JP2003247808A - ガラス基板等のアライメント方法 - Google Patents
ガラス基板等のアライメント方法Info
- Publication number
- JP2003247808A JP2003247808A JP2002048918A JP2002048918A JP2003247808A JP 2003247808 A JP2003247808 A JP 2003247808A JP 2002048918 A JP2002048918 A JP 2002048918A JP 2002048918 A JP2002048918 A JP 2002048918A JP 2003247808 A JP2003247808 A JP 2003247808A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- board
- alignment mark
- ccd camera
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】基板を、加工用のＮＣテーブル上にセッテング
する際に予めそれ以前のデータに基づいて予備的位置に
センタリングすることによりアライメントマークがＣＣ
Ｄカメラ画像取り込み範囲内に入り確実に基板のアライ
メントが出来る方法の提供を目的とする。 【解決手段】基板に記されたアライメントマークの画像
を取り込むＣＣＤカメラと、このＣＣＤカメラの画像デ
ータから基板の位置ずれを認識し、位置ずれ量を補正す
るＸ、Ｙ方向及び角度θ制御手段が、当該基板セッテン
グテーブルに備えられ、過去の所定回数の補正量に基づ
いて、予備的に基板がセンタリングされた後に、アライ
メントマークを上記ＣＣＤカメラにて取り込んだ画像デ
ータに基づいて位置補正する。
する際に予めそれ以前のデータに基づいて予備的位置に
センタリングすることによりアライメントマークがＣＣ
Ｄカメラ画像取り込み範囲内に入り確実に基板のアライ
メントが出来る方法の提供を目的とする。 【解決手段】基板に記されたアライメントマークの画像
を取り込むＣＣＤカメラと、このＣＣＤカメラの画像デ
ータから基板の位置ずれを認識し、位置ずれ量を補正す
るＸ、Ｙ方向及び角度θ制御手段が、当該基板セッテン
グテーブルに備えられ、過去の所定回数の補正量に基づ
いて、予備的に基板がセンタリングされた後に、アライ
メントマークを上記ＣＣＤカメラにて取り込んだ画像デ
ータに基づいて位置補正する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示機器等に
使用されるガラス基板、液晶基板等を面取り加工、スク
ライブ及びブレーク加工等する際に、加工テーブル上に
基板の位置をアライメントする方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来から、ガラス基板、液晶基板等の基
板を加工するために、テーブル上に基板をセンタリング
する方法として、基板の所定位置にアライメントマーク
が記され、このアライメントマークをＣＣＤカメラ等の
画像取り込み手段にて取り込み、この画像データに基づ
いて位置ずれ量を測定してこの値に基づいて基板のセン
タリング位置をアライメントする方法が採用されてい
る。しかし、ＣＣＤカメラが画像として取り込める範囲
は、例えば図３にモニター画面１を示すように一般に、
幅２ｍｍ程度の略四辺形の小さい範囲であり、図３
（１）に示すアライメントマーク２がモニター１内に認
識されればこのデータ解析にて図３（２）に示すように
モニターのセンターにアライメントマークが来るよう
に、テーブル位置Ｘ、Ｙ、角度θが補正される。なお、
アライメントマークが基板に複数、記されていて相対位
置解析にてＸ、Ｙのみならず角度θも補正される。しか
し、図４（１）の点線でアライメントマークを示すよう
に、このアライメントマーク２の位置がＣＣＤカメラの
画像取り込み範囲よりずれると認識出来なくなるという
問題があった。従来、そのような場合には、図４（２）
に示すように手動にてアライメントマークが読みとられ
る位置まで基板の位置をずらしてやらなければならず、
その間、自動ラインが停止してしまう技術的課題があっ
た。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来技術
に内在する技術的課題に鑑みて、基板を、加工用のＮＣ
テーブル上にセッテングする際に予めそれ以前のデータ
に基づいて予備的位置にセンタリングすることによりア
ライメントマークがＣＣＤカメラ画像取り込み範囲内に
入り確実に基板のアライメントが出来る方法の提供を目
的とする。 【０００４】 【課題を解決するための手段】本発明は基板がＮＣテー
ブル上にセッテングされる際に、それ以前に同種の基板
の外形寸法等のバラツキ等を考慮したデータに基づいて
予備的にテーブル位置のX、Y、θ調整が出来るようにし
たのが特徴的である。即ち、基板を加工するために位置
