JP2003297914A - ウェーハケース及びケースステーション - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 集積回路用基板の自動識別を容易に行う。 【解決手段】 集積回路用基板１を、特定の周波数の電
磁波に共振して共振波を発する共振回路２を有しこの共
振回路２の共振の特性によって固有の情報を表す構成と
する。ウェーハケース２１に、その内部に収容される集
積回路用基板１に対向させて、外部との電気的な接続を
可能にしてアンテナ２９を設ける。ケースステーション
２２を、ウェーハケース２１が載置される台座部３１
と、台座部３１上のウェーハケース２１のアンテナ２９
と電気的に接続される端子Ｔと、端子Ｔを介して電気的
に接続されるアンテナ２９を利用して電磁波を放出する
発信装置Ｓと、端子Ｔを介して電気的に接続されるアン
テナ２９を利用して共振波を受信する受信装置Ｒと、受
信装置Ｒが受信した共振波を解析してその特性から共振
回路２の共振の特性を解析して集積回路用基板１の固有
の情報を検出する構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体デバ
イスの基板として用いられるシリコンウェーハや液晶回
路のガラス基板等の集積回路用基板の自動識別に用いら
れるウェーハケース及びケースステーションに関する。

【０００２】

【従来の技術】集積回路用基板は、表面に集積回路を形
成する過程で多数の工程を経るので、各集積回路用基板
について工程の履歴等を管理する必要がある。このよう
な集積回路用基板の情報の管理を自動的に行うために、
集積回路用基板の自動識別装置が用いられる。

【０００３】従来、集積回路用基板を自動的に識別する
方法としては、集積回路用基板に対してその固有の情報
を表す符合（文字や記号、バーコード等）を設けてお
き、この符合を文字認識装置やバーコードリーダー等の
読取装置によって光学的に読み取り、この符合が表す情
報に基づいて物品を識別する方法がある。また、集積回
路用基板を直接識別するのではなく、集積回路用基板が
収容されるウェーハケースに、その固有の情報を記憶す
る記憶装置と送受信装置、及びこれらを駆動するための
電源（電池等）とを有するＩＤタグを設けておき、外部
から無線通信手段によってＩＤタグの送受信装置と交信
して記憶装置内に記憶された情報を読み出し、この情報
に基づいてウェーハケース内の集積回路用基板を識別す
る方法がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前者のように
符合を光学的に読み取る方法では、集積回路用基板をそ
れぞれウェーハケースから取り出して、その表面に設け
られた符合を読取装置に対向させる必要があり、ウェー
ハケース内に複数枚の集積回路用基板を収容している場
合には、集積回路用基板の自動識別作業に手間がかかっ
てしまう。ここで、集積回路用基板は表面の汚染を嫌う
ので、ウェーハケースは密封容器とされている。そし
て、集積回路用基板の汚染を避けるためには、ウェーハ
ケースは清浄な雰囲気下で開く必要がある。しかし、上
記のように集積回路用基板の自動識別を行うためにはウ
ェーハケースから集積回路用基板を取り出さなくてはな
らないので、自動識別を行うことのできる場所や機会に
制限があった。また、集積回路用基板には符合の表示面
積を十分に確保しなければならないので、集積回路用基
板の表面において集積回路を形成する領域が減ることと
なり、歩留まりが悪かった。

【０００５】一方、後者のように集積回路用基板の固有
の情報をウェーハケースに設けたＩＤタグから無線通信
手段によって読み取る方法では、ウェーハケースを開く
ことなく情報の読み取りを行うことができる。しかし、
この方法では、集積回路用基板自体について固有の情報
を管理しているわけではないので、ウェーハケース内に
複数枚の集積回路用基板を収容している場合には、各集
積回路用基板についての最新の情報を逐次把握すること
はできなかった。また、ＩＤタグには、送受信装置の他
に、記憶装置と、これらを駆動するための電源を設けな
くてはならないので、小型化が困難である上、さらに電
源のメンテナンス（電池の交換や充電等）が必要となっ
てしまう。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、集積回路用基板の自動識別を容易に行うこと
ができるウェーハケース及びケースステーションを提供
することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、以下の構成を採用した。本発明にかかる
ウェーハケースは、外部から入力される特定の周波数の
電磁波に共振して共振波を発する共振回路を有しこの共
振回路の共振の特性によって固有の情報を表す構成の集
積回路用基板が収容されるウェーハケースであって、一
側方に開口部が設けられる箱型をなし内部に前記集積回
路用基板が収容されるケース本体と、該ケース本体の前
記開口部を閉じる蓋体とを有し、前記ケース本体と前記
蓋体とのうちいずれか一方に、前記集積回路用基板に対
向させて、外部との電気的な接続を可能にしてアンテナ
が設けられていることを特徴としている。

【０００８】このウェーハケースは、従来のFOUP(Front
Open Unified Pod)と呼ばれる形式のウェーハケースに
おいて、ケース本体と蓋体とのうちいずれか一方に、集
積回路用基板に対向させて、外部との電気的な接続を可
能にしてアンテナを設けたものである。このウェーハケ
ースに収容される集積回路用基板は、外部から入力され
る特定の周波数の電磁波に共振して共振波を発する共振
回路を有しており、この共振回路の共振の特性が固有の
情報を表している。この集積回路用基板に対して、発信
装置によって外部から特定の周波数の電磁波を入力する
ことで、共振回路が共振波を発する。共振回路の共振の
特性は、この共振波を受信装置によって受信してその特
性を解析することにより求められる。このように、発信
装置及び受信装置を用いることで、ウェーハケースを開
けずにウェーハケース内の集積回路用基板自体の自動識
別を行うことができる。

【０００９】ここで、ウェーハケース外から電磁波を入
力して共振回路を共振させるには、一般的な近距離無線
通信に用いられる電磁波の出力に比べて非常に大きな出
力で電磁波を入力する必要がある。一般的な近距離無線
通信に用いられる程度の出力の電磁波でこの共振回路を
十分に共振させるため、またその共振波を確実に受信す
るためには、発信装置の電磁波を放出するアンテナ及び
受信装置のアンテナは、極力共振回路に近接させること
が望ましい。このウェーハケースでは、ケース本体と蓋
体とのうちいずれか一方に、集積回路用基板に対向させ
てアンテナが設けられている。このように集積回路用基
板に非常に近接した位置に設けられるアンテナを利用し
て、ウェーハケース内の集積回路用基板に発信装置の電
磁波を入力し、このアンテナを利用して受信装置による
共振波の受信を行うことで、集積回路用基板の共振回路
を十分に共振させることができるとともに、その共振波
を確実に受信することができる。

