JP2003245616A - 化学洗浄方法 - Google Patents

化学洗浄方法

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JP2003245616A JP2002046537A JP2002046537A JP2003245616A JP 2003245616 A JP2003245616 A JP 2003245616A JP 2002046537 A JP2002046537 A JP 2002046537A JP 2002046537 A JP2002046537 A JP 2002046537A JP 2003245616 A JP2003245616 A JP 2003245616A
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一宏 清滝
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博冨 川口
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ボイラ等を有機酸を主成分とする洗浄液で化
学洗浄する際に発生する有機酸含有洗浄排液を、効率的
に処理して有機酸を回収、再利用する。 【解決手段】 ボイラ1に有機酸を主成分とする洗浄液
を通液して洗浄する。洗浄排液をH形カチオン交換樹脂
5と接触させて、有機酸により溶出した金属イオンを除
去して有機酸金属塩を有機酸に変換して排出洗浄液を再
生する。再生洗浄液を洗浄に循環使用する。洗浄液の循
環使用後、再生した洗浄液は濃縮し、高濃度有機酸を回
収する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は事業用発電大型ボイ
ラや熱交換器、その他のプラント、機器類において、酸
化鉄等よりなるスケールを有機酸を主成分とする洗浄液
で化学洗浄する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ボイラ、熱交換器、その他のプラント、
特に火力発電所のボイラや、原子力発電所の蒸気発生器
の2次冷却水系では、稼動により系内に酸化鉄を主体と
するスケールが付着して、熱効率の低下、流量低下等の
障害を引き起こすため、定期的に薬品による化学洗浄を
行ってこれを除去する必要がある。
【0003】この化学洗浄には無機酸又は有機酸が用い
られるが、特に貫流ボイラやSUS使用プラントでは、
腐食防止のために、高価ではあるが腐食性が低い有機酸
を主成分とする有機酸洗浄剤が用いられている。
【0004】この化学洗浄に用いられる有機酸として
は、クエン酸、グリコール酸、リンゴ酸等のオキシカル
ボン酸、ギ酸、マロン酸等の飽和カルボン酸又はエチレ
ンジアミン四酢酸(EDTA)等のアミノポリカルボン
酸等が利用されている。また、有機酸洗浄剤にはこのよ
うな有機酸の他、アスコルビン酸、エリソルビン酸等の
還元剤や腐食抑制剤が添加されている。
【0005】このような有機酸洗浄剤を用いる化学洗浄
により排出される洗浄排液は、有機酸、還元剤、腐食抑
制剤等に起因するCOD成分及び洗浄によりスケールか
ら溶出した鉄イオン等の重金属成分を多量に含んでいる
ため、直接放流することはできない。
【0006】この対策として、この洗浄排液を逆浸透
(RO)膜処理することにより濃縮減容化する方法があ
る(特公平8−13355号公報、特公平7−2482
7号公報)。
【0007】なお、有機酸を用いた化学洗浄排液をイオ
ン交換処理して溶出金属を除去した後、化学洗浄に循環
使用することも提案されている(特開平9−11369
0号公報)。この特開平9−113690号公報では、
使用済みの洗浄排液中の有機酸を、紫外線照射、陽極酸
化、酸化剤添加により分解処理している。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記特公平8−133
55号公報等のようにRO膜処理による化学洗浄排液の
濃縮減容化を行っても、廃棄物の発生は避けられず、濃
縮液を焼却処分しているのが現状である。このように、
濃縮液が廃棄物として発生する従来法では、これを焼却
処分するためのコストが嵩む上に、高価な有機酸を廃棄
