JP6282776B1 - 排水処理設備及び排水処理方法 - Google Patents

Abstract

【課題】低コストで、水の利用効率が高い排水処理設備及び排水処理方法を提供する。【解決手段】排水処理設備１０は、被処理材をシャワー洗浄し、表面処理溶液を回収すると共に、表面処理溶液が希釈された表面処理希釈液を排出する回収槽１００と、表面処理溶液を回収された被処理材を洗浄し、被処理材を洗浄した一次洗浄排水を排出する一次洗浄槽２００と、表面処理希釈液と一次洗浄排水の少なくとも一方を濃縮し、濃縮液と蒸留水とに分離する減圧濃縮装置を有する第１排水処理部５００と、を備える。第１排水処理部５００は、蒸留水から第１処理水を生成し、第１処理水を回収槽１００と一次洗浄槽２００の少なくとも一方に返送すると共に、蒸留水から冷却水を生成し、冷却水を減圧濃縮装置に返送する。回収槽１００は、第１処理水によって被処理材をシャワー洗浄し、一次洗浄槽２００は、第１処理水によって被処理材を洗浄する。【選択図】図１

Description

本発明は、排水処理設備及び排水処理方法に関する。

めっき等の被処理材への表面処理において生じる排水は、シアン、クロム、重金属イオン等の環境負荷の高い物質を含むため、種々の法令、環境基準に対応して、適切に処理されなければならない。

例えば、航空機用部品への表面処理（カドミウムめっき等）において使用される表面処理溶液には、シアン化カドミウム（ＣｄＣＮ_２）、シアン化ナトリウム（ＮａＣＮ）等が含まれている。カドミウム、シアンは、規制物質における有害物質（健康項目）であり、排水基準は、カドミウム：０．１ｍｇ／Ｌ以下、シアン：１ｍｇ／Ｌ以下となっている。これらの排水基準を満たす排水処理技術を開発することは、容易ではない。また、排水基準を満たすために、排水処理コストの増加が見込まれる。

一般に、カドミウムめっきの排水処理では、めっき槽中のめっき液は、外部の専門業者によって引き取り処分される。回収槽において回収されためっき回収液は、めっき液の濃度の１／４〜１／３程度まで濃縮された後、外部の専門業者によって引き取られ、処分される。
また、被処理材を最初に水洗する一次洗浄処理において排出される第１水洗水は、アルカリ塩素法によりシアンを処理され、ｐＨの調整処理、高分子凝集剤の添加による凝集処理等を経て、放流される。さらに、一次洗浄処理の後に被処理材を水洗する二次洗浄処理において排出される第２水洗水は、イオン交換設備により各種イオンを除去され、再利用される。第１水洗水と第２水洗水の処理、イオン交換設備において使用されるイオン交換樹脂の再生は、めっき処理を行う工場内で行われる。

以上のような排水処理において、凝集処理により除去されたスラッジは廃棄業者によって引き取られ、スラッジのほとんどが埋め立て処理されるので、発生するスラッジの量を減らすことが望まれる。そこで、特許文献１では、重金属を高濃度に含む廃液を前処理（例えば、アルカリ塩素法によるシアンの処理）した後、前処理した廃液から、菌体を含有する重金属吸着組成物によって重金属を除き、重金属を回収している。前処理した廃液から重金属を除くことによって、発生するスラッジの量を抑制できる。

また、新たに設備を設置するスペースを確保することが困難であることから、イオン交換設備、イオン交換樹脂を再生する設備等を設置するスペースを削減することも望まれている。そこで、特許文献２では、輸送車両上に設けられたイオン交換装置によって老廃クロム溶液を精製して、再利用している。

