JP2003297273A - 電子ビーム装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィラメントの寿命を長くする。
【解決手段】 電子放出主部２２に繋がったタングス
テン線２３Ａ，２３Ｂにおいて、電子放出主部２２と端
子２４Ａ，２４Ｂの中間部に当たる部分に、タングステ
ン線を巻き付けて固着する。そして、この様な電子銃を
電子ビーム蒸発装置の電子銃として使用する。この様な
電子銃のフイラメント２１においては、電子放出主部２
２と、端子２４Ａ，２４Ｂで支持されている先端部との
間に温度勾配が出来、相対的に温度の中間部となる電子
放出主部２２と先端部との中間部分は酸化し易い。しか
し、この中間部にはタングステン線が巻かれているの
で、巻回タングステンが表面から漸次蒸発し、巻回タン
グステンの芯線に当たるタングステン線は長時間蒸発せ
ず、結果的に、フイラメントが長寿命化する。
テン線２３Ａ，２３Ｂにおいて、電子放出主部２２と端
子２４Ａ，２４Ｂの中間部に当たる部分に、タングステ
ン線を巻き付けて固着する。そして、この様な電子銃を
電子ビーム蒸発装置の電子銃として使用する。この様な
電子銃のフイラメント２１においては、電子放出主部２
２と、端子２４Ａ，２４Ｂで支持されている先端部との
間に温度勾配が出来、相対的に温度の中間部となる電子
放出主部２２と先端部との中間部分は酸化し易い。しか
し、この中間部にはタングステン線が巻かれているの
で、巻回タングステンが表面から漸次蒸発し、巻回タン
グステンの芯線に当たるタングステン線は長時間蒸発せ
ず、結果的に、フイラメントが長寿命化する。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、フィラメントの寿命を
延ばした電子ビーム装置に関する。
延ばした電子ビーム装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子ビーム装置として、坩堝中に収容さ
れた物質に当てることにより物質を蒸発させ、蒸発粒子
を基板上に付着等させたり、或いは、加速した電子ビー
ムをターゲットに衝突させることにより、ターゲットに
溶接等の加工を行ったりする装置がある。
れた物質に当てることにより物質を蒸発させ、蒸発粒子
を基板上に付着等させたり、或いは、加速した電子ビー
ムをターゲットに衝突させることにより、ターゲットに
溶接等の加工を行ったりする装置がある。
【０００３】図１は、この様な電子ビーム装置の一例と
して、電子ビーム蒸発装置の概略を示したもので、図２
は図１のＡ−Ａ線断面図である。
して、電子ビーム蒸発装置の概略を示したもので、図２
は図１のＡ−Ａ線断面図である。
【０００４】図中１Ａ，１Ｂは、永久磁石２を挟んで平
行に配置された磁極板で、前記永久磁石２によりＮ極と
Ｓ極に励磁されている。該磁極板間には、蒸発物質３が
収容された坩堝４が設けられている。該坩堝の下には、
電子銃５が設けられている。該電子銃はフィラメント
６，グリッド７及びアノード８から成る。９はフィラメ
ント加熱電源、１０は加速電源である。尚、１１はグリ
ッド支持板である。１２は環状鉄心にＸ方向走査用偏向
コイルとＹ方向走査用偏向コイルが巻かれた走査用電磁
コイル体で、前記電子銃５からの電子ビームの通路上に
配置されている。尚、この走査用電磁コイル体は、例え
ば、磁極１Ａ，１Ｂの間で坩堝４の近くに取り付けられ
た非磁性製のホルダー（図示せず）によって支持されて
いる。１３は該走査用電磁コイル体に走査用の電流を流
すための走査用電源である。尚、図示しなかったが、グ
リッド７とフィラメント６の間には引き出し電源（図示
せず）から正の引き出し電圧が印加されてる様に成って
いる。
行に配置された磁極板で、前記永久磁石２によりＮ極と
Ｓ極に励磁されている。該磁極板間には、蒸発物質３が