【００１０】このウェーハケースに複数枚の集積回路用
基板を収容する場合には、ウェーハケースは、例えばケ
ース本体に、複数の集積回路用基板を互いに離間させて
整列状態にして保持する保持部が設けられ、前記アンテ
ナは、ケース本体と蓋体とのうちいずれか一方に、各集
積回路用基板の配列方向に沿ってこれら全ての集積回路
用基板に対向させて設けられる。この構成では、各集積
回路用基板は、例えばその厚み方向に離間させて配列さ
れる。そして、アンテナは、ウェーハケース内の各集積
回路用基板の配列方向に沿ってこれら全ての集積回路用
基板に対向させて設けられているので、このアンテナに
より、全ての集積回路用基板に対する電磁波の入力、及
び全ての集積回路用基板の共振回路の共振波の受信を行
うことができる。

【００１１】本発明にかかるウェーハケースは、外部か
ら入力される特定の周波数の電磁波に共振して共振波を
発する共振回路を有しこの共振回路の共振の特性によっ
て固有の情報を表す構成の集積回路用基板が収容される
ウェーハケースであって、一側面に開口部が設けられる
箱型をなし内部に前記集積回路用基板が収容される下ケ
ースと、底面が開口される箱型をなし前記下ケースに上
方から被せられて前記下ケースを覆う上ケースとを有
し、前記下ケースと前記上ケースとのうちいずれか一方
に、前記集積回路用基板に対向させてアンテナが設けら
れていることを特徴としている。

【００１２】このウェーハケースは、従来のSMIF（Stan
dard of Mechanical Interface）と呼ばれる形式のウェ
ーハケースにおいて、下ケースと上ケースとのうちいず
れか一方に、集積回路用基板に対向させて、外部との電
気的な接続を可能にしてアンテナを設けたものである。
このウェーハケースでは、収容される集積回路用基板に
対して、発信装置によって外部から特定の周波数の電磁
波を入力することで、共振回路が共振波を発する。共振
回路の共振の特性は、この共振波を受信装置によって受
信してその特性を解析することにより求められる。この
ように、発信装置及び受信装置を用いることで、ウェー
ハケースを開けずにウェーハケース内の集積回路用基板
自体の自動識別を行うことができる。このウェーハケー
スでは、下ケースと上ケースとのうちいずれか一方に、
集積回路用基板に対向させてアンテナが設けられてい
る。そして、このアンテナを利用して、ウェーハケース
内の集積回路用基板に発信装置の電磁波を入力し、この
アンテナを利用して受信装置による共振波の受信を行う
ことで、集積回路用基板の共振回路を十分に共振させる
ことができるとともに、その共振波を確実に受信するこ
とができる。

【００１３】このウェーハケースに複数枚の集積回路用
基板を収容する場合には、ウェーハケースは、例えば下
ケースに、複数の集積回路用基板を互いに離間させて整
列状態にして保持する保持部が設けられ、前記アンテナ
は、下ケースと上ケースとのうちいずれか一方に、各集
積回路用基板の配列方向に沿ってこれら全ての集積回路
用基板に対向させて設けられる。この構成では、各集積
回路用基板は、例えばその厚み方向に離間させて配列さ
れる。そして、アンテナは、ウェーハケース内の各集積
回路用基板の配列方向に沿ってこれら全ての集積回路用
基板に対向させて設けられているので、このアンテナに
より、全ての集積回路用基板に対する電磁波の入力、及
び全ての集積回路用基板の共振回路の共振波の受信を行
うことができる。

【００１４】本発明にかかるケースステーションは、請
求項１から４のいずれかに記載のウェーハケースが載置
されるケースステーションであって、前記ウェーハケー
スが載置される台座部と、該台座部に載置されるウェー
ハケースのアンテナと電気的に接続される端子と、該端
子を介して前記アンテナと電気的に接続されて該アンテ
ナを利用して電磁波を放出する発信装置と、前記端子を
介して前記アンテナと電気的に接続されて該アンテナを
利用して前記ウェーハケース内の集積回路用基板の共振
回路が発する共振波を受信する受信装置と、該受信装置
が受信した共振波の解析を行う解析装置とを有し、該解
析装置は、前記受信装置が受信した前記共振波の特性か
ら前記共振回路の共振の特性を解析し、この共振の特性
から前記ウェーハケース内に収容される前記集積回路用
基板の固有の情報を検出することを特徴としている。

【００１５】このように構成されるケースステーション
においては、請求項１から４のいずれかに記載のウェー
ハケースが台座部に載置されることで、ウェーハケース
に設けられたアンテナが端子を介して発信装置及び受信
装置に電気的に接続される。そして、アンテナを利用し
て発信装置が電磁波を放出することで、ウェーハケース
内の集積回路用基板の共振回路が共振させられて共振波
を発する。この共振波は、アンテナを通じて受信装置に
受信される。そして、受信装置が受信した共振波の特性
が解析装置によって解析されることで、ウェーハケース
内の集積回路用基板に設けられた共振回路の共振の特性
が求められる。そして、解析装置によって、この共振回
路の共振の特性から、集積回路用基板の固有の情報が検
出されるので、請求項１から４のいずれかに記載のウェ
ーハケース内に収容された集積回路用基板についてその
固有の情報が検出される。

【００１６】

【発明の実施の形態】〔第一の実施の形態〕以下、本発
明の一実施形態について、図を参照して説明する。ま
ず、本発明にかかるウェーハケースに収容される集積回
路用基板１について、図１から図４を用いて説明する。
ここで、図１は本発明にかかるウェーハケース内に収容
される集積回路用基板の構成を示す平面図、図２はこの
集積回路用基板に設けられる共振回路の構成を示す図で
あって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視
断面図、図３はこの集積回路用基板に用いられる共振回
路の等価回路図、図４はこの集積回路用基板の製造工程
を示す図である。

【００１７】この集積回路用基板１は、シリコン（Ｓ
ｉ）基板やガラス基板等、表面１ａに集積回路が形成さ
れるものであって、表面１ａには、外部から入力される
特定の周波数の電磁波に共振して共振波を発する共振回
路２を有している。この集積回路用基板１では、共振回
路２の共振の特性によって各集積回路用基板１ごとに異
なる固有の情報が表されている。このため、従来のＩＤ
タグとは異なり、この集積回路用基板には、固有の情報
を記憶する記憶装置及びこれを駆動するための電源が不
要である。

【００１８】この共振回路２は、集積回路用基板１の表
面１ａ上において、集積回路の形成される領域（図１で
二点鎖線で囲まれた領域Ｐ）以外であれば、任意の位置
に設けることができる。本実施形態では、集積回路用基
板１を、シリコン基板としている。この集積回路用基板
１は、その周方向の一部に位置決め用のオリエンテーシ
ョンフラットＯＦが設けられ、このオリエンテーション
フラットＯＦの近傍に共振回路２が設けられている。こ
こで、共振の特性が同一のものであれば、同一の集積回
路用基板１に複数の共振回路２を設けてもよい。

