JP2003272845A - 有機elパネルの減光化方法および有機elパネル - Google Patents
有機elパネルの減光化方法および有機elパネルInfo
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
択的に照射する。これによって、有機EL素子の有機層
(正孔輸送層52、有機発光層54、電子輸送層56)
の機能が劣化し、発光機能がなくなる。この手法では、
陰極58の損傷などがない。
Description
トロルミネッセンス)パネルの欠陥画素のリペアに関す
る。
の1つとして、有機ELディスプレイパネルが知られて
いる。この有機ELディスプレイパネルは、液晶ディス
プレイパネル(LCD)とは異なり、自発光であり、明
るく見やすいフラットディスプレイパネルとしてその普
及が期待されている。
子を画素として、これを多数マトリクス状に配置して構
成される。また、この有機EL素子の駆動方法として
は、LCDと同様にパッシブ方式とアクティブ方式があ
るが、LCDと同様にアクティブマトリクス方式が好ま
しいとされている。すなわち、画素毎にスイッチ用の素
子を設け、そのスイッチ用の素子を制御して、各画素の
表示をコントロールするアクティブマトリクス方式の方
が、画素毎にスイッチ用の素子を有しないパッシブ方式
より高精細の画面を実現でき好ましい。
グ素子(TFT)を用い、これを直接画素電極に接続す
るが、有機ELパネルの場合には、2つのTFTと、1
つの容量を用いる。図8に、従来の薄膜トランジスタ
(TFT)を利用した有機ELパネルにおける画素回路
の構成例を示す。有機ELパネルは、このような画素を
マトリクス配置して構成される。
ラインによって選択されるnチャンネル薄膜トランジス
タである第1TFT10のゲートが接続されている。こ
の第1TFT10のドレインには列方向に伸びるデータ
ラインDLが接続されており、そのソースには他端が低
電圧の電源である容量ラインSLに接続された保持容量
CSが接続されている。また、第1TFT10のソース
と保持容量CSの接続点は、pチャンネル薄膜トランジ
スタである第2TFT40のゲートに接続されている。
そして、この第2TFT40のソースが電源ラインVL
に接続され、ドレインが有機EL素子ELに接続されて
いる。なお、有機EL素子ELの他端はカソード電源C
Vに接続されている。
に第1TFT10がオンとなり、そのときのデータライ
ンDLのデータが保持容量CSに保持される。そして、
この保持容量CSに維持されているデータ(電位)に応
じて第2TFT40の電流が制御され、この第2TFT
40の電流に従って有機EL素子ELに電流が流れ発光
する。
きにデータラインDLに、その画素に対応するビデオ信
号が供給される。従って、データラインDLに供給され
るビデオ信号に応じて保持容量CSが充電され、これに
よって第2TFT40が対応する電流を流し、有機EL
素子ELの輝度制御が行われる。すなわち、第2TFT
40のゲート電位を制御して有機EL素子に流す電流を
制御して各画素の階調表示が行われる。
素毎に設けられた第1TFT10または第2TFT40
に欠陥が生じる場合がある。TFTが、有機EL素子へ
の電流をオフするように固定される欠陥の場合には、そ
の画素は暗点化するだけであり、輝点の中に1つの暗点
が存在してもそれは視認しがたく問題とはならない。一
方、有機EL素子への電流が常時オンになるような欠陥
の場合には、その画素が輝点となる。周りの画素が黒を
表示している際に1画素でも輝点があると、これは観察
者において視認されるので、不具合となる。そこで、輝
点となってしまう欠陥画素については、これを暗点化す
る処理が従来より行われている。
Lパネルは製品として問題がなく、輝点を減光化するこ
とで歩留まりの大幅な向上が達成できるためである。
断線することによって行える。すなわち、LCDの場合
と同様に、YAGレーザなどによって、第2TFT40
と電源ラインまたは画素電極との配線を切断することが
考えられる。
き、全体の表示における問題を解決することができる。
ーザによる暗点化処理を行うと、陰極にダメージがおよ
び他の画素の表示にも影響が出る可能性がある。すなわ
ち、アクティブマトリクス型の有機ELパネルの場合、
