JP2003254448A - 磁性流体シール装置 - Google Patents
磁性流体シール装置Info
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- JP2003254448A JP2003254448A JP2002057226A JP2002057226A JP2003254448A JP 2003254448 A JP2003254448 A JP 2003254448A JP 2002057226 A JP2002057226 A JP 2002057226A JP 2002057226 A JP2002057226 A JP 2002057226A JP 2003254448 A JP2003254448 A JP 2003254448A
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- seal device
- fluid seal
- magnetic
- sealing
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/72—Sealings
- F16C33/76—Sealings of ball or roller bearings
- F16C33/762—Sealings of ball or roller bearings by means of a fluid
- F16C33/763—Sealings of ball or roller bearings by means of a fluid retained in the sealing gap
- F16C33/765—Sealings of ball or roller bearings by means of a fluid retained in the sealing gap by a magnetic field
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 密封対象領域で生成される析出物による汚染
を防止し、長寿命化を図る磁性流体シール装置を提供す
る。 【解決手段】 真空側の密封対象領域で析出物が生成さ
れても、ハウジング１２のフランジ部１２ａと軸１１間
の微少隙間に入り込むことが防止され、析出物が磁性流
体シール装置１にまで到達せず、析出物が磁性流体７に
入り込むことはない。さらに析出物は磁性流体シール装
置１よりも大気側に配置されたベアリング８にも到達せ
ず、析出物がベアリング８に入り込んで潤滑不良を引き
起こすこともない。よって、密封対象領域で生成された
析出物による磁性流体シール装置１の汚染を防止し、磁
性流体シール装置１の長寿命化を図ることができる。
を防止し、長寿命化を図る磁性流体シール装置を提供す
る。 【解決手段】 真空側の密封対象領域で析出物が生成さ
れても、ハウジング１２のフランジ部１２ａと軸１１間
の微少隙間に入り込むことが防止され、析出物が磁性流
体シール装置１にまで到達せず、析出物が磁性流体７に
入り込むことはない。さらに析出物は磁性流体シール装
置１よりも大気側に配置されたベアリング８にも到達せ
ず、析出物がベアリング８に入り込んで潤滑不良を引き
起こすこともない。よって、密封対象領域で生成された
析出物による磁性流体シール装置１の汚染を防止し、磁
性流体シール装置１の長寿命化を図ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば真空状態を
密封する真空シール等に利用される磁性流体を用いた磁
性流体シール装置に関するものである。
密封する真空シール等に利用される磁性流体を用いた磁
性流体シール装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁性流体シール装置１０１は、図３に示
すように、一対の磁極片としてのポールピース１０２，
１０３と、この一対のポールピース１０２，１０３に挟
まれた磁力発生手段としての磁石１０４と、で構成され
る磁気回路形成手段を用いている。
すように、一対の磁極片としてのポールピース１０２，
１０３と、この一対のポールピース１０２，１０３に挟
まれた磁力発生手段としての磁石１０４と、で構成され
る磁気回路形成手段を用いている。
【０００３】この磁性流体シール装置１０１は、ハウジ
ング１１２に一対のポールピース１０２，１０３が密封
性を向上させるＯリング１０５，１０６を介して装着さ
れ、ポールピース１０２，１０３と磁石１０４と磁性流
体１０７と磁性材製である軸１１１とで磁気回路を形成
して、磁性流体１０７をポールピース１０２，１０３と
軸１１１に形成された複数の環状突起先端との間に保持
して密封対象側である真空側を真空状態に保持する密封
機能を発揮している。
ング１１２に一対のポールピース１０２，１０３が密封
性を向上させるＯリング１０５，１０６を介して装着さ
れ、ポールピース１０２，１０３と磁石１０４と磁性流
体１０７と磁性材製である軸１１１とで磁気回路を形成
して、磁性流体１０７をポールピース１０２，１０３と
軸１１１に形成された複数の環状突起先端との間に保持
して密封対象側である真空側を真空状態に保持する密封
機能を発揮している。
【０００４】ここで、磁性流体シール装置１０１は、図
