例１での
条件で製造した金属化フィルムを使用して作製したコン
デンサの試験結果を示すものである。
【００４０】なお、耐電圧試験は、周囲温度７０℃で、
コンデンサの印加電圧を１分毎に５０Ｖづつ昇圧し、コ
ンデンサがショートに至った電圧を耐電圧とした。
コンデンサの印加電圧を１分毎に５０Ｖづつ昇圧し、コ
ンデンサがショートに至った電圧を耐電圧とした。
【００４１】その結果、図７で示すように、従来例１の
コンデンサはブロッキングによりｔａｎδが高く、また
スリッタ時のシワにより耐電圧も低かったが、本実施の
形態その１のコンデンサは良好なｔａｎδと耐電圧を示
した。
コンデンサはブロッキングによりｔａｎδが高く、また
スリッタ時のシワにより耐電圧も低かったが、本実施の
形態その１のコンデンサは良好なｔａｎδと耐電圧を示
した。
【００４２】なおオイル被膜の有無は、コンデンサから
両面金属化フィルムをサンプリングし、そのまま、もし
くは適当な溶媒で蒸着金属を抽出して濃縮した後に、例
えば電子顕微鏡に付属するエネルギー分散型Ｘ線分析装
置を用いることにより、判別できる。一例として、図５
の本実施の形態その１の条件で作製した金属化フィルム
コンデンサを分析した結果を図８に示す。図８におい
て、横軸は両面金属化フィルムを構成する元素の特性Ｘ
線のエネルギー値、縦軸は各特性Ｘ線の強度を示す。図
中○印５１で示したピークが、シリコン元素に対応して
おり、シリコンオイルからなるオイル被膜の存在がわか
る。
両面金属化フィルムをサンプリングし、そのまま、もし
くは適当な溶媒で蒸着金属を抽出して濃縮した後に、例
えば電子顕微鏡に付属するエネルギー分散型Ｘ線分析装
置を用いることにより、判別できる。一例として、図５
の本実施の形態その１の条件で作製した金属化フィルム
コンデンサを分析した結果を図８に示す。図８におい
て、横軸は両面金属化フィルムを構成する元素の特性Ｘ
線のエネルギー値、縦軸は各特性Ｘ線の強度を示す。図
中○印５１で示したピークが、シリコン元素に対応して
おり、シリコンオイルからなるオイル被膜の存在がわか
る。
【００４３】また、酸化被膜の有無は、例えば蒸着フィ
ルムの表面をＸ線光電子分光法（以下ＥＳＣＡ）により
分析することにより判別できる。一例として、本実施の
形態その１の金属化フィルムコンデンサを分析した結果
を図９に示す。図９において、横軸は蒸着を構成する亜
鉛の結合エネルギーであり、金属亜鉛であれば約２６２
ｅＶに、また酸化亜鉛であれば約２６７ｅＶにピークが
検出される。図９中の５２の曲線は蒸着膜表面を、また
５３は蒸着膜表面をエッチングで除去することにより蒸
着膜内部を分析したものである。蒸着膜表面５２が酸化
亜鉛の大きなピークをもつことから、酸化被膜の存在が
わかる。
ルムの表面をＸ線光電子分光法（以下ＥＳＣＡ）により
分析することにより判別できる。一例として、本実施の
形態その１の金属化フィルムコンデンサを分析した結果
を図９に示す。図９において、横軸は蒸着を構成する亜
鉛の結合エネルギーであり、金属亜鉛であれば約２６２
ｅＶに、また酸化亜鉛であれば約２６７ｅＶにピークが
検出される。図９中の５２の曲線は蒸着膜表面を、また
５３は蒸着膜表面をエッチングで除去することにより蒸
着膜内部を分析したものである。蒸着膜表面５２が酸化
亜鉛の大きなピークをもつことから、酸化被膜の存在が
わかる。
【００４４】以上のことから、本実施の形態による製造
装置で作製したコンデンサにはオイル被膜および酸化被
膜が存在し、それらにより効果が得られたことが確認で
きた。
装置で作製したコンデンサにはオイル被膜および酸化被
膜が存在し、それらにより効果が得られたことが確認で
きた。
【００４５】なお、本実施の形態では図１から図３の製
造装置を例として示したが、本発明の製造装置はこれに
限定されるものではなく、フィルムの両面に蒸着金属膜
を形成する金属蒸着部と、前記金属蒸着部によって形成
した蒸着膜のうち少なくとも片側の面にオイル被膜を形
成するオイル被膜形成部と、前記金属蒸着部によって形
成した蒸着膜のうち少なくとも片側の前記蒸着膜上を酸
素を含む雰囲気に曝露させる酸素曝露部とを有する両面
金属化フィルムの製造装置であれば、同様の効果を得る