国際公開第２００４／０２２７２８号 特開平８−２４８５３号公報

特許文献１の廃液処理では、酸の添加、キレート剤の添加等によって、菌体に吸着した重金属を回収し、重金属吸着組成物を再生している。したがって、重金属の回収と重金属吸着組成物の再生を行う設備を維持管理するために、多くの費用と労力が必要となる。また、特許文献１は、回収された重金属の処理について開示していない。
特許文献２の精製再利用では、イオン交換装置を専門工場に輸送して、イオン交換装置のイオン交換樹脂を再生しているので、イオン交換樹脂の再生が煩雑になり、費用と時間が掛かる。
さらに、特許文献１、２では、水が再利用されていないので、水を使用する費用も多く掛かる。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、低コストで、水の利用効率が高い排水処理設備及び排水処理方法を提供することを目的とする。また、本発明は、イオン交換部の保守を容易にし、イオン交換樹脂の再生を外部の専門業者に委託して、迅速にイオン交換樹脂を再生することを他の目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の排水処理設備は、
被処理材をシャワー洗浄し、前記被処理材に付着した表面処理溶液を回収すると共に、前記表面処理溶液が希釈された表面処理希釈液を排出する回収槽と、
前記表面処理溶液を回収された前記被処理材を洗浄し、前記被処理材を洗浄した一次洗浄排水を排出する一次洗浄槽と、
前記表面処理希釈液と前記一次洗浄排水の少なくとも一方を濃縮し、濃縮液と蒸留水とに分離する減圧濃縮装置を有する第１排水処理部と、を備え、
前記第１排水処理部は、前記蒸留水から第１処理水を生成し、前記第１処理水を前記回収槽と前記一次洗浄槽の少なくとも一方に返送すると共に、前記蒸留水から冷却水を生成し、前記冷却水を前記減圧濃縮装置に返送し、
前記回収槽は、前記第１処理水が前記第１排水処理部から返送された場合に、前記第１処理水によって、前記被処理材をシャワー洗浄し、
前記一次洗浄槽は、前記第１処理水が前記第１排水処理部から返送された場合に、前記第１処理水によって、前記被処理材を洗浄する。

前記第１排水処理部は、
前記蒸留水を冷却して、前記冷却水を生成するチラー装置と、
イオン交換により、前記蒸留水から前記第１処理水を生成する第１イオン交換部と、を有してもよい。

前記第１排水処理部は、
前記蒸留水を貯留し、前記蒸留水を前記チラー装置と前記第１イオン交換部とに分配する蒸留水槽を有してもよい。

前記第１イオン交換部は、カートリッジ又はボンベに収納されたイオン交換樹脂を有してもよい。

前記一次洗浄槽により洗浄された前記被処理材を洗浄し、前記被処理材を洗浄した二次洗浄排水を排出する二次洗浄槽と、
前記二次洗浄排水から第２処理水を生成し、前記第２処理水を前記二次洗浄槽に返送する第２排水処理部と、を備えてもよい。

前記第２排水処理部は、
前記二次洗浄排水を貯留する二次排水貯留槽と、
イオン交換により、前記二次排水貯留槽に貯留された前記二次洗浄排水から、前記第２処理水を生成する第２イオン交換部と、を有してもよい。

前記第２イオン交換部は、カートリッジ又はボンベに収納されたイオン交換樹脂を有してもよい。

上記目的を達成するため、本発明の排水処理方法は、
回収槽から排出され、被処理材をシャワー洗浄して回収された表面処理溶液が希釈された表面処理希釈液と、一次洗浄槽から排出され、前記表面処理溶液を回収された前記被処理材を洗浄した一次洗浄排水の少なくとも一方を処理する排水処理方法であって、
前記表面処理希釈液と前記一次洗浄排水の少なくとも一方を、減圧濃縮装置によって減圧濃縮して、濃縮液と蒸留水とに分離する工程と、
前記蒸留水の一部を冷却して、冷却水として前記減圧濃縮装置に返送する工程と、
前記蒸留水の残りから、イオン交換により第１処理水を生成して、前記第１処理水を前記回収槽と前記一次洗浄槽の少なくとも一方に、前記被処理材を洗浄する洗浄水として返送する工程と、を含む。

本発明によれば、低コストで、水の利用効率が高い排水処理設備及び排水処理方法を提供できる。また、本発明によれば、イオン交換部の保守を容易にし、イオン交換樹脂の再生を外部の専門業者に委託して、迅速にイオン交換樹脂を再生できる。