ガラス基板上にTFTが形成され、このTFTの上方に
ITOの陽極が形成され、その上に正孔輸送層、有機発
光層、電子輸送層などの有機層が積層され、その上に金
属の陰極が形成される。このように、TFTの上方に
は、有機層の一部や陰極が存在している。特に、陰極は
共通電極としてパネルのほぼ全面に渡って形成されてい
る。
を切断した場合、そのレーザは陰極まで至り、陰極にも
アブレーションが起こる。従って、陰極はその部分に穴
があいた構成になる。さらに、このアブレーションによ
って、陰極の変質が起こり、周辺画素の表示にも影響が
出るおそれがある。また、レーザによる切断は、そこに
ある物質を蒸発させて飛ばすものであり、有機EL素子
の有機層もその側面が直接陰極の上方空間にさらされる
ことになる。そこで、そのさらされた部分から水分の浸
入による有機層の劣化などが進みやすく、欠陥画素が広
がるおそれもある。
あり、欠陥画素を効果的に減光化が行える有機ELパネ
ルの減光化方法を提供することを目的とする。
ルの発光不良領域における有機層に選択的にレーザを照
射してかかる領域を減光化することを特徴とする。
の照射によって、その領域の減光化が行える。このレー
ザの照射は、有機層への照射で、減光するものであり、
レーザによる配線のカット等と異なり、陰極に損傷を防
止でき、陰極損傷による悪影響はなく、輝点欠陥画素の
減光化を行うことができる。
光化する減光化方法であって、欠陥画素の領域における
有機EL素子の発光能力を劣化させて減光化することを
特徴とする。
有機層が変質し、発光能力が劣化して減光化が行える。
従って、レーザによる配線のカット等と異なり、陰極に
損傷はない。そこで、陰極損傷による悪影響はなく、輝
点欠陥画素の減光化を行うことができる。
子に選択的に光を照射することが好適である。この光の
照射によって、有機層を変質させることができる。
る。レーザを利用することによって、狭い範囲に確実に
光を照射することができ、またその照射量も正確に制御
することができる。
適である。例えば、308,355nm程度のレーザに
よって、陰極に悪影響を及ぼすことなく、有機層を変質
させることができる。
有機EL素子に選択的に通常の発光時に比べ大きな電流
を流すことを特徴とする。これによって、電源を大きく
するだけで、素子の減光化を行うことができる。
によって、欠陥画素が減光化された有機ELパネルに関
し、それによって、陰極損傷による悪影響がなく輝点を
暗点化することができる。
て、図面に基づいて説明する。
ーザなどのUV(短波長)レーザを用い、レーザを欠陥
画素に照射する。これによって、欠陥画素の有機層が変
質し、発光能力が劣化して減光化が行える。
を蒸発させるような強力なものではなく、このレーザ照
射により、有機層においてレーザを吸収したことによっ
て極めて短時間に加熱変質が起こり、発光能力がなくな
り減光化が行われる。
のエネルギーを有しておらず、陰極に損傷はない。そこ
で、陰極損傷による悪影響はなく、輝点欠陥画素の減光
化を行うことができる。
が、熱などに弱く、発光能力が劣化しやすい。本実施形
態では、この劣化と同様の反応を素子の有機層にレーザ
を照射することによって促進し、減光化を行っている。
レーザ照射によって有機層がアニールされることで、正
孔、電子輸送能力や、有機発光材料の発光性能が劣化が
発生する原因と考えられる。分子構造自体は変化せず、
膜構造が変質することも考えられる。なお、通常発生す
る有機層の変質による表示欠陥は、時間の経過とともに
広がっていく。しかし、本実施形態の用に、レーザを照
射して減光化した場合、レーザ照射領域外に減光領域は
ほとんど拡大しない。従って、欠陥のリペアをより確実
に実行でき、高い表示品質を維持できる。
5,532,1064nmなどがあるが、266nmの
YAGレーザでは、アクリルの平坦化膜などを透過でき
ず、効果が小さい。また、532nm以上のYAGレー
ザでは、パワーを非常に大きくしなければ効果が得られ
ず、この場合には陰極にも影響が出てしまう。
よれば、陰極に影響を与えることなく、効率的に有機層
の変質による発光能力を劣化させることができ、好適で
ある。また、エキシマレーザに波長308nmのものが
あり、これも好適である。
で、素子基板には、1画素に図6に示したTFT10,