【００１９】共振回路２は、最も単純な構成では、図３
に示すように、コンデンサ等の容量性の素子６とコイル
等の誘導性の素子７とをそれぞれ一つずつ直列に接続し
てなる回路とすることができる。共振回路２の共振の特
性、例えば共振する電磁波の周波数や共振波の波形は、
共振回路２の構成によって異なる。例えば、容量性の素
子６の容量Ｃや誘導性の素子７のインダクタンスＬの大
きさの異なる共振回路２は、それぞれ異なった共振の特
性を有する。この共振回路２は、集積回路用基板１の表
面１ａに集積回路を形成する方法（集積回路用基板１の
表面に各種の膜を所望のパターンで複数層積層すること
によって集積回路用基板１上に所望の回路構成の集積回
路を形成する方法）と同様の手法によって形成すること
で、極めて微小な回路とすることができるので、集積回
路用基板１の表面１ａにおいて集積回路を形成する領域
を減らさずに済む。

【００２０】本実施の形態では、共振回路２を、集積回
路を形成する方法と同様の手法によって形成しており、
一つの共振回路２は、一つの容量性の素子６と一つの誘
導性の素子７とを直列に接続してなる構成としている。
すなわち、図２に示すように、容量性の素子６は、基板
本体８上にＳｉＯ₂等の絶縁体からなる層９（以下絶縁
体層とする）を形成することによって得ている。本実施
の形態では、容量性の素子６は、基板本体８の表面に島
状に形成される絶縁体層９によって構成している。ま
た、誘導性の素子７は、基板本体８上にアルミニウム
（Ａｌ）またはポリシリコン等の導電体からなる層１０
（以下導電体層とする）を形成することによって得てい
る。本実施の形態では、誘導性の素子７は、一端１０ａ
と他端１０ｂとが絶縁体層９を介して接続される線状の
絶縁体層１０によって構成している。

【００２１】容量性の素子６の容量Ｃは、絶縁体層９の
材質と、絶縁体層９において導電体層１０の一端と他端
との間に位置する部分の長さとによって決定される。容
量Ｃは、絶縁体層９において導電体層１０の一端１０ａ
と他端１０ｂとの間に位置する部分の長さを短くすると
小さくなり、長くすると大きくなる。また、誘導性の素
子７のリアクタンスＬは、導電体層１０の材質と形状と
により決定される。ここでいう導電体層１０の形状と
は、導電体層１０がなす配線の長さや導電体層１０がな
す配線の太さ（導電体層１０の長さ方向に直交する断面
積）も含むものである。本実施の形態では、図２に示す
ように、導電体層１０の中間部１０ｃをジグザグ形状に
形成することで、リアクタンスＬを所望の値にしてい
る。この場合、リアクタンスＬは、導電体層１０におい
てジグザグ形状をなす部分を短くすると小さくなり、長
くすると大きくなる。

【００２２】この共振回路２は、集積回路用基板１上に
集積回路を形成する前の段階で形成されるか、または集
積回路用基板１上に集積回路を形成する工程で集積回路
とともに形成される。集積回路を形成する工程で共振回
路２を形成する場合には、集積回路を構成する薄膜のう
ち、第一層目の絶縁体層１１を形成する工程において、
図４（ａ）に示すように、第一層目の絶縁体層１１とと
もに各共振回路２の容量性の素子６を構成する絶縁体層
９を形成する。そして、集積回路を構成する薄膜のう
ち、第一層目の導電体層１２を形成する工程において、
図４（ｂ）に示すように、第一層目の導電体層１２とと
もに各共振回路２の誘導性の素子７を構成する線状の導
電体層１０を形成する。

【００２３】このように、この集積回路用基板１では、
集積回路を形成する工程で共振回路２を形成する場合
は、最も早い場合には、集積回路を形成する工程におい
て二層の薄膜を形成した段階で、共振回路２を完成させ
ることができるので、以降の集積回路の形成工程におい
て本発明にかかるウェーハケース及びケースステーショ
ンを用いた管理を行うことができる。

【００２４】次に、このように構成される集積回路用基
板１の固有の情報を検出するのに用いられるウェーハケ
ース及びケースステーションについて、図５から図８を
用いて説明する。ここで、図５は本実施形態にかかるウ
ェーハケース及びケースステーションの構成を示す斜視
図、図６は本実施形態にかかるウェーハケースの構成を
示す斜視図、図７は本実施形態にかかるウェーハケース
及びケースステーションの構成を示すブロック図、図８
は本実施形態にかかるウェーハケース及びケースステー
ションによる集積回路用基板の固有の情報の検出の様子
を示す図である。

【００２５】本実施形態にかかるウェーハケース２１
は、従来のFOUP形式のウェーハケースであって、図６に
示すように、一側方に開口部２６ａが設けられる箱型を
なし内部に集積回路用基板が収容されるケース本体２６
と、ケース本体２６の開口部２６ａを閉じる蓋体２７と
を有している。本実施の形態では、ケース本体２６に
は、開口部２６ａに隣接する一対の側面２６ｂ、２６ｃ
に、複数の集積回路用基板１を互いに離間させて上下方
向に整列させた状態にして保持する保持部２８が設けら
れており、ケース本体２６内に複数の集積回路用基板１
を収容することができるようになっている。

【００２６】保持部２８は、前記側面２６ｂ、２６ｃの
内面において互いに対向する位置から水平に突出されて
集積回路用基板１の縁部を支持する凸部２８ａの組を、
前記側面２６ｂ、２６ｃの上下方向に複数組設けてなる
ものであって、各集積回路用基板１は、開口部２６ａ側
からケース本体２６内に水平方向に出し入れ可能とされ
ている。本実施の形態では、集積回路用基板１は、共振
回路２の設けられるオリエンテーションフラットＯＦを
開口部２６ａ側に向けた状態でケース本体２６内に収容
される。

【００２７】ケース本体２６と蓋体２７とのうちいずれ
か一方には、ケース本体２６内に収容される集積回路用
基板１に対向させて、外部との電気的な接続を可能にし
てアンテナ２９が設けられている。アンテナ２９は、ケ
ース本体２６と蓋体２７とのうちいずれか一方に、各集
積回路用基板１の配列方向に沿ってこれら全ての集積回
路用基板１に対向させて設けられる。本実施の形態で
は、アンテナ２９は、蓋体２７に設けられている。アン
テナ２９は略逆Ｕ字形状とされており、蓋体２７に対し
て、蓋体２７の下端の一側方に一端２９ａが露出され、
蓋体２７の下端の他側方に他端２９ｂが露出され、中間
部は、両端２９ａ、２９ｂから蓋体２７の上辺まで垂直
に立ち上げて設けられている。

