JP2003271912A - Ｉｄタグ、ｉｄタグを有する集積回路用基板、この集積回路用基板の製造方法、及びｉｄ検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 物品の自動識別を容易かつ確実に行う。 【解決手段】 ＩＤタグ１のタグ本体２上に、外部から
入力される特定の周波数の電磁波に共振して共振波を発
する共振回路３を複数設ける。これら共振回路３間にお
ける共振の特性の相対的な関係によってＩＤタグ１の固
有の情報を表す。ＩＤ検出装置を、電磁波を放出する発
信装置と、共振回路３が発する共振波を受信する受信装
置と、受信装置が受信した共振波の解析を行う解析装置
とを有する構成とする。解析装置は、前記受信装置によ
る共振波の受信の有無、または前記受信装置が受信した
前記共振波の特性から前記各共振回路の共振の特性を解
析し、これら共振回路間における共振の特性の相対的な
関係から前記ＩＤタグの固有の情報を検出する構成とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物品の自動識別に
用いられるＩＤタグ、ＩＤタグを有する集積回路用基
板、この集積回路用基板の製造方法、及びＩＤ検出装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、物品を自動的に識別する方法とし
ては、物品に対してその固有の情報を表す符合（文字や
記号、バーコード等）を設けておき、この符合を文字認
識装置やバーコードリーダー等の読取装置によって光学
的に読み取り、この符合が表す情報に基づいて物品を識
別する方法がある。また、物品に対して、その固有の情
報を記憶する記憶装置と送受信装置、及びこれらを駆動
するための電源（電池等）とを有するＩＤタグを設けて
おき、外部から無線通信手段によってＩＤタグの送受信
装置と交信して記憶装置内に記憶された情報を読み出
し、この情報に基づいて物品を識別する方法がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前者のように
符合を光学的に読み取る方法では、物品の表面に符合を
露出させておく必要があり、物品の外観を損ねる上、符
合が汚損することで読み取りが困難となったり読取精度
が低下してしまう恐れがある。また物品における符合の
設置面積（または表示面積）を十分に確保しなければな
らず、小型化が困難である。さらに、読取装置に対する
符合の向きが適正位置からずれていると、情報の読取精
度が低下してしまうという問題があった。一方、後者の
ように物品の固有の情報を無線通信手段によって読み取
る方法では、ＩＤタグは必ずしも物品の表面に露出させ
ておく必要はなく、また無線通信手段に対するＩＤタグ
の向きにほとんど関係なく情報の読み取りを行うことが
できる。しかし、従来のＩＤタグでは、送受信装置の他
に、記憶装置と、これらを駆動するための電源を設けな
くてはならないので、小型化が困難である上、さらに電
源のメンテナンス（電池の交換や充電等）が必要となっ
てしまう。

【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、小型で物品の自動識別を容易かつ確実に行う
ことができるＩＤタグ、ＩＤタグを有する集積回路用基
板、この集積回路用基板の製造方法、及びＩＤ検出装置
を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、以下の構成を採用した。本発明にかかる
ＩＤタグにおいては、外部から入力される特定の周波数
の電磁波に共振して共振波を発する共振回路を複数有
し、該各共振回路間における共振の特性の相対的な関係
が固有の情報を表していることを特徴としている。

【０００６】このように構成されるＩＤタグにおいて
は、発信機によって外部から特定の周波数の電磁波を入
力することで、各共振回路のうちこの周波数の電磁波に
共振する共振回路が共振波を発する。本発明にかかるＩ
Ｄタグでは、各共振回路間における共振の特性の相対的
な関係（入力した周波数の電磁波に対する各共振回路の
共振の有無も含む）によって各ＩＤタグごとに異なる固
有の情報が表されている。このため、このＩＤタグにお
いては、固有の情報を記憶する記憶装置及びこれを駆動
するための電源が不要である。

【０００７】このＩＤタグに設けられる各共振回路の共
振の特性は、発信器によって特定の周波数の電磁波をＩ
Ｄタグに入力して、受信装置による共振波の受信の有
無、または受信装置が受信した前記共振波の特性を解析
することにより求められる。このため、このＩＤタグは
必ずしも物品の表面に露出させておく必要はなく、さら
に送受信装置に対する向きにほとんど関係なく非接触で
情報の読み取りを行うことができる。

【０００８】本発明にかかるＩＤタグに用いられる共振
回路は、最も単純な構成では、コンデンサ等の容量性の
素子とコイル等の誘導性の素子とをそれぞれ一つずつ直
列に接続してなる回路とすることができる。これら容量
性の素子、誘導性の素子は、いずれも集積回路を構成す
る素子のうちの基本的な素子である。このような構成の
共振回路は、例えば集積回路を形成する方法と同様の手
法によって形成することで、極めて微小な回路とするこ
とができる。共振回路の共振の特性、例えば共振する電
磁波の周波数や共振波の波形は、共振回路の構成によっ
て異なる。例えば、容量性の素子の容量や誘導性の素子
のインダクタンスの大きさの異なる共振回路は、それぞ
れ異なった共振の特性を有する。

【０００９】ここで、共振回路の近傍に導体がある場合
など、共振回路が電磁気的な影響を受ける状況下では、
共振回路の共振の特性が変わってしまうことがある。ま
た、製造ロットごとの製造条件の変動等の影響を受ける
ため、製造ロットの異なる共振回路間ではその配線の太
さや幅にばらつきが生じやすく、共振回路は共振の特性
に製造ロットごとのばらつきが生じやすい。このため、
単に受信装置が受信した共振波の特性を絶対的な値で評
価してしまうと、解析によって求めた共振回路の特性と
実際の共振回路の特性（もしくは製造時に意図した共振
回路の特性）との間に誤差を生じる恐れがある。

【００１０】一方、このように共振回路の共振の特性が
変わってしまう場合にも、この特性の変化は定性的な傾
向を示すので、各共振回路間における共振波の特性の相
対的な関係は保たれる。また、受信装置が共振回路の共
振波を受信できる条件下であれば、入力した電磁波に対
する共振の有無を検出することが可能である。そして、
本発明にかかるＩＤタグでは、各共振回路間における共
振の特性の相対的な関係によって各ＩＤタグの固有の情
報が表されているので、受信装置が共振回路の共振波を
受信できる条件下であれば、その固有の情報を正確に検
出することができる。

【００１１】ここで、各共振回路間における共振の特性
の相対的な関係としては、各共振回路の共振波間の周波
数間隔を用いてもよい。この場合、例えば各共振波の周
波数のうちの基準となる周波数（例えば各共振波のうち
最低の周波数や最高の周波数）に対する他の共振波の周
波数の差または比によって固有の情報を表してもよい。
また、共振波間の周波数間隔が等差数列で表される構成
としてその公差によって固有の情報を表したり、共振波
間の周波数間隔が等比数列で表される構成としてその公
比によって固有の情報を表したり、共振波間の周波数間
隔が対数で表した際に等間隔となる構成として、対数で
表した際の共振波間の周波数間隔によって固有の情報を
表してもよい。また、各共振回路間における共振の特性
の相対的な関係としては、各共振回路の共振波間におけ
る先鋭度Ｑの相対的な関係を用いてもよい。また、各共
振回路間における共振の特性の相対的な関係としては、
入力した周波数の電磁波に対する各共振回路の共振の有
無のパターンを用いてもよい。さらに、これらの関係の
組み合わせによって固有の情報を表すことで、ＩＤタグ
によって表すことのできる情報量を増やすことができ
る。

【００１２】本発明にかかるＩＤタグにおいては、各共
振回路間における共振の特性の相対的な関係とタグ本体
における共振回路の配置との組み合わせが固有の情報を
表している構成としてもよい。この場合には、ＩＤタグ
によって表すことのできる情報量をさらに増やすことが
できる。

【００１３】ここで、物品の自動識別の用途としては、
例えば集積回路用基板の表面に集積回路を形成する過程
における集積回路用基板の識別がある。集積回路用基板
（例えば半導体デバイスの基板として用いられるシリコ
ンウェーハや液晶回路の基板等）は、表面に集積回路を
形成する過程で多数の工程を経るので、各集積回路用基
板について工程の履歴等を管理する必要がある。しか
し、集積回路を形成する過程では、集積回路用基板の表
面には薄膜の積層や研磨等の各種の処理が施される上、
集積回路用基板は表面の汚染を嫌うので、集積回路用基
板の表面に符合を設けたり従来のＩＤタグを取り付けた
りすることはできなかった。このため、従来は、集積回
路用基板自体を直接管理するのではなく、集積回路用基
板が複数枚収納されるケースに符合やＩＤタグを設け
て、ケースを管理することによって間接的に集積回路用
基板の管理を行っていた。