収容された坩堝４が設けられている。該坩堝の下には、
電子銃５が設けられている。該電子銃はフィラメント
６，グリッド７及びアノード８から成る。９はフィラメ
ント加熱電源、１０は加速電源である。尚、１１はグリ
ッド支持板である。１２は環状鉄心にＸ方向走査用偏向
コイルとＹ方向走査用偏向コイルが巻かれた走査用電磁
コイル体で、前記電子銃５からの電子ビームの通路上に
配置されている。尚、この走査用電磁コイル体は、例え
ば、磁極１Ａ，１Ｂの間で坩堝４の近くに取り付けられ
た非磁性製のホルダー（図示せず）によって支持されて
いる。１３は該走査用電磁コイル体に走査用の電流を流
すための走査用電源である。尚、図示しなかったが、グ
リッド７とフィラメント６の間には引き出し電源（図示
せず）から正の引き出し電圧が印加されてる様に成って
いる。
【０００５】この様な装置において、電子銃５のフィラ
メント６の電子放出主部から発生された電子ビームは、
グリッド７により引き出され、更に、アノード８によっ
て加速され、磁極１Ａ，１Ｂが作る磁場により２７０°
前後曲げられ坩堝４内に収容された蒸発物質３に照射さ
れる。その際、電子銃５からの電子ビームは走査用電磁
コイル体１２が作る二次元方向走査用磁場を通過するの
で、電子ビームは蒸発物質３上を二次元方向に走査する
ことになる。この結果、蒸発物質３は電子ビームにより
加熱されて蒸発し、その蒸発粒子が、例えば、坩堝４上
方に配置された基板（図示せず）上に付着する。
メント６の電子放出主部から発生された電子ビームは、
グリッド７により引き出され、更に、アノード８によっ
て加速され、磁極１Ａ，１Ｂが作る磁場により２７０°
前後曲げられ坩堝４内に収容された蒸発物質３に照射さ
れる。その際、電子銃５からの電子ビームは走査用電磁
コイル体１２が作る二次元方向走査用磁場を通過するの
で、電子ビームは蒸発物質３上を二次元方向に走査する
ことになる。この結果、蒸発物質３は電子ビームにより
加熱されて蒸発し、その蒸発粒子が、例えば、坩堝４上
方に配置された基板（図示せず）上に付着する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】さて、この様に電子照
射により蒸発物質を蒸発させる電子銃のフィラメントと
しては、一般に低電圧で大電力のビーム（即ち、ビーム
電流の大きいビーム）が得られるように、大きいものが
使用されている。
射により蒸発物質を蒸発させる電子銃のフィラメントと
しては、一般に低電圧で大電力のビーム（即ち、ビーム
電流の大きいビーム）が得られるように、大きいものが
使用されている。
【０００７】図３はその様なフィラメント及びその周辺
の詳細の一例を示したもので、図３の（ｂ）は図３の
（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
の詳細の一例を示したもので、図３の（ｂ）は図３の
（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【０００８】図中２１はフィラメントで、例えば、直径
０．５ｍｍ前後の太さのタングステン線の中央部分で一
平面に沿った渦巻き部（電子放出主部）２２を形成し、
その渦巻き部に繋がるタングステン線２３Ａ，２３Ｂを
該渦巻き面に対して垂直に垂らしたものである。
０．５ｍｍ前後の太さのタングステン線の中央部分で一
平面に沿った渦巻き部（電子放出主部）２２を形成し、
その渦巻き部に繋がるタングステン線２３Ａ，２３Ｂを
該渦巻き面に対して垂直に垂らしたものである。
【０００９】前記タングステン線２３Ａ，２３Ｂの端部
は、例えばステンレス製の端子２４Ａ，２４Ｂを介して
絶縁性支持体２５（図２のグリッド支持板１１に相当）
で支持されている。
は、例えばステンレス製の端子２４Ａ，２４Ｂを介して