【００２８】本実施形態にかかるケースステーション２
２は、図５に示すように、ウェーハケース２１が載置さ
れる台座部３１と、台座部３１に載置されるウェーハケ
ース２１のアンテナ２９と電気的に接続される端子Ｔと
を有している。本実施の形態では、台座部３１は、上面
が平坦とされてウェーハケース２１が載置される天板３
１ａを有しており、端子Ｔは、天板３１ａ上に載置され
るウェーハケース２１のアンテナ２９の一端２９ａ及び
他端２９ｂと対向する位置に設けられている。端子Ｔの
表面は、導電性の樹脂Ｂによってコーティングされてい
る。また、導電性の樹脂Ｂは、その上面が天板３１ａの
上面と同一平面をなしている。

【００２９】ここで、本実施形態では、ケースステーシ
ョン２２を、集積回路用基板１のハンドリングや各種の
処理が行われる作業室Ｗの、集積回路用基板１の搬出入
口に隣接させて設けて、ウェーハケース２１と作業室Ｗ
との間でやり取りされる集積回路用基板１の管理を行う
構成としている。ケースステーション２２には、天板３
１ａに載置されるウェーハケース２１の蓋体２７に対向
させて、作業室Ｗの搬出入口を構成する開口部Ｄを有す
る壁部３１ｂが立設されている。壁部３１ｂにおいて、
開口部Ｄには、開口部Ｄを閉塞するとともに、天板３１
ａ上に載置されるウェーハケース２１の蓋体２７を保持
する蓋体保持部３１ｃが設けられている。この蓋体保持
部３１ｃは、図示しない駆動装置により、蓋体２７を保
持した状態で一旦ケース本体２６と蓋体２７とを離間さ
せる向きに移動した後に、蓋体２７ごと天板３１ａより
も下方にスライド移動させられる構成とされている。

【００３０】このように、蓋体２７ごと蓋体保持部３１
ｃを天板３１ａの下方に移動させることで、開口部Ｄと
ウェーハケース２１のケース本体２６の開口部２６ａと
が連通され、作業室Ｗ側からケース本体２６内に集積回
路用基板１を出し入れすることができるようになってい
る。

【００３１】また、図７に示すように、ケースステーシ
ョン２２は、端子Ｔを介してアンテナ２９と電気的に接
続されてアンテナ２９を利用して電磁波を放出する発信
装置Ｓと、端子Ｔを介してアンテナ２９と電気的に接続
されてアンテナ２９を利用してウェーハケース２１内の
集積回路用基板１の共振回路２が発する共振波を受信す
る受信装置Ｒと、受信装置Ｒが受信した共振波の解析を
行う解析装置３２とを有している。解析装置３２は、受
信装置Ｒが受信した共振波の特性から共振回路２の共振
の特性を解析し、この共振の特性からウェーハケース２
１内に収容される集積回路用基板１の固有の情報を検出
する構成とされている。

【００３２】本実施の形態では、ケースステーション２
２は、のこぎり波状の信号電圧を発する掃引電圧発生器
３３と、掃引電圧発生器３３が発する信号電圧に基づい
て出力信号の周波数が制御される電圧制御発振器（ＶＣ
Ｏ）３４と、電圧制御発振器３４の出力信号を増幅する
広帯域アンプ３５とを有している。広帯域アンプ３５
は、後述する方向性結合器３７を介して前記端子Ｔと接
続されており、方向性結合器３７及び端子Ｔを介してウ
ェーハケース２１のアンテナ２９に出力信号を供給し
て、アンテナ２９を駆動するようになっている。本実施
の形態においては、これら掃引電圧発生器３３、電圧制
御発振器３４、及び広帯域アンプ３５とが前記の発信装
置Ｓを構成している。

【００３３】また、このケースステーション２２におい
て、広帯域アンプ３５とアンテナ２９との間には方向性
結合器３７が設けられ、電圧制御発振器３４と方向性結
合器３７には、直交検波器３８が接続されている。方向
性結合器３７は、広帯域アンプ３５の出力信号をアンテ
ナ２９に出力する一方でアンテナ２９からの反射波を直
交検波器３８に出力するものである。直交検波器３８
は、電圧制御発振器３４の出力信号に基づいて、アンテ
ナ２９からの反射波からアンテナ２９が受信した共振波
を復調するものである。本実施の形態においては、これ
ら方向性結合器３７及び直交検波器３８とが前記の受信
装置Ｒを構成している。

【００３４】前記解析装置３２は、掃引電圧発生器３３
からは掃引電圧が入力され、直交検波器３８からは復調
信号が入力されるようになっている。解析装置３２は、
例えばＣＰＵ等の演算装置からなり、直交検波器３８に
よって得られた復調信号を縦軸にとり、掃引電圧発生器
３３の発する掃引電圧を横軸にとることで、アンテナ２
９が受信した各共振回路２の共振のパターンを符合とし
て検出し、これに基づいて得られた各共振回路２の共振
の特性から、これら共振回路２が設けられる集積回路用
基板１の固有の情報を検出して、各集積回路用基板１の
識別を行うものである。

【００３５】本実施の形態にかかるウェーハケース２１
及びケースステーション２２を用いた集積回路用基板１
の自動識別は、以下のようにして行われる。

【００３６】集積回路用基板１の自動識別を行う際に
は、集積回路用基板１をウェーハケース２１に収容した
状態で、このウェーハケース２１を、ケースステーショ
ン２２の台座部３１の、天板３１ａ上に位置決めした状
態で載置する。この状態では、ウェーハケース２１に設
けられるアンテナ２９の一端２９ａ及び他端２９ｂは、
天板３１ａに設けられる導電性の樹脂Ｂと接触状態にあ
り、この導電性の樹脂Ｂを介して端子Ｔと電気的に接続
されている。この状態で、ケースステーション２２の発
信装置Ｓを動作させてウェーハケース２１のアンテナ２
９を駆動して、ウェーハケース２１内の集積回路用基板
１に向けて電磁波を放射する。

【００３７】以下、発信装置Ｓの動作について説明す
る。まず、掃引電圧発生器３３によってのこぎり波状の
信号電圧を電圧制御発振器３４に入力する。これによっ
て、電圧制御発振器３４は、所定の周波数帯域を掃引す
る出力信号（搬送波）を連続的に発する。電圧制御発振
器３４の出力信号は、広帯域アンプ３５によって増幅さ
れた後に方向性結合器３７を介してアンテナ２９に入力
される。アンテナ２９は、この出力信号によって駆動さ
れて、所定の周波数帯域を掃引する電磁波を放射する。
アンテナ２９は、全ての集積回路用基板１に対向させて
設けられているので、全ての集積回路用基板１の共振回
路２に対して発信装置Ｓの電磁波が放射される。