ことができる。
造装置を例として示したが、本発明の製造装置はこれに
限定されるものではなく、フィルムの両面に蒸着金属膜
を形成する金属蒸着部と、前記金属蒸着部によって形成
した蒸着膜のうち少なくとも片側の面にオイル被膜を形
成するオイル被膜形成部と、前記金属蒸着部によって形
成した蒸着膜のうち少なくとも片側の前記蒸着膜上を酸
素を含む雰囲気に曝露させる酸素曝露部とを有する両面
金属化フィルムの製造装置であれば、同様の効果を得る
ことができる。
【００４６】例えば、図１ではフィルムがオイル被膜形
成部を通過した後に酸素曝露部を通るよう配置したが、
この逆に配置しても同様の効果が得られる。また、オイ
ル被膜を形成する面は、酸素に曝露する面と同じであっ
ても逆であっても構わない。これは、両面金属化フィル
ムが図１のフィルム巻取り部９で巻き取られた際に、表
裏の蒸着面がオイル被膜を介して接するために、どちら
の面に対しても湿気の影響が抑制されるからである。無
論、両側の面にオイル被膜を形成しても構わない。
成部を通過した後に酸素曝露部を通るよう配置したが、
この逆に配置しても同様の効果が得られる。また、オイ
ル被膜を形成する面は、酸素に曝露する面と同じであっ
ても逆であっても構わない。これは、両面金属化フィル
ムが図１のフィルム巻取り部９で巻き取られた際に、表
裏の蒸着面がオイル被膜を介して接するために、どちら
の面に対しても湿気の影響が抑制されるからである。無
論、両側の面にオイル被膜を形成しても構わない。
【００４７】また図３ではオイル被膜形成部としてオイ
ル蒸気をスリットから噴出したが、スリットのかわりに
等間隔で穴を設けて噴出せしめてもかまわない。
ル蒸気をスリットから噴出したが、スリットのかわりに
等間隔で穴を設けて噴出せしめてもかまわない。
【００４８】また、図４では、フィルムに酸化被膜を設
ける方法として酸素や空気を吹き付けたが、他の方法で
酸素を含む雰囲気に曝露しても同様の効果が得られる。
例えば、真空チャンバー内に酸素を含むガスを導入した
筐体を設け、フィルムがその中を通過することにより蒸
着膜２１を酸素に曝露させてもよい。
ける方法として酸素や空気を吹き付けたが、他の方法で
酸素を含む雰囲気に曝露しても同様の効果が得られる。
例えば、真空チャンバー内に酸素を含むガスを導入した
筐体を設け、フィルムがその中を通過することにより蒸
着膜２１を酸素に曝露させてもよい。
【００４９】さらに、実施の形態からなる金属化フィル
ムコンデンサの一例を図６に示したが、本発明はこれに
限定されるものではない。例えば、蒸着金属６１ａ、６
１ｂはヘビーエッジでなく均一な厚みであっても同様の
効果を得ることができる。
ムコンデンサの一例を図６に示したが、本発明はこれに
限定されるものではない。例えば、蒸着金属６１ａ、６
１ｂはヘビーエッジでなく均一な厚みであっても同様の
効果を得ることができる。
【００５０】また、本実施の形態は、巻き取られた未蒸
着フィルムを引き出し時順次送付させていく装置内で、
フィルムの両面に蒸着金属膜を形成する金属蒸着ステッ
プと、フィルム両面に蒸着された金属膜のうち片側の面
にオイル被膜を形成するオイル被膜形成ステップと、フ
ィルム両面に蒸着された金属膜のうち片側の面に酸素を
含むガスを吹付ける酸素吹付けステップとを用い、フィ
ルムを巻き取って両面金属化フィルムを製造する両面金
属化フィルム製造方法を示すものである。
着フィルムを引き出し時順次送付させていく装置内で、
フィルムの両面に蒸着金属膜を形成する金属蒸着ステッ
プと、フィルム両面に蒸着された金属膜のうち片側の面
にオイル被膜を形成するオイル被膜形成ステップと、フ
ィルム両面に蒸着された金属膜のうち片側の面に酸素を
含むガスを吹付ける酸素吹付けステップとを用い、フィ
ルムを巻き取って両面金属化フィルムを製造する両面金
属化フィルム製造方法を示すものである。
【００５１】なお、この両面金属化フィルム製造方法に
おける、フィルムに酸素を含むガスを吹付ける酸素吹付
けステップは、酸素を含む雰囲気に曝露させる酸素曝露
ステップとしても同様の結果が得られる。また、フィル
ムの片面に、オイル被膜と酸化被膜を形成するようにし