絶縁性支持体２５（図２のグリッド支持板１１に相当）
で支持されている。
【００１０】前記端子２４Ａ，２４Ｂにはフィラメント
加熱電源９から銅線２６を介してフィラメント加熱用の
電流が流されるように成っている。
加熱電源９から銅線２６を介してフィラメント加熱用の
電流が流されるように成っている。
【００１１】さて、この様なフィラメントにおいて、フ
ィラメント加熱電源９から銅線２６及び端子２４Ａ，２
４Ｂを介してフィラメント２１に電流を流すと、渦巻き
部（電子放出主部）２２から沢山の電子が放出される。
ィラメント加熱電源９から銅線２６及び端子２４Ａ，２
４Ｂを介してフィラメント２１に電流を流すと、渦巻き
部（電子放出主部）２２から沢山の電子が放出される。
【００１２】この際、フィラメント２１において、フィ
ラメント２０の渦巻き部（電子放出主部）２２を形成し
ている部分と、該渦巻き部（電子放出主部）に繋がって
いるタングステン線２３Ａ，２３Ｂの端子２４Ａ，２４
Ｂで支持されている先端部との間に温度勾配が出来る。
即ち、渦巻き部（電子放出主部）２２を形成している部
分は２３００℃前後、端子２４Ａ，２４Ｂに近い部分は
７００℃前後となり、中間部は１５００℃前後になる。
ラメント２０の渦巻き部（電子放出主部）２２を形成し
ている部分と、該渦巻き部（電子放出主部）に繋がって
いるタングステン線２３Ａ，２３Ｂの端子２４Ａ，２４
Ｂで支持されている先端部との間に温度勾配が出来る。
即ち、渦巻き部（電子放出主部）２２を形成している部
分は２３００℃前後、端子２４Ａ，２４Ｂに近い部分は
７００℃前後となり、中間部は１５００℃前後になる。
【００１３】所で、基板に成膜を行う場合、酸化物を成
膜する場合が多々あり、その様な成膜の場合、電子ビー
ム蒸発装置の蒸発物質３と基板の間に酸素ガスが導入さ
れるが、その際、タングステン製のフィラメントを使用
していると、フィラメントが酸化する。
膜する場合が多々あり、その様な成膜の場合、電子ビー
ム蒸発装置の蒸発物質３と基板の間に酸素ガスが導入さ
れるが、その際、タングステン製のフィラメントを使用
していると、フィラメントが酸化する。
【００１４】この時、温度勾配が出来ているフィラメン
トにおいて、相対的に温度の高い所は、反応は活発であ
るが、酸素が付きにくい為に、渦巻き部（電子放出主
部）２２を形成している部分は酸化し難い。又、相対的
に温度の低い所は、酸素は付き易いが、反応が不活発な
為、タングステン線２３Ａ，２３Ｂの端子２４Ａ，２４
Ｂに近い部分は酸化し難い。一方、相対的に温度の中間
部になる所は、酸素は比較的付き易く、且つ、反応が比
較的活発な為、渦巻き部（電子放出主部）２２を形成し
ている部分と端子２４Ａ，２４Ｂに近い部分の中間部に
当たるタングステン線は酸化し易い。
トにおいて、相対的に温度の高い所は、反応は活発であ
るが、酸素が付きにくい為に、渦巻き部（電子放出主
部）２２を形成している部分は酸化し難い。又、相対的
に温度の低い所は、酸素は付き易いが、反応が不活発な
為、タングステン線２３Ａ，２３Ｂの端子２４Ａ，２４
Ｂに近い部分は酸化し難い。一方、相対的に温度の中間
部になる所は、酸素は比較的付き易く、且つ、反応が比
較的活発な為、渦巻き部（電子放出主部）２２を形成し
ている部分と端子２４Ａ，２４Ｂに近い部分の中間部に
当たるタングステン線は酸化し易い。
【００１５】さて、タングステンの酸化物はタングステ
ンに比較して、融点が可成り低いため、タングステンの
酸化物はタングステンに比較して極めて蒸発し易い。従
って、前記渦巻き部（電子放出主部）２２を形成してい
る部分と端子２４Ａ，２４Ｂに近い部分の中間部に当た
るタングステン線は他の部分に比べて極めて蒸発し易く
なり、この中間部に溶断が起こってしまう。尚、この様
なフィラメントにおいて、ステンレス製の端子２４Ａ，
２４Ｂから水素が発生しており、その一部がタングステ