本発明の実施の形態に係る排水処理設備の構成を示す模式図である。 本発明の実施の形態に係る希釈液処理部の構成を示す模式図である。 本発明の実施の形態に係る第１排水処理部の構成を示す模式図である。 本発明の実施の形態に係る第２排水処理部の構成を示す模式図である。 本発明の実施の形態に係る一次洗浄排水の排水処理方法を示すフローチャートである。 本発明に係る排水処理設備の変形例を示す模式図である。 本発明に係る排水処理設備の変形例を示す模式図である。

図１〜４を参照して、本発明の実施の形態に係る排水処理設備１０を説明する。

図１に示すように、排水処理設備１０は、めっき槽２０により表面処理が施された被処理材から表面処理溶液を回収する回収槽１００と、回収槽１００により表面処理溶液を回収された被処理材を洗浄する一次洗浄槽２００と、一次洗浄槽２００により洗浄された被処理材を洗浄する二次洗浄槽３００と、を備える。排水処理設備１０は、さらに、回収槽１００から排出される表面処理希釈液を処理する希釈液処理部４００と、一次洗浄槽２００から排出される一次洗浄排水を処理する第１排水処理部５００と、二次洗浄槽３００から排出される二次洗浄排水を処理する第２排水処理部６００と、を備える。
なお、排水処理設備１０を構成する槽、装置等は、配管によって接続されており、各種の水は配管を介して移送される。

本実施の形態において、被処理材は、例えば、めっき槽２０においてカドミウムめっき処理が施された後、めっき槽２０から回収槽１００、一次洗浄槽２００、二次洗浄槽３００の順に搬送される。めっき槽２０は、カドミウム、シアン化ナトリウム等を含む表面処理溶液（めっき液）を貯留している。

回収槽１００は、搬送された被処理材に洗浄水を噴射する、図示しないシャワー洗浄部を有する。回収槽１００に搬送された被処理材は、シャワー洗浄部からの洗浄水によって、シャワー洗浄される。これにより、被処理材に付着している表面処理溶液が回収槽１００に回収される。回収槽１００は、表面処理溶液が洗浄水により希釈された表面処理希釈液を、希釈液処理部４００に、配管を介して排出する。

一次洗浄槽２００は、貯留した洗浄水によって、回収槽１００によりシャワー洗浄され、表面処理溶液を回収された被処理材を洗浄する。一次洗浄槽２００は、被処理材を洗浄した洗浄水を、一次洗浄排水として、第１排水処理部５００に排出する。

二次洗浄槽３００は、回収槽１００と同様に、図示しないシャワー洗浄部を有する。二次洗浄槽３００は、シャワー洗浄部から噴射する洗浄水によって、一次洗浄槽２００により洗浄された被処理材をシャワー洗浄する。二次洗浄槽３００は、被処理材を洗浄した洗浄水を、二次洗浄排水として、第２排水処理部６００に排出する。

希釈液処理部４００は、回収槽１００から排出される表面処理希釈液を濃縮し、濃縮液と蒸留水とに分離する。希釈液処理部４００は、図２に示すように、希釈液貯留槽４１０と、減圧濃縮装置４２０と、濃縮液貯留槽４３０と、を有する。

希釈液貯留槽４１０は、回収槽１００から排出された表面処理希釈液を貯留する。また、希釈液貯留槽４１０は、表面処理希釈液を減圧濃縮装置４２０に、配管を介して移送する。

減圧濃縮装置４２０は、希釈液貯留槽４１０から移送された表面処理希釈液を濃縮して、表面処理希釈液を濃縮した濃縮液と蒸留水とに分離する。減圧濃縮装置４２０は、濃縮液を濃縮液貯留槽４３０に、配管を介して排出する。