することとなるため、薬品コストも高くつくという問題
がある。
【0009】化学洗浄排液をイオン交換処理して循環使
用することにより、有機酸の繰り返し使用で薬品コスト
の低減を図ることは可能であるが、従来において、使用
済の有機酸を回収、再利用することは行われておらず、
例えば、特開平9−113690号公報では、有機酸を
分解処理しており、高価な有機酸の消費を抑えることは
できない。
【0010】本発明は上記従来の問題点を解決し、事業
用発電大型ボイラや熱交換器、その他のプラントにおい
て、稼動により系内に蓄積する酸化鉄主体のスケールを
有機酸を主成分とする洗浄液で化学洗浄する際に発生す
る有機酸含有洗浄排液を効率的に処理して、有機酸を回
収し、再利用する化学洗浄方法を提供することを目的と
する。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1の化学洗浄方法
は、被洗浄部に有機酸を主成分とする洗浄液を通液し、
該洗浄部に付着した金属酸化物を溶解させて有機酸金属
塩として流出させる洗浄工程と、該洗浄工程から排出さ
れる排出洗浄液をH形カチオン交換樹脂と接触させるこ
とにより、該排出洗浄液から金属イオンを除去して該有
機酸金属塩を有機酸に変換して洗浄液を再生させる再生
工程と、該洗浄液再生工程で再生された洗浄液を濃縮手
段により濃縮して、高濃度有機酸を回収する有機酸回収
工程とを有することを特徴とする。
【0012】請求項2の化学洗浄方法は、被洗浄部に有
機酸を主成分とする洗浄液を通液し、該被洗浄部に付着
した金属化合物を溶解させて有機酸金属塩として流出さ
せる通液工程と、該通液工程から排出される排出洗浄液
をH形カチオン交換樹脂と接触させることにより、該排
出洗浄液から金属イオンを除去して該有機酸金属塩を有
機酸に変換して洗浄液を再生させる洗浄液再生工程と、
該洗浄液再生工程で再生された洗浄液を前記通液工程に
戻す循環工程との3工程を順次繰り返して該被洗浄部の
洗浄を行った後、前記洗浄液再生工程で再生された再生
洗浄液を濃縮手段により濃縮して、高濃度有機酸を回収
することを特徴とする。
【0013】請求項3の化学洗浄方法は、請求項1又は
2において、濃縮手段として、逆浸透膜処理、常圧蒸発
処理、減圧蒸発処理、及び電気透析処理のうちの一つも
しくは二つ以上を組み合わせて、前記再生された洗浄液
を濃縮することを特徴とする。
【0014】請求項4の化学洗浄方法は、請求項1〜3
のいずれかにおいて、回収した高濃度有機酸を、化学洗
浄剤として再使用することを特徴とする。
【0015】請求項5の化学洗浄方法は、請求項1〜4
のいずれかにおいて、該洗浄液の有機酸濃度が0.5〜
3重量%であることを特徴とする。
【0016】本発明では、洗浄液再生工程で排出洗浄液
中から金属イオンを除去して有機酸金属塩を有機酸に変
換して再生することにより、これを回収再利用すること
ができる。特に、洗浄液を再生しながら循環使用するこ
とで、洗浄系内には、常に清浄度の高い、即ち洗浄効果
の高い洗浄液が供給されるようになるため、低有機酸濃
度の洗浄液で十分な洗浄効果を得ることができる。
【0017】また、このようにして繰り返し再生しなが
ら循環使用した後、再生洗浄液を、RO膜処理して濃縮
した後、濃縮液を更に蒸発濃縮することにより、濃度5
0%程度以上の溶液もしくは固体状であって、不純物を
含まない有機酸を回収することができる。この有機酸は
汚染物を含まず有機酸本来の洗浄機能は損なわれていな
いため、濃度調整後、洗浄工程に再利用することがで
き、新品の有機酸と同等の洗浄効果を得ることができ
る。このため、従来法のような洗浄排液の焼却処分は不
要となる。
【0018】本発明においては、洗浄液を再生しながら
循環使用する場合には0.1〜10重量%、好ましくは
0.5〜3重量%程度の低い有機酸濃度の洗浄液で良好
な洗浄効果を得ることができることから、有機酸を回収
して再利用することによる薬品コストの低減効果と共
に、有機酸の低濃度化による薬品コストの低減も図るこ
とができる。
【0019】なお、本発明の実施のためには、H形カチ
オン交換樹脂塔等の設備が必要となるが、上述の如く、
焼却処分が不要となると共に、薬品コストが大幅に低減
されることにより、総合的な洗浄コストは従来法に比べ
て著しく低減される。