ン線２３Ａ，２３Ｂ方向へ拡散している。その為、この
拡散により水素が届いているタングステン線の部分の表
面では、酸素と化合して水が出来るので、溶断し難い状
態になっているが、この水素が最初から届かない所、或
いは、最初は届いていても拡散が少なくなって水素が届
かなくなった所で溶断が発生する。
ンに比較して、融点が可成り低いため、タングステンの
酸化物はタングステンに比較して極めて蒸発し易い。従
って、前記渦巻き部（電子放出主部）２２を形成してい
る部分と端子２４Ａ，２４Ｂに近い部分の中間部に当た
るタングステン線は他の部分に比べて極めて蒸発し易く
なり、この中間部に溶断が起こってしまう。尚、この様
なフィラメントにおいて、ステンレス製の端子２４Ａ，
２４Ｂから水素が発生しており、その一部がタングステ
ン線２３Ａ，２３Ｂ方向へ拡散している。その為、この
拡散により水素が届いているタングステン線の部分の表
面では、酸素と化合して水が出来るので、溶断し難い状
態になっているが、この水素が最初から届かない所、或
いは、最初は届いていても拡散が少なくなって水素が届
かなくなった所で溶断が発生する。
【００１６】この様な溶断により、フィラメントの寿命
が短くなる。
が短くなる。
【００１７】本発明は、この様な問題点を解決する為に
なされたもので、新規な電子ビーム装置を提供すること
を目的とする。
なされたもので、新規な電子ビーム装置を提供すること
を目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】 本発明に基づく電子ビ
ーム装置は、電子銃からの電子ビームをターゲットに当
てるようにした電子ビーム装置において、前記電子銃
は、電子放出主部に繋がった金属体の端部が支持体に支
持された構造を成しており、電子放出主部と金属体端部
との中間部を金属体で覆ったことを特徴とする。
ーム装置は、電子銃からの電子ビームをターゲットに当
てるようにした電子ビーム装置において、前記電子銃
は、電子放出主部に繋がった金属体の端部が支持体に支
持された構造を成しており、電子放出主部と金属体端部
との中間部を金属体で覆ったことを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の態様の形態を詳細に説明する。
施の態様の形態を詳細に説明する。
【００２０】図４は本発明の主要部の一例として示した
電子銃の主要部（フィラメント及びその周辺部）の概略
図である。
電子銃の主要部（フィラメント及びその周辺部）の概略
図である。
【００２１】図中前記図３にて使用した記号と同一記号
の付されたものは同一構成要素を示す。
の付されたものは同一構成要素を示す。
【００２２】図中、２７Ａ，２７Ｂは、タングステン線
の内、渦巻き部（電子放出主部）２２を形成している部
分と端子２４Ａ，２４Ｂに近い部分の中間部に巻かれた
タングステン線である（以後、卷回タングス線と称
す）。
の内、渦巻き部（電子放出主部）２２を形成している部
分と端子２４Ａ，２４Ｂに近い部分の中間部に巻かれた
タングステン線である（以後、卷回タングス線と称
す）。
【００２３】前記中間部にタングステン線を巻いた時、
中間部のタングステン線と卷回タングス線との接触が良
くないと、中間部のタングステンと卷回タングステン線
の間に温度差が出来（中間部のタングステンの温度≫卷
回タングステン線の温度）、結果的に、中間部のタング
ステンの溶断が起こってしまうので、中間部にタングス
テン線を巻いた後、卷回タングステン線２７Ａ，２７Ｂ
の両端部を溶接により確実に中間部に固着させる。
中間部のタングステン線と卷回タングス線との接触が良
くないと、中間部のタングステンと卷回タングステン線
の間に温度差が出来（中間部のタングステンの温度≫卷
回タングステン線の温度）、結果的に、中間部のタング