【００３８】このように、発信装置Ｓから所定の周波数
帯域を掃引する電磁波を放射することで、この周波数帯
域内の電磁波に共振する全ての共振回路２が共振して共
振波を発する。本実施の形態では、発信装置Ｓは、アン
テナ２９から発せられる電磁波が、共振回路２の共振周
波数として使用され得る周波数を全て含む周波数帯域を
掃引する設定としており、これによってウェーハケース
２１内の集積回路用基板１に設けられる全ての共振回路
２が共振するようになっている。

【００３９】そして、共振回路２が共振して共振波を発
すると、その共振波は受信装置Ｒによって受信される。
本実施の形態では、アンテナ２９は、ウェーハケース２
１内の集積回路用基板１の全ての共振回路２に対向させ
て設けられているので、全ての共振回路２の共振波が受
信装置Ｒに受信される。受信装置Ｒにおいては、アンテ
ナ２９からの反射波は、方向性結合器３７によって直交
検波器３８に出力される。直交検波器３８には、電圧制
御発振器３４の出力信号が入力されており、この出力信
号に基づいてアンテナ２９の反射波からアンテナ２９が
受信した共振波の復調が行われる。

【００４０】そして、前記解析装置３２には、掃引電圧
発生器３３からは掃引電圧が入力され、直交検波器３８
からは復調信号が入力される。解析装置３２は、図８に
示すように、直交検波器３８によって得られた復調信号
の出力の大きさを縦軸にとり、掃引電圧発生器３３の発
する掃引電圧の大きさを横軸にとることで、アンテナ２
９が受信した各共振回路２の共振のパターンを符合とし
て検出し、これに基づいて得られた各共振回路２の共振
の特性、本実施の形態では共振波の周波数から、各集積
回路用基板１の固有の情報を検出する。ここで、図８に
おいては、ウェーハケース２１内に集積回路用基板１を
四枚収容している場合を示している。

【００４１】掃引電圧の大きさは、電圧制御発信器３４
の出力信号の大きさ、すなわちアンテナ２９が発した電
磁波の周波数と比例関係にある。本実施の形態では、解
析装置３２によって、これら集積回路用基板１に設けら
れた各共振回路２の共振周波数が検出され、この結果に
基づいて、集積回路用基板１の識別が行われる。

【００４２】このように構成されるウェーハケース２１
及びケースステーション２２によれば、ウェーハケース
２１をケースステーション２２の台座部３１に載置する
だけで、ウェーハケース２１内に収容された集積回路用
基板１の固有の情報を、ウェーハケース２１から取り出
すことなく検出することができるので、集積回路用基板
１の自動識別を容易かつ迅速に行うことができる。しか
も、各集積回路用基板１について自動識別を行うことが
可能なので、ウェーハケース２１内に複数枚の集積回路
用基板１を収容している場合にも、各集積回路用基板１
についての最新の情報を逐次管理することができる。

【００４３】また、ウェーハケース２１を開かずに集積
回路用基板１の自動識別を行うことができるので、自動
識別を行うことのできる場所や機会に制限がなくなり、
必要なときにいつでも集積回路用基板１の自動識別を行
うことができる。また、集積回路用基板１には電源等を
設ける必要がないので、自動識別のために特別なメンテ
ナンスを行う必要がない。

【００４４】このように、各集積回路用基板１について
の最新の情報を逐次管理することができるので、この情
報を逐次集積回路の製造工程管理に利用することができ
る。例えば、集積回路を製造する過程で集積回路用基板
１が不良となって新たに集積回路用基板１を調達する必
要が生じた場合にも、迅速に調達計画を立てて、集積回
路の製造をより効率的に行うことができる。また、この
ようにして得られた各集積回路用基板１についての最新
の情報は容易に電子情報とすることができるので、集積
回路の製造現場以外の部署にもこの情報を迅速に伝達す
ることができ、集積回路製造会社の納期対応計画や、早
期の経営判断を可能にすることができる。

【００４５】ここで、従来、ウェーハケースから取り出
さずに集積回路用基板の自動識別を行う場合には、集積
回路用基板をウェーハケース単位で管理していたので、
集積回路用基板を適切な工程に送り込むためには、ウェ
ーハケースには、同一の種類で同一の製造段階の集積回
路用基板しか入れることができなかった。このため、１
ロットで少数の集積回路用基板を扱う場合、または多種
類の集積回路用基板を扱う場合には、より多くのウェー
ハケースが必要となり、ウェーハケースにかかるコスト
がかさむともにウェーハケースの管理が大きな負担とな
ってしまう。これに対し、本発明では、各集積回路用基
板１についてそれぞれ管理することが可能であるので、
異なる種類、または異なる製造段階の集積回路用基板１
を同じウェーハケース２１に入れても、各集積回路用基
板１を適切な工程に送り込むことができる。これによ
り、使用するウェーハケース２１の数を減らして、ウェ
ーハケース２１にかかるコスト及びウェーハケース２１
の管理にかかる手間を大幅に低減することができる。

【００４６】また、このウェーハケース２１は、従来の
FOUP形式のウェーハケースにおいて蓋体２７にアンテナ
２９を設けた構成とされており、従来用いられているFO
UP形式のウェーハケースの蓋体２７のみを設計変更また
は本実施形態に示す蓋体２７に交換するだけで、集積回
路用基板１の自動識別を行うことができ、低コストで各
集積回路用基板１の自動識別システムを構築することが
できる。

【００４７】また、本発明では、ウェーハケース２１に
設けられたアンテナ２９からウェーハケース２１内の集
積回路用基板１に電磁波を入力し、またこのアンテナ２
９を用いて集積回路用基板１の共振回路２の共振波を受
信するので、発信装置Ｓを、一般的な近距離無線通信に
用いられる電磁波の出力と同程度またはそれよりも低い
出力で電磁波を放出する構成とすることができ、装置の
低コスト化を図ることができる。また、このようにアン
テナ２９と共振回路２との間での電磁波のやり取りがウ
ェーハケース２１内で行われるので、ケースステーショ
ン２２の近傍に他のウェーハケース２１があっても、混
信が生じることがなく、台座部３１に載置されているウ
ェーハケース２１内の集積回路用基板１のみを正確に自
動識別することができる。