40と、容量CS、有機EL素子ELが形成されるが、
この図においては、第2TFT40と、有機EL素子E
Lのみを示す。
上に形成された第2TFT40を有している。この第2
TFT40と有機EL素子ELの構成を示す。このよう
に、第2TFT40はガラス基板30上に形成され、こ
の第2TFT40は、低温ポリシリコンで形成されてい
る能動層40aを有している。この能動層40aは、両
端が不純物がドープされたソース領域、ドレイン領域と
なっており、これらに挟まれた中央部がチャンネル領域
となっている。このチャネル領域の上部には酸化シリコ
ンからなるゲート絶縁膜40bを介しゲート電極40c
が形成されている。ゲート絶縁膜40bおよびゲート電
極40cは、層間絶縁膜34に覆われており、ゲート電
極40cの両側には、層間絶縁膜34のコンタクトホー
ルを介しソース領域およびドレイン領域に接続されるソ
ース電極40d、ドレイン電極40eが形成されてい
る。そして、ソース電極32d、ドレイン電極32eの
上端が層間絶縁膜34の表面に位置している。
イン電極40eと電源ラインVLを接続するメタル配線
等が配置される。さらに、この層間絶縁膜34を覆っ
て、第1平坦化膜36が形成されている。
TOから構成される透明電極50が形成され、この一端
が第1平坦化膜36のコンタクトホールを介し第2TF
T40のソース電極40dに接続されている。
の陽極を構成し、この透明電極50上には、正孔輸送層
52、有機発光層54、電子輸送層56を介し、金属製
の陰極58が形成されている。なお、透明電極50の周
辺および側方には第2平坦化膜60が配置されている。
また、有機発光層54は、形成の際の位置ずれに対応す
るため透明電極50より大きいが、画素領域内にのみ存
在するように、第2平坦化膜60上にまで延びるが、す
ぐに終端している。一方、有機発光層54以外の正孔輸
送層52、電子輸送層56は、全面に広がって形成され
ている。ただし、電子輸送層56は、Alq3など発光
する材料を含む場合もあり、電子輸送層56も有機発光
層54と同様に発光部のみに限定する場合も多い。
欠陥画素については、短波長レーザをガラス基板30側
から照射して、その画素の有機層に選択的にダメージを
与え、減光化する。
が連続光でもかまわない。照射量は、ガラス基板の種
類、有機層、その他層の材質などにもよるが、暗点化が
確実に行え、陰極に損傷を与えない量として、実験的に
決定することが好適である。
ネルを用意し(S11)、照射量を変更して、複数の画
素に対し、レーザを照射する(S12)。そして、この
レーザ照射試験の結果を評価する(S13)。すなわ
ち、暗点化が行われているか、陰極にダメージがあるか
等について、評価する。そして、確実に暗点化が行え、
かつ陰極にダメージが検出されない条件を決定する(S
14)。
は、その条件を採用して、実際に製造された有機ELパ
ネルの輝点欠陥画素について暗点化の処理を行う(S1
5)。
にダメージを与えることなく、当該画素の暗点化の処理
を行うことができる。
(接していてもよい)マスクによって、レーザ照射領域
を暗点化する画素に限定している。しかし、レーザの照
射範囲を確実に限定できれば、光学系でレーザの照射範
囲を限定してもよい。また、レーザの照射は、発光する
領域にのみでよい。そこで、有機発光層54が存在する
部分のみに限定してレーザを照射することが好ましい。
一般的に、TFTが存在する部分には有機発光層54が
ない。そこで、有機発光層54が存在する領域にレーザ
照射範囲を限定することで、TFTへのレーザの照射も
避けられる。TFTは、低温ポリシリコンの能動層を有
しており、レーザ照射はあまり好ましくなく、照射しな
いことが好適である。また、有機発光層54がTFTの
上方に存在しても、TFTには、レーザが照射されない
ようにすることも好適である。
画素の暗点化を行うことができる。ここで、このような
暗点化を行うと、陰極のダメージを伴う場合もある。す
なわち、有機ELパネルによっては、S14において、
陰極にダメージを与えずに、確実に暗点化発光を停止さ
せる条件を選択できない場合もある。
減光化される条件を選択する。すなわち、発光量は0で
はないが、輝度が低く、かなり暗い条件を選択する。