ステンの溶断が起こってしまうので、中間部にタングス
テン線を巻いた後、卷回タングステン線２７Ａ，２７Ｂ
の両端部を溶接により確実に中間部に固着させる。
【００２４】この様なフィラメントを図１及び２に示し
た電子ビーム蒸発装置の電子銃に使用した場合、フィラ
メント加熱電源９から銅線２６及び端子２４Ａ，２４Ｂ
を介してフィラメント２１に電流を流すことにより、渦
巻き部（電子放出主部）２２から沢山の電子が放出され
る。この電子は、グリッド７により引き出され、更に、
アノード８によって加速され、磁極１Ａ，１Ｂが作る磁
場により２７０°前後曲げられ坩堝４内に収容された蒸
発物質３に照射される。その際、電子銃５からの電子ビ
ームは走査用電磁コイル体１２が作る二次元方向走査用
磁場を通過するので、電子ビームは蒸発物質３上を二次
元方向に走査することになる。この結果、蒸発物質３は
電子ビームにより加熱されて蒸発し、その蒸発粒子が、
例えば、坩堝４上方に配置された基板（図示せず）上に
付着する。
た電子ビーム蒸発装置の電子銃に使用した場合、フィラ
メント加熱電源９から銅線２６及び端子２４Ａ，２４Ｂ
を介してフィラメント２１に電流を流すことにより、渦
巻き部（電子放出主部）２２から沢山の電子が放出され
る。この電子は、グリッド７により引き出され、更に、
アノード８によって加速され、磁極１Ａ，１Ｂが作る磁
場により２７０°前後曲げられ坩堝４内に収容された蒸
発物質３に照射される。その際、電子銃５からの電子ビ
ームは走査用電磁コイル体１２が作る二次元方向走査用
磁場を通過するので、電子ビームは蒸発物質３上を二次
元方向に走査することになる。この結果、蒸発物質３は
電子ビームにより加熱されて蒸発し、その蒸発粒子が、
例えば、坩堝４上方に配置された基板（図示せず）上に
付着する。
【００２５】この様な蒸着過程において、フィラメント
２１では、フィラメント２０の渦巻き部（電子放出主
部）２２を形成している部分と、該渦巻き部（電子放出
主部）に繋がっているタングステン線２３Ａ，２３Ｂの
端子２４Ａ，２４Ｂで支持されている先端部との間に温
度勾配が出来、渦巻き部（電子放出主部）２２を形成し
ている部分は２３００℃前後、端子２４Ａ，２４Ｂに近
い部分は７００℃前後となり、中間部は１５００℃前後
になる。
２１では、フィラメント２０の渦巻き部（電子放出主
部）２２を形成している部分と、該渦巻き部（電子放出
主部）に繋がっているタングステン線２３Ａ，２３Ｂの
端子２４Ａ，２４Ｂで支持されている先端部との間に温
度勾配が出来、渦巻き部（電子放出主部）２２を形成し
ている部分は２３００℃前後、端子２４Ａ，２４Ｂに近
い部分は７００℃前後となり、中間部は１５００℃前後
になる。
【００２６】さて、前述した様に、酸化物を成膜する場
合に、電子ビーム蒸発装置の蒸発物質３と基板の間に酸
素ガスが導入されるが、温度勾配が出来ているフィラメ
ントにおいては、相対的に温度の高い渦巻き部（電子放
出主部）２２では反応は活発であるが酸素が付きにくい
為、酸化し難い。又、相対的に温度の低いタングステン
線２３Ａ，２３Ｂの端子２４Ａ，２４Ｂに近い部分は、
酸素は付き易いが、反応が不活発な為、酸化し難い。
合に、電子ビーム蒸発装置の蒸発物質３と基板の間に酸
素ガスが導入されるが、温度勾配が出来ているフィラメ
ントにおいては、相対的に温度の高い渦巻き部（電子放
出主部）２２では反応は活発であるが酸素が付きにくい
為、酸化し難い。又、相対的に温度の低いタングステン
線２３Ａ，２３Ｂの端子２４Ａ，２４Ｂに近い部分は、
酸素は付き易いが、反応が不活発な為、酸化し難い。
【００２７】一方、相対的に温度の中間部になる所、即
ち、渦巻き部（電子放出主部）２２を形成している部分
と端子２４Ａ，２４Ｂに近い部分の中間部は、酸素が比
較的付き易く、且つ、反応が比較的活発な為、この中間
部は酸化し易い。