たが、どちらか、または両方とも両面にしてもよい。ま
た、オイル被膜と酸化被膜を形成する工程の順番は、ど
ちらが先であってもよいし、同時であってもよい。
おける、フィルムに酸素を含むガスを吹付ける酸素吹付
けステップは、酸素を含む雰囲気に曝露させる酸素曝露
ステップとしても同様の結果が得られる。また、フィル
ムの片面に、オイル被膜と酸化被膜を形成するようにし
たが、どちらか、または両方とも両面にしてもよい。ま
た、オイル被膜と酸化被膜を形成する工程の順番は、ど
ちらが先であってもよいし、同時であってもよい。
【００５２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の請求項１から３に記載の両面金属化フィルムの製造装
置によれば、フィルムの両面に蒸着金属膜を形成する金
属蒸着部と、前記金属蒸着部によって形成した蒸着膜の
うち少なくとも片側の面にオイル被膜を形成するオイル
被膜形成部と、前記金属蒸着部によって形成した蒸着膜
のうち少なくとも片側の前記蒸着膜上に酸化被膜を形成
する酸化膜形成部として、酸素吹付け部または酸素曝露
部とを有することから、湿気によるブロッキング進行の
無い良好な両面金属化フィルムを製造できる。
の請求項１から３に記載の両面金属化フィルムの製造装
置によれば、フィルムの両面に蒸着金属膜を形成する金
属蒸着部と、前記金属蒸着部によって形成した蒸着膜の
うち少なくとも片側の面にオイル被膜を形成するオイル
被膜形成部と、前記金属蒸着部によって形成した蒸着膜
のうち少なくとも片側の前記蒸着膜上に酸化被膜を形成
する酸化膜形成部として、酸素吹付け部または酸素曝露
部とを有することから、湿気によるブロッキング進行の
無い良好な両面金属化フィルムを製造できる。
【００５３】また、本発明の請求項４および５記載の両
面金属化フィルムの製造装置によれば、オイル被膜とし
てシリコンオイルやフッ素オイルを用いることから、フ
ィルムの膨潤による抵抗値上昇の無い良好な両面金属化
フィルムを製造できる。
面金属化フィルムの製造装置によれば、オイル被膜とし
てシリコンオイルやフッ素オイルを用いることから、フ
ィルムの膨潤による抵抗値上昇の無い良好な両面金属化
フィルムを製造できる。
【００５４】また本発明の請求項６記載の両面金属化フ
ィルムの製造装置によれば、蒸着金属が亜鉛を含むこと
から、より顕著な効果を得ることができる。
ィルムの製造装置によれば、蒸着金属が亜鉛を含むこと
から、より顕著な効果を得ることができる。
【００５５】また本発明の請求項７記載の両面金属化フ
ィルムの製造装置によれば、前記オイル被膜形成部が、
フィルムの幅方向において所定の部分にのみオイル被膜
を形成するものであることから、メタリコンコンタクト
を悪化させることなくオイル被膜を形成することができ
る。
ィルムの製造装置によれば、前記オイル被膜形成部が、
フィルムの幅方向において所定の部分にのみオイル被膜
を形成するものであることから、メタリコンコンタクト
を悪化させることなくオイル被膜を形成することができ
る。
【００５６】また本発明の請求項８記載の両面金属化フ
ィルムの製造装置によれば、前記オイル被膜形成部が、
蒸着膜にオイル蒸気を噴霧するものであることから、蒸
着面に傷を与えることなくオイル被膜を形成することが
できる。
ィルムの製造装置によれば、前記オイル被膜形成部が、
蒸着膜にオイル蒸気を噴霧するものであることから、蒸
着面に傷を与えることなくオイル被膜を形成することが
できる。
【００５７】また本発明の請求項９記載の両面金属化フ
ィルムの製造装置によれば、前記オイル被膜形成部が、
オイルタンク内に圧力センサを設け、オイル蒸気圧をモ
ニタリングして蒸着膜にオイル蒸気を噴霧するものであ
ることから、長尺のフィルムにおいても、均質なオイル
被膜を形成することができる。
ィルムの製造装置によれば、前記オイル被膜形成部が、
オイルタンク内に圧力センサを設け、オイル蒸気圧をモ
ニタリングして蒸着膜にオイル蒸気を噴霧するものであ
ることから、長尺のフィルムにおいても、均質なオイル
被膜を形成することができる。
【００５８】また請求項１０記載の金属化フィルムコン
デンサは、フィルムの両面に蒸着金属膜を形成し、形成