【0020】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明の化
学洗浄方法の実施の形態の一例を詳細に説明する。図1
は本発明の化学洗浄方法の実施の形態の一例を示す系統
図である。
【0021】図1の方法では、ボイラ等の被洗浄部1に
対して洗浄液の循環洗浄を行うに当たり、循環ライン2
に遠心分離機3、フィルター4及びH形カチオン交換樹
脂塔5をこの順で設け、被洗浄部1から排出される洗浄
液を遠心分離機3で遠心分離処理して粗粒のスラッジを
除去し、更にフィルター4を通して微粒の懸濁粒子を除
去した後、H形カチオン交換樹脂塔5でイオン交換処理
し、その後被洗浄部1に循環通液させる。
【0022】この化学洗浄液により、被洗浄部1の内面
に付着していた酸化鉄などの金属化合物を主体としたス
ケールは溶解し、有機酸金属塩として洗浄液中に溶け込
み、ライン2へ流出する。なお、この有機酸金属塩は洗
浄液中では解離定数に従った電離状態にある。
【0023】遠心分離機3及びフィルター4は、洗浄液
中のスラッジ等でカチオン交換樹脂塔5のカチオン交換
樹脂が汚染されたり、目詰まりを起こすのを防止するた
めに設けられており、このような汚染粒子の除去機能を
有するものであれば何ら遠心分離機とフィルターとの2
段処理に限定されない。
【0024】H形カチオン交換樹脂塔5では、化学洗浄
(通液工程)により被洗浄部1から洗浄液中に溶出した
鉄イオン等の金属イオンを吸着分離することにより、有
機酸金属塩を有機酸に再生する。
【0025】このH形カチオン交換樹脂塔5のカチオン
交換樹脂としては、ゲル型の強酸性又は弱酸性カチオン
交換樹脂、ポーラス型の強酸性又は弱酸性カチオン交換
樹脂或いはキレート樹脂の中から、洗浄液中の有機酸の
種類に応じて選択使用される。一般に、貫流ボイラ等の
化学洗浄で使用されるクエン酸とグリコール酸の混酸よ
りなる洗浄液の場合、ポーラス型の強酸性カチオン交換
樹脂を用いるのが好ましい。
【0026】このH形カチオン交換樹脂塔5への通水流
量は、SV2〜50hr−1、好ましくはSV5〜30
hr−1の範囲で適宜調整すれば良い。
【0027】なお、図1の循環洗浄ライン2には、腐食
抑制剤の注入装置6が設けられており、循環使用される
洗浄液に腐食抑制剤を注入、補給するように構成されて
いる。
【0028】このように、洗浄液をH形カチオン交換樹
脂で再生しながら循環使用することにより、被洗浄部1
には、常に再生により浄化され、洗浄力が回復した洗浄
液が供給されるようになる。このため、本発明によれ
ば、従来一般的な化学洗浄で用いられる洗浄液の有機酸
濃度3〜7重量%と比較した場合約1/2以下の0.5
〜3重量%という低濃度で十分な洗浄効果を得ることが
でき、洗浄液の有機酸濃度の低減で薬品コストの削減を
図ることができる。
【0029】洗浄液の再生に用いたカチオン交換樹脂
は、定期的に或いはイオン交換能の低下が認められた際
に系外に取り出し、塩酸又は硫酸等の酸で再生して再使
用することができる。
【0030】このような循環洗浄を繰り返し、洗浄が終
了した後は、H形カチオン交換樹脂塔5の流出液を循環
ライン2から取り出し、有機酸の濃縮回収を行う。
【0031】まず、H形カチオン交換樹脂塔5の流出液
をRO膜装置7でRO膜分離処理して濃縮する。このR
O膜装置7による濃縮は、濃縮液の有機酸濃度が10〜
20重量%程度となるように行うのが好ましい。このR
O膜装置7による濃縮に当たり、洗浄液中の有機酸の種
類に応じてRO膜分離に好適なpH条件を採用すること
が好ましく、有機酸の種類によってはpH調整が必要な
場合があるが、貫流ボイラ等で一般に用いられているク
エン酸とグリコール酸の混酸の場合には、pH無調整
で、その洗浄液のpH(通常の場合、pH2〜3程度で
ある。)のままRO膜装置7に通液して処理することが
できる。
【0032】用いるRO膜装置7のRO膜の形式には特
に制限はなく、スパイラル型、中空糸型、チューブ型等
のRO膜を用いることができ、RO膜装置7の操作圧力
は濃縮倍率に応じて適宜決定される。
【0033】このRO膜装置7の透過水は、有機酸を含
まないものであるが、pH酸性でCOD成分を含むもの
であるため、別の排水処理系へ送給され、処理される。
【0034】RO膜装置7の濃縮液は次いで蒸発濃縮装