【００１４】本発明にかかる集積回路用基板は、表面に
集積回路が形成される集積回路用基板であって、その表
面には、請求項１から４のいずれかに記載のＩＤタグが
形成されていることを特徴としている。この集積回路用
基板においては、請求項１から４のいずれかに記載のＩ
Ｄタグが表面に形成されているので、集積回路用基板の
情報を、ＩＤタグから非接触かつ高速で読み取ることが
できる。このため、集積回路用基板自体を直接管理する
ことができる。また、このＩＤタグは、集積回路を形成
する方法と同様の手法によって共振回路を形成すること
で極めて微小な回路とすることができるので、集積回路
用基板の表面において集積回路を形成する領域を減らさ
ずに済み、歩留まりを向上させることができる。ここ
で、集積回路用基板の表面には、集積回路を形成する過
程で、導電性の薄膜を含む複数層の薄膜が積層されるの
で、集積回路用基板上に形成されるＩＤタグの共振回路
は、このように導電性の薄膜が形成されることで電磁気
的な影響を受けて、その共振の特性が変わってしまう。
本発明にかかる集積回路用基板では、ＩＤタグとして、
共振回路の共振特性に変化が生じても、固有の情報を正
確に読み出すことができるＩＤタグを用いているので、
受信装置が共振回路の共振波を受信できる条件下であれ
ば、その固有の情報を正確に検出することができる。

【００１５】ここで、一般に、集積回路用基板の表面に
集積回路を形成する工程では、集積回路が形成される領
域とは独立した領域に、集積回路の形成と並行してＴＥ
Ｇの形成が行われる。ＴＥＧとは、集積回路を構成する
素子と同一または同様の素子を含む単純な構成の回路で
あって、集積回路用基板上に形成した集積回路の電気的
テストを直接行う代わりにＴＥＧの電気的テストを行う
ことで、集積回路を構成する素子が良好に形成されてい
るかどうかを間接的に評価することができるようになっ
ている。

【００１６】本発明にかかる集積回路用基板において
は、表面に集積回路及び該集積回路の電気的テストのた
めのＴＥＧが形成される集積回路用基板であって、前記
ＴＥＧが形成される領域内に、外部から入力される特定
の周波数の電磁波に共振して共振波を発する共振回路を
有するＩＤタグが形成されていることを特徴としてい
る。このように構成される集積回路用基板では、ＩＤタ
グを構成する共振回路自体がＴＥＧとして機能するの
で、ＩＤタグによる集積回路用基板の自動識別が可能な
だけでなく、ＩＤタグが正常に動作するかどうかを検証
することで、集積回路の形成が良好に行われているかど
うかを、非接触で評価することができる。また、ＩＤタ
グは、集積回路を形成する方法と同様の手法によって共
振回路を形成することで極めて微小なものとすることが
でき、さらに、ＩＤタグは集積回路用基板の表面におい
てＴＥＧが形成される領域内に形成されているので、集
積回路用基板の表面において集積回路を形成する領域を
減らさずに済み、歩留まりを向上させることができる。
このＩＤタグの固有の情報は、共振回路の共振の特性に
よって表すことができる。例えば、共振回路が発する共
振波の周波数の絶対値によって表してもよい。また、こ
のＩＤタグを、請求項１から４のいずれかに記載のＩＤ
タグとすることで、受信装置が共振回路の共振波を受信
できる条件下であれば、その固有の情報を正確に検出す
ることができる。

【００１７】本発明にかかるＩＤタグを有する集積回路
用基板の製造方法は、表面に集積回路が形成される集積
回路用基板の製造方法であって、前記集積回路の形成工
程の初期段階で、前記表面に、外部から入力される特定
の周波数の電磁波に共振して共振波を発する共振回路を
有しこの共振回路の共振の特性が固有の情報を表すＩＤ
タグを形成することを特徴としている。この集積回路用
基板の製造方法では、集積回路を形成する工程の初期段
階で、集積回路用基板の表面に集積回路を形成する手法
によってＩＤタグを形成するので、以降の工程において
ＩＤタグを使用した集積回路用基板の自動識別を行うこ
とができる。

【００１８】ここで、従来のＩＤタグは記憶装置その他
を有していて回路構成が複雑であるため、集積回路用基
板の表面に形成するために要する工程数は、集積回路を
形成するために要する工程数とあまり変わらない。この
ため、集積回路を形成する工程で従来のＩＤタグを形成
しても、集積回路の形成工程の終わりの方だけしか集積
回路用基板の自動識別を行うことができない。これに対
して、共振回路を有しこの共振回路の共振の特性が固有
の情報を表すＩＤタグは、最も単純な構成では、コンデ
ンサ等の容量性の素子とコイル等の誘導性の素子とをそ
れぞれ一つずつ直列に接続してなる回路とされるので、
集積回路の形成工程のごく初期の段階で形成することが
でき、集積回路の形成工程のうちより多くの工程で集積
回路用基板の自動識別を行うことができる。

【００１９】本発明にかかるＩＤ検出装置は、外部から
入力される特定の周波数の電磁波に共振して共振波を発
する共振回路を複数有するＩＤタグから、その固有の情
報を検出するＩＤ検出装置であって、電磁波を放出する
発信装置と、前記共振回路が発する共振波を受信する受
信装置と、該受信装置が受信した共振波の解析を行う解
析装置とを有し、該解析装置は、共振波の受信の有無ま
たは前記受信装置が受信した前記共振波の特性から前記
各共振回路の共振の特性を解析し、これら共振回路間に
おける共振の特性の相対的な関係から前記ＩＤタグの固
有の情報を検出することを特徴としている。このように
構成されるＩＤ検出装置においては、発信装置によって
電磁波を放出し、この電磁波に対してＩＤタグの各共振
回路が共振したかどうかの判定（すなわち受信装置が各
共振回路の共振波を受信したかどうかの判定）、及び受
信装置が受信した共振波の解析を解析装置によって行う
ことで、各共振回路の共振の特性が求められる。そし
て、解析装置は、これら共振回路間における共振の特性
の相対的な関係から、ＩＤタグの固有の情報を検出する
ので、請求項１から３のいずれかに記載のＩＤタグの固
有の情報を読み出すことができる。

【００２０】このＩＤ検出装置は、タグ本体における各
共振回路の位置情報を検出する位置情報検出装置を有
し、前記解析装置が、前記各共振回路間における共振の
特性の相対的な関係と前記タグ本体における前記各共振
回路の配置との組み合わせから固有の情報を検出する構
成としてもよい。この場合には、タグ本体における各共
振回路の位置情報に基づいて各共振回路の配置を検出
し、解析装置は、各共振回路間における共振の特性の相
対的な関係と各共振回路の配置との組み合わせから、Ｉ
Ｄタグの固有の情報を検出するので、請求項４に記載の
ＩＤタグの固有の情報を読み出すことができる。

【００２１】また、このＩＤ検出装置には、ＩＤタグに
設けられる前記複数の共振回路のうちの少なくとも一部
を選択的に破壊可能な回路破壊装置が設けられていても
よい。この場合には、ＩＤタグに設けられている複数の
共振回路のうちの少なくとも一部を選択的に破壊して共
振しない共振回路とすることができ、ＩＤタグの固有の
情報を変更することができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】〔第一の実施の形態〕以下、本発
明の一実施形態について、図を参照して説明する。ここ
で、図１は本実施形態にかかるＩＤタグの構成を示す平
面図、図２は図１のＡ−Ａ矢視断面図、図３は本実施形
態にかかるＩＤタグに用いられる共振回路の等価回路
図、図４は本実施形態にかかるＩＤ検出装置の構成を示
すブロック図、図５は本実施形態にかかるＩＤ検出装置
によるＩＤタグの固有の情報の検出の様子を示す図であ
る。図１に示すように、本発明にかかるＩＤタグ１は、
タグ本体２上に、共振回路３が複数設けられたものであ
る。この共振回路３は、外部から入力される特定の周波
数の電磁波に共振して共振波を発するものである。この
ＩＤタグ１は、製造段階で各共振回路３の共振の特性が
定められており、これら共振回路３間における共振の特
性の相対的な関係によって固有の情報を表している。こ
のＩＤタグ１では、共振回路３の設置数を増やすこと
で、表すことのできる情報量を増加させることができ
る。