ルを用意し(S21)、照射量を変更して、複数の画素
に対し、レーザを照射する(S22)。そして、陰極に
ダメージがない条件を選択する(S23)。そして、そ
の中で、発光量が所定値以下のものを選択する(S2
4)。選択されたものが複数あれば、なるべく発光量の
少ないものを選択する(S25)。
て、減光化が行える。減光化が行われた欠陥画素は、薄
く発光するのであるが、通常の使用においては視認でき
ない程度である。すなわち、完全な暗室であれば、視認
可能であっても、周囲がある程度明るければ、視認でき
ない程度になる。1画素の大きさにもよるが、1画素が
数10μm角の場合に、発光量が20%以下になれば、
あまり気にならない程度になる。また、NDフィルタに
よる試験において、暗点と認識されるような発光量であ
れば、全く問題なく、低輝点と認識される程度までの減
光化でもよい。
陥画素について、その発光量を減少させる。従って、陰
極へのダメージの発生を確実に防止して、欠陥画素の処
理が行える。
発光部を全体として減光化した。しかし、陰極における
ダメージの発生などについて、検討した結果、陽極の端
部に対応する箇所のダメージが大きいことが分かった。
図1に示すように、陽極50の端部では、各層の形状が
複雑に変化している。そこで、レーザを照射した際に、
陰極58に至る光は均一ではなくなり、一部が強くなり
ダメージを与えやすいと考えられる。
部を避けて、レーザを照射する。すなわち、図4に示す
ように陽極50より狭い範囲、より具体的には、陽極5
0を陰極58とが間に少なくとも発光層54を挟んで対
向した領域に形成される発光領域より狭い範囲でレーザ
を照射する。これによって、陰極58におけるダメージ
の発生を効果的に避けることができる。
な場合には、その凹部にレーザを照射する必要はない。
また、陽極の形状も各種のものがある。そこで、図5に
示すように、発光層や陽極の形状に合わせてレーザ照射
範囲を設定すればよい。
場合、複雑な形状とするのは、好ましくない。そこで、
図6に示すように、比較的小さな単位照射範囲を設定し
ておき、複数回のレーザ照射によって、発光領域の減光
化を行ってもよい。このように、単位照射範囲を小さく
すれば、照射領域の形状の変更に臨機応変に対応するこ
とができリペア装置の汎用性が高まる。
域の全体が減光化されている訳ではなく、発光領域の周
辺部には、減光化されない領域が残留する。しかし、こ
の領域は面積的にも小さく、発光量はすくない。特に、
発光領域の中心部分の発光が抑制されている。従って、
画素としての輝度はかなり低いものになり、視認されに
くくなっている。そこで、このような減光化によって、
陰極へのダメージ発生を確実に防止して、輝点欠陥画素
の効果的な減光化を図ることができる。
分の平面構成を示す。ゲートラインGLが水平方向に延
び、このゲートラインGLに第1TFT10のゲート2
が接続されている。この第1TFT10は、ゲート2を
2つ設けたダブルゲートタイプになっている。この第1
TFT10の能動層6の一端(ソース)がデータライン
DLに接続されている。この能動層6の他端は、容量C
Sの下側電極に接続されて、または下側電極を兼用す
る。第1TFT10のゲート2の下側が能動層6がチャ
ネル領域になっており、2つのゲート2に挟まれた領域
がドレインおよびソース、容量CSの下側電極に接続さ
れる領域がソースとなっている。
ン膜を介し、上側電極(ゲート電極とほぼ同層)が対向
配置されており、これら下側電極、誘電体、上側電極に
よって容量CSが形成されている。容量CSの上側電極
は、低電位に維持される容量ラインSLに接続されてい
る。
ると、第1TFT10がオンし、データラインDLの電
圧が容量CSに書き込まれる(充電される)。
ゲート25に接続されている。この第2TFT40は並
列接続された2つの第2TFT40−1、40−2から
構成され、両端がソース、中央がドレインになってい
る。すなわち、この第2TFT40は、能動層16を有
しており、この能動層16の両端のソース16s−1、
16s−2は、電源ラインVLに接続されている。ま
た、ゲート25の下方がチャネル16c−1、16c−
2となり、中央部がドレイン16d−1、16d−2と
なっている。
−2が配線41によって有機EL素子ELに接続されて