した蒸着膜のうち少なくとも片側の面にオイル被膜を形
成し、形成した蒸着膜のうち少なくとも片側の面に形成
する酸化膜を形成している、湿気によるブロッキング進
行の無い良好な両面金属化フィルムを用いていることか
ら、ｔａｎδ、耐圧ともに良好なコンデンサを実現でき
る。
デンサは、フィルムの両面に蒸着金属膜を形成し、形成
した蒸着膜のうち少なくとも片側の面にオイル被膜を形
成し、形成した蒸着膜のうち少なくとも片側の面に形成
する酸化膜を形成している、湿気によるブロッキング進
行の無い良好な両面金属化フィルムを用いていることか
ら、ｔａｎδ、耐圧ともに良好なコンデンサを実現でき
る。
【００５９】また請求項１１から１３記載の両面金属化
フィルムの製造方法は、湿気によるブロッキング進行の
無い良好な両面金属化フィルムを提供できる。
フィルムの製造方法は、湿気によるブロッキング進行の
無い良好な両面金属化フィルムを提供できる。
【００６０】また請求項１４載の両面金属化フィルムの
製造装置によれば、フィルムがポリプロピレンフィルム
であることから、より顕著な効果を得ることができる。
製造装置によれば、フィルムがポリプロピレンフィルム
であることから、より顕著な効果を得ることができる。
【図１】本発明の実施の形態における両面金属化フィル
ムの製造装置を示す図
ムの製造装置を示す図
【図２】オイル被膜形成部近傍を拡大した断面図
【図３】オイル被膜形成部のノズルを拡大した図
【図４】酸素吹付け部を拡大した図
【図５】本発明の実施の形態の製造装置で両面金属化フ
ィルムを作製する際の条件とその結果を示した図
ィルムを作製する際の条件とその結果を示した図
【図６】本発明の実施の形態の製造装置で製造した金属
化フィルムを用いて作製した金属化フィルムコンデンサ
の断面図
化フィルムを用いて作製した金属化フィルムコンデンサ
の断面図
【図７】本実施の形態と従来例における条件で作製した
コンデンサの試験結果を示す図
コンデンサの試験結果を示す図
【図８】本実施の形態における金属化フィルムコンデン
サのオイル被膜分析を示す図
サのオイル被膜分析を示す図
【図９】本実施の形態における金属化フィルムコンデン
サの酸化被膜分析を示す図
サの酸化被膜分析を示す図
【図１０】従来の片面金属化フィルムコンデンサを示す
図
図
【図１１】従来の両面金属化フィルムコンデンサ示す図
３、７２ フィルム
４ａ、４ｂ 冷却キャン
５ａ、５ｂ アルミニウム蒸発源
６ａ、６ｂ 亜鉛蒸発源
７ オイル被膜形成部
８ 酸素吹付け部
２０ オイルタンク
２１ 蒸着膜
２２ オイル
２４ オイル蒸気
２７ 圧力センサ
２９、４１ オイル被膜
３１ 酸素を含むガス
４２ 酸化被膜
６１ａ、６１ｂ 蒸着電極
７４ 両面金属化フィルム
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 竹岡 宏樹
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
(72)発明者 西森 敏幸
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
(72)発明者 岡部 繁雄
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
(72)発明者 佐々木 敏宏
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
Ｆターム(参考） 4K029 AA11 AA25 BA03 BA18 BA23
BB04 BD00 GA01
5E082 AB04 BB07 BC38 EE07 EE23
EE37 FF05 FG06 GG04 LL05
Claims (14)
- 【請求項１】 フィルムの両面に蒸着金属膜を形成する
金属蒸着部と、前記金属蒸着部によって形成した蒸着膜
のうち少なくとも片側の面にオイル被膜を形成するオイ
ル被膜形成部と、前記金属蒸着部によって形成した蒸着
膜のうち少なくとも片側の前記蒸着膜上に、酸素を含む
ガスを用いて酸化膜を形成する酸化膜形成部とを有する
両面金属化フィルムの製造装置。 - 【請求項２】 フィルムの両面に蒸着金属膜を形成する