３に示すように真空チャンバーのある真空側を上方に向
け反密封対象側である大気側を下方へ向け、軸方向が上
下方向となるように配置されている。
３に示すように真空チャンバーのある真空側を上方に向
け反密封対象側である大気側を下方へ向け、軸方向が上
下方向となるように配置されている。
【０００５】そして、このような磁性流体シール装置１
０１の真空側及び大気側の両側に、軸受部としてのベア
リング１０８，１０９が配置されている。
０１の真空側及び大気側の両側に、軸受部としてのベア
リング１０８，１０９が配置されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来、磁性
流体シール装置１０１を使用する例えばＣＶＤ装置等で
は、反応ガスとしてジクロロシランガスとアンモニアガ
スとを使用してシリコン窒化膜を生成する方法が一般に
知られている。
流体シール装置１０１を使用する例えばＣＶＤ装置等で
は、反応ガスとしてジクロロシランガスとアンモニアガ
スとを使用してシリコン窒化膜を生成する方法が一般に
知られている。
【０００７】このような装置では、反応副生成物として
塩化アンモニウムの析出物が析出し、この塩化アンモニ
ウムが磁性流体シール装置１０１のユニット内に入り込
み、密封機能劣化の原因となっている。
塩化アンモニウムの析出物が析出し、この塩化アンモニ
ウムが磁性流体シール装置１０１のユニット内に入り込
み、密封機能劣化の原因となっている。
【０００８】特に、ベアリング１０８内等に塩化アンモ
ニウムが入り込むと、ベアリング１０８の潤滑不良の要
因となる。
ニウムが入り込むと、ベアリング１０８の潤滑不良の要
因となる。
【０００９】また、図３のＥ部を拡大して示す図４に示
すように、ベアリング１０８上部に塩化アンモニウム析
出物が堆積するような空間が存在する場合、その空間に
は塩化アンモニウム析出物が徐々に堆積していき、軸１
１１と接触した際に堆積した塩化アンモニウムの塊がベ
アリング１０８内に落下し、突然潤滑不良を起こすこと
もある。
すように、ベアリング１０８上部に塩化アンモニウム析
出物が堆積するような空間が存在する場合、その空間に
は塩化アンモニウム析出物が徐々に堆積していき、軸１
１１と接触した際に堆積した塩化アンモニウムの塊がベ
アリング１０８内に落下し、突然潤滑不良を起こすこと
もある。
【００１０】さらに、図４に示すように、真空側のポー
ルピース１０２上部にも同様に塩化アンモニウム析出物
が堆積するような空間が存在する場合、その空間には塩
化アンモニウム析出物が徐々に堆積していき、最終的に
堆積した塩化アンモニウムの塊が磁性流体保持部に入り
込んでしまうこともある。
ルピース１０２上部にも同様に塩化アンモニウム析出物
が堆積するような空間が存在する場合、その空間には塩
化アンモニウム析出物が徐々に堆積していき、最終的に
堆積した塩化アンモニウムの塊が磁性流体保持部に入り
込んでしまうこともある。
【００１１】本発明は、上記した従来技術の課題を解決
するものであり、その目的とするところは、密封対象領
域で生成される析出物による汚染を防止し、長寿命化を
図る磁性流体シール装置を提供することにある。
するものであり、その目的とするところは、密封対象領
域で生成される析出物による汚染を防止し、長寿命化を
図る磁性流体シール装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明にあっては、２部材のうちの一方に接触する磁
性流体と、２部材のうちの他方に固定され磁性流体を保
持する磁気回路を形成する磁気回路形成手段と、を有
し、２部材間の環状隙間を密封する磁性流体シール装置
であって、装置の反密封対象側に軸受部を設け、装置の
密封対象側に隣接して２部材を接近させて磁性流体を保
持する隙間よりも狭い微少隙間を形成したことを特徴と
する。
に本発明にあっては、２部材のうちの一方に接触する磁
性流体と、２部材のうちの他方に固定され磁性流体を保
持する磁気回路を形成する磁気回路形成手段と、を有
し、２部材間の環状隙間を密封する磁性流体シール装置
であって、装置の反密封対象側に軸受部を設け、装置の
密封対象側に隣接して２部材を接近させて磁性流体を保
持する隙間よりも狭い微少隙間を形成したことを特徴と
する。
【００１３】２部材のうちの一方に接触する磁性流体
と、２部材のうちの他方に固定され磁性流体を保持する
磁気回路を形成する磁気回路形成手段と、を有し、２部
材間の環状隙間を密封する磁性流体シール装置であっ
て、装置の反密封対象側である下部に軸受部を設け、装
置の密封対象側である上部に隣接して２部材を接近させ
て磁性流体を保持する隙間よりも狭い微少隙間を形成し
たことを特徴とする。
と、２部材のうちの他方に固定され磁性流体を保持する
磁気回路を形成する磁気回路形成手段と、を有し、２部
材間の環状隙間を密封する磁性流体シール装置であっ
て、装置の反密封対象側である下部に軸受部を設け、装
置の密封対象側である上部に隣接して２部材を接近させ
て磁性流体を保持する隙間よりも狭い微少隙間を形成し
たことを特徴とする。
【００１４】したがって、密封対象領域で析出物が生成
されても、２部材間の微少隙間に入り込むことが防止さ
れ、析出物が磁性流体シール装置にまで到達せず、析出