【００２３】共振回路３は、最も単純な構成では、図３
に示すように、コンデンサ等の容量性の素子６とコイル
等の誘導性の素子７とをそれぞれ一つずつ直列に接続し
てなる回路とすることができる。この共振回路３は、例
えば集積回路を形成する方法（集積回路用基板の表面に
各種の膜を所望のパターンで複数層積層することによっ
て集積回路用基板上に所望の回路構成の集積回路を形成
する方法）と同様の手法によって形成することで、極め
て微小な回路とすることができる。

【００２４】本実施の形態では、共振回路３を、集積回
路を形成する方法と同様の手法によって形成しており、
一つの共振回路３は、一つの容量性の素子６と一つの誘
導性の素子７とを直列に接続してなる構成としている。
すなわち、図１及び図２に示すように、容量性の素子６
は、シリコン（Ｓｉ）基板等の基板８上にＳｉＯ₂等の
絶縁体からなる層９（以下絶縁体層とする）を形成する
ことによって得ている。本実施の形態では、容量性の素
子６は、基板８の表面に島状に形成される絶縁体層９に
よって構成している。また、誘導性の素子７は、基板８
上にアルミニウム（Ａｌ）またはポリシリコン等の導電
体からなる層１０（以下導電体層とする）を形成するこ
とによって得ている。本実施の形態では、誘導性の素子
７は、一端１０ａと他端１０ｂとが絶縁体層９を介して
接続される線状の絶縁体層１０によって構成している。

【００２５】容量性の素子６の容量Ｃは、絶縁体層９の
材質と、絶縁体層９において導電体層１０の一端と他端
との間に位置する部分の長さとによって決定される。容
量Ｃは、絶縁体層９において導電体層１０の一端１０ａ
と他端１０ｂとの間に位置する部分の長さを短くすると
小さくなり、長くすると大きくなる。また、誘導性の素
子７のリアクタンスＬは、導電体層１０の材質と形状と
により決定される。ここでいう導電体層１０の形状と
は、導電体層１０がなす配線の長さや導電体層１０がな
す配線の太さ（導電体層１０の長さ方向に直交する断面
積）も含むものである。本実施の形態では、図１に示す
ように、導電体層１０の中間部１０ｃをジグザグ形状に
形成することで、リアクタンスＬを所望の値にしてい
る。この場合、リアクタンスＬは、導電体層１０におい
てジグザグ形状をなす部分を短くすると小さくなり、長
くすると大きくなる。

【００２６】共振回路３の共振の特性、例えば共振する
電磁波の周波数や共振波の波形は、共振回路３の構成に
よって異なる。例えば、容量性の素子６の容量Ｃや誘導
性の素子７のインダクタンスＬの大きさの異なる共振回
路３は、それぞれ異なった共振の特性を有する。

【００２７】各共振回路３間における共振の特性の相対
的な関係としては、例えば各共振回路３の共振波間の周
波数間隔が用いられる。本実施の形態では、各ＩＤタグ
１には、第一〜第四の共振回路３ａ〜３ｄの計四つの共
振回路３を設けている。このＩＤタグでは、第一〜第四
の共振回路３ａ〜３ｄの誘導性の素子６のインダクタン
スＬはそれぞれ１３ｎＨとし、容量性の素子７の容量Ｃ
は、第一の共振回路３ａから第四の共振回路３ｄの順
に、１２００ｐＦ、１１００ｐＦ、１０００ｐＦ、９０
０ｐＦとした。上記の各共振回路における誘導性の素子
６のインダクタンスＬの値及び容量性の素子７の容量Ｃ
の値は一例であって、これらの値は任意であるが、各共
振回路間における共振の特性の相対的な関係を各ＩＤタ
グ１ごとに異なるものとするため、各ＩＤタグ１ごと
に、これらインダクタンスＬの値、容量Ｃの値のうちの
少なくとも一部を変えている。

【００２８】これら共振回路の電磁波レベルの周波数帯
域における共振周波数は、第一の共振回路３ａでは４
０．３ＭＨｚ、第二の共振回路３ｂでは４２．１ＭＨ
ｚ、第三の共振回路３ｃでは４４．１ＭＨｚ、第四の共
振回路３ｄでは４６．５ＭＨｚである。そして、これら
共振回路３の共振周波数間の間隔は、周波数の低い側
（第一の共振回路３ａ側）から順に、０．１８ＭＨｚ、
０．２ＭＨｚ、０．２４ＭＨｚである。この周波数間隔
はこのＩＤタグ１に固有のものであって、本実施の形態
では、この周波数間隔によってＩＤタグ１に固有の情報
を表している。

【００２９】ここで、各共振回路３間における共振の特
性の相対的な関係として各共振回路３の共振波間の周波
数間隔を用いる場合には、上記のように共振波間の周波
数間隔のみによってＩＤタグ１の固有の情報を表す以外
にも、例えば各共振波の周波数のうちの基準となる周波
数（例えば各共振波のうち最低の周波数や最高の周波
数）に対する他の共振波の周波数の差または比によって
固有の情報を表してもよい。また、共振波間の周波数間
隔が等差数列で表される構成としてその公差によってＩ
Ｄタグ１の固有の情報を表したり、共振波間の周波数間
隔が等比数列で表される構成としてその公比によって固
有の情報を表したり、共振波間の周波数間隔が対数で表
した際に等間隔となる構成として対数で表した際の共振
波間の周波数間隔によって固有の情報を表してもよい。

【００３０】次に、このように構成されるＩＤタグ１の
固有の情報を検出するＩＤ検出装置１１について説明す
る。本発明にかかるＩＤ検出装置１１は、電磁波を放出
する発信装置Ｓと、共振回路３が発する共振波を受信す
る受信装置Ｒと、受信装置Ｒが受信した共振波の解析を
行う解析装置１２とを有している。

【００３１】本実施の形態では、ＩＤ検出装置１１は、
のこぎり波状の信号電圧を発する掃引電圧発生器１３
と、掃引電圧発生器１３が発する信号電圧に基づいて出
力信号の周波数が制御される電圧制御発振器（ＶＣＯ）
１４と、電圧制御発振器１４の出力信号を増幅する広帯
域アンプ１５と、広帯域アンプ１５の出力信号によって
駆動されるアンテナ１６とを有している。本実施の形態
においては、これら掃引電圧発生器１３、電圧制御発振
器１４、広帯域アンプ１５、及びアンテナ１６とが前記
の発信装置Ｓを構成している。また、アンテナ１６とし
ては、ＩＤタグ１において共振回路３が設けられる領域
全体を囲むことが可能な大きさのループアンテナを用い
ている。

【００３２】また、このＩＤ検出装置１１において、広
帯域アンプ１５とアンテナ１６との間には方向性結合器
１７が設けられ、電圧制御発振器１４と方向性結合器１
７には、直交検波器１８が接続されている。方向性結合
器１７は、広帯域アンプ１５の出力信号をアンテナ１６
に出力する一方でアンテナ１６からの反射波を直交検波
器１８に出力するものである。直交検波器１８は、電圧
制御発振器１４の出力信号に基づいて、アンテナ１６か
らの反射波からアンテナ１６が受信した共振波を復調す
るものである。本実施の形態においては、これらアンテ
ナ１６、方向性結合器１７、及び直交検波器１８とが前
記の受信装置Ｒを構成している。

【００３３】前記解析装置１２は、掃引電圧発生器１３
からは掃引電圧が入力され、直交検波器１８からは復調
信号が入力されるようになっている。解析装置１２は、
例えばＣＰＵ等の演算装置からなり、直交検波器１８に
よって得られた復調信号を縦軸にとり、掃引電圧発生器
１３の発する掃引電圧を横軸にとることで、アンテナ１
６が受信した各共振回路３の共振のパターンを符合とし
て検出し、これに基づいて得られた共振回路３間におけ
る共振の特性の相対的な関係から、ＩＤタグ１の固有の
情報を検出して、ＩＤタグ１の識別を行うものである。

【００３４】本実施の形態にかかるＩＤタグ１及びＩＤ
検出装置１１を用いた物品の自動識別は、以下のように
して行われる。本実施の形態にかかるＩＤタグ１は、図
４に示すように、自動識別の対象となる物品１９に対し
て、例えば貼り付けられるか組み込まれるなどして設置
される。このＩＤタグ１は、ＩＤ検出装置１１との間で
電磁波のやり取りが可能であれば、必ずしも物品１９の
表面に露出させる必要はない。