濃縮液貯留槽４３０は、減圧濃縮装置４２０が排出した濃縮液を貯留する。貯留された濃縮液は、例えば、外部の専門業者によって引き取られ、有価金属等が回収される。

次に、第１排水処理部５００を説明する。第１排水処理部５００は、一次洗浄槽２００が排出した一次洗浄排水を濃縮し、濃縮液と蒸留水とに分離した後、蒸留水から生成した冷却水を後述する減圧濃縮装置５２０に返送すると共に、蒸留水から生成した第１処理水を一次洗浄槽２００に返送する。
第１排水処理部５００は、図３に示すように、一次排水貯留槽５１０と、減圧濃縮装置５２０と、濃縮液貯留槽５３０と、蒸留水槽５４０と、冷却用貯留槽５５０と、洗浄用貯留槽５６０と、チラー装置５７０と、第１イオン交換部５８０と、を有する。

一次排水貯留槽５１０は、一次洗浄槽２００が排出した一次洗浄排水を貯留する。また、一次排水貯留槽５１０は、一次洗浄排水を減圧濃縮装置５２０に、配管を介して移送する。

減圧濃縮装置５２０は、一次排水貯留槽５１０から移送された一次洗浄排水を濃縮して、一次洗浄排水を濃縮した濃縮液と蒸留水とに分離する。減圧濃縮装置５２０は、濃縮液を濃縮液貯留槽５３０に、配管を介して排出する。また、減圧濃縮装置５２０は、蒸留水を蒸留水槽５４０に、配管を介して排出する。
濃縮液貯留槽５３０は、減圧濃縮装置５２０が濃縮した濃縮液を貯留する。貯留された濃縮液は、例えば、外部の専門業者によって引き取られ、有価金属等が回収される。

蒸留水槽５４０は、減圧濃縮装置５２０が排出した蒸留水を貯留し、蒸留水を放冷する。蒸留水槽５４０は、放冷された蒸留水を、冷却用貯留槽５５０と洗浄用貯留槽５６０とに、分配する。

冷却用貯留槽５５０は、蒸留水槽５４０から移送された蒸留水を貯留し、蒸留水をチラー装置５７０に移送する。
チラー装置５７０は、移送された蒸留水を冷却して冷却水を生成し、図示しないクーリングタワーを介して、減圧濃縮装置５２０に移送する。減圧濃縮装置５２０に移送された冷却水は、減圧濃縮装置５２０の冷却水として、再利用される。

洗浄用貯留槽５６０は、蒸留水槽５４０から移送された蒸留水を貯留し、蒸留水を第１イオン交換部５８０に移送する。
第１イオン交換部５８０は、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを塔内に有する混床式イオン交換塔であり、イオン交換により蒸留水から純水を生成する。第１イオン交換部５８０は、生成した純水を一次洗浄槽２００に、第１処理水として、配管を介して返送する。一次洗浄槽２００に返送された第１処理水（純水）は、被処理材を洗浄する洗浄水として、再利用される。

第１イオン交換部５８０のイオン交換樹脂は、カートリッジ、ボンベ等に収納されていることが好ましい。これにより、第１イオン交換部５８０における保守が容易になり、排水処理設備１０の停止期間を短くできる。例えば、イオン交換樹脂の再生を外部の専門業者に委託して、迅速にイオン交換樹脂を再生できる。

以上のように、第１排水処理部５００は、減圧濃縮装置５２０における減圧濃縮により、一次洗浄排水から蒸留水を分離し、蒸留水を減圧濃縮装置５２０の冷却水として再利用し、第１イオン交換部５８０におけるイオン交換により蒸留水から生成された第１処理水を、一次洗浄槽２００の洗浄水として再利用しているので、少ない処理設備、処理工程によって、一次洗浄排水を処理し、水を再利用できる。これにより、第１排水処理部５００は、設備の維持管理に掛かる費用と労力を抑制でき、低コストを実現できる。第１排水処理部５００は、減圧濃縮とイオン交換により、一次洗浄排水を処理しているので、化学薬品の使用を抑制し、コストを削減できる。また、処理工程が少ないので、第１排水処理部５００は、水の回収率を高くできる。