ち、渦巻き部（電子放出主部）２２を形成している部分
と端子２４Ａ，２４Ｂに近い部分の中間部は、酸素が比
較的付き易く、且つ、反応が比較的活発な為、この中間
部は酸化し易い。
【００２８】しかし、この中間部にはタングステン線が
巻かれているので、芯線に当たるタングステン上に巻か
れた卷回タングステン２７Ａ，２７Ｂの表面から漸次蒸
発することになり、該卷回タングステンの芯線に当たる
タングステン線は著しく長時間蒸発することはなく、結
果的にフィラメントの寿命が著しく延びる。
巻かれているので、芯線に当たるタングステン上に巻か
れた卷回タングステン２７Ａ，２７Ｂの表面から漸次蒸
発することになり、該卷回タングステンの芯線に当たる
タングステン線は著しく長時間蒸発することはなく、結
果的にフィラメントの寿命が著しく延びる。
【００２９】尚、卷回タングステン２７Ａ，２７Ｂの代
わりに、図５に示す様に、前記中間部の上に肉厚筒状の
タングステン製金属体２８Ａ，２８Ｂを覆い被すように
固着させても良い。
わりに、図５に示す様に、前記中間部の上に肉厚筒状の
タングステン製金属体２８Ａ，２８Ｂを覆い被すように
固着させても良い。
【００３０】所で、電子照射による蒸発物質の蒸発時、
蒸気の一部が電子ビームの衝撃によりイオン化する。通
常、蒸発物質は金属なので、これらのイオンは＋イオン
である。これらの＋イオンは図２に示すフィラメント２
２から坩堝４内の蒸発物質３の間の電子ビームの偏向軌
道（実質的に導体となっている）１４の中心軸Ｏに沿っ
て負の電位のフィラメント２２に向かう。そして、これ
らの＋イオンは、フィラメント６の中心部分（第３図の
Ｋの部分）に当たり、該部分をスパッタしてしまう。そ
の為に、該部分が細くなるので該部分に過電流が流れ、
やがて溶断してしまい、フィラメントを新しいものに交
換しなければならない。この様な溶断が蒸着操作中に起
こると、その蒸着膜は不良品となるばかりではなく、こ
の様な溶断によるフィラメントの交換は経済的にも操作
的にも著しく不利である。まして、この様な溶断が短時
間で起こると、極めて大きな問題となる。
蒸気の一部が電子ビームの衝撃によりイオン化する。通
常、蒸発物質は金属なので、これらのイオンは＋イオン
である。これらの＋イオンは図２に示すフィラメント２
２から坩堝４内の蒸発物質３の間の電子ビームの偏向軌
道（実質的に導体となっている）１４の中心軸Ｏに沿っ
て負の電位のフィラメント２２に向かう。そして、これ
らの＋イオンは、フィラメント６の中心部分（第３図の
Ｋの部分）に当たり、該部分をスパッタしてしまう。そ
の為に、該部分が細くなるので該部分に過電流が流れ、
やがて溶断してしまい、フィラメントを新しいものに交
換しなければならない。この様な溶断が蒸着操作中に起
こると、その蒸着膜は不良品となるばかりではなく、こ
の様な溶断によるフィラメントの交換は経済的にも操作
的にも著しく不利である。まして、この様な溶断が短時
間で起こると、極めて大きな問題となる。
【００３１】そこで、例えば、図６に示す様に、電子放
出主部の中心部分（前記図３のＫに当たる部分）が空い
た渦巻き状のフィラメントを使用すれば、この様な問題
を解決することは出来る。この様な電子放出主部に繋が
るタングステン線の中間部にタングステン線を巻くか或
いは肉厚筒状のタングステン製金属体を被せて固着すれ
ば、フイラメントの寿命を著しく延ばすことが可能にな
る。
出主部の中心部分（前記図３のＫに当たる部分）が空い
た渦巻き状のフィラメントを使用すれば、この様な問題
を解決することは出来る。この様な電子放出主部に繋が
るタングステン線の中間部にタングステン線を巻くか或
いは肉厚筒状のタングステン製金属体を被せて固着すれ
ば、フイラメントの寿命を著しく延ばすことが可能にな
る。
【００３２】又、この様な中心部分の空いた電子放出主