【００３５】このＩＤタグ１が設けられた物品１９の自
動識別を行う際には、ＩＤタグ１とＩＤ検出装置１１と
の間で電磁波のやり取りが可能な状態で、ＩＤ検出装置
１１の発信装置ＳからＩＤタグ１に向けて電磁波を放射
する。本実施の形態では、図４に示すように、アンテナ
１６を、ＩＤタグ１の全ての共振回路３を囲むようにし
てＩＤタグ１に対向させ、この状態でＩＤタグ１との電
磁波のやり取りを行う。このとき、アンテナ１６に対す
るＩＤタグ１の向きは任意の向きとすることができる。

【００３６】以下、発信装置Ｓの動作について説明す
る。まず、掃引電圧発生器１３によってのこぎり波状の
信号電圧を電圧制御発振器１４に入力する。これによっ
て、電圧制御発振器１４は、所定の周波数帯域を掃引す
る出力信号（搬送波）を連続的に発する。電圧制御発振
器１４の出力信号は、広帯域アンプ１５によって増幅さ
れた後に方向性結合器１７を介してアンテナ１６に入力
される。アンテナ１６は、この出力信号によって駆動さ
れて、所定の周波数帯域を掃引する電磁波を放射する。
本実施の形態では、アンテナ１６は、ＩＤタグ１の全て
の共振回路３を囲んでいるので、全ての共振回路３に対
して発信装置Ｓの電磁波が放射される。

【００３７】このように、発信装置Ｓから所定の周波数
帯域を掃引する電磁波を放射することで、ＩＤタグ１に
おいてこの周波数帯域内の電磁波に共振する全ての共振
回路３が共振して共振波を発する。本実施の形態では、
発信装置Ｓは、アンテナ１６から発せられる電磁波が、
共振回路３の共振周波数として使用され得る周波数をす
べて含む周波数帯域を掃引する設定としており、これに
よってＩＤタグ１に設けられる全ての共振回路３が共振
するようになっている。

【００３８】そして、共振回路３が共振して共振波を発
すると、その共振波は受信装置Ｒによって受信される。
本実施の形態では、アンテナ１６は、ＩＤタグ１の全て
の共振回路３を囲んでいるので、全ての共振回路３の共
振波が受信装置Ｒに受信される。受信装置Ｒにおいて
は、アンテナ１６からの反射波は、方向性結合器１７に
よって直交検波器１８に出力される。直交検波器１８に
は、電圧制御発振器１４の出力信号が入力されており、
この出力信号に基づいてアンテナ１６の反射波からアン
テナ１６が受信した共振波の復調が行われる。

【００３９】そして、前記解析装置１２には、掃引電圧
発生器１３からは掃引電圧が入力され、直交検波器１８
からは復調信号が入力される。解析装置１２は、図５に
示すように、直交検波器１８によって得られた復調信号
の出力の大きさを縦軸にとり、掃引電圧発生器１３の発
する掃引電圧の大きさを横軸にとることで、アンテナ１
６が受信した各共振回路３の共振のパターンを符合とし
て検出し、これに基づいて得られた共振回路３間におけ
る共振の特性の相対的な関係から、ＩＤタグ１の固有の
情報を検出する。ここで、図５において、各共振回路の
共振のパターンは、第一の共振回路３ａから第四の共振
回路３ｄの順に、符号Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄで示して
いる。掃引電圧の大きさは、電圧制御発信器１４の出力
信号の大きさ、すなわちアンテナ１６が発した電磁波の
周波数と比例関係にある。本実施の形態では、解析装置
１２によって、このＩＤタグ１に設けられた各共振回路
３の共振周波数が検出され、さらに、これら共振回路３
の共振周波数間の間隔が求められる。そして、この結果
に基づいてＩＤ検出装置１１によるＩＤタグ１の識別が
行われて、ＩＤタグ１を設けた物品が識別される。

【００４０】ここで、ＩＤタグ１の共振回路３が電磁気
的な影響を受ける状況下にあったり（例えばＩＤタグ１
の近傍に導体がある場合など）、また製造ロットごとの
製造条件の変動等の影響を受けるなどして共振回路３の
共振の特性が本来の特性からずれてしまっても、この共
振の特性の変化は定性的な傾向を示すので、各共振回路
３間における共振波の特性の相対的な関係は保たれる。
本実施の形態にかかるＩＤタグ１では、各共振回路３間
における共振の特性の相対的な関係によって各ＩＤタグ
１の固有の情報が表されているので、受信装置Ｒが共振
回路３の共振波を受信できる条件下であれば、その固有
の情報を正確に検出することができる。

【００４１】以上述べたように、本発明にかかるＩＤタ
グ１では、各共振回路３間における共振の特性の相対的
な関係によって各ＩＤタグ１ごとに異なる固有の情報が
表されている。このため、このＩＤタグ１は、固有の情
報を記憶する記憶装置及びこれを駆動するための電源が
不要で、共振回路３のみによって構成することができる
ので、従来のＩＤタグに比べて非常に小型とすることが
できる。さらに、このように共振回路３の特性の相対的
な関係によって固有の情報を表しているので、本発明に
かかるＩＤタグ１では、受信装置Ｒが物品に設けられた
ＩＤタグ１の共振波を受信することができる状況であれ
ば、解析装置１２によってＩＤタグ１に固有の情報を正
確に検出することができ、物品の自動識別を容易かつ確
実に行うことができる。

【００４２】ここで、上記実施の形態では、各共振回路
間における共振の特性の相対的な関係として、各共振回
路の共振波間の周波数間隔を用いたが、これに限られる
ことなく、各共振回路の共振波間における先鋭度Ｑの相
対的な関係を用いてもよい。

【００４３】このようにＩＤタグ１の固有の情報を各共
振回路の先鋭度Ｑの相対的な関係を用いて表す場合に
は、例えば図６の等価回路図に示すように、上記のＩＤ
タグ１において、各共振回路のうち少なくとも一つに、
ＩＤタグごとに抵抗値の異なる抵抗素子２０を組み込む
ことで、各共振回路の共振波の先鋭度Ｑを変化させるこ
とができる。

【００４４】図６に示す例では、上記ＩＤタグ１におい
て、第一〜第四の共振回路３ａ〜３ｄの代わりに、これ
ら共振回路にそれぞれ抵抗素子２０ａ、２０ｂ、２０
ｃ、２０ｄを組み込んだ構成の第一〜第四の共振回路３
Ａ〜３Ｄを設けたＩＤタグ１ａを示している。ここで
は、第一の共振回路３Ａの抵抗素子２０ａと第三の共振
回路３Ｃの抵抗素子２０ｃとは同一の抵抗値とし、第二
の共振回路３Ｂの抵抗素子２０ｂと第四の共振回路３Ｄ
の抵抗素子２０ｄとはそれぞれ他のいずれの共振回路の
抵抗素子とも異なる抵抗値としている。これら抵抗素子
２０ａ〜２０ｄの値は任意であるが、各共振回路間にお
ける先鋭度Ｑの相対的な関係を各ＩＤタグ１ａごとに異
なるものとするため、各ＩＤタグ１ａごとに、これら抵
抗素子２０ａ〜２０ｄのうちの少なくとも一つの抵抗値
を変えている。

【００４５】ここで、図７に、図６に示すＩＤタグ１ａ
の固有の情報を検出する際に解析装置１２によって検出
された第一〜第四の共振回路３Ａ〜３Ｄの共振のパター
ンを示す。図７において、各共振回路の共振のパターン
は、第一の共振回路３ａから第四の共振回路３ｄの順
に、符号ＰＡ、ＰＢ、ＰＣ、ＰＤで示している。解析装
置１２は、このようにして得られた共振のパターンに基
づいて得られた共振回路３間における先鋭度Ｑの相対的
な関係から、ＩＤタグ１ａの固有の情報を検出する。

【００４６】また、各共振回路３間における共振の特性
の相対的な関係としては、入力した周波数の電磁波に対
する各共振回路３の共振の有無のパターンを用いてもよ
い。この場合、例えば、基準となる周波数の電磁波に対
する各共振回路３の共振の有無のパターンを用いてもよ
く、また、各共振回路３の共振のパターンを二値化した
情報を用いてもよい。

【００４７】基準となる周波数の電磁波に対する各共振
回路３の共振の有無のパターンを用いる場合には、例え
ば、ＩＤタグ１に対して基準となる周波数の電磁波を入
力した際に共振した共振回路の数（または共振しなかっ
た共振回路の数）によってＩＤタグ１の固有の情報を検
出する構成としてもよい。