【００４８】ここで、上記実施の形態では、アンテナ２
９を、ウェーハケース２１の蓋体２７に設けた例を示し
たが、これに限られることなく、アンテナ２９を、ケー
ス本体２６に設けてもよい。この場合には、アンテナ２
９は、ケース本体２６内に収容される各集積回路用基板
１の配列方向に沿ってこれら全ての集積回路用基板１に
対向させて設けられ、ケース本体２６内に集積回路用基
板１を収容する向きに応じて、例えば側面２６ｂ、２６
ｃ、もしくは残りの側面２６ｄのいずれかに設けられる
か、または複数の側面にまたがって形成されてもよい。
また、上記実施の形態では、蓋体２７の下端にアンテナ
２９の両端２９ａ、２９ｂを露出させ、ケースステーシ
ョン２２の台座部３１の天板３１ａに端子Ｔを設けた例
を示したが、これに限られることなく、ケースステーシ
ョン２２上にウェーハケース２１を載置した際にこれら
アンテナの両端２９ａ、２９ｂと端子Ｔとが電気的に接
触される位置であれば、これらの設置位置は任意とする
ことができる。

【００４９】〔第二の実施の形態〕次に、本発明にかか
るウェーハケース及びケースステーションの第二の実施
の形態について、図９から図１０を用いて説明する。な
お、第一の実施の形態で示したウェーハケース２１また
はケースステーション２２と同一または同様の部分につ
いては同じ符号を用いて説明する。ここで、図９は本実
施形態にかかるウェーハケース及びケースステーション
の構成を示す縦断面図、図１０は本実施形態にかかるウ
ェーハケースの構成を示す斜視図である。

【００５０】本実施形態にかかるウェーハケース４１
は、従来のSMIF形式のウェーハケースであって、図１０
に示すように、一側方に開口部４６ａが設けられる箱型
をなし内部に集積回路用基板１が収容される下ケース４
６と、底面が開口される箱型をなし下ケース４６に上方
から被せられて下ケース４６を覆う上ケース４７とを有
している。本実施の形態では、下ケース４６には、開口
部４６ａに隣接する一対の側面４６ｂ、４６ｃに、複数
の集積回路用基板１を互いに離間させて上下方向に整列
させた状態にして保持する保持部２８が設けられてお
り、下ケース４６内に複数の集積回路用基板１を収容す
ることができるようになっている。保持部２８は、前記
側面４６ｂ、４６ｃの内面において互いに対向する位置
から水平に突出されて集積回路用基板１の縁部を支持す
る凸部２８ａの組を、前記側面４６ｂ、４６ｃの上下方
向に複数組設けてなるものであって、各集積回路用基板
１は、開口部４６ａ側から下ケース４６内に水平方向に
出し入れ可能とされている。本実施の形態では、集積回
路用基板１は、共振回路２の設けられるオリエンテーシ
ョンフラットＯＦを開口部４６ａ側に向けた状態で下ケ
ース４６内に収容される。

【００５１】下ケース４６と上ケース４７とのうちいず
れか一方には、下ケース４６内に収容される集積回路用
基板１に対向させて、外部との電気的な接続を可能にし
てアンテナ２９が設けられている。アンテナ２９は、下
ケース４６と上ケース４７とのうちいずれか一方に、各
集積回路用基板１の配列方向に沿ってこれら全ての集積
回路用基板１に対向させて設けられる。本実施の形態で
は、アンテナ２９は、上ケース４７に設けられている。
アンテナ２９は略逆Ｕ字形状とされており、上ケース４
７に対して、下ケース４６の開口部４６ａに対向する壁
面において、その下端の一側方に一端２９ａが露出さ
れ、上ケース４７の下端の他側方に他端２９ｂが露出さ
れ、中間部は、両端２９ａ、２９ｂから上ケース４７の
上辺まで垂直に立ち上げて設けられている。

【００５２】本実施形態にかかるケースステーション４
２は、図９に示すように、ウェーハケース４１が載置さ
れる台座部５１と、台座部５１に載置されるウェーハケ
ース４１のアンテナ２９と電気的に接続される端子Ｔ
と、端子Ｔを介してアンテナ２９と電気的に接続されて
アンテナ２９を利用して電磁波を放出する発信装置Ｓ
と、端子Ｔを介してアンテナ２９と電気的に接続されて
アンテナ２９を利用してウェーハケース２１内の集積回
路用基板１の共振回路２が発する共振波を受信する受信
装置Ｒと、受信装置Ｒが受信した共振波の解析を行う解
析装置３２とを有している。

【００５３】本実施の形態では、台座部５１は、上面が
平坦とされてウェーハケース４１が載置される天板５１
ａを有しており、端子Ｔは、天板５１ａ上に載置される
ウェーハケース４１のアンテナ２９の一端２９ａ及び他
端２９ｂと対向する位置に設けられている。端子Ｔの表
面は、導電性の樹脂Ｂによってコーティングされてい
る。また、導電性の樹脂Ｂは、その上面が天板５１ａの
上面と同一平面をなしている。

【００５４】台座部５１には、内部に作業室Ｗの搬出入
口を構成する開口部Ｄが設けられている。また、台座部
５１には、天板５１ａにおいて、ウェーハケース４１の
下ケース４６が載置される領域で、下ケース４６が天板
５１ａ上にある位置から台座部５１内の開口部Ｄに対向
する位置までの間で下ケース４６とともに移動可能なエ
レベータ５２が設けられている。そして、エレベータ５
２によって下ケース４６を開口部Ｄに対向する位置まで
移動させることで、開口部Ｄを通じて作業室Ｗ側から台
座部４１内の下ケース４６内に集積回路用基板１を出し
入れすることができるようになっている。

【００５５】本実施の形態にかかるウェーハケース４１
及びケースステーション４２を用いた集積回路用基板１
の自動識別を行うには、まず、第一の実施の形態で示し
たウェーハケース２１及びケースステーション２２を用
いた自動識別と同様に、集積回路用基板１をウェーハケ
ース４１に収容した状態で、このウェーハケース４１
を、ケースステーション４２の台座部５１の、天板５１
ａ上に位置決めした状態で載置する。この状態では、ウ
ェーハケース４１に設けられるアンテナ２９の一端２９
ａ及び他端２９ｂは、天板５１ａに設けられる導電性の
樹脂Ｂと接触状態にあり、この導電性の樹脂Ｂを介して
端子Ｔと電気的に接続されている。以降は、第一の実施
の形態で示したウェーハケース２１及びケースステーシ
ョン２２を用いた自動識別と同じ手順で集積回路用基板
１の自動識別を行う。

【００５６】このように構成されるウェーハケース４１
及びウェーハステーション４２によれば、ウェーハケー
スとして、従来のSMIF形式のウェーハケースにおいて上
ケース４７にアンテナ２９を設けた構成とされており、
従来用いられているSMIF形式のウェーハケースの上ケー
ス４７のみを設計変更または本実施形態に示す上ケース
４７に交換するだけで、集積回路用基板１の自動識別を
行うことができ、低コストで各集積回路用基板１の自動
識別システムを構築することができる。