物が磁性流体に入り込むことはない。さらに析出物は磁
性流体シール装置よりも反密封対象側の軸受部にも到達
せず、析出物が軸受部に入り込んで潤滑不良を引き起こ
すこともない。よって、密封対象領域で生成された析出
物による磁性流体シール装置の汚染を防止し、磁性流体
シール装置の長寿命化を図ることができる。
されても、２部材間の微少隙間に入り込むことが防止さ
れ、析出物が磁性流体シール装置にまで到達せず、析出
物が磁性流体に入り込むことはない。さらに析出物は磁
性流体シール装置よりも反密封対象側の軸受部にも到達
せず、析出物が軸受部に入り込んで潤滑不良を引き起こ
すこともない。よって、密封対象領域で生成された析出
物による磁性流体シール装置の汚染を防止し、磁性流体
シール装置の長寿命化を図ることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照して、この発明
の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただ
し、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、
材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載が
ない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣
旨のものではない。
の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただ
し、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、
材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載が
ない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣
旨のものではない。
【００１６】図１、図２を用いて実施の形態を説明す
る。図１は実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す
半断面図である。図２は実施の形態に係る磁性流体シー
ル装置の図１のＡ部を示す拡大図である。
る。図１は実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す
半断面図である。図２は実施の形態に係る磁性流体シー
ル装置の図１のＡ部を示す拡大図である。
【００１７】なお、実施の形態で例示する磁性流体シー
ル装置１は、磁性材である軸１１とハウジング１２の間
の環状隙間を密封するものであり、軸１１との間を磁性
流体７で密封し、磁性流体シール装置１本体は非磁性材
であるハウジング１２に装着されるものを示す。
ル装置１は、磁性材である軸１１とハウジング１２の間
の環状隙間を密封するものであり、軸１１との間を磁性
流体７で密封し、磁性流体シール装置１本体は非磁性材
であるハウジング１２に装着されるものを示す。
【００１８】磁性流体シール装置１は、図１に示すよう
に、一対の磁極片としてのポールピース２，３と、この
一対のポールピース２，３に挟まれた磁力発生手段とし
ての磁石４と、で構成される磁気回路形成手段を用いて
いる。
に、一対の磁極片としてのポールピース２，３と、この
一対のポールピース２，３に挟まれた磁力発生手段とし
ての磁石４と、で構成される磁気回路形成手段を用いて
いる。
【００１９】この磁性流体シール装置１は、ハウジング
１２に一対のポールピース２，３が密封性を向上させる
Ｏリング５，６を介して装着され、ポールピース２，３
と磁石４と磁性流体７と磁性材製である軸１１とで磁気
回路を形成して、磁性流体７をポールピース２，３と軸
１１に形成された複数の環状突起先端との間に保持して
密封対象側である真空側を真空状態に保持する密封機能
を発揮している。
１２に一対のポールピース２，３が密封性を向上させる
Ｏリング５，６を介して装着され、ポールピース２，３
と磁石４と磁性流体７と磁性材製である軸１１とで磁気
回路を形成して、磁性流体７をポールピース２，３と軸
１１に形成された複数の環状突起先端との間に保持して
密封対象側である真空側を真空状態に保持する密封機能
を発揮している。
【００２０】ここで、磁性流体シール装置１は、図１に
示すように真空チャンバのある真空側を上方に向け反密
封対象側である大気側を下方に向け、軸方向が上下方向
となるように配置されている。
示すように真空チャンバのある真空側を上方に向け反密
封対象側である大気側を下方に向け、軸方向が上下方向
となるように配置されている。
【００２１】ポールピース２，３は、磁石４を上下に挟
む２枚の環状部材である。ポールピース２，３の軸１１
側の内周面には、軸１１の複数の環状突起との間に磁性
流体７が保持される。
む２枚の環状部材である。ポールピース２，３の軸１１
側の内周面には、軸１１の複数の環状突起との間に磁性
流体７が保持される。
【００２２】磁石４は、永久磁石であり、板状のラバー
マグネット等が用いられる。
マグネット等が用いられる。
【００２３】磁性流体７は、一般的には、Ｆｅ3Ｏ4等の
微粒子を油，水，有機溶媒等の中にコロイド状に分散さ
せたものを用いる。