いる。すなわち、図7における第2TFT20−1、2
0−2のドレイン16d−1、16d−2が有機EL素
子の陽極50に接続される。
陽極50の周辺部を避けて、UVレーザを照射すること
で、画素の暗点化が行える。
は、欠陥画素に対し、レーザを照射し、有機層を変質し
て、有機EL素子の発光能力を減じ、画素の減光化を行
った。
機EL素子に定格電流より大きな大電流を流通し、有機
層を変質して、有機EL素子の発光能力を劣化少させ、
画素の減光化を行う。
高電圧高電流能力の電源を接続する。そして、この状態
で、欠陥画素の第1TFT10を選択的にオンして、そ
の画素の有機EL素子ELに大電流を流通する。これに
よって、有機EL素子ELの有機層が劣化し、その画素
が減光化できる。
機EL素子が劣化する。定格電流より大きな大電流を流
すことによって、有機EL素子は急速に劣化する。特
に、欠陥画素について、フルオンの状態を継続すること
によって、その画素の有機EL素子は、高温状態にな
り、急速に劣化する。これによって、有機EL素子の劣
化による画素の減光化が可能になる。
で行わなくても、減光量が所定の大きさになればよい。
良画素の暗点化(または減光化)を行った。しかし、上
述のようなレーザ照射によれば、任意の領域を減光化す
ることができる。そこで、他の用途にも利用が可能であ
る。
素子を画素毎に配置し、画素毎に発光を制御している。
しかし、有機EL素子を形成する有機層における形成段
階でのずれ等に起因して、不要な領域に発光が起こる場
合がある。特に、有機発光層がずれた場合に他の色の発
光が起こったり、発光すべきでない領域の電子輸送層が
発光してしまう場合がある。
に、その領域に上述のようなレーザ照射を行い、その部
分の有機層を変質させて、その部分の減光化を図ること
ができる。これによって、不要な発光を防止することが
できる。
トラストの上昇を図るために、画素を区分する領域に、
黒のフィルタを配置するブラックストライプを形成する
場合もある。このブラックストライプと同様のパターン
で減光化用のレーザを照射することによって、有機層の
変質によってブラックストライプを形成することもでき
る。さらに、このような不要領域における減光化は、単
純マトリクスタイプの有機ELパネルにおける画素の区
画にも好適である。そのメカニズムとしては、有機層自
体が変質する、有機層と有機層の界面が変質する、有機
層と電機の界面が変質する、などが考えられる。
欠陥画素の発光能力が劣化して減光化が行える。従っ
て、レーザによる配線のカット等と異なり、陰極に損傷
はない。そこで、陰極損傷による悪影響はなく、輝点欠
陥画素の減光化を行うことができる。
子に選択的に光、特にレーザを照射することによって、
欠陥画素の有機層を効果的に変質させることができる。
トである。
ートである。
る。
Claims (7)
- 【請求項1】 有機ELパネルの発光不良領域における
有機層に選択的にレーザを照射してかかる領域を減光化
することを特徴とする有機ELパネルの減光化方法。 - 【請求項2】 有機ELパネルの欠陥画素を減光化する
減光化方法であって、 欠陥画素の領域における有機EL素子の発光能力を劣化
させて減光化することを特徴とする有機ELパネルの減
光化方法。 - 【請求項3】 請求項2に記載の有機ELパネルの減光
化方法において、 欠陥画素の領域における有機EL素子に選択的に光を照
射することを特徴とする有機ELパネルの減光化方法。 - 【請求項4】 請求項3に記載の有機ELパネルの減光
化方法において、 前記光は、レーザであることを特徴とする有機ELパネ
ルの減光化方法。 - 【請求項5】 請求項1または4に記載の有機ELパネ
ルの減光化方法において、 前記レーザは、UVレーザであることを特徴とする減光
化方法。 - 【請求項6】 請求項2に記載の有機ELパネルの減光
化方法において、 欠陥画素の領域における有機EL素子に選択的に通常の
発光時に比べ大きな電流を流すことを特徴とする有機E
Lパネルの減光化方法。 - 【請求項7】 請求項1〜6のいずれか1つに記載の減
光化方法によって、欠陥画素が減光化されたことを特徴
とする有機ELパネル。
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