さらに、第１排水処理部５００は、減圧濃縮装置５２０によって分離された蒸留水を、一旦、蒸留水槽に貯留し、減圧濃縮装置５２０の冷却水として再利用される蒸留水と、一次洗浄槽２００の洗浄水として再利用される蒸留水とに分配しているので、冷却水と洗浄水の使用量に対応して、処理された水を効率よく再利用できる。

最後に、第２排水処理部６００を説明する。第２排水処理部６００は、二次洗浄槽３００が排出した二次洗浄排水から第２処理水を生成し、生成した第２処理水を二次洗浄槽３００に返送する。第２排水処理部６００は、図４に示すように、二次排水貯留槽６１０と、第２イオン交換部６２０と、第２処理水貯留槽６３０と、を有する。

二次排水貯留槽６１０は、二次洗浄槽３００が排出した二次洗浄排水を貯留する。また、二次排水貯留槽６１０は、二次洗浄排水を第２イオン交換部６２０に、配管を介して移送する。

第２イオン交換部６２０は、二次洗浄排水から純水を生成し、生成した純水を、第２処理水として第２処理水貯留槽６３０に移送する。
第２イオン交換部６２０は、フィルタ６２２と、活性炭塔６２４と、カチオン交換塔６２６と、アニオン交換塔６２７、６２８と、を有する。

フィルタ６２２は、二次洗浄排水に含まれる濁質を除去する。活性炭塔６２４は、活性炭により、二次洗浄排水に含まれる有機物を除去する。カチオン交換塔６２６とアニオン交換塔６２７、６２８は、それぞれ、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂を有し、二次洗浄排水に含まれる各種イオンを除去する。

カチオン交換塔６２６とアニオン交換塔６２７、６２８のイオン交換樹脂は、それぞれ、カートリッジ、ボンベ等に収納されていることが好ましい。これにより、第２イオン交換部６２０における保守が容易になり、排水処理設備１０の停止期間を短くできる。例えば、イオン交換樹脂の再生を外部の専門業者に委託して、迅速にイオン交換樹脂を再生できる。

第２処理水貯留槽６３０は、第２処理水（純水）を貯留する。また、第２処理水貯留槽６３０は、第２処理水を、図示しない熱交換器とクーリングタワーとを介して、二次洗浄槽３００に返送する。二次洗浄槽３００に返送された第２処理水は、被処理材を洗浄する洗浄水として、再利用される。

次に、表面処理希釈液と一次洗浄排水と二次洗浄排水の排水処理方法を説明する。

回収槽１００から排出された表面処理希釈液の排水処理方法では、まず、希釈液貯留槽４１０に貯留されている表面処理希釈液を、減圧濃縮装置４２０に移送し、減圧濃縮装置４２０により、濃縮液と蒸留水とに分離する。最後に、分離した濃縮液を、濃縮液貯留槽４３０に貯留する。以上により、回収槽１００から排出されためっき希釈液を処理できる。
なお、濃縮液貯留槽４３０に貯留された濃縮液は、例えば、外部の専門業者によって引き取られ、有価金属等が回収される。

図５は、一次洗浄槽２００から排出された一次洗浄排水の排水処理方法を示すフローチャートである。
ステップＳ１０においては、一次排水貯留槽５１０に貯留された一次洗浄排水を、減圧濃縮装置５２０に移送する。

ステップＳ２０においては、一次洗浄排水を、減圧濃縮装置５２０によって減圧濃縮して、濃縮液と蒸留水とに分離し、濃縮液を濃縮液貯留槽５３０に排出し、蒸留水を蒸留水槽５４０に排出する。ここで、濃縮液は、貯留され、例えば、外部の専門業者によって引き取られ、有価金属等が回収される。また、蒸留水は、蒸留水槽５４０に貯留され、放冷される。

ステップＳ３０においては、蒸留水槽５４０に貯留された蒸留水の一部を、冷却用貯留槽５５０を介してチラー装置５７０に移送し、チラー装置５７０によって蒸留水から冷却水を生成する。そして、生成した冷却水を、減圧濃縮装置５２０の冷却水として、減圧濃縮装置５２０に返送する。