決めする基板のアライメント方法において、基板に記さ
れたアライメントマークの画像を取り込むＣＣＤカメラ
と、このＣＣＤカメラの画像データから基板の位置ずれ
を認識し、位置ずれ量を補正するＸ、Ｙ方向及び角度θ
制御手段が、当該基板セッテングテーブルに備えられ、
過去の所定回数の補正量に基づいて、予備的に基板がセ
ンタリングされた後に、アライメントマークを上記ＣＣ
Ｄカメラにて取り込んだ画像データに基づいて位置補正
される。 【０００５】 【発明の実施の形態】ガラス基板や液晶基板は、吸着手
段等を有するＮＣ装置付きのテーブル上に載置される。
このガラス基板等の周縁部を面取り加工したり、液晶基
板にスクライブライン等を切り込む際にはその加工精度
を確保するためにこの基板がテーブル上に正確にセンタ
リングされる必要がある。そこで、基板上の所定位置に
少なくとも２つ以上のアライメントマーク２が記され、
このマークの画像データをＣＣＤカメラにて読み取る。
この際に上記アライメントマークが確実にＣＣＤカメラ
に認識され、モニター１に映る必要がある。 【０００６】本発明に係る基板のアライメント方法を図
１に示すフローチャートにて以下説明する。 （１）基板をＮＣテーブル上に載置する。ＮＣテーブル
はX軸方向、Y軸方向及びθ角度回転制御手段が設けられ
ている。 （２）それ以前の１０回のデータの平均値に基づいて
（３）基板が予備的にセンタリングされる。基板の外形
寸法等にバラツキがあり、今回センタリングする基板の
以前に同種の基板における１０回の測定データが入力保
存されていて、その平均値等のデータに基づいて予備的
にＮＣ装置が作動する。これにより基板に記されたアラ
イメントマークが、ほぼモニター中央部付近に来るよう
になる。なお、ここでは１０回の測定データが入力され
ている例を示したが、これに限定されるものでは無く、
任意に設定されるものである。また、使用するデータは
平均値のみでなく、最頻値等の各種データ処理が考えら
れる。 【０００７】次に、（４）ＣＣＤカメラにてアライメン
トマークを画像データとして取り込む。そのモニター１
にアライメントマーク２が映し出された状態の例を、図
２に示す。このデータ解析により、（５）位置ずれ量が
認識される。この認識された位置ずれ量に基づいて基板
の位置補正がされ、その時のデータが（６）保存され
る。この保存データが例えば図１のフローチャートでは
ｎ＝１０としてあり、１０回のデータが得られるとフロ
ーチャート（２）に示したデータが置換される。また、
基板は上記認識及び解析された補正量データに基づいて
（７）アライメントされる。 【０００８】 【発明の効果】本発明においては、 所定のサンプリン
グ回数読み取ったデータを基板載置テーブルのＮＣ装置
に転送され、基板のセンタリングが予備的に実施される
ので基板に記されたアライメントマークがＣＣＤカメラ
のモニターのほぼ中央付近に常に来るように自動補正が
される。従って、ＣＣＤカメラにてアライメントマーク
が認識されずにアライメントエラーが発生することによ
る基板の加工ラインの停止が無くなり、生産性が向上す
る。また、それ以前の同種の基板の寸法バラツキ等もデ
ータ解析されているので基板への加工精度も向上する。
使用されるガラス基板、液晶基板等を面取り加工、スク
ライブ及びブレーク加工等する際に、加工テーブル上に
基板の位置をアライメントする方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来から、ガラス基板、液晶基板等の基
板を加工するために、テーブル上に基板をセンタリング
する方法として、基板の所定位置にアライメントマーク
が記され、このアライメントマークをＣＣＤカメラ等の
画像取り込み手段にて取り込み、この画像データに基づ
いて位置ずれ量を測定してこの値に基づいて基板のセン
タリング位置をアライメントする方法が採用されてい
る。しかし、ＣＣＤカメラが画像として取り込める範囲
は、例えば図３にモニター画面１を示すように一般に、
幅２ｍｍ程度の略四辺形の小さい範囲であり、図３
（１）に示すアライメントマーク２がモニター１内に認
識されればこのデータ解析にて図３（２）に示すように
モニターのセンターにアライメントマークが来るよう
に、テーブル位置Ｘ、Ｙ、角度θが補正される。なお、
アライメントマークが基板に複数、記されていて相対位
置解析にてＸ、Ｙのみならず角度θも補正される。しか
し、図４（１）の点線でアライメントマークを示すよう
に、このアライメントマーク２の位置がＣＣＤカメラの
画像取り込み範囲よりずれると認識出来なくなるという
問題があった。従来、そのような場合には、図４（２）
に示すように手動にてアライメントマークが読みとられ
る位置まで基板の位置をずらしてやらなければならず、
その間、自動ラインが停止してしまう技術的課題があっ
た。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来技術
に内在する技術的課題に鑑みて、基板を、加工用のＮＣ