置8に送給し、濃縮液を更に蒸発濃縮して、有機酸濃度
40〜60%の高濃度有機酸の濃縮液又は乾固物を得
る。この蒸発濃縮装置8としては、加熱ないし減圧蒸発
濃縮装置を用いることができる。
【0035】このようにして得られた濃縮物は、H形カ
チオン交換樹脂によりイオン交換処理されたものである
から、鉄イオン等の金属成分を含まず、また、濃縮によ
り有機酸純度が高いものとなっている。このため、この
濃縮物は、保管後或いは直ちに適当な有機酸濃度となる
ように希釈することにより、洗浄液として化学洗浄に再
使用することができ、新品の有機酸を用いた洗浄液と同
様の洗浄効果を得ることができる。
【0036】このため、本発明によれば、廃棄物の発生
を無くすことができ、廃棄物の処分に係る問題を解消す
ることができる。
【0037】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて、本発明を
より詳細に説明する。なお、本発明はこれらの実施例に
限定されるものではない。
【0038】なお、以下の実施例及び比較例では、貫流
ボイラから抜管した水壁管を洗浄対象として洗浄試験を
行った。
【0039】実施例1 スケール付着量が火炉側(バーナー側)21.5〜3
1.1mg/cm、炉材側(バーナー側の裏側)1
8.7〜20.6mg/cmであり、スケール主成分
は酸化鉄(Fe)である前壁管及び右側壁管につ
いて、本発明方法に従って化学洗浄を行った。
【0040】まず、新品の有機酸を用いてクエン酸濃度
0.5重量%、グリコール酸濃度0.5重量%の洗浄液
を調製し、85℃に加熱して試料1を洗浄対象として被
洗浄部に入れ、洗浄液の循環洗浄を行い、スケールを完
全に除去するまでの洗浄時間を調べた。なお、洗浄液
は、図1に示す如く、遠心分離機及びフィルターで懸濁
物を除去した後、ポーラス型H形カチオン交換樹脂(三
菱化学(株)製「ダイヤイオンSK1B」)80mLを
充填したカチオン交換樹脂塔にSV10hr−1で通液
してイオン交換処理して循環使用した。
【0041】その結果、カチオン交換樹脂によるイオン
交換処理により洗浄液中の溶出鉄イオンは完全に除去さ
れ、8時間の洗浄時間でスケールを完全に除去すること
ができた。
【0042】この洗浄後の洗浄排液(カチオン交換樹脂
塔流出液)300LをpH無調整でRO膜装置(4B複
合膜1本、圧力6.5MPa)に通水し、透過水250
Lと濃縮液50Lに分離した。各液の水質を表1に示
す。
【0043】
【表1】
【0044】次いで、得られたRO濃縮液40Lを、内
部に蒸気を通気し、外面温度が110℃に加熱された回
転円盤外面(表面積0.4m)にフラッシュさせ加熱
蒸発濃縮を行った。濃縮物はスクレーパーにてかきとっ
た。この濃縮物の性状を表2に示す。
【0045】
【表2】
【0046】得られた濃縮物を有機酸(クエン酸とグリ
コール酸の合計)濃度1.0重量%に調整して、上記と
同様に洗浄試験を行ったところ、新品の場合と同様に8
時間の洗浄時間でスケールを完全に除去することができ
た。
【0047】比較例1 新品の有機酸を用いて、クエン酸濃度1.5重量%、グ
リコール酸濃度1.5重量%の洗浄液を調製し、カチオ
ン交換樹脂による処理を行わなかったこと以外は実施例
1と同様にして、実施例1と同一程度にスケールが付着
した前壁管及び右壁管の洗浄試験を行った。
【0048】その結果、この比較例1では有機酸濃度が
高いため6時間の洗浄時間でスケールを完全に除去する
ことができた。なお、洗浄により洗浄液中には8,40
0mg/Lもの鉄イオンが溶出していた。
【0049】比較例2 新品の有機酸を用いて、クエン酸濃度1.0重量%、グ
リコール酸濃度1.0重量%の洗浄液を調製し、カチオ
ン交換樹脂による処理を行わなかったこと以外は実施例
1と同様にして、実施例1と同一程度にスケールが付着
した前壁管及び右壁管の洗浄試験を行った。
【0050】その結果、この比較例2では有機酸濃度が
低いため8時間の洗浄時間でもスケールを完全に除去す
ることができなかった。なお、洗浄により洗浄液中には
5,800mg/Lの鉄イオンが溶出していた。
【0051】実施例1及び比較例1,2の結果を表3に
まとめて記す。
【0052】
【表3】
【0053】表3より、実施例1では、新品の有機酸を