金属蒸着部と、前記金属蒸着部によって形成した蒸着膜
のうち少なくとも片側の面にオイル被膜を形成するオイ
ル被膜形成部と、前記金属蒸着部によって形成した蒸着
膜のうち少なくとも片側の前記蒸着膜上に酸素を含むガ
スを吹付ける酸素吹付け部とを有する両面金属化フィル
ムの製造装置。 - 【請求項３】 フィルムの両面に蒸着金属膜を形成する
金属蒸着部と、前記金属蒸着部によって形成した蒸着膜
のうち少なくとも片側の面にオイル被膜を形成するオイ
ル被膜形成部と、前記金属蒸着部によって形成した蒸着
膜のうち少なくとも片側の前記蒸着膜上を酸素を含む雰
囲気に曝露させる酸素曝露部とを有する両面金属化フィ
ルムの製造装置。 - 【請求項４】 オイル被膜形成部では、両面金属化フィ
ルムにオイル被膜を形成するオイルとしてシリコンオイ
ルを用いる請求項１から３のいずれかに記載の両面金属
化フィルムの製造装置。 - 【請求項５】 オイル被膜形成部では、両面金属化フィ
ルムにオイル被膜を形成するオイルとしてフッ素オイル
を用いる請求項１から３のいずれかに記載の両面金属化
フィルムの製造装置。 - 【請求項６】 金属蒸着部においては、フィルムの両面
に蒸着する金属が亜鉛を含むものである請求項１から５
のいずれかに記載の両面金属化フィルムの製造装置。 - 【請求項７】 オイル被膜形成部が、フィルムの幅方向
において所定の部分にのみオイル被膜を形成するもので
ある請求項１から６のいずれかに記載の両面金属化フィ
ルムの製造装置。 - 【請求項８】 オイル被膜形成部が、蒸着膜にオイル蒸
気を噴霧するものである請求項１から７のいずれかに記
載の両面金属化フィルムの製造装置。 - 【請求項９】 オイル被膜形成部は、オイルタンク内に
圧力センサを設け、オイル蒸気圧をモニタリングして蒸
着膜にオイル蒸気を噴霧するものである請求項８記載の
両面金属化フィルムの製造装置。 - 【請求項１０】 両面金属化フィルムを用いたコンデン
サであって、両面金属化フィルムの少なくとも片側の蒸
着膜表面に酸化被膜を具備し、かつ少なくとも片側の蒸
着膜表面にオイル被膜を具備した金属化フィルムコンデ
ンサ。 - 【請求項１１】 フィルムの両面に蒸着金属膜を形成す
る金属蒸着ステップと、前記金属蒸着ステップによって
前記フィルムの両面に形成した蒸着膜のうち少なくとも
片側の面にオイル被膜を形成するオイル被膜形成ステッ
プと、前記金属蒸着ステップによって前記フィルムの両
面に形成した蒸着膜のうち少なくとも片側の面に酸素を
含むガスを用いて酸化膜を形成する酸化膜形成ステップ
とを用いる両面金属化フィルムの製造方法。 - 【請求項１２】 フィルムの両面に蒸着金属膜を形成す
る金属蒸着ステップと、前記金属蒸着ステップによって
前記フィルムの両面に形成した蒸着膜のうち少なくとも
片側の面にオイル被膜を形成するオイル被膜形成ステッ
プと、前記金属蒸着ステップによって前記フィルムの両
面に形成した蒸着膜のうち少なくとも片側の面に酸素を
含むガスを吹付ける酸素吹付けステップとを用いる両面
金属化フィルムの製造方法。 - 【請求項１３】 フィルムの両面に蒸着金属膜を形成す
る金属蒸着ステップと、前記金属蒸着ステップによって
前記フィルムの両面に形成した蒸着膜のうち少なくとも
片側の面にオイル被膜を形成するオイル被膜形成ステッ
プと、前記金属蒸着ステップによって前記フィルムの両
面に形成した蒸着膜のうち少なくとも片側の面に酸素を
含む雰囲気に曝露させる酸素曝露ステップとを用いる両
面金属化フィルムの製造方法。 - 【請求項１４】 フィルムはポリプロピレンフィルムを
用いる請求項１１から１３のいずれかに記載の両面金属
化フィルムの製造方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002096442A JP3767505B2 (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | 金属化フィルムコンデンサとその製造方法および製造装置 |
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