テーブル上にセッテングする際に予めそれ以前のデータ
に基づいて予備的位置にセンタリングすることによりア
ライメントマークがＣＣＤカメラ画像取り込み範囲内に
入り確実に基板のアライメントが出来る方法の提供を目
的とする。 【０００４】 【課題を解決するための手段】本発明は基板がＮＣテー
ブル上にセッテングされる際に、それ以前に同種の基板
の外形寸法等のバラツキ等を考慮したデータに基づいて
予備的にテーブル位置のX、Y、θ調整が出来るようにし
たのが特徴的である。即ち、基板を加工するために位置
決めする基板のアライメント方法において、基板に記さ
れたアライメントマークの画像を取り込むＣＣＤカメラ
と、このＣＣＤカメラの画像データから基板の位置ずれ
を認識し、位置ずれ量を補正するＸ、Ｙ方向及び角度θ
制御手段が、当該基板セッテングテーブルに備えられ、
過去の所定回数の補正量に基づいて、予備的に基板がセ
ンタリングされた後に、アライメントマークを上記ＣＣ
Ｄカメラにて取り込んだ画像データに基づいて位置補正
される。 【０００５】 【発明の実施の形態】ガラス基板や液晶基板は、吸着手
段等を有するＮＣ装置付きのテーブル上に載置される。
このガラス基板等の周縁部を面取り加工したり、液晶基
板にスクライブライン等を切り込む際にはその加工精度
を確保するためにこの基板がテーブル上に正確にセンタ
リングされる必要がある。そこで、基板上の所定位置に
少なくとも２つ以上のアライメントマーク２が記され、
このマークの画像データをＣＣＤカメラにて読み取る。
この際に上記アライメントマークが確実にＣＣＤカメラ
に認識され、モニター１に映る必要がある。 【０００６】本発明に係る基板のアライメント方法を図
１に示すフローチャートにて以下説明する。 （１）基板をＮＣテーブル上に載置する。ＮＣテーブル
はX軸方向、Y軸方向及びθ角度回転制御手段が設けられ
ている。 （２）それ以前の１０回のデータの平均値に基づいて
（３）基板が予備的にセンタリングされる。基板の外形
寸法等にバラツキがあり、今回センタリングする基板の
以前に同種の基板における１０回の測定データが入力保
存されていて、その平均値等のデータに基づいて予備的
にＮＣ装置が作動する。これにより基板に記されたアラ
イメントマークが、ほぼモニター中央部付近に来るよう
になる。なお、ここでは１０回の測定データが入力され
ている例を示したが、これに限定されるものでは無く、
任意に設定されるものである。また、使用するデータは
平均値のみでなく、最頻値等の各種データ処理が考えら
れる。 【０００７】次に、（４）ＣＣＤカメラにてアライメン
トマークを画像データとして取り込む。そのモニター１
にアライメントマーク２が映し出された状態の例を、図
２に示す。このデータ解析により、（５）位置ずれ量が
認識される。この認識された位置ずれ量に基づいて基板
の位置補正がされ、その時のデータが（６）保存され
る。この保存データが例えば図１のフローチャートでは
ｎ＝１０としてあり、１０回のデータが得られるとフロ
ーチャート（２）に示したデータが置換される。また、
基板は上記認識及び解析された補正量データに基づいて
（７）アライメントされる。 【０００８】 【発明の効果】本発明においては、 所定のサンプリン
グ回数読み取ったデータを基板載置テーブルのＮＣ装置
に転送され、基板のセンタリングが予備的に実施される
ので基板に記されたアライメントマークがＣＣＤカメラ
のモニターのほぼ中央付近に常に来るように自動補正が
される。従って、ＣＣＤカメラにてアライメントマーク
が認識されずにアライメントエラーが発生することによ
る基板の加工ラインの停止が無くなり、生産性が向上す
る。また、それ以前の同種の基板の寸法バラツキ等もデ
ータ解析されているので基板への加工精度も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るアライメント方法のフローチャー
トを示す。 【図２】本発明に係るアライメントにおけるＣＣＤカメ
ラモニター１にアライメントマーク２が映る状態の例を
示す。 【図３】従来におけるＣＣＤカメラにアライメントマー
クが映る状態の例を示す。 【図４】従来におけるアライメントマークがＣＣＤカメ
ラモニターに認識されない状態の例を示す。 【符号の説明】 １ ＣＣＤカメラモニター ２ アライメントマーク
トを示す。 【図２】本発明に係るアライメントにおけるＣＣＤカメ
ラモニター１にアライメントマーク２が映る状態の例を
示す。 【図３】従来におけるＣＣＤカメラにアライメントマー
クが映る状態の例を示す。 【図４】従来におけるアライメントマークがＣＣＤカメ
ラモニターに認識されない状態の例を示す。 【符号の説明】 １ ＣＣＤカメラモニター ２ アライメントマーク
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2F065 AA03 BB01 BB27 DD06 FF04
JJ26 MM03 MM04 PP12 QQ31