用いた場合も、再生回収した有機酸を再利用した場合の
いずれにおいても洗浄に要する時間は比較例1より2時
間長いが、有機酸濃度は洗浄液再生工程のない比較例1
の3重量%に比べて1重量%と、著しく低濃度でスケー
ルの除去が可能であり、薬品濃度と再利用の両面から薬
品コストの低減効果は著しく高いことがわかる。
【0054】実施例2 スケール付着量が火炉側54.2〜80.1mg/cm
、炉材側26.5〜31.6mg/cmであり、ス
ケール主成分は酸化鉄(Fe)の左側壁管につい
て、本発明方法に従って化学洗浄を行った。
【0055】まず、新品の有機酸を用いてクエン酸濃度
1.5重量%、グリコール酸濃度1.5重量%の洗浄液
を調製し、90℃に加熱して試料2を洗浄対象として被
洗浄部に入れ、洗浄液の循環洗浄を行い、スケールを完
全に除去するまでの洗浄時間を調べた。なお、洗浄液
は、図1に示す如く、遠心分離機及びフィルターで懸濁
物を除去した後、ポーラス型H形カチオン交換樹脂(三
菱化学(株)製「ダイヤイオンSK1B」)140mL
を充填したカチオン交換樹脂塔にSV10hr で通
液してイオン交換処理して循環使用した。
【0056】その結果、カチオン交換樹脂によるイオン
交換処理により洗浄液中の溶出鉄イオンは完全に除去さ
れ、15時間の洗浄時間でスケールを完全に除去するこ
とができた。
【0057】この洗浄後の洗浄排液(カチオン交換樹脂
塔流出液)200LをpH無調整でRO膜装置(4B複
合膜1本、圧力6.4MPa)に通水し、透過水150
Lと濃縮液50Lに分離した。各液の水質を表4に示
す。
【0058】
【表4】
【0059】次いで、得られたRO濃縮液40Lを、内
部に蒸気を通気し、外面温度が110℃に加熱された回
転円盤外面(表面積0.4m)にフラッシュさせ加熱
蒸発濃縮を行った。濃縮物はスクレーパーにてかきとっ
た。この濃縮物の性状を表5に示す。
【0060】
【表5】
【0061】得られた濃縮物を1ヶ月間保管した後、有
機酸(クエン酸とグリコール酸の合計)濃度3.0重量
%に調整して、上記と同様に洗浄試験を行ったところ、
新品の場合と同様に15時間の洗浄時間でスケールを完
全に除去することができた。
【0062】比較例3 新品の有機酸を用いて、クエン酸濃度3.5重量%、グ
リコール酸濃度3.5重量%の洗浄液を調製し、カチオ
ン交換樹脂による処理を行わなかったこと以外は実施例
2と同様にして実施例2と同程度にスケールが付着した
左側壁管の洗浄試験を行った。
【0063】その結果、この比較例3では有機酸濃度が
高いため12時間の洗浄時間でスケールを完全に除去す
ることができた。なお、洗浄により洗浄液中には114
00mg/Lもの鉄イオンが溶出していた。
【0064】実施例2及び比較例3の結果を表6にまと
めて記す。
【0065】
【表6】
【0066】表6より、実施例2では、新品の有機酸を
用いた場合も、再生回収した有機酸を再利用した場合の
いずれにおいても洗浄に要する時間は比較例3より3時
間長いが、有機酸濃度は洗浄液再生工程のない比較例3
の7重量%に比べて3重量%と、著しく低濃度でスケー
ルの除去が可能であり、薬品濃度と再利用の両面から薬
品コストの低減効果は著しく高いことがわかる。
【0067】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の化学洗浄方
法によれば、事業用発電大型ボイラや熱交換器、その他
のプラント、機器類を、有機酸を主成分とする洗浄液で
化学洗浄する際に洗浄排液を再生しながら循環使用する
と共に、循環使用した後の洗浄排液を濃縮して再利用可
能な高濃度有機酸を回収することができる。このため、
廃棄物の発生を無くして廃棄物の焼却処分を不要とする
と共に、薬品コストの大幅な削減が可能となり、化学洗
浄コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の化学洗浄方法の実施の形態を示す系統
図である。
【符号の説明】