【００４８】各共振回路３の共振のパターンを二値化し
た情報を用いる場合には、まず、所望の周波数帯域内
で、各周波数間の周波数間隔が等間隔となるようにして
基準となる周波数を複数設定しておき、ＩＤタグ１に設
けられる各共振回路３を、これら基準となる周波数の組
のうちのいずれかの周波数の電磁波に共振する構成とす
る。そして、前記周波数の組のうち、共振回路３の共振
周波数として利用されたものを１とし、そうでないもの
を０として表し、これらの値を周波数の低い側から順に
（または周波数の高い側から順に）並べることによっ
て、このＩＤタグ１における各共振回路３の共振のパタ
ーンを二値情報として表す。

【００４９】以下に、このＩＤタグ１を用いた物品を自
動認識する手法について図８を用いて説明する。図８
は、ＩＤタグ１の各共振回路３の共振のパターンとその
二値情報を示す図である。この例では、基準となる周波
数を、周波数の低い順にＦａ〜Ｆｆとしている。また、
ＩＤタグ１には、各共振回路３を４つ設けており、これ
ら共振回路３は、それぞれ周波数Ｆａ、Ｆｃ、Ｆｄ、Ｆ
ｆの電磁波に対して共振する構成としている。このＩＤ
タグ１に対して、前記周波数の組を全て含む周波数帯域
を掃引する電磁波を入力すると、受信装置Ｒにより、周
波数Ｆａ、Ｆｃ、Ｆｄ、Ｆｆまたはこれらに近い周波数
の共振波が受信される。そして、ＩＤ検出装置１１の解
析装置１２によって、この共振波の周波数の情報と、基
準となる周波数の情報とに基づいて、前記周波数の組の
うち、共振回路３の共振周波数として利用されたものを
１とし、そうでないものを０として表し、これらの値を
周波数の低い側から順に（または周波数の高い側から順
に）並べることによって各共振回路３の共振のパターン
を二値情報として得る。ここで、受信装置Ｒが受信した
共振波は、必ずしも基準となる周波数と一致している必
要はなく、受信した共振波は、基準となる共振波のう
ち、最も近い周波数のものと認識することで、共振回路
３の共振の特性が変わってしまっていても、共振のパタ
ーンを正確に認識することができる。

【００５０】本発明にかかるＩＤタグでは、固有の情報
は、上記の関係を用いて表す以外にも、共振回路間にお
ける共振の特性の相対的な関係であれば、他の任意の関
係を用いて表してもよい。さらに、上記した共振の特性
の相対的な関係の組み合わせによってＩＤタグに固有の
情報を表すことで、ＩＤタグによって表すことのできる
情報量をより多くすることができる。

【００５１】ここで、上記実施の形態では、ＩＤ検出装
置１１は、発信装置Ｓに所定の周波数帯域を掃引する電
磁波を発させて、受信装置Ｒによって受信した共振波か
ら共振波の周波数を検出し、これによって共振回路の共
振の特性を検出する構成としたが、これに限らず、共振
回路の共振の特性を検出するＩＤ検出装置１１は他の構
成としてもよい。例えば、発信装置Ｓによって前記所定
の周波数帯域内の周波数を含むバースト波状の電磁波を
発させて、受信装置Ｒによって受信した減衰振動の受信
波形をフーリエ変換することによって得られた各共振回
路の共振波の周波数を符合として認識することで、共振
回路の共振の特性を検出する構成としてもよい。

【００５２】ここで、上記実施の形態では、ＩＤタグ１
の共振回路３を、容量性の素子６が島状の絶縁体層９か
らなり、誘導性の素子７が中間部１０ｃにジグザグ部分
が形成される線状の導電体層１０によって構成される例
を示したが、容量性の素子６及び誘導性の素子７を含む
回路であれば、共振回路３は任意の構成とすることがで
きる。

【００５３】例えば、共振回路３は、容量性の素子６を
構成する絶縁体層９を島状に形成する代わりに、図９に
示すように、基板８に溝Ｇを形成し、この溝Ｇの内面に
沿って絶縁体層９を形成して、導電体層１０の一端１０
ａと他端１０ｂとをそれぞれ絶縁体層９に対して溝Ｇを
挟んで反対側に接続した構成としてもよい。この場合に
は、導電体層１０の一端１０ａと他端１０ｂとの間の直
線距離に比べてこれら一端１０ａと他端１０ｂとの間に
介在する絶縁体層９の長さを確保することができるの
で、共振回路３のサイズを大きくすることなく、さらに
容量Ｃを大きくすることができる。

【００５４】また、共振回路３は、容量性の素子６を基
板８上に形成される島状の絶縁体層９によって構成する
代わりに、図１０に示すように、基板８の表面に下地と
して絶縁体層９を形成し、この絶縁体層９の上に、両端
を離間させて誘導性の素子７を構成する導電体層１０を
形成した構成としてもよい。この場合には、絶縁体層９
のうち、導電体層１０の両端間に位置する部分が容量性
の素子６となる。

【００５５】また、共振回路３は、誘導性の素子７を構
成する導電体層１０の中間部１０ｃを、他の形状として
もよい。例えば、中間部１０ｃは、図１１（ａ）に示す
ように角が直角となるジグザグ形状としてもよく、角が
鈍角または曲線となるジグザグ形状に形成してもよい。
また、中間部１０ｃは、図１１（ｂ）に示すように、一
端１０ａ側が外周側となる渦巻状に形成され、他端１０
ｂ側（図１１に二点鎖線で示す）が中間部１０ｃにおい
て渦巻の最内周部から中間部１０ｃの上方（または下
方）に引き出される構成としてもよい。この場合には、
中間部１０ｃの巻き数を増やすことでリアクタンスＬを
大きくすることができ、巻き数を減らすことでリアクタ
ンスＬを小さくすることができる。このような渦巻状の
導電体層１０は、例えば、まず一端１０ａ及び実線で示
す部分（または他端１０ｂ及び二点鎖線で示す部分）を
形成し、実線で示す部分と二点鎖線で示す部分との交差
部となる部位のうち、渦巻の最内周部に位置する部分を
除いた部分を絶縁体層等によって覆い、その上に他端１
０ｂ及び二点鎖線部分（または一端１０ａ及び実線で示
す部分）を形成することによって製造することができ
る。また、導電性の膜１０自体の長さや太さを調整する
ことで所望のリアクタンスＬを得ることができる場合に
は、中間部１０ｃを前記のような複雑な形状ではなく、
単純な線状に形成することができる。

【００５６】〔第二の実施の形態〕以下、本発明の第二
の実施形態について図１２及び図１３を参照して説明す
る。図１２は本実施の形態にかかるＩＤタグ及びＩＤ検
出装置の構成を示す図、図１３は本実施形態にかかるＩ
Ｄ検出装置によるＩＤタグの固有の情報の検出の様子を
示す図である。ここで、本実施の形態において、第一の
実施の形態と同一または同様の部分については同じ符号
を用いて説明する。

【００５７】本実施の形態にかかるＩＤタグ２１は、第
一の実施の形態に示すＩＤタグ１と同様に共振回路３が
複数設けられたものであって、このＩＤタグ２１は、製
造段階で各共振回路３の共振の特性、及びタグ本体２に
おける各共振回路３の配置が定められており、これら共
振回路３間における共振の特性の相対的な関係とタグ本
体２における各共振回路３の配置との組み合わせによっ
て固有の情報を表している。ここで、各共振回路３の配
置の情報としては、例えば、各共振回路３同士の位置関
係（例えば共振回路３間の間隔等）や、各共振回路３の
並び順、またはこれらの組み合わせ等を用いることがで
きる。また、本実施の形態では、ＩＤタグ１に設けられ
る共振回路３の共振周波数は全て同じでもよく、それぞ
れ異なる共振周波数としてもよい。このＩＤタグ２１に
おいても、共振回路３の設置数を増やすことで、表すこ
とのできる情報量を増加させることができる。

【００５８】本実施の形態では、タグ本体２上に、各共
振回路３を列状に配置している。図１２では、共振回路
３を一列に配列した例を示したが、これに限られること
なく、共振回路３を複数列に配列してもよい。このよう
に共振回路３の列を増加させることで、ＩＤタグ２１が
表すことのできる情報量を増加させることができる。

【００５９】本実施形態にかかるＩＤ検出装置２２は、
第一の実施の形態にかかるＩＤ検出装置１１において、
アンテナ１６を、一度に一つの共振回路３とのみ電磁波
のやり取りが可能となるように一つの共振回路３のみを
囲むことができる程度の大きさとし、さらに、タグ本体
２における各共振回路３の位置情報を検出する位置情報
検出装置２３を設けたものである。