微粒子を油，水，有機溶媒等の中にコロイド状に分散さ
せたものを用いる。
【００２４】そして、このような磁性流体シール装置１
の大気側、すなわち磁性流体シール装置１の下部に、軸
受部としてのベアリング８が配置されている。つまり、
実施の形態では、ベアリング８は磁性流体シール装置１
の大気側にだけ配置されており、磁性流体シール装置１
の真空側には配置されていない。
の大気側、すなわち磁性流体シール装置１の下部に、軸
受部としてのベアリング８が配置されている。つまり、
実施の形態では、ベアリング８は磁性流体シール装置１
の大気側にだけ配置されており、磁性流体シール装置１
の真空側には配置されていない。
【００２５】一方、磁性流体シール装置１の真空側は、
図１のＡ部を拡大して示す図２に示すように、領域Ｂに
空間を作らないように磁性流体シール装置１に隣接して
ハウジング１２のフランジ部１２ａが内径方向に突出し
ている。このハウジング１２のフランジ部１２ａは、ラ
ビリンス効果を得られるように軸１１との間に微少隙間
Ｃを形成する。
図１のＡ部を拡大して示す図２に示すように、領域Ｂに
空間を作らないように磁性流体シール装置１に隣接して
ハウジング１２のフランジ部１２ａが内径方向に突出し
ている。このハウジング１２のフランジ部１２ａは、ラ
ビリンス効果を得られるように軸１１との間に微少隙間
Ｃを形成する。
【００２６】微少隙間Ｃは、ポールピース２，３と軸１
１の複数の環状突起との間の磁性流体７が保持される隙
間よりも狭いことが好ましい。
１の複数の環状突起との間の磁性流体７が保持される隙
間よりも狭いことが好ましい。
【００２７】また、ハウジング１２のフランジ部１２ａ
の軸方向幅Ｄは、良好にラビリンス効果が発揮できるよ
うにより長く設けられることが好ましい。
の軸方向幅Ｄは、良好にラビリンス効果が発揮できるよ
うにより長く設けられることが好ましい。
【００２８】以上の構成の磁性流体シール装置１では、
真空チャンバのある真空側の密封対象領域で、例えばＣ
ＶＤ装置等では、反応ガスとしてジクロロシランガスと
アンモニアガスとを使用してシリコン窒化膜を生成し、
反応副生成物として塩化アンモニウム等の析出物が生成
されても、ハウジング１２のフランジ部１２ａと軸１１
間の微少隙間Ｃに入り込むことが防止され、析出物が磁
性流体シール装置１にまで到達せず、析出物が磁性流体
７に入り込むことはない。
真空チャンバのある真空側の密封対象領域で、例えばＣ
ＶＤ装置等では、反応ガスとしてジクロロシランガスと
アンモニアガスとを使用してシリコン窒化膜を生成し、
反応副生成物として塩化アンモニウム等の析出物が生成
されても、ハウジング１２のフランジ部１２ａと軸１１
間の微少隙間Ｃに入り込むことが防止され、析出物が磁
性流体シール装置１にまで到達せず、析出物が磁性流体
７に入り込むことはない。
【００２９】また、ハウジング１２のフランジ部１２ａ
と真空側のポールピース２との間を示す領域Ｂには空間
が無いため、磁性流体７の保持部に入り込むような析出
物が堆積することも防止される。
と真空側のポールピース２との間を示す領域Ｂには空間
が無いため、磁性流体７の保持部に入り込むような析出
物が堆積することも防止される。
【００３０】さらに析出物は磁性流体シール装置１より
も大気側に配置されたベアリング８にも到達せず、析出
物がベアリング８に入り込んで潤滑不良を引き起こすこ
ともない。
も大気側に配置されたベアリング８にも到達せず、析出
物がベアリング８に入り込んで潤滑不良を引き起こすこ
ともない。
【００３１】よって、密封対象領域で生成された析出物
による磁性流体シール装置１の汚染を防止し、磁性流体
シール装置１の長寿命化を図ることができる。
による磁性流体シール装置１の汚染を防止し、磁性流体
シール装置１の長寿命化を図ることができる。
【００３２】なお、上記実施の形態はハウジングに磁性
流体シール装置本体を固定して軸に磁性流体を接触する
ように保持する場合について説明したが、逆に軸に磁性
流体シール装置本体を固定してハウジングに磁性流体を
接触するように保持する場合にも本発明を適用できる。
流体シール装置本体を固定して軸に磁性流体を接触する
ように保持する場合について説明したが、逆に軸に磁性
流体シール装置本体を固定してハウジングに磁性流体を
接触するように保持する場合にも本発明を適用できる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、密封対象
領域で析出物が生成されても、２部材間の微少隙間に入
り込むことが防止され、析出物が磁性流体シール装置に
まで到達せず、析出物が磁性流体に入り込むことはな
い。さらに析出物は磁性流体シール装置よりも反密封対
象側の軸受部にも到達せず、析出物が軸受部に入り込ん
で潤滑不良を引き起こすこともない。よって、密封対象
領域で生成された析出物による磁性流体シール装置の汚
染を防止し、磁性流体シール装置の長寿命化を図ること
ができる。
領域で析出物が生成されても、２部材間の微少隙間に入
り込むことが防止され、析出物が磁性流体シール装置に
まで到達せず、析出物が磁性流体に入り込むことはな
い。さらに析出物は磁性流体シール装置よりも反密封対
象側の軸受部にも到達せず、析出物が軸受部に入り込ん
で潤滑不良を引き起こすこともない。よって、密封対象
領域で生成された析出物による磁性流体シール装置の汚