1 被洗浄部 2 循環ライン 3 遠心分離機 4 フィルター 5 H型カチオン交換樹脂塔 6 腐食抑制剤注入装置 7 RO膜装置 8 蒸発濃縮装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C02F 1/44 C02F 1/44 Z 4K053 1/469 5/00 610H 5/00 610 620D 620 5/10 610Z 5/10 610 C23G 1/08 C23G 1/08 1/36 1/36 F22B 37/52 A // F22B 37/52 C02F 1/46 103 (72)発明者 梅田 陽子 東京都千代田区内幸町一丁目1番3号 東 京電力株式会社内 (72)発明者 土田 誠 東京都千代田区内幸町一丁目1番3号 東 京電力株式会社内 (72)発明者 吉川 忠芳 大阪府大阪市中央区北浜2−2−22 栗田 エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 清滝 一宏 大阪府大阪市中央区北浜2−2−22 栗田 エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 川口 博冨 大阪府大阪市中央区北浜2−2−22 栗田 エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 竹下 雅宣 大阪府大阪市中央区北浜2−2−22 栗田 エンジニアリング株式会社内 Fターム(参考) 3B201 AA47 BB03 BB92 CD22 4D006 GA03 GA17 HA01 HA21 HA61 KA01 KA02 KA52 KA54 KA57 KB11 KB14 KB18 KB20 MA01 MA02 MA03 MB12 PA04 PB08 PB25 4D025 AA06 AB02 AB22 BA09 BA10 BA22 BB07 BB18 DA10 4D034 AA26 BA01 CA12 4D061 DA08 DB18 DC08 EA09 EB04 ED20 4K053 PA02 PA18 QA01 QA02 RA40 RA45 RA46 SA02 XA24 YA07 YA10 YA13 YA14

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被洗浄部に有機酸を主成分とする洗浄液
    を通液し、該洗浄部に付着した金属酸化物を溶解させて
    有機酸金属塩として流出させる洗浄工程と、 該洗浄工程から排出される排出洗浄液をH形カチオン交
    換樹脂と接触させることにより、該排出洗浄液から金属
    イオンを除去して該有機酸金属塩を有機酸に変換して洗
    浄液を再生させる再生工程と、 該洗浄液再生工程で再生された洗浄液を濃縮手段により
    濃縮して、高濃度有機酸を回収する有機酸回収工程とを
    有することを特徴とする化学洗浄方法。
  2. 【請求項2】 被洗浄部に有機酸を主成分とする洗浄液
    を通液し、該被洗浄部に付着した金属化合物を溶解させ
    て有機酸金属塩として流出させる通液工程と、 該通液工程から排出される排出洗浄液をH形カチオン交
    換樹脂と接触させることにより、該排出洗浄液から金属
    イオンを除去して該有機酸金属塩を有機酸に変換して洗
    浄液を再生させる洗浄液再生工程と、 該洗浄液再生工程で再生された洗浄液を前記通液工程に
    戻す循環工程との3工程を順次繰り返して該被洗浄部の
    洗浄を行った後、 前記洗浄液再生工程で再生された再生洗浄液を濃縮手段
    により濃縮して、高濃度有機酸を回収することを特徴と
    する請求項1〜4のいずれかに記載の化学洗浄方法。
  3. 【請求項3】 濃縮手段として、逆浸透膜処理、常圧蒸
    発処理、減圧蒸発処理、及び電気透析処理のうちの一つ
    もしくは二つ以上を組み合わせて、前記再生された洗浄
    液を濃縮することを特徴とする請求項1又は2に記載の
    化学洗浄方法。
  4. 【請求項4】 回収した高濃度有機酸を、化学洗浄剤と
    して再使用することを特徴とする請求項1ないし3のい
    ずれか1項に記載の化学洗浄方法。
  5. 【請求項5】 該洗浄液の有機酸濃度が0.5〜3重量
    %であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか
    1項に記載の化学洗浄方法。
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