JP2003268538A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 電流を電源からブラシアセンブリ（４２、１４２）に接続させるように回転式カソード（３０、１３０）内部に配置された導電性構成部材（２０、１２０）を有する回転式カソード装置（３０、１３０）であって、
   前記導電性構成部材（２０、１２０）は、電導性材料で作られており、
   熱にデリケートな部分（７０、７２、１７０、１７２）を誘導加熱を生じる電磁場から保護するように、前記導電性構成部材（２０、１２０）の周囲に電磁場シールド（５０、１５０、２５０、３３８）が配置されていることを特徴とする回転式カソード装置（３０、１３０）。
2. 前記導電性構成部材（２０、１２０）は、冷却剤導管（２０、１２０）を有することを特徴とする請求項１に記載の回転式カソード装置（３０、１３０）。
3. 前記電磁場シールド（３３８）は、前記回転式カソード（３０、１３０）の駆動軸部分（３３８）の少なくとも一部を形成することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の回転式カソード装置（３０、１３０）。
4. 更に、前記回転式カソード（３０、１３０）の駆動軸部分（３８、１３８）を有し、
   前記電磁場シールド（５０、１５０）は、導電性構成部材（２０、１２０）と前記駆動軸部分（３８、１３８）との間に配置されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の回転式カソード装置（３０、１３０）。
5. 前記駆動軸部分（３８、１３８）は、当該駆動軸部分（３８、１３８）を貫通する孔を備えており、それにより前記駆動軸部分（３８、１３８）が前記孔に隣接する内面を含むようにされており、
   前記電磁場シールド（５０、１５０）は、前記駆動軸部分（３８、１３８）の前記内面の少なくとも一部に隣接していることを特徴とする請求項４に記載の回転式カソード装置（３０、１３０）。
6. 更に、前記回転式カソード（３０、１３０）の外面の少なくとも一部を形成する前記回転式カソード（３０、１３０）の駆動軸部分（２３８）を有し、
   前記電磁場シールド（２５０）は、前記駆動軸部分（２３８）の前記外面の少なくとも一部に隣接していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の回転式カソード装置（３０、１３０）。
7. 前記電磁場シールド（５０、１５０、２５０、３３８）は、電磁場透過性材料を有することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の回転式カソード装置（３０、１３０）。
8. 前記電磁場シールド（５０、１５０、２５０、３３８）は、前記電磁場シールド（５０、１５０、２５０、３３８）に隣接していて磁場誘導加熱の影響を受けやすい部分（７０、７２、１７０、１７２）への熱損傷を軽減するように電磁場を吸収可能な材料を有することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の回転式カソード装置（３０、１３０）。
9. 請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の回転式カソード装置（３０、１３０）を有する高出力イオンスパッタリングマグネトロン（１０）。