【００５７】ここで、上記実施の形態では、アンテナ２
９を、ウェーハケース４１の上ケース４７に設けた例を
示したが、これに限られることなく、アンテナ２９を、
下ケース４６に設けてもよい。この場合には、アンテナ
２９は、下ケース本体４６内に収容される各集積回路用
基板１の配列方向に沿ってこれら全ての集積回路用基板
１に対向させて設けられ、下ケース４６内に集積回路用
基板１を収容する向きに応じて、例えば側面４６ｂ、４
６ｃ、もしくは残りの側面４６ｄのいずれかに設けられ
るか、または複数の側面にまたがって形成されてもよ
い。また、上記実施の形態では、上ケース４７の下端に
アンテナ２９の両端２９ａ、２９ｂを露出させ、ケース
ステーション４２の台座部５１の天板５１ａに端子Ｔを
設けた例を示したが、これに限られることなく、ケース
ステーション４２上にウェーハケース４１を載置した際
にこれらアンテナの両端２９ａ、２９ｂと端子Ｔとが電
気的に接触される位置であれば、これらの設置位置は任
意とすることができる。

【００５８】また、上記各実施の形態では、ケースステ
ーションを、作業室Ｗの集積回路用基板１の搬出入口に
隣接させて設けた例を示したが、これに限られることな
く、ウェーハケースを開閉する機構も省いた構成とし
て、集積回路用基板１の自動識別装置としてもよい。

【００５９】ここで、上記各実施の形態では、ケースス
テーション２２は、発信装置Ｓに所定の周波数帯域を掃
引する電磁波を発させて、受信装置Ｒによって受信した
共振波から共振波の周波数を検出し、これによって共振
回路の共振の特性を検出する構成としたが、これに限ら
ず、共振回路の共振の特性を検出するケースステーショ
ン２２は他の構成としてもよい。例えば、発信装置Ｓに
よって前記所定の周波数帯域内の周波数を含むバースト
波状の電磁波を発させて、受信装置Ｒによって受信した
減衰振動の受信波形をフーリエ変換することによって得
られた各共振回路の共振波の周波数を符合として認識す
ることで、共振回路の共振の特性を検出する構成として
もよい。

【００６０】また、上記各実施の形態では、共振回路の
共振の特性として、共振波の周波数を用いたが、これに
限られることなく、共振波の先鋭度Ｑを用いてもよい。
このようにＩＤタグ１の固有の情報を共振回路の先鋭度
Ｑを用いて表す場合には、例えば図１１の等価回路図に
示すように、上記の集積回路用基板１において、共振回
路２に、各集積回路用基板１ごとに抵抗値の異なる抵抗
素子５６を組み込むことで、各共振回路２の共振波の先
鋭度Ｑを変化させることができる。

【００６１】図１２に、図１１に示す共振回路２が設け
られる集積回路用基板１の固有の情報を検出する際に解
析装置３２によって検出された各共振回路の共振のパタ
ーンを示す。解析装置３２は、このようにして得られた
共振のパターンに基づいて得られた各共振回路２の共振
波の先鋭度Ｑから、各集積回路用基板１の固有の情報を
検出する。

【００６２】本発明では、集積回路用基板の固有の情報
は、上記のように共振周波数や共振波の先鋭度Ｑを用い
て表す以外にも、共振回路の共振の特性であれば、他の
任意の関係を用いて表してもよい。さらに、上記した共
振の特性の組み合わせによって集積回路用基板に固有の
情報を表すことで、共振回路によって表すことのできる
情報量をより多くすることができる。

【００６３】また、上記実施の形態では、集積回路用基
板の共振回路２を、容量性の素子６が島状の絶縁体層９
からなり、誘導性の素子７が中間部１０ｃにジグザグ部
分が形成される線状の導電体層１０によって構成される
例を示したが、容量性の素子６及び誘導性の素子７を含
む回路であれば、共振回路２は任意の構成とすることが
できる。

【００６４】例えば、共振回路２は、容量性の素子６を
構成する絶縁体層９を島状に形成する代わりに、図１３
に示すように、基板本体８に溝Ｇを形成し、この溝Ｇの
内面に沿って絶縁体層９を形成して、導電体層１０の一
端１０ａと他端１０ｂとをそれぞれ絶縁体層９に対して
溝Ｇを挟んで反対側に接続した構成としてもよい。この
場合には、導電体層１０の一端１０ａと他端１０ｂとの
間の直線距離に比べてこれら一端１０ａと他端１０ｂと
の間に介在する絶縁体層９の長さを確保することができ
るので、共振回路２のサイズを大きくすることなく、さ
らに容量Ｃを大きくすることができる。

【００６５】ここで、上記各実施の形態では、集積回路
用基板１として、表面にベアシリコンが露出している集
積回路用基板を用い、その表面に絶縁体層９及び導電体
層１０からなる共振回路２を形成した例を示したが、こ
れに限られることなく、例えば図１４に示すように、集
積回路用基板１を、表面全体に集積回路形成のための下
地となる絶縁体層５７を予め形成した構成としてもよ
い。この構成を採用した場合には、この絶縁体層５７が
共振回路２の絶縁体層９となるので、集積回路用基板の
表面に、線状の導電体層１０を形成することで共振回路
２が形成される。

【００６６】また、共振回路２は、誘導性の素子７を構
成する導電体層１０の中間部１０ｃを、他の形状として
もよい。例えば、中間部１０ｃは、図１５（ａ）に示す
ように角が直角となるジグザグ形状としてもよく、角が
鈍角または曲線となるジグザグ形状に形成してもよい。
また、中間部１０ｃは、図１５（ｂ）に示すように、一
端１０ａ側が外周側となる渦巻状に形成され、他端１０
ｂ側（図１５に二点鎖線で示す）が中間部１０ｃにおい
て渦巻の最内周部から中間部１０ｃの上方（または下
方）に引き出される構成としてもよい。この場合には、
中間部１０ｃの巻き数を増やすことでリアクタンスＬを
大きくすることができ、巻き数を減らすことでリアクタ
ンスＬを小さくすることができる。このような渦巻状の
導電体層１０は、例えば、まず一端１０ａ及び実線で示
す部分（または他端１０ｂ及び二点鎖線で示す部分）を
形成し、実線で示す部分と二点鎖線で示す部分との交差
部となる部位のうち、渦巻の最内周部に位置する部分を
除いた部分を絶縁体層等によって覆い、その上に他端１
０ｂ及び二点鎖線部分（または一端１０ａ及び実線で示
す部分）を形成することによって製造することができ
る。また、導電性の膜１０自体の長さや太さを調整する
ことで所望のリアクタンスＬを得ることができる場合に
は、中間部１０ｃを前記のような複雑な形状ではなく、
単純な線状に形成することができる。