ステップＳ４０においては、蒸留水槽５４０に貯留された蒸留水の残りを、洗浄用貯留槽５６０を介して、第１イオン交換部５８０に移送し、第１イオン交換部５８０によって蒸留水から第１処理水（純水）を生成する。そして、生成した第１処理水を、洗浄水として一次洗浄槽２００に返送する。
以上の工程により、一次洗浄槽２００から排出された一次洗浄排水を処理できる。

二次洗浄槽３００から排出された二次洗浄排水の排水処理方法では、まず、二次排水貯留槽６１０に貯留されている二次洗浄排水を、第２イオン交換部６２０に移送し、第２イオン交換部６２０によって二次洗浄排水から第２処理水（純水）を生成する。第２イオン交換部６２０では、移送された二次洗浄排水を、フィルタ６２２、活性炭塔６２４、カチオン交換塔６２６、アニオン交換塔６２７、６２８の順に通過させ、第２処理水（純水）を生成する。
最後に、生成した第２処理水を、被処理材を洗浄する洗浄水として二次洗浄槽３００に、返送する。以上により、二次洗浄槽３００から排出された二次洗浄排水を処理できる。

以上のように、排水処理設備１０は、減圧濃縮とイオン交換により、一次洗浄排水と二次洗浄排水を処理して水を再利用しているので、化学薬品の使用を抑制し、コストを削減できる。また、排水処理設備１０は、少ない処理設備、処理工程によって、一次洗浄排水と二次洗浄排水を処理しているので、設備の維持管理に掛かる費用と労力を抑制でき、低コストを実現できる。処理工程が少ないので、排水処理設備１０は、水の回収率を高くできる。排水処理設備１０は、減圧濃縮装置５２０の冷却水と一次洗浄槽２００の洗浄水の使用量に対応して、処理された水を効率よく再利用できる。

さらに、イオン交換樹脂がカートリッジ、ボンベ等に収納されているので、第１イオン交換部５８０と第２イオン交換部６２０における保守が容易になり、排水処理設備１０の停止期間を短くできる。イオン交換樹脂の再生を外部の専門業者に委託して、迅速にイオン交換樹脂を再生できる。

以上、本発明における複数の実施の形態を説明したが、本発明は、上記の実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

排水処理設備１０は、希釈液処理部４００に代えて、第１排水処理部５００によって、回収槽１００から排出される表面処理希釈液を処理してもよい。

例えば、図６に示すように、排水処理設備１０は、希釈液処理部４００を備えず、一次洗浄槽２００から排出される一次洗浄排水を処理する第１排水処理部５００とは別に、回収槽１００から排出される表面処理希釈液を処理する第１排水処理部５００を備えてもよい。この場合、表面処理希釈液を処理する第１排水処理部５００は、一次洗浄排水を処理する第１排水処理部５００と同様に、蒸留水から生成した冷却水を減圧濃縮装置５２０に返送すると共に、第１イオン交換部５８０によって蒸留水から生成した第１処理水（純水）を、洗浄水として回収槽１００に返送する。

また、図７に示すように、排水処理設備１０は、希釈液処理部４００を備えず、回収槽１００から排出される表面処理希釈液と一次洗浄槽２００から排出される一次洗浄排水とを処理する、共通の第１排水処理部５００を備えてもよい。共通の第１排水処理部５００は、減圧濃縮装置５２０によって、表面処理希釈液と一次洗浄排水とを濃縮し、濃縮液と蒸留水とに分離する。そして、共通の第１排水処理部５００は、蒸留水から生成した冷却水を減圧濃縮装置５２０に返送すると共に、第１イオン交換部５８０によって蒸留水から生成した第１処理水（純水）を、洗浄水として回収槽１００と一次洗浄槽２００とに返送する。