TT02
2H088 FA16 FA17 FA24 FA30 HA01
MA20
3C029 AA02 AA03 AA40
5F031 CA05 JA04 JA06 JA27 JA38
KA06 KA08 KA12 MA34 PA08
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】基板を加工するために位置決めする基板の
アライメント方法において、基板に記されたアライメン
トマークの画像を取り込むＣＣＤカメラと、このＣＣＤ
カメラの画像データから基板の位置ずれを認識し、位置
ずれ量を補正するＸ、Ｙ方向及び角度θ制御手段が、当
該基板セッテングテーブルに備えられ、過去の所定回数
の補正量に基づいて、予備的に基板がセンタリングされ
た後に、アライメントマークを上記ＣＣＤカメラにて取
り込んだ画像データに基づいて位置補正されることを特
徴とする基板のアライメント方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002048918A JP2003247808A (ja) | 2002-02-26 | 2002-02-26 | ガラス基板等のアライメント方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002048918A JP2003247808A (ja) | 2002-02-26 | 2002-02-26 | ガラス基板等のアライメント方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003247808A true JP2003247808A (ja) | 2003-09-05 |
Family
ID=28661571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002048918A Pending JP2003247808A (ja) | 2002-02-26 | 2002-02-26 | ガラス基板等のアライメント方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003247808A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007147526A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Shimadzu Corp | 磁気マッピング装置ならびにその取付位置補正方法 |
| KR101300856B1 (ko) * | 2009-06-19 | 2013-08-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 반도체 웨이퍼의 프리얼라인먼트 방법 및 프리얼라인먼트용 프로그램이 기록된 기록 매체 |
| CN104698660A (zh) * | 2015-03-20 | 2015-06-10 | 昆山龙腾光电有限公司 | 基板标记位置的抓取装置与抓取方法 |
-
2002
- 2002-02-26 JP JP2002048918A patent/JP2003247808A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007147526A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Shimadzu Corp | 磁気マッピング装置ならびにその取付位置補正方法 |
| JP4577196B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2010-11-10 | 株式会社島津製作所 | 磁気マッピング装置ならびにその取付位置補正方法 |
| KR101300856B1 (ko) * | 2009-06-19 | 2013-08-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 반도체 웨이퍼의 프리얼라인먼트 방법 및 프리얼라인먼트용 프로그램이 기록된 기록 매체 |
| CN104698660A (zh) * | 2015-03-20 | 2015-06-10 | 昆山龙腾光电有限公司 | 基板标记位置的抓取装置与抓取方法 |
| CN104698660B (zh) * | 2015-03-20 | 2017-07-18 | 昆山龙腾光电有限公司 | 基板标记位置的抓取装置与抓取方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050210 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061002 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070215 |