【００６７】また、上記実施の形態では、集積回路用基
板において共振回路２をオリエンテーションフラットＯ
Ｆの近傍に設けた例を示したが、これに限られることな
く、集積回路用基板１において集積回路が形成される領
域を確保するために、集積用回路の形成が行われない領
域に設けていれば、その位置は任意とすることができ
る。例えば、集積回路用基板１を、集積回路及び集積回
路の電気的テストのためのＴＥＧ（Testing Element Gr
oup）が形成される構成として、このＴＥＧが形成され
る領域内に共振回路２を形成してもよい。

【００６８】

【発明の効果】上記のように、本発明にかかるウェーハ
ケース及びケースステーションによれば、ウェーハケー
スをケースステーションの台座部に載置するだけで、ウ
ェーハケース内に収容された集積回路用基板の固有の情
報を、ウェーハケースから取り出すことなく検出するこ
とができるので、集積回路用基板の自動識別を容易かつ
迅速に行うことができる。しかも、各集積回路用基板に
ついて自動識別を行うことが可能なので、ウェーハケー
ス２１内に複数枚の集積回路用基板を収容している場合
にも、各集積回路用基板についての最新の情報を逐次管
理することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明にかかるウェーハケース内に収容され
る集積回路用基板の構成を示す平面図である。

【図２】 図１に示す集積回路用基板に設けられる共振
回路の構成を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）
は（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図である。

【図３】 図１に示す集積回路用基板に用いられる共振
回路の等価回路図である。

【図４】 図１に示す集積回路用基板の製造工程を示す
図である。

【図５】 第一の実施の形態にかかるウェーハケース及
びケースステーションの構成を示す斜視図である。

【図６】 第一の実施の形態にかかるウェーハケースの
構成を示す斜視図である。

【図７】 第一の実施の形態にかかるウェーハケース及
びケースステーションの構成を示すブロック図である。

【図８】 第一の実施の形態にかかるウェーハケース及
びケースステーションによる集積回路用基板の固有の情
報の検出の様子を示す図である。

【図９】 第二の実施の形態にかかるウェーハケース及
びケースステーションの構成を示す縦断面図である。

【図１０】 第二の実施の形態にかかるウェーハケース
の構成を示す斜視図である。

【図１１】 本発明に用いる集積回路用基板の共振回路
の他の形態例を示す等価回路図である。

【図１２】 図１１に示す共振回路を有する集積回路用
基板の固有の情報を検出する際に解析装置によって検出
された共振のパターンを示す図である。

【図１３】 本発明に用いる集積回路用基板の共振回路
の他の形態例を示す図である。

【図１４】 本発明に用いる集積回路用基板の共振回路
の他の形態例を示す図である。

【図１５】 本発明に用いる集積回路用基板の共振回路
の他の形態例を示す図である。

【符号の説明】 １ 集積回路用基板 ２ 共振回路 ２１、４１ ウェーハケース ２２、４２ ケ
ースステーション ２６ａ、４６ａ 開口部 ２６ ケース本
体 ２７ 蓋体 ２８ 保持部 ２９ アンテナ ３１、５１ 台
座部 ３２ 解析装置 ４６ 下ケース ４７ 上ケース Ｒ 受信装置 Ｓ 発信装置 Ｔ 端子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｂ 1/59 Ｇ０６Ｋ 19/00 Ｑ (72)発明者 乾 信一郎 東京都文京区小石川１−12−14 日本生命 小石川ビル 三菱マテリアル株式会社ＲＦ −ＩＤ事業センター内 Ｆターム(参考） 3E096 AA06 BA16 BB04 CA02 CB03 DA05 DA13 DA17 DB01 DC02 FA11 FA31 GA07 GA20 5B035 BA03 BB09 BC00 CA23 5B058 CA15 KA24 YA20 5F031 CA02 CA05 DA08 EA11 EA14 EA16 EA18 FA03 FA07 JA01 JA50 JA51 MA15 MA33

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外部から入力される特定の周波数の電磁
   波に共振して共振波を発する共振回路を有しこの共振回
   路の共振の特性によって固有の情報を表す構成の集積回
   路用基板が収容されるウェーハケースであって、 一側方に開口部が設けられる箱型をなし内部に前記集積
   回路用基板が収容されるケース本体と、 該ケース本体の前記開口部を閉じる蓋体とを有し、 前記ケース本体と前記蓋体とのうちいずれか一方に、前
   記集積回路用基板に対向させて、外部との電気的な接続
   を可能にしてアンテナが設けられていることを特徴とす
   るウェーハケース。
2. 【請求項２】 前記ケース本体には、複数の前記集積回
   路用基板を互いに離間させて整列状態にして保持する保
   持部が設けられ、 前記アンテナは、前記ケース本体と前記蓋体とのうちい
   ずれか一方に、前記各集積回路用基板の配列方向に沿っ
   てこれら全ての集積回路用基板に対向させて設けられて
   いることを特徴とする請求項１記載のウェーハケース。
3. 【請求項３】 外部から入力される特定の周波数の電磁
   波に共振して共振波を発する共振回路を有しこの共振回
   路の共振の特性によって固有の情報を表す構成の集積回
   路用基板が収容されるウェーハケースであって、 一側方に開口部が設けられる箱型をなし内部に前記集積
   回路用基板が収容される下ケースと、 底面が開口される箱型をなし前記下ケースに上方から被
   せられて前記下ケースを覆う上ケースとを有し、 前記下ケースと前記上ケースとのうちいずれか一方に、
   前記集積回路用基板に対向させて、外部との電気的な接
   続を可能にしてアンテナが設けられていることを特徴と
   するウェーハケース。
4. 【請求項４】 前記下ケースには、複数の前記集積回路
   用基板を互いに離間させて整列状態にして保持する保持
   部が設けられ、 前記アンテナは、前記下ケースと前記上ケースとのうち
   いずれか一方に、前記各集積回路用基板の配列方向に沿
   ってこれら全ての集積回路用基板に対向させて設けられ
   ていることを特徴とする請求項３記載のウェーハケー
   ス。
5. 【請求項５】 請求項１から４のいずれかに記載のウェ
   ーハケースが載置されるケースステーションであって、 前記ウェーハケースが載置される台座部と、 該台座部に載置されるウェーハケースのアンテナと電気
   的に接続される端子と、 該端子を介して前記アンテナと電気的に接続されて該ア
   ンテナを利用して電磁波を放出する発信装置と、 前記端子を介して前記アンテナと電気的に接続されて該
   アンテナを利用して前記ウェーハケース内の集積回路用
   基板の共振回路が発する共振波を受信する受信装置と、 該受信装置が受信した共振波の解析を行う解析装置とを
   有し、 該解析装置は、前記受信装置が受信した前記共振波の特
   性から前記共振回路の共振の特性を解析し、この共振の
   特性から前記ウェーハケース内に収容される前記集積回
   路用基板の固有の情報を検出することを特徴とするケー
   スステーション。