【００６０】位置情報検出装置２３は、アンテナ１６を
基準位置から走査方向に移動させるアンテナ移動装置２
４と、アンテナ１６の位置情報を検出するアンテナ位置
検出装置２５とを有している。アンテナ位置検出装置２
５は、基準位置から走査方向へのアンテナ１６の移動量
を信号電圧の大きさの変化に変換して解析装置１２に送
るものである。本実施の形態では、ＩＤタグ２１は、共
振回路３を一列に配列した構成としているので、アンテ
ナ移動装置２４はアンテナ１６を一軸方向にのみ移動さ
せる構成としている。

【００６１】ここで、ＩＤタグ２１を、共振回路３の列
が複数設けられた構成、または共振回路３がタグ本体２
上で二次元的に配置された構成とした場合には、アンテ
ナ移動装置２４は、アンテナ１６を二次元的に移動させ
ることが可能な構成、例えば直交する二軸方向に移動さ
せることが可能な構成とされ、アンテナ位置検出装置２
５は、アンテナ１６の移動量を二次元的に検出可能な構
成、例えば直交する二軸の各軸方向についてのアンテナ
１６の移動量をそれぞれ独立して検出して各軸方向への
移動量をそれぞれ独立した信号電圧に変換して出力する
構成とされる。

【００６２】本実施の形態では、解析装置１２は、検出
した共振回路３の共振の特性と、各共振回路３の共振を
検出した時点における基準位置からのアンテナ１６の移
動量（すなわちアンテナ位置検出装置２５の信号電圧の
大きさ）との組み合わせから、ＩＤタグ２１の固有の情
報を検出する構成とされる。

【００６３】本実施の形態にかかるＩＤタグ２１及びＩ
Ｄ検出装置２２を用いた物品の自動識別は、以下のよう
にして行われる。まず、アンテナ１６を基準位置に位置
させ、図１２に示すように、ＩＤタグ２１の共振回路３
の列がアンテナ１６の走査方向上に位置するようにこれ
らの位置及び向きを合わせる。ここで、共振回路３の列
が複数ある場合には、アンテナ１６は、これら共振回路
３の列のうちのいずれかの列、例えば一番端にある列に
対して位置決めする。

【００６４】このようにＩＤタグ２１とアンテナ１６の
位置決めを行った後、発信装置Ｓによってアンテナ１６
から電磁波を発しながら、アンテナ移動装置２４によっ
てアンテナ１６を走査方向に移動させて、走査方向上に
位置する各共振回路３と順次電磁波のやり取りを行う。
本実施の形態では、発信装置Ｓは、アンテナ１６から発
せられる電磁波が、共振回路３の共振周波数として使用
され得る周波数をすべて含む周波数帯域を掃引する設定
としており、これによってＩＤタグ２１に設けられる全
ての共振回路３が共振するようになっている。ここで、
ＩＤタグ２１に設けられる共振回路３の共振周波数を全
て同一とした場合には、発信装置Ｓは、共振回路３が共
振する特定の周波数の電磁波のみを放出する構成として
もよい。

【００６５】ここで、ＩＤタグ２１が、共振回路３の列
を複数有する構成とされている場合には、例えば走査方
向上にある列の全ての共振回路３との電磁波のやり取り
を終えたのちに、アンテナ移動装置２４によってアンテ
ナ１６を共振回路３の列に交差する方向に移動させて隣
接する共振回路３の列に対して位置決めし、最初の列と
同様にして走査方向上にある列の全ての共振回路３との
電磁波のやり取りを行う。そして、以降はこの動作を繰
り返すことで、全ての列の共振回路３と電磁波のやり取
りを行う。

【００６６】ＩＤ検出装置２２は、このように共振回路
３との電磁波のやり取りを行うとともに、アンテナ１６
からの反射波に基づいて、受信装置Ｒによって共振波の
復調信号を得る。解析装置１２は、この復調信号に基づ
いて共振回路３の共振の特性を検出するとともに、復調
信号の出力の大きさを縦軸にとり、アンテナ位置検出装
置２５の出力電圧の大きさ（すなわち走査方向へのアン
テナ１６の移動量）を横軸にとることで、図１３に示す
ように、配列方向における共振回路３の配置パターンを
検出する。ここで、図１３において、復調信号のピーク
のある位置が、アンテナ１６の走査経路上での各共振回
路３の設けられている位置を示している。そして、この
ようにして検出された各共振回路３間の共振の特性の相
対的な関係とタグ本体２における各共振回路３の配置の
情報との組み合わせに基づいて、ＩＤ検出装置２２によ
るＩＤタグ２１の識別が行われて、ＩＤタグ２１を設け
た物品が識別される。

【００６７】ここで、ＩＤタグ２１が、共振回路３の列
を複数有する構成とされている場合には、例えば前記の
ようにして求められた各列における共振回路３の配置パ
ターンと、共振回路３の列に交差する方向へのアンテナ
１６の移動量の情報との組み合わせにより、ＩＤ検出装
置２２によるＩＤタグ２１の識別が行われる。

【００６８】このように、本実施の形態では、ＩＤタグ
２１が、各共振回路間３における共振の特性の相対的な
関係と、タグ本体２における各共振回路３の配置との組
み合わせによって固有の情報を表しているので、各ＩＤ
タグによって表すことのできる情報量をさらに増やすこ
とができる。

【００６９】なお、上記実施の形態において、ＩＤタグ
２１の各共振回路３間における共振の特性の相対的な関
係としては、入力した周波数の電磁波に対する各共振回
路３の共振の有無のパターンを用いてもよい。この場
合、例えば、前記のように、基準となる周波数の電磁波
に対する各共振回路３の共振の有無のパターンを用いて
もよく、またタグ本体２において各共振回路３を等間隔
に配置し、アンテナ１６の走査方向において共振回路３
が設けられる各位置について、図１３に示すように、共
振回路３の共振のあった場合には１とし、共振の無い場
合には０として、タグ本体２上での共振回路３の配置パ
ターンを二値情報として用いてもよい。

【００７０】〔第三の実施の形態〕以下、本発明の第三
の実施形態について図１４及び図１５を参照して説明す
る。図１４は本実施の形態にかかるＩＤ検出装置の構成
を示す図、図１５は本実施形態にかかるＩＤ検出装置に
よるＩＤタグの固有の情報の検出の様子を示す図であ
る。ここで、本実施の形態において、第一の実施の形態
と同一または同様の部分については同じ符号を用いて説
明する。本実施形態にかかるＩＤ検出装置３１は、前記
各実施の形態で示したＩＤ検出装置において、前記各実
施の形態で示したＩＤタグに設けられる複数の共振回路
３のうちの少なくとも一部を選択的に破壊可能な回路破
壊装置３２を設けたものである。本実施の形態では、Ｉ
Ｄ検出装置３１を、第二の実施の形態で示したＩＤ検出
装置２２において回路破壊装置３２を設けた構成として
いる。すなわち、アンテナ１６を、ＩＤタグの一つの共
振回路のみ囲むことができる大きさとし、アンテナ１６
を移動可能な構成としている。回路破壊装置３２は、共
振回路３を破壊することで共振しない共振回路とするも
のである。

【００７１】このような回路破壊装置３２としては、例
えば、共振回路３を構成する素子の破壊が可能な出力の
レーザー光を破壊対象となる共振回路３に対して照射す
るレーザー発生装置や、共振回路３を構成する素子また
は共振回路を構成する素子同士の接続部が共振のエネル
ギーによって焼き切れる程度（炭化する程度）の高出力
で破壊対象となる共振回路３の共振周波数の電磁波を放
出する発信装置とするほか、他の任意の構成とすること
ができる。このような回路破壊装置３２としては、ＩＤ
タグと非接触で共振回路３を破壊可能な構成のものが好
ましい。

【００７２】本実施の形態では、ＩＤタグの固有の情報
の検出に用いる発信装置として、第一、第二の実施の形
態に示す発信装置Ｓの代わりに、この発信装置Ｓにおい
て、電圧制御発振器１４に対して破壊対象となる共振回
路３の共振周波数で発信させる信号電圧を入力する信号
源３３を設けた構成の発信装置Ｓ１を設けており、この
発信装置Ｓ１を回路破壊装置３２としている。この信号
源３３は、例えば解析装置１２によって、破壊対象とな
る共振回路３の共振周波数に応じて信号電圧を制御され
るようになっている。