部を有するフィラメントにおいては、空いた分だけ該フ
ィラメントからの電子量が不足し、蒸発物質３の蒸発が
十分に行われない恐れがある。
部を有するフィラメントにおいては、空いた分だけ該フ
ィラメントからの電子量が不足し、蒸発物質３の蒸発が
十分に行われない恐れがある。
【００３３】そこで、例えば、図７に示す如く、コイル
状フィラメントを環状に形成し、環の中心軸方向に電子
を取り出すように成した電子放出主部を有するフィラメ
ントが提案されている（特願平１１−３５８６４２
号）。この様な電子放出主部に繋がるタングステン線の
中間部にタングステン線を巻くか或いは肉厚筒状のタン
グステン製金属体を被せて固着すれば、フイラメントの
寿命を著しく延ばすことが可能になる。
状フィラメントを環状に形成し、環の中心軸方向に電子
を取り出すように成した電子放出主部を有するフィラメ
ントが提案されている（特願平１１−３５８６４２
号）。この様な電子放出主部に繋がるタングステン線の
中間部にタングステン線を巻くか或いは肉厚筒状のタン
グステン製金属体を被せて固着すれば、フイラメントの
寿命を著しく延ばすことが可能になる。
【００３４】尚、前記各例に上げたフィラメントは何れ
もタングステン製のものであったが、他の金属製（例え
ば、ＬａＢ６）のフィラメントにおいても、その電子放
出主部に繋がる金属体の中間部に同じ種類の金属を厚く
被覆させれば同様な効果が得られる。
もタングステン製のものであったが、他の金属製（例え
ば、ＬａＢ６）のフィラメントにおいても、その電子放
出主部に繋がる金属体の中間部に同じ種類の金属を厚く
被覆させれば同様な効果が得られる。
【００３５】又、前記例では、電子放出主部と金属体端
部との中間部を電子放出主部と同じ金属体で覆うように
成したが、タンタル等の酸化し難い別の金属で覆うよう
にしても良い。
部との中間部を電子放出主部と同じ金属体で覆うように
成したが、タンタル等の酸化し難い別の金属で覆うよう
にしても良い。
【００３６】又、本発明の電子ビーム装置として電子ビ
ーム蒸発装置を例に上げたが、電子ビーム溶接装置等の
加工装置等にも本発明は適用出来ることはいうまでもな
い。
ーム蒸発装置を例に上げたが、電子ビーム溶接装置等の
加工装置等にも本発明は適用出来ることはいうまでもな
い。
【図１】 電子ビーム装置の一例として、電子ビーム蒸
発装置の概略を示したものである。
発装置の概略を示したものである。
【図２】 図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】 図１に示すフィラメント及びその周辺の詳細
の一例を示したものである。
の一例を示したものである。
【図４】 本発明の主要部の一例として示した電子銃の
主要部（フィラメント及びその周辺部）の概略図であ
る。
主要部（フィラメント及びその周辺部）の概略図であ
る。
【図５】 本発明の主要部の他の例として示した電子銃
の主要部（フィラメント及びその周辺部）の概略図であ
る。
の主要部（フィラメント及びその周辺部）の概略図であ
る。
【図６】 他の電子放出主部の例を示したものである。
【図７】 他の電子放出主部の例を示したものである。
１Ａ，１Ｂ…磁極板
２…永久磁石
３…蒸発物質
４…坩堝
５…電子銃
６，２１…フィラメント
７…グリッド
８…アノード
９…フィラメント加熱電源
Ｏ…電子光学的中心軸
１０…加速電源
１１…グリッド支持板
１２…走査用電磁コイル体
１３…走査用電源
１４…偏向軌道
２２…渦巻き部（電子放出主部）
２３Ａ，２３Ｂ…タングステン線
２４Ａ，２４Ｂ…端子
２５…絶縁性支持体
２６…銅線
２７Ａ，２７Ｂ…卷回タングステン線
２８Ａ，２８Ｂ…タングステン製金属体
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 4K029 CA01 DB21