１０ 排水処理設備
２０ めっき槽
１００ 回収槽
２００ 一次洗浄槽
３００ 二次洗浄槽
４００ 希釈液処理部
４１０ 希釈液貯留槽
４２０ 減圧濃縮装置
４３０ 濃縮液貯留槽
５００ 第１排水処理部
５１０ 一次排水貯留槽
５２０ 減圧濃縮装置
５３０ 濃縮液貯留槽
５４０ 蒸留水槽
５５０ 冷却用貯留槽
５６０ 洗浄用貯留槽
５７０ チラー装置
５８０ 第１イオン交換部
６００ 第２排水処理部
６１０ 二次排水貯留槽
６２０ 第２イオン交換部
６２２ フィルタ
６２４ 活性炭塔
６２６ カチオン交換塔
６２７、６２８ アニオン交換塔
６３０ 第２処理水貯留槽

Claims (8)

1. 被処理材をシャワー洗浄し、前記被処理材に付着した表面処理溶液を回収すると共に、前記表面処理溶液が希釈された表面処理希釈液を排出する回収槽と、
   前記表面処理溶液を回収された前記被処理材を洗浄し、前記被処理材を洗浄した一次洗浄排水を排出する一次洗浄槽と、
   前記表面処理希釈液と前記一次洗浄排水の少なくとも一方を濃縮し、濃縮液と蒸留水とに分離する減圧濃縮装置を有する第１排水処理部と、を備え、
   前記第１排水処理部は、前記蒸留水から第１処理水を生成し、前記第１処理水を前記回収槽と前記一次洗浄槽の少なくとも一方に返送すると共に、前記蒸留水から冷却水を生成し、前記冷却水を前記減圧濃縮装置に返送し、
   前記回収槽は、前記第１処理水が前記第１排水処理部から返送された場合に、前記第１処理水によって、前記被処理材をシャワー洗浄し、
   前記一次洗浄槽は、前記第１処理水が前記第１排水処理部から返送された場合に、前記第１処理水によって、前記被処理材を洗浄する、
   排水処理設備。
2. 前記第１排水処理部は、
   前記蒸留水を冷却して、前記冷却水を生成するチラー装置と、
   イオン交換により、前記蒸留水から前記第１処理水を生成する第１イオン交換部と、を有する、
   請求項１に記載の排水処理設備。
3. 前記第１排水処理部は、
   前記蒸留水を貯留し、前記蒸留水を前記チラー装置と前記第１イオン交換部とに分配する蒸留水槽を有する、
   請求項２に記載の排水処理設備。
4. 前記第１イオン交換部は、カートリッジ又はボンベに収納されたイオン交換樹脂を有する、
   請求項２又は３に記載の排水処理設備。
5. 前記一次洗浄槽により洗浄された前記被処理材を洗浄し、前記被処理材を洗浄した二次洗浄排水を排出する二次洗浄槽と、
   前記二次洗浄排水から第２処理水を生成し、前記第２処理水を前記二次洗浄槽に返送する第２排水処理部と、を備える、
   請求項１から４のいずれか１項に記載の排水処理設備。
6. 前記第２排水処理部は、
   前記二次洗浄排水を貯留する二次排水貯留槽と、
   イオン交換により、前記二次排水貯留槽に貯留された前記二次洗浄排水から、前記第２処理水を生成する第２イオン交換部と、を有する、
   請求項５に記載の排水処理設備。
7. 前記第２イオン交換部は、カートリッジ又はボンベに収納されたイオン交換樹脂を有する、
   請求項６に記載の排水処理設備。
8. 回収槽から排出され、被処理材をシャワー洗浄して回収された表面処理溶液が希釈された表面処理希釈液と、一次洗浄槽から排出され、前記表面処理溶液を回収された前記被処理材を洗浄した一次洗浄排水の少なくとも一方を処理する排水処理方法であって、
   前記表面処理希釈液と前記一次洗浄排水の少なくとも一方を、減圧濃縮装置によって減圧濃縮して、濃縮液と蒸留水とに分離する工程と、
   前記蒸留水の一部を冷却して、冷却水として前記減圧濃縮装置に返送する工程と、
   前記蒸留水の残りから、イオン交換により第１処理水を生成して、前記第１処理水を前記回収槽と前記一次洗浄槽の少なくとも一方に、前記被処理材を洗浄する洗浄水として返送する工程と、を含む、
   排水処理方法。

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