【００７３】この回路破壊装置３２によって共振回路３
を破壊する際には、アンテナ１６を破壊対象となる共振
回路３に対向する位置に位置させ、この状態で、電圧制
御発振器１４に対して、信号電圧発生器１３からではな
く信号源３３から信号を入力し、さらに広帯域アンプ１
５によって、電圧制御発信機１４の出力信号を、アンテ
ナ１６が発する電磁波との共振によって共振回路３を構
成する素子が焼き切れるほどの出力に増幅する。このよ
うにして破壊対象となる共振回路３に対して高出力の電
磁波を入力することで、共振回路３の素子が焼き切られ
て共振回路３が破壊される。このＩＤ検出装置３１で
は、ＩＤタグに破壊対象となる共振回路３と同じ共振周
波数の共振回路３が設けられている場合にも、アンテナ
１６が対向する共振回路３のみを破壊することができ
る。

【００７４】本実施の形態にかかるＩＤ検出装置３１
は、回路破壊装置３２によって、ＩＤタグに設けられて
いる共振回路３のうちの任意の共振回路３を選択的に破
壊して共振しない共振回路３とすることができるので、
ＩＤタグに設けられる複数の共振回路３間における共振
の特性の相対的な関係を変化させて、ＩＤタグの固有の
情報を変更することができる（固有の情報を書き換える
ことができる）。例えば、各共振回路３の共振のパター
ンが、図１５に実線及び二点鎖線で示すピークを有して
いるＩＤタグにおいて、破壊対象となる共振回路３（図
１５において二点鎖線で示すピークに対応する共振回
路）を回路破壊装置３２によって破壊して共振しない共
振回路とすることで、各共振回路３の共振のパターン
を、図１５に実線で示すように変化させることができ
る。

【００７５】このように、本実施の形態にかかるＩＤ検
出装置３１によれば、第一、第二の実施の形態に示した
ＩＤタグ１、２１を用いることで、従来のバーコード等
の符合を用いた場合には不可能であり、また従来のＩＤ
タグのように記憶装置を設けていない場合には不可能で
あった、ＩＤタグの固有の情報の書き換えが可能とな
る。

【００７６】ここで、上記のＩＤ検出装置３１におい
て、第一の実施の形態に示したＩＤ検出装置１１のよう
に、アンテナ１６をＩＤタグの全ての共振回路３を囲む
ことができる大きさとして、アンテナ移動装置２４を設
けない構成としてもよい。この場合には、これら共振回
路３のうち、アンテナ１６から発せられた電磁波に共振
する全ての共振回路３が破壊される。

【００７７】〔第四の実施の形態〕以下、本発明の第四
の実施形態について図１６及び図１７を参照して説明す
る。ここで、図１６は本実施形態にかかる集積回路用基
板の構成を示す平面図、図１７は本実施形態にかかる集
積回路用基板の製造工程を示す図である。

【００７８】本実施形態にかかる集積回路用基板４１
は、表面に集積回路が形成されるものであって、表面４
１ａには、外部から入力される特定の周波数の電磁波に
共振して共振波を発する共振回路３を有しこの共振回路
３の共振の特性がこの集積回路用基板４１の固有の情報
を表すＩＤタグ４２が形成されている。このＩＤタグ４
２は、集積回路用基板４１自体がタグ本体２とされるも
のであって、集積回路用基板４１自体を基板８としてそ
の表面４１ａに集積回路を形成する方法と同様の手法に
よって形成された共振回路３によって構成されている。
本実施形態では、集積回路用基板４１を、集積回路及び
集積回路の電気的テストのためのＴＥＧ（Testing Elem
ent Group）が形成される構成としており、ＩＤタグ４
２は、ＴＥＧが形成される領域４３内に形成されてい
る。

【００７９】ここで、このＩＤタグ４２は、例えば共振
の特性の絶対的な値（共振周波数の絶対値等）によって
固有の情報を表す構成としてもよい。この場合には、共
振回路３は一つ以上設けていればよい。この構成では、
集積回路用基板４１の固有の情報は、従来のＩＤタグの
固有の情報を検出に用いるＩＤ検出装置によって検出す
ることができる。

【００８０】また、ＩＤタグ４２は、第一の実施の形態
に示したＩＤタグ１、または第二の実施の形態に示した
ＩＤタグ２１と同様に、複数の共振回路３を有し、これ
ら共振回路３間の共振の特性、または共振回路３間の共
振の特性と共振回路３の配置によって固有の情報を表す
構成としてもよい。この場合には、第一の実施の形態に
示したＩＤ検出装置１１、または第二の実施の形態に示
したＩＤ検出装置２２によって固有の情報を検出するこ
とができ、第三の実施の形態に示したＩＤ検出装置３２
によって、固有の情報の検出と、固有の情報の書き換え
を行うことができる。

【００８１】このＩＤタグ４２を構成する共振回路３
は、集積回路用基板４１上に集積回路を形成する工程で
集積回路とともに形成される。具体的には、集積回路を
構成する薄膜のうち、第一層目の絶縁体層４４を形成す
る工程において、図１７（ａ）に示すように、第一層目
の絶縁体層４４とともに各共振回路３の容量性の素子６
を構成する絶縁体層９を形成する。そして、集積回路を
構成する薄膜のうち、第一層目の導電体層４５を形成す
る工程において、図１７（ｂ）に示すように、第一層目
の導電体層４５とともに各共振回路３の誘導性の素子７
を構成する線状の導電体層１０を形成する。

【００８２】このように、この集積回路用基板４１で
は、最も早い場合には、集積回路を形成する工程におい
て二層の薄膜を形成した段階で、ＩＤタグ４２を構成す
る共振回路３を完成させることができるので、以降の集
積回路の形成工程においてこのＩＤタグ４２を用いた集
積回路用基板４１の管理を行うことができる。

【００８３】ここで、本実施の形態では、集積回路用基
板４１上に形成されるＩＤタグ４２として、外部から入
力された電磁波に共振する共振回路３を複数有し、これ
ら共振回路３の共振の特性の相対的な関係、または共振
の特性の相対的な関係と共振回路３の位置情報との組み
合わせが固有の情報を表すＩＤタグとした。集積回路用
基板４１に形成されるＩＤタグ４２をこのような構成と
することで、その後の集積回路の形成工程において集積
回路用基板４１上にさらに導体からなる層が形成されて
共振回路３の共振の特性が変化しても、その固有の情報
を正確に読み出すことができる。なお、図１６では、Ｉ
Ｄタグ４２を構成する共振回路３を複数の領域４３に形
成した例を示したが、これに限られることなく、全ての
共振回路３を一つの領域４３に形成してもよい。

【００８４】さらに、本実施の形態にかかる集積回路用
基板４１では、ＩＤタグ４２がＴＥＧを兼ねているの
で、ＩＤタグ４２を構成する共振回路３が正常に作動し
ていることが確認できれば（すなわちＩＤタグ４２の固
有の情報をＩＤ検出装置によって検出することができれ
ば）、ＴＥＧ自体も良好に形成されていることとなるの
で、ＩＤタグ４２が正常に機能するかどうかを検出する
ことで、集積回路用基板４１上に形成された集積回路の
良否を判定することができる。

【００８５】ここで、上記実施の形態では、集積回路用
基板４１として、表面にベアシリコンが露出している集
積回路用基板を用い、その表面に絶縁体層９及び導電体
層１０からなる共振回路３を形成した例を示したが、こ
れに限られることなく、例えば図１８に示すように、集
積回路用基板４１を、表面全体に集積回路形成のための
下地となる絶縁体層４４を予め形成した構成としてもよ
い。この構成を採用した場合には、この絶縁体層４４が
共振回路３の絶縁体層９となるので、集積回路用基板の
表面に、線状の導電体層１０を形成することのみによっ
て共振回路３を形成することができる。

【００８６】

【発明の効果】上記のように、本発明にかかるＩＤタグ
によれば、外部から入力される特定の周波数の電磁波に
共振して共振波を発する共振回路を複数有し、その固有
の情報が、各共振回路間における共振の特性の相対的な
関係によって表されているので、ＩＤタグに固有の情報
を記憶する記憶装置や電源を設ける必要がない。このＩ
Ｄタグはこのように構造が単純であるので、小型化が可
能で電源のメンテナンスも不要になる。そして、このＩ
Ｄタグは必ずしも物品の表面に露出させておく必要はな
く、また送受信装置に対する向きにほとんど関係なく、
非接触で情報の読み取りを行うことができる。また、固
有の情報が、各共振回路間における共振の特性の相対的
な関係によって表されているので、共振回路が電磁気的
な影響を受ける状況下にあったり、製造ロットごとの共
振特性のばらつきがあった場合にも、固有の情報を正確
に読み取ることが可能となる。このように、本発明にか
かるＩＤタグによれば、物品の自動識別を容易かつ確実
に行うことができる。