染を防止し、磁性流体シール装置の長寿命化を図ること
ができる。
【図１】実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半
断面図である。
断面図である。
【図２】実施の形態に係る磁性流体シール装置の図１の
Ａ部を示す拡大図である。
Ａ部を示す拡大図である。
【図３】従来技術の磁性流体シール装置を示す半断面図
である。
である。
【図４】従来技術の磁性流体シール装置の図３のＥ部を
示す拡大図である。
示す拡大図である。
【符号の説明】
１ 磁性流体シール装置
２，３ ポールピース
４ 磁石
５，６ Ｏリング
７ 磁性流体
８ ベアリング
１１ 軸
１２ ハウジング
１２ａ フランジ部
Claims (2)
- 【請求項１】２部材のうちの一方に接触する磁性流体
と、２部材のうちの他方に固定され磁性流体を保持する
磁気回路を形成する磁気回路形成手段と、を有し、２部
材間の環状隙間を密封する磁性流体シール装置であっ
て、 装置の反密封対象側に軸受部を設け、 装置の密封対象側に隣接して２部材を接近させて磁性流
体を保持する隙間よりも狭い微少隙間を形成したことを
特徴とする磁性流体シール装置。 - 【請求項２】２部材のうちの一方に接触する磁性流体
と、２部材のうちの他方に固定され磁性流体を保持する
磁気回路を形成する磁気回路形成手段と、を有し、２部
材間の環状隙間を密封する磁性流体シール装置であっ
て、 装置の反密封対象側である下部に軸受部を設け、 装置の密封対象側である上部に隣接して２部材を接近さ
せて磁性流体を保持する隙間よりも狭い微少隙間を形成
したことを特徴とする磁性流体シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002057226A JP2003254448A (ja) | 2002-03-04 | 2002-03-04 | 磁性流体シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002057226A JP2003254448A (ja) | 2002-03-04 | 2002-03-04 | 磁性流体シール装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003254448A true JP2003254448A (ja) | 2003-09-10 |
Family
ID=28667550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002057226A Withdrawn JP2003254448A (ja) | 2002-03-04 | 2002-03-04 | 磁性流体シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003254448A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102072326A (zh) * | 2011-01-24 | 2011-05-25 | 北京交通大学 | 磁性液体密封过程研究装置 |
| JP2013096547A (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-20 | Ntn Corp | パラレルリンク機構、等速自在継手、およびリンク作動装置 |
| JP2014134238A (ja) * | 2013-01-09 | 2014-07-24 | Nsk Ltd | 回転機構、搬送装置および半導体製造装置 |
| US9316266B2 (en) | 2011-11-04 | 2016-04-19 | Ntn Corporation | Parallel link mechanism, constant velocity universal joint, and link actuator |
-
2002
- 2002-03-04 JP JP2002057226A patent/JP2003254448A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102072326A (zh) * | 2011-01-24 | 2011-05-25 | 北京交通大学 | 磁性液体密封过程研究装置 |
| JP2013096547A (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-20 | Ntn Corp | パラレルリンク機構、等速自在継手、およびリンク作動装置 |
| US9316266B2 (en) | 2011-11-04 | 2016-04-19 | Ntn Corporation | Parallel link mechanism, constant velocity universal joint, and link actuator |
| JP2014134238A (ja) * | 2013-01-09 | 2014-07-24 | Nsk Ltd | 回転機構、搬送装置および半導体製造装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050510 |