5C030 BB02 BB14 BB15
5C034 BB01
Claims (8)
- 【請求項１】 電子銃からの電子ビームをターゲットに
当てるようにした電子ビーム装置において、前記電子銃
は、電子放出主部に繋がった金属体の端部が支持体に支
持された構造を成しており、電子放出主部と金属体端部
との中間部を金属体で覆った電子ビーム装置。 - 【請求項２】 電子放出主部と金属体端部との中間部を
覆う金属体は電子放出主部と同じ金属である請求項１記
載の電子ビーム装置。 - 【請求項３】 電子放出主部と金属体端部との中間部を
覆う金属体は酸化され難い金属である請求項１記載の電
子ビーム装置。 - 【請求項４】 電子放出主部は、中央部が空けられ且つ
環状に形成されている請求項１記載の電子ビーム装置。 - 【請求項５】 電子放出主部は、コイル状に巻かれてい
る請求項４記載の電子ビーム装置。 - 【請求項６】 中間部の上に金属線を巻いた請求項１記
載の電子ビーム装置。 - 【請求項７】 中間部の上に巻いた金属線の両端部を中
間部に溶接した請求項６記載の電子ビーム装置。 - 【請求項８】 中間部の上に肉厚の金属体で柱状に被覆
した請求項１記載の電子ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002099916A JP2003297273A (ja) | 2002-04-02 | 2002-04-02 | 電子ビーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002099916A JP2003297273A (ja) | 2002-04-02 | 2002-04-02 | 電子ビーム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003297273A true JP2003297273A (ja) | 2003-10-17 |
Family
ID=29388273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002099916A Pending JP2003297273A (ja) | 2002-04-02 | 2002-04-02 | 電子ビーム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003297273A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104620350A (zh) * | 2012-09-12 | 2015-05-13 | 株式会社岛津制作所 | X射线管装置和x射线管装置的使用方法 |
-
2002
- 2002-04-02 JP JP2002099916A patent/JP2003297273A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104620350A (zh) * | 2012-09-12 | 2015-05-13 | 株式会社岛津制作所 | X射线管装置和x射线管装置的使用方法 |
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| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041210 |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070510 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070605 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071106 |