【００８７】また、本発明にかかる集積回路用基板によ
れば、その表面には、請求項１から４のいずれかに記載
のＩＤタグが形成されているので、集積回路を形成する
過程で表面に導電性の膜が積層されて、この導電性の膜
によって電磁気的な影響を受けてＩＤタグに設けられる
共振回路の共振の特性が変わってしまっても、ＩＤタグ
から固有の情報を正確に読み出すことができる。このよ
うに、本発明にかかる集積回路用基板によれば、集積回
路用基板の自動識別を、非接触で、容易かつ確実に行う
ことができる。

【００８８】また、本発明にかかる集積回路用基板によ
れば、表面に集積回路及び該集積回路の電気的テストの
ためのＴＥＧが形成される集積回路用基板においてＴＥ
Ｇが形成される領域内に、外部から入力される特定の周
波数の電磁波に共振して共振波を発する共振回路を有す
るＩＤタグが形成されているので、表面に集積回路を形
成する空間を確保しつつ、ＩＤタグを形成することがで
きる。さらに、ＩＤタグ自体もＴＥＧとして機能するの
で、ＩＤタグが正常に動作するかどうかを検証すること
で、集積回路の形成が良好に行われているかどうかを、
非接触で評価することができる。

【００８９】本発明にかかるＩＤタグを有する集積回路
用基板の製造方法によれば、集積回路を形成する工程の
初期段階で表面にＩＤタグを形成するので、ＩＤタグが
形成された以降の集積回路の形成工程において、ＩＤタ
グを使用した集積回路用基板の管理を行うことができ
る。

【００９０】本発明にかかるＩＤ検出装置によれば、解
析装置によって求められるＩＤタグの共振回路間におけ
る共振の特性の相対的な関係から、請求項１から３のい
ずれかに記載のＩＤタグの固有の情報を検出することが
できる。そして、このＩＤ検出装置に、タグ本体におけ
る各共振回路の位置情報を検出する位置情報検出装置を
設けることで、各共振回路間における共振の特性の相対
的な関係と各共振回路の配置との組み合わせから、請求
項４に記載のＩＤタグの固有の情報を検出することがで
きる。また、このＩＤ検出装置に、ＩＤタグに設けられ
る前記共振回路を選択的に破壊可能な回路破壊装置を設
けることで、ＩＤタグに設けられている共振回路を選択
的に破壊して共振しない共振回路とすることができ、Ｉ
Ｄタグの固有の情報を変更することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第一の実施の形態にかかるＩＤタグ
の構成を示す平面図である。

【図２】 図１のＡ−Ａ矢視断面図である。

【図３】 第一の実施形態にかかるＩＤタグに用いられ
る共振回路の等価回路図である。

【図４】 第一の実施形態にかかるＩＤ検出装置の構成
を示すブロック図である。

【図５】 第一の実施形態にかかるＩＤ検出装置による
ＩＤタグの固有の情報の検出の様子を示す図である。

【図６】 第一の実施形態にかかる共振回路の他の形態
例を示す等価回路図である。

【図７】 図６に示すＩＤタグの固有の情報を検出する
際に解析装置によって検出された第一〜第四の共振回路
の共振のパターンを示す図である。

【図８】 ＩＤタグの各共振回路の共振のパターンとそ
の二値情報を示す図である。

【図９】 第一の実施の形態にかかるＩＤタグに用いら
れる共振回路の他の形態例を示す図である。

【図１０】 第一の実施の形態にかかるＩＤタグに用い
られる共振回路の他の形態例を示す図である。

【図１１】 第一の実施の形態にかかるＩＤタグに用い
られる共振回路の他の形態例を示す図である。

【図１２】 本発明の第二の実施の形態にかかるＩＤ検
出装置の構成を示す図である。

【図１３】 図１２に示すＩＤタグの固有の情報を検出
する際に解析装置によって検出された各共振回路の共振
のパターンを示す図である。

【図１４】 本発明の第三の実施の形態にかかるＩＤタ
グ及びＩＤ検出装置の構成を示す図である。

【図１５】 第三の実施の形態にかかるＩＤ検出装置に
よるＩＤタグの固有の情報の検出の様子を示す図であ
る。

【図１６】 本発明の第四の実施形態にかかる集積回路
用基板の構成を示す平面図である。

【図１７】 第四の実施の形態にかかる集積回路用基板
の製造工程を示す図である。

【図１８】 第四の実施の形態にかかる集積回路用基板
の製造工程の他の例を示す図である。

【符号の説明】

１、２１、４２ ＩＤタグ ２ タグ本体 ３ 共振回路 １１、２２、３１
ＩＤ検出装置 １２ 解析装置 ２３ 位置情報検出
装置 ３２ 回路破壊装置 ４１ 集積回路用基
板 Ｓ、Ｓ１ 発信装置 Ｒ 受信装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 乾 信一郎 東京都文京区小石川１−12−14 日本生命 小石川ビル 三菱マテリアル株式会社ＲＦ −ＩＤ事業センター内 Ｆターム(参考） 5B035 AA04 BA05 BA07 BB09 CA01 CA08 CA11 5K012 AA01 AB05 AC06 AC08 AC10 BA07

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外部から入力される特定の周波数の電磁
   波に共振して共振波を発する共振回路を複数有し、 これら共振回路間における共振の特性の相対的な関係が
   固有の情報を表していることを特徴とするＩＤタグ。
2. 【請求項２】 前記各共振回路間における共振の特性の
   相対的な関係として、前記各共振回路の共振波間の周波
   数間隔を用いていることを特徴とする請求項１記載のＩ
   Ｄタグ。
3. 【請求項３】 前記各共振回路間における共振の特性の
   相対的な関係として、前記各共振回路の共振波間におけ
   る先鋭度Ｑの相対的な関係を用いていることを特徴とす
   る請求項１または２に記載のＩＤタグ。
4. 【請求項４】 前記各共振回路間における共振の特性の
   相対的な関係とタグ本体における前記各共振回路の配置
   との組み合わせが固有の情報を表していることを特徴と
   する請求項１から３のいずれかに記載のＩＤタグ。
5. 【請求項５】 表面に集積回路が形成される集積回路用
   基板であって、 前記表面には、請求項１から４のいずれかに記載のＩＤ
   タグが形成されていることを特徴とする集積回路用基
   板。
6. 【請求項６】 表面に集積回路及び該集積回路の電気的
   テストのためのＴＥＧ（Testing Element Group）が形
   成される集積回路用基板であって、 前記ＴＥＧが形成される領域内に、外部から入力される
   特定の周波数の電磁波に共振して共振波を発する共振回
   路を有しこの共振回路の共振の特性が固有の情報を表す
   ＩＤタグが形成されていることを特徴とする集積回路用
   基板。
7. 【請求項７】 前記ＩＤタグが、請求項１から５のいず
   れかに記載のＩＤタグとされていることを特徴とする請
   求項６記載の集積回路用基板。
8. 【請求項８】 表面に集積回路が形成される集積回路用
   基板の製造方法であって、 前記集積回路の形成工程の初期段階で、前記表面に、外
   部から入力される特定の周波数の電磁波に共振して共振
   波を発する共振回路を有するＩＤタグを形成することを
   特徴とする集積回路用基板の製造方法。
9. 【請求項９】 外部から入力される特定の周波数の電磁
   波に共振して共振波を発する共振回路を複数有するＩＤ
   タグから、その固有の情報を検出するＩＤ検出装置であ
   って、 電磁波を放出する発信装置と、前記共振回路が発する共
   振波を受信する受信装置と、該受信装置が受信した共振
   波の解析を行う解析装置とを有し、 該解析装置は、前記受信装置による共振波の受信の有
   無、または前記受信装置が受信した前記共振波の特性か
   ら前記各共振回路の共振の特性を解析し、これら共振回
   路間における共振の特性の相対的な関係から前記ＩＤタ
   グの固有の情報を検出することを特徴とするＩＤ検出装
   置。
10. 【請求項１０】 タグ本体における前記各共振回路の位
    置情報を検出する位置情報検出装置を有し、 前記解析装置が、前記各共振回路間における共振の特性
    の相対的な関係と前記タグ本体における前記各共振回路
    の配置との組み合わせから固有の情報を検出することを
    特徴とする請求項９記載のＩＤ検出装置。
11. 【請求項１１】 前記タグ本体に設けられる前記複数の
    共振回路のうちの少なくとも一部を選択的に破壊可能な
    回路破壊装置が設けられていることを特徴とする請求項
    ９または１０に記載のＩＤ検出装置。