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Die Erfindung betrifft einen Versorgungsendblock zur Versorgung einer Sputterkathode mit einem Kühlmittel, sowie in einer Weiterbildung zur Versorgung einer Sputterkathode mit elektrischer Spannung.
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Zur Erreichung eines gleichmäßigen Materialabtrags vom Target eines Magnetrons wurden verschiedene Lösungen für Sputtereinrichtungen zur Beschichtung von Substraten durch Kathodenzerstäubung vorgeschlagen. So ist aus
US 43 56 073 A eine drehbare Sputterkathode bekannt, die neben anderen Komponenten ein langgestrecktes zylindrisches Rohrelement umfasst, das mit einer Schicht des gewünschten Beschichtungsmaterials versehen ist. Aus
US 44 43 318 A ist ebenfalls eine drehbare Sputterkathode bekannt, die ein langgestrecktes zylindrisches Rohrelement, Mittel zur Drehung des Rohrelements und Targetmittel mit Beschichtungsmaterial umfasst, die lösbar an dem Rohrelement angebracht sind. Bei dem Magnetron gemäß
US 2004/0149576 A1 ist außerhalb der Vakuumkammer ein Rahmen angebracht, der Zu- und Ableitungen für ein Kühlmittel aufweist.
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Bei den genannten Lösungen kann durch Drehung des Rohrelements erreicht werden, dass der Materialabtrag über den gesamten Umfang des Rohr-Targets gleichmäßig erfolgt und auf diese Weise die Bildung von Vertiefungen oder Gräben im Targetmaterial verhindert werden.
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Unter dem Begriff Sputtereinrichtung soll im Sinne dieser Anmeldung eine Anordnung verstanden werden, die mindestens ein Magnetsystem zur Erzeugung eines Magnetfelds und eine Sputterkathode mit einem oder mehreren Targets zur Bereitstellung von Beschichtungsmaterial umfasst.
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Zur Versorgung der Sputtereinrichtung mit einem Kühlmittel oder/und elektrischer Spannung sowie gegebenenfalls weiterer Medien, beispielsweise Luft zur Spülung, werden innerhalb der Vakuumkammer der Beschichtungsvorrichtung so genannte Endblöcke montiert. Die Übertragung der Drehbewegung auf das Targetrohr erfolgt meist mittels eines ersten Endblocktyps, des sogenannten Antriebsendblocks. Ein zweiter Endblocktyp, der auch als Versorgungsendblock bezeichnet wird, weist Anschlüsse für die Einspeisung der benötigten Medien, beispielsweise ein Kühlmittel und die elektrische Spannungsversorgung der in der Vakuumkammer angeordneten Sputtereinrichtung, sowie gegebenenfalls für weitere Medien auf. Beide Medien (Kühlmittel und elektrische Spannung) werden also dem Versorgungsendblock getrennt zugeführt und in vorgelagerten Baugruppen auf gleiches elektrisches Potential gebracht.
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In
DE 10 2007 049 735 A1 wird hingegen vorgeschlagen, den Kühlmittelanschluss und den Stromanschluss unmittelbar an der Einspeisestelle in den Versorgungsendblock so zusammenzuführen, dass das Kühlmittel beim Eintritt in das Gehäuse des Versorgungsendblocks auf das Potential der angelegten elektrischen Spannung gebracht wird. Wird ein Umbau oder eine Wartung der Beschichtungsvorrichtung erforderlich, so ist der Austausch des Versorgungsendblocks relativ aufwendig, weil alle Medien einzelne Zuleitungen haben, deren Verbindungen mit dem Versorgungsendblock einzeln gelöst und hergestellt werden müssen.
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Aus
EP 1 365 436 A2 ist es bekannt, mechanische Belastungen für Kugellager und Isolatoren durch die Gestaltung einer leicht beweglichen Lagerung der Medienübergabebauteile innerhalb des Versorgungsendblocks herabzusetzen.
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In
DE 103 12 631 A1 ist ein Magnetron mit einem Kühlmittelzu- und -ablauf beschrieben. Der Kühlmittelzu- und -ablauf ist dabei in einem Gehäuse angeordnet, welches gegenüber der Vakuumkammer abgedichtet ist. Die Kühlflüssigkeit wird über einen Zulauf im zweiten Ende des Magnetrons zugeführt und durchströmt das Magnettragrohr. Am ersten Ende des Magnetrons wird die Kühlflüssigkeit durch eine Bohrung in einem Abschlussbauteil geführt. Die Kühlflüssigkeit durchströmt das Abschlussbauteil und tritt durch seitliche Bohrungen aus. Es strömt dann durch den Ringraum zwischen Targettragrohr und Magnetschutzrohr zum zweiten Ende des Magnetrons zurück, wo es durch einen Ablauf abgeleitet wird.
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Bei dem in
EP 1 655 762 A1 beschriebenen Magnetron ist eine Tragwelle, die ein Targetrohr trägt, in einem drehfest angeordneten Tragrohr drehbar gelagert. In der Tragwelle wiederum ist eine Rohrleitung für ein Kühlmittel angeordnet, die mittels einer Steckverbindung trennbar ist.
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Die Aufgabe der Erfindung besteht daher darin, einen Versorgungsendblock zur Versorgung einer Sputtereinrichtung mit einem Kühlmittel anzugeben, der einfach aufgebaut und leicht montierbar und demontierbar ist.
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Erfindungsgemäß werden diese Aufgaben durch den nachfolgend beschriebenen Versorgungsendblock gelöst.
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Der vorgeschlagene Versorgungsendblock zur Versorgung einer Sputterkathode mit einem Kühlmittel umfasst ein Gehäuse mit einer Anschlussöffnung und einer die Anschlussöffnung umschließenden ersten Befestigungsfläche zur Anbringung des Gehäuses an einer Stützfläche sowie mit einer Lageröffnung, ein in der Lageröffnung angeordnetes Trägerbauteil mit einem Wellenlager, eine im Wellenlager des Trägerbauteils drehbar gelagerte Welle zur Anbringung eines Targetrohrs, ein Stützmittel zur Anbringung eines Magnetsystems sowie im Gehäuse relativ zum Trägerbauteil ortsfest angeordnete Kühlmittelleitungen mit Kühlmittelanschlüssen, wobei die Kühlmittelleitungen aus mindestens zwei Leitungsabschnitten zusammengesetzt sind, welche durch eine Steckverbindung lösbar miteinander verbindbar sind und ein erster Leitungsabschnitt durch das Trägerbauteil führt und ein zweiter Leitungsabschnitt durch ein Anschlussbauteil führt, an welchem die Kühlmittelanschlüsse angeordnet sind, wobei das Trägerbauteil und das Anschlussbauteil an ihren einander zugewandten Seiten komplementär ausgebildete Steckverbinder aufweisen.
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Im Allgemeinen sind die Anschlussöffnung und die Lageröffnung des Gehäuses im rechten Winkel zueinander angeordnet, was dazu führt, dass ein an der Welle befestigtes Targetrohr parallel zu der Stützfläche verläuft, an der das Gehäuse befestigt sind. Es sollen jedoch auch Ausführungsformen umfasst sein, bei denen die Lageröffnung und die Anschlussöffnung unter einem beliebigen anderen Winkel zueinander angeordnet sind, einschließlich einer parallelen Anordnung von Anschlussöffnung und Lageröffnung, wodurch das Targetrohr senkrecht zur Stützfläche verläuft.
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Die Stützfläche ist dabei im Allgemeinen die Oberfläche einer Kammerwand oder eines Kammerdeckels einer Vakuumbeschichtungsanlage, oder eines Magnetrongehäuses.
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Das Trägerbauteil ist im Allgemeinen so gestaltet, dass es innerlich Kanäle aufweist, die von den Kühlmittelleitungen gespeist werden und auf diese Weise selbst Leitungsabschnitte der Kühlmittelleitungen darstellen. Diese Leitungsabschnitte sind so gestaltet, dass sie das Einströmen von Kühlmittel in das an der Welle befestigte Targetrohr hinein und das Ausströmen aus dem Targetrohr heraus ermöglichen.
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Die Kühlmittelleitungen weisen an ihren freien Enden Kühlmittelanschlüsse auf, an welche zum Betrieb des Magnetrons externe Kühlmittelleitungen, beispielsweise Rohre oder flexible Schläuche, angeschlossen werden, die eine Zirkulation des Kühlmittels zwischen dem Targetrohr und einem externen Kühlaggregat ermöglichen.
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Die Kühlmittelanschlüsse können dabei außerhalb des Gehäuses des Endblocks angeordnet sein. Handelt es sich bei der Stützfläche, an der der Endblock befestigt wird, um eine Kammerwand oder einen Kammerdeckel einer Vakuumbeschichtungsanlage, so sind die Kühlmittelanschlüsse im beschriebenen Fall auch außerhalb der Vakuumkammer angeordnet. In einer anderen Ausgestaltung, die unten näher erläutert wird, können die Kühlmittelanschlüsse jedoch auch im Innern des Gehäuses des Endblocks angeordnet sein.
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Die Kühlmittelleitungen sind an mindestens einer Stelle zwischen dem Trägerbauteil und den Kühlmittelanschlüssen in aneinandergrenzende Leitungsabschnitte unterteilt, die durch eine Steckverbindung lösbar so miteinander verbindbar sind, dass sie gemeinsam eine durchgehende Kühlmittelleitung bilden. Die einzelnen Leitungsabschnitte können dabei starr ausgebildet sein, beispielsweise indem die Leitungsabschnitte durch Kanäle im Innern von starren Bauteilen gebildet sind. Dadurch wird die Betätigung der Steckverbindung bei der Montage und Demontage des Endblocks erleichtert. Jedoch sind auch Ausführungsformen umfasst, bei denen die Kühlmittelleitungen flexibel sind. In diesem Fall muss die Steckverbindung manuell verbunden und gelöst werden, es sei denn, die Steckverbinder sind separat abgestützt.
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Dadurch ist es möglich, den Endblock nach dem Lösen seiner Verbindung zur Anschlussfläche, die ein Kammerdeckel einer Vakuumbeschichtungsanlage, ein Magnetrongehäuse oder ähnliches sein kann, durch einfaches Abziehen zu demontieren. Die Steckverbindung löst sich ohne weitere Arbeitsschritte; die externen Kühlmittelzu- und -ableitungen brauchen von den Kühlmittelanschlüssen nicht getrennt werden.
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In einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass ein erster Leitungsabschnitt durch das Trägerbauteil führt, ein zweiter Leitungsabschnitt durch ein Anschlussbauteil führt, an welchem die Kühlmittelanschlüsse angeordnet sind, und ein dritter Leitungsabschnitt durch mindestens ein zwischen dem Trägerbauteil und dem Anschlussbauteil angeordnetes Zusatzbauteil führt, wobei komplementär ausgebildete Steckverbinder an den einander zugewandten Seiten von Trägerbauteil und Zusatzbauteil, oder/und von Zusatzbauteil und Anschlussbauteil, angeordnet sind.
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In einer einfachen Ausgestaltung weist das Anschlussbauteil eine zweite Befestigungsfläche zur Anbringung an einer Stützfläche auf. Dadurch wird das Anschlussbauteil mit der Stützfläche fest verbunden.
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Alternativ kann vorgesehen sein, dass weiterhin eine Befestigungseinrichtung vorgesehen ist mit einer dritten Befestigungsfläche zur Anbringung der Befestigungseinrichtung an einer Stützfläche und mit einem Lagersitz für das Anschlussbauteil, wobei das Anschlussbauteil im Lagersitz relativ zur dritten Befestigungsfläche in der Betätigungsrichtung der Steckverbindung beweglich gelagert ist. Die Beweglichkeit des Anschlussbauteils kann in der Betätigungsrichtung der Steckverbindung oder/und quer dazu oder/und um eine Querachse verdrehbar (kippbar) realisiert sein, so dass im letzteren Fall ein Kippen des Anschlussbauteils relativ zur Stützfläche möglich ist.
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Eine derartige „schwimmende” Lagerung des Anschlussbauteils hat den Vorteil, dass das Verbinden und Lösen der Steckverbindung erleichtert wird und Bauteiltoleranzen sowie Wärmedehnungen einzelner Bauteile ausgeglichen werden. Der Lagersitz für das Anschlussbauteil kann dabei die Beweglichkeit des Anschlussbauteils beispielsweise dadurch gewährleisten, dass das Anschlussbauteil im Lagersitz verschiebbar ist, oder dass das Anschlussbauteil im Lagersitz der Befestigungseinrichtung elastisch, z. B. in einer Gummimanschette oder auf einem Federelement, gelagert ist.
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Wie weiter oben bereits beschrieben wurde, können die Kühl mittelleitungen durch die Anschlussöffnung hindurch aus dem Gehäuse führen und die Kühlmittelanschlüsse außerhalb des Gehäuses angeordnet sein oder die Kühlmittelleitungen sind vollständig im Gehäuse untergebracht und die Kühlmittelanschlüsse innerhalb des Gehäuses angeordnet.
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Ein weiteres Ausführungsbeispiel des beschriebenen Endblocks ist so ausgestaltet, dass zwei in der Steckverbindung aneinandergrenzende Leitungsabschnitte nichtparallel, beispielsweise rechtwinklig, zur Betätigungsrichtung der Steckverbindung verlaufen. Dadurch wird vermieden, dass der in den Kühlmittelleitungen herrschende Druck auf die Steckverbinder eine in der Betätigungsrichtung der Steckverbindung wirkende Kraft ausübt und so die beiden Steckverbinder auseinanderdrückt.
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Beliebige andere Winkel sind von diesem Gedanken mit umfasst, beispielsweise wenn die Steckverbinder miteinander in Kontakt tretende konische Flächen aufweisen, die den Vorteil haben, beim Fügen der Steckverbindung selbstfindend zu wirken. In diesem Fall wird die durch den Druck des Kühlmittels bewirkte Kraft zwischen den Steckverbindern zumindest gegenüber Ausführungen, bei denen die aneinandergrenzenden Leitungsabschnitte der Kühlmittelleitungen parallel zur Betätigungsrichtung der Steckverbindung ausgerichtet sind, reduziert.
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In einer weiteren Ausgestaltung des Endblocks ist im Trägerbauteil oder/und im Anschlussbauteil oder und im Zusatzbauteil mindestens eine Leckageleitung angeordnet. Diese kann beispielsweise so gestaltet sein, dass sie in der Steckverbindung oder in den Bereich der Welle mündet, so dass dort ungewollt austretendes Kühlmittel abgesaugt werden kann. Dadurch wird der Endblock sicherer betreibbar, weil gegebenenfalls zwischen den Steckverbindern austretendes Kühlmittel ständig abgesaugt werden kann und so weder in das Innere des Gehäuses nach in die Vakuumkammer gelangen kann. Die Leckageleitungen können dabei in ähnlicher Weise wie die Kühlmittelleitungen aus Leitungsabschnitten bestehen, die als Kanäle in den oben genannten Bauteilen ausgeführt sind.
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In einer Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass weiterhin mindestens ein Elektroanschluss zur Versorgung einer Sputterkathode mit elektrischer Spannung vorgesehen ist. Dieser Elektroanschluss kann mit mindestens einem Kühlmittelanschluss elektrisch leitend verbunden sein, beispielsweise indem der Elektroanschluss und der Kühlmittelanschluss am Anschlussbauteil angeordnet sind und das Anschlussbauteil aus elektrisch leitendem Material gefertigt ist. Auf diese Weise wird das Kühlmittel bereits beim Einspeisen in die Kühlmittelanschlüsse auf das benötigte Potenzial gebracht.
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In einer andern Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass weiterhin eine Antriebseinrichtung zum Antreiben der Welle vorgesehen ist. Dadurch wirkt der Versorgungsendblock gleichzeitig als Antriebsendblock für das Targetrohr. Dadurch sind Magnetrons möglich, bei denen das Targetrohr freitragend an nur einem Endblock angebracht wird.
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Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand von Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen
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1 eine Schnittansicht eines ersten Ausführungsbeispiels,
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2 eine Schnittansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels,
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3 eine erste Schnittansicht eines dritten Ausführungsbeispiels,
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4 eine zweite Schnittansicht eines dritten Ausführungsbeispiels,
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5 die Montage/Demontage des Endblocks gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel
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Bei dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel ist an einer ersten Stützfläche 11 eines Kammerdeckels 1 einer Vakuumbeschichtungsanlage ein Endblock befestigt. Der Endblock hat ein Gehäuse 2 mit einer Anschlussöffnung 21 und einer Lageröffnung 23, die senkrecht, d. h. unter einem Winkel von 90° zueinander ausgerichtet sind. Zwischen der ersten Befestigungsfläche 22 des Gehäuses 2 und der ersten Stützfläche 11 des Kammerdeckels 1 ist ein Isolatorelement 24 zur elektrischen Isolation zwischen Gehäuse 2 und Kammerdeckel 1 angeordnet.
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In der Lageröffnung 23 des Gehäuses 2 ist ein Trägerbauteil 3 mit fluiddichten Dichtungselementen 32 gelagert. Im Innern des Trägerbauteils 3 verlaufen Leitungsabschnitte 36 von Kühlmittelleitungen. Außerdem weist das Trägerbauteil 3 ein Wellenlager 31 auf, in dem mit Kugellagern 33 und Dichtungselementen 34 eine im Ausführungsbeispiel als Hohlwelle ausgeführte Welle 4 so gelagert ist, dass der daran befindliche Flansch 41 außerhalb des Gehäuses 2 angeordnet ist, so dass am Flansch 41 ein (hier nicht dargestelltes) Targetrohr angebracht werden kann.
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Im Innern der Welle 4 ist ein mit dem Trägerbauteil 3 einstückig ausgebildetes, im Ausführungsbeispiel als Hohlzapfen ausgeführtes Stützmittel 35 angeordnet, an dem ein Magnetsystem so angebracht werden kann, dass es innerhalb des mit der Welle 4 verbundenen Targetrohrs angeordnet ist.
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Mit der zweiten Stützfläche 12 des Kammerdeckels 1 ist ein Anschlussbauteil 5 über ein Isolationselement 54 verbunden, welches in seinem Innern ebenfalls Leitungsabschnitte 55 von Kühlmittelleitungen aufweist. Dazu ist am Anschlussbauteil 5 ein Flansch 52 mit einer zweiten Befestigungsfläche 53 angeordnet.
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Außerhalb des Gehäuses 2 und auf der entgegengesetzten Seite des Kammerdeckels 1 sind am Anschlussbauteil 5 zwei Kühlmittelanschlüsse 51 angeordnet, an die externe Kühlmittelleitungen anschließbar sind. Außerdem ist ebenfalls an dieser Seite des Anschlussbauteils 5 ein Elektroanschluss 58 vorgesehen. Da das Anschlussbauteil 5 aus einem elektrisch leitenden Material gefertigt ist, wird das an den Kühlmittelanschlüssen 51 in das Anschlussbauteil 5 einströmende Kühlmittel auf das benötigte elektrische Potenzial gebracht.
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Das Anschlussbauteil 5 und das Trägerbauteil 3 weisen komplementär geformte Steckverbinder 56, 37 auf, die gegeneinander durch Dichtungselemente 57 abgedichtet sind. In dieser durch die Steckverbinder 56, 37 gebildeten Steckverbindung sind die im Anschlussbauteil 5 und im Trägerbauteil 3 verlaufenden Leitungsabschnitte 55, 36 der Kühlmittelleitungen miteinander verbunden, wobei die Leitungsabschnitte 55, 36 parallel zur Betätigungsrichtung der Steckverbindung verlaufen.
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Bei der hier dargestellten Ausführungsform ragt der Steckverbinder 37 des Trägerbauteils 3 über die Befestigungsfläche 22 des Gehäuses 2 aus der Anschlussöffnung 21 heraus. Das Anschlussbauteil 5 ist so am Kammerdeckel 1 angeordnet, dass die Kühlmittelanschlüsse 51 außerhalb der Vakuumkammer angeordnet sind.
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In 2 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel dargestellt, das mit dem in 1 dargestellten weitgehend übereinstimmt. Allerdings ragt in diesem Ausführungsbeispiel das Anschlussbauteil 5 durch eine Öffnung im Kammerdeckel 1 und durch die Anschlussöffnung 21 hindurch in das Gehäuse 2 hinein. Dadurch sind die durch die Steckverbinder 37, 56 von Anschlussbauteil 5 und Trägerbauteil 3 gebildete Steckverbindung sowie die Kühlmittelanschlüsse 51 und der Elektroanschluss 58 im Innern des Gehäuses 2 angeordnet.
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Die 3 bis 5 zeigen ein drittes Ausführungsbeispiel eines Versorgungsendblocks in zwei Schnittdarstellungen sowie die Montage und Demontage dieses Endblocks. Dabei ist zwischen dem Trägerbauteil 3 und dem Anschlussbauteil 5 ein Zusatzbauteil 7 mit einem Steckverbinder 72 angeordnet. Der Steckverbinder 72 ist komplementär zum Steckverbinder 56 des Anschlussbauteils 5 ausgebildet.
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Mit dem Trägerbauteil 3 ist das Zusatzbauteil 7 fest verbunden, wobei die Leitungsabschnitte 71 im Zusatzbauteil 7 und die Leitungsabschnitte 36 im Trägerbauteil 3 parallel zur Betätigungsrichtung der Steckverbindung verlaufen. Hingegen verlaufen die Leitungsabschnitte 71 des Zusatzbauteils 7 und die Leitungsabschnitte 55 des Anschlussbauteils 5 im Bereich der Schnittstelle zwischen den Steckverbindern 72, 56 quer zur Betätigungsrichtung der Steckverbindung, so dass der Druck des Kühlmittels die Steckverbindung nicht auseinanderdrücken kann.
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Zusätzlich sind im Anschlussbauteil 5, im Zusatzbauteil 7 und im Trägerbauteil 3 Leitungsabschnitte 59, 74, 38 von Leckageleitungen angeordnet, die an der Oberseite des Anschlussbauteils 5 münden, so dass während des Betriebs ungewollt austretendes Kühlmittel abgesaugt werden kann. Eine dieser Leckageleitungen ist zentral so angeordnet, dass sie durch das Anschlussbauteil 5 in die Steckverbindung zwischen Anschlussbauteil 5 und Zusatzbauteil 7 reicht. Zwei weitere Leckageleitungen sind so angeordnet, dass sie durch das Anschlussbauteil 5, das Zusatzbauteil 7 und das Trägerbauteil 3 bis in den Bereich der Welle 4 reichen. Die Leitungsabschnitte 59, 74 dieser beiden Leckageleitungen im Bereich der Schnittstelle zwischen den Steckverbindern 72, 56 quer zur Betätigungsrichtung der Steckverbindung angeordnet.
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Das Anschlussbauteil 5 ist im Lagersitz 63 einer Befestigungseinrichtung 6 beweglich gelagert. Dieser Lagersitz ist durch ein Isolationselement 62 gebildet, das die zweite Befestigungsfläche 53, die vom Flansch 52 des Anschlussbauteils 5 gebildet ist, umschließt. Die Befestigungseinrichtung 6 ist mit einer dritten Befestigungsfläche 61 an der zweiten Stützfläche 12 des Kammerdeckes 1 angebracht.
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Die Demontage des Endblocks erfolgt, indem das Gehäuse 2 vom Isolatorelement 24 gelöst und anschließend in der Betätigungsrichtung der Steckverbindung abgezogen wird, wobei sich die Steckverbinder 56, 72 von Anschlussbauteil 5 und Zusatzbauteil 7 lösen. Das Zusatzbauteil 7 bleibt mit dem Trägerbauteil 3 fest verbunden; die Kühlmittelanschlüsse 51 können mit den externen Kühlmittelleitungen verbunden bleiben.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Kammerdeckel
- 11
- erste Stützfläche
- 12
- zweite Stützfläche
- 2
- Gehäuse
- 21
- Anschlussöffnung
- 22
- erste Befestigungsfläche
- 23
- Lageröffnung
- 24
- Isolationselement
- 3
- Trägerbauteil
- 31
- Wellenlager
- 32
- Dichtungselement
- 33
- Kugellager
- 34
- Dichtungselement
- 35
- Stützmittel
- 36
- Leitungsabschnitt der Kühlmittelleitung
- 37
- Steckverbinder
- 38
- Leitungsabschnitt der Leckageleitung
- 4
- Welle
- 41
- Flansch
- 5
- Anschlussbauteil
- 51
- Kühlmittelanschluss
- 52
- Flansch
- 53
- zweite Befestigungsfläche
- 54
- Isolationselement
- 55
- Leitungsabschnitt der Kühlmittelleitung
- 56
- Steckverbinder
- 57
- Dichtungselement
- 58
- Elektroanschluss
- 59
- Leitungsabschnitt der Leckageleitung
- 6
- Befestigungseinrichtung
- 61
- dritte Befestigungsfläche
- 62
- Isolationselement
- 63
- Lagersitz
- 7
- Zusatzbauteil
- 71
- Leitungsabschnitt der Kühlmittelleitung
- 72
- Steckverbinder
- 73
- Dichtungselement
- 74
- Leitungsabschnitt der